JP6327124B2 - 物品搬送車 - Google Patents
物品搬送車 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6327124B2 JP6327124B2 JP2014230060A JP2014230060A JP6327124B2 JP 6327124 B2 JP6327124 B2 JP 6327124B2 JP 2014230060 A JP2014230060 A JP 2014230060A JP 2014230060 A JP2014230060 A JP 2014230060A JP 6327124 B2 JP6327124 B2 JP 6327124B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- transported object
- unit
- supported
- transport vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C11/00—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways
- B66C11/02—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways with operating gear or operator's cabin suspended, or laterally offset, from runway or track
- B66C11/04—Underhung trolleys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
しかし、搬送物支持部の上面に、上下方向に弾性変形自在な緩衝体を備えることで、搬送物支持部が上下方向に厚くなる。そのため、搬送物支持部にて搬送物の被支持部を支持するべく、搬送物支持部を退避用位置から支持用位置に移動させたときに、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し易くなる。
前記搬送物支持部が、前記搬送物支持部を前記支持用位置及び前記退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部と、前記昇降部と前記案内支持部との間に位置して前記案内支持部の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体と、を備えて、前記支持部が前記搬送物を吊り下げ支持している状態で、前記緩衝体が上下方向に弾性変形自在となるように、前記案内支持部と前記昇降部との間に上下方向に隙間が形成されている点にある。
そして、緩衝体を昇降部と案内支持部との間に備えることで、搬送物支持部の上面に緩衝体を備える必要がなく、搬送物支持部の上面に緩衝体を備える場合に比べ、搬送物支持部を上下方向の薄く形成できる。そのため、搬送物支持部にて搬送物の被支持部を支持するべく、搬送物支持部を退避用位置から支持用位置に移動させたときに、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難くできる。
このように、緩衝体を、昇降部と案内支持部との間に案内支持部の荷重を受ける状態で備えることで、走行体が走行するときや昇降部が昇降するときに搬送物に伝わる振動を抑制できながら、搬送物支持部が搬送物の被支持部に干渉し難くできる。
図1に示すように、物品搬送設備には、天井側に移動経路に沿って配設された走行レール2に案内支持されて移動経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車1と、搬送物6に収容されている基板に対して処理を行う処理装置3と、その処理装置3に隣接する状態で床面上に設置された支持台4と、が設けられている。天井搬送車1にて搬送される搬送物6は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するFOUPである。
図3に示すように、搬送物6には、複数枚の基板を収容する本体部7と、この本体部7より上方に位置して搬送物6の上端部に備えられた被支持部9と、本体部7と被支持部9とを連結する連結部8と、本体部7の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる着脱自在な蓋体(図示せず)と、が備えられている。
被支持部9は、連結部8から容器前後方向及び容器左右方向に突出する形状に形成されている。そして、本体部7の上面と被支持部9の下面との間に挿入用空間12が形成されている。挿入用空間12は、搬送物6における被支持部9の下方に形成されており、この挿入用空間12が、搬送物6における被支持部9の下方に備えられて後述の一対の搬送物支持部32が容器左右方向に挿入される空間となっている。
次に、天井搬送車1について説明を加える。尚、天井搬送車1を説明するにあたり、天井搬送車1の走行方向に沿う方向を前後方向Xと称し、その前後方向Xと平面視で直交する方向を左右方向Yと称して説明する。
また、昇降支持部17には、搬送物6はその容器左右方向が天井搬送車1の前後方向Xに沿う状態で支持される。そのため、以下、搬送物6が昇降支持部17にて支持されている状態を想定して、搬送物6の容器左右方向を前後方向Xとし、搬送物6の容器前後方向を左右方向Yとして説明する。
一対の搬送物支持部32が上昇高さであると、その一対の搬送物支持部32にて支持されている搬送物6は支持用高さに位置する。また、一対の搬送物支持部32が下降高さであると、当該一対の搬送物支持部32は支持台4上で移載用高さ位置する搬送物6の挿入用空間12と同じ高さに位置する。
そして、落下防止用モータ30の駆動により、一対の落下防止体26の間隔を受止用間隔に変更することで、天井搬送車1の走行中に支持機構23の搬送物6に対する支持が外れても搬送物6を落下防止体26にて受け止めることで搬送物6が床面上に落下することを防止できるようになっている。また、落下防止用モータ30の駆動により、一対の落下防止体26の間隔を退避用間隔に変更することで、図1に示すように、支持機構23を昇降移動させて搬送物6を支持台4に受け渡すことや支持台4から搬送物6を受け取れるようになっている。
次に、天井搬送車1の支持機構23について説明を加える。
図3〜図5に示すように、天井搬送車1の支持機構23には、巻き取りベルト24aの先端部に連結されて昇降操作機構24にて昇降される昇降部としての昇降体31と、搬送物6における被支持部9を支持する搬送物支持部32と、搬送物支持部32を水平に移動させる支持用モータ33と、を備えている。搬送物支持部32が下降高さで且つ支持台4上に物品が位置している状態で、支持用モータ33の駆動により搬送物支持部32を水平に移動させることで、搬送物支持部32を、被支持部9の直下に位置する支持用位置(図3参照)及び被支持部9の直下の位置から退避させた退避用位置(図4参照)に移動させるようになっている。つまり、支持用モータ33が、支持用駆動部に相当する。
昇降体31は箱状に形成され、搬送物支持部32及び支持用モータ33は、昇降体31の内部に設置されている。
連結部材42は、一対の搬送物支持部32に対応して前後方向Xに並ぶ状態で一対設けられており、一対の連結部材42の夫々に、対応する搬送物支持部32を案内するための案内部材41が支持されている。
そして、支持用モータ33にてボールネジ34を回転駆動させることで、案内部材41がリニアレール40に案内されながら一対の搬送物支持部32が前後方向Xに互いに遠近離間移動して、一対の搬送物支持部32の間隔が支持用間隔と退避用間隔とに切り換えられるようになっている。
水平規制体37は、基枠39と昇降体31の底面部31aとを連結しており、この水平規制体37にて、基枠39が底面部31aに対して設定距離以上上方に離間すること及び基枠39が底面部31aに対して水平方向に移動することが規制されている。
(1)上記実施形態では、緩衝体36と水平規制体37とを設けて、搬送物支持部32に上下方向の振動が加わることを抑制したが、緩衝体36のみを設けて、搬送物支持部32に上下方向及び水平方向の振動が加わることを抑制してもよい。
また、水平規制体37をリニアシャフト37aとリニアブッシュ37bとで構成したが、水平規制体37の構成は適宜変更可能であり、例えば、水平規制体37を、基枠39の横側方に位置するように底面部31aから立設させた規制部材にて構成し、基枠39が規制部材に接触することで、案内支持部35が昇降体31に対して水平方向に沿って移動することを規制してもよい。
また、上記実施形態では、緩衝体36を、ゴム材にて構成したが、緩衝体36を、コイルスプリング等の他の弾性部材にて構成してもよく、また、緩衝体36として、ショックアブソーバ等の減衰装置を設けてもよい。
6 搬送物
9 被支持部
16 走行移動部(走行体)
23 支持機構(支持体)
29 昇降用モータ(昇降用駆動部)
31 昇降体(昇降部)
32 搬送物支持部
33 支持用モータ(支持用駆動部)
35 案内支持部
36 緩衝体
37 水平規制体
44 載置部分
45 被載置部分
Claims (5)
- 走行経路に沿って走行する走行体と、搬送物を吊り下げ支持する支持体と、前記支持体を前記走行体に対して昇降させる昇降用駆動部と、を備え、
前記支持体が、前記昇降用駆動部にて昇降される昇降部と、前記搬送物の被支持部を支持する搬送物支持部と、前記被支持部の直下に位置する支持用位置及び前記被支持部の直下の位置から退避させた退避用位置に前記搬送物支持部を移動させる支持用駆動部と、を備えている物品搬送車であって、
前記支持体が、前記搬送物支持部を前記支持用位置及び前記退避用位置に移動自在に案内支持する案内支持部と、前記昇降部と前記案内支持部との間に位置して前記案内支持部の荷重を受ける上下方向に弾性変形自在な緩衝体と、を備えて、前記搬送物支持部が前記搬送物を吊り下げ支持している状態で、前記緩衝体が上下方向に弾性変形自在となるように、前記案内支持部と前記昇降部との間に上下方向に隙間が形成されている物品搬送車。 - 前記案内支持部が前記昇降部に対して水平方向に沿って移動することを規制する水平規制体が設けられている請求項1記載の物品搬送車。
- 前記昇降部が、前記緩衝体を載置支持する載置部分を備え、
前記案内支持部が、前記載置部分より上方に位置して前記緩衝体にて載置支持される被載置部分を備え、
前記搬送物支持部が、前記昇降部より下方に位置している請求項1又は2記載の物品搬送車。 - 前記昇降部は、前記載置部分を着脱自在に備えている請求項3記載の物品搬送車。
- 前記搬送物支持部が、前記案内支持部により案内される案内部材を備え、
前記案内支持部に対して上下方向の上方側に、前記案内部材が配置され、前記案内支持部に対して上下方向の下方側に前記緩衝体が配置されている請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送車。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014230060A JP6327124B2 (ja) | 2014-11-12 | 2014-11-12 | 物品搬送車 |
TW104135446A TWI670223B (zh) | 2014-11-12 | 2015-10-28 | 物品搬送車 |
US14/937,039 US9576832B2 (en) | 2014-11-12 | 2015-11-10 | Article transport vehicle with damper element |
KR1020150158036A KR102417790B1 (ko) | 2014-11-12 | 2015-11-11 | 물품 반송차 |
CN201510768998.4A CN105584768B (zh) | 2014-11-12 | 2015-11-12 | 物品搬送车 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014230060A JP6327124B2 (ja) | 2014-11-12 | 2014-11-12 | 物品搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016094263A JP2016094263A (ja) | 2016-05-26 |
JP6327124B2 true JP6327124B2 (ja) | 2018-05-23 |
Family
ID=55912811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014230060A Active JP6327124B2 (ja) | 2014-11-12 | 2014-11-12 | 物品搬送車 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9576832B2 (ja) |
JP (1) | JP6327124B2 (ja) |
KR (1) | KR102417790B1 (ja) |
CN (1) | CN105584768B (ja) |
TW (1) | TWI670223B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020230440A1 (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6179406B2 (ja) * | 2014-01-10 | 2017-08-16 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP6435795B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-12-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US10643877B2 (en) * | 2015-08-27 | 2020-05-05 | Murata Machinery, Ltd. | Retrieving device and storing device |
JP6702106B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2020-05-27 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
JP6693356B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2020-05-13 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
US10822205B2 (en) | 2016-10-25 | 2020-11-03 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport vehicle |
DE112016007268B4 (de) | 2016-10-27 | 2022-10-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Werkstücktransportvorrichtung |
JP6607175B2 (ja) * | 2016-12-07 | 2019-11-20 | 株式会社ダイフク | 移載機 |
CN108657986B (zh) * | 2017-03-31 | 2024-01-23 | 中铁华铁工程设计集团有限公司 | 悬挂式单轨车辆检修用移动平台 |
JP6794946B2 (ja) * | 2017-07-11 | 2020-12-02 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
SG11202006554VA (en) * | 2018-01-24 | 2020-08-28 | Murata Machinery Ltd | Transport vehicle |
JP6835039B2 (ja) * | 2018-06-19 | 2021-02-24 | 株式会社ダイフク | 物品搬送体 |
US11348816B2 (en) * | 2018-07-31 | 2022-05-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for die container warehousing |
CN109249942A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-22 | 深圳盛世电梯股份有限公司 | 一种螺杆式空轨系统 |
JP6881486B2 (ja) * | 2019-02-27 | 2021-06-02 | 村田機械株式会社 | 搬送車 |
JP7234754B2 (ja) * | 2019-04-04 | 2023-03-08 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
JP2020193058A (ja) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送体 |
JP7238736B2 (ja) | 2019-11-13 | 2023-03-14 | 株式会社ダイフク | 物品昇降装置 |
KR102454246B1 (ko) * | 2020-02-18 | 2022-10-14 | 세메스 주식회사 | 그립퍼, 이를 포함하는 물품 반송 장치 |
KR102700084B1 (ko) * | 2020-03-13 | 2024-08-27 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 그리퍼 장치, 반송차, 및 반송 방법 |
JP7363713B2 (ja) * | 2020-08-07 | 2023-10-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
JP2022101200A (ja) * | 2020-12-24 | 2022-07-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
JP7359171B2 (ja) * | 2021-02-17 | 2023-10-11 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
CN114864463A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-08-05 | 华芯(嘉兴)智能装备有限公司 | 一种用于8寸晶圆的抓手 |
IT202200015504A1 (it) * | 2022-07-22 | 2024-01-22 | Clevertech S P A | Apparato per impilare strati di contenitori |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4838577U (ja) * | 1971-09-07 | 1973-05-12 | ||
US4852928A (en) * | 1984-02-16 | 1989-08-01 | Multivisions Corporation | Robotic end effectors |
CN2371165Y (zh) * | 1999-06-03 | 2000-03-29 | 张德孔 | 立体仓库 |
US6592324B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-07-15 | Irm, Llc | Gripper mechanism |
JP3981885B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2007-09-26 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP2006008355A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Murata Mach Ltd | 天井走行車 |
KR101023729B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 대형 기판을 반송하는 셔틀 및 반송 방법 |
JP2006298535A (ja) | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Murata Mach Ltd | 天井走行車 |
US7887108B1 (en) * | 2007-08-16 | 2011-02-15 | Sage Automation, Inc. | Adjustable tine clamp systems and methods |
JP5062485B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2012-10-31 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
SG178103A1 (en) * | 2009-11-27 | 2012-03-29 | Daifuku Kk | Ceiling conveyor car |
JP5429570B2 (ja) * | 2010-03-08 | 2014-02-26 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR20120003368A (ko) * | 2010-07-02 | 2012-01-10 | 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 | 천정 반송차의 그리퍼 장치 및 천정 반송차 |
JP5668340B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2015-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
KR101523537B1 (ko) * | 2011-05-17 | 2015-05-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천정 반송차 |
JP6179406B2 (ja) * | 2014-01-10 | 2017-08-16 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP6191544B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2017-09-06 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP6191543B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2017-09-06 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
-
2014
- 2014-11-12 JP JP2014230060A patent/JP6327124B2/ja active Active
-
2015
- 2015-10-28 TW TW104135446A patent/TWI670223B/zh active
- 2015-11-10 US US14/937,039 patent/US9576832B2/en active Active
- 2015-11-11 KR KR1020150158036A patent/KR102417790B1/ko active Active
- 2015-11-12 CN CN201510768998.4A patent/CN105584768B/zh active Active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2020230440A1 (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | ||
JP7111255B2 (ja) | 2019-05-13 | 2022-08-02 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車 |
TWI827842B (zh) * | 2019-05-13 | 2024-01-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 高架搬送車 |
US12057338B2 (en) | 2019-05-13 | 2024-08-06 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead conveyance vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105584768A (zh) | 2016-05-18 |
TW201623131A (zh) | 2016-07-01 |
KR102417790B1 (ko) | 2022-07-05 |
TWI670223B (zh) | 2019-09-01 |
CN105584768B (zh) | 2019-05-21 |
US20160133488A1 (en) | 2016-05-12 |
US9576832B2 (en) | 2017-02-21 |
JP2016094263A (ja) | 2016-05-26 |
KR20160056825A (ko) | 2016-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6327124B2 (ja) | 物品搬送車 | |
KR102463265B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
KR102319927B1 (ko) | 물품 반송 대차 | |
TWI546238B (zh) | 物品搬運設備 | |
KR102155617B1 (ko) | 물품 수납 설비 | |
KR102031805B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
WO2018055883A1 (ja) | 天井搬送システム、及び天井搬送車 | |
TWI246501B (en) | Overhead traveling carriage system | |
KR20110005867A (ko) | 천정반송차 | |
KR101350252B1 (ko) | 물품 수납 설비 | |
JP7099245B2 (ja) | 物品搬送車 | |
KR20090046890A (ko) | 스태커 크레인 | |
JP6477439B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
KR20130029765A (ko) | 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템 | |
KR20120029325A (ko) | 반송 장치 | |
JP2008081297A (ja) | スタッカクレーン | |
KR101416433B1 (ko) | 이동 재치 장치 | |
KR20220092381A (ko) | 물품 반송차 | |
KR101586695B1 (ko) | 이송대차 | |
KR102451382B1 (ko) | 반송 시스템 | |
JP2023065082A (ja) | 物品搬送装置 | |
TW202442563A (zh) | 高架搬運系統 | |
JP2012153160A (ja) | トラバーサ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171024 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180320 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6327124 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |