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KR100690545B1 - 반도체 장치 - Google Patents

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KR100690545B1
KR100690545B1 KR20050045506A KR20050045506A KR100690545B1 KR 100690545 B1 KR100690545 B1 KR 100690545B1 KR 20050045506 A KR20050045506 A KR 20050045506A KR 20050045506 A KR20050045506 A KR 20050045506A KR 100690545 B1 KR100690545 B1 KR 100690545B1
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KR
South Korea
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high frequency
semiconductor element
external connection
semiconductor device
support substrate
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요시타카 아이바
데츠야 후지사와
요시유키 요네다
Original Assignee
후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 메모리나 로직 등의 반도체 소자와 고주파 특성을 갖는 고주파용 반도체 소자를 기판에 실장한 반도체 장치에 관한 것으로, 고주파 신호의 전송 손실을 억제하는 동시에, 실장의 고밀도화를 도모할 수 있는 반도체 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치는 고주파용 외부 접속 단자(121)의 위치에 대응하도록 기판(71)에 관통 비어(81)를 설치하고, 기판(71)에 반도체 소자(101, 105)를 실장하고, 고주파용 외부 접속 단자(121)가 관통 비어(81)의 단부(81A)와 대향하도록 고주파용 반도체 소자(110)를 기판(71)에 실장하며, 관통 비어(81)의 단부(81B)와 대향하도록 접속 패드(95)에 외부 접속 단자(98)를 배열 설치한다.
반도체, 패키지, 고주파용 반도체 소자, 관통 비어, 전극 패드, 관통 비어

Description

반도체 장치{SEMICONDUCTOR DEVICE}
도 1은 실장 기판에 실장된 종래의 반도체 장치의 단면도.
도 2는 제 1 실시예의 반도체 장치의 단면도.
도 3은 실장 기판에 실장된 제 1 실시예의 반도체 장치의 단면도.
도 4는 도 2에 나타내는 반도체 장치를 화살표 A방향에서 본 도면.
도 5는 제 1 실시예의 고주파용 반도체 소자의 단면도.
도 6은 재배선(rewiring)의 배선예를 설명하기 위한 도면.
도 7은 고주파용 반도체 소자의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치와 기판의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치가 동일한 경우의 고주파용 외부 접속 단자의 접속 방법을 모식적으로 나타낸 도면.
도 8은 고주파용 반도체 소자의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치가 기판의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치의 1/2배인 경우의 고주파용 외부 접속 단자의 접속 방법을 모식적으로 나타낸 도면.
도 9는 고주파용 반도체 소자의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치가 기판의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치의 k배(0<k<1)인 경우의 고주파용 외부 접속 단자의 접속 방법을 모식적으로 나타낸 도면.
도 10은 도체 포스트(conductor post)를 갖고 있지 않은 고주파용 반도체 소 자의 단면도.
도 11은 제 2 실시예의 반도체 장치의 단면도.
도 12는 제 3 실시예의 반도체 장치의 단면도.
도 13은 제 3 실시예의 고주파용 반도체 소자의 단면도.
도 14는 도체 포스트를 갖고 있지 않은 고주파용 반도체 소자의 단면도.
도 15는 제 4 실시예의 반도체 장치의 단면도.
도 16은 도 15에 나타내는 반도체 장치를 화살표 G방향에서 본 도면.
도 17은 제 5 실시예의 반도체 장치의 단면도.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
10, 40, 70, 135, 140, 160, 165 : 반도체 장치
11, 41 : 기판
12, 42, 72 : 기재
12, 43, 81 : 관통 비어
14, 15, 44, 83, 84 : 와이어 접속부
16, 17, 45, 86, 87, 93, 95 : 접속 패드
21, 25, 101, 105 : 반도체 소자
22, 26, 48, 102, 106, 112, 113 : 전극 패드
23, 28, 49, 103, 108 : 와이어
29, 51, 119, 122 : 몰드 수지
31, 53, 97, 98, 120 : 외부 접속 단자
47, 110, 130, 145, 155 : 고주파용 반도체 소자
55 : 머더보드(motherboard)
57, 58 : 패드
59, 85 : 배선
71 : 지지 기판
72A : 상면(上面)
72B : 하면(下面)
73, l56 : 비어(via)
75 : 상부 배선
76 : 상부 절연층
78 : 상부 비어
81A, 81B, 151A 내지 153A, 156A : 단부
88 : 하부 배선
89 : 하부 절연층
91 : 하부 비어
96 : 솔더 레지스트층
104, 109 : 접착층
111 : 반도체 소자 본체
111A, 148A, 157A : 면(面)
114, 158 : 절연층
115, 116, 124A, 124B, 124C, 125A, 125B, 126, 148 : 재배선
118, 151 내지 153 : 기둥 형상 전극
121 : 고주파용 외부 접속 단자
125 : 실장 기판
127 : 패드
131, 157 : 수지
136, 166 : 실드 부재(shield member)
146 : 용량 소자
B : 칩 배선 영역
C : 중심축
E, F : 외주 위치
P1, P2 : 배열 설치 피치
Rl, R2 : 직경
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히 메모리 소자 및/또는 로직 소자 등의 반도체 소자(반도체 소자)와, 고주파 아날로그 신호 등을 취급하는 고주파용 반도체 소자가 하나의 공통되는 기판에 실장된 반도체 장치에 관한 것이다.
최근, 전자 기기의 소형화·고기능화를 위하여 상기 전자 기기 내에 수용되 는 반도체 소자 등의 전자 부품을 더욱 고밀도로 실장하는 것이 요구되고 있다.
이러한 요구에 대응하기 위하여, 메모리 소자 및/또는 마이크로 프로세서로 이루어지는 로직 소자 등, 기능이 다른 반도체 소자 복수개를 하나의 용기·패키지 내에 수용한 반도체 장치의 개발이 행해지고 있다. 이러한 반도체 장치는 시스템·인·패키지(SiP)라고 칭해진다.
한편, 상기 전자 기기에서는 외부의 장치·기기와의 통신에서도 고속화가 더욱 요구되고 있어, 상기 용기·패키지 내에, 예를 들면, 0.1GHz 내지 10GHz 대역의 고주파 신호를 취급하는 고주파용 반도체 소자가 탑재되는 경우가 있다.
도 1에, 하나의 기판 위에 메모리 소자 및/또는 마이크로 프로세서 등의 로직 소자와 같은 반도체 소자를 수용한 반도체 장치와 함께, 고주파용 반도체 소자를 수용한 반도체 장치가 탑재된 종래 구조의 일례를 나타낸다.
도 1에서, 머더보드(motherboard)(전자 기기에서의 주된 전자 회로 구성 기판)(55)의 한쪽 주면(主面) 위에는 메모리 소자 및/또는 로직 소자 등의 반도체 소자(21, 25)가 수용된 제 1 반도체 장치(10)와, 고주파용 반도체 소자(47)가 수용된 제 2 반도체 장치(40)가 탑재되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 제 1 반도체 장치(10)는 지지 기판(11)과, 상기 지지 기판(11)의 한쪽 주면 위에 탑재된 반도체 소자(21, 25) 및 상기 지지 기판(11)의 다른 쪽 주면에 배열 설치된 외부 접속 단자(31)를 구비하고 있다.
지지 기판(11)은 그 기재(12)를 관통하는 관통 비어(via)(13)와, 관통 비어(13)의 상단(上端)에 설치된 와이어 접속부(14, 15), 및 관통 비어(13)의 하단에 설치된 접속 패드(16, 17)를 구비하여 반도체 소자 탑재용 기판을 구성하고 있다.
반도체 소자(21)는 지지 기판(11) 위에 탑재·고착(固着)되고, 그 전극 패드(22)는 와이어(23)에 의해 지지 기판(11) 위의 와이어 접속부(14)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 반도체 소자(25)는 상기 반도체 소자(21) 위에 탑재·고착되고, 그 전극 패드(26)는 와이어(28)에 의해 지지 기판(11) 위의 와이어 접속부(15)에 전기적으로 접속되어 있다.
이들의 반도체 소자(21, 25)는 와이어(23, 28)와 함께 수지(29)에 의해 밀봉되어 있다.
그리고, 상기 접속 패드(16, 17)는 볼 형상 또는 범프 형상의 외부 접속 단자(31)를 통하여 머더보드(55) 위에 설치된 패드(57) 또는 배선(59)과 전기적으로 접속되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 반도체 소자(21, 25)는 그 한쪽이 마이크로 프로세서등의 로직 소자이고, 다른 쪽이 플래시 메모리 등의 메모리 소자인 것을 가능하게 한다. 반도체 소자가 갖는 기능·회로 구성에 따른 칩 면적의 대소, 단자수 등에 의해, 어느 것이 다른 쪽 소자 위에 탑재되는지가 선택된다.
한편, 상기 제 2 반도체 장치(40)는 지지 기판(41)과, 상기 지지 기판(41)의 한쪽 주면 위에 탑재된 고주파용 반도체 소자(47) 및 상기 지지 기판(41)의 다른 쪽 주면에 배열 설치된 외부 접속 단자(53)를 구비하고 있다.
지지 기판(41)은 그 기재(42)를 관통하는 관통 비어(43)와, 관통 비어(43)의 상단에 설치된 와이어 접속부(44) 및 관통 비어(43)의 하단에 설치된 접속 패드(45)를 구비하여 반도체 소자 탑재용 기판을 구성하고 있다.
고주파용 반도체 소자(47)는, 예를 들면, 1GHz 이상의 고주파 아날로그 신호를 취급하는 반도체 소자로서, 지지 기판(41) 위에 탑재·고착되고, 그 전극 패드(48)는 와이어(49)에 의해 지지 기판(41) 위의 와이어 접속부(44)와 전기적으로 접속되어 있다.
상기 고주파용 반도체 소자(47)는 와이어(49)와 함께 수지(51)에 의해 밀봉되어 있다. 그리고, 상기 접속 패드(45)는 볼 형상 또는 범프 형상의 외부 접속용 단자(53)를 통하여 머더보드(55) 위에 설치된 패드(58) 또는 배선(59)과 접속되어 있다.
또한, 상기 머더보드(55)의 한쪽 주면에 배열 설치된 배선(59)은 제 1 반도체 장치(10)와 제 2 반도체 장치(40) 사이를 전기적으로 접속한다(예를 들면, 일본국 특개 2003-110084호 공보).
휴대 전화기 등의 전자 기기에서의 소형화·고기능화·고성능화를 더욱 증진시키기 위해서는 상기 반도체 장치의 실장 구조에서 다루어지는 바와 같이, 고주파 신호를 취급하는 반도체 소자에 대해서, 이것을 다른 반도체 장치로서 취급하지 않고 로직 소자 및 / 또는 메모리 소자와 동일한 기판 위에 탑재되는 것이 요구된다.
그러나, 주지하는 바와 같이, 고주파용 반도체 소자는 그 근방에 위치하는 다른 배선이나 반도체 소자로부터 야기되는 전자계(電磁界)의 영향을 받기 쉽다.
예를 들면, 상기 도 1에 나타낸 반도체 소자(21, 25) 및 고주파용 반도체 소자(47)를, 머더보드(55)를 공통의 지지 기판(인터포저)으로서 상기 지지 기판(55)에 탑재하고, 일괄하여 밀봉(1패키지화)한 경우에는 고주파용 반도체 소자(47)에 접속되는 배선·와이어에 흐르는 신호와, 반도체 소자(21, 25)에 접속되는 배선·와이어에 흐르는 신호가 간섭하여 원하는 전기 특성을 실현할 수 없게 되는 경우가 있다.
이 때문에 종래는, 상기 도 1에 나타낸 바와 같이, 반도체 소자(21, 25)와, 고주파용 반도체 소자(47)를 별개의 반도체 장치(10)와 반도체 장치(40)로서 분리하여 머더보드(55) 위에 실장하는 것이 행해지고 있었다.
그러나, 이와 같이 하나의 지지 기판 위에 각각 밀봉된 복수개의 반도체 장치를 탑재하는 것은 상기 지지 기판에서의 실장 밀도의 저하를 초래하여 전자 기기의 소형화에 있어서 장해가 된다.
또한, 고주파용 반도체 소자 이외에 복수개의 반도체 장치를 별개로 형성하고, 이들을 지지 기판에 탑재하여 원하는 특성을 얻고자 함으로써, 상기 지지 기판의 설계 난이도(難易度)가 높아져 전자 기기의 제조 비용의 상승을 초래한다.
또한, 고주파용 반도체 장치와 다른 반도체 장치 사이를 연결하는 배선(도 1에서는 배선(59))의 길이가 길어져 고주파 신호에서의 손실을 크게한다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 고주파 신호의 전송 손실을 억제하는 동시에 실장 밀도의 향상을 도모할 수 있고, 따라서 전자 기기의 소형화·고성능화를 도모할 수 있는 반도체 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에서는, 다음에 서술하는 몇개의 수단을 강구하고 있다.
청구항 1에 기재된 발명에서는, 지지 기판과, 상기 지지 기판의 한쪽 주면(主面)에 실장된 제 1 반도체 소자와, 상기 지지 기판의 한쪽 주면에 실장된 고주파용 전극을 갖는 제 2 반도체 소자와, 상기 고주파용 전극에 대응하여 상기 지지 기판에 배열 설치된 관통 비어와, 상기 관통 비어에 대응하여 상기 지지 기판의 다른 쪽 주면에 배열 설치된 외부 접속 전극을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 제 1 반도체 소자와, 고주파용 전극을 갖는 제 2 반도체 소자를 동일한 지지 기판에 실장하므로, 반도체 장치의 실장의 고밀도화를 도모할 수 있다. 또한, 지지 기판의 한쪽 주면에 관통 비어와 대응하는 고주파용 전극과, 지지 기판의 다른 쪽 주면에 관통 비어와 대응하는 외부 접속 전극을 설치함으로써, 고주파용 전극과 외부 접속 전극 사이의 신호 경로를 짧게 하여 고주파 신호의 전송 손실을 억제할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명에서는, 상기 제 2 반도체 소자는 상기 지지 기판의 한쪽 주면에 페이스 다운(face-down) 형상으로 실장되는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 고주파용 전극을 지지 기판에 접속할 수 있다.
청구항 3에 기재된 발명에서는, 상기 고주파용 전극의 중심축이 상기 관통 비어의 외주의 내측에 위치하도록 배열 설치한 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기 재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 고주파용 전극의 중심축이 관통 비어의 외주보다도 내측으로 되도록 고주파용 전극을 배열 설치함으로써, 고주파용 전극과 외부 접속 전극 사이의 고주파 신호의 전송을 양호한 정밀도로 행할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명에서는, 상기 제 1 반도체 소자는 상기 제 2 반도체 소자 위에 적층되어 배열 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 제 1 반도체 소자를 제 2 반도체 소자 위에 적층되어 배열 설치함으로써 지지 기판의 소형화가 가능해지고, 고주파 신호의 전송 손실을 억제한 상태에서 반도체 장치를 소형화할 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명에서는, 상기 제 2 반도체 소자에는 그라운드 전위로 된 실드 부재(shield member)를 설치한 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 제 2 반도체 소자에 그라운드 전위로 된 실드 부재를 설치함으로써, 제 1 반도체 소자로부터 발생하는 노이즈가 제 2 반도체 소자에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
청구항 6에 기재된 발명에서는, 상기 제 2 반도체 소자는 재배선을 갖고 있고, 이 재배선을 사용하여 수동 소자를 형성한 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 재배선을 사용하여 수동 소자를 형성함으로써 수동 소 자를 별개로 설치하는 구성에 비하여 부품 갯수의 삭감 및 실장 면적의 소(小)스페이스화를 도모할 수 있다. 또한, 임피던스 저감을 도모할 수 있고, 전기적 특성의 향상도 도모할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에서는, 상기 제 2 반도체 소자는 서로가 평행해지는 부위를 갖는 한 쌍의 재배선(rewring)을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 서로가 평행해지는 부위를 갖는 한 쌍의 재배선을 설치함으로써, 배선 사이의 크로스토크(crosstalk)가 없어지므로 노이즈를 저감할 수 있다.
청구항 8에 기재된 발명에서는, 상기 제 2 반도체 소자는 배선 길이가 대략 동일한 1세트의 재배선을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 반도체 장치에 의해 해결할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 배선 길이가 대략 동일한 1세트의 재배선을 배열 설치하는 것에 의해, 스큐 타이밍(skew timing)의 조정·최적화를 행하는 것이 가능하다.
다음에, 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
(제 1 실시예)
도 2 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 장치(70)에 대해서 설명한다.
도 2는 상기 제 1 실시예의 반도체 장치의 단면 구조를 나타내고, 또한 도 3 은 상기 반도체 장치(70)가 실장 기판에 실장·탑재된 상태를 나타낸다.
도 4는 도 2에 나타낸 반도체 장치에 대해서, 그 하면측에서(화살표 A) 본 외관도이다.
또한, 도 2에서, 영역 B는 반도체 소자(101)가 탑재되는 상부 절연층(76) 위의 영역(이하,「칩 배열 설치 영역 B」라고 함)을 나타내고 있다.
본 실시예에서의 반도체 장치(70)는 지지 기판(71), 외부 접속 단자(97, 98), 제 1 반도체 소자인 반도체 소자(101, 105) 및 제 2 반도체 소자인 고주파용 반도체 소자(110)를 구비하고, 하나의 지지 기판(71)에 실장된 반도체 소자(101, 105) 및 고주파용 반도체 소자(110)가 몰드 수지(122)에 의해 일체로 밀봉된 구성을 갖는다.
몰드 수지(122)는 이들의 반도체 소자 및 접속용 와이어 등을 보호한다. 즉, 본 실시예에서는, 반도체 소자(101)는 지지 기판(71) 위에 접착층(104)을 매개하여 통상의 소위 페이스 업(face-up) 방식으로 고착되고, 반도체 소자(105)는 상기 반도체 소자(101) 위에 접착층(109)을 매개하여 소위 페이스 업 방식으로 고착되어 있다.
한편, 제 2 반도체 소자인 고주파용 반도체 소자(110)는 지지 기판(71)에 소위 페이스 다운(플립칩) 방식으로 탑재·고착되어 있다. 이 때, 그 고주파용 외부 접속 단자(121)는 후술하는 바와 같이 지지 기판(71)을 관통하는 비어(81)에 대응하여 그 접속 패드(87)에 접속되어 있다.
여기에서, 상기 반도체 소자(101)는 반도체 소자(105)보다도 외형 치수가 큰 반도체 소자이다. 상기 반도체 소자(101, 105)는 메모리 소자 및/또는 마이크로 프로세서 등의 로직 소자로부터 선택되고, 필요에 따라서 조합되지만, 기능, 용량등에 의해 칩 사이즈, 외부 접속 단자수·배열이 바뀐다는 점에서 어느 것을 아래에 둘 것인지는 적절하게 선택된다.
또한, 고주파용 반도체 소자(110)는 고주파 아날로그 신호 등을 취급하는 반도체 소자이다.
이러한 구성에 있어서, 지지 기판(71)에서는 그 기재(72)를 관통하여 복수개의 비어(73)가 설치되고, 상기 기재(72)의 한쪽 주면인 상면, 즉 반도체 소자 탑재면에서는 상기 비어(73)에 전기적으로 접속된 상부 배선(75), 상기 상부 배선(75)을 피복하여 배열 설치된 상부 절연층(76) 및 상기 상부 절연층(76)을 관통하여 설치된 상부 비어(78)를 구비하며, 또한 상기 상부 절연층(76) 위에서 상기 상부 비어(78)에 전기적으로 접속된 와이어 접속부(83, 84)가 배열 설치되어 있다.
한편, 상기 지지 기판(71)의 하면(下面)(다른 쪽 주면), 즉 외부 접속용 단자 배열 설치면에는 상기 비어(73)에 전기적으로 접속된 하부 배선(88), 상기 하부 배선(88)을 피복하여 배열 설치된 하부 절연층(89) 및 상기 하부 절연층(89)을 관통하여 설치된 하부 비어(91), 또한 상기 하부 절연층(89)의 표면 위에서 상기 하부 비어(91)에 전기적으로 접속된 접속 패드(93)가 배열 설치되어 있다. 상기 접속 패드(93)를 제외하는 상기 하부 절연층(89)의 표면에는 솔더 레지스트층(96)이 배열 설치되어 있다.
본 실시예에서는, 또한 상기 상부 절연층(76), 기재(72) 및 하부 절연층(89) 의 적층 구조체를 관통하여 비어(81)가 배열 설치되어 있다. 상기 비어(81)는 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파용 외부 접속 단자(121)에 대응하여 설치되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 상기 기재(72)는 수지 또는 세라믹으로부터 선택된 절연물의 시트(sheet) 또는 판(plate)으로 이루어진다.
상부 배선(75)은 비어(73)와 접속되도록 상기 기재(72)의 한쪽 주면(상면)(72A)에 설치되고, 상기 상부 배선(75)을 덮도록 수지층으로 이루어지는 상부 절연층(76)이 배열 설치되어 있다.
또한, 상부 비어(78)는 그 한쪽 단부가 상기 상부 배선(75)과 접속되고, 다른 쪽 단부가 와이어 접속부(83, 84), 배선(85) 또는 접속 패드(86)의 어느 것과 접속되어 있다.
한편, 상기 관통 비어(81)는 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파용 외부 접속 단자가 배열 설치되는 위치에 대응하여 배열 설치된다.
지지 기판(71)의 한쪽 주면에서 와이어 접속부(83, 84)는 상기 비어(78)와 전기적으로 접속되도록 상부 절연층(76) 위에 배열 설치되어 있다. 와이어 접속부(83)에는 반도체 소자(101)의 전극 패드(102)와의 사이에 접속되도록 와이어(103)가 접속되고, 또한 와이어 접속부(84)에는 반도체 소자(105)의 전극 패드(106)와의 사이에 접속되도록 와이어(108)가 접속된다.
또한, 배선(85)은 비어(78)와 전기적으로 접속되도록 상부 절연층(76) 위에 배열 설치되고, 고주파용 반도체 소자(110)에서의 고주파 신호 이외의 신호를 취급 하는 외부 접속 단자(120)가 접속되어 있다. 또한, 상기 배선(85)에는 상기 반도체 소자(105)의 전극 패드로부터 와이어(108)가 접속되고, 반도체 소자(105)와 고주파용 반도체 소자(110) 사이의 전기적 접속도 구성하고 있다.
한편, 상기 고주파용 반도체 소자(110)가 페이스 다운(플립칩) 실장된 소자탑재부에서, 접속 패드(86)는 한쪽 끝이 비어(78)에 접속되도록 절연층(76) 위에 설치되고, 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파 신호 이외의 신호를 취급하는 외부 접속 단자(120)가 접속된다.
또한, 접속 패드(87)는 상기 관통 비어(81)의 단부(81A)(관통 비어(81)의 한쪽 단부)와 접속되도록 절연층(76) 위에 설치되고, 페이스 다운(플립칩) 실장된 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파용 외부 접속 단자(121)가 직접 접속되어 있다.
또한, 상기 지지 기판(71)의 다른 쪽 주면(하면)에서는 비어(73)와 전기적으로 접속된 하부 배선(88)이 배열 설치되고, 상기 하부 배선(88)을 덮도록 수지로 이루어지는 하부 절연층(89)이 배열 설치되어 있다. 상기 하부 절연층(89)의 표면에 설치된 접속 패드(93)는 비어를 통하여 상기 하부 배선(88)과 전기적으로 접속된다.
한편, 상기 관통 비어(81)의 다른 쪽 끝(하단)에는 접속 패드(95)가 설치된다.
이러한 접속 패드(93) 및 접속 패드(95)에는 땜납 범프로 이루어지는 외부 접속 단자(97, 98)가 배열 설치된다.
그리고, 상기 하부 절연층(89)의 표면을 덮는 솔더 레지스트(96)는 접속 패 드(93) 및 접속 패드(95) 사이에 배열 설치되어 외부 접속 단자(97, 98)가 서로 접촉 하는 것을 방지한다.
이러한 구조를 갖는 반도체 장치(70)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 외부 접속 단자(97, 98)를 통하여 실장 기판(125) 위의 전극 패드 또는 배선(127)에 전기적으로 접속된다. 이것에 의해, 반도체 소자(10l, 105) 및 고주파용 반도체 소자(110)와, 실장 기판(125) 사이에서 고주파 신호를 포함하는 신호의 전달이 가능해 진다.
이러한 구조를 갖는 본 실시예의 반도체 장치(70)에서는 하나의 지지 기판(71) 위에 반도체 소자(101, 105) 및 고주파용 반도체 소자(110)가 실장되어 있으므로, 배선(85)의 길이를 짧게 하는 것이 가능해져 반도체 소자(105)와 고주파용 반도체 소자(110) 사이의 고주파 신호의 전송 손실을 저감할 수 있다.
또한, 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파용 외부 접속 단자(121)를 접속 패드(87)에 접속하고, 관통 비어(81)를 통하여 접속 패드(87)와 대향하도록 설치되어 있는 접속 패드(95)에 설치되어 있는 외부 접속 단자(98)를 실장 기판(125)의 패드(127)에 접속함으로써, 고주파용 반도체 소자(110)와 실장 기판(125) 사이에서 고주파 신호(고속 전송을 필요로 하는 신호)의 전송을 행할 수 있다.
본 실시예의 반도체 장치(70)에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 지지 기판(71)의 다른 쪽 주면(하면)에 거의 매트릭스 형상으로 배열된 외부 접속 단자(97, 98)의 배열에서, 고주파 신호를 취급하는 4개의 외부 접속 단자(98)는 상기 외부 접속 단자 배열의 가장 외측에 배치되어, 외부 회로 또는 기기와의 접속이 용이하 다.
이러한 외부 접속 단자(97, 98)의 배열 설치 피치는 표준화된 규격에 의거하여 일정한 값으로 되어 있다.
다음에, 도 5를 참조하여 본 실시예에서의 고주파용 반도체 소자(110)의 개략 구성에 대해서 설명한다.
상기 고주파용 반도체 소자(110)는 상술한 바와 같이 페이스 다운(플립칩) 방식에 의해 지지 기판(71) 위에 탑재되므로, 도 5에서는 이러한 상태에 대응하여 도시하고 있다.
상기 고주파용 반도체 소자(110)는 고주파 소자(111), 재배선(115, 116), 기둥 형상 전극(도체(導體) 포스트)(118), 몰드 수지(119), 외부 접속 단자(120) 및 고주파용 외부 접속 단자(121) 등을 구비하고 있다.
고주파 소자(111)는 고주파 아날로그 신호 등을 취급하는 전자 회로를 구성하는 기능 소자를 포함하는 실리콘(Si) 반도체 소자로서, 통상의 웨이퍼 프로세스를 거쳐 실리콘 기판의 한쪽 주면에 형성된 전극 패드(112, 113) 및 상기 전극 패드(112, 113)를 표출하는 절연층(114)을 구비하고 있다(트랜지스터, 저항 등 전자 회로를 구성하는 기능 소자에 대해서는 도시를 생략한다).
전극 패드(112)는 고주파 신호를 전송할 때에 사용되는 전극 패드이고, 한편, 전극 패드(113)는 전원 라인, 그라운드(접지) 라인 또는 비교적 저주파의 신호를 취급하는 배선에 접속되는 전극 패드이다.
절연층(114)은 소위 패시베이션 피막이라고 칭해지는 절연층으로서, 예를 들 면, 질화실리콘(SiN)층이 적용된다.
이러한 구성에 있어서, 한쪽 끝이 전극 패드(112)에 접속되어 절연층(114) 위에 연장된 재배선(115)은 기둥 형상 전극(도체 포스트)(118)을 통하여 고주파용 외부 접속 단자(121)와 전기적으로 접속되어 있다.
한편, 한쪽 끝이 전극 패드(113)와 접속되어 절연층(114) 위에 연장된 재배선(116)은 기둥 형상 전극(118)을 통하여 고주파 신호를 대상으로 하지 않는 외부 접속 단자(120)와 전기적으로 접속되어 있다.
이들 재배선(115, 116)은 구리(Cu)로 구성되며, 고주파용 외부 접속 단자(121) 또는 외부 접속 단자(120)가 배열 설치되는 위치의 조정, 주변 회로 소자의 최적화(임피던스 매칭)가 행해진다.
여기에서, 상기 재배선(115, 116)의 구체적인 배선 구성예에 대해서, 도 6을 참조하여 설명한다.
또한, 도 6에 나타내는 반도체 소자의 구성과, 상기 도 5에 나타낸 고주파용 반도체 소자(110)의 구성은 반드시 일치하는 것은 아니다. 단지, 도 6에서, 도 5에 나타낸 고주파용 반도체 소자(110)와 동일 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
도 6에서, 재배선(124A, 124B, 124C)은 배선 길이가 거의 동일한 1세트의 재배선이다.
상기 재배선(124A, 124B, 124C)의 한쪽 끝은 각각 이웃하는 전극 패드(113)에 접속되어 있고, 재배선(124A, 124B, 124C)의 각각의 다른 쪽 끝은 도체 포스트( 도시 생략)를 통하여 외부 접속 단자(120)에 전기적으로 접속되어 있지만, 재배선(124B)은 최단 거리를 거치지 않고 배선되어 실질적으로 재배선(124A, 124C)의 배선 길이와 실질적으로 동일한 배선 길이로 되어 있다.
이와 같이, 이웃하는 전극 패드(113)에 서로의 배선 길이가 대략 동일한 재배선(124A, 124B, 124C)을 배열 설치함으로써, 스큐 타이밍(skew timing)의 조정·최적화를 행할 수 있다.
한편, 도 6에서, 재배선(125A, 125B)은 일부에 서로가 평행해지는 부위를 갖는 한 쌍의 재배선이다.
재배선(125A, 125B)은 한쪽 끝이 전자 회로의 차동 회로부에 접속된 전극 패드(113)에 접속되고, 다른 쪽 끝은 도체 포스트(도시 생략)를 통하여 외부 접속 단자(120)에 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같이, 차동 회로부 등에 접속되는 재배선의 적어도 일부를 서로 평행해지도록 배열 설치함으로써 노이즈를 저감시킬 수 있다.
또한, 도 6에서, 재배선(126)은 전극 패드(112)의 주위를 둘러싸는 스파이럴 형상(spiral shape)으로 되고, 수동 소자인 인덕터(inductor)를 구성하고 있다.
상기 재배선(126)의 한쪽 끝은 전극 패드(112)와 접속되고, 다른 쪽 끝은 도체 포스트(도시 생략)를 통하여 고주파용 외부 접속 단자(121)에 전기적으로 접속되어 있다.
이와 같이, 재배선(126)을 사용하여 인덕터를 형성함으로써, 이러한 인덕터와 같은 수동 소자를 별개로 설치할 필요 없이 부품 갯수 및 실장 면적의 삭감을 도모할 수 있다.
또한, 상기 수동 소자가 반도체 소자의 전극에 근접하여 배열 설치됨으로써, 임피던스의 저감을 도모할 수 있고, 전기적 특성의 향상도 도모할 수 있다.
또한, 상기 도 5에 나타내는 고주파용 반도체 소자(110)에서는 재배선(115, 116)과 외부 접속 단자(120, 121)는 상기 재배선층 위에 배열 설치된 기둥 형상 전극(118)에 의해 전기적·기계적으로 접속되어 있다.
이와 같이, 재배선(115, 116) 위에 기둥 형상 전극(118)을 설치함으로써 재배선(115, 116)을 몰드 수지(119)로 밀봉할 수 있다. 몰드 수지(119)는 재배선(115, 116) 및 기둥 형상 전극(118)을 보호한다.
이러한 기둥 형상 전극(118)의 재료로서는, 구리(Cu)를 사용할 수 있다.
또한, 외부 접속 단자(120, 121)로서는, 예를 들면, 무연 땜납(lead-free solder)으로 이루어지는 범프가 사용된다.
상기 도 2, 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에서는 고주파용 반도체 소자(110)가 지지 기판(71)에 페이스 다운(플립칩) 실장될 때, 그 고주파용 외부 접속 단자(121)는 지지 기판(71)을 관통하여 배열 설치된 관통 비어(81)의 일단부(81A)에 배열 설치된 접속 패드(87)에 접속된다.
이것에 의해, 상기 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파용 외부 접속 단자(121)는 접속 패드(87), 관통 비어(81) 및 접속 패드(95)를 통하여 외부 접속 단자(98)에 전기적으로 접속된다.
이러한 구성에 의하면, 고주파용 외부 접속 단자(121)와 외부 접속 단자(98) 가 상기 관통 비어(81)를 통하여 더욱 짧은 거리로 전기적으로 접속되어 고주파 신호의 전송 손실이 저감된다.
또한, 상기 고주파용 외부 접속 단자(121) 또는 접속 패드(87)가 지지 기판(71) 위를 따라서 배선되는 것은 아니라는 점에서, 반도체 소자(101) 또는 반도체 소자(105) 사이에 상호 간섭을 발생시킬 가능성이 크게 저감된다.
또한, 외부 접속 단자(120) 및 고주파용 외부 접속 단자(121)의 배열 설치 피치는 표준화된 규격에 의거하여 일정한 값으로 되어 있다.
다음에, 도 7 내지 도 9를 참조하여 고주파용 외부 접속 단자(121)의 접속 패드(87)로의 접속 구성에 대해서 설명한다.
우선, 도 7을 참조하여 고주파용 반도체 소자(110)의 외부 접속 단자(120, 121)의 배열 설치 피치 P1과, 지지 기판(71)에서의 외부 접속 단자(97, 98)의 배열 설치 피치 P2가 동일한 경우(P1=P2)에서의 고주파용 외부 접속 단자(121)의 접속 패드(87)로의 접속 구성에 대해서 설명한다.
도 7에서, C는 고주파용 외부 접속 단자(121)의 중심축(이하,「중심축 C」라고 함), E는 관통 비어(81)의 외주 위치(이하,「외주 위치 E」라고 함), P1은 고주파용 반도체 소자(110)에 설치된 외부 접속 단자(120, 121)의 배열 설치 피치(이하,「배열 설치 피치 P1」이라고 함), P2는 기판(71)에 설치된 외부 접속 단자(97, 98)의 배열 설치 피치(이하,「배열 설치 피치 P2」라고 함), R1은 관통 비어(81)의 직경(이하,「직경 R1」이라고 함)을 각각 나타낸다.
도 7에 나타낸 바와 같이, P1=P2의 경우에는 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파용 외부 접속 단자(121)는 접속 패드(87)를 통하여 관통 비어(81)의 단부(81A)에 대응하여 배치되고, 그 중심축을 고주파용 외부 접속 단자(121)의 중심축과 거의 일치시켜 접속 패드(87)에 접속된다.
또한, 상기 고주파용 외부 접속 단자(121)는 그 중심축 C가 관통 비어(81)의 외주 위치 E의 내측에 위치하도록 접속 패드(87)와 접속하는 것이 바람직하다.
다음에, 도 8 및 도 9를 참조하여 고주파용 반도체 소자(110)의 외부 접속 단자(120, 121)의 배열 설치 피치 P1과, 지지 기판(71)에서의 외부 접속 단자(97, 98)의 배열 설치 피치 P2가 다른 경우의 고주파용 외부 접속 단자의 접속 구조에 대해서 설명한다.
도 8은 고주파용 반도체 소자(110)의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치가 지지 기판(71)에서의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치의 1/2배인 경우의 고주파용 외부 접속 단자(121)의 접속 구성을 모식적으로 나타내고, 도 9는 고주파용 반도체 소자(110)의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치가 지지 기판(71)에서의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치의 k배(0<k<1)인 경우의 고주파용 외부 접속 단자(121)의 접속 구성을 모식적으로 나타낸다.
또한, 도 9에서, R2는 관통 비어(81)의 직경(이하,「직경 R2」라고 함)을, F는 관통 비어(81)의 외주 위치(이하,「외주 위치 F」라고 함)를 각각 나타낸다.
또한, 도 8 및 도 9에서, 도 7에 나타내는 구성과 동일 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
도 8에 나타낸 바와 같이, P1=(P2/2)의 경우에는 고주파용 외부 접속 단자 (121)가 접속 패드(87)를 통하여 관통 비어(81)의 단부(81A)와 대응하도록 고주파용 외부 접속 단자(121)들 사이의 거리가 P1×2=P2가 되도록, 외부 접속 단자(120)가 고주파용 외부 접속 단자(121) 사이에 배열 설치한다.
또한, 고주파용 외부 접속 단자(121)는 고주파용 외부 접속 단자(121)의 중심축 C가 관통 비어(81)의 외주 위치 E의 내측에 위치하도록 접속 패드(87)에 접속하는 것이 바람직하다.
한편, 도 9에 나타낸 바와 같이, P1=k×P2(0<k<1)에 있어서, 직경 R1의 관통 비어(81)에 의해서는 고주파용 외부 접속 단자(121)를 상기 관통 비어(81)의 단부(81A)에 대응시켜 접속할 수 없는 경우에는, 상기 관통 비어(81)의 직경을 크게 함(R2, R2>Rl)으로써, 고주파용 외부 접속 단자(121)와 관통 비어(81)의 단부(81A)를 대향시킨다. 상기 고주파용 외부 접속 단자(121)는 관통 비어(81)의 단부(81A)에 배열 설치된 접속 패드(87)를 통하여 전기적으로 접속된다.
이와 같이, 지지 기판(71)에 설치된 관통 비어(81)의 직경을 크게 함으로써, 고주파용 반도체 소자(110)에서의 외부 접속 단자의 배열 설치 피치 P1을 변경하지 않고 고주파용 외부 접속 단자(121)를 관통 비어(81)의 단부(81A)와 대향시킨다.
이것에 의해, 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파 특성을 손상하지 않고 고주파용 외부 접속 단자(121)와 외부 접속 단자(98) 사이의 고주파 신호의 전송을 양호한 정밀도로 행할 수 있다.
또한, 고주파용 외부 접속 단자(121)는 고주파용 외부 접속 단자(121)의 중심축 C가 관통 비어(81)의 외주 위치 F의 내측에 위치하도록 접속 패드(87)와 접속 하면 된다.
이상, 설명한 바와 같이 본 실시예의 반도체 장치(70)에 의하면, 고주파용 외부 접속 단자(121)의 중심축 C가 관통 비어(81)의 외주 위치 E, F의 내측에 위치하도록 접속 패드(87)에 고주파용 외부 접속 단자(121)를 접속시킴으로써, 고주파용 외부 접속 단자(121)와 외부 접속 단자(98) 사이를 전송하는 고주파 신호의 전송 손실을 저감할 수 있다.
도 10은 상기 기둥 형상 전극(도체 포스트)(81)을 구비하지 않는 고주파용 반도체 소자(130)를 나타낸다.
도 10에서, 상기 도 5에 나타낸 고주파용 반도체 소자(110)와 동일 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
상기 고주파용 반도체 소자(130)에서는 재배선층(115, 116) 위에 기둥 형상전극(도체 포스트)을 통하지 않고 외부 접속 단자(120, 121)가 직접적으로 배열 설치되어 있다. 여기에서, 절연층(114)을 덮는 수지(131)로서는, 예를 들면, 유기 절연 수지를 사용할 수 있다.
본 발명에서는 고주파용 반도체 소자로서, 이와 같이 기둥 형상 전극을 구비하지 않는 구조를 갖는 반도체 소자를 적용할 수도 있다.
또한, 도시하지 않았지만, 고주파용 반도체 소자(130)에는 필요에 따라서, 상기 도 6에 나타낸 재배선(124A, 124B, 124C, 125A, 125B, 126) 등이 설치될 수 있다.
다음에, 상기 반도체 장치(70)의 제조 공정의 개략에 대해서 설명한다.
우선, 전자 기기가 필요로 하는 기능에 대응하여 반도체 소자(101, 105) 및 고주파용 반도체 소자(110)가 선택된다. 반도체 소자(101, 105)는, 예를 들면, 메모리 소자 및/또는 마이크로 프로세서 등의 로직 소자로부터 선택되고, 고주파용 반도체 소자(110)는, 예를 들면, 아날로그 신호를 처리하는 기능을 구비한 반도체 소자가 적용된다.
한편, 상기 전자 기기의 구조 및 상기 반도체 소자의 단자 구성·배치에 대응하여 지지 기판(71)이 형성된다. 이 때, 상기 지지 기판(71)에는 상기 고주파용 반도체 소자(110)에서의 고주파용 외부 접속 단자(121)의 위치에 대응하여 관통 비어(81)가 배열 설치된다.
이어서, 상기 지지 기판(71)의 한쪽 주면(상면) 위에 상기 복수개의 반도체 소자가 탑재·고착된다.
반도체 소자(101)는 지지 기판(71) 위에 접착층(104)을 매개하여 소위 페이스 업 방식으로 고착되고, 반도체 소자(105)는 상기 반도체 소자(101) 위에 접착층(109)을 매개하여 소위 페이스 업 방식으로 고착된다.
한편, 고주파용 반도체 소자(110)는 지지 기판(71)에 소위 페이스 다운(플립칩) 방식으로 탑재·고착된다. 이 때, 그 고주파용 외부 접속 단자(121)는 상기 관통 비어(81)에 대응하여 그 접속 패드(87)에 접속된다.
반도체 소자(101, 105)의 전극 패드는 각각 와이어(103, 108)를 통하여 지지 기판(71)의 한쪽 주면 위에 배열 설치되어 있는 전극 패드에 전기적으로 접속된다.
이어서, 반도체 소자(101, 105) 및 고주파용 반도체 소자(110)를 와이어 (103, 108) 등과 함께 몰드 수지(122)에 의해 밀봉한다.
그런 후, 상기 지지 기판(71)의 다른 쪽 주면(하면)에서의 접속 패드(93)에 외부 접속용 단자(97, 98)가 배열 설치된다.
이러한 방법으로 반도체 장치(70)를 제조함으로써, 상기한 종래의 고주파용 반도체 장치의 제조법에 비하여 지지 기판 위의 반도체 소자의 고밀도 실장을 용이하게 하고, 설계, 제조에 필요한 시간, 제조 비용의 면 등으로부터 고주파용 반도체 소자(110)의 최적화를 용이하게 행할 수 있다.
또한, 고주파용 외부 접속 단자(121)와 외부 접속 단자(98) 사이의 고주파 신호의 전송 손실을 저감할 수 있다.
(제 2 실시예)
도 11을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예인 반도체 장치(135)에 대해서 설명한다.
본 실시예에서의 반도체 장치(135)는 고주파용 반도체 소자를 덮도록 실드 부재가 배열 설치되어 있는 구성을 특징으로 한다.
상기 반도체 장치(135)에서, 상기 제 1 실시예에서의 반도체 장치(70)의 구성에 대응하는 개소에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 반도체 장치(135)는 지지 기판(71), 외부 접속 단자(97, 98), 반도체 소자(101, l05), 고주파용 반도체 소자(110)를 구비하고, 지지 기판(71)의 한쪽 주면에 탑재된 반도체 소자(101, 105), 고주파용 반도체 소자(110) 중, 상기 고주파용 반도체 소자(110)를 덮도록 실드 부재(136)가 배열 설치 되어 있다.
그리고, 반도체 소자(101, 105), 고주파용 반도체 소자(110)를 덮는 실드 부재(136)는 와이어(103, 108) 등과 함께 몰드 수지(122)에 의해 피복되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 고주파용 반도체 소자(110)를 덮도록 배열 설치된 실드 부재(136)는 지지 기판(71)에 배열 설치된 그라운드(접지) 단자(도시 생략)에 전기적으로 접속되어 있다.
상기 실드 부재(136)의 재료로서는, 예를 들면, 알루미늄(Al) 또는 양은(동(Cu)-니켈(Ni)-아연(Zn) 합금)을 사용할 수 있다.
이와 같이, 고주파용 반도체 소자(110)를 덮도록 실드 부재(136)를 배열 설치 함으로써, 반도체 소자(101, 105)와 고주파용 반도체 소자(110) 사이의 상호 간섭을 저감·방지할 수 있다.
(제 3 실시예)
다음에, 도 12 및 도 13을 참조하여, 본 발명의 제 3 실시예인 반도체 장치(140)에 대해서 설명한다.
도 13은 도 12에서의 고주파용 반도체 소자(145)의 확대 단면을 나타낸다. 본 실시예에 나타내는 반도체 장치(140)는 고주파용 반도체 소자(145)에서의 재배선 형성면에 용량 소자가 탑재된 구성인 것을 특징으로 한다.
또한, 도 12, 도 13에서, 상기 제 1 실시예, 제 2 실시예에서의 반도체 장치에서의 구성과 대응하는 부위에는 제 1 실시예, 제 2 실시예와 동일한 부호를 부여하고 있다.
반도체 장치(140)는 지지 기판(71), 외부 접속 단자(97, 98), 반도체 소자(101, 105), 고주파용 반도체 소자(145)를 구비하고, 지지 기판(71)의 한쪽 주면에 탑재된 반도체 소자(101, 105) 및 고주파용 반도체 소자(145)는 몰드 수지(122)에 의해 피복되어 있다.
여기에서, 고주파용 반도체 소자(145)는 일 표면 위에 형성된 절연층(114)을 가진 고주파 소자(111), 상기 절연층(114) 위에 배열 설치된 재배선(115, 116), 상기 재배선(115, 116) 위에 배열 설치된 기둥 형상 전극(도체 포스트)(151 내지 153), 상기 기둥 형상 전극의 선단부에 배열 설치된 외부 접속 단자(120, 121)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 재배선층(115, 116) 위에 배열 설치된 유전체층(147) 및 상기 유전체층(147) 위에 배열 설치된 재배선층(148)으로 용량 소자(146)가 형성되어 있다.
그리고 이들 재배선, 용량 소자, 기둥 형상 전극 등은 몰드 수지(119)에 의해 피복되어 있다.
또한, 상기 재배선(115, 116)은 필요에 따라서, 상기 도 6에 나타낸 재배선(124A, 124B, 125A, 125B, 126)을 포함한다.
이와 같이, 고주파용 반도체 소자(145) 위에 용량 소자(146)를 배열 설치함으로써, 예를 들면, 인덕터를 구성하는 재배선(126)과 상기 용량 소자(146)를 조합시켜 필터를 형성하는 것이 용이해져서, 상기 고주파용 반도체 소자(145)의 고주파특성을 향상시킬 수 있다.
여기에서, 상기 기둥 형상 전극(도체 포스트)(151)은 그 한쪽 끝이 고주파 소자(111)의 재배선(115)과 접속되어 있고, 다른 쪽 끝(151A)이 몰드 수지(119)로부터 노출되어 있다. 이 단부(151A)에는 외부 접속 단자(121)가 배열 설치된다.
한편, 기둥 형상 전극(152)은 그 한쪽의 단부가 재배선(116)과 접속되어 있고, 다른 쪽 끝(152A)이 몰드 수지(119)로부터 노출되어 있다. 이 단부(152A)에는 외부 접속 단자(120)가 배열 설치된다.
또한, 기둥 형상 전극(153)은 그 한쪽의 단부가 재배선(148)과 접속되어 있고, 다른 쪽 끝(153A)이 몰드 수지(119)로부터 노출되어 있다. 이 단부(153A)에는 외부 접속 단자(120)가 배열 설치되어 있다. 이들 기둥 형상 전극(151 내지 153)의 단부(151A 내지 153A)는 대략 동일 평면 위에 위치한다.
이와 같이, 재배선(115, 116, 148) 위에 기둥 형상 전극(151 내지 153)을 설치함으로써, 압축 성형에 의해 형성된 몰드 수지(119)에 의해 재배선(115) 및 용량 소자(커패시터)(146) 등을 밀봉할 수 있다. 기둥 형상 전극(151 내지 153)은, 예를 들면, 구리(Cu)로 형성할 수 있다.
도 14는 상기 도 13에 나타낸 고주파용 반도체 소자(145)의 변형예인 고주파용 반도체 소자(155)를 나타낸다.
본 변형예에서는, 상기 기둥 형상 전극(도체 포스트)을 사용하지 않고 고주파용 반도체 소자를 구성하고 있다. 도 14에서, 도 13에 나타낸 고주파용 반도체 소자(145)와 동일 부위에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
상기 고주파용 반도체 소자(155)는 일 표면 위에 형성된 절연층(114)을 가진 고주파 소자(111), 상기 절연층(114) 위에 배열 설치된 재배선(115, 116), 상기 재 배선(115, 116) 위에 배열 설치된 비어(156), 상기 비어(156) 위에 배열 설치된 외부 접속 단자(120, 121)를 구비하고 있다.
상기 재배선층(115, 116) 위에 배열 설치된 유전체층(147) 및 상기 유전체층(147) 위에 배열 설치된 재배선층(148)으로 용량 소자(146)가 형성되어 있다. 상기 용량 소자(146)의 한쪽 전극을 구성하는 재배선층(148) 위에는 직접 외부 접속 단자(120)가 배열 설치되어 있다.
이들 재배선층, 용량 소자, 비어는 몰드 수지(157)에 의해 피복되어 있다. 또한, 상기 몰드 수지(157)의 표면에는 솔더 레지스트 등의 절연층(158)이 배열 설치되어 재배선(148)의 상면 등을 보호하고 있다.
또한, 상기 재배선(115, 116)은 필요에 따라서, 상기 도 6에 나타낸 재배선(124A, 124B, 125A, 125B, 126)을 포함한다.
이러한 고주파용 반도체 소자(155)를 고주파용 반도체 소자(145) 대신에 적용한 반도체 장치에서도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
(제 4 실시예)
도 15 내지 도 16을 참조하여, 본 발명의 제 4 실시예인 반도체 장치(160)에 대해서 설명한다.
도 16은 상기 반도체 장치(160)에서의 지지 기판(71)의 다른 쪽 주면(하면)측에서 봤을 때의 도면이다.
본 실시예에서의 반도체 장치(160)는 지지 기판(71)의 한쪽 주면에서 고주파용 반도체 소자를 포함하는 복수개의 반도체 소자가 적층 상태로 탑재된 구성인 것 을 특징으로 한다.
또한, 도 15, 도 16에서, 상기 제 1 실시예, 제 2 실시예 등의 반도체 장치에서의 구성과 대응하는 부위에는 제 1 실시예, 제 2 실시예와 동일한 부호를 부여하고 있다.
이러한 구성에 있어서, 지지 기판(71)에서는, 상술하는 바와 같이, 그 기재(72)를 관통하여 복수개의 비어(73)가 설치되고, 상기 기재(72)의 한쪽 주면인 상면, 즉 반도체 소자 탑재면에서는 상기 비어(73)에 전기적으로 접속된 상부 배선(75), 상기 상부 배선(75)을 피복하여 배열 설치된 상부 절연층(76) 및 상기 상부 절연층(76)을 관통하여 설치된 상부 비어(78)가 배열 설치되며, 또한 상기 상부 절연층(76) 위에서 상기 상부 비어(78)에 전기적으로 접속된 와이어 접속부(83, 84),배선(85, 86)이 배열 설치되어 있다.
한편, 상기 기재(72)의 하면(다른 쪽 주면), 즉 외부 접속용 단자 배열 설치면에는 상기 비어(73)에 전기적으로 접속된 하부 배선(88), 상기 하부 배선(88)을 피복하여 배열 설치된 하부 절연층(89) 및 상기 하부 절연층(89)을 관통하여 설치된 하부 비어(91), 또한 상기 하부 절연층(89) 위에서 상기 하부 비어(91)에 전기적으로 접속된 접속 패드(93)가 배열 설치되어 있다. 상기 접속 패드(93)의 주위에는 솔더 레지스트층(96)이 배열 설치되어 있다.
그리고, 고주파용 반도체 소자의 탑재 위치에 대응하여 상기 기재(72), 상부 절연층(76) 및 하부 절연층(89)의 적층 구조체를 관통하는 비어(81)가 배열 설치되어 있다.
본 실시예에서는, 상기 지지 기판(71)의 한쪽 주면(상면)의 거의 중앙부에 고주파용 반도체 소자(110)가 페이스 다운(플립칩) 방식에 의해 탑재·고착되고, 그 외부 접속 전극(120, 121)은 배선(85), 접속 패드(87) 등에 직접 접속된다.
또한, 상기 고주파용 반도체 소자(110) 위에는 접착층(104)을 매개하여 반도체 소자(101)가 탑재·고착되고, 또한 상기 반도체 소자(101) 위에는 접착층(109)을 매개하여 반도체 소자(105)가 탑재·고착되어 있다. 즉, 복수개의 반도체 소자가 적층 상태로 지지 기판(71) 위에 탑재되어 있다.
고주파용 외부 접속 단자(121)의 중심축을 관통 비어(81)의 지름 내 또는 관통 비어(81)의 점유 면적 내에 있도록(위치하도록) 배치하여, 상기 고주파용 외부 접속 단자(121)와 접속 패드(87)를 접속함으로써 고주파 신호의 경로가 단축되어, 고주파용 외부 접속 단자(121)와 외부 접속 단자(98) 사이의 고주파 신호의 전송 손실이 저감된다.
한편, 반도체 소자(101)의 전극 패드(102)는 와이어(103)를 통하여 지지 기판(71) 위의 와이어 접속부(83), 배선(85) 등에 전기적으로 접속되고, 또한 반도체 소자(105)의 전극 패드(106)는 와이어(108)를 통하여 지지 기판(71) 위의 와이어 접속부(84)에 전기적으로 접속되어 있다.
이러한 와이어의 접속을 용이하게 하기 위하여, 와이어 접속부(83) 및 배선(85)은 와이어 접속부(84)보다도 내측에 위치하도록 배열 설치되어 있다.
그리고, 상기 지지 기판(71)의 한쪽 주면에서 상기 반도체 소자(101, 105),고주파용 반도체 소자(110)는 와이어(103, 108) 등과 함께 몰드 수지(122)에 의해 밀봉되어 있다.
이와 같이, 지지 기판(71) 위에 있어서, 고주파용 반도체 소자(110) 위에 반도체 소자(101) 및 반도체 소자(105)를 적층한(스택시킨) 상태로 이들의 반도체 소자를 실장함으로써, 상기 지지 기판(71)의 외형 치수를 작게하는 것이 가능해져, 반도체 장치(160)를 소형화할 수 있다.
또한, 본 실시예에서 고주파용 반도체 소자(110) 대신에 고주파용 반도체 소자(130)를 사용할 수도 있다.
또한, 필요에 따라서 고주파용 반도체 소자(110) 대신에 용량 소자(146)를 구비한 고주파용 반도체 소자(145, 155)를 적용할 수도 있다. 용량 소자(146)를 구비한 고주파용 반도체 소자(145, 155)를 사용함으로써, 예를 들면, 재배선(126)으로 구성되는 인덕터와 상기 용량 소자(146)를 조합시켜 필터를 형성하는 것이 용이해져서, 상기 고주파용 반도체 장치(160)의 고주파 특성을 향상시킬 수 있다.
(제 5 실시예)
다음에, 도 17을 참조하여, 본 발명의 제 5 실시예인 반도체 장치(165)에 대해서 설명한다.
본 실시예에 나타내는 반도체 장치(165)는 상기 제 4 실시예에 나타낸 반도체 장치(160)에서 고주파용 반도체 소자(110)의 고주파 소자(111)를 덮도록 실드 부재가 배열 설치되어 이루어지는 구성인 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 실시예의 반도체 장치(165)에서 상기 제 4 실시예의 반도체 장치(160)에서의 구성에 대응하는 부위에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
즉, 본 실시예에서의 반도체 장치(165)에서는 페이스 다운(플립칩) 방식에 의해, 그 전극(120, 121)이 배선(85, 86) 및 접속 패드(87) 등과 전기적으로 접속된 고주파 소자(111)가 실드 부재(166)에 의해 피복되고, 상기 실드 부재(166) 위에 반도체 소자(101)가 탑재되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 실드 부재(166)는 고주파 소자(111)를 덮도록 배열 설치되고, 지지 기판(71)에 배열 설치된 그라운드(접지) 단자(도시 생략)에 전기적으로 접속되어 있다. 상기 실드 부재(166)의 재료로서는, 상기 제 2 실시예와 마찬가지로, 예를 들면, 알루미늄(Al) 또는 양은(동(Cu)-니켈(Ni)-아연(Zn) 합금)을 사용할 수 있다.
이와 같이, 고주파용 소자(111)를 덮는 실드 부재(166)를 설치함으로써, 반도체 소자(101, 105)와 고주파 소자(111) 사이의 상호 간섭을 저감·방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명했지만, 본 발명은 이러한 특정의 실시예에 한정되는 것이 아니라, 특허청구범위 내에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에서 다양한 변형·변경이 가능하다.
예를 들면, 상기 본 발명의 실시예에서는 고주파용 반도체 소자의 고주파용 전극에 대응하여 배열 설치되는 비어는 상기 지지 기판의 한쪽 주면으로부터 다른 쪽 주면에 이르는 하나(한개)의 관통 비어의 형태로 되어 있지만, 본 발명 사상은 이것에 한정되는 것은 아니다.
상기 비어를 그 길이 방향, 즉 상기 지지 기판의 두께 방향의 도중에서 분할 하고, 배선층 또는 전극 패드를 통하여 전기적으로 상호 접속하는 구조로 할 수도 있다(도시 생략).
이 때, 상기 비어는 상기 길이 방향과는 거의 수직 방향으로 서로 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있지만, 상기 비어가 상호 중첩되는 부분(대향하는 면적)이 클수록 고주파 신호의 전송에 미치는 영향은 적다.
본 발명은 고주파 신호의 전송 손실을 억제하는 동시에, 실장의 고밀도화를 도모할 수 있는 반도체 장치에 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 고주파 신호의 전송 손실을 억제하는 동시에, 실장의 고밀도화를 도모하는 것이 가능한 반도체 장치를 제공하는 것이 가능하다.
상기 발명에 의하면, 배선 길이의 대략 동일한 한 조의 재배선을 배열 설치함으로써 스큐 타이밍의 조정·최적화를 행할 수 있다.

Claims (8)

  1. 지지 기판과,
    상기 지지 기판의 한쪽 주면(主面)에 실장된 제 1 반도체 소자와,
    상기 지지 기판의 한쪽 주면에 실장된 고주파용 전극을 갖는 제 2 반도체 소자와,
    상기 고주파용 전극에 대응하여 상기 지지 기판에 배열 설치된 관통 비어(via)와,
    상기 관통 비어에 대응하여 상기 지지 기판의 다른 쪽 주면에 배열 설치된 외부 접속 전극을 갖고,
    상기 제 2 반도체 소자는 재배선(rewiring)을 갖고 있으며, 이 재배선을 사용하여 수동 소자를 형성한 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 반도체 소자는 상기 지지 기판의 한쪽 주면에 페이스 다운(face-down) 형상으로 실장되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고주파용 전극의 중심축이 상기 관통 비어의 외주(外周)보다도 내측이 되도록 배열 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 반도체 소자는 상기 제 2 반도체 소자 위에 적층되어 배열 설치 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 반도체 소자에는 그라운드 전위로 된 실드 부재(shield member)를 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 반도체 소자는 서로가 평행해지는 부위를 갖는 한 쌍의 재배선을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 반도체 소자는 배선 길이가 대략 동일한 1세트의 재배선을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
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