DE4124427A1 - Schaltung zum erzeugen einer inneren versorgungsspannung - Google Patents
Schaltung zum erzeugen einer inneren versorgungsspannungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung
zum Erzeugen einer inneren Versorgungsspannung zur
Verwendung in einer hochintegrierten
Halbleiterspeichervorrichtung. Insbesondere bezieht sich die
vorliegende Erfindung auf eine Schaltung zum Erzeugen einer
inneren Versorgungsspannung, bei der die Ausgangsspannung,
die davon erzeugt wird, in Abhängigkeit von einer
Temperatursteigerung zunimmt.
Eine Halbleiterspeichervorrichtung mit hoher
Speicherkapazität muß einen MOS-Transistor unter einem
Mikroeinheitspegel mit einer niedrigen Versorgungsspannung
versorgen, die kleiner ist als die äußere
Versorgungsspannung von 5 V, die gewöhnlich in
Computersystemen zugeführt wird. Zu diesem Zweck muß ein
innerer Versorgungsspannungsgenerator in Halbleiterchips
zusätzlich zu einer Speicherschaltung vorgesehen werden, um
die niedrige innere Versorgungsspannung abzugeben.
Beispielsweise enthält eine Halbleiter-DRAM-Vorrichtung über
den 16 Mbit-Pegel notwendigerweise den inneren
Versorgungsspannungsgenerator, um eine hohe Zuverlässigkeit
der Speichervorrichtung zu erzielen.
Ein bekannter innerer Versorgungsspannungsgenerator und
seine Eigenschaften werden unter Bezugnahme auf die Fig. 1
bis 3 erläutert. Gemäß Fig. 1 besteht der bekannte innere
Versorgungsspannungsgenerator 100 aus einem
Bezugsspannungsgenerator 50, einem Komparator 60 und einer
Ausgangsschaltung 70. Fig. 2 zeigt die Eigenschaften dieses
Generators nach Fig. 1 im Vergleich zur äußeren
Versorgungsspannung. Weiterhin wird eine andere
Ausführungsform des Bezugsspannungsgenerators 50 von Fig. 1
in Fig. 3 erläutert.
Zurückkommend auf Fig. 1 enthält der innere
Versorgungsspannungsgenerator 100 den
Bezugsspannungsgenerator 50 und die Ausgangsschaltung 70,
die aus einem PMOS-Transistor 10 besteht, der als variabler
Widerstand dient. Die Spannungsausgänge vom
Bezugsspannungsgenerator 50 und von der Ausgangsschaltung 70
werden dann am Komparator 60 miteinander verglichen, der ein
Differenzverstärker ist, um die Spannung zu steuern, die dem
Gate des PMOS-Transistors 10 zugeführt wird. Der
Bezugsspannungsgenerator 50 hat erste und zweite Widerstände
R1, R2, die in Serie zwischen die äußere Versorgungsspannung
und Massepegel geschaltet sind, um an einem Verbindungspunkt
3 eine Bezugsspannung Vref zu erzeugen. Der Komparator 60
hat erste und zweite NMOS-Transistoren 6, 7, die einen
Differenzverstärker bilden, einen dritten NMOS-Transistor 8,
der als Konstantstromquelle dient, und erste und zweite
PMOS-Transistoren 4, 5, die eine Stromspiegellaststufe
bilden. Darüber hinaus ist der PMOS-Transistor 10 an seiner
Source mit der äußeren Versorgungsspannung Vccext verbunden,
während sein Drain mit der inneren Versorgungsspannung
Vccint an einem Ausgangsknoten 11 verbunden ist. In der
Zeichnung wird die Bezugsspannung Vref dem Gate des ersten
NMOS-Transistors 6 des Komparators 60 zugeführt. Im Falle,
daß der Laststrom vom Ausgangsknoten 11 zur
Speicherschaltung (nicht dargestellt) fließt, tritt ein
Spannungsabfall am PMOS-Transistor 10 der Ausgangsschaltung
70 auf. Als Folge davon wird die innere Versorgungsspannung
auf einen Spannungspegel gesetzt, der niedriger als die
äußere Versorgungsspannung ist. Gleichzeitig steuert der
Komparator 60 die Gatespannung des PMOS-Transistors 10
derart, daß der Pegel der inneren Versorgungsspannung
identisch auf dem Bezugsspannungspegel Vref gehalten wird.
Der innere Versorgungsspannungsgenerator muß eine innere
Versorgungsspannung konstant halten ohne Rücksicht auf
Änderungen der äußeren Versorgungsspannung, damit die
Halbleiterspeichervorrichtung in hohem Maße zuverlässig
bleibt. Unerwünschterweise weist der bekannte innere
Versorgungsspannungsgenerator 100 von Fig. 1 die
Spannungsdifferenz ΔV gemäß Fig. 2 in Abhängigkeit von
einer Steigerung der äußeren Versorgungsspannung auf. Dieses
Problem wird durch die Tatsache verursacht, daß die
Bezugsspannung Vref vom Bezugsspannungsgenerator 50 der
Gleichung Vref = Vccext·R2/(R1+R2) gehorcht. Die
Bezugsspannung Vref nimmt daher zu, wenn die äußere
Versorgungsspannung zunimmt, wodurch die innere
Versorgungsspannung steigt. Dementsprechend kann die
Zuverlässigkeit der Halbleitervorrichtung leiden.
Bezugnehmend auf Fig. 3 besteht der
Bezugsspannungsgenerator 50 aus ersten bis dritten
PMOS-Transistoren 12, 13, 14, die in Serie miteinander
geschaltet sind, und vierten und fünften PMOS-Transistoren
15, 16, die in Serie miteinander geschaltet sind, wobei die
ersten bis dritten PMOS-Transistoren parallel zu den vierten
und fünften PMOS-Transistoren geschaltet sind. Die Gates und
Drains der ersten bis fünften PMOS-Transistoren 12 bis 16
sind jeweils in Diodenschaltung verschaltet, und weiterhin
ist das Gate des vierten PMOS-Transistors 15 mit der Source
des dritten PMOS-Transistors 14 verbunden. Die Source des
dritten PMOS-Transistors 14 ist außerdem so angeschlossen,
daß der Gatespannungspegel des vierten PMOS-Transistors 15
auf Vccext/3 eingestellt wird, die Source des vierten
PMOS-Transistors 15 wird ein Ausgangsknoten 17, wodurch der
Bezugsspannungsgenerator 50 die Bezugsspannung Vref über den
Ausgangsknoten 17 erzeugt. Wenn die Temperatur zunimmt,
nimmt jedoch die Schwellenspannung Vth des betreffenden
PMOS-Transistors im Bezugsspannungsgenerator 50 gemäß Fig. 3
ab. Die Bezugsspannung Vref wird damit vermindert. Wenn der
Bezugsspannungspegel sinkt, nimmt auch die innere
Versorgungsspannung ab, was dazu führt, daß die
Halbleiterspeichervorrichtung mit geringerer Geschwindigkeit
arbeitet.
Es ist dementsprechend ein Ziel der vorliegenden Erfindung,
eine Schaltung zum Erzeugen einer inneren
Versorgungsspannung anzugeben, die es einer
Halbleiterspeichervorrichtung erlaubt, mit stabiler,
konstanter Geschwindigkeit ohne Rücksicht auf
Temperaturänderungen zu arbeiten, wobei die Ausgangsspannung
zunimmt, wenn die Temperatur ansteigt.
Um dieses Ziel und weitere Ziele und Merkmale der Erfindung
zu erreichen, enthält der erfindungsgemäße innere
Versorgungsspannungsgenerator eine Spannungsteilerschaltung,
die erste und zweite variable Lastwiderstände aufweist, die
in Serie zwischen den inneren Versorgungsspannungsausgang
und Massepegel geschaltet sind, wobei ein gemeinsamer
Verbindungspunkt der variablen Lastwiderstände ein
Ausgangsanschluß wird, damit die abgegebene innere
Versorgungsspannung in Abhängigkeit von einer
Temperatursteigerung zunehmen kann.
Zum besseren Verständnis der Erfindung und um zu zeigen, wie
diese in der Praxis ausgeführt wird, soll auf die
begleitenden Zeichnungen Bezug genommen werden, die
nachfolgend erläutert werden. Es zeigt:
Fig. 1 einen konventionellen inneren Versorgungsspannungs
generator,
Fig. 2 die Ausgangscharakteristik des Generators nach
Fig. 1,
Fig. 3 eine Ausführungsform des Bezugsspannungsgenerators
von Fig. 1,
Fig. 4 einen inneren Versorgungsspannungsgenerator gemäß
der vorliegenden Erfindung,
Fig. 5 die Ausgangscharakteristik des inneren Versorgungs
spannungsgenerators nach Fig. 4,
Fig. 6 eine Ausführungsform des inneren Versorgungsspan
nungsgenerators von Fig. 4, und
Fig. 7 eine Tabelle zur Darstellung des Zunahme
verhältnisses der Stromtreiberleistung eines
MOS-Transistors in Abhängigkeit von Temperatur
änderungen.
Bezug nehmend auf Fig. 4 wird erläutert, wie eine
Spannungsteilerschaltung 80 mit einem Komparator 60 und
einer Ausgangsschaltung 70 verbunden ist. Ein
Bezugsspannungsgenerator 50, an dem eine äußere
Versorgungsspannung liegt, erzeugt eine Bezugsspannung Vref
Der Komparator 60, der mit dem Ausgang des
Bezugsspannungsgenerators 50 verbunden ist, vergleicht eine
erste Eingangsspannung, die mit der Bezugsspannung Vref
verbunden ist, mit einer zweiten Eingangsspannung. Der
Ausgang des Komparators 60 wird einem Eingangsanschluß der
Ausgangsschaltung 70 zur Erzeugung der inneren
Versorgungsspannung zugeführt. Die Spannungsteilerschaltung
80, die mit der Ausgangsschaltung 70 verbunden ist, erzeugt
die zweite Eingangsspannung an einem Ausgangsknoten
derselben, was es erlaubt, daß der Ausgangsspannungspegel
der Ausgangsschaltung 70 in Abhängigkeit von einer
Temperatursteigerung zunimmt. Es sei weiterhin angemerkt,
daß die Spannungsteilerschaltung 80 erste und zweite
variable Lastwiderstände R′₁, R′₂ hat, von denen die
Widerstände in Abhängigkeit von Temperatursteigerungen
zunehmen, wobei der Widerstand des ersten variablen
Lastwiderstandes R′₁ größer als der des zweiten variablen
Lastwiderstandes R′₂ ist. Weiterhin ist das Verhältnis der
Widerstandssteigerung zur Temperatursteigerung beim ersten
variablen Lastwiderstand R′₁ größer als das beim zweiten
variablen Lastwiderstand R′₂.
Die Ausgangsspannung Vccint des inneren
Versorgungsspannungsgenerators 100 von Fig. 4 kann
geschrieben werden als
wobei das Verhältnis der Widerstandsvariation zur
Temperaturänderung R′₁ < R′₂ ist. Aus Vorangehendem ergibt
sich, daß mit Zunahme der Temperatur das
Widerstandszunahmeverhältnis des ersten variablen
Lastwiderstandes R′₁ größer als das des zweiten variablen
Lastwiderstandes R′₂ wird, wodurch die innere
Versorgungsspannung Vccint zunimmt.
Wie in Fig. 5 dargestellt ist, versteht sich, daß die innere
Versorgungsspannung Vccint stabil zunimmt, um sie konstant
zu halten, wenn die Temperatur ansteigt. Dementsprechend
bestand das Problem der konventionellen Schaltung darin,
daß, wenn die Temperatur zunimmt, die Bezugsspannung Vref
des Bezugsspannungsgenerators abnimmt, was zu der
unerwünschten niedrigen inneren Versorgungsspannung führt
sowie zu dem Problem, daß, wenn die äußere
Versorgungsspannung zunimmt, die Bezugsspannung ebenfalls
zunimmt, was zu der instabilen inneren Versorgungsspannung
führt. Beide Probleme werden von der Erfindung überwunden.
Eine Ausführungsform des Bezugsspannungsgenerators 50 von
Fig. 4 wird nun im Detail unter Bezugnahme auf Fig. 6
erläutert. Der Bezugsspannungsgenerator 50 hat eine
Konstantstromquelle 31, von der ein Eingang mit der äußeren
Versorgungsspannung Vccext verbunden ist. Ein Ausgangsknoten
38 ist mit dem Ausgang der Konstantstromquelle 31 verbunden,
und eine Schaltung ist zwischen den Ausgangsanschluß und
Massepegel geschaltet, um den Spannungspegel am
Ausgangsanschluß 38 auf einen vorbestimmten Pegel
abzusenken.
Die Pegelabsenkschaltung hat einen ersten Widerstand 35, der
mit dem Ausgangsanschluß 38 verbunden ist, wobei das andere
Ende des ersten Widerstandes 35 mit dem Kollektor und der
Basis eines ersten bipolaren Transistors 32 verbunden ist,
dessen Emitter mit Massepegel verbunden ist. Ein zweiter
Widerstand 36 ist am einen Ende mit dem Ausgangsanschluß 38
verbunden und ist mit dem Kollektor eines zweiten bipolaren
Transistors 33 verbunden, dessen Basis mit dem Kollektor des
ersten bipolaren Transistors 32 verbunden ist und dessen
Emitter mit Massepegel über einen dritten Widerstand 37
verbunden ist. Darüber hinaus ist der Ausgangsanschluß 38
mit dem Kollektor eines dritten bipolaren Transistors 34
verbunden, dessen Basis mit dem Kollektor des zweiten
bipolaren Transistors 33 und dessen Emitter mit Massepegel
verbunden sind.
Der Komparator 60 hat einen ersten PMOS-Transistor 39, von
dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden
ist, und einen zweiten PMOS-Transistor 40, von dem die
Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist.
Das Gate des ersten PMOS-Transistors 39 ist mit dem Gate und
dem Drain des zweiten PMOS-Transistors 40 verbunden. Das
Gate eines ersten NMOS-Transistors 41 ist mit einer ersten
Eingangsspannung, d. h. der Bezugsspannung Vref verbunden.
Darüber hinaus ist der erste NMOS-Transistor 41 mit seinem
Drain mit dem Drain des ersten PMOS-Transistors 39
verbunden, und seine Source ist mit der Source eines zweiten
NMOS-Transistors 43 verbunden, von dem das Drain mit dem
Drain des zweiten PMOS-Transistors 40 und das Gate mit der
zweiten Eingangsspannung verbunden ist. Die Sources der
ersten und zweiten NMOS-Transistoren 41 und 43 sind mit dem
Drain eines dritten NMOS-Transistors 42 verbunden, von dem
die Source mit Massepegel und das Gate mit der ersten
Eingangsspannung verbunden sind. Der Verbindungspunkt 44 der
Drains des ersten PMOS-Transistors 39 und des ersten
NMOS-Transistors 41 dient als Ausgangsanschluß des
Komparators 60.
Die Ausgangsschaltung 70 besteht aus einem PMOS-Transistor,
dessen Source mit der äußeren Versorgungsspannung Vccext und
dessen Gate mit dem Ausgangsanschluß 44 des Komparators 60
verbunden sind. Das Drain des PMOS-Transistors 45 ist mit
einem Ausgangsanschluß 49 verbunden, über den die innere
Versorgungsspannung Vccint erzeugt wird.
Die Spannungsteilerschaltung 80 besteht aus einem ersten
PMOS-Transistor 46, dessen Source mit dem Ausgangsanschluß
49 der Ausgangsschaltung 70 verbunden ist und dessen Gate
und Drain in Diodenschaltung verschaltet sind. Ein zweiter
PMOS-Transistor 47 ist an seiner Source mit dem Drain des
ersten PMOS-Transistors 46 verbunden, und sein Gate und sein
Drain sind in Diodenschaltung mit Massepegel verbunden.
Darüber hinaus ist ein Ausgangsanschluß 48, an den Drain und
Source der ersten und zweiten PMOS-Transistoren
angeschlossen sind, mit der zweiten Eingangsspannung
verbunden.
Um eine konstante Bezugsspannung Vref ohne Rücksicht auf
Temperaturänderungen zu erzeugen, besteht der
Bezugsspannungsgenerator 50 aus bipolaren Transistoren.
Beispielsweise ist die Ausgangsspannung des
erfindungsgemäßen Bezugsspannungsgenerators 50 gleich
wobei VBE die Basis-Emitter-Spannung des dritten bipolaren
Transistors 34, Vt die thermoelektrische Spannung, Rb und Rc
die zweiten und dritten Widerstände 36 bzw. 37 und IS1 und
IS2 die Kollektorsättigungsströme der ersten und zweiten
bipolaren Transistoren 32 und 33 sind. Der
Bezugsspannungsgenerator 50 ist derart aufgebaut, daß die
Basis-Emitterspannung VBE mit einem negativen
Temperaturkoeffizienten von -2,2 mV/°C und die
thermoelektrische Spannung Vt mit einem positiven
Temperaturkoeffizienten von 0,085 mV/°C in Kombination
miteinander einen Temperaturkoeffizienten von Null ergeben.
Anders als beim konventionellen Bezugsspannungsgenerator,
der PMOS-Transistoren mit negativen Temperaturkoeffizienten
von -3 mV/°C verwendet, kann der erfindungsgemäße
Bezugsspannungsgenerator 50 eine stabile, konstante
Bezugsspannung Vref ohne Rücksicht auf Temperaturänderungen
erzeugen.
Außerdem ist die Spannungsteilerschaltung 80 so
angeschlossen, daß sie die Bezugsspannung Vref und dadurch
die innere Versorgungsspannung Vccint anhebt, wenn die
Temperatur zunimmt. Zu diesem Zweck ist die
Kanalleitfähigkeit g1(= ∂IDS/∂VDS) des ersten
PMOS-Transistors 46 kleiner als die Kanalleitfähigkeit g2
des zweiten PMOS-Transistors 47. Der Kanalwiderstand des
ersten PMOS-Transistors ist daher größer als der des zweiten
PMOS-Transistors. Es ist bekannt, daß die Leitfähigkeit
reziprok zum Widerstand ist. Aus Vorangehendem ergibt sich,
daß die Stromtreiberleistung für einen MOS-Transistor mit
hohem Kanalwiderstand vermindert wird. Im allgemeinen ist
ein MOS-Transistor mit einem langen Kanal
temperaturabhängiger als ein MOS-Transistor mit kurzen
Kanal. Eine Variation des Kanalwiderstandes gemäß der
Erfindung des MOS-Widerstands mit großer Kanallänge ist
daher vergleichsweise beachtlich.
Der innere Versorgungsspannungsgenerator von Fig. 6 im
Betrieb bei normaler Temperatur von 25°C wird nachfolgend
erläutert. Die Bezugsspannung Vref vom
Bezugsspannungsgenerator 50 wird in Gates der ersten und
dritten NMOS-Transistoren 41, 42 zugeführt. Wenn in diesem
Augenblick diese Spannung größer als die am Gate des zweiten
NMOS-Transistors 43 des Komparators 60 liegende Spannung
ist, wird eine gegebene Spannung an den Ausgangsanschluß 49
der Ausgangsschaltung 70 geladen. Im Falle, daß die
Bezugsspannung Vref auf dem gleichen Pegel wie die
Ausgangsspannung der Spannungsteilerschaltung 80 ist, wird
die innere Versorgungsspannung Vccint durch die
Spannungsteilerschaltung 80 konstant gehalten. Wenn kurze
Zeit später die Temperatur auf über 83°C ansteigt, wird der
Stromfluß im ersten PMOS-Transistor 46 der
Spannungsteilerschaltung 80 vermindert. Daher wird eine
Spannung, die geringer als die während der normalen
Temperatur ist, dem Gate des zweiten NMOS-Transistors 43 des
Komparators 60 zugeführt. Daher wird an den Ausgangsanschluß
44 des Komparators 60 eine Spannung geladen, die niedriger
als die während der normalen Temperatur ist, und daher wird
die Spannung am Ausgangsanschluß 49, d. h. die innere
Versorgungsspannung Vccint der Ausgangsschaltung 70 erhöht.
Wenn die Temperatur mehr und mehr ansteigt, wird der
Stromfluß, der sich im Kanal des ersten PMOS-Transistors 46
der Spannungsteilerschaltung 80 ausbildet, mehr und mehr
vermindert, so daß die innere Versorgungsspannung am
Ausgangsanschluß 49 der Ausgangsschaltung 70 mit steigender
Temperatur zunimmt. Als Folge wird die Zerstörung des
MOS-Transistors aufgrund der Temperaturänderung vermieden,
und es kann erreicht werden, daß die
Halbleiterspeichervorrichtung stabil arbeitet.
Zum besseren Verständnis der Spannungsteilerschaltung 80
gemäß der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend eine
Tabelle gemäß Fig. 7 erläutert, bei der das Abfallverhältnis
der Stromtreiberleistung im Detail für MOS-Transistoren
dargestellt ist, deren Gateoxidschicht 160 Å dick ist.
Nachfolgend wird der Einfachheit halber der PMOS-Transistor
zusammen mit dem NMOS-Transistor beschrieben. Die sich auf
den PMOS-Transistor beziehenden Tatsachen sind in Klammern
hinzugesetzt. Der Tabelle wird die Stromtreiberleistung für
den NMOS(PMOS)-Transistor unter der Bedingung gemessen, daß
die zugeführten Gate- und Drainspannungen bei +4,0 V (-4,0 V)
sind und die Substrat-Source-Spannung -2,0 V (0 V) ist. Das
Abnahmeverhältnis der Stromtreiberleistung bei 85°C ist im
Vergleich zu dem Verhältnis bei 25°C dargestellt. Der
Fachmann erkennt, daß das hohe Abnahmeverhältnis der
Stromtreiberleistung ein hohes Steigerungsverhältnis des
Kanalwiderstandes in Abhängigkeit von der Temperaturzunahme
beim MOS-Transistor bedeutet. Da die Kanalleitfähigkeit des
MOS-Transistors niedrig gemacht ist, ist sein
Kanalwiderstand hoch und daher das
Widerstandssteigerungsverhältnis ebenfalls hoch.
Claims (8)
1. Schaltung, die eine äußere Versorgungsspannung aufnimmt,
zur Erzeugung einer inneren Versorgungsspannung, die
niedriger als die äußere Versorgungsspannung ist und die
über eine Ausgangseinrichtung einer Speichereinrichtung
zuzuführen ist, enthaltend:
eine Spannungsteilereinrichtung zum Steigern der Ausgangsspannung in Abhängigkeit von einer Temperatursteigerung, enthaltend erste und zweite variable Widerstandseinrichtungen, die in Serie miteinander zwischen die Ausgangseinrichtung und einen Massepegel geschaltet sind, und
einen Ausgangsanschluß, der an einer Verbindung der ersten und zweiten variablen Widerstandseinrichtungen ausgebildet ist.
eine Spannungsteilereinrichtung zum Steigern der Ausgangsspannung in Abhängigkeit von einer Temperatursteigerung, enthaltend erste und zweite variable Widerstandseinrichtungen, die in Serie miteinander zwischen die Ausgangseinrichtung und einen Massepegel geschaltet sind, und
einen Ausgangsanschluß, der an einer Verbindung der ersten und zweiten variablen Widerstandseinrichtungen ausgebildet ist.
2. Schaltung nach Anspruch 1, bei der ein
Widerstandszunahmeverhältnis in Abhängigkeit von der
Temperatursteigerung bei der ersten variablen
Widerstandseinrichtung größer als bei der zweiten variablen
Widerstandseinrichtung ist.
3. Schaltung nach Anspruch 1, bei der die ersten und zweiten
variablen Widerstandseinrichtungen enthalten:
einen ersten MOS-Transistor, von dem ein Kanalende mit der Ausgangseinrichtung verbunden ist und ein anderes Kanalende und das Gate in Diodenschaltung verbunden sind, und
einen zweiten MOS-Transistor, von dem ein Kanalende mit dem Ausgangsanschluß verbunden ist und das andere Kanalende und das Gate in Diodenschaltung mit Massepegel verbunden sind, und
wobei der erste MOS-Transistor einen Kanal aufweist, der länger ist als der des zweiten MOS-Transistors.
einen ersten MOS-Transistor, von dem ein Kanalende mit der Ausgangseinrichtung verbunden ist und ein anderes Kanalende und das Gate in Diodenschaltung verbunden sind, und
einen zweiten MOS-Transistor, von dem ein Kanalende mit dem Ausgangsanschluß verbunden ist und das andere Kanalende und das Gate in Diodenschaltung mit Massepegel verbunden sind, und
wobei der erste MOS-Transistor einen Kanal aufweist, der länger ist als der des zweiten MOS-Transistors.
4. Schaltung, die eine äußere Versorgungsspannung aufnimmt,
zur Erzeugung einer inneren Versorgungsspannung die
niedriger ist, als die äußere Versorgungsspannung zur
Verwendung in einer Halbleiterspeichervorrichtung,
enthaltend:
eine Bezugsspannungsgeneratoreinrichtung, die die äußere Versorgungsspannung aufnimmt, zur Erzeugung einer Bezugsspannung,
eine Komparatoreinrichtung, die den Ausgang der Bezugsspannungsgeneratoreinrichtung aufnimmt, um ein Signal, das von einer ersten Eingangsleitung zugeführt wird, mit einem Signal von einer zweiten Eingangsleitung zu vergleichen, wobei die erste Eingangsleitung mit dem Ausgang des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist,
eine Ausgangseinrichtung, die den Ausgang des Komparators aufnimmt, um an einem Ausgangsanschluß die innere Versorgungsspannung zu erzeugen, und
eine Spannungsteilereinrichtung, die den Ausgang der Ausgangseinrichtung entgegennimmt und deren Ausgang mit der zweiten Eingangsleitung der Komparatoreinrichtung verbunden ist,
wodurch der Ausgang der Ausgangseinrichtung in Abhängigkeit von einer Steigerung der Temperatur zunimmt.
eine Bezugsspannungsgeneratoreinrichtung, die die äußere Versorgungsspannung aufnimmt, zur Erzeugung einer Bezugsspannung,
eine Komparatoreinrichtung, die den Ausgang der Bezugsspannungsgeneratoreinrichtung aufnimmt, um ein Signal, das von einer ersten Eingangsleitung zugeführt wird, mit einem Signal von einer zweiten Eingangsleitung zu vergleichen, wobei die erste Eingangsleitung mit dem Ausgang des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist,
eine Ausgangseinrichtung, die den Ausgang des Komparators aufnimmt, um an einem Ausgangsanschluß die innere Versorgungsspannung zu erzeugen, und
eine Spannungsteilereinrichtung, die den Ausgang der Ausgangseinrichtung entgegennimmt und deren Ausgang mit der zweiten Eingangsleitung der Komparatoreinrichtung verbunden ist,
wodurch der Ausgang der Ausgangseinrichtung in Abhängigkeit von einer Steigerung der Temperatur zunimmt.
5. Schaltung nach Anspruch 4, bei der die
Bezugsspannungsgeneratoreinrichtung enthält:
einen ersten Widerstand, von dem ein Ende mit dem Ausgangsanschluß des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist,
einen ersten bipolaren Transistor, von dem Kollektor und Basis gemeinsam mit dem anderen Ende des ersten Widerstandes verbunden sind, und dessen Emitter mit einem Massepegel verbunden ist,
einen zweiten Widerstand, von dem ein Ende mit dem Ausgangsanschluß des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist,
einen zweiten bipolaren Transistor, von dem der Kollektor mit dem anderen Ende des zweiten Widerstandes verbunden ist und von dem die Basis mit dem Kollektors des ersten bipolaren Transistors verbunden ist,
einen dritten Widerstand, von dem ein Ende mit dem Emitter des zweiten bipolaren Transistors verbunden ist und das andere Ende mit Massepegel verbunden ist, und
einen dritten bipolaren Transistor, von dem der Kollektor mit dem Ausgangsanschluß des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist und die Basis mit dem Kollektor des zweiten bipolaren Transistors verbunden ist, und dessen Emitter mit Massepegel verbunden ist.
einen ersten Widerstand, von dem ein Ende mit dem Ausgangsanschluß des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist,
einen ersten bipolaren Transistor, von dem Kollektor und Basis gemeinsam mit dem anderen Ende des ersten Widerstandes verbunden sind, und dessen Emitter mit einem Massepegel verbunden ist,
einen zweiten Widerstand, von dem ein Ende mit dem Ausgangsanschluß des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist,
einen zweiten bipolaren Transistor, von dem der Kollektor mit dem anderen Ende des zweiten Widerstandes verbunden ist und von dem die Basis mit dem Kollektors des ersten bipolaren Transistors verbunden ist,
einen dritten Widerstand, von dem ein Ende mit dem Emitter des zweiten bipolaren Transistors verbunden ist und das andere Ende mit Massepegel verbunden ist, und
einen dritten bipolaren Transistor, von dem der Kollektor mit dem Ausgangsanschluß des Bezugsspannungsgenerators verbunden ist und die Basis mit dem Kollektor des zweiten bipolaren Transistors verbunden ist, und dessen Emitter mit Massepegel verbunden ist.
6. Schaltung nach Anspruch 4, bei der die
Komparatoreinrichtung enthält:
einen ersten PMOS-Transistor, von dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist,
einen zweiten PMOS-Transistor, von dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist, das Gate und das Drain zusammen mit dem Gate des ersten PMOS-Transistors verbunden sind,
einen ersten NMOS-Transistor, von dem das Gate mit der ersten Eingangsleitung verbunden ist, das Drain mit dem Drain des ersten PMOS-Transistors verbunden ist,
einen zweiten NMOS-Transistor, von dem das Gate mit der zweiten Eingangsleitung verbunden ist, das Drain mit dem Drain des zweiten PMOS-Transistors verbunden ist,
einen dritten NMOS-Transistor, von dem das Gate mit der ersten Eingangsleitung verbunden ist, die Source mit Massepegel verbunden ist und das Drain mit den Sources der ersten und zweiten NMOS-Transistoren verbunden ist, und
einen Ausgangsanschluß, der an der Verbindung der Drains von erstem PMOS-Transistor und erstem NMOS-Transistor ausgebildet ist.
einen ersten PMOS-Transistor, von dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist,
einen zweiten PMOS-Transistor, von dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist, das Gate und das Drain zusammen mit dem Gate des ersten PMOS-Transistors verbunden sind,
einen ersten NMOS-Transistor, von dem das Gate mit der ersten Eingangsleitung verbunden ist, das Drain mit dem Drain des ersten PMOS-Transistors verbunden ist,
einen zweiten NMOS-Transistor, von dem das Gate mit der zweiten Eingangsleitung verbunden ist, das Drain mit dem Drain des zweiten PMOS-Transistors verbunden ist,
einen dritten NMOS-Transistor, von dem das Gate mit der ersten Eingangsleitung verbunden ist, die Source mit Massepegel verbunden ist und das Drain mit den Sources der ersten und zweiten NMOS-Transistoren verbunden ist, und
einen Ausgangsanschluß, der an der Verbindung der Drains von erstem PMOS-Transistor und erstem NMOS-Transistor ausgebildet ist.
7. Schaltung nach Anspruch 4, bei der die
Ausgangseinrichtung enthält:
ein PMOS-Transistor, von dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist, das Gate mit dem Ausgangsanschluß der Komparatoreinrichtung verbunden ist, und
einen Ausgangsanschluß, der mit dem Drain des PMOS-Transistors verbunden ist.
ein PMOS-Transistor, von dem die Source mit der äußeren Versorgungsspannung verbunden ist, das Gate mit dem Ausgangsanschluß der Komparatoreinrichtung verbunden ist, und
einen Ausgangsanschluß, der mit dem Drain des PMOS-Transistors verbunden ist.
8. Schaltung nach Anspruch 4, bei der die
Spannungsteilereinrichtung enthält:
einen ersten PMOS-Transistor, von dem die Source mit dem Ausgangsanschluß der Ausgangseinrichtung verbunden ist und Gate und Drain in Diodenschaltung verbunden sind,
einen zweiten PMOS-Transistor, von dem die Source mit dem Drain des ersten PMOS-Transistors verbunden ist und Gate und Drain in Diodenschaltung mit Massepegel verbunden sind, und
einen Ausgangsanschluß, der an der Verbindung der ersten und zweiten PMOS-Transistoren ausgebildet ist.
einen ersten PMOS-Transistor, von dem die Source mit dem Ausgangsanschluß der Ausgangseinrichtung verbunden ist und Gate und Drain in Diodenschaltung verbunden sind,
einen zweiten PMOS-Transistor, von dem die Source mit dem Drain des ersten PMOS-Transistors verbunden ist und Gate und Drain in Diodenschaltung mit Massepegel verbunden sind, und
einen Ausgangsanschluß, der an der Verbindung der ersten und zweiten PMOS-Transistoren ausgebildet ist.
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