JP5429570B2 - 物品搬送設備 - Google Patents

Description

本発明は、天井側に配置された走行レールに沿って走行自在でかつ物品を支持する把持部を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部との間で物品を移載自在な天井搬送車と、前記物品授受部よりも上方でかつ前記天井搬送車よりも下方に配置されて前記物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚とが設けられた物品搬送設備に関する。

天井搬送車により物品授受部との間で物品を授受する処理が連続すると、当該物品授受部における物流処理量が増大すること等により、当該物品授受部に対する物品の授受をしようとする天井搬送車が待ち行列を形成し、走行レール上に天井搬送車が渋滞する事態が生じうる。そこで、従来から、天井搬送車の渋滞防止のために、物品授受部との間で授受される物品を仮置きする中間棚を設けている（例えば、特許文献１参照。）。

上記特許文献１のものでは、天井搬送車としての搬送台車１６が、把持部としてのフィンガ１６４を昇降させることで、中間棚としての保管棚３−１〜３−８に対して物品を移載できるようになっている。特許文献１のものでは、天井搬送車により中間棚との間で物品を移載することで、天井搬送車の渋滞を防止できるが、天井搬送車は、中間棚との間でのみ物品を移載自在となっている。すなわち、中間棚が天井搬送車と物品授受部との間においてこれらと上下に重なる位置に配置されているため、上下昇降操作される把持部に対して中間棚が邪魔となって、物品授受部としての搬入ポート５１ａ及び搬出ポート５１ｂに対して直接に物品を移載することはできない。物品授受部に対する物品の移載は、移載装置２により行われるようになっている。移載装置２は、物品を上下方向に昇降させる昇降機構２３、物品を横幅方向に移動させる伸縮機構２４、物品を把持する把持機構２５などが備えられており、搬送台車１６の走行方向視で搬送台車１６や搬入ポート５１ａ及び搬出ポート５１ｂが位置する場所から横幅方向に外れた位置に配置され、伸縮機構２４により物品を横幅方向に移動させることで中間棚及び物品授受部の双方に物品を移載自在に構成されている。

中間棚を設けながら物品授受部に対して天井搬送車が物品を直接移載できるように構成されたものとして、物品授受部の平面視位置から横幅方向に外れた位置において２台の天井搬送車を上下に重ねて配置して、中間棚を下層の天井搬送車の走行レールの上部に設けたものがある（例えば、特許文献２の図４参照。）

特許文献２のものでは、天井搬送車の走行方向視で物品授受部から横幅方向に外れた位置に中間棚及び２台の天井搬送車を上下に重ねて配置して、天井搬送車に、把持部を横幅方向に横行操作する横行操作手段を設けることにより、上層の天井搬送車により中間棚との間で物品を移載できるとともに、物品授受部との間でも直接に物品を移載できるようにしている。

特開２００５−１５０１２９号公報（図３及び図４） 特開２００７−３３１９０６号公報（図４）

上記特許文献１の物品搬送設備では、上述のように、物品授受部に対する物品の移載を天井搬送車にて直接行うことができず、物品授受部に対して物品を移載する場合には、必ず、移載装置２による物品の移載を伴うことになり、物品の持ち換えが頻発して円滑な物品搬送ができず、搬送効率の点で好ましくない。

上記特許文献２の物品搬送設備では、天井搬送車により物品授受部との間で直接に物品を移載できるものの、天井搬送車に把持部を横幅方向に横行操作する横行操作手段を設ける必要があり、天井搬送車の構成が複雑になる。

また、上記特許文献１のものでは、移載装置２は、天井搬送車の走行方向視で天上搬送車及び物品授受部が位置する場所から横幅方向に外れた位置に配置されるので、横幅方向で広い範囲を占有することになる。特許文献２のものでは、上層の天井搬送車と下層の天井搬送車と中間棚とが上下に重なる状態で配置され、これらの平面視での位置は、物品授受部の平面視位置から天井搬送車の横幅方向に外れた位置となっており、授受部よりも上方側の空間において天井搬送車の横幅方向で広い範囲を占有している。このように、特許文献１及び特許文献２における物品搬送設備のいずれにおいても、物品授受部よりも上方側の空間において天井搬送車の横幅方向で広い範囲を占有することになり、物品授受部の周辺に大きな設置スペースを必要とする。したがって、物品授受部の周辺に他の装置を設置するスペースを確保することができない等の問題が生じるおそれがあり、設置スペースの点で不利である。

なお、物品授受部の上方空間の効率的な利用に関して、特許文献２の図２ように２台の天井搬送車と物品授受部とを上下に重ねて配置することが考えられる。この場合、上層の天井搬送車は、下層の天井搬送車の走行レール上に設けられた中間棚（アンダーバッファ２６）に、物品を仮置きすることはできるが、下層の天井搬送車の走行レールが邪魔となっているため、上層の天井搬送車にて物品授受部に対して直接に物品を移載することはできない。

本発明は上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、天井搬送車の構成の複雑化を回避しつつ、設置スペースの点で有利なものでありながら物品を円滑に搬送できる物品搬送設備を提供する点にある。

この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送設備の第１特徴構成は、天井側に配置された走行レールに沿って走行自在でかつ物品を支持する把持部を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部との間で物品を移載自在な天井搬送車と、前記物品授受部よりも上方でかつ前記天井搬送車よりも下方に配置されて前記物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚とが設けられた物品搬送設備において、
前記中間棚が前記天井搬送車の走行方向で前記物品授受部と異なる位置に配置され、前記天井搬送車が、前記物品授受部と上下方向に重なる位置に設定された授受部用停止位置に停止した状態で前記把持部を昇降させることで前記物品授受部に対して物品を移載自在に構成され、かつ、前記中間棚と上下方向に重なる位置に設定された中間棚用停止位置に停止した状態で前記把持部を昇降させることで前記中間棚に対して物品を移載自在に構成され、物品を保持する移載装置用把持部を昇降自在に備えて前記中間棚との間及び前記物品授受部との間で物品を移載自在な中間移載装置が、前記天井搬送車及び前記物品授受部と上下に重なる状態で、かつ、前記物品授受部との間で物品を移載する授受部用移載位置、前記中間棚との間で物品を移載する中間棚用移載位置、前記天井搬送車が前記物品授受部との間で物品を移載するときに前記把持部及び物品との干渉を回避する授受時退避位置、及び、前記天井搬送車が前記中間棚との間で物品を移載するときに前記把持部及び物品との干渉を回避する仮置き時退避位置に亘って、前記物品授受部と前記天井搬送車との間の高さにおいて前記走行方向に沿って移動自在に設けられ、前記中間移載装置を支持して前記走行方向に沿う移動を案内する案内支持体が設けられ、前記案内支持体は、前記授受部用停止位置及び前記中間棚用停止位置に停止した状態の前記天井搬送車が物品を移載するときに前記把持部及び物品が上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、中間棚が天井搬送車の走行方向で物品授受部と異なる位置に配置され、授受部用停止位置が物品授受部と上下方向に重なる位置に設定され、中間棚用停止位置が中間棚と上下方向に重なる位置に設定されているので、天井搬送車が物品授受部や中間棚に対して物品を移載するときには、天井搬送車の走行方向視で、天井搬送車、中間移載装置、及び物品授受部が上下に重なる状態となる。これにより、天井搬送車は、その走行方向視で横幅方向の位置が物品授受部の位置と一致することになり、天井搬送車及び物品授受部の横幅方向の占有幅がコンパクトに収まる。したがって、物品授受部の上方空間を上下に亘って効率よく活用でき設置スペースの点で有利である。

また、中間移載装置が、物品授受部と天井搬送車との間の高さにおいて走行方向に沿って移動自在に設けられ、この中間移載装置の走行方向に沿う移動は、案内支持体にて案内されるので、天井搬送車の下方には、中間移載装置及びこれを走行方向に沿って移動自在に案内支持する案内支持体が位置することになる。このように、天井搬送車の下方に中間移載装置及び案内支持体が位置する配置であると、天井搬送車にて物品授受部との間で物品を移載するべく把持部を下降させるときには、把持部及び物品が天井搬送車の下方に位置する中間移載装置や案内支持体に干渉するおそれがあるが、本願発明では、中間移載装置が授受時退避位置や仮置き時退避位置に移動自在であるので、天井搬送車にて物品授受部や中間棚に対して物品を移載するときには、中間移載装置を授受時退避位置や仮置き時退避位置に退避させることで、天井搬送車の把持部及び物品と中間移載装置とが干渉しないようにすることができる。また、中間移載装置を支持して走行方向に沿う移動を案内する案内支持体には、授受部用停止位置及び中間棚用停止位置に停止した状態の天井搬送車が物品を移載するときに把持部及び物品が上下方向に通過可能な空間が形成されているので、物品授受部と上下方向に重なる位置に設定された授受部用停止位置や、中間棚と上下方向に重なる位置に設定された中間棚用停止位置に停止した状態で把持部を昇降させたときに、把持部及び物品が案内用支持体に干渉することがない。したがって、天井搬送車にて物品授受部や中間棚に対して物品を移載するべく保持体を昇降させる場合に、中間移載装置及び案内支持体と干渉しないように保持体及び物品を昇降させることができる。

このように、天井搬送車は、授受部用停止位置に停止した状態で把持部を昇降させることで、中間移載装置や案内支持体と干渉することなく、物品授受部に対して物品を移載することができ、また、中間棚用停止位置に停止した状態で把持部を昇降させることで、中間移載装置や案内支持体と干渉することなく、中間棚に対して物品を移載することができる。したがって、中間移載装置や案内支持体との干渉を避けるために、例えば、天井搬送車の走行方向視で下方に重なる位置にある中間移載装置の存在範囲の外側に把持部を位置させるべく把持部を天井搬送車の外側方に突出させるための構成を設けずに済み、簡素な構成の天井搬送車により中間移載装置及び案内支持体との干渉を回避できる。

また、中間移載装置は、授受部用移載位置に停止した状態で移載装置用把持部を昇降させることで、物品授受部との間で物品を移載でき、中間棚用移載位置に停止した状態で移載装置用把持部を昇降させることで、中間棚との間で物品を移載できる。したがって、天井搬送車が中間棚に物品を仮置きした後に当該物品を中間移載装置が物品授受部に受け渡すことや、中間移載装置にて物品授受部から物品を受け取って、予め中間棚に仮置きしておき、当該物品を天井搬送車にて受け取ることができる。しかも、天井搬送車により物品授受部との間で直接物品を移載できる。したがって、天井搬送車及び中間移載装置を駆使して、天井搬送車の運転状況や中間棚における物品の存否状況や物品授受部における物品の存否状況等に応じて、適切な移載態様を選択して物品搬送を円滑に行うことができる。

以上のように、本願発明によれば、天井搬送車の構成の複雑化を回避しつつ、設置スペースの点で有利なものでありながら物品を円滑に搬送できる物品搬送設備を得るに至った。

本発明に係る物品搬送設備の第２特徴構成は、前記案内支持体が、物品を保持している前記把持部が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で前記中間移載装置の移載装置横幅方向に間隔を隔てて配置された一対の下部案内レールにて構成されている点にある。

本特徴構成によれば、天井搬送車にて物品授受部との間で物品を移載するべく把持部を昇降させる際には、中間移載装置の移載装置横幅方向に間隔を隔てて配置された一対の下部案内レールの間に形成された間隙を、物品を保持している把持部が上下方向に通過できる。一対の下部案内レールは、移載装置横幅方向に間隔を隔てて配置されているので、天井搬送車の把持部は、一対の下部案内レールの走行方向に沿った任意の箇所にて上下方向に通過できる。そして、一対の下部案内レールにて中間移載装置の走行方向に沿う移動を案内することで中間移載装置の移動を安定よく案内できる。したがって、簡素な構成でありながら、中間移載装置の移動を安定よく案内支持しながら、天井搬送車がいずれの停止位置に停止しても把持部を適切に通過させることができる。

本発明に係る物品搬送設備の第３特徴構成は、前記授受部用移載位置及び前記中間棚用移載位置が前記走行方向で隣接する状態で設定され、前記中間移載装置の移動作動を制御する制御手段が、前記天井搬送車が前記物品授受部との間で物品を移載するときには前記中間移載装置を前記授受時退避位置として前記中間棚用移載位置にて待機させ、かつ、前記天井搬送車が前記中間棚との間で物品を移載するときには前記中間移載装置を前記仮置き時退避位置として前記授受部用移載位置にて待機させるべく、中間移載装置の移動作動を制御するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、授受部用移載位置及び中間棚用移載位置が走行方向で隣接していることから、授受部用移載位置及び中間棚用移載位置が走行方向で集約して設定されることになるので、授受部用移載位置と中間棚用移載位置との間に走行方向に沿った無駄なスペースが発生しない。そのため、走行方向での中間移載装置の移動範囲を極力コンパクトにできる。

また、制御手段が、天井搬送車が物品授受部との間で物品を移載するときには中間移載装置を授受時退避位置として中間棚用移載位置にて待機させ、また、天井搬送車が中間棚との間で物品を移載するときには中間移載装置を仮置き時退避位置として授受部用移載位置にて待機させることができるので、退避のための位置を殊更に設けることなく移載のために設定された位置を退避用の位置として利用することで、走行方向での中間移載装置の移動範囲を極力コンパクトにできる。したがって、走行方向での中間移載装置の移動距離が短くて済むので、中間移載装置の作業効率が向上する。

本発明に係る物品搬送設備の第４特徴構成は、前記中間移載装置が、前記移載装置用把持部にて物品を吊り下げ保持自在に構成され、前記中間棚は、支持している物品の上端が前記中間移載装置における前記移載装置用把持部にて保持されている物品の下端よりも下方に位置するように物品を載置支持自在に構成されている点にある。

本特徴構成によれば、移載装置用把持部にて吊り下げ保持している物品の下端は、中間棚にて支持している物品の上端よりも高い位置となるので、物品を支持している中間棚についての中間棚用移載位置に対して、物品を保持している中間移載装置を移動させることができる。したがって、天井搬送車の移載作動との干渉を回避するべく中間移載装置を中間棚用移載位置に退避させる場合に、中間棚に物品が保持されていても、移載装置用把持部にて物品を吊り下げ保持している中間移載装置を当該中間棚についての中間棚用移載位置に退避させることができる。このように、中間棚に物品が保持されているときと保持されていないときとで変わりなく中間棚用移載位置に中間移載装置を退避させることができるので使い勝手がよい。

本発明に係る物品搬送設備の第５特徴構成は、前記授受部用移載位置が前記走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定され、前記中間棚が、前記複数の授受部用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられ、前記中間棚用移載位置が、前記複数の授受部用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定され、前記授受部用停止位置が、前記走行方向に沿って並ぶ状態で前記複数の授受部用移載位置と上下に重なる状態で複数設定され、前記中間棚用停止位置が、前記複数の授受部用停止位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定されている点にある。

本特徴構成によれば、授受部用移載位置が走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定されているので、中間移載装置は複数の授受部用移載位置のいずれかに停止して物品授受部との間で物品を移載することができる。したがって、中間移載装置が物品授受部との間で物品を移載できる機会が多くなり、物品授受部との間での物品の移載を円滑に処理できる。しかも、中間棚が、複数の授受部用移載位置の走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられているので、中間棚は走行方向で分散して配置されることになる。そのため、走行方向におけるいずれの位置に中間移載装置が位置していてもいずれかの中間棚についての中間棚用移載位置に対して中間移載装置を迅速に移動させることができ、中間棚を利用した円滑な物品搬送が促進される。

また、授受部用停止位置が走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定されているので、天井搬送車は複数の授受部用停止位置のいずれかに停止して物品授受部との間で物品を直接移載することができる。したがって、天井搬送車が物品授受部との間で物品を直接移載できる機会が多くなり、物品授受部との間での物品の移載を円滑に処理して、天井搬送車の渋滞の予防が促進される。しかも、中間棚が、複数の授受部用移載位置の走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられているので、天井搬送車にて物品を物品授受部に対して直接移載できない場合に中間棚に対して物品を仮置きすることができる機会が増える。逆に、中間移載装置が中間棚に仮置きした物品を天井搬送車が受け取る機会も増える。このように、中間棚を駆使して天井搬送車による物品搬送を円滑に行うことができる。

本発明に係る物品搬送設備の第６特徴構成は、前記中間移載装置の移載装置横幅方向で前記中間棚に隣接する位置において物品を支持する予備中間棚が前記中間移載装置の移動方向に沿って複数並べて設けられ、前記中間移載装置が、前記移載装置用把持部を前記移載装置横幅方向に横行操作する横行操作手段を備えて、前記移載装置用把持部の横行及び昇降により前記予備中間棚に対して物品を移載自在に構成されている点にある。

本特徴構成によれば、中間移載装置を停止させた状態で横行操作手段により移載装置用把持部を横行操作させることで、平面視で中間棚に移載装置横幅方向で隣接する位置に移載装置用把持部を位置させることができる。そして、この状態で、移載装置用把持部を昇降操作することで、予備中間棚に対して物品を移載できる。したがって、天井搬送車が中間棚に仮置きした物品を、中間移載装置が予備中間棚に移載できる。また、物品授受部から中間移載装置が受け取った物品を天井搬送車に受け渡すタイミングが到来するまで、予備中間棚に仮置きしておくことで、中間棚を極力空き状態に維持して、天井搬送車がいつでも物品を仮置きできる態勢を極力維持することができる。したがって、中間棚を駆使したバッファ能力が向上して、天井搬送車による円滑な物品搬送が一層促進される。

本発明に係る物品搬送設備の第７特徴構成は、前記物品授受部が、物品処理装置の処理対象の物品を授受するように構成され、前記物品処理装置が、前記天井搬送車の走行方向に沿って複数並べて設置され、前記物品処理装置についての一組の移載対象群が、前記物品授受部及び前記中間棚を備えて構成され、前記複数の物品処理装置の夫々に対して前記一組の移載対象群が設けられ、前記案内支持体が、前記天井搬送車の前記走行方向で移載対象群同士の間での前記中間移載装置の移動を案内するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、中間移載装置は、案内支持体の案内によって複数の物品処理装置の夫々についての移載対象群同士の間で移動できるので、特定の移載対象群のみならず他の移載対象群における物品授受部及び中間棚に対して移動して物品を移載することができる。そのため、複数の移載対象群の夫々に対して各別に中間移載装置を設けなくても、複数の移載対象群よりも少ない数の中間移載装置を設けるだけで、複数の移載対象群における物品授受部及び中間棚のすべてについて、物品の移載を行うことができる。このように、移載対象群が複数設定されている場合の中間移載装置の設置数を節約することが可能である。

また、中間移載装置は、複数の物品処理装置の夫々についての移載対象群同士の間で移動できるので、例えば、ある物品処理装置による処理が完了した物品を他の物品処理装置の移載対象群に搬送する場合に、当該搬送対象の物品を天井搬送車で搬送する代わりに、中間移載装置にて搬送することができる。これにより天井搬送車の搬送負担を軽減することができる。

本発明に係る物品搬送設備の第８特徴構成は、前記物品授受部が、物品処理装置の処理対象の物品を授受するように構成され、前記物品処理装置が、前記天井搬送車の走行方向に沿って複数並べて設置され、前記物品処理装置についての一組の移載対象群が、前記物品授受部及び前記中間棚を備えて構成され、前記複数の物品処理装置の夫々に対して前記一組の移載対象群が設けられ、前記中間移載装置が、前記複数の物品処理装置についての各移載対象群に対する物品の移載を担当する形態で、前記複数の移載対象群の夫々について設けられ、前記案内支持体が、前記中間移載装置が担当する前記移載対象群と、他の中間移載装置が担当する前記移載対象群との間で前記中間移載装置が相互に乗り入れ自在な状態で前記中間移載装置の移動を案内するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、各移載対象群には、当該移載対象群における物品授受部及び中間棚に対する物品の移載を担当する中間移載装置が設けられているので、各移載対象群における物品の移載をそれぞれの移載対象群を担当する中間移載装置により行うことができる。しかも、案内支持体は、中間移載装置が担当する移載対象群と、他の中間移載装置が担当する移載対象群との間で中間移載装置が相互に乗り入れ自在な状態でこれらの中間移載装置の移動を案内するので、中間移載装置は、担当する移載対象群とは別の他の移載対象群に移動できる。したがって、複数の移載対象群のうち移載需要の高い方に複数の中間移載装置を移動させて、当該移載対象群における物品授受部及び中間棚に対して、物品の移載を複数の中間移載装置により集中して行うことにより、移載需要の高い移載対象群における物品授受部及び中間棚に対する物品の移載を迅速に行うことができる。

さらに、中間移載装置は、担当する物品処理装置についての移載対象群から他の物品処理装置についての移載対象群へ移動できるので、例えば、ある物品処理装置による処理が完了した物品を他の物品処理装置の移載対象群に搬送する場合に、当該搬送対象の物品を天井搬送車で搬送する代わりに、処理が完了した物品処理装置についての移載対象群を担当する中間移載装置にて他の物品処理装置の移載対象群に搬送することができる。これにより天井搬送車の搬送負担を軽減することができる。

物品搬送設備の側面図 物品搬送設備の正面図 図１におけるIII−III矢視平面図 天井搬送車の停止位置及び中間移載装置の移載位置を示す側面図 図２におけるV−V矢視側面図 天井搬送車による物品授受部に対する移載作動を示す縦断正面図 中間移載装置による予備中間棚に対する移載作動を示す縦断正面図 中間移載装置による中間棚に対する移載作動を示す縦断正面図 制御ブロック図 第２実施形態の物品搬送設備の側面図 第２実施形態の図１０におけるXI−XI矢視平面図 第２実施形態の縦断側面図 第３実施形態の物品搬送設備の側面図 第３実施形態の図１３におけるXIV−XIV矢視平面図

〔第１実施形態〕
本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、物品搬送設備には、天井側に配置された走行レール１に沿って走行自在な天井搬送車２が設けられている。天井搬送車２は、物品Ｗを支持する把持部３を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部としてのステーション４と上下方向に重なる位置に設定された授受部用停止位置Ｑ１に停止した状態で、把持部３を昇降させることでステーション４に対して物品Ｗを移載自在に構成されている。走行レール１は直線区間と図外の曲線区間とを備えているが、図１及び図２に示すように、天井搬送車２の走行方向（以下、単に走行方向と言う。）でステーション４についての授受部用停止位置Ｑ１の前後に位置する区間は直線区間となっている。

ステーション４より上方で天井搬送車２の走行経路よりも下方には、ステーション４に対して移載される物品Ｗを仮置きする中間棚５が、ステーション４に物品Ｗを移載する天井搬送車２及びステーション４と走行方向視で上下に重なる状態で設けられている。中間棚５は、走行方向で間隔を隔てて２個、同じ高さに配置されている。２個の中間棚５は、天井搬送車２の走行方向視でステーション４の直上方に位置し、かつ、平面視で天井搬送車２の走行方向でステーション４と異なる位置に設けられている。

中間棚５よりも上方で天井搬送車２の走行経路よりも下方には、走行方向視で天井搬送車２及びステーション４と上下に重なる状態で天井搬送車２の走行方向に沿って移動自在な中間移載装置６が設けられている。中間移載装置６は、物品Ｗを吊り下げ保持する移載装置用把持部７を昇降自在に備えて中間棚５との間及びステーション４との間で物品Ｗを移載自在に構成されている。

ステーション４は、物品Ｗに対する検査や加工等の処理を行う物品処理装置８（図２参照）の端部において、物品処理装置８の高さより低い高さにて物品Ｗを載置支持自在に設けられている。天井搬送車２や中間移載装置６にてステーション４に受け渡された物品Ｗは物品処理装置８の内部に取り込まれ、処理が完了した物品Ｗは再びステーション４に払い出され、天井搬送車２や中間移載装置６にて受け取られる。なお、本実施形態では、天井搬送車２が半導体基板を収納する基板収納容器を物品Ｗとして搬送するものを例示しており、物品処理装置８は、基板収納容器に収納されている半導体基板に対して検査や加工等の処理を行う。

本実施形態では、ステーション４は、３つの物品Ｗを走行方向に隣接して並ぶ状態で載置支持可能なように、走行方向の長さが設定されている。すなわち、ステーション４には、３つの物品授受位置が設定されており、天井搬送車２がこれらの物品授受位置に対して物品Ｗを授受するときに停止する授受部用停止位置Ｑ１として、天井搬送車２の走行方向の上流から順に、第１授受部用停止位置Ｑ１ａ、第２授受部用停止位置Ｑ１ｂ、及び、第３授受部用停止位置Ｑ１ｃの３つが、３つの物品授受位置の夫々に対応して設定されている。

走行レール１は、走行方向に水平方向で直行する横幅方向に間隔を隔てて配置される一対のレール部材１ａ・１ｂを備えて構成されている。一対のレール部材１ａ・１ｂは、天井に設けられた一対のレール支持部材９により吊り下げ支持されている。

天井搬送車２は、走行用モータ５１（図９参照）を備えて走行レール１上を走行する走行部１０と、走行部１０に吊り下げ支持され且つ物品Ｗを昇降移動及び旋回移動自在に支持する本体部１１とを備えて構成されており、走行部１０と本体部１１とを連結する連結体１２が一対のレール部材１ａ・１ｂの間に位置する状態で設けられている。本体部１１は、物品Ｗを保持する把持部３と、把持部３を支持する昇降用支持体２２を昇降移動させる昇降操作手段１２と、昇降用支持体２２ごと把持部３を縦軸心回りに旋回させる図外の旋回操作手段と、把持部３にて保持された物品Ｗの上方、前後両方及び左右一方を覆うカバー体１３とを備えて構成されている。また、本体部１１には、一対のレール部材１ａ・１ｂの間に位置するように受電コイル１４が設けられており、走行レール１に沿って配設された給電線１５に交流電流を通電させることにより磁界を発生させ、この磁界により天井搬送車２側で必要な電力を受電コイル１４に発生させて、天井搬送車２に対して無接触状態で給電を行うように構成されている。

昇降操作手段１２は、昇降用モータ５２（図９参照）及び回転ドラムを備えて構成されており、昇降用モータ５２の回転作動により回転ドラムを正逆方向に回転駆動して巻き取りベルト１６を巻き取り及び繰り出しすることで、昇降用支持体２２を上下に昇降操作自在に構成されている。旋回操作手段は旋回用モータ５３（図９参照）を備えており、この旋回用モータ５３の回転駆動により昇降用支持体２２が縦軸心周りに旋回操作される。昇降用支持体２２には、把持用モータ５４（図９参照）の作動により物品Ｗを把持する把持姿勢と把持を解除する把持解除姿勢とに把持部３の姿勢を切り換え操作する切り換え機構が支持されている。

そして、天井搬送車２は、授受部用停止位置Ｑ１に停止した状態で、昇降操作手段１２により昇降用支持体２２を昇降操作し、旋回操作手段にて昇降用支持体２２を旋回操作し、切り換え機構により把持部３を把持姿勢と把持解除姿勢とに切り換え操作することにより、ステーション４に対して物品Ｗを移載自在に構成されている。

図１及び図２に示すように、前記中間棚５は、天井から吊り下げ支持されているバッファ用枠体２３の下部から下方側に突出する状態で設けられている。バッファ用枠体２３は、走行方向に並ぶ３箇所のそれぞれにおいて天井搬送車２の走行経路の横幅より幅広の間隔を隔てて横幅方向に３本が並ぶ状態で天井に設けられた９本の棚吊り下げ具２４にて吊り下げ支持されている。棚吊り下げ具２４は、走行レール１を吊り下げ支持しているレール支持部材９よりも天井搬送車２の上下高さ相当長さ分だけ長くなっている。これにより、天井搬送車２の走行経路が走行方向視で一対の棚吊り下げ具２４に挟まれた状態で、天井搬送車２の走行経路の下方にバッファ用枠体２３が位置するようになっている。

バッファ用枠体２３は、図３にも示すように、走行方向に沿う横水平部材２５Ｙ及び横幅方向に沿う縦水平部材２５Ｔの複数の水平部材２５と、上下方向に沿う複数の縦部材２６等とを枠組みして構成されている。バッファ用枠体２３の下部に位置する水平部材２５のうち、平面視で天井搬送車２の走行経路の両外側に位置する一対の横水平部材２５Ｙには、走行方向で一方側と他方側の端部箇所の夫々に、中間棚５を形成する中間棚部材２７が設けられている。

図３に示すように、中間棚部材２７は、物品Ｗの底面に形成された位置決め用の３つの係合溝に係合して物品Ｗを位置決めする３本の位置決めピン２８が備えられた水平向きの載置面部分２７ａと、この載置面部分２７ａの一方側の端部から上方に向かう接続板部分２７ｂと他方側の端部から上方に向かう接続板部分２７ｃとを備えている。一方側の接続板部分２７ｂの上端が横水平部材２５Ｙに接続され、他方側の接続板部分２７ｃの上端が一方側の横水平部材２５Ｙに横幅方向で隣接する他の横水平部材２５Ｙに対して連結ブラケット２９により連結されることにより、中間棚部材２７は、載置面部分２７ａがバッファ用枠体２３の下端よりも物品Ｗの高さ分だけ下方に位置する状態で、バッファ用枠体２３に固定されている（図８参照）。このような構成により、物品Ｗの正面（基板収納容器の前面開口が位置する面）が一方側の接続板部分２７ｂに向く姿勢（図３で紙面左方向に向く姿勢）で載置面部分２７ａにて物品Ｗが載置支持されるようになっている。

図３に示すように、一対の中間棚部材２７とこれらの中間棚部材２７が接続される一対の横水平部材２５Ｙ（以下、中間棚支持用横水平部材２５Ｙ）とでステーション４における３つの物品授受箇所に対する移載を行うための開口が形成されている。これにより、天井搬送車２は、図１及び図６に示すように、３つの授受部用停止位置Ｑ１（図４参照）のいずれかに停止した状態で、把持部３を昇降させることでステーション４に対して物品Ｗを移載できる。また、図４に示すように、天井搬送車２の走行方向で上流から順に、第１中間棚用停止位置Ｑ２ａ及び第２中間棚用停止位置Ｑ２ｂが設定されており、一対の中間棚５と上下方向に重なる位置に設定された２つの中間棚用停止位置Ｑ２のいずれかに停止した状態で把持部３を昇降させることで停止位置の直下に位置する中間棚５に対して物品Ｗを移載できるようになっている。

中間移載装置６も、ステーション４との間で物品Ｗを移載する授受部用移載位置Ｐ１に停止した状態で、移載装置用把持部７を昇降させることでステーション４に対して物品Ｗを移載でき、また、図５及び図８に示すように、中間棚５と上下方向に重なる位置に設定された中間棚用移載位置Ｐ２に停止した状態で移載装置用把持部７を昇降させることで移載位置の直下に位置する中間棚５に対して物品Ｗを移載できるようになっている。中間移載装置６についての授受部用移載位置Ｐ１も、天井搬送車２の３つの授受部用停止位置Ｑ１と同様に、ステーション４における３つの物品授受位置のそれぞれに対応して、第１授受部用移載位置Ｐ１ａ、第２授受部用移載位置Ｐ１ｂ及び第３授受部用移載位置Ｐ１ｃの３つが設定されており、中間移載装置６についての中間棚用移載位置Ｐ２も、天井搬送車２の２つの中間棚用停止位置Ｑ２と同様に、一対の中間棚５のそれぞれに対応して、第１中間棚用移載位置Ｐ２ａと第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂの２つが設定されている。

このように、授受部用移載位置Ｐ１が走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定され、中間棚５が、これらの複数の授受部用移載位置Ｐ１（第１授受部用移載位置Ｐ１ａ、第２授受部用移載位置Ｐ１ｂ及び第３授受部用移載位置Ｐ１ｃ）の走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられ、中間棚用移載位置Ｐ２が、複数の授受部用移載位置Ｐ１の走行方向で一方側及び他方側の双方に設定されている（図４参照）。

図２、図３及び図４に示すように、連結ブラケット２９が接続される横水平部材２５Ｙと、この横水平部材２５Ｙに関して接続板部分２７ｂの上端が接続された横水平部材２５Ｙの反対側に位置する横水平部材２５Ｙ（図３で紙面左端に位置する横水平部材２５Ｙ）との間には、複数の予備中間棚３０が走行方向に並ぶ状態で設けられている。予備中間棚３０のそれぞれには、中間棚部材２７における載置面部分２７ａと同様に、３本の位置決めピン２８が備えられており、物品Ｗの正面が接続板部分２７ｂに載置支持される物品Ｗと同じ姿勢で物品Ｗが予備中間棚３０にて載置支持されるようになっている。

詳しくは後述するが、天井搬送車２の走行経路の直下で走行方向に沿って移動自在な中間移載装置６が、昇降自在に設けられた移載装置用把持部７を移載装置横幅方向に横行操作する横行操作手段３１を備えて、予備中間棚３０のそれぞれについて予め設定された移載用の停止位置のいずれかに停止した状態で、移載装置用把持部７を横行及び昇降させて予備中間棚３０に対して物品Ｗを移載するようになっている。このように、中間移載装置６の移載装置横幅方向で中間棚５に隣接する位置において物品Ｗを支持する予備中間棚３０が中間移載装置６の移動方向に沿って複数並べて設けられており、中間移載装置６が、移載装置用把持部７を移載装置横幅方向に横行操作する横行操作手段３１を備えて、移載装置用把持部７の横行及び昇降により予備中間棚３１に対して物品Ｗを移載自在に構成されている。なお、本実施形態では、予備中間棚３０の平面視における走行方向についての位置は、当該予備中間棚３０と横幅方向で隣接する中間棚５やステーション４における物品授受位置についての平面視における走行方向についての位置と一致しているので、中間移載装置６の各予備中間棚３０についての移載用の停止位置は、平面視において当該予備中間棚３０と横幅方向で隣接する中間棚５やステーション４における物品授受位置についての移載用の停止位置と共通している。つまり、複数の授受部用移載位置Ｐ１（第１授受部用移載位置Ｐ１ａ、第２授受部用移載位置Ｐ１ｂ及び第３授受部用移載位置Ｐ１ｃ）及び複数の中間棚用移載位置Ｐ２（第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ及び第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂ）が各予備中間棚３０についての移載用の停止位置となっている。

上述したように、中間移載装置６は、授受部用移載位置Ｐ１として、第１授受部用移載位置Ｐ１ａ、第２授受部用移載位置Ｐ１ｂ及び第３授受部用移載位置Ｐ１ｃの３つの移載位置と、中間棚用移載位置Ｐ２として、第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ及び第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂの２つの移載位置に移動自在で、これらの移載位置のいずれかに停止した状態でステーション４に対する移載や中間棚５に対する移載を行う。以下に、中間移載装置６の移動作動及び移載作動について説明する。

中間移載装置６は、授受部用移載位置Ｐ１、中間棚５との間で物品を移載する中間棚用移載位置Ｐ２、天井搬送車２がステーション４との間で物品Ｗを移載するときに把持部３及び物品Ｗとの干渉を回避する授受時退避位置Ｐ３、及び、天井搬送車２が中間棚５との間で物品Ｗを移載するときに把持部３及び物品Ｗとの干渉を回避する仮置き時退避位置Ｐ４に亘って、ステーション４と天井搬送車２との間の高さにおいて走行方向に沿って移動自在に設けられている。

バッファ用枠体２３には、中間移載装置６を支持して走行方向に沿う移動を案内する案内支持体１７が設けられ、この案内支持体１７は、授受部用停止位置Ｑ１及び中間棚用停止位置Ｑ２に停止した状態の天井搬送車２が物品Ｗを移載するときに把持部３及び物品Ｗが上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されている。具体的には、案内支持体１７が、物品Ｗを保持している把持部３が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で中間移載装置６の移載装置横幅方向に間隔を隔てて配置された一対の下部案内レール１８・１９にて構成されている。

図２、図５、図７及び図８に示すように、一対の下部案内レール１８・１９は、バッファ用枠体２３の上部において走行方向で両端部に位置する一対の縦水平部材２５Ｔを連結する２本のレール取付部材２０・２１の下面に取り付けられている。中間移載装置６の上部に設けられた移動ベース材３２の移載装置横幅方向の両端部に、一対の下部案内レール１８・１９に摺動自在に係合するスライドブロック３４・３５が固定状態で設けられている。走行方向視で移動ベース材３２の一方側の端部には被操作ブラケット３３が取り付けられている。被操作ブラケット３３は下端部を屈曲形成した水平部分３３ａを備えており、横軸心の歯付駆動プーリ３６ａ及び従動プーリ３６ｂに巻き掛けられた縦向き巻回面の移動操作用タイミングベルト３８の上側巻回部分の上面に、被操作ブラケット３３の水平部分３３ａが接続されている。

そして、移動操作用タイミングベルト３８を巻回作動させる移動操作用モータ３７を正逆方向に回転駆動させることで、移動ベース材３２を一対の下部案内レール１８・１９に沿って往復直線移動操作できるようになっている。すなわち、移動操作用モータ３７の回転作動を制御することで、中間移載装置６の走行方向に沿った移動作動を制御することができる。なお、中間移載装置６の走行方向に沿った移動作動についての位置決め制御は、移動操作用モータ３７としてサーボモータを用いてサーボ制御により行ってもよいし、中間移載装置６の走行方向に沿う移動経路における位置を検出する位置検出手段として、中間移載装置６の第１授受部用移載位置Ｐ１ａ、第２授受部用移載位置Ｐ１ｂ、第３授受部用移載位置Ｐ１ｃや第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ、第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂａの各位置に対応して複数の光電センサを設けて、これらのセンサの検出情報に基づいて位置決め制御を行ってもよい。

本実施形態では、中間移載装置６が一対の下部案内レール１８に沿って効率良く移動できるように、授受部用移載位置Ｐ１及び中間棚用移載位置Ｐ２が走行方向で隣接する状態で設定されている。中間棚５を形成する中間棚部材２７は、上述の通り、載置面部分２７ａがバッファ用枠体２３の下端よりも物品Ｗの高さ分だけ下方に位置する状態で、バッファ用枠体２３に固定されているので、中間棚５は、支持している物品Ｗの上端が中間移載装置６における移載装置用把持部７にて保持されている物品Ｗの下端よりも下方に位置するように物品Ｗを載置支持できるようになっている。これにより、中間棚５に物品Ｗが仮置きされていても、物品保持状態の中間移載装置６が当該中間棚５についての中間棚用移載位置Ｐ２に移動できる。したがって、中間棚用移載位置Ｐ２を授受時退避位置Ｐ３として利用できる。

本実施形態では、天井搬送車２が３つの授受部用停止位置Ｑ１のいずれかに停止した状態でステーション４との間で物品Ｗの移載を行う場合には、第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ及び第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂ並びに当該天井搬送車２が停止している授受部用停止位置Ｑ１とは走行方向で異なる位置にある授受部用移載位置Ｐ１（３つのうち２つ）のいずれかを退避用の移載位置として選択するようにしている。したがって、本実施形態では、授受部用移載位置Ｐ１は、授受時退避位置Ｐ３及び仮置き時退避位置Ｐ４としても機能する（図４参照）。

また、天井搬送車２が２つの中間棚用停止位置Ｑ２のいずれかに停止した状態で中間棚５との間で物品Ｗの移載を行う場合には、第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ、第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂ、及び、第３中間棚用移載位置Ｐ２ｃ、並びに、当該天井搬送車２が停止している中間棚用停止位置Ｑ２とは走行方向で異なる位置にある中間棚用移載位置Ｐ２（２つのうち１つ）のいずれかを退避用の移載位置として選択するようにしている。したがって、本実施形態では、中間棚用移載位置Ｐ２は、授受時退避位置Ｐ３及び仮置き時退避位置Ｐ４としても機能する（図４参照）。

図７及び図８に示すように、中間移載装置６の移動ベース材３２の上面には、ガイドブロック３９を移載装置横幅方向に移動操作自在なボールネジ４０が設けられている。ガイドブロック３９は、昇降支持体４１を移載装置横幅方向に出退操作する多段式のスライドフォーク４２におけるベースフォークにおける出退方向の引退側端部に連結されている。スライドフォーク４２の各段は、直同案内機構により互いに係合された状態で連係ベルト４３により連動連結されており、ベースフォークに対する出退操作によりプライマリフォークに昇降操作手段４５及び旋回操作手段４６を介して連結された昇降支持体４１を出退させることができるように構成されている。そして、ボールネジ４０のネジ４０ａを回転駆動させる横行操作用モータ４４を正逆方向に回転駆動させることで、ガイドブロック３９を移載装置横幅方向に沿って往復移動操作できるようになっている。このように、横行操作用モータ４４、ボールネジ４０、及び、スライドフォーク４２にて中間移載装置６における移載装置用把持部７を移載装置横幅方向に横行操作する横行操作手段３１が構成されている。

昇降操作手段４５は、昇降用モータ４７を正逆方向に回転駆動させることで、回転ドラム４８を回転作動させ、巻き取りベルト４９を繰り出し及び巻き取ることで、昇降支持体４１を上下に昇降操作できるように構成されている。旋回操作手段４６は、旋回用モータ５０を回転駆動させて移載装置用把持部７を縦軸心周りに旋回操作する。これによりステーション４、中間棚５及び予備中間棚３０に対する物品Ｗの平面視姿勢を適正な姿勢に調節することができる。

図９に示すように、天井搬送車２には、走行部１０の走行作動及び本体部１１の物品移載作動を制御する天井搬送車コントローラＶＣｑが搭載され、中間移載装置５には、移動作動及び物品移載作動を制御する中間移載装置コントローラＶＣｐが搭載されている。天井搬送車コントローラＶＣｑ及び中間移載装置コントローラＶＣｐは、地上側に設置されるホストコントローラＨＣからの制御指令に基づいて各種の作動を制御する。つまり、中間移載装置６の移動作動を制御する制御手段が、ホストコントローラＨＣ及び中間移載装置コントローラＶＣｐにて構成されている。

ホストコントローラＨＣ及び中間移載装置コントローラＶＣｐは、天井搬送車２がステーション４における物品授受位置や中間棚５との間で物品Ｗを移載する場合に、中間移載装置６が下方において邪魔になる位置に位置するときには、中間移載装置６を天井搬送車２の昇降用支持体２２の昇降経路から退避させるべく、当該天井搬送車２の移載目標の物品授受位置や中間棚５と走行方向で異なる位置にある移載位置のうち、中間移載装置６の現在の作業状態及び今後の作業予定に基づいて物品Ｗの搬送効率が極力低下しないと判断される移載位置に中間移載装置６を移動させる。

例えば、天井搬送車２が第１授受部用停止位置Ｑ１ａに停止した状態でステーション４との間で物品Ｗの移載を行う場合、中間移載装置６は、天井搬送車２の移載作動との干渉を回避するために、第１授受部用移載位置Ｐ１ａ以外の移載位置に移動するが、このとき、中間移載装置６が物品Ｗを保持しておらず、かつ、物品処理装置８のステーション４における３つの物品授受位置のうち、第３授受部用移載位置Ｐ１ｃの直下に位置する物品授受位置に処理済の物品Ｗが払い出されていれば、中間移載装置６にてこの物品Ｗを受け取るべく、授受時退避位置Ｐ３として第３授受部用移載位置Ｐ１ｃが選択される。或いはまた、天井搬送車２が第１授受部用停止位置Ｑ１ａに停止した状態でステーション４との間で物品Ｗの移載を行う場合、中間移載装置６が物品Ｗを保持しておらず、かつ、第１中間棚用移載位置Ｐ２ａに対応する中間棚５に仮置きされている物品Ｗについての受け取り要求があれば、中間移載装置６にてこの物品Ｗを受け取るべく、授受時退避位置Ｐ３として第１中間棚用移載位置Ｐ２ａが選択される。

また、例えば、天井搬送車２が第１中間棚用停止位置Ｑ２ａに停止した状態で中間棚５との間で物品Ｗの移載を行う場合、中間移載装置６は、天井搬送車２の移載作動との干渉を回避するために、第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ以外の移載位置に移動するが、このとき、中間移載装置６が物品Ｗを保持しておらず、かつ、物品処理装置８のステーション４における３つの物品授受位置のうち、第３授受部用移載位置Ｐ１ｃの直下に位置する物品授受位置に処理済の物品Ｗが払い出されていれば、中間移載装置６にてこの物品Ｗを受け取るべく、仮置き時退避位置Ｐ４として第３授受部用移載位置Ｐ１ｃが選択される。或いはまた、天井搬送車２が第１中間棚用停止位置Ｑ２ａに停止した状態で中間棚５との間で物品Ｗの移載を行う場合、中間移載装置６が物品Ｗを保持しておらず、かつ、第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂに対応する中間棚５（二つの中間棚５のうち天井搬送車２の移載対象である中間棚５とは異なる方の中間棚５）に仮置きされている物品Ｗについての受け取り要求があれば、中間移載装置６にてこの物品Ｗを受け取るべく、仮置き時退避位置Ｐ４として第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂが選択される。

このように、ホストコントローラＨＣ及び中間移載装置コントローラＶＣｐは、天井搬送車２がステーション４における物品授受位置との間で物品Ｗを移載するときには中間移載装置６を授受時退避位置Ｐ３として中間棚用移載位置Ｐ２にて待機させ、かつ、天井搬送車２が中間棚５との間で物品Ｗを移載するときには中間移載装置６を仮置き時退避位置Ｐ４として授受部用移載位置Ｐ４にて待機させるべく、中間移載装置６の移動作動を制御するように構成されている。

本実施形態によれば、中間棚５を備え、この中間棚５との間及びステーション４との間で物品Ｗを移載できる中間移載装置８を備えているので、ステーション４が満杯状態となって天井搬送車２によりステーション４に対して物品Ｗを直接受け渡しできない場合には、天井搬送車２が中間棚５に物品Ｗを仮置きし、仮置きされた物品Ｗを中間移載装置６にて、予備中間棚３０に移動させてから事後的にステーション４に当該物品Ｗを移載させる、又は、天井搬送車２にて中間棚５に仮置きされた物品Ｗをそのまま中間移載装置６にてステーション４に移載させることができる。したがって、物品Ｗを保持している天井搬送車２はステーション４が空き状態になるまで待機せずに済むので、天井搬送車２の渋滞を予防することができる。

しかも、中間移載装置６を支持して走行方向に沿う移動を案内する案内支持体１７としての一対の下部案内レール１８・１９が授受部用停止位置Ｑ１及び中間棚用停止位置Ｑ２に停止した状態の天井搬送車２が物品Ｗを移載するときに把持部３及び物品Ｗが上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されているので、中間移載装置６を退避させておきさえすれば、一対の下部案内レール１８・１９の間に物品Ｗを通過させるようにして、天井搬送車２にてステーション４に対して物品Ｗを直接移載できる。このように、ステーション４から発せられる様々な態様の授受要求に対応した円滑な物品搬送ができる物品搬送設備となっている。

〔第２実施形態〕
本実施形態は、第1実施形態におけるバッファ用枠体２３の構成及び中間移載装置６の移動範囲が異なる他は、第１実施形態におけるものと同様の構成であるので、以下では天井搬送車２、中間移載装置６の詳しい説明は省略する。

図１０に示すように、物品処理装置８が、天井搬送車２の走行方向に沿って２台並べて設置されている。天井搬送車２の走行方向は図１０で紙面左から右に向かう方向である。図１０で紙面左側に位置する物品処理装置８が第１処理装置８ａであり、右側に位置する物品処理装置８が第２処理装置８ｂである。第１処理装置８ａでの処理が完了した物品Ｗは第２処理装置８ｂで次の工程の処理が行われる。

第１処理装置８ａ及び第２処理装置８ｂの夫々には、第１実施形態同様に、物品処理装置８の処理対象の物品Ｗが授受される物品授受部としてのステーション４が設けられており、ステーション４には、走行方向に最大３個まで物品Ｗを並べて載置できるようになっている。つまり、ステーション４には、３つの物品授受位置が設定されている。

図１０に示すように、第１処理装置８ａ及び第２処理装置８ｂのそれぞれの上方側部分に亘って、バッファ用枠体５５が配設されている。バッファ用枠体５５は、水平部材２５を上下に間隔を空けて配置し、天井搬送車２の横幅方向及び走行方向の複数箇所において縦部材２６にて接続して構成されており、複数本の棚吊り下げ具２４により天井から吊り下げ支持されている。水平部材２５は、図１１に示すように、走行方向での前端部・中間部・後端部の３箇所に並行に配置された縦水平部材と、複数の横水平部材２５Ｙとを互いに接続した枠体にて構成されている。このように、バッファ用枠体５５の基本的構成は第１実施形態のバッファ用枠体２３と同様であるが、走行方向の長さが第１実施形態におけるバッファ用枠体２３の２倍強となっており、中間移載装置６の移動範囲が拡大されている。

図１２にも示すように、バッファ用枠体５５は、走行方向で上流側に位置する上流側部分５５ａと、下流側に位置する下流側部分５５ｂとの夫々に、２個の中間棚５及び５個の予備中間棚３０を備えており、第１実施形態におけるバッファ用枠体２３を走行方向に２つ並べたような構成となっている。

図１０及び図１２に示すように、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａにおける２個の中間棚５及び５個の予備中間棚３０並びに第１処理装置８ａにおけるステーション４により第１処理装置８ａについての一組の移載対象群としての第１移載対象群Ｇ１が構成されている。同様に、バッファ用枠体５５の下流側部分５５ｂにおける２個の中間棚５及び５個の予備中間棚３０並びに第２処理装置８ｂにおけるステーション４により第２処理装置８ｂについての一組の移載対象群としての第２移載対象群Ｇ２が構成されている。つまり、第１処理装置８ａ及び第２処理装置８ｂの夫々に対して一組の移載対象群が設けられている。

図１２に示すように、中間移載装置６の走行方向の移動を案内する案内支持体１７としての一対の下部案内レール１８・１９は、上流側部分５５ａと、下流側部分５５ｂとに亘って配設されている。つまり、案内支持体１７が、天井搬送車２の走行方向で第１移載対象群Ｇ１及び第２移載対象群Ｇ２の間での中間移載装置６の移動を案内するように構成されている。

中間移載装置６は、第１移載対象群Ｇ１を構成する移載対象のうち第１処理装置８ａのステーション４に対して物品Ｗを移載する場合は、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａにおける授受部用移載位置Ｐ１に停止して物品Ｗの移載を行う。また、中間移載装置６は、第２移載対象群Ｇ２を構成する移載対象のうち第２処理装置８ｂのステーション４に対して物品Ｗを移載する場合は、バッファ用枠体５５の下流側部分５５ｂにおける授受部用移載位置Ｐ１に停止して物品Ｗの移載を行う。

なお、第１実施形態同様に、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａにおける授受部用移載位置Ｐ１及び下流側部分５５ｂにおける授受部用移載位置Ｐ１としては、ステーション４における３つの物品授受位置に対応して第１授受部用移載位置Ｐ１ａ〜第３授受部用移載位置Ｐ１ｃの３つの位置が夫々設定されているが、これらのうち、移載対象とする物品授受位置に対応する授受部用移載位置に停止することになる。

中間移載装置６は、第１移載対象群Ｇ１を構成する移載対象のうち上流側部分５５ａにおける中間棚５に対して物品Ｗを移載する場合は、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａにおける中間棚用移載位置Ｐ２に停止して物品Ｗの移載を行う。また、中間移載装置６は、第２移載対象群Ｇ２を構成する移載対象のうち下流側部分５５ｂにおける中間棚５に対して物品Ｗを移載する場合は、バッファ用枠体５５の下流側部分５５ｂにおける中間棚用移載位置Ｐ２に停止して物品Ｗの移載を行う。

なお、第１実施形態同様に、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂにおける中間棚用移載位置Ｐ２としては、各中間棚５に対応して第１中間棚用移載位置Ｐ２ａ及び第２中間棚用移載位置Ｐ２ｂの２つの位置が夫々設定されているが、これらのうち、移載対象とする中間棚５に対応する中間棚用移載位置Ｐ２に停止することになる。

天井搬送車２が、第１移載対象群Ｇ１を構成する移載対象のうち第１処理装置８ａのステーション４に対して物品Ｗを授受する場合、又は、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａにおける中間棚５に対して物品Ｗを仮置きする場合は、中間移載装置６は、退避位置として、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂにある授受部用移載位置Ｐ１又は中間棚用移載位置Ｐ２のうち、当該天井搬送車２が停止している上流側部分５５ａにおける授受部用停止位置Ｑ１又は中間棚用停止位置Ｑ２とは走行方向で異なる移載位置を退避用の移載位置として選択する。つまり、上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂにおける授受部用移載位置Ｐ１及び中間棚用移載位置Ｐ２の夫々が、授受時退避位置Ｐ３及び仮置き時退避位置Ｐ４として機能する。

このように、本実施形態によれば、中間移載装置６は、２台の物品処理装置８の夫々についての移載対象群Ｇ１・Ｇ２同士の間で移動できるので、第１移載対象群Ｇ１のみならず第２移載対象群Ｇ２におけるステーション４及び中間棚５に対して物品Ｗを移載することができる。そのため、第１移載対象群Ｇ１及び第２移載対象群Ｇ２の夫々に対して各別に中間移載装置６を設けなくても、第１移載対象群Ｇ１及び第２移載対象群Ｇ２よりも少ない数である１台の中間移載装置６を設けるだけで、第１移載対象群Ｇ１及び第２移載対象群Ｇ２におけるステーション４及び中間棚５のすべてについて、物品Ｗの移載を行うことができる。このように、第１移載対象群Ｇ１及び第２移載対象群Ｇ２の２つの移載対象群の夫々に対して各別に中間移載装置６を設置せずに、２つの移載対象群に兼用される１台の中間移載装置６だけを設置することで、中間移載装置６の設置数を節約している。

また、中間移載装置６は、第１処理装置８ａ及び第２処理装置８ｂの夫々についての移載対象群Ｇ１・Ｇ２同士の間で移動できるので、第１処理装置８ａによる処理が完了した物品Ｗを第２処理装置８ｂの移載対象群における移載対象、例えばステーション４に、物品Ｗを搬送する場合に、当該搬送対象の物品Ｗを天井搬送車２で搬送する代わりに、中間移載装置６にて搬送することができる。これにより天井搬送車２の搬送負担を軽減することができる。

〔第３実施形態〕
本実施形態は、第２実施形態において、バッファ用枠体５５に２台の中間移載装置が設けられたものである。

図１３及び図１４に示すように、第１処理装置８ａについての移載対象群Ｇ１に対する物品Ｗの移載を担当する第１中間移載装置６ａ、及び、第２処理装置８ｂについての移載対象群Ｇ２に対する物品Ｗの移載を担当する第２中間移載装置６ｂが設けられている。第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂはいずれも、バッファ用枠体５５に設けられた案内支持体１７としての一対の下部案内レール１８・１９にて支持されて走行方向の移動が案内されている。このように、案内支持体１７は、第１中間移載装置６ａが担当する第１移載対象群Ｇ１と、第２中間移載装置６ｂが担当する第２移載対象群Ｇ２とに対して、夫々の中間移載装置６ａ・６ｂが相互に乗り入れ自在な状態で中間移載装置６ａ・６ｂの移動を案内するように構成されている。

第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂのそれぞれを移動操作する構成は、第１実施形態における構成と同様である。第１中間移載装置６ａを移動操作する縦向き巻回面の移動操作用タイミングベルト３８と、第２中間移載装置６ｂを移動操作する縦向き巻回面の移動操作用タイミングベルト３８とを異なる高さに設けて、夫々についての横軸心の歯付駆動プーリ３６ａを各別に回転駆動することで、第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂを各別に移動操作できるように構成している。

この実施形態によれば、第２移載対象群Ｇ２における移載需要が多いときには、第１移載対象群Ｇ１を担当する第１中間移載装置６ａをバッファ用枠体５５における下流側部分５５ｂに移動させて、第２移載対象群Ｇ２におけるステーション４及び中間棚５に対する物品Ｗの移載を２台の中間移載装置６により集中して行うことにより、移載需要の高い第２移載対象群Ｇ２におけるステーション４及び中間棚５に対する物品Ｗの移載を迅速に行うことができる。またこの逆に第１移載対象群Ｇ１における移載需要が多いときには、第２中間移載装置６ｂを上流側部分５５ａに移動させて第１移載対象群Ｇ１におけるステーション４及び中間棚５に対する物品Ｗの移載を、２台の中間移載装置６により集中して行うことで、移載需要の高い第１移載対象群Ｇ１におけるステーション４及び中間棚５に対する物品Ｗの移載を迅速に行うことができる。

〔別の実施形態〕
以下、本発明の別実施形態について説明する。

（１）上記第１及び第２実施形態では、授受部用移載位置Ｐ１及び中間棚用移載位置Ｐ２が走行方向で隣接する状態で設定されたものを例示したが、授受部用移載位置Ｐ１及び中間棚用移載位置Ｐ２が走行方向で間隔を隔てて設定されたものであってもよい。この場合、授受時退避位置Ｐ３、及び、仮置き時退避位置Ｐ４を、授受部用移載位置Ｐ１及び中間棚用移載位置Ｐ２と走行方向で異なる位置に設定してもよい。

（２）上記第１及び第２実施形態では、授受部用停止位置Ｑ１及び中間棚用停止位置Ｑ２、並びに、授受部用移載位置Ｐ１及び中間棚用移載位置Ｐ２が複数設定されているものを例示したが、これらの停止位置及び移載位置の一部又は全部を一つの位置に設定してもよい。

（３）上記第１及び第２実施形態では、天井搬送車２が横幅方向で１台配置されているものを例示したが、これに限らず、例えば、上述の実施形態における走行レール１とは別の走行レールを、上述の実施形態における走行レールと同じ高さにおいて平行に、かつ、予備中間棚３０と上下に重なる位置に設けて、この別の走行レールに沿って走行自在な第２の天井搬送車２を設けてもよい。この場合、第２の天井搬送車は予備中間棚３０に対して物品Ｗを移載自在に構成すればよい。

（４）上記第２実施形態では、複数の物品処理装置として２台の物品処理装置を設けたものを例示したが、物品処理装置を走行方向で３台以上並べて設けて、これらの全ての物品処理装置についての移載対象群同士の間での中間移載装置の移動を案内するように構成してもよい。

（５）上記第２実施形態では、複数の物品処理装置として物品に対して異なる工程の処理を行う物品処理装置を例示したが、これに限らず、複数の物品処理装置として物品に対して同じ工程の処理を行うものであってもよい。

（６）上記第３実施形態では、第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂが同じ案内支持体１７により同じ高さにて移動が案内されるものを例示したが、これに代えて、第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂの夫々について案内支持体を設けて、異なる高さで夫々の移動が案内されるものであってもよい。この場合、第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂを平面視で重なる相対位置となることを許容することで、第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂのいずれによっても、第１移載対象群Ｇ１及び第２移載対象群Ｇ２における全ての移載対象に対して物品Ｗを移載することができる。

（７）上記第３実施形態では、複数の中間移載装置として第１中間移載装置６ａ及び第２中間移載装置６ｂの２台の中間移載装置が設けられたものを例示したが、これに限らず、複数の中間移載装置として３台以上の中間移載装置が設けられたものであってもよい。

Ｗ 物品
Ｑ１、Ｑ１ａ、Ｑ１ｂ、Ｑ１ｃ 授受部用停止位置
Ｑ２、Ｑ２ａ、Ｑ２ｂ 中間棚用停止位置
Ｐ１、Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ１ｃ 授受部用移載位置
Ｐ２、Ｐ２ａ、Ｐ２ｂ 中間棚用移載位置
Ｐ３ 授受時退避位置
Ｐ４ 仮置き時退避位置
ＨＣ、ＶＣｐ 制御手段
Ｇ１、Ｇ２ 移載対象群
１ 走行レール
２ 天井搬送車
３ 把持部
４ 物品授受部
５ 中間棚
６ 中間移載装置
７ 移載装置用把持部
１７ 案内支持体
１８・１９ 一対の下部案内レール
３０ 予備中間棚
３１ 横行操作手段

Claims (8)

1. 天井側に配置された走行レールに沿って走行自在でかつ物品を支持する把持部を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部との間で物品を移載自在な天井搬送車と、
   前記物品授受部よりも上方でかつ前記天井搬送車よりも下方に配置されて前記物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚とが設けられた物品搬送設備であって、
   前記中間棚が前記天井搬送車の走行方向で前記物品授受部と異なる位置に配置され、
   前記天井搬送車が、前記物品授受部と上下方向に重なる位置に設定された授受部用停止位置に停止した状態で前記把持部を昇降させることで前記物品授受部に対して物品を移載自在に構成され、かつ、前記中間棚と上下方向に重なる位置に設定された中間棚用停止位置に停止した状態で前記把持部を昇降させることで前記中間棚に対して物品を移載自在に構成され、
   物品を支持する移載装置用把持部を昇降自在に備えて前記中間棚との間及び前記物品授受部との間で物品を移載自在な中間移載装置が、前記天井搬送車及び前記物品授受部と上下に重なる状態で、かつ、前記物品授受部との間で物品を移載する授受部用移載位置、前記中間棚との間で物品を移載する中間棚用移載位置、前記天井搬送車が前記物品授受部との間で物品を移載するときに前記把持部及び物品との干渉を回避する授受時退避位置、及び、前記天井搬送車が前記中間棚との間で物品を移載するときに前記把持部及び物品との干渉を回避する仮置き時退避位置に亘って、前記物品授受部と前記天井搬送車との間の高さにおいて前記走行方向に沿って移動自在に設けられ、
   前記中間移載装置を支持して前記走行方向に沿う移動を案内する案内支持体が設けられ、
   前記案内支持体は、前記授受部用停止位置及び前記中間棚用停止位置に停止した状態の前記天井搬送車が物品を移載するときに前記把持部及び物品が上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されている物品搬送設備。
2. 前記案内支持体が、物品を支持している前記把持部が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で前記中間移載装置の移載装置横幅方向に間隔を隔てて配置された一対の下部案内レールにて構成されている請求項１記載の物品搬送設備。
3. 前記授受部用移載位置及び前記中間棚用移載位置が前記走行方向で隣接する状態で設定され、
   前記中間移載装置の移動作動を制御する制御手段が、
   前記天井搬送車が前記物品授受部との間で物品を移載するときには前記中間移載装置を前記授受時退避位置として前記中間棚用移載位置にて待機させ、かつ、
   前記天井搬送車が前記中間棚との間で物品を移載するときには前記中間移載装置を前記仮置き時退避位置として前記授受部用移載位置にて待機させるべく、中間移載装置の移動作動を制御するように構成されている請求項１又は２記載の物品搬送設備。
4. 前記中間移載装置が、前記移載装置用把持部にて物品を吊り下げ支持自在に構成され、
   前記中間棚は、支持している物品の上端が前記中間移載装置における前記移載装置用把持部にて支持されている物品の下端よりも下方に位置するように物品を載置支持自在に構成されている請求項３記載の物品搬送設備。
5. 前記授受部用移載位置が前記走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定され、
   前記中間棚が、前記複数の授受部用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられ、
   前記中間棚用移載位置が、前記複数の授受部用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定され、
   前記授受部用停止位置が、前記走行方向に沿って並ぶ状態で前記複数の授受部用移載位置と上下に重なる状態で複数設定され、
   前記中間棚用停止位置が、前記複数の授受部用停止位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定されている請求項１〜４の何れか１項記載の物品搬送設備。
6. 前記中間移載装置の移載装置横幅方向で前記中間棚に隣接する位置において物品を支持する予備中間棚が前記中間移載装置の移動方向に沿って複数並べて設けられ、
   前記中間移載装置が、前記移載装置用把持部を前記移載装置横幅方向に横行操作する横行操作手段を備えて、前記移載装置用把持部の横行及び昇降により前記予備中間棚に対して物品を移載自在に構成されている請求項１〜５の何れか１項記載の物品搬送設備。
7. 前記物品授受部が、物品処理装置の処理対象の物品を授受するように構成され、
   前記物品処理装置が、前記天井搬送車の走行方向に沿って複数並べて設置され、
   前記物品処理装置についての一組の移載対象群が、前記物品授受部及び前記中間棚を備えて構成され、
   前記複数の物品処理装置の夫々に対して前記一組の移載対象群が設けられ、
   前記案内支持体が、前記天井搬送車の前記走行方向で移載対象群同士の間での前記中間移載装置の移動を案内するように構成されている請求項１〜６の何れか１項記載の物品搬送設備。
8. 前記物品授受部が、物品処理装置の処理対象の物品を授受するように構成され、
   前記物品処理装置が、前記天井搬送車の走行方向に沿って複数並べて設置され、
   前記物品処理装置についての一組の移載対象群が、前記物品授受部及び前記中間棚を備えて構成され、
   前記複数の物品処理装置の夫々に対して前記一組の移載対象群が設けられ、
   前記中間移載装置が、前記複数の物品処理装置についての各移載対象群に対する物品の移載を担当する形態で、前記複数の移載対象群の夫々について設けられ、
   前記案内支持体が、前記中間移載装置が担当する前記移載対象群と、他の中間移載装置が担当する前記移載対象群とに対して夫々の中間移載装置が相互に乗り入れ自在な状態で前記中間移載装置の移動を案内するように構成されている請求項１〜６の何れか１項記載の物品搬送設備。

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