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KR100633367B1 - 전기 광학 장치, 매트릭스 기판, 및 전자 기기 - Google Patents

전기 광학 장치, 매트릭스 기판, 및 전자 기기 Download PDF

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KR100633367B1
KR100633367B1 KR1020030064004A KR20030064004A KR100633367B1 KR 100633367 B1 KR100633367 B1 KR 100633367B1 KR 1020030064004 A KR1020030064004 A KR 1020030064004A KR 20030064004 A KR20030064004 A KR 20030064004A KR 100633367 B1 KR100633367 B1 KR 100633367B1
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KR
South Korea
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line
electrode layer
power supply
electro
electrode
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KR1020030064004A
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KR20040027341A (ko
Inventor
마츠에다요지로
나카니시하야토
Original Assignee
세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Publication date
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Publication of KR20040027341A publication Critical patent/KR20040027341A/ko
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Abstract

본 발명은 전기 광학 소자의 공통 전극에 충분한 전력을 공급할 수 있는 전원 배선 구조를 구비한 전기 광학 장치를 제안하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 전기 광학 장치는, 기판(15)의 유효 영역(11)의 위쪽에 형성된 제 1 전극층과 상기 제 1 전극층의 위쪽에 설치된 제 2 전극층(14)을 포함하는 적층 구조에 의해 전기 광학 소자를 구성하는 전기 광학 장치로서, 상기 제 1 전극층에 전압 공급을 행하는 제 1 전원선과, 상기 제 2 전극층과 전기적으로 접속된 제 2 전원선(16)을 포함하고, 상기 제 1 전원선 및 상기 제 2 전원선은 모두 상기 유효 영역의 위쪽, 또한, 상기 제 1 전극층과 동층(同層) 또는 상기 제 1 전극층보다 하층에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
화소, 전원선, 전극층

Description

전기 광학 장치, 매트릭스 기판, 및 전자 기기{ELECTROOPTIC APPARATUS, MATRIX SUBSTRATE AND ELECTRONIC INSTRUMENT}
도 1은 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널의 전체 구성도.
도 2는 화소의 주요 회로 구성도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 배선 레이아웃의 설명도.
도 4는 도 3의 A-A'선 단면도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 배선 레이아웃의 설명도.
도 6은 도 5의 B-B'선 단면도.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 배선 레이아웃의 설명도.
도 8은 도 7의 C-C'선 단면도.
도 9는 도 7의 D-D'선 단면도.
도 10은 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널의 적용 예를 나타내는 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 화소
11 : 화소 영역
12 : 주사선 드라이버
13 : 데이터선 드라이버
14 : 음극
15 : 기판
16 : 음극 보조 배선
16-1 : 제 1 음극 보조 배선
16-2 : 제 2 음극 보조 배선
17 : 화소 전극
18 : ITO층
19 : 뱅크층
20 : 평탄화막
21 : 층간절연막
30 : 다층 적층 구조
100 : 유기 EL 디스플레이 패널
Tr1 : 스위칭 트랜지스터
Tr2 : 구동 트랜지스터
C : 유지 용량
OLED : 발광부
Vsel : 주사선
Idat : 데이터선
Vdd : 전원 공급선
본 발명은 전기 광학 소자를 구비한 전기 광학 장치에 적합한 전원 배선 구조에 관한 것이다.
유기 EL 소자는 전류 구동형 자발광 소자이기 때문에, 백라이트가 불필요해지며, 저(低)소비전력, 고(高)시야각, 고(高)콘트라스트비가 얻어지는 장점이 있어, 플랫 패널 디스플레이의 개발에서 기대되고 있다. 유기 EL 소자는 형광성 물질을 함유하는 발광층을 양극과 음극 사이에 끼워 구성되는 전기 광학 소자이며, 양 전극 사이에 순(順)바이어스 전류를 공급함으로써, 양극으로부터 주입된 정공과 음극으로부터 주입된 전자가 재결합할 때의 재결합 에너지에 의해 자발광(自發光)한다. 이 때문에, 유기 EL 소자를 발광시키기 위해서는, 외부 회로로부터의 전원 공급이 필요하게 된다. 종래의 액티브 매트릭스 구동형 유기 EL 디스플레이 패널에서는, 화소 영역에 마련된 각각의 화소에 양극으로 되는 화소 전극을 배치하는 반면, 공통 전극으로서의 음극을 화소 영역 전체에 피복하는 구성을 채용하는 것이 일반적이었다. 예를 들면, 일본국 특개평11-24606호 공보에는, 배선 레이아웃의 최적화에 의해 저소비전력 및 발광 효율을 향상시키는 것을 특징으로 한 표시 장치에 대해서 개시되어 있다.
그러나, 전기 광학 소자를 사용하여 디스플레이 패널을 실현하기 위해서는, 공통 전극의 배선 저항이 문제로 된다. 즉, 공통 전극의 배선 저항이 크면, 화면 중앙부의 화소의 전압 강하가 커지기 때문에, 화면 중앙 부근에 충분한 전류를 공급할 수 없고, 정확한 계조 표시가 곤란해져, 디스플레이 패널의 표시 성능이 저하된다. 이러한 문제는 디스플레이 패널이 대형화 될수록 공통 전극의 배선 저항이 커지기 때문에, 심각한 문제로 된다.
특히, 투명 음극 측으로부터 광을 사출하는 톱 이미션(top-emission) 구조에서는, 메탈층과 같은 저(低)저항값을 갖는 광투과성 전극으로 되는 적합한 재료는 아직 개발되지 않아, 공통 전극의 저저항화가 과제로 되고 있다.
그래서, 본 발명은 전기 광학 소자의 공통 전극에 충분한 전력을 공급할 수 있는 전원 배선 구조를 구비한 전기 광학 장치 및 매트릭스 기판을 제안하는 것을 과제로 한다. 또한, 본 발명은 디스플레이 패널의 프레임 협소화를 실현할 수 있는 전기 광학 장치 및 매트릭스 기판을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 전기 광학 장치는, 기판의 유효 영역의 위쪽에 형성된 제 1 전극층과 상기 제 1 전극층의 위쪽에 설치된 제 2 전극층을 포함하는 적층 구조에 의해 전기 광학 소자를 구성하는 전기 광학 장치로서, 상기 제 1 전극층에 전압 공급을 행하는 제 1 전원선과, 상기 제 2 전극층과 전기적으로 접속된 제 2 전원선을 포함하고, 상기 제 1 전원선 및 상기 제 2 전원선은 모두 상기 유효 영역의 위쪽, 또한, 상기 제 1 전극층과 동층(同層) 또는 상기 제 1 전극층보다 하층에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 기판의 유효 영역 상에 적층된 다층 적층 구조의 어느 하나의 층에 제 2 전극층과 전기적으로 접속하는 제 2 전원선을 형성함으로써, 제 2 전극층이 고저항화되어도 충분한 전력을 공급할 수 있다. 또한, 제 2 전극층과 제 2 전원선의 전기적인 접속점을 다층 적층 구조 내부에 마련할 수 있기 때문에, 디스플레이 패널의 프레임 협소화를 실현할 수 있다.
여기서, 「전기 광학 소자」는 전기적 작용에 의해 광의 광학적 상태를 변화시키는 전자 소자 일반을 의미하고, 일렉트로루미네선스 소자 등의 자발광 소자 이외에, 액정 소자와 같이 광의 편향 상태를 변화시킴으로써 계조 표시하는 전자 소자를 포함한다. 또한, 「유효 영역」은 기판 상에서 전기 광학 표시에 기여하는 영역, 즉, 전기 광학 소자가 형성되어야 할 영역을 의미하고, 본 실시예의 「표시 영역」과 동일한 의미이다. 「다층 적층 구조」는 기판 상에 적층되는 각종의 박막으로 이루어지는 적층 구조를 의미하고, 전기 광학 소자를 구성하는 디바이스층뿐만 아니라, 층간절연막이나, 전극층, 전원선 등을 포함하는 것으로 한다. 또한, 본 발명에서 제 1 전극층과 제 1 전원선 사이에는 트랜지스터 등의 전자 소자가 개재될 수도 있다.
또한, 제 1 전원선과 제 2 전원선은 제조 프로세스의 상황 때문에 동일 층(동일 레이어)에 형성되어 있을 수도 있고, 각각 다른 층에 형성되어 있을 수도 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 1 전원선과 상기 제 2 전원선의 적어도 일부는 동일 층에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으 로써, 제조 프로세스를 간이화할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전극층은 상기 전기 광학 소자에 대하여 음극으로서 기능하는 것이 바람직하다. 제 2 전극층을 음극으로 함으로써, 전기 광학 소자의 음극의 저항값을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전원선은 음극 보조 배선으로서 기능하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 전기 광학 소자의 음극에 충분한 전력을 공급할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전극층은 투광성을 갖는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 제 2 전극층 측으로부터 광을 사출하는 톱 이미션 구조를 실현할 수 있고, 개구율을 높일 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전원선은 상기 다층 적층 구조를 구성하는 어느 하나의 층에서 소정의 분산 밀도로 라인 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 제 2 전원선이 소정의 분산 밀도로 분산됨으로써, 제 2 전극층의 저항값을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전원선과 상기 제 2 전극층은 상기 다층 적층 구조의 다른 층에 형성되어 있고, 양자는 상기 다층 적층 구조 내에서 전기적으로 접속하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 전원선과 제 2 전극층의 전기적인 접속 위치를 다층 적층 구조체 내부에 마련함으로써, 디스플레이 패널의 프레임 협소화를 실현할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전원선과 상기 제 2 전극층 이 전기적으로 접속하는 위치는 상기 제 2 전원선의 연장설치 방향을 따라 복수 개소에 점재(點在)하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 전원선과 제 2 전극층의 전기적인 접속점을 복수 개소 마련함으로써, 제 2 전극층의 저저항화를 실현할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전원선과 상기 제 2 전극층은 층간절연막을 통하여 다른 층에 형성되어 있고, 양자는 상기 층간절연막에 개구된 콘택트 홀을 통하여 전기적으로 접속하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 전극층과 제 2 전원선을 다층 적층 구조체의 다른 층에 형성함으로써, 양자의 형성 공정을 분리할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 전기 광학 소자는 대략 직각 2방향으로 배열되어 있고, 상기 제 2 전원선의 배열 방향은 대략 직각 2방향으로 배열되는 전기 광학 소자의 배열 방향 중 어느 하나의 배열 방향과 대략 평행한 것이 바람직하다. 제 2 전원선의 배열 방향을 전기 광학 소자의 배열 방향과 평행으로 함으로써, 직각 2방향으로 배열되는 전기 광학 소자의 제 2 전극층에 충분한 전력을 공급할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 제 2 전원선의 배열 피치는 등간격인 것이 바람직하다. 제 2 전원선을 등간격으로 배열함으로써, 직각 2방향으로 배열되는 전기 광학 소자에 대하여 균등하게 전력을 공급할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치에 있어서, 상기 전기 광학 소자는 일렉트로루미네선스 소자인 것이 바람직하다. 일렉트로루미네선스 소자를 사용함으로써, 전류 구동에 의해 발광 계조를 조정할 수 있다.
본 발명의 전자 기기는 상기 전기 광학 장치를 구비한다. 전자 기기로서는, 표시 장치를 구비하는 것이라면 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 휴대 전화, 비디오 카메라, 퍼스널 컴퓨터, 헤드 마운트 디스플레이, 프로젝터, 팩스 장치, 디지털 카메라, 휴대형 TV, DSP 장치, PDA, 전자 수첩 등에 적용할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판은, 제 1 전극층과 제 2 전극층을 포함하는 다층 적층 구조로 이루어지는 전기 광학 소자를 형성하기 위한 매트릭스 기판으로서, 기판의 위쪽에 형성된 제 1 전극층과, 상기 제 1 전극층에 전압 공급을 행하는 제 1 전원선과, 상기 제 1 전극층의 위쪽에 형성되어야 할 제 2 전극층과 전기적으로 접속하기 위한 제 2 전원선을 포함하고, 상기 제 1 전원선 및 상기 제 2 전원선은 모두 상기 유효 영역의 위쪽, 또한, 상기 제 1 전극층과 동층 또는 상기 제 1 전극층보다 하층에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 기판의 유효 영역 상에 적층되어야 할 전기 광학 소자의 다층 적층 구조의 어느 하나의 층에 제 2 전극층과 전기적으로 접속하기 위한 제 2 전원선을 형성함으로써, 제 2 전극층이 고저항화되어도 전기 광학 소자에 충분한 전류를 공급할 수 있다. 또한, 제 2 전극층과 제 2 전원선의 전기적인 접속점을 전기 광학 소자의 다층 적층 구조 내부에 마련할 수 있기 때문에, 디스플레이 패널의 프레임 협소화를 실현할 수 있다. 여기서, 「매트릭스 기판」은 전기 광학 소자가 아직 형성되지 않은 배선 기판을 의미하는 것으로 한다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 1 전원선과 상기 제 2 전원선의 적어도 일부는 동일 층에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로 써, 제조 프로세스를 간이화할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전극층은 상기 전기 광학 소자에 대하여 음극으로서 기능하는 것이 바람직하다. 제 2 전극층을 음극으로 함으로써, 전기 광학 소자의 음극의 저항값을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선은 음극 보조 배선으로서 기능하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 전기 광학 소자의 음극에 충분한 전력을 공급할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전극층은 투광성을 갖는 것이 바람직하다.
이것에 의해, 제 2 전극층 측으로부터 광을 사출하는 톱 이미션 구조를 실현할 수 있고, 개구율을 높일 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선은 상기 다층 적층 구조를 구성하는 어느 하나의 층에서 소정의 분산 밀도로 라인 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 제 2 전원선이 소정의 분산 밀도로 분산됨으로써, 제 2 전극층의 저항값을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선과 상기 제 2 전극층은 상기 다층 적층 구조의 다른 층에 형성되어 있고, 양자는 상기 다층 적층 구조 내에서 전기적으로 접속하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 전원선과 제 2 전극층의 전기적인 접속 위치를 다층 적층 구조체 내부에 마련함으로써, 디스플레이 패널의 프레임 협소화를 실현할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선과 상기 제 2 전극층이 전기적으로 접속하는 위치는 상기 제 2 전원선의 연장설치 방향을 따라 복수 개소에 점재하고 있는 것이 바람직하다.
제 2 전원선과 제 2 전극층의 전기적인 접속점을 복수 개소 마련함으로써, 제 2 전극층의 저저항화를 실현할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선과 상기 제 2 전극층은 층간절연막을 통하여 다른 층에 형성되어 있고, 양자는 상기 층간절연막에 개구된 콘택트 홀을 통하여 전기적으로 접속하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 전극층과 제 2 전원선을 다층 적층 구조체의 다른 층에 형성함으로써, 양자의 형성 공정을 분리할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선의 배열 방향은 대략 직각 2방향으로 배열되어야 할 전기 광학 소자의 배열 방향 중 어느 하나의 배열 방향과 대략 평행한 것이 바람직하다. 제 2 전원선의 배열 방향을 전기 광학 소자의 배열 방향과 평행으로 함으로써, 직각 2방향으로 배열되는 전기 광학 소자의 제 2 전극층에 충분한 전력을 공급할 수 있다.
본 발명의 매트릭스 기판에 있어서, 상기 제 2 전원선의 배열 피치는 등간격인 것이 바람직하다. 제 2 전원선을 등간격으로 배열함으로써, 직각 2방향으로 배열되는 전기 광학 소자에 대하여 균등하게 전력을 공급할 수 있다.
[실시예 1]
이하, 각 도면을 참조하여 본 실시예에 대해서 설명한다.
도 1은 본 실시예의 액티브 매트릭스형 유기 EL 디스플레이 패널(100)의 전체 구성도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판(15)에는 표시 영역(11) 상에 형성된 다층 적층 구조에 의해 구성되는 복수의 화소(10)와, 행방향으로 배열되는 일 그룹의 화소(10)에 접속하는 주사선에 주사 신호를 출력하는 주사선 드라이버(12)와, 열방향으로 나열되는 일 그룹의 화소(10)에 접속하는 데이터선 및 전원 공급선에 데이터 신호 및 전원 전압을 공급하는 데이터선 드라이버(13)가 배치되어 있다. 화소(10)는 N행 M열의 직각 2방향으로 배열되어 있고, 화소 매트릭스를 형성하고 있다. 각각의 화소(10)에는 RGB 3원색으로 발광하는 유기 EL 소자가 형성되어 있다. 표시 영역(11) 상에 형성된 다층 적층 구조의 전면(全面)에는 공통 전극으로서의 음극(14)이 피복 성막되어 있다. 음극(14)에 사용되는 재료로서는, 전자를 가능한 한 많이 주입할 수 있는 재료, 즉, 일함수가 작은 재료가 바람직하다. 이러한 도전 재료로서는, 칼슘, 리튬, 알루미늄 등의 금속 박막이 적합하다.
또한, 도 1에 나타낸 유기 EL 디스플레이 패널(100)은 기판(15) 측으로부터 광을 사출하는 이른바 바텀 이미션(bottom-emission) 구조의 타입이나, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 음극(14)으로서 광투과성의 도전막을 사용함으로써, 음극(14)으로부터 광을 사출하는 이른바 톱 이미션 구조의 타입일 수도 있다. 톱 이미션 구조를 채용할 경우에는, 음극(14)으로서, ITO 등의 광투과성 도전 재료 이외에, 칼슘, 리튬, 알루미늄 등의 금속 박막을 광투과 가능한 정도로 박막 처리한 도전성 반투명 금속층을 사용할 수 있다. 도전성 반투명 금속층을 사용함으로써, 음극(14)의 저저항화를 실현할 수 있다.
도 2는 화소(10)의 주요 회로 구성도이다. 화소(10)는 스위칭 트랜지스터(Tr1)와, 구동 트랜지스터(Tr2)와, 유지 용량(C)과, 발광부(OLED)를 구비하여 구성되어 있고, 2트랜지스터 방식에 의해 구동 제어된다. 스위칭 트랜지스터(Tr1)는 n채널형 FET이며, 그 게이트 단자에는 주사선(Vsel)이 접속되어 있고, 드레인 단자에는 데이터선(Idat)이 접속하고 있다. 구동 트랜지스터(Tr2)는 p채널형 FET이며, 그 게이트 단자는 스위칭 트랜지스터(Tr1)의 소스 단자에 접속되어 있다. 또한, 상기 트랜지스터의 소스 단자는 전원 공급선(Vdd)에 접속되어 있고, 그 드레인 단자는 발광부(OLED)에 접속하고 있다. 또한, 상기 트랜지스터의 게이트와 소스 사이에는 유지 용량(C)이 형성되어 있다. 상기 구성에서 주사선(Vsel)에 선택 신호를 출력하고, 스위칭 트랜지스터(Tr1)를 개방 상태로 하면, 데이터선(Idat)을 통하여 공급된 데이터 신호는 전압값으로서 유지 용량(C)에 기록된다. 그리하면, 유지 용량(C)에 기록된 유지 전압은 1프레임 기간을 통하여 유지되고, 상기 유지 전압에 의해, 구동 트랜지스터(Tr2)의 컨덕턴스가 아날로그적으로 변화하며, 발광 계조에 대응한 순바이어스 전류를 발광부(OLED)에 공급한다.
도 3은 화소 영역 내에서의 배선 레이아웃을 설명하기 위한 도면이다. 본 발명에서는 음극(14)의 저저항화를 실현하기 위해, 표시 영역(11) 상에 적층된 다층 적층 구조의 상면을 피복하는 면 형상의 음극(14)과는 다른 층에 세선(細線) 형상의 음극 보조 배선(16)을 형성하고, 층간절연막을 통하여 양자를 전기적으로 콘택트한다. 음극 보조 배선(16)을 형성하는 층은 특별히 한정되지 않지만, 디스플레이의 제조 프로세스를 고려하면, 주사선(Vsel) 등의 메탈 배선과 동일한 제조 공정으로 동일한 층 상에 형성함으로써, 프로세스 수를 증대시키지 않고, 저렴한 비용으로 제조할 수 있다. 주사선(Vsel)과 동일한 공정으로 형성되는 음극 보조 배선(16)은 게이트 메탈층이라고 칭할 수도 있다. 또한, 음극 보조 배선(16)을 형성하는 위치는 가능한 한 화소(10)의 데드 스페이스(dead space)를 이용하는 것이 바람직하다. 상기 데드 스페이스는 데이터선(Idat), 주사선(Vsel), 전원 공급선(Vdd), 스위칭 트랜지스터(Tr1) 등의 각각의 레이아웃 위치에 따라 다르기 때문에, 각종 레이아웃에 최적인 위치를 선택하여 음극 보조 배선(16)을 형성한다. 다만, 데이터선(Idat)에 대하여 평면적으로 겹치는 위치에 음극 보조 배선(16)을 형성하면, 데이터선(Idat)과 음극 보조 배선(16) 사이에 기생 용량이 생겨, 유지 용량(C)으로의 데이터의 기록 부족이 생기는 경우가 있기 때문에, 데이터선(Idat)과의 위치 관계를 고려하여 음극 보조 배선(16)을 형성한다.
도 3에 나타낸 예에서는, 2개의 주사선(Vsel)으로 이루어지는 1세트의 주사선과 음극 보조 배선(16)이 번갈아 행방향으로 레이아웃되어 있다. 즉, N/2개의 음극 보조 배선(16)이 1행 간격으로 형성되어 있다. 주사선(Vsel)과 음극 보조 배선(16)은 각각 동일 층에서 메탈 배선을 일괄적으로 패터닝함으로써 얻어지고, 음극 보조 배선(16)의 선폭은 2개의 주사선(Vsel)의 합계 선폭과 대략 동일해지도록 조정되어 있다. 한편, 열방향에는 데이터선(Idat)과 전원 공급선(Vdd)이 각각의 열방향으로 1열당 1개씩 배선되어 있다. 도 3에 나타낸 배선 패턴은 주기적으로 반복되는 일 단위를 나타내는 것이며, 다층 적층 구조 내의 모든 화소(10)에 대해서 도 3에 나타낸 배선 레이아웃으로 되어 있다. 즉, 본 실시예의 배선 레이아웃은 임의의 행에 대하여 선대칭으로 되고, 화소 피치는 행방향 및 열방향에 대하여 등간격으로 설정되어 있다. 또한, 데이터선(Idat)과 주사선(Vsel)이 교차하는 위치에는 스위칭 트랜지스터(Tr1)가 형성되어 있다. 상기 트랜지스터의 소스 단자의 연장 방향에는 구동 트랜지스터(Tr2)의 게이트 단자가 위치하고 있으며, 구동 트랜지스터(Tr2)의 드레인 단자는 콘택트 홀(h1)을 통하여 화소 전극(17)과 도통하고 있다. 전원 공급선(Vdd) 상에는 화소 전극(17)의 길이 방향과 평행하게 유지 용량(C)이 형성되어 있다.
도 4는 도 3의 A-A'선 단면도이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(15) 상에는 음극 보조 배선(16), 층간절연막(21), 소스 메탈층(22), 평탄화막(20), ITO층(18), 및 뱅크층(19)이 차례로 적층되어 이루어지는 다층 적층 구조(30)가 형성되어 있다. 이 다층 적층 구조(30)는 표시 영역(11) 상에 형성되어 있는 것이다. 다층 적층 구조(30)의 상층에는 음극(14)이 성막되어 있다. 층간절연막(21)은 데이터선(Idat) 및 주사선(Vsel)을 음극 보조 배선(16)으로부터 전기적으로 분리하 기 위한 절연막이고, 층간절연막(21) 상에는 데이터선(Idat) 및 주사선(Vsel)과 동일한 공정으로 패터닝된 소스 메탈층(22)이 섬 형상으로 형성되어 있다. 소스 메탈층(22)은 층간절연막(21) 내에 개구되는 콘택트 홀(h5)을 통하여 음극 보조 배선(16)과 도통하고 있다. 층간절연막(21) 상에는 평탄화 처리된 절연성의 평탄화막(20)이 적층되어 있고, 그 상층에는 섬 형상으로 패터닝된 ITO층(18)이 형성되어 있다. ITO층(18)과 소스 메탈층(22)은 평탄화막(20)에 개구되는 콘택트 홀(h3)을 통하여 도통하고 있다. 콘택트 홀(h3)은 음극 보조 배선(16)의 연장설치 방향을 따라 복수 개구되어 있으며, ITO층(18)과 소스 메탈층(22)의 접속점을 다수 마련함으로써 전기 저항값을 저감시키고 있다.
한편, 평탄화막(20)의 상층에는 감광성 유기 재료 등으로 이루어지는 뱅크층(19)이 성막되어 있다. 뱅크층(19)은 각각의 화소(10)를 구획하는 구획 부재이고, 타원 형상의 개구부(h2)가 화소 전극(17) 상에 위치하도록 정밀한 얼라인먼트 조정 하에서 개구되어 있다(도 3 참조). 개구부(h2) 내에서 표면에 노출되는 화소 전극(17) 상에는 기판 하층 측으로부터 정공 수송층 및 발광층이 차례로 성막되고, 공통 전극으로서의 음극(14)이 표시 영역(11) 상에 적층된 다층 적층 구조(30)의 상면을 피복하도록 더 성막된다. 이것에 의해, 음극/발광층/정공 수송층/화소 전극으로 이루어지는 발광부(OLED)가 형성된다.
발광부(OLED)를 구성하는 디바이스층의 적층 구조로서는, 상기 구성에 한정되지 않으며, 음극/발광층/화소 전극, 음극/전자 수송층/발광층/화소 전극, 음극/ 전자 수송층/발광층/정공 수송층/화소 전극 등의 구성일 수도 있다. 즉, 정공 수송층과 전자 수송층은 반드시 필수가 아니며, 이들 층은 임의로 추가할 수 있다. 정공 수송층으로서는, 트리페닐아민 유도체(TPD), 히드라진 유도체, 아릴아민 유도체 등을 사용할 수 있다. 전자 수송층으로서는, 알루미늄 킬레이트 착체(錯體)(Alq3), 디스티릴비페닐 유도체(DPVBi), 옥사디아졸 유도체, 비스티릴안트라센 유도체, 벤조옥사졸티오펜 유도체, 페릴렌류, 티아졸류 등을 사용할 수 있다. 또한, 발광층은 유기 재료에 한정되지 않으며, 무기 재료일 수도 있다.
뱅크층(19)의 표면에는 ITO층(18)에 연결되는 위치에 정밀한 얼라인먼트 조정 하에서 개구된 개구부(h4)가 음극 보조 배선(16)의 연장설치 방향에서 복수 개소에 점재하고 있다. 뱅크층(19)의 상층에 성막된 음극(14)은 콘택트 홀(h4)을 통하여 ITO층(18)과 도통하고, 또한, 소스 메탈층(22)을 통하여 음극 보조 배선(16)과 도통하고 있다. 이와 같이, 다층 적층 구조(30) 내에 형성된 음극 보조 배선(16)과 음극(14)을 도통함으로써, 음극(14)의 전기 저항값을 저감시킬 수 있고, 화소(10)에 충분한 전류를 공급할 수 있게 구성되어 있다.
본 실시예에 의하면, 음극(14)의 저항값을 저감시키는 것이 가능해져, 각 화소에 공급되는 전류량의 불균일에 기인하는 휘도 불균일의 발생을 저감시킬 수 있게 된다. 또한, 종래에는 디스플레이 패널의 프레임에 음극(14)과 음극용 전원 배선의 콘택트 영역을 마련하고 있었으나, 본 실시예에 의하면, 다층 적층 구조(30) 내에서 음극(14)과의 콘택트를 확보할 수 있기 때문에, 프레임 협소화가 가능해져, 데드 스페이스가 적은 디스플레이 패널을 실현할 수 있다. 또한, 유기 재료 등으로 구성되는 뱅크층은 내열성 및 내약품성이 뒤떨어지기 때문에, 뱅크층 상에 음극 보조 배선(16)을 형성하는 것은 곤란하나, FET 등이 형성되어 있는 기판(15) 상이면, 음극 보조 배선(16) 등의 메탈 배선을 용이하게 형성할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 2행당 1개의 비율로 음극 보조 배선(16)을 형성했으나, 이것에 한정되지 않고, n(n은 3 이상의 정수)행당 1개의 비율로 하는 등, 적당한 분산 밀도로 음극 보조 배선(16)을 형성할 수도 있다. 또한, 음극 보조 배선(16)을 형성하는 위치는 다층 적층 구조(30) 내의 어느 하나의 층에 형성할 수 있으며, 기판(15)의 표면 상에 한정되지 않는다.
[실시예 2]
도 5는 본 발명의 제 2 실시예를 나타내는 유기 EL 디스플레이 패널(100)의 배선 레이아웃을 설명하기 위한 도면이다. 본 실시예에서는, 음극 보조 배선(16)을 열방향으로 형성하고 있는 점에서 실시예 1과 다르다. 도 5에 나타낸 예에서는, RGB 3화소로 1개의 픽셀을 구성하는 것으로 하면, 2픽셀당 3개의 비율로 음극 보조 배선(16)이 열방향으로 등간격으로 형성되어 있다. 또한, 음극 보조 배선(16)의 양측에는 2개의 데이터선(Idat)이 형성되어 있다. 인접하는 음극 보조 배선(16)끼리의 사이의 열에는 2개의 전원 공급선(Vdd)이 1세트로서 형성되어 있고, 1개의 음극 보조 배선(16)과 2개의 데이터선(Idat)의 합계 선폭과, 2개의 전원 공급선(Vdd)의 합계 선폭이 대략 동일해지도록 레이아웃되어 있다. 이것에 의해, 도 5 에 나타낸 배선 레이아웃은 임의의 열에 대하여 선대칭으로 되도록 구성되어 있다. 한편, 행방향에는 각 행당 1개의 주사선(Vsel)이 형성되어 있고, 주사선(Vsel)과 데이터선(Idat)의 교차점에 스위칭 트랜지스터(Tr1)가 형성되어 있다. 상기 트랜지스터의 소스 단자의 연장 방향에는 구동 트랜지스터(Tr2)의 게이트 단자가 위치하고 있으며, 구동 트랜지스터(Tr2)의 드레인 단자는 콘택트 홀(h1)을 통하여 화소 전극(17)과 도통하고 있다. 전원 공급선(Vdd) 상에는 화소 전극(17)의 길이 방향과 평행하게 유지 용량(C)이 형성되어 있다.
도 6은 도 5의 B-B'선 단면도이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판(15) 상에는 주사선(Vsel), 층간절연막(21), 음극 보조 배선(16), 평탄화막(20), ITO층(18), 및 뱅크층(19)이 차례로 적층되어 이루어지는 다층 적층 구조(30)가 형성되어 있다. 이 다층 적층 구조(30)는 표시 영역(11) 상에 형성되어 있는 것이다. 다층 적층 구조(30)의 상층에는 음극(14)이 성막되어 있다. 층간절연막(21)은 주사선(Vsel)을 음극 보조 배선(16)으로부터 전기적으로 분리하기 위한 절연막이고, 층간절연막(21) 상에는 음극 보조 배선(16)이 라인 형상으로 형성되어 있다.
음극 보조 배선(16) 상에 성막된 평탄화막(20) 상에는 섬 형상으로 패터닝된 ITO층(18)이 음극 보조 배선(16)의 연장설치 방향을 따라 복수 개소에 점재하고 있다. 평탄화막(20)에는 콘택트 홀(h3)이 개구되어 있으며, ITO층(18)과 음극 보조 배선(16)이 콘택트 홀(h3)을 통하여 도통하도록 구성되어 있다. 평탄화막(20)의 상층에는 감광성 유기 재료 등으로 이루어지는 뱅크층(19)이 형성되고, 화소 전극(17)의 위치에 맞추어 타원형 개구부(h2)가 형성되어 있다(도 5 참조). 개구부(h2)에는 실시예 1과 동일하게 발광부(OLED)가 형성된다.
한편, 뱅크층(19)의 표면에는 ITO층(18)에 연결되는 위치에 정밀한 얼라인먼트 조정 하에서 개구된 개구부(h4)가 음극 보조 배선(16)의 연장설치 방향을 따라 복수 개소에 점재하고 있다. 뱅크층(19)의 상층에 성막된 음극(14)은 콘택트 홀(h4)을 통하여 ITO층(18)과 도통하고, 또한, 음극 보조 배선(16)과 도통하고 있다. 이와 같이, 화소(10)의 열방향을 따라 라인 형상으로 복수 형성된 음극 보조 배선(16)과 음극(14)을 전기적으로 도통함으로써, 화소(10)에 충분한 전류를 공급할 수 있게 구성되어 있다.
본 실시예에 의하면, 실시예 1과 동일하게, 음극(14)의 저항값을 저감시키는 것이 가능해져, 각 화소(10)에 공급되는 전류량의 불균일에 기인하는 휘도 불균일의 발생을 저감시킬 수 있게 된다. 또한, 다층 적층 구조(30)의 내부에서 음극 보조 배선(16)과 음극(14)의 콘택트를 확보할 수 있기 때문에, 프레임 협소화가 가능해져, 데드 스페이스가 적은 디스플레이 패널을 실현할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 2열당 1개의 비율로 음극 보조 배선(16)을 형성했으나, 이것에 한정되지 않고, n(n은 3 이상의 정수)열당 1개의 비율로 하는 등, 적당한 분산 밀도로 음극 보조 배선(16)을 형성할 수도 있다.
[실시예 3]
도 7은 본 발명의 제 3 실시예를 나타내는 유기 EL 디스플레이 패널(100)의 배선 레이아웃을 설명하기 위한 도면이다. 본 실시예에서는, 음극 보조 배선(16)을 행방향 및 열방향으로 형성하고 있는 점에서 실시예 1 및 2와 다르다. 여기서는, 행방향 및 열방향으로 형성되는 음극 보조 배선(16)을 편의상 구별하기 위해, 행방향을 따라 형성되는 음극 보조 배선(16)을 제 1 음극 보조 배선(16-1)으로 하고, 열방향을 따라 형성되는 음극 보조 배선(16)을 제 2 음극 보조 배선(16-2)으로 한다. 또한, 단순히 음극 보조 배선(16)이라고 할 때는 특별한 언급이 없는 한 양자를 포함하는 것으로 한다. 도 7에 나타낸 예에서는, RGB 3화소로 1개의 픽셀을 구성하는 것으로 하면, 2픽셀당 3개의 비율로 제 2 음극 보조 배선(16-2)이 열방향으로 등간격으로 형성되어 있다. 또한, 제 2 음극 보조 배선(16-2)의 양측에는 2개의 데이터선(Idat)이 형성되어 있다. 인접하는 제 2 음극 보조 배선(16-2)끼리의 사이의 열에는 2개의 전원 공급선(Vdd)이 1세트로서 형성되어 있고, 1개의 제 2 음극 보조 배선(16-2)과 2개의 데이터선(Idat)의 합계 선폭과, 2개의 전원 공급선(Vdd )의 합계 선폭이 대략 동일해지도록 레이아웃되어 있다. 이것에 의해, 도 7에 나타낸 배선 레이아웃은 임의의 열에 대하여 선대칭으로 되도록 구성되어 있다.
한편, 행방향에는 2개의 주사선(Vsel)으로 이루어지는 1세트의 주사선과 제 1 음극 보조 배선(16-1)이 번갈아 레이아웃되어 있다. 주사선(Vsel)과 제 1 음극 보조 배선(16-1)은 각각 동일 층에서 메탈 배선을 일괄적으로 패터닝함으로써 얻어지고, 제 1 음극 보조 배선(16-1)의 선폭은 2개의 주사선(Vsel)의 합계 선폭과 대략 동일해지도록 조정되어 있다. 이러한 구성에 의해, 도 7에 나타낸 배선 레이아웃은 임의의 행 및 열에 대하여 선대칭으로 되어 있다.
주사선(Vsel)과 데이터선(Idat)의 교차점에는 스위칭 트랜지스터(Tr1)가 형성되어 있고, 상기 트랜지스터의 소스 단자의 연장 방향에는 구동 트랜지스터(Tr2)의 게이트 단자가 위치하고 있다. 구동 트랜지스터(Tr2)의 드레인 단자는 콘택트 홀(h1)을 통하여 화소 전극(17)과 도통하고 있다. 전원 공급선(Vdd) 상에는 화소 전극(17)의 길이 방향과 평행하게 유지 용량(C)이 형성되어 있다.
도 8은 도 7의 C-C'선 단면도이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 기판(15) 상에는 제 1 음극 보조 배선(16-1), 층간절연막(21), 평탄화막(20), 소스 메탈층(22), ITO층(18), 및 뱅크층(19)이 차례로 적층되어 이루어지는 다층 적층 구조(30)가 형성되어 있다. 이 다층 적층 구조(30)는 표시 영역(11) 상에 형성되어 있는 것이다. 다층 적층 구조(30)의 상층에는 음극(14)이 성막되어 있다. 층간절연막(21)은 데이터선(Idat) 및 전원 공급선(Vdd)을 제 1 음극 보조 배선(16-1)으로부터 전기적으로 분리하기 위한 절연막이다. 데이터선(Idat) 및 전원 공급선(Vdd)과 동일 층에는 제 1 음극 보조 배선(16-1)과 직교하는 방향으로 제 2 음극 보조 배선(16-2)이 형성되어 있고, 층간절연막(21)에 개구된 콘택트 홀(h6)을 통하여 양자는 전기적으로 접속하고 있다.
또한, 층간절연막(21) 상에는 제 2 음극 보조 배선(16-2)과 동일 층에 소스 메탈층(22)이 제 1 음극 보조 배선(16-1)의 연장설치 방향을 따라 복수 개소에 섬 형상으로 형성되어 있다.
소스 메탈층(22)은 층간절연막(21)에 개구되는 콘택트 홀(h5)을 통하여 제 1 음극 보조 배선(16-1)과 도통하고 있다. 또한, 평탄화막(20) 상에는 ITO층(18)이 제 1 음극 보조 배선(16-1)의 연장설치 방향을 따라 섬 형상으로 복수 개소 점재하도록 형성되어 있고, 콘택트 홀(h3)을 통하여 소스 메탈층(22)과 도통하고 있다. 평탄화막(20)의 상층에는 감광성 유기 재료 등으로 이루어지는 뱅크층(19)이 형성되고, 화소 전극(17)의 위치에 맞추어 타원형 개구부(h2)가 형성되어 있다(도 7 참조). 개구부(h2)에는 실시예 1과 동일하게 발광부(OLED)가 형성된다. 뱅크층(19)의 표면에는 ITO층(18)에 연결되는 위치에 정밀한 얼라인먼트 조정 하에서 개구된 콘택트 홀(h4)이 제 2 음극 보조 배선(16-2)의 연장설치 방향으로 점재하고 있다. 뱅크층(19)의 상층에 성막된 음극(14)은 다층 적층 구조(30) 내부에서 음극 보조 배선(16)과 도통하고 있으며, 음극(14)의 저항값을 저감시킴으로써, 화소(10)에 충분한 전류를 공급할 수 있게 구성되어 있다.
도 9는 도 7의 D-D'선 단면도이다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 기판(15) 상에는 제 1 음극 보조 배선(16-1), 주사선(Vsel), 층간절연막(21), 제 2 음극 보조 배선(16-2), 평탄화막(20), ITO층(18), 및 뱅크층(19)으로 이루어지는 다층 적층 구조(30)가 형성되어 있다. 제 1 음극 보조 배선(16-1) 및 제 2 음극 보조 배선(16-2)은 층간절연막(21)을 사이에 두어 서로 직교하는 방향으로 형성되어 있고, 층간절연막(21)에 개구된 콘택트 홀(h6)을 통하여 서로 도통하고 있다. 제 2 음극 보 조 배선(16-2)의 상층에 적층되어 있는 평탄화막(20)에는 ITO층(18)이 제 2 음극 보조 배선(16-2)의 연장설치 방향을 따라 섬 형상으로 복수 개소 점재하여 형성되어 있다. 평탄화막(20)에는 콘택트 홀(h3)이 개구되어 있으며, ITO층(18)과 제 2 음극 보조 배선(16-2)이 도통하고 있다. 또한, 뱅크층(19)에는 제 2 음극 보조 배선(16-2)의 연장설치 방향을 따라 콘택트 홀(h4)이 복수 개소 점재하여 개구되어 있으며, 음극(14)과 ITO층(18)이 도통하고 있다. 이와 같이, 음극(14)은 다층 적층 구조(30) 내부에서 서로 직교하는 2방향으로 형성된 음극 보조 배선(16)과 도통함으로써, 음극(14)의 저항값을 대폭으로 저감시키고, 화소(10)에 충분한 전력을 공급할 수 있게 구성되어 있다. 이 때문에, 화소(10)에 공급되는 전류량의 불균일에 의한 휘도 불균일의 발생을 저감시켜, 우수한 표시 성능을 실현할 수 있다. 또한, 다층 적층 구조(30)의 내부에서 음극 보조 배선(16)과 음극(14)의 콘택트를 확보할 수 있기 때문에, 프레임 협소화가 가능해져, 데드 스페이스가 적은 디스플레이 패널을 실현할 수 있다.
[실시예 4]
도 10은 본 발명의 전기 광학 장치를 적용할 수 있는 전자 기기의 예를 나타내는 도면이다. 도 10의 (a)는 휴대 전화에 대한 적용 예이며, 휴대 전화(230)는 안테나부(231), 음성 출력부(232), 음성 입력부(233), 조작부(234), 및 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 구비하고 있다. 이와 같이 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 휴대 전화(230)의 표시부로서 이용할 수 있다. 도 10의 (b)는 비디오 카메라에 대한 적용 예이며, 비디오 카메라(240)는 수상부(241), 조작부(242), 음성 입력부(243), 및 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 구비하고 있다. 이와 같이 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)은, 파인더(finder)나 표시부로서 이용할 수 있다. 도 10의 (c)는 휴대형 퍼스널 컴퓨터에 대한 적용 예이며, 컴퓨터(250)는 카메라부(251), 조작부(252), 및 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 구비하고 있다. 이와 같이 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)은 표시 장치로서 이용할 수 있다.
도 10의 (d)는 헤드 마운트 디스플레이에 대한 적용 예이며, 헤드 마운트 디스플레이(260)는 밴드(261), 광학계 수납부(262) 및 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 구비하고 있다. 이와 같이 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)은 화상 표시원으로서 이용할 수 있다. 도 10의 (e)는 리어형 프로젝터에 대한 적용 예이며, 프로젝터(270)는 하우징(271)에 광원(272), 합성 광학계(273), 미러(274), 미러(275), 스크린(276), 및 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 구비하고 있다. 도 10의 (f)는 프런트형 프로젝터에 대한 적용 예이며, 프로젝터(280)는 하우징(282)에 광학계(281) 및 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)을 구비하고, 화상을 스크린(283)에 표시할 수 있게 되어 있다. 이와 같이 본 발명의 유기 EL 디스플레이 패널(100)은 화상 표시원으로서 이용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 전기 광학 소자의 공통 전극에 충분한 전력을 공급할 수 있고, 또한 디스플레이 패널의 프레임 협소화를 실현할 수 있다.

Claims (28)

  1. 기판의 유효 영역에 배치된 제 1 전극층과 상기 제 1 전극층의 위쪽에 배치된 제 2 전극층을 포함하는 전기 광학 소자를 구성하는 전기 광학 장치로서,
    상기 제 1 전극층에 전압 공급을 행하는 제 1 전원선과,
    상기 제 2 전극층과 전기적으로 접속된 제 2 전원선을 포함하고,
    상기 제 1 전원선 및 상기 제 2 전원선은 모두 상기 유효 영역의 위쪽에서, 상기 제 1 전극층보다 하층에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전원선과 상기 제 2 전원선의 적어도 일부는 동일 층에 배치되어 있는 전기 광학 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 전극층은 상기 전기 광학 소자에 대하여 음극으로서 기능하는 전기 광학 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 전원선은 음극 보조 배선으로서 기능하는 전기 광학 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 전극층은 투광성을 갖는 전기 광학 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전기 광학 소자는 직각 2방향으로 배열되어 있고,
    상기 제 2 전원선의 배열 방향은 직각 2방향으로 배열되는 전기 광학 소자의 배열 방향 중 어느 하나의 배열 방향과 평행한 전기 광학 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 전원선의 배열 피치는 등간격인 전기 광학 장치.
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전기 광학 소자는 일렉트로루미네선스 소자인 전기 광학 장치.
  13. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비한 전자 기기.
  14. 제 1 전극층과 제 2 전극층을 포함하는 전기 광학 소자를 형성하기 위한 매트릭스 기판으로서,
    기판의 위쪽에 형성된 제 1 전극층과,
    상기 제 1 전극층에 전압 공급을 행하는 제 1 전원선과,
    상기 제 1 전극층의 위쪽에 형성되어야 할 제 2 전극층과 전기적으로 접속하기 위한 제 2 전원선을 포함하고,
    상기 제 1 전원선 및 상기 제 2 전원선은 모두 상기 제 1 전극층보다 하층에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매트릭스 기판.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 전원선과 상기 제 2 전원선의 적어도 일부는 동일 층에 배치되어 있는 매트릭스 기판.
  16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 제 2 전극층은 상기 전기 광학 소자에 대하여 음극으로서 기능하는 매트릭스 기판.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 2 전원선은 음극 보조 배선으로서 기능하는 매트릭스 기판.
  18. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 제 2 전극층은 투광성을 갖는 매트릭스 기판.
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 제 2 전원선의 배열 방향은 직각 2방향으로 배열되어야 할 전기 광학 소자의 배열 방향 중 어느 하나의 배열 방향과 평행한 매트릭스 기판.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 제 2 전원선의 배열 피치는 등간격인 매트릭스 기판.
  25. 삭제
  26. 삭제
  27. 복수의 제1전극과, 제2전극과, 상기 복수의 제1전극과 상기 제2전극과의 사이에 설치된 발광층으로 구성되고, 상기 복수의 제1전극의 각각에 대응하여 발광부를 포함하는 단위구성이 복수개 설치되고,
    상기 단위구성에 데이터신호를 공급하는 데이터선과, 상기 단위구성에 주사신호를 공급하는 주사선과, 상기 복수의 제1전극의 각각에 전기적으로 접속된 제1전원선과, 상기 제2전극에 전기적으로 접속된 제2전원선을 구비하고,
    상기 단위구성은,
    상기 복수의 제1전극의 각각과 상기 제1전원선 사이에 설치되어, 상기 발광부에 공급하는 전류를 제어하는 트랜지스터와,
    상기 트랜지스터의 게이트 전극과 소스 전극 사이에 설치된 용량소자와,
    상기 데이터선과 상기 용량소자 사이에 설치되고, 상기 주사신호에 의해 제어되는 스위칭소자를 구비하고,
    상기 복수의 단위구성에 포함되는 제1단위구성에 상기 주사신호를 공급하는 제1주사선과, 상기 복수의 단위구성에 포함되는 제2단위구성에 상기 주사신호를 공급하는 제2주사선은, 상기 제1단위구성의 상기 발광부와 상기 제2단위구성의 상기 발광부 사이에 설치되고,
    상기 제2전원선은, 상기 제1단위구성의 상기 발광부에 대해 상기 제1주사선과 대향하는 측 및 상기 제2단위구성의 상기 발광부에 대해 상기 제2주사선과 대향하는 측에 설치되어 있는 전기 광학 장치.
  28. 복수의 제1전극과, 제2전극과, 상기 복수의 제1전극과 상기 제2전극과의 사이에 설치된 발광층으로 구성되고, 상기 복수의 제1전극의 각각에 대응하여 발광부를 포함하는 단위구성이 복수개 설치되고,
    상기 단위구성에 데이터신호를 공급하는 데이터선과, 상기 단위구성에 주사신호를 공급하는 주사선과, 상기 복수의 제1전극의 각각에 전기적으로 접속된 제1전원선과, 상기 제2전극에 전기적으로 접속된 제2전원선을 구비하고,
    상기 단위구성은,
    상기 복수의 제1전극의 각각과 상기 제1전원선 사이에 설치되어, 상기 발광부에 공급하는 전류를 제어하는 트랜지스터와,
    상기 트랜지스터의 게이트 전극과 소스 전극 사이에 설치된 용량소자와,
    상기 데이터선과 상기 용량소자 사이에 설치되고, 상기 주사신호에 의해 제어되는 스위칭소자를 구비하고,
    상기 복수의 단위구성에 포함되는 제1단위구성에 상기 데이터신호를 공급하는 제1데이터선과, 상기 복수의 단위구성에 포함되는 제2단위구성에 상기 데이터신호를 공급하는 제2데이터선은, 상기 제1단위구성의 상기 발광부와 상기 제2단위구성의 상기 발광부 사이에 설치되고,
    상기 제2전원선은, 상기 제1데이터선과 상기 제2데이터선 사이에 설치되어 있는 전기 광학 장치.
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