JPH0244262B2 - Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho - Google Patents
Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizohoInfo
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- JPH0244262B2 JPH0244262B2 JP4566887A JP4566887A JPH0244262B2 JP H0244262 B2 JPH0244262 B2 JP H0244262B2 JP 4566887 A JP4566887 A JP 4566887A JP 4566887 A JP4566887 A JP 4566887A JP H0244262 B2 JPH0244262 B2 JP H0244262B2
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- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 21
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000634 powder X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Catalysts (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は光機能材料、半導体材料および触媒材
料として有用な新規化合物であるInGaZn6O9で示
される六方晶系の層状構造を有する化合物および
その製造法に関する。 従来技術 従来、(Yb3+Fe3+O3)oFe2+O(nは整数を表わ
す)で示される六方晶系の層状構造を有する化合
物は本出願人によつて合成され知られている。 YbFe2O4、Yb2Fe3O7、Yb3Fe4O10及び
Yb4Fe5O13の六方晶系としての格子定数、YbO1.5
層、FeO1.5層、Fe2O2.5層の単位格子内における
層数を示すと表−1の通りである。 これらの化合物は酸化鉄(FeO)1モルに対し
て、YbFeO3がnモル(n=1、2、3…)の割
合で化合していると考えられる層状構造を持つ化
合物である。
料として有用な新規化合物であるInGaZn6O9で示
される六方晶系の層状構造を有する化合物および
その製造法に関する。 従来技術 従来、(Yb3+Fe3+O3)oFe2+O(nは整数を表わ
す)で示される六方晶系の層状構造を有する化合
物は本出願人によつて合成され知られている。 YbFe2O4、Yb2Fe3O7、Yb3Fe4O10及び
Yb4Fe5O13の六方晶系としての格子定数、YbO1.5
層、FeO1.5層、Fe2O2.5層の単位格子内における
層数を示すと表−1の通りである。 これらの化合物は酸化鉄(FeO)1モルに対し
て、YbFeO3がnモル(n=1、2、3…)の割
合で化合していると考えられる層状構造を持つ化
合物である。
【表】
発明の目的
本発明はYbFeO3)oFeOの化学式において、n
=1/6に相当し、Yb3+の代わりにIn3+を、Fe3+の
代わりにGa3+を、Fe2+の代わりにZn2+を置きか
えて得られた新規な化合物を提供するにある。 発明の構成 本発明のInGaZn6O9で示される化合物は、イオ
ン結晶モデルでは、In3+(Ga3+、Zn2+)
Zn5 2+O9 2-として記載され、その構造はInO1.5層、
(Ga3+、Zn2+)O2.5層およびZnO層の積層によつ
て形成されており、著しい構造異方性を持つこと
がその特徴の一つである。Zn2+イオンの1/6は
Ga3+と共に(Ga3+、Zn2+)O2.5層を作り、残り
の5/6はZnO層を作つている。六方晶系としての
格子定数は次の通りである。 a=3.275±0.001(Å) c=43.26±0.01(Å) この化合物の面指数(hkl)、面間隔(d(Å))
(dpは実測値、dcは計算値を示す)およびX線に
対する相対反射強度(I%)を示すと、表−2の
通りである。 この化合物は光機能材料、半導体材料、触媒材
料等に有用なものである。
=1/6に相当し、Yb3+の代わりにIn3+を、Fe3+の
代わりにGa3+を、Fe2+の代わりにZn2+を置きか
えて得られた新規な化合物を提供するにある。 発明の構成 本発明のInGaZn6O9で示される化合物は、イオ
ン結晶モデルでは、In3+(Ga3+、Zn2+)
Zn5 2+O9 2-として記載され、その構造はInO1.5層、
(Ga3+、Zn2+)O2.5層およびZnO層の積層によつ
て形成されており、著しい構造異方性を持つこと
がその特徴の一つである。Zn2+イオンの1/6は
Ga3+と共に(Ga3+、Zn2+)O2.5層を作り、残り
の5/6はZnO層を作つている。六方晶系としての
格子定数は次の通りである。 a=3.275±0.001(Å) c=43.26±0.01(Å) この化合物の面指数(hkl)、面間隔(d(Å))
(dpは実測値、dcは計算値を示す)およびX線に
対する相対反射強度(I%)を示すと、表−2の
通りである。 この化合物は光機能材料、半導体材料、触媒材
料等に有用なものである。
【表】
【表】
この化合物は次の方法によつて製造し得られ
る。 金属インジウムあるいは酸化インジウムもしく
は加熱により酸化インジウムに分解される化合物
と、金属ガリウムあるいは酸化ガリウムもしくは
加熱により酸化ガリウムに分解される化合物と、
金属亜鉛あるいは酸化亜鉛もしくは加熱により酸
化亜鉛に分解される化合物とを、In、Gaおよび
Znの割合が原子比で1対1対6の割合で混合し、
該混合物を800℃以上の温度で、大気中、酸化性
雰囲気中あるいはInおよびGaが各々3価イオン
状態、Znが2価イオン状態より還元されない還
元雰囲気中で加熱することによつて製造し得られ
る。 本発明に用いる出発物質は市販のものをそのま
ま使用してもよいが、化学反応を速やかに進行さ
せるためには粒径が小さい方がよく、特に10μm
以下であることが好ましい。 また、光機能材料、半導体材料として用いる場
合には不純物の混入をきらうので、純度の高いこ
とが好ましい。出発物質が加熱により金属酸化物
を得る化合物としては、それぞれの金属の水酸化
物、炭酸塩、硝酸塩等が挙げられる。 原料はそのまま、あるいはアルコール類、アセ
トン等と共に充分に混合する。 原料の混合割合は、In、Ga、及びZnの割合が
原子比で1対1対6の割合であることが必要であ
る。これをはずすと目的とする化合物の単一相を
得ることができない。 この混合物を大気中、酸化性雰囲気中あるいは
InおよびGaが各々3価イオン状態、Znが2価イ
オン状態から還元されない還元雰囲気中で800℃
以上のもとで加熱する。加熱時間は数時間もしく
はそれ以上である。加熱の際の昇温速度には制約
はない。加熱終了後急冷するか、あるいは大気中
に急激に引き出せばよい。 得られたInGaZn6O9化合物の粉末は無色であ
り、粉末X線回折法によつて結晶構造を有するこ
とが分かつた。その結晶構造は層状構造であり、
ScO1.5層、(Ga、Zn)O2.5層、およびZnO層の積
み重ねによつて形成されていることが分かつた。 実施例 純度99.99%以上の酸化インジウム(In2O3)粉
末、純度99.99%以上の酸化ガリウム(Ga2O3)
粉末および試薬特級の酸化亜鉛(ZnO)粉末をモ
ル比で1対1対12の割合に秤量し、めのう乳鉢内
でエタノールを加えて、約30分間混合し、平均粒
径数μmの微粉末混合物を得た。該混合物を白金
管内に封入し、1450℃に設定された管状シリコニ
ツト炉内に入れ8日間加熱し、その後、試料を炉
外にとりだし室温まで急速に冷却した。得られた
試料はInGaZn6O9単一相であり、粉末X線回折法
によつて面指数(hkl)、面間隔(dp)および相対
反射強度(I%)を測定した。その結果は表−2
の通りであつた。 六方晶系としての格子定数は a=3.275±0.001(Å) c=43.26±0.01(Å) であつた。 上記の格子定数および表−2の面指数(hkl)
より算出した面間隔(dc(Å))は実測の面間隔
(dp(Å))と極めてよく一致した。 発明の効果 本発明は光機能材料、半導体材料及び触媒とし
て有用な新規化合物を提供する。
る。 金属インジウムあるいは酸化インジウムもしく
は加熱により酸化インジウムに分解される化合物
と、金属ガリウムあるいは酸化ガリウムもしくは
加熱により酸化ガリウムに分解される化合物と、
金属亜鉛あるいは酸化亜鉛もしくは加熱により酸
化亜鉛に分解される化合物とを、In、Gaおよび
Znの割合が原子比で1対1対6の割合で混合し、
該混合物を800℃以上の温度で、大気中、酸化性
雰囲気中あるいはInおよびGaが各々3価イオン
状態、Znが2価イオン状態より還元されない還
元雰囲気中で加熱することによつて製造し得られ
る。 本発明に用いる出発物質は市販のものをそのま
ま使用してもよいが、化学反応を速やかに進行さ
せるためには粒径が小さい方がよく、特に10μm
以下であることが好ましい。 また、光機能材料、半導体材料として用いる場
合には不純物の混入をきらうので、純度の高いこ
とが好ましい。出発物質が加熱により金属酸化物
を得る化合物としては、それぞれの金属の水酸化
物、炭酸塩、硝酸塩等が挙げられる。 原料はそのまま、あるいはアルコール類、アセ
トン等と共に充分に混合する。 原料の混合割合は、In、Ga、及びZnの割合が
原子比で1対1対6の割合であることが必要であ
る。これをはずすと目的とする化合物の単一相を
得ることができない。 この混合物を大気中、酸化性雰囲気中あるいは
InおよびGaが各々3価イオン状態、Znが2価イ
オン状態から還元されない還元雰囲気中で800℃
以上のもとで加熱する。加熱時間は数時間もしく
はそれ以上である。加熱の際の昇温速度には制約
はない。加熱終了後急冷するか、あるいは大気中
に急激に引き出せばよい。 得られたInGaZn6O9化合物の粉末は無色であ
り、粉末X線回折法によつて結晶構造を有するこ
とが分かつた。その結晶構造は層状構造であり、
ScO1.5層、(Ga、Zn)O2.5層、およびZnO層の積
み重ねによつて形成されていることが分かつた。 実施例 純度99.99%以上の酸化インジウム(In2O3)粉
末、純度99.99%以上の酸化ガリウム(Ga2O3)
粉末および試薬特級の酸化亜鉛(ZnO)粉末をモ
ル比で1対1対12の割合に秤量し、めのう乳鉢内
でエタノールを加えて、約30分間混合し、平均粒
径数μmの微粉末混合物を得た。該混合物を白金
管内に封入し、1450℃に設定された管状シリコニ
ツト炉内に入れ8日間加熱し、その後、試料を炉
外にとりだし室温まで急速に冷却した。得られた
試料はInGaZn6O9単一相であり、粉末X線回折法
によつて面指数(hkl)、面間隔(dp)および相対
反射強度(I%)を測定した。その結果は表−2
の通りであつた。 六方晶系としての格子定数は a=3.275±0.001(Å) c=43.26±0.01(Å) であつた。 上記の格子定数および表−2の面指数(hkl)
より算出した面間隔(dc(Å))は実測の面間隔
(dp(Å))と極めてよく一致した。 発明の効果 本発明は光機能材料、半導体材料及び触媒とし
て有用な新規化合物を提供する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 InGaZn6O9で示される六方晶系の層状構造を
有する化合物。 2 金属インジウムあるいは酸化インジウムもし
くは加熱により酸化インジウムに分解される化合
物と、金属ガリウムあるいは酸化ガリウムもしく
は加熱により酸化ガリウムに分解される化合物
と、金属亜鉛あるいは酸化亜鉛もしくは加熱によ
り酸化亜鉛に分解される化合物とを、In、Ga及
びZnの割合が原子比で1対1対6の割合で混合
し、該混合物を800℃以上の温度で、大気中、酸
化性雰囲気中あるいはInおよびGaが各々3価イ
オン状態、Znが2価イオン状態より還元されな
い還元雰囲気中で加熱することを特徴とする
InGaZn6O9で示される六方晶系の層状構造を有す
る化合物の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4566887A JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4566887A JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63215519A JPS63215519A (ja) | 1988-09-08 |
| JPH0244262B2 true JPH0244262B2 (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=12725764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4566887A Expired - Lifetime JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244262B2 (ja) |
Families Citing this family (1516)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
| TWI569441B (zh) | 2005-01-28 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
| US7928938B2 (en) | 2005-04-19 | 2011-04-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device including memory circuit, display device and electronic apparatus |
| US8629819B2 (en) | 2005-07-14 | 2014-01-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
| WO2007034935A1 (en) | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Cyclic redundancy check circuit and semiconductor device having the cyclic redundancy check circuit |
| EP1935027B1 (en) | 2005-10-14 | 2017-06-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| EP1843194A1 (en) | 2006-04-06 | 2007-10-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device, semiconductor device, and electronic appliance |
| JP5542297B2 (ja) | 2007-05-17 | 2014-07-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置、表示モジュール及び電子機器 |
| JP4989309B2 (ja) | 2007-05-18 | 2012-08-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置 |
| WO2009014155A1 (en) | 2007-07-25 | 2009-01-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and electronic device having the same |
| US9041202B2 (en) | 2008-05-16 | 2015-05-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
| US8314765B2 (en) | 2008-06-17 | 2012-11-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Driver circuit, display device, and electronic device |
| KR102549916B1 (ko) | 2008-07-10 | 2023-06-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광장치 및 전자기기 |
| TWI413260B (zh) | 2008-07-31 | 2013-10-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置及其製造方法 |
| US8945981B2 (en) | 2008-07-31 | 2015-02-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US9666719B2 (en) | 2008-07-31 | 2017-05-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| TWI500159B (zh) | 2008-07-31 | 2015-09-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置和其製造方法 |
| TWI495108B (zh) | 2008-07-31 | 2015-08-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
| JP5480554B2 (ja) | 2008-08-08 | 2014-04-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
| TWI500160B (zh) | 2008-08-08 | 2015-09-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置及其製造方法 |
| TWI637444B (zh) | 2008-08-08 | 2018-10-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
| US9082857B2 (en) | 2008-09-01 | 2015-07-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising an oxide semiconductor layer |
| JP5627071B2 (ja) | 2008-09-01 | 2014-11-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
| TWI606592B (zh) | 2008-09-01 | 2017-11-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
| KR101812935B1 (ko) | 2008-09-12 | 2018-01-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 디스플레이 장치 |
| WO2010029866A1 (en) | 2008-09-12 | 2010-03-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
| KR101772377B1 (ko) | 2008-09-12 | 2017-08-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
| WO2010032638A1 (en) | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
| WO2010032619A1 (en) | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
| KR102246123B1 (ko) | 2008-09-19 | 2021-04-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
| WO2010032629A1 (en) | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
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-
1987
- 1987-02-27 JP JP4566887A patent/JPH0244262B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63215519A (ja) | 1988-09-08 |
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