JP7446727B2

JP7446727B2 - 半導体装置

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Publication number: JP7446727B2
Application number: JP2019125293A
Authority: JP
Inventors: 章向井; 雅彦蔵口
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Devices and Storage Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Devices and Storage Corp
Priority date: 2019-07-04
Filing date: 2019-07-04
Publication date: 2024-03-11
Anticipated expiration: 2039-07-04
Also published as: JP2021012913A; CN112186030B; US11715778B2; US20210005730A1; CN112186030A

Description

本発明の実施形態は、半導体装置に関する。

例えば窒化物半導体を用いたトランジスタなどの半導体装置がある。半導体装置において、特性の向上が望まれる。

特開２０１１－１２４５０９号公報

本発明の実施形態は、特性の向上が可能な半導体装置を提供する。

本発明の実施形態によれば、半導体装置は、第１電極、第２電極、第３電極、第１半導体領域、第２半導体領域及び第３半導体領域を含む。前記第１電極から前記第２電極への第１方向における前記第３電極の位置は、前記第１方向における前記第１電極の位置と、前記第１方向における前記第２電極の位置と、の間にある。前記第１半導体領域は、Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む。前記第１半導体領域は、第１部分領域、第２部分領域、第３部分領域、第４部分領域、第５部分領域、第６部分領域及び第７部分領域を含む。前記第１部分領域から前記第１電極への第２方向は、前記第１方向と交差する。前記第２部分領域から前記第２電極への方向は、前記第２方向に沿う。前記第３部分領域から前記第３電極への方向は、前記第２方向に沿う。前記第４部分領域は、前記第１方向において前記第１部分領域と前記第３部分領域との間にある。前記第５部分領域は、前記第１方向において前記第３部分領域と前記第２部分領域との間にある。前記第２半導体領域は、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む。前記第２半導体領域は、第１半導体部分及び第２半導体部分を含む。前記第４部分領域から前記第１半導体部分への方向は前記第２方向に沿う。前記第５部分領域から前記第２半導体部分への方向は前記第２方向に沿う。前記第６部分領域は、前記第２方向において、前記第４部分領域と前記第１半導体部分との間にある。前記第７部分領域は、前記第２方向において、前記第５部分領域と前記第２半導体部分との間にある。前記第３半導体領域は、Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む。前記第３半導体領域は、第１半導体膜部を含む。前記第１半導体膜部は、前記第１方向において、前記第６部分領域と、前記第３電極との間にある。前記第６部分領域は、前記第１半導体部分と対向する第１面と、前記第１半導体膜部と対向する第２面と、を含む。前記第２面の少なくとも一部と、前記第１面と、の間の第１角度は、９０度よりも小さい。

図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。図２は、第１実施形態に係る半導体装置の特性を例示するグラフ図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第２実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。図４は、第２実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第３実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１実施形態）
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図１（ａ）に示すように、実施形態に係る半導体装置１１０は、第１電極５１、第２電極５２、第３電極５３、第１半導体領域１０、第２半導体領域２０、及び、第３半導体領域３０を含む。この例では、半導体装置１１０は、第１絶縁部材４１及び第２絶縁部材４２をさらに含む。

第１電極５１から第２電極５２への第１方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＺ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。

第１方向（Ｘ軸方向）における第３電極５３の位置は、第１方向における第１電極５１の位置と、第１方向における第２電極５２の位置と、の間にある。例えば、第３電極５３の少なくとも一部が、Ｘ軸方向において、第１電極５１と第２電極５２との間にあっても良い。

第１半導体領域１０は、Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む。第１半導体領域１０は、例えば、窒化物半導体を含む。第１半導体領域１０は、例えば、Ｘ－Ｙ平面に実質的に平行に広がる。

第１半導体領域１０は、第１部分領域１１、第２部分領域１２、第３部分領域１３、第４部分領域１４、第５部分領域１５、第６部分領域１６及び第７部分領域１７を含む。

第１部分領域１１から第１電極５１への第２方向は、第１方向（Ｘ軸方向）と交差する。第２方向は、例えば、Ｚ軸方向である。以下では、第２方向をＺ軸方向とする。

第２部分領域１２から第２電極５２への方向は、第２方向に沿う。第３部分領域１３から第３電極５３への方向は、第２方向に沿う。第４部分領域１４は、第１方向（Ｘ軸方向）において第１部分領域１１と第３部分領域１３との間にある。第５部分領域１５は、第１方向（Ｘ軸方向）において第３部分領域１３と第２部分領域１２との間にある。第６部分領域１６及び第７部分領域１７については、後述する。

第２半導体領域２０は、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む。第２半導体領域２０は、例えば、ＡｌＧａＮを含む。組成比ｘ２は、例えば、０よりも高く０．５以下である。組成比ｘ２は、例えば、０．１５以上０．２５以下でも良い。第２半導体領域２０は、例えば、窒化物半導体を含む。

第２半導体領域２０は、第１半導体部分２１及び第２半導体部分２２を含む。第４部分領域１４から第１半導体部分２１への方向は、第２方向（例えば、Ｚ軸方向）に沿う。第５部分領域１５から第２半導体部分２２への方向は、第２方向に沿う。第６部分領域１６は、第２方向において、第４部分領域１４と第１半導体部分２１との間にある。第７部分領域１７は、第２方向において、第５部分領域１５と第２半導体部分２２との間にある。

第３半導体領域３０は、Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む。第３半導体領域３０は、例えば、ＡｌＧａＮまたはＡｌＮを含む。第３半導体領域３０におけるＡｌの組成比ｘ３は、例えば、０．５よりも高く１以下である。Ａｌの組成比ｘ３は、例えば、０．８以上１以下でも良い。第３半導体領域３０は、例えば、窒化物半導体を含む。１つの例において、組成比ｘ３は、組成比ｘ２よりも高い。

第３半導体領域３０は、第１半導体膜部３１を含む。第１半導体膜部３１は、第１方向（Ｘ軸方向）において、第６部分領域１６と、第３電極５３との間にある。

この例では、第３半導体領域３０は、第２半導体膜部３２をさらに含む。第２半導体膜部３２は、第１方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３と第７部分領域１７との間にある。この例では、第３半導体領域３０は、第３半導体膜部３３をさらに含む。第３半導体膜部３３は、第２方向（例えば、Ｚ軸方向）において、第３部分領域１３と第３電極５３との間にある。実施形態において、第２半導体膜部３２及び第３半導体膜部３３は省略されても良い。

第１絶縁部材４１は、第１絶縁部分４１ａ、第２絶縁部分４１ｂ、及び、第３絶縁部分４１ｃを含む。第１絶縁部分４１ａは、第６部分領域１６と第３電極５３との間にある。例えば、第１絶縁部分４１ａは、第１半導体膜部３１と第３電極５３との間にある。第２絶縁部分４１ｂは、第３電極５３と第７部分領域１７との間にある。例えば、第２絶縁部分４１ｂは、第３電極５３と第２半導体膜部３２との間にある。第３絶縁部分４１ｃは、第３部分領域１３と第３電極５３との間にある。例えば、第３絶縁部分４１ｃは、第３半導体膜部３３と第３電極５３との間にある。

第１電極５１は、例えば、第１半導体部分２１と電気的に接続される。第２電極５２は、例えば、第２半導体部分２２と電気的に接続される。

第１電極５１は、例えば、ソース電極として機能する。第２電極５２は、例えば、ドレイン電極として機能する。第３電極５３は、例えば、ゲート電極として機能する。第１絶縁部材４１は、例えば、ゲート絶縁膜として機能する。半導体装置１１０は、例えば、ＭＯＳ型パワーデバイスである。

図１（ｂ）に示すように、例えば、第１半導体領域１０の第２半導体領域２０と対向する部分に、キャリア領域１０Ｅが形成される。キャリア領域１０Ｅは、例えば、２次元電子ガスである。半導体装置１１０は、例えば、ＨＥＭＴ（High Electron Mobility Transistor）である。例えば、第３電極５３に印加される電圧により、第１電極５１と第２電極５２との間の電流経路に流れる電流が制御できる。

実施形態において、第１半導体膜部３１が設けられる孔（例えば、トレンチ）の側面の少なくとも一部は、逆テーパ状である。

図１（ａ）に示すように、例えば、第６部分領域１６は、第１面１６ａ及び第２面１６ｂを含む。第１面１６ａは、第１半導体部分２１と対向する。第２面１６ｂは、第１半導体膜部３１と対向する。第２面１６ｂの少なくとも一部と、第１面１６ａと、の間の角度を第１角度θ１とする。実施形態においては、第１角度θ１は、９０度よりも小さい。例えば、第１角度θ１は、８９．４度よりも小さい。実施形態において、第１角度θ１は、８０度以上でも良い。

例えば、第１半導体領域１０から第２半導体領域２０への向きは、窒化物半導体の＋ｃ軸方向に沿う。これにより、第１半導体領域１０の第２半導体領域２０と対向する部分にキャリア領域１０Ｅが形成される。例えば、第６部分領域１６の上面の近傍、及び、第７部分領域１７の上面の近傍にキャリア領域１０Ｅが形成される（図１（ｂ）参照）。

一方、第６部分領域１６の第１半導体膜部３１と対向する部分では、＋ｃ軸方向とは逆向きの分極が生じる。このため、第６部分領域１６の第１半導体膜部３１と対向する部分では、キャリア領域１０Ｅの極性とは逆の極性の電荷が生じる。第６部分領域１６の第１半導体膜部３１と対向する部分においては、電流が流れ難くなる。

これにより、例えば、高いしきい値電圧が得られる。例えば、ノーマリオフの特性が安定して得やすくできる。実施形態によれば、特性の向上が可能な半導体装置を提供できる。

実施形態において、組成比ｘ３は、組成比ｘ２よりも高いことが好ましい。これにより、逆の極性の電荷がより生じ易くなり、しきい値電圧をより効果的に高くすることができる。

実施形態において、第１電極５１と第２電極５２との間の電流経路の一部において、電流が流れにくくなる。この例では、第１電極５１の側（ソース電極の側）の第１角度θ１が９０度未満（逆テーパ状）であることで、第１電極５１の側の電流経路において電流が流れ難くなる。電流経路の一部で電流が流れ難くなることで高いしきい値電圧が得られるため、例えば、第２電極５２の側の傾斜が順テーパでも良い。

例えば、図１（ａ）に示すように、第３半導体領域３０は、第２半導体膜部３２を含む。既に説明したように、第２半導体膜部３２は、第１方向（Ｘ軸方向）において、第３電極５３と第７部分領域１７との間にある。第７部分領域１７は、第３面１７ｃ及び第４面１７ｄを含む。第３面１７ｃは、第２半導体部分２２と対向する。第４面１７ｄは、第２半導体膜部３２と対向する。第４面１７ｄの少なくとも一部と、第３面１７ｃと、の間の角度を第２角度θ２とする。この例では、第２角度θ２は、９０度よりも大きい。

例えば、第２面１６ｂと第４面１７ｄとは、互いに実質的に平行でも良い。例えば、第２面１６ｂの上記の少なくとも一部を含む平面と、第４面１７ｄの上記の少なくとも一部を含む平面と、の間の角度は、５度以下である。

このような第２面１６ｂ及び第４面１７ｄは、以下のようにして形成できる。例えば、第１半導体領域１０及び第２半導体領域２０となる半導体積層体に孔（トレンチ）を形成する際に、斜め方向にエッチングを行う。例えば、半導体積層体の表面を傾斜させた状態で、ＲＩＥ（Reactive Ion Etching）などを実施することで、逆テーパの側面が形成できる。この側面に第３半導体領域３０となる膜を形成することで、上記のような第２面１６ｂ及び第４面１７ｄが得られる。さらに、孔の中に、絶縁膜、及び、第３電極５３となる導電部材を形成することで、半導体装置１１０における第１絶縁部材４１及び第３電極５３が形成できる。

実施形態において、第１電極５１の側、及び、第２電極５２の側の少なくともいずれかにおいて、第３電極５３とＸ軸方向で対向する半導体部分を逆テーパ状にする。これにより、高いしきい値電圧が得られる。しきい値電圧の例については、後述する。

この例では、第１絶縁部材４１は、第４絶縁部分４１ｄ、及び、第５絶縁部分４１ｅを含む。Ｚ軸方向において、第１半導体部分２１は、第６部分領域１６と第４絶縁部分４１ｄとの間にある。Ｚ軸方向において、第２半導体部分２２は、第７部分領域１７と第５絶縁部分４１ｅとの間にある。

この例では、第３半導体領域３０は、第４半導体膜部３４及び第５半導体膜部３５を含む。Ｚ軸方向において、第４半導体膜部３４は、第１半導体部分２１と第４絶縁部分４１ｄとの間にある。Ｚ軸方向において、第５半導体膜部３５は、第２半導体部分２２と第５絶縁部分４１ｅとの間にある。

図１（ａ）に示すように、この例では、第２絶縁部材４２が設けられている。第２絶縁部材４２は、第６絶縁部分４２ｆ及び第７絶縁部分４２ｇを含む。第６絶縁部分４２ｆは、Ｚ軸方向において、第１半導体部分２１と第４絶縁部分４１ｄとの間にある。第６絶縁部分４２ｆは、Ｚ軸方向において、第１半導体部分２１と第４半導体膜部３４との間にある。第７絶縁部分４２ｇは、Ｚ軸方向において、第２半導体部分２２と第５絶縁部分４１ｅとの間にある。第７絶縁部分４２ｇは、Ｚ軸方向において、第２半導体部分２２と第５半導体膜部３５との間にある。

例えば、第１絶縁部分４１ａ、第２絶縁部分４１ｂ及び第３絶縁部分４１ｃの材料は、第４絶縁部分４１ｄ及び第５絶縁部分４１ｅの材料と同じでも良い。第２絶縁部材４２は、第２半導体領域２０の保護層として機能する。

例えば、第１絶縁部材４１は、酸素及びシリコンを含む。例えば、第２絶縁部材４２は、窒素及びシリコンを含む。例えば、第１絶縁部材４１における酸素の濃度は、第２絶縁部材４２における酸素の濃度よりも高い。例えば、第２絶縁部材４２における窒素の濃度は、第１絶縁部材４１における窒素の濃度よりも高い。例えば、第１絶縁部材４１は、酸化シリコンを含む。例えば、第２絶縁部材４２は、窒化シリコンを含む。

図１（ａ）に示すように、第１電極５１と第３電極５３との間の距離ｄ１は、第３電極５３と第２電極５２との間の距離ｄ２よりも短い。これらの距離は、Ｘ軸方向に沿う長さである。このように、ソース電極として機能する第１電極５１と、第３電極５３と、の間の距離ｄ１は、ドレイン電極として機能する第２電極５２と、第３電極５３と、の間の距離ｄ２よりも短い。例えば、適正な耐圧が得やすくなる。

既に説明したように、第１絶縁部材４１は、第４絶縁部分４１ｄを含んでも良い。第１半導体部分２１は、Ｚ軸方向において、第６部分領域１６と第４絶縁部分４１ｄとの間にある。第４絶縁部分４１ｄは、第１絶縁部分面ｆ１を含む。第１絶縁部分面ｆ１は、Ｚ軸方向において、第１半導体部分２１と対向する。この例では、第１絶縁部分面ｆ１は、第４半導体膜部３４及び第６絶縁部分４２ｆを介して、第１半導体部分２１と対向する。一方、第１絶縁部分４１ａは、第２絶縁部分面ｆ２を含む。第２絶縁部分面ｆ２は、Ｘ軸方向において、第１半導体膜部３１と対向する。

第２絶縁部分面ｆ２の少なくとも一部と、第１絶縁部分面ｆ１と、の間の角度を第１絶縁部材面角度θｉ１とする。実施形態において、第１絶縁部材面角度θｉ１は、９０度よりも小さい。例えば、第１絶縁部材面角度θｉ１は、９０度よりも小さいことで、第１角度θ１を９０度よりも小さくし易くできる。

例えば、第１面１６ａは、第１絶縁部分面ｆ１に沿う。第２面１６ｂは、第２絶縁部分面ｆ２に沿う。第１絶縁部材面角度θｉ１を９０度よりも小さくすることで、第１角度θ１が９０度よりも小さくなる。これにより、例えば高いしきい値電圧が得やすくなる。

既に説明したように、第１絶縁部材４１は、第５絶縁部分４１ｅを含んでも良い。第２半導体部分２２は、Ｚ軸方向において、第７部分領域１７と第５絶縁部分４１ｅとの間にある。第５絶縁部分４１ｅは、第３絶縁部分面ｆ３を含む。第３絶縁部分面ｆ３は、Ｚ軸方向において、第２半導体部分２２と対向する。この例では、第３絶縁部分面ｆ３は、第５半導体膜部３５及び第７絶縁部分４２ｇを介して、第２半導体部分２２と対向する。一方、第２絶縁部分４１ｂは、第４絶縁部分面ｆ４を含む。第４絶縁部分面ｆ４は、Ｘ軸方向において、第２半導体膜部３２と対向する。

第４絶縁部分面ｆ４の少なくとも一部と、第３絶縁部分面ｆ３と、の間の角度を第２絶縁部材面角度θｉ２とする。この例では、第２絶縁部材面角度θｉ２は、９０度よりも大きい。例えば、第３面１７ｃは、第３絶縁部分面ｆ３に沿う。第４面１７ｄは、第４絶縁部分面ｆ４に沿う。例えば、第２絶縁部材面角度θｉ２は、第４面１７ｄに対して実質的に平行でも良い。後述するように、第２絶縁部材面角度θｉ２は、９０度よりも小さくても良い。

図２は、第１実施形態に係る半導体装置の特性を例示するグラフ図である。
図２は、実施形態に係る半導体装置のしきい値電圧のシミュレーション結果を例示している。図２の横軸は、第１角度θ１である。図２の縦軸は、しきい値電圧Ｖｔｈ（Ｖ）である。この例では、第２角度θ２は、（１８０度－第１角度θ１）である。

図２に示すように、第１角度θ１が小さくなると、しきい値電圧Ｖｔｈは、大きくなる。第１角度θ１が９０度のときに、しきい値電圧Ｖｔｈは、負である。例えば、第１角度θ１が８９．４度よりも小さいときに、しきい値電圧Ｖｔｈは、正になる。

第１角度θ１が過度に小さくなると、しきい値電圧Ｖｔｈが過度に大きくなる。第１角度θ１は、例えば、８０度以上であることが好ましい。第１角度θ１は、例えば、８５度以上でも良い。

このように、第１角度θ１を９０度よりも小さくすることで、第１角度θ１が９０度の時よりも、高いしきい値電圧Ｖｔｈが得られる。例えば、第１角度θ１を８９．４度以下にすることで、正のしきい値電圧Ｖｔｈが得られる。製造工程のばらつきなどを考慮すると、実用的には、第１角度θ１は、例えば、８９度以下で良い。第１角度θ１は、例えば、８８度以下でも良い。

図１（ｂ）に示すように、第１方向及び第２方向を含む平面は、Ｚ－Ｘ平面に相当する。Ｚ－Ｘ平面で切断したときの、第２面１６ｂの長さＬ１は、５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下であることが好ましい。長さＬ１が５０ｎｍ以上であることにより、例えば、高いしきい値電圧Ｖｔｈが安定して得られる。長さＬ１が４００ｎｍ以下であることにより、例えば、抵抗の過度な上昇を抑制することができる。

例えば、Ｚ－Ｘ平面で切断したときの、第４面１７ｄの長さＬ２は、５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下で良い。

図１（ｂ）に示すように、第２面１６ｂに対して垂直な方向に沿う、第１半導体膜部３１の厚さを厚さｔ１とする。厚さｔ１は、例えば、３ｎｍ以上８ｎｍ以下であることが好ましい。厚さｔ１が３ｎｍ以上であることで、均一な第１半導体膜部３１が得やすくなる。厚さｔ１が８ｎｍ以下であることで、例えば、第１半導体膜部３１が良好な結晶性をもつ。これにより、例えば、トラップの生成が抑制され、特性が向上しやすくなる。

図１（ｂ）に示すように、第４面１７ｄに対して垂直な方向に沿う、第２半導体膜部３２の厚さを厚さｔ２とする。厚さｔ２は、例えば、３ｎｍ以上８ｎｍ以下であることが好ましい。

（第２実施形態）
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第２実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図３（ａ）に示すように、実施形態に係る半導体装置１２０も、第１電極５１、第２電極５２、第３電極５３、第１半導体領域１０、第２半導体領域２０、第３半導体領域３０、第１絶縁部材４１、及び、第２絶縁部材４２を含む。半導体装置１２０においても第１角度θ１は、９０度よりも小さく、第１絶縁部材面角度θｉ１は、９０度よりも小さい。半導体装置１２０において、第２角度θ２も、９０度よりも小さく、第２絶縁部材面角度θｉ２も、９０度よりも小さい。半導体装置１２０におけるこれ以外の構成は、半導体装置１１０の構成と同様である。

半導体装置１２０においても、高いしきい値電圧が得られる。半導体装置１２０においては、第１電極５１の側、及び、第２電極５２の側の両方において、側面が逆テーパになることで、しきい値電圧Ｖｔｈをより確実により安定して高くできる。

半導体装置１１０に関して説明した構成を半導体装置１２０に適用できる。第２実施形態においても、特性の向上が可能な半導体装置を提供できる。

図３（ａ）に例示するような第２面１６ｂ及び第４面１７ｄは、例えば、第１半導体領域１０及び第２半導体領域２０となる半導体積層体に孔（トレンチ）を形成する際に、互いに逆方向の成分を有する斜め方向に沿った複数のエッチングを行うことで、形成できる。

図４は、第２実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図４に示すように、実施形態に係る半導体装置１２１においても、第１角度θ１、第１絶縁部材面角度θｉ１、第２角度θ２、及び、第２絶縁部材面角度θｉ２のそれぞれは、９０度よりも小さい。半導体装置１２１においては、第３半導体膜部３３と第１半導体膜部３１との間のコーナー部、及び、第３半導体膜部３３と第２半導体膜部３２との間のコーナー部が、曲面状である。第３絶縁部分４１ｃと第１絶縁部分４１ａとの間のコーナー部、及び、第３絶縁部分４１ｃと第２絶縁部分４１ｂとの間のコーナー部の形状は、半導体膜部の形状に沿うように、曲面状である。第３電極５３の下端部の形状も半導体膜部の形状に沿うように、曲面状である。半導体装置１２１に関するこれ以外の構成は、半導体装置１２０の構成と同様である。

半導体装置１２１においても、高いしきい値電圧が得られる。半導体装置１１０及び１２０に関して説明した構成を半導体装置１２１に適用できる。

（第３実施形態）
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第３実施形態に係る半導体装置を例示する模式的断面図である。
図５（ａ）に示すように、実施形態に係る半導体装置１３０も、第１電極５１、第２電極５２、第３電極５３、第１半導体領域１０、第２半導体領域２０、第３半導体領域３０、第１絶縁部材４１、及び、第２絶縁部材４２を含む。半導体装置１２０においても第１角度θ１は、９０度よりも小さく、第１絶縁部材面角度θｉ１は、９０度よりも小さい。一方、第２角度θ２は、９０度よりも大きく、第２絶縁部材面角度θｉ２は、９０度よりも大きい。半導体装置１３０においては、第１電極５１と第３電極５３との間の距離ｄ１は、第３電極５３と第２電極５２との間の距離ｄ２よりも長い。この場合、例えば、第１電極５１は、ドレイン電極として機能し、第２電極５２は、ソース電極として機能し、第３電極５３は、ゲート電極として機能する。

半導体装置１３０においても、第１角度θ１が９０度よりも小さい。例えば、高いしきい値電圧Ｖｔｈが得やすい。第１絶縁部材面角度θｉ１は、９０度よりも小さい。これにより、高いしきい値電圧Ｖｔｈが得やすい。第３実施形態においても、特性の向上が可能な半導体装置を提供できる。

第１実施形態に係る半導体装置１１０においては、第２電極５２に高電圧を印加した場合にも高いしきい値電圧を得ることが、より容易である。一方、第３実施形態に係る半導体装置１３０においては、例えば、第２電極５２に高電圧を印加した場合に第１角度θ１の影響が弱まる。これにより、例えば、大きなプロセスマージンが得られる。

第１～第３実施形態において、第３部分領域１３の上面は、Ｘ－Ｙ平面に対して傾斜しても良い。

第１～第３実施形態において、第１電極５１及び第２電極５２は、例えば、Ａｌ及びＴｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。第３電極５３は、例えば、窒化チタン及びＳｉよりなる群から選択された少なくとも１つを含む。

第１～第３実施形態において、＋ｃ軸は、Ｚ軸方向と厳密に平行でなくても良い。例えば、＋ｃ軸とＺ軸方向との間の角度は、５度以下でも良い。例えば、－ｃ軸とＺ軸方向との間の角度は、５度以下でも良い。

実施形態によれば、特性の向上が可能な半導体装置が提供できる。

なお、本明細書において「窒化物半導体」とは、Ｂ_ｘＩｎ_ｙＡｌ_ｚＧａ_{１－ｘ－ｙ－ｚ}Ｎ（０≦ｘ≦１，０≦ｙ≦１，０≦ｚ≦１，ｘ＋ｙ＋ｚ≦１）なる化学式において組成比ｘ、ｙ及びｚをそれぞれの範囲内で変化させた全ての組成の半導体を含むものとする。またさらに、上記化学式において、Ｎ（窒素）以外のＶ族元素もさらに含むもの、導電形などの各種の物性を制御するために添加される各種の元素をさらに含むもの、及び、意図せずに含まれる各種の元素をさらに含むものも、「窒化物半導体」に含まれるものとする。

本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、半導体装置に含まれる半導体領域、電極、及び絶縁部材などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

その他、本発明の実施の形態として上述した半導体装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての半導体装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０…第１半導体領域、１０Ｅ…キャリア領域、１１～１７…第１～第７部分領域、１６ａ、１６ｂ…第１、第２面、１７ｃ、１７ｄ…第３、第４面、２０…第２半導体領域、２１、２２…第１、第２半導体部分、３０…第３半導体領域、３１～３５…第１～第５半導体膜部、４１、４２…第１、第２絶縁部材、４１ａ～４１ｅ…第１～第５絶縁部分、４２ｆ、４２ｇ…第６、第７絶縁部分、５１～５３…第１～第３電極、 θ１、θ２…第１、第２角度、 θｉ１、θｉ２…第１、第２絶縁部材面角度、１１０、１２０、１２１、１３０…半導体装置、Ｌ１、Ｌ２…長さ、Ｖｔｈ…しきい値電圧、ｄ１、ｄ２…距離、ｆ１～ｆ４…第１～第４絶縁部分面、ｔ１、ｔ２…厚さ

Claims

第１電極と、
第２電極と、
第３電極であって、前記第１電極から前記第２電極への第１方向における前記第３電極の位置は、前記第１方向における前記第１電極の位置と、前記第１方向における前記第２電極の位置と、の間にある、前記第３電極と、
Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１半導体領域であって、前記第１半導体領域は、第１部分領域、第２部分領域、第３部分領域、第４部分領域、第５部分領域、第６部分領域及び第７部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第１電極への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記第２部分領域から前記第２電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第３部分領域から前記第３電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第４部分領域は、前記第１方向において前記第１部分領域と前記第３部分領域との間にあり、前記第５部分領域は、前記第１方向において前記第３部分領域と前記第２部分領域との間にある、前記第１半導体領域と、
Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２半導体領域であって、前記第２半導体領域は、第１半導体部分及び第２半導体部分を含み、前記第４部分領域から前記第１半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第５部分領域から前記第２半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第６部分領域は、前記第２方向において、前記第４部分領域と前記第１半導体部分との間にあり、前記第７部分領域は、前記第２方向において、前記第５部分領域と前記第２半導体部分との間にある、前記第２半導体領域と、
Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３半導体領域であって、前記第３半導体領域は、第１半導体膜部を含み、前記第１半導体膜部は、前記第１方向において、前記第６部分領域と、前記第３電極との間にある、前記第３半導体領域と、
を備え、
前記第６部分領域は、前記第１半導体部分と対向する第１面と、前記第１半導体膜部と対向する第２面と、を含み、
前記第２面の少なくとも一部と、前記第１面と、の間の第１角度は、９０度よりも小さく、
前記第１角度は、８０度以上である、半導体装置。
前記第１角度は、８９．４度よりも小さい、請求項１記載の半導体装置。
前記第１方向及び前記第２方向を含む平面で切断したときの、前記第２面の前記少なくとも一部の長さは、５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下である、請求項１または２に記載の半導体装置。
前記第２面の前記少なくとも一部に対して垂直な方向に沿う、前記第１半導体膜部の厚さは、３ｎｍ以上８ｎｍ以下である、請求項１～３のいずれか１つに記載の半導体装置。
前記第１電極と前記第３電極との間の距離は、前記第３電極と前記第２電極との間の距離よりも短い、請求項１～４のいずれか１つに記載の半導体装置。
前記第３半導体領域は、第２半導体膜部をさらに含み、
前記第２半導体膜部は、前記第１方向において、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第７部分領域は、前記第２半導体部分と対向する第３面と、前記第２半導体膜部と対向する第４面と、を含み、
前記第４面の少なくとも一部と、前記第３面と、の間の第２角度は、９０度よりも大きい、請求項１～５のいずれか１つに記載の半導体装置。
第１電極と、
第２電極と、
第３電極であって、前記第１電極から前記第２電極への第１方向における前記第３電極の位置は、前記第１方向における前記第１電極の位置と、前記第１方向における前記第２電極の位置と、の間にある、前記第３電極と、
Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１半導体領域であって、前記第１半導体領域は、第１部分領域、第２部分領域、第３部分領域、第４部分領域、第５部分領域、第６部分領域及び第７部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第１電極への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記第２部分領域から前記第２電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第３部分領域から前記第３電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第４部分領域は、前記第１方向において前記第１部分領域と前記第３部分領域との間にあり、前記第５部分領域は、前記第１方向において前記第３部分領域と前記第２部分領域との間にある、前記第１半導体領域と、
Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２半導体領域であって、前記第２半導体領域は、第１半導体部分及び第２半導体部分を含み、前記第４部分領域から前記第１半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第５部分領域から前記第２半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第６部分領域は、前記第２方向において、前記第４部分領域と前記第１半導体部分との間にあり、前記第７部分領域は、前記第２方向において、前記第５部分領域と前記第２半導体部分との間にある、前記第２半導体領域と、
Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３半導体領域であって、前記第３半導体領域は、第１半導体膜部を含み、前記第１半導体膜部は、前記第１方向において、前記第６部分領域と、前記第３電極との間にある、前記第３半導体領域と、
を備え、
前記第６部分領域は、前記第１半導体部分と対向する第１面と、前記第１半導体膜部と対向する第２面と、を含み、
前記第２面の少なくとも一部と、前記第１面と、の間の第１角度は、９０度よりも小さく、
前記第３半導体領域は、第２半導体膜部をさらに含み、
前記第２半導体膜部は、前記第１方向において、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第７部分領域は、前記第２半導体部分と対向する第３面と、前記第２半導体膜部と対向する第４面と、を含み、
前記第４面の少なくとも一部と、前記第３面と、の間の第２角度は、９０度よりも大きい、半導体装置。
前記第２面の前記少なくとも一部を含む平面と、前記第４面の前記少なくとも一部を含む平面と、の間の角度は、５度以下である、請求項６または７記載の半導体装置。
前記第３半導体領域は、第２半導体膜部をさらに含み、
前記第２半導体膜部は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第７部分領域は、前記第２半導体部分と対向する第３面と、前記第２半導体膜部と対向する第４面と、を含み、
前記第４面の少なくとも一部と、前記第３面と、の間の第２角度は、９０度よりも小さい、請求項１～５のいずれか１つに記載の半導体装置。
前記第１電極と前記第３電極との間の距離は、前記第３電極と前記第２電極との間の距離よりも長い、請求項１～４のいずれか１つに記載の半導体装置。
前記第３半導体領域は、第３半導体膜部をさらに含み、
前記第３半導体膜部は、前記第３部分領域と前記第３電極との間にある、請求項６～９のいずれか１つに記載の半導体装置。
第１絶縁部分、第２絶縁部分、及び、第３絶縁部分を含む第１絶縁部材をさらに備え、
前記第１絶縁部分は、前記第６部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第２絶縁部分は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第３絶縁部分は、前記第３部分領域と前記第３電極との間にある、請求項１１記載の半導体装置。
前記第１絶縁部材は、第４絶縁部分をさらに含み、前記第１半導体部分は、前記第６部分領域と前記第４絶縁部分との間にあり、
前記第４絶縁部分は、前記第１半導体部分と対向する第１絶縁部分面を含み、
前記第１絶縁部分は、前記第１半導体膜部と対向する第２絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第１絶縁部分面と、の間の絶縁部材面角度は、９０度よりも小さい、請求項１２記載の半導体装置。
前記第１絶縁部材は、第５絶縁部分をさらに含み、前記第２半導体部分は、前記第７部分領域と前記第５絶縁部分との間にあり、
前記第５絶縁部分は、前記第２半導体部分と対向する第３絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分は、前記第２半導体膜部と対向する第４絶縁部分面を含み、
前記第４絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第３絶縁部分面と、の間の第２絶縁部材面角度は、９０度よりも小さい、請求項１３記載の半導体装置。
前記第１絶縁部材は、第５絶縁部分をさらに含み、前記第２半導体部分は、前記第７部分領域と前記第５絶縁部分との間にあり、
前記第５絶縁部分は、前記第２半導体部分と対向する第３絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分は、前記第２半導体膜部と対向する第４絶縁部分面を含み、
前記第４絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第３絶縁部分面と、の間の第２絶縁部材面角度は、９０度よりも大きい、請求項１３記載の半導体装置。
第１電極と、
第２電極と、
第３電極であって、前記第１電極から前記第２電極への第１方向における前記第３電極の位置は、前記第１方向における前記第１電極の位置と、前記第１方向における前記第２電極の位置と、の間にある、前記第３電極と、
Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１半導体領域であって、前記第１半導体領域は、第１部分領域、第２部分領域、第３部分領域、第４部分領域、第５部分領域、第６部分領域及び第７部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第１電極への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記第２部分領域から前記第２電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第３部分領域から前記第３電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第４部分領域は、前記第１方向において前記第１部分領域と前記第３部分領域との間にあり、前記第５部分領域は、前記第１方向において前記第３部分領域と前記第２部分領域との間にある、前記第１半導体領域と、
Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２半導体領域であって、前記第２半導体領域は、第１半導体部分及び第２半導体部分を含み、前記第４部分領域から前記第１半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第５部分領域から前記第２半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第６部分領域は、前記第２方向において、前記第４部分領域と前記第１半導体部分との間にあり、前記第７部分領域は、前記第２方向において、前記第５部分領域と前記第２半導体部分との間にある、前記第２半導体領域と、
Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３半導体領域であって、前記第３半導体領域は、第１半導体膜部を含み、前記第１半導体膜部は、前記第１方向において、前記第６部分領域と、前記第３電極との間にある、前記第３半導体領域と、
第１絶縁部材と、
を備え、
前記第６部分領域は、前記第１半導体部分と対向する第１面と、前記第１半導体膜部と対向する第２面と、を含み、
前記第２面の少なくとも一部と、前記第１面と、の間の第１角度は、９０度よりも小さく、
前記第３半導体領域は、第２半導体膜部をさらに含み、
前記第２半導体膜部は、前記第１方向において、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第７部分領域は、前記第２半導体部分と対向する第３面と、前記第２半導体膜部と対向する第４面と、を含み、
前記第４面の少なくとも一部と、前記第３面と、の間の第２角度は、９０度よりも大きく、
前記第３半導体領域は、第３半導体膜部をさらに含み、
前記第３半導体膜部は、前記第３部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第１絶縁部材は、第１絶縁部分、第２絶縁部分、及び、第３絶縁部分を含み、
前記第１絶縁部分は、前記第６部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第２絶縁部分は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第３絶縁部分は、前記第３部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第１絶縁部材は、第４絶縁部分をさらに含み、前記第１半導体部分は、前記第６部分領域と前記第４絶縁部分との間にあり、
前記第４絶縁部分は、前記第１半導体部分と対向する第１絶縁部分面を含み、
前記第１絶縁部分は、前記第１半導体膜部と対向する第２絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第１絶縁部分面と、の間の絶縁部材面角度は、９０度よりも小さく、
前記第１絶縁部材は、第５絶縁部分をさらに含み、前記第２半導体部分は、前記第７部分領域と前記第５絶縁部分との間にあり、
前記第５絶縁部分は、前記第２半導体部分と対向する第３絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分は、前記第２半導体膜部と対向する第４絶縁部分面を含み、
前記第４絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第３絶縁部分面と、の間の第２絶縁部材面角度は、９０度よりも大きい、半導体装置。
第１電極と、
第２電極と、
第３電極であって、前記第１電極から前記第２電極への第１方向における前記第３電極の位置は、前記第１方向における前記第１電極の位置と、前記第１方向における前記第２電極の位置と、の間にある、前記第３電極と、
Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１半導体領域であって、前記第１半導体領域は、第１部分領域、第２部分領域、第３部分領域、第４部分領域、第５部分領域、第６部分領域及び第７部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第１電極への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記第２部分領域から前記第２電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第３部分領域から前記第３電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第４部分領域は、前記第１方向において前記第１部分領域と前記第３部分領域との間にあり、前記第５部分領域は、前記第１方向において前記第３部分領域と前記第２部分領域との間にある、前記第１半導体領域と、
Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２半導体領域であって、前記第２半導体領域は、第１半導体部分及び第２半導体部分を含み、前記第４部分領域から前記第１半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第５部分領域から前記第２半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第６部分領域は、前記第２方向において、前記第４部分領域と前記第１半導体部分との間にあり、前記第７部分領域は、前記第２方向において、前記第５部分領域と前記第２半導体部分との間にある、前記第２半導体領域と、
Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３半導体領域であって、前記第３半導体領域は、第１半導体膜部を含み、前記第１半導体膜部は、前記第１方向において、前記第６部分領域と、前記第３電極との間にある、前記第３半導体領域と、
第１絶縁部分、第２絶縁部分、第３絶縁部分及び第４絶縁部分を含む第１絶縁部材と、
を備え、
前記第１絶縁部分は、前記第６部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第２絶縁部分は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第３絶縁部分は、前記第３部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第１半導体部分は、前記第６部分領域と前記第４絶縁部分との間にあり、
前記第４絶縁部分は、前記第１半導体部分と対向する第１絶縁部分面を含み、
前記第１絶縁部分は、前記第１半導体膜部と対向する第２絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第１絶縁部分面と、の間の絶縁部材面角度は、９０度よりも小さく、
前記第３半導体領域は、第２半導体膜部をさらに含み、
前記第２半導体膜部は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第１絶縁部材は、第５絶縁部分をさらに含み、前記第２半導体部分は、前記第７部分領域と前記第５絶縁部分との間にあり、
前記第５絶縁部分は、前記第２半導体部分と対向する第３絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分は、前記第２半導体膜部と対向する第４絶縁部分面を含み、
前記第４絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第３絶縁部分面と、の間の第２絶縁部材面角度は、９０度よりも大きい、半導体装置。
前記第６部分領域は、前記第１半導体部分と対向する第１面と、前記第１半導体膜部と対向する第２面と、を含み、
前記第１面は、前記第１絶縁部分面に沿い、
前記第２面は、前記第２絶縁部分面に沿う、請求項１７記載の半導体装置。
第１電極と、
第２電極と、
第３電極であって、前記第１電極から前記第２電極への第１方向における前記第３電極の位置は、前記第１方向における前記第１電極の位置と、前記第１方向における前記第２電極の位置と、の間にある、前記第３電極と、
Ａｌ_ｘ１Ｇａ_１－ｘ１Ｎ（０≦ｘ１＜１）を含む第１半導体領域であって、前記第１半導体領域は、第１部分領域、第２部分領域、第３部分領域、第４部分領域、第５部分領域、第６部分領域及び第７部分領域を含み、前記第１部分領域から前記第１電極への第２方向は、前記第１方向と交差し、前記第２部分領域から前記第２電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第３部分領域から前記第３電極への方向は、前記第２方向に沿い、前記第４部分領域は、前記第１方向において前記第１部分領域と前記第３部分領域との間にあり、前記第５部分領域は、前記第１方向において前記第３部分領域と前記第２部分領域との間にある、前記第１半導体領域と、
Ａｌ_ｘ２Ｇａ_１－ｘ２Ｎ（０＜ｘ２＜１、ｘ１＜ｘ２）を含む第２半導体領域であって、前記第２半導体領域は、第１半導体部分及び第２半導体部分を含み、前記第４部分領域から前記第１半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第５部分領域から前記第２半導体部分への方向は前記第２方向に沿い、前記第６部分領域は、前記第２方向において、前記第４部分領域と前記第１半導体部分との間にあり、前記第７部分領域は、前記第２方向において、前記第５部分領域と前記第２半導体部分との間にある、前記第２半導体領域と、
Ａｌ_ｘ３Ｇａ_１－ｘ３Ｎ（０＜ｘ３≦１、ｘ１＜ｘ３）を含む第３半導体領域であって、前記第３半導体領域は、第１半導体膜部を含み、前記第１半導体膜部は、前記第１方向において、前記第６部分領域と、前記第３電極との間にある、前記第３半導体領域と、
第１絶縁部分、第２絶縁部分、第３絶縁部分及び第４絶縁部分を含む第１絶縁部材と、
を備え、
前記第１絶縁部分は、前記第６部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第２絶縁部分は、前記第３電極と前記第７部分領域との間にあり、
前記第３絶縁部分は、前記第３部分領域と前記第３電極との間にあり、
前記第１半導体部分は、前記第６部分領域と前記第４絶縁部分との間にあり、
前記第４絶縁部分は、前記第１半導体部分と対向する第１絶縁部分面を含み、
前記第１絶縁部分は、前記第１半導体膜部と対向する第２絶縁部分面を含み、
前記第２絶縁部分面の少なくとも一部と、前記第１絶縁部分面と、の間の絶縁部材面角度は、９０度よりも小さく、
前記絶縁部材面角度は、８０度以上である、半導体装置。
前記ｘ３は、前記ｘ２よりも高い、請求項１～１９のいずれか１つに記載の半導体装置。