JP6512127B2 - 物品搬送装置及びそれを備えた物品搬送設備 - Google Patents
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Description
特許文献1のコンベヤは、特許文献1の図5に示されているように、搬送方向視における四隅に、長尺状に形成されて長手方向が搬送方向に沿う枠材が配置された筐体を備えている。特許文献1には、詳細は記載されていないが、このような筐体を備えたコンベヤの従来例として、図10及び図11に示すようなコンベヤが知られている。すなわち、コンベヤは、搬送方向視における四隅に、長尺状に形成されて長手方向が搬送方向に沿う枠材200Yが配置され、当該枠材200Yに、底板201、側板202、及び上面板203が取り付けられた筐体を備えている。図10及び図11に示すように、コンベヤには、当該筐体の内部の収容空間を搬送方向に沿って走行する走行台車Dが設けられ、走行台車Dの上端に物品を下方から支持する支持体54が昇降自在に設けられている。さらに、筐体の上面には開口部200Gが設けられ、支持体54がその開口部を通して上方に突出するように構成されている。このようなコンベヤにおいて搬送機構部に対するメンテナンスを行う場合には、筐体の上面に形成された開口部から搬送機構部にアクセスする場合が多い。
前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、
前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、長尺状の筐体支持部により下方から支持され、前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、前記筐体支持部は、その長手方向が前記幅方向に沿う姿勢であり、前記筐体支持部は、さらに、前記搬送経路に沿う方向で前記ブラケットの位置に対応して分散配置され、前記筐体支持部は、吊下げ支持部によって吊り下げ支持され、前記吊下げ支持部は、前記幅方向における前記筐体の外方において上下方向に延在して配置されると共に、前記幅方向視で前記ブラケットと重複するように配置され、前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定されている点に特徴を有する。
したがって、筐体の側部を形成する筐体パネルをブラケットから取外すことで、筐体の側部にブラケットの存在しない領域に対応した連通部が形成される。この連通部は、上下方向の寸法がブラケットの上下方向の寸法に対応し、搬送経路に沿う方向の寸法が搬送経路に沿う方向に並ぶブラケットの間の距離となっている。
本特徴構成によれば、筐体支持部が支持板を下方から支持するから、筐体パネルの撓みが発生し難く、筐体の外形を維持した状態で筐体を所定の高さで支持することができる。
前記搬送機構部が、前記搬送経路に沿って前記収容空間を走行する走行体を備え、前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定され、前記筐体は、前記搬送経路に沿う方向での前記収容空間の端部に端部閉塞部を備え、前記端部閉塞部は、前記走行体が通過可能に前記端部を開口する開口状態と、前記端部を閉塞する閉塞状態と、に切換え可能である点に特徴を有する。
また、端部閉塞部を開口状態に切換えることで、収容空間の内部に位置する走行体を筐体の端部から筐体の外部に取り出すことができる。このため、搬送機構部のメンテナンスを行い易い。
本特徴構成によれば、筐体支持部が支持板を下方から支持するから、筐体パネルの撓みが発生し難く、筐体の外形を維持した状態で筐体を所定の高さで支持することができる。
本特徴構成によれば、このような場合であっても、筐体の側方から収容空間内に手を差し入れることができるので、作業者は筐体の上端より下方に位置した状態で物品搬送装置のメンテナンスを行うことができる。
前記物品搬送装置は、搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備え、前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、
前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定され、前記搬送機構部を制御する制御装置が収容された収容体を更に備え、前記収容体が、前記搬送経路に沿う方向で前記筐体の存在範囲において前記幅方向で前記筐体の側方に配置され、かつ、上下方向で前記筐体と重複しない位置に配置され、前記物品搬送装置として、第1物品搬送装置と第2物品搬送装置とを備え、前記第1物品搬送装置と前記第2物品搬送装置とは、夫々の前記搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置され、前記収容体として、前記第1物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第1収容体と、前記第2物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第2収容体とを備え、前記第1物品搬送装置と前記第2物品搬送装置とは、前記搬送経路に沿う方向において、重複部分と非重複部分とを有し、前記第1収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第1物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置され、前記第2収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第2物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置されている点に特徴を有する。
また、制御装置が収容された収容体を幅方向で筐体の側方に配置するに当たって、収容体を上下方向で筐体と重複する位置に配置すると、当該収容体が邪魔となって筐体の側方から収容空間に手を差し入れ難い。本特徴構成によれば、収容体を上下方向で筐体と重複しない位置に配置して、筐体の側方の空間を開放させているので、作業者は、筐体の側面の筐体パネルを取り外して筐体の側方から収容空間に手を差し入れ易い。
すなわち、物品搬送装置の搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体におけるレール下方部分の移動軌跡の下端が、交差部位において物品搬送装置の上端と設定間隔以下の間隔であるから、物品搬送設備における上下方向のスペースを有効に利用できる。
このような構成においては、物品搬送装置の上端と移動体のレール下方部分の移動軌跡の下端との距離が近いため、作業者が物品搬送装置の筐体の上方から当該物品搬送装置のメンテナンスを行うと、移動体が作業者に接触又は衝突する虞がある。このため、作業者が物品搬送装置の筐体の上方から当該物品搬送装置の搬送機構部のメンテナンスを行う場合は、メンテナンス期間中に移動体の稼働を停止しなければならない。
本特徴構成によれば、物品搬送装置のメンテナンスを筐体の側方から行うことができるので、作業者は、身体を物品搬送装置の筐体より上方に位置させなくてもメンテナンスを行うことができる。そのため、物品搬送装置のメンテナンスを行う際に、移動体の稼働を停止させる必要が無い。
この為、設備における上下方向のスペースを有効に利用しながら、物品搬送装置の搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体の稼働効率の低下を抑制することが可能な物品搬送設備を提供できる。
本実施形態の半導体製造工場には、図1及び図2に示すように、複数の工程領域(第1工程領域Fb1及び第2工程領域Fb2)の夫々に設定された移動経路に沿って、天井Cから吊り下げ状態で設けられたレールRと、レールRに沿って走行移動する天井搬送車Vとを備えた天井搬送設備が設けられている。
本実施形態では、第1領域間コンベヤY1が第1物品搬送装置に相当し、第2領域間コンベヤY2が第2物品搬送装置に相当する。また、図1〜5に示すように、第1領域間コンベヤY1と第2領域間コンベヤY2とは、夫々の搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置されている。
同様に、上面板23において第3部分25cの雌ねじ孔に対応する位置には貫通孔が形成され、この貫通孔を介して第3部分25cの雌ねじ孔と螺合する雄ねじを螺合させることによって、ブラケット25に上面板23が取り付けられる。
上面板23は、図3、図4、図5、図8、及び図9に示すように、搬送経路に沿う方向視で左右に離間して一対設けられ、左右一対の上面板23の間に、搬送経路に沿って開口部20Gが形成されている(図3、図4を参照)。
このように、領域間コンベヤYは、筐体パネルとしての側板22をブラケット25に着脱可能に構成されている。
側板22は上下方向でブラケット25の第2部分25bの下端から上端までの寸法に対応して形成され、かつ、搬送経路に沿う方向で、隣接するブラケットの距離に対応する寸法に形成されており、連通部20Kは、側板22の寸法に対応して、上下方向の寸法がブラケット25の上下方向の寸法に対応する寸法であり、搬送方向の寸法が隣接するブラケットの距離に対応する寸法となる。
すなわち、筐体Sは、側板22をブラケット25に装着していない状態において、収容空間Kの内部と外部とを連通する連通部20Kを備え、連通部20Kの上下方向の寸法は、ブラケット25の上下方向の寸法に対応する寸法に設定されている。
また、領域間コンベヤYは、支持体54の一部又は全部が、開口部20Gを通して上方に突出可能に構成されている。領域間コンベヤYの筐体Sは、搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間Kを形成するように構成されている。
収容体Hとして、第1領域間コンベヤY1についての制御装置を収容する第1収容体H1と、第2領域間コンベヤY2についての制御装置を収容する第2収容体H2と、が設けられている。
このような構成により、収容体Hを平面視で筐体Sの側方に接近して設けながらも、搬送機構部のメンテナンスを側方から適切に行うことができる領域間コンベヤYを提供できる。
すなわち、支持板21は、長尺状の筐体支持部Aにより下方から支持されている。筐体支持部Aは、その長手方向が幅方向(図4のx方向)に沿う姿勢であり、さらに、搬送経路に沿う方向でブラケット25の位置に対応して分散配置されている。
図2に示すように、レールRは、当該レールRを移動する天井搬送車Vのレール下方部分の移動軌跡の下端が、交差部位において領域間コンベヤYの上端と設定間隔以下の間隔(図2におけるL4、L5)となるように配置されている。そして、天井搬送車Vの移動軌跡の下端の高さ、搬送対象の容器Bの上下方向の寸法、及び、領域間コンベヤYの設置下限高さに鑑みて、領域間コンベヤYの筐体の上下方向の寸法として許容される寸法が決まる。
(1)上記実施形態では、本発明の物品搬送装置を、2つの工程領域Fbの天井搬送車V間で容器Bを受け渡すための領域間コンベヤYに適用する実施形態を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、本発明の物品搬送装置を、容器Bを保管するストッカーの入出庫用のコンベヤに適用する形態としてもよい。この場合、コンベヤの一方側端部をストッカー外部に位置させて、当該端部に天井搬送車Vとの物品授受箇所を設定し、他方側の端部をストッカー内部に位置させて、当該端部にストッカー内の容器搬送装置(スタッカークレーン等)との物品授受箇所を設定する。
また、上記実施形態では、本発明の物品搬送装置及び物品搬送設備を半導体製造工場に適用する例を示したが、本発明の物品搬送装置及び物品搬送設備を適用する設備はどのようなものであってもよく、例えば、食品加工工場や機械装置製造工場等に適用できる。この場合、当然、搬送対象の物品はそれらの設備で取り扱われる加工対象物や製造対象物となる。
20K 連通部
21 支持板
22 側板(筐体パネル)
24 端部閉塞体
25 ブラケット
50 走行体
54 支持体
A 筐体支持部
B 容器(物品)
E1a 非重複部分
E1b 非重複部分
H 収容体
H1 第1収容体
H2 第2収容体
K 収容空間
S 筐体
R、R1、R2 レール
V、V1、V2 天井搬送車(移動体)
Y 領域間コンベヤ(物品搬送装置)
Y1 第1領域間コンベヤ(第1物品搬送装置)
Y2 第2領域間コンベヤ(第2物品搬送装置)
Claims (7)
- 搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、
前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備えた物品搬送装置であって、
前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、
前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、長尺状の筐体支持部により下方から支持され、
前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、
前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、
前記筐体支持部は、その長手方向が前記幅方向に沿う姿勢であり、
前記筐体支持部は、さらに、前記搬送経路に沿う方向で前記ブラケットの位置に対応して分散配置され、
前記筐体支持部は、吊下げ支持部によって吊り下げ支持され、
前記吊下げ支持部は、前記幅方向における前記筐体の外方において上下方向に延在して配置されると共に、前記幅方向視で前記ブラケットと重複するように配置され、
前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、
前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、
前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定されている物品搬送装置。 - 前記搬送機構部は、前記支持板の上面を転動可能な車輪を備え、
前記車輪の全体が、前記幅方向視で前記連通部と重複するように配置されている請求項1に記載の物品搬送装置。 - 搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、
前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備えた物品搬送装置であって、
前記搬送機構部が、前記搬送経路に沿って前記収容空間を走行する走行体を備え、
前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、
前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、
前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、
前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、
前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、
前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、
前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定され、
前記筐体は、前記搬送経路に沿う方向での前記収容空間の端部に端部閉塞部を備え、
前記端部閉塞部は、前記走行体が通過可能に前記端部を開口する開口状態と、前記端部を閉塞する閉塞状態と、に切換え可能である物品搬送装置。 - 前記支持板が、長尺状の筐体支持部により下方から支持され、
前記筐体支持部は、その長手方向が前記幅方向に沿う姿勢であり、
前記筐体支持部は、さらに、前記搬送経路に沿う方向で前記ブラケットの位置に対応して分散配置されている請求項3に記載の物品搬送装置。 - 前記搬送機構部が、搬送対象の物品を下方から支持すると共に前記搬送経路に沿って移動する支持体を備え、
前記筐体の上部に、前記搬送経路に沿って開口部が形成され、
前記支持体の一部又は全部が、前記開口部を通して上方に突出している請求項1から4の何れか一項に記載の物品搬送装置。 - 物品搬送装置を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送装置は、搬送対象の物品を下方から支持して当該物品を搬送経路に沿って搬送する搬送機構部と、
前記搬送機構部の一部又は全部が収容される収容空間を形成する筐体と、を備え、
前記筐体は、支持板とブラケットと筐体パネルとを備え、
前記支持板は、前記搬送経路に沿って延在している板状部材であって前記搬送機構部を下方から支持しており、
前記搬送経路に沿う方向に上下方向視で直交する方向を幅方向として、
前記ブラケットは、下端部が前記支持板に取り付けられ、かつ、前記幅方向で、前記収容空間の外方において、前記搬送経路に沿う方向に間隔を開けて複数並ぶ状態で設けられ、
前記筐体パネルは、前記ブラケットに着脱可能であり、
前記筐体は、前記筐体パネルを前記ブラケットに装着していない状態において、前記収容空間の内部と外部とを連通する連通部を備え、
前記連通部の上下方向の寸法は、前記ブラケットの上下方向の寸法に対応する寸法に設定され、
前記搬送機構部を制御する制御装置が収容された収容体を更に備え、
前記収容体が、前記搬送経路に沿う方向で前記筐体の存在範囲において前記幅方向で前記筐体の側方に配置され、かつ、上下方向で前記筐体と重複しない位置に配置され、
前記物品搬送装置として、第1物品搬送装置と第2物品搬送装置とを備え、
前記第1物品搬送装置と前記第2物品搬送装置とは、夫々の前記搬送経路が直線状であって互いに平行に配置されていると共に、上下方向の同じ高さにおいて互いに隣接するように配置され、
前記収容体として、前記第1物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第1収容体と、前記第2物品搬送装置についての前記制御装置を収容する第2収容体とを備え、
前記第1物品搬送装置と前記第2物品搬送装置とは、前記搬送経路に沿う方向において、重複部分と非重複部分とを有し、
前記第1収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第1物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置され、
前記第2収容体は、前記搬送経路に沿う方向で前記第2物品搬送装置についての前記非重複部分の存在範囲に配置されている物品搬送設備。 - 請求項1〜5の何れか一項に記載の物品搬送装置と、
前記搬送経路の上方に設けられたレールに沿って移動する移動体と、を備え、
前記移動体は、前記レールよりも下方に位置するレール下方部分を有し、
前記レールは、上下方向視で前記搬送経路と交差する交差部位を有し、
前記レールは、さらに、当該レールを移動する前記移動体の前記レール下方部分の移動軌跡の下端が、前記交差部位において前記物品搬送装置の上端と設定間隔以下の間隔となるように配置されている物品搬送設備。
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