KR101680271B1 - 천정 주행차 시스템 및 천정 주행차 시스템에서의 이재 제어 방법 - Google Patents
천정 주행차 시스템 및 천정 주행차 시스템에서의 이재 제어 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2은 실시예의 천정 주행차 시스템의 주요부 정면도이다.
도 3은 실시예의 천정 주행차 시스템의 주요부 확대 평면도로서, 천정 주행차의 궤도를 제외하고 나타낸 도면이다.
도 4는 실시예에서의 지상측 단말로부터 지상측 컨트롤러까지의 블록도이다.
도 5는 실시예에서의 천정 주행차의 블록도이다.
도 6은 실시예에서의 로컬 대차의 블록도이다.
도 7은 로드 포트 및 버퍼와의 이재 프로토콜을 나타내는 도면이다.
4; 천정 주행차
6; 천정 주행차의 궤도
8; 로컬 대차(local carriage)
10; 로컬 대차의 궤도
12; 버퍼
13; 처리 장치
14; 물품
16, 17; 로드 포트(load port)
18; 통로
20; 횡이동 장치
21; 회동 장치
22, 27; 호이스트
24, 26; 승강대
25; 벨트
28~32; 지지 기둥
34; 로컬 대차 컨트롤러
36, 38; 하방 감시 센서
37; 레이저 빔
40; 투수광(投受光) 센서
41; 미러
42, 44; 지상측 단말
43; 근접 센서
46; 스위치
48; 처리 장치측 컨트롤러
50, 60; 통신부
51; 기상(機上) 컨트롤러
52; 맵(map)
53, 61; 주행 제어부
54, 62; 이재(移載) 제어부
56, 64; 통신 단말
L1~L3; 감시 라인
Claims (4)
- 물품을 승강시키는 호이스트(hoist)와 하방의 장애물을 감시하는 제 1 센서를 갖는 천정 주행차와,
상기 천정 주행차의 궤도와,
처리 장치의 전면(前面)에 설치되어 있는 로드 포트(load port)의 상부이며, 또한 천정 주행차의 궤도의 바로 아래(直下, directly under)에 설치되어 있는 로컬 대차의 궤도와,
물품을 승강시키는 호이스트를 구비하며, 또한 상기 로컬 대차의 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차와,
천정 주행차 및 로컬 대차가 모두, 호이스트에 의해 물품을 반입 및 반출할 수 있는 버퍼와,
상기 로컬 대차의 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트의 부근이며, 또한 처리 장치와는 반대측인 통로 영역의 장애물을 감시하는 제 2 센서와,
제 2 센서의 장애물 검출 신호를 상기 천정 주행차 및 상기 로컬 대차에 송신하는 통신 단말로 이루어지고,
천정 주행차 및 로컬 대차는 모두, 호이스트에 의해 로드 포트에 대해 물품을 반입 및 반출할 수 있으며,
상기 버퍼는 로컬 대차의 궤도로부터 연직(鉛直) 하방을 향하는 지지 기둥에 의해 매달리고, 또한 상기 로드 포트의 바로 위(直上, directly over) 부분에는 버퍼의 부재가 존재하지 않으며,
상기 천정 주행차 및 상기 로컬 대차는, 제 2 센서로부터의 장애물 검출 신호를 상기 통신 단말을 통해 수신하면, 호이스트를 정지시키도록 구성되고,
또한 상기 천정 주행차는, 호이스트에 의해 상기 로드 포트에 대해 물품을 반입 및 반출하고자 할 때에, 상기 제 1 센서를 오프(off)로 하거나 혹은 그 신호를 무시하는 상태로 하고, 이 상태에 있어서 제 2 센서로부터의 장애물 검출 신호를 상기 통신 단말을 통하여 수신하면, 호이스트를 정지시키는, 로드 포트와의 사이에서 물품을 이재(移載)하는, 천정 주행차 시스템. - 제 1항에 있어서,
상기 로컬 대차의 궤도는 처리 장치측과 통로측의 한 쌍의 평행한 레일로 이루어지며, 상기 한 쌍의 레일의 사이에 상기 물품이 연직 방향으로 통과할 수 있는 틈새가 형성되고,
상기 제 2 센서는 통로측의 레일에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 로드 포트와의 사이에서 물품을 이재(移載)하는, 천정 주행차 시스템. - 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 제 2 센서에 접속되며, 또한 상기 제 2 센서가 장애물을 검출하지 않고 있음을 조건으로 하여, 천정 주행차 혹은 로컬 대차와, 상기 통신 단말간의 통신을 성립시키는 스위치가 더 설치되며,
상기 통신 단말은, 상기 천정 주행차의 궤도 및 로컬 대차의 궤도에 각각 설치되며, 또한 상기 로드 포트에 대한 물품의 반입 및 반출을 관리하는 처리 장치측의 컨트롤러와 접속되고,
천정 주행차 및 로컬 대차는, 상기 통신 단말과 통신하면서, 로드 포트에 대한 물품의 반입 및 반출을 행하며,
상기 통신 단말과의 통신이 차단되는 것이, 상기 천정 주행차 및 상기 로컬 대차에 대해, 상기 장애물 검출 신호로서 작용하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 로드 포트와의 사이에서 물품을 이재(移載)하는, 천정 주행차 시스템. - 물품을 승강시키는 호이스트와 하방의 장애물을 감시하는 제 1 센서를 갖는 천정 주행차와,
상기 천정 주행차의 궤도와,
처리 장치의 전면에 설치되어 있는 로드 포트의 상부이며, 또한 천정 주행차의 궤도의 바로 아래에 설치되어 있는 로컬 대차의 궤도와,
물품을 승강시키는 호이스트를 구비하며, 또한 상기 로컬 대차의 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차와,
천정 주행차 및 로컬 대차가 모두, 호이스트에 의해 물품을 반입 및 반출할 수 있는 버퍼로 이루어지고,
천정 주행차 및 로컬 대차는 모두, 호이스트에 의해 로드 포트에 대하여 물품을 반입 및 반출할 수 있으며,
상기 버퍼는 로컬 대차의 궤도로부터 연직 하방을 향하는 지지 기둥에 의해 매달리고, 또한 상기 로드 포트의 바로 위 부분에는 버퍼의 부재가 존재하지 않는,
천정 주행차 시스템을 위한 이재(移載) 제어 방법으로서,
상기 로컬 대차의 궤도의 하방으로서, 상기 로드 포트의 부근이며, 또한 처리 장치와는 반대측인 통로 영역의 장애물을 감시하는 제 2 센서를, 상기 로컬 대차의 궤도에 부착하는 단계와,
제 2 센서의 장애물 검출 신호를 상기 천정 주행차 및 상기 로컬 대차에 송신하는 통신 단말을 설치하는 단계와,
상기 천정 주행차 및 상기 로컬 대차에, 제 2 센서로부터의 장애물 검출 신호를 상기 통신 단말을 통해 수신했을 때에, 호이스트를 정지시키는 단계와,
상기 천정 주행차는, 호이스트에 의해 상기 로드 포트에 대해 물품을 반입 및 반출하고자 할 때에, 상기 제 1 센서를 오프(off)로 하거나 혹은 그 신호를 무시하는 상태로 하고, 이 상태에 있어서 제 2 센서로부터의 장애물 검출 신호를 상기 통신 단말을 통하여 수신하면, 호이스트를 정지시키는 단계를 실행하는, 천정 주행차 시스템을 위한 이재 제어 방법.
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Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
PT2620391E (pt) * | 2012-01-30 | 2014-08-26 | Carefusion Germany 326 Gmbh | Método para retirar de armazenamento embalagens de medicamentos |
TWI520258B (zh) * | 2013-09-27 | 2016-02-01 | 華亞科技股份有限公司 | 起吊裝置及自動化搬運系統 |
WO2015194266A1 (ja) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | 村田機械株式会社 | キャリアの一時保管装置と保管方法 |
WO2015194264A1 (ja) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | 村田機械株式会社 | キャリアの一時保管装置及び一時保管方法 |
JP6256783B2 (ja) * | 2014-09-10 | 2018-01-10 | 村田機械株式会社 | 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法 |
SG11201804595XA (en) * | 2015-12-08 | 2018-06-28 | Murata Machinery Ltd | Conveyance system |
SG11201804593PA (en) * | 2015-12-08 | 2018-06-28 | Murata Machinery Ltd | Conveyance system and conveyance method |
WO2017150006A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 村田機械株式会社 | 一時保管システム |
EP3460834B1 (en) * | 2016-05-20 | 2020-08-05 | Murata Machinery, Ltd. | Transport vehicle and transport method |
KR102020227B1 (ko) * | 2017-08-24 | 2019-09-10 | 세메스 주식회사 | 캐리어 이송 장치 및 방법 |
US10622236B2 (en) | 2017-08-30 | 2020-04-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for handling wafer carrier doors |
GB201803771D0 (en) * | 2018-03-09 | 2018-04-25 | Ocado Innovation Ltd | Transporting device position determining apparatus and method |
KR102080877B1 (ko) * | 2018-05-28 | 2020-02-24 | 세메스 주식회사 | 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 oht |
JP7040637B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2022-03-23 | 村田機械株式会社 | 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法 |
CN113371614B (zh) * | 2020-03-10 | 2023-01-31 | 长鑫存储技术有限公司 | 自动化天车防撞系统及方法 |
KR102781277B1 (ko) * | 2020-11-17 | 2025-03-12 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송차 |
CN115028103B (zh) * | 2022-06-09 | 2024-01-09 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种装载装置及自动物料搬送系统 |
JP2024017825A (ja) | 2022-07-28 | 2024-02-08 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001261284A (ja) * | 2000-03-15 | 2001-09-26 | Shinko Electric Co Ltd | 天井走行搬送装置 |
JP2011086733A (ja) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Sinfonia Technology Co Ltd | キャリア移載促進装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005294614A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Asyst Shinko Inc | 警報および通報装置 |
JP4978823B2 (ja) * | 2005-04-20 | 2012-07-18 | 村田機械株式会社 | 天井走行車 |
JP2007331906A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP4688824B2 (ja) * | 2007-01-12 | 2011-05-25 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法 |
JP5388045B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2014-01-15 | 北陽電機株式会社 | 搬送台車及び光測距装置 |
KR101015225B1 (ko) * | 2008-07-07 | 2011-02-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법 |
JP4807424B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2011-11-02 | 村田機械株式会社 | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
JP2011114406A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Sony Corp | 撮像装置、撮像方法およびプログラム |
JP5429570B2 (ja) * | 2010-03-08 | 2014-02-26 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5229363B2 (ja) | 2010-11-04 | 2013-07-03 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
JP5382470B2 (ja) * | 2010-11-04 | 2014-01-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
-
2013
- 2013-06-18 SG SG11201407694VA patent/SG11201407694VA/en unknown
- 2013-06-18 CN CN201380034416.9A patent/CN104395207B/zh active Active
- 2013-06-18 JP JP2014526819A patent/JP5936174B2/ja active Active
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- 2013-07-24 TW TW102126433A patent/TWI534056B/zh active
Patent Citations (2)
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