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KR20060047409A - 기판 이송 장치 - Google Patents

기판 이송 장치 Download PDF

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KR20060047409A
KR20060047409A KR1020050033557A KR20050033557A KR20060047409A KR 20060047409 A KR20060047409 A KR 20060047409A KR 1020050033557 A KR1020050033557 A KR 1020050033557A KR 20050033557 A KR20050033557 A KR 20050033557A KR 20060047409 A KR20060047409 A KR 20060047409A
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KR
South Korea
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conveying sheet
support
sheet
shaft
Prior art date
Application number
KR1020050033557A
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KR100595111B1 (ko
Inventor
칭 치 첸
타이 싱 이
Original Assignee
퀀타 디스플레이 인크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 퀀타 디스플레이 인크 filed Critical 퀀타 디스플레이 인크
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Publication of KR100595111B1 publication Critical patent/KR100595111B1/ko

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 본 발명은 베이스, 기판 반송 유니트 및 상기 베이스와 기판 반송 유니트 사이에 장착된 축 유니트를 포함한다. 상기 축 유니트는 상기 기판 반송 유니트를 지지하고 회전을 제어하기 위해 지지축과 축 베이스를 가진다. 상기 기판 반송 유니트는, 상기 지지축에 결합된 하부 반송 시트, 상기 하부 반송 시트의 표면 상에 장착된 복수의 제1 지지요소, 복수의 진공 흡입 노즐과 복수의 제2 지지요소를 가진 상부 반송 시트; 및 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이에 개재되는 신축자재요소를 포함한다. 상부 반송 시트는 기판을 부착하고 감지하는데 사용된다. 상기 신축자재요소는 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이의 거리를 조정할 수 있다.
기판이송

Description

기판 이송 장치 {Substrate-Transporting Device}
도 1a는 종래의 로봇아암에 대한 사시도이다.
도 1b는 기판을 이송하는 종래의 지지포크에 대한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치의 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 바람직한 실시예에 따른 조립체의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송 유니트의 분해도이다.
도 5a 내지 5c는 본 바명의 바람직한 실시예에 따른 동작을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제2 지지요소에 대한 사시도이다.
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 사이즈의 유리 기판을 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 장치의 제조 공정에 있어서, 유리 기판은 도 1a에 도시된 바와 같이 종래의 지지포크와 로봇아암 시스템과 같은 운반 시스템에 의해 작업장 으로부터 제조장치로 운반된다. 최근에는, 액정 디스플레이 장치의 제조 비용을 줄이기 위해, 대형 사이즈의 유리 기판을 채용할 필요성이 대두되었다. 나아가, 그러한 대형 사이즈의 유리 기판에 상응하여, 유리 기판이 제조장치로 투입되는 방식이 변경되었다. 유리 기판을 제조장치로 수평으로 운반하는 수평형 디자인은 일반적으로 소형 크기의 기판을 위한 제조장치에 사용된다. 그러나, 크린룸의 공간을 효율적으로 사용하기 위해, 제조장치의 일부는 수직형 디자인을 채용한다. 따라서, 대형 유리 기판은 수직으로 또는 경사진 상태에서 장치로 투입되는 경향이 있다. 그에 따라, 지지포크 또는 로봇아암을 사용하는 종래의 방식은 많은 기술적 어려움에 부닥친다. 이러한 기술적인 어려움에는 다음과 같은 것이 있다.
(1) 유리 기판의 에지에서 발생하는 결함이 감지되지 않는다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 지지포크(100)는 아주 작은 지지면을 가지므로 대형 유리 기판(200)의 에지를 충분히 커버할 수는 없다. 따라서, 유리 기판의 균열 결함(210)은 효과적으로 감지될 수 없다. 보통 이러한 결함은 유리 기판의 에지에서 발생한다. 그러한 결함을 가진 대형 유리 기판은 제조장치로 운반될 때 파손을 일으킬 수 있다. 일단 파손이 일어나면, 다량의 유리 파편이 장치를 정지시킬 것이고, 또한 제조 공정을 지연시킬 것이다. 심한 경우에는, 파편이 장치에 심각한 손상을 입힐 수도 있다.
(2) 파손은 유리 기판이 수직형 디자인을 채용하는 제조장치의 로더(loader)로 운반될 때 쉽게 발생한다. 종래의 지지포크는 유리 기판을 정밀하게 위치선정하거나 정렬시키지 못하기 때문에 제조장치의 로더에는 보조 정렬 메카니즘이 장착될 필요가 있다. 이러한 정렬 문제는 소형 기판과 수평형 제조장치에서는 쉽게 해결될 수 있다. 그러나, 대형 기판에서는 어딘가에서 발생하는 약간의 결함이 축적되어 다른 위치에서의 명백한 결함을 초래할 수도 있다. 반면에, 유리 기판은 수직형 장치의 로더에 의해 안정적으로 지지되지 않아서, 기판의 손상을 방지하기 위해서 커버 플레이트나 또 다른 보호 기구가 구비된다. 따라서, 입구는 그 크기가 제한된다. 비록 로더에 대한 정렬 기구가 있다고 하더라도, 포크와 같은 이송 시스템은 유리 기판의 위치와 자세에 대한 정밀도를 증가시킬 필요가 있을 것이다. 결과적으로, 지지포크와 같은 종래의 방식은 파손을 야기하는 경향이 있다.
(3) 제5 세대 제조 공정의 도입과 함께, 수평형과 수직형 제조장치 모두가 적용되어 단일 제조 라인에 임의로 배치된다. 따라서, 유리 기판을 수평형 제조장치 또는 수직형 제조장치 모두에 운반할 수 있는 단일 이송 시스템을 제공할 필요성이 절실하다. 지금까지, 다양한 이송 시스템이 제조 공정에 사용되었다. 따라서, 제조 비용 뿐만 아니라 이런 다양한 이송 시스템의 유지 비용 및 시간 또한 증대되었다.
따라서, 전술한 문제점들을 완화하고 제거할 수 있는 개선된 기판 이송 장치를 제공하는 것이 필요하다.
본 발명의 주된 목적은, 기판 결함을 실제적으로 감지하고, 기판의 위치를 정렬시킬 수 있고, 기판의 균열 발생을 억제할 수 있고, 기판을 경사진 상태로 이송하며, 기판 이송을 위한 공간을 절약할 수 있는 기판 이송 시스템을 제공하는 것 이다.
본 발명의 또 다른 목적은 유리 기판을 수직, 경사 또는 수평 방식으로 효율적으로 이송할 수 있는 단일 이송 시스템용 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 베이스; 지지축과 축 베이스를 가지며, 상기 지지축의 제1 단부가 상기 베이스 상에 장착된 상기 축 베이스에 회동가능하게 결합되어, 상기 지지축을 지지하는 동시에 회전을 제어하는 축 유니트; 및 상기 지지축의 제2 단부에 고정 장착되어 지지되는 기판 반송 유니트;를 포함한다.
상기 기판 반송 유니트는, 상기 지지축에 결합된 하부 반송 시트; 상기 하부 반송 시트의 표면 상에 장착된 복수의 제1 지지요소; 상기 지지축이 위치한 상기 하부 반송 시트의 측면과 반대되는 측에 장착된 상부 반송 시트; 상기 상부 반송 시트의 내측면 상에 장착된 복수의 제2 지지요소; 및 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이에 개재되는 신축자재요소;를 포함하고, 상기 상부 반송 시트의 표면 상에는 복수의 진공 흡입 노즐이 구비되고, 상기 신축자재요소는 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이의 거리를 조정하여, 상기 제1 지지요소가 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이에 위치하도록 하거나 또는 상기 제1 지지요소가 상기 상부 반송 시트의 표면 밖으로 돌출되어 기판을 지지하도록 된다. 그에 따라, 상기 축 베이스는 상기 지지축의 회전을 제어함으로써 상기 기판 반송 유니트의 경사 각도를 간접적으로 조절할 수 있도록 된다.
본 발명의 기판 이송 장치는 종래의 베이스, 바람직하게는 컨베이어 벨트에 고정된 이동가능한 베이스이거나, 전체 기판 이송 장치를 움직이기 위해 가이드되는(예를 들어, 레이저 또는 전기적 신호에 의해 가이드되는) 구동 및 감지요소이다.
덧붙여, 상기 베이스는, 상기 기판 이송 장치의 높이 또는 회전 각도를 제어하고 조정하기 위해, 지면에 수직인 이동가능한 정렬 유니트, 또는 회전하면서 이동가능한 정렬 유니트를 더 포함한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 제1 지지요소의 모델은 특정되지 않고 기판을 안정적으로 지지하는 종래의 구조가 채용될 수 있다. 바람직하게, 상기 제1 지지요소는 상기 기판을 지지하는 핀이다.
제2 지지요소는 기판을 지지 또는 이송기능을 하며, 바람직하게 롤러이다.
상기 제1 및 제2 지지요소의 위치와 수는 그것이 상부 반송 시트의 두 측면 사이에서 움직일 수 있는한 제한되지 않는다. 바람직하게, 상기 제1 및 제2 지지요소는 기판의 일측에 균일하게 구비된다.
제1 지지요소의 위치는 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이에 개재된 신축자재요소에 의해 조절된다. 제2 지지요소는, 그 위치가 스프링에 의해 조정되며, 플로팅 홀더에 의해 상부 반송 시트의 내측면에 장착된다.
본 발명에 따른 기반 이송 장치에 있어서, 상기 신축자재요소는 신축가능한 실린더인 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 상기 진공 흡입 노즐 내로 불활성 가스가 유동하여 상기 진공 흡입 노즐의 내부 압력을 조절한다. 바람직하게 불활성가스는 질소이다. 덧붙여, 상부 반송 시트 상의 진공 흡입 노즐의 분포 영역은 특별히 한정되지 않는다. 바람직하게, 이러한 분포 영역은 기판의 크기와 비슷하다.
더욱 바람직하게, 진공 흡입 노즐을 따라 연장되는 진공 슬릿이 더 구비되는데, 이것은 기판의 네 주변부에 구비되어 실질적으로 기판을 감지하는데, 특히 기판의 에지부를 감지한다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 상기 기판의 위치를 정렬하기 위해 상기 상부 반송 시트 주위에 장착된 복수의 정렬 및 이송요소 세트를 더 포함하며, 상기 정렬 및 이송요소 세트 중에서 적어도 하나는, 톱니 벨트, 상기 톱니 벨트가 주행하도록 작동시키는 구동휠 및 종동휠, 상기 구동휠이 회전하도록 작동시키는 모터, 및 상기 톱니 벨트 상에 고정 장착된 복수의 정렬휠을 포함한다.
덧붙여, 상기 정렬 및 이송요소는 상기 상부 반송 시트로부터 상기 정렬 및 이송요소의 거리를 조절하기 위한 복수의 실린더를 더 포함한다.
바람직하게, 상기 축 유니트는, 상기 지지축에 결합되어, 상기 기판 반송 유니트에 구동력을 제공하는 모터를 더 포함한다.
더욱 바람직하게, 상기 축 유니트는, 상기 기판 반송 유니트의 경사 각도를 제한하고 과도한 경사에 의해 기판이 탈라되는 것을 막기 위해 상기 축 베이스에 형성된 제한홀을 더 포함한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도면을 참조로 상세히 설명하기로 한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치의 조립체에 대한 사시도가 도시되어 있다. 본 발명의 기판 이송 장치는 베이스(10), 기판 반송 유니트(20) 및 축 유니트(30)를 포함한다. 바람직한 실시예에서, 상기 베이스(10)는 컨베이어 벨트(미도시) 상에 고정 장착된 이동가능한 베이스로서, 전체 기판 이송 장치를 움직이기 위해 가이드된다. 따라서, 기판(40)은 원하는 위치로 이동될 수 있다. 상기 베이스(10) 내에는 회전 모터 또는 기어와 같은 구동요소가 있어서, 베이스(10)의 내부로부터 돌출된 가동축(11)이 기판 반송 유니트(20)의 높이 뿐만 아니라 각도까지도 조정할 수 있다. 따라서, 상기 가동축(11)과 연결된 축 유니트(30)는 가변적으로 움직일 수 있다.
상기 축 유니트(30)는 지지축(31)과, 상기 지지축(31)의 하단에 회동가능하게 결합된 축베이스(32)를 가지며, 상기 축베이스(32)는 지지축(31)의 각도를 제한하는 제한홀(321)을 가지고 있어서, 전체 기판 반송 유니트(20)의 경사 각도가 제한된다.
도 3으로부터, 지지축(31)이 소정 각도만큼 회전할 때[즉, 기판 반송 유니트(20)가 소정 각도로 기울어질 때], 지지축(31)의 운동은 상기 제한홀(321)에 의해 제한된다. 따라서, 상기 기판 반송 유니트(20)의 경사 각도가 제어된다. 또한, 지지축(31)은 경사 운동에 필요한 구동력을 제공하는 모터(33)(도 3에서 점선으로 표시된 원)에 연결된다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 축베이스(32) 및 제한홀(321)은 모터(33)에 의해 기판 반송 유니트(20)의 경사 방향과 각도를 지지하고 조정한다.
상기 기판 반송 유니트(20)는 상기 지지축(31)의 상단에 고정 장착되어 지지축(31)에 의해 지지된다. 또한 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송 유니트(20)의 분해도가 도시되어 있다. 상기 기판 반송 유니트(20)는 상기 지지축(31)에 결합된 하부 반송 시트(61), 상기 하부 반송 시트(61)의 표면 상에 장착된 복수의 제1 지지요소(611), 상기 하부 반송 시트(61)의 상측에 장착되는 상부 반송 시트(22), 상기 상부 반송 시트(22)의 내측면 상에 장착되는 복수의 제2 지지요소(221), 및 상기 상부 반송 시트(22)와 하부 반송 시트(61) 사이에 개재되는 복수의 신축자재요소(63)를 포함한다. 바람직한 본 실시예에서, 상기 제1 지지요소(611)는 핀이 되고, 반면에 제2 지지요소(211)는 롤러를 포함한다. 기판 이송에 있어서, 상기 제1 지지요소(611)는 기판을 지지하여 상부 반송 시트(22)로 이송하는데 사용된다. 상기 제2 지지요소(211)는 기판을 탄성적인 방식으로 지지하고 기판의 이송을 촉진하기 위해 롤링된다. 덧붙여, 상부 반송 시트(22)의 기판(40)을 흡착하기 위해 복수의 진공 흡입 노즐(221)이 상부 반송 시트(22)의 표면에 구비된다. 나아가, 기판(40)의 바깥 에지 부분의 상부 반송 시트(22)의 표면에는 슬롯 형상의 진공 슬릿(223)이 진공 흡입 노즐(221) 사이에 형성되는데, 이것은 기판(40)의 주변부에 대한 진공 흡착 기능과 완전한 감지 기능을 가진다.
바람직한 본 실시예에서, 진공 흡입 노즐(221)에 연결되는 상기 진공 슬릿(223)의 분포는 기판(40)의 크기와 유사하다. 따라서, 통상 기판(40)의 주변부에서 발견되는 균열 결함은 실제적으로 감지될 수 있다. 불활성가스, 바람직하게 질소가 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223) 내부로 유동하여 진공 흡입 노즐(221)과 진공 슬릿(223)의 내부 압력을 제어한다. 비정상적인 내부 압력은 상기와 같은 균열 결함을 감지하기 위해 사용될 수 있다.
상기 신축자재요소(63)는 상기 상부 반송 시트(22)와 하부 반송 시트(61) 사이의 거리를 조정할 수 있다. 따라서, 상기 제1 지지요소(611)는 상기 하부 반송 시트(61)와 상부 반송 시트(22) 사이에 있도록 조정되거나, 또는 다르게는, 제1 지지요소(611)가 상부 반송 시트(22)의 표면 위로 돌출되어 기판(40)을 지지할 수 있도록 조정된다. 이러한 실시예에서, 대칭적으로 배치된 네 개의 신축자재요소(63)(도 4에는 단지 두 개만 보임)는 상기 하부 반송 시트(61)의 상승 및 하강 운동과 제1 지지요소(611)의 상승 및 하강 운동을 조정하는 신축가능한 실린더이다. 물론, 본 실시예에서 관련 기판(40)의 상승 및 하강 운동은, 하부 반송 시트(61)와 제1 지지요소(611)의 보조로 신축가능한 실린더를 통해 잘 조절될 수 있다.
또한 바람직한 본 실시예에서, 기판 이송 장치는, 상부 반송 시트(22) 주위에 구비된 복수의 정렬 및 이송요소(50)를 포함하는데, 이것은 기판의 위치를 정렬하여 다른 장치로 이송하기 위한 것이다. 상기 정렬 및 이송요소(50)는 톱니 벨트(51), 구동휠(52), 종동휠(56) 및 상기 톱니 벨트(51)에 장착된 정렬휠(53)로 구성된다. 상기 구동휠(52)에 결합된 모터(55)는 구동휠(52), 종동휠(56) 및 톱니 벨트(51)의 운동을 동작시킬 수 있다. 그에 따라 정렬휠(53)이 구동되어 회전한다. 상기 정렬 및 이송요소(50)는 상기 상부 반송 시트(22)에 대해 접근 또는 이격되도록 움직이는 적어도 하나의 실린더(54)에 의해 제어된다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(40)이 기판 이송 장치에 투입될 때, 상기 신축자재요소는 제1 지지요소(611)가 상부 반송 시트(22)의 표면 위로 돌출되도록 조정되고, 따라서 기판(40)은 상기 제1 지지요소(611)에 의해 지지된다.
다음으로, 도 5b를 참조하면, 신축자재요소(63)는 핀[이것은 제1 지지요소(611)]이 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222) 아래의 위치까지 하강하도록 다시 조정되고, 또한 상기 정렬 및 이송요소(50)는 실린더(54)에 의해 제어되어 기판(40)의 양측 반대 지점으로부터 상호 접근하는 방향으로 움직이게 된다. 따라서, 정렬휠(53)이 기판(40) 양측을 강하게 누름으로써 제2 지지요소(즉, 롤러)(211) 위에 있는 기판은 소정 위치로 정렬된다. 이렇게 해서, 기판(40)은 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222)보다 약간 높은 위치에서 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)와의 접촉을 통해 기판 이송 장치 위에 로딩된다.
도 5c를 참조하면, 다음으로 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222) 위에 정렬된 기판(40)은 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222)에 있는 진공 흡입 노즐(221)과 진공 슬릿(223)의 흡입 효과에 의해 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222)으로 점차 하강하게 된다. 상기 기판(40)이 진공 흡입 노즐(221)과 진공 슬릿(223)을 통해 흡입됨에 따라, 기판(40)의 무게와 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223)으로부터의 흡입력은 상기 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)의 탄성력을 극복할 수 있고, 이것은 상기 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)로 하여금 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222) 아래의 위치까지 하강하도록 만든다. 결국, 기판(40)은 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222)과 접촉하게 되고, 기판의 가능한 균열 결함은 진공 흡입 노즐(221)과 진공 슬릿(222)의 비정상적인 압력에 의해 감지될 것이다. 따 라서, 기판(40)은 상부 반송 시트(22)에 의해 지지되고, 상부 반송 시트(22)의 상단 표면(222)에 한정된 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223)에 의해 흡착된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제2 지지요소(221)의 결합 구조는 도 6을 참조로 보다 상세히 설명될 것이다. 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)를 지지하기 위한 휠축대(212)가 베어링(215)을 통해 플로팅 홀더(214)의 내부에 고정되어 있다. 상기 상부 반송 시트(22) 상에 있는 플로팅 홀더(214)의 위치는 스프링(213)에 의해 조정된다. 따라서, 기판이 하강하여 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223)에 의해 흡착될 때, 상기 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)는 기판(40)의 무게와 상기 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223)의 흡입력의 결합 효과에 의해 하강한다. 따라서, 기판(40)은 상부 반송 시트(22)와 밀착된다. 만약 기판(40)이 비정상인 것으로 감지되면, 예를 들어, 기판 주변에 균열 결함이 있는 경우, 그 다음 공정이 중단되어 기판(40)이 균열되는 것을 막음으로써 제조장치가 오염되는 것을 방지한다. 감지 후에 기판(40)이 정상인 경우에는, 상기 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223)은 기판(40)을 흡착한다. 실제로, 기판이 운반되고 이송되는 방식은 다음 공정에 달려있다[예를 들어, 기판(40)을 제조장치로 이송하기 위해 기판 반송 유니트(20)와 그 위에 장착된 기판(40)이 경사지게 된다].
본 발명의 바람직한 실시예에서, 기판 이송 장치의 제2 지지요소(211)는 롤러이다. 따라서, 기판(40)이 제조장치 내로 이송될 때, 상기 진공 흡입 노즐(221) 및 진공 슬릿(223)는 비흡입상태로 전환될 것이다. 따라서, 상기 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)의 탄성력이 기판의 자중을 극복할 수 있으므로 기판(40)은 상부 반 송 시트(22)의 상단 표면(222) 위로 약간 뜨게 될 것이다. 그러면, 제2 지지요소(즉, 롤러)(211)의 보조로 상기 정렬 및 이송요소(50) 상의 정렬휠(53)에 의해 기판만이 제조장치 내로 이동될 수 있다.
본 발명의 기판 이송 장치는 기판의 결함, 특히 기판의 주변에 있는 결함을 실제적으로 감지할 수 있고, 기판의 위치를 정렬하며, 주변에 균열을 가진 기판이 쉽게 파손되거나 제조장치 내로 투입되는 것을 방지한다. 따라서, 제조장치 내에서 기판이 파손되거나 장치가 오염되는 것을 방지한다. 덧붙여, 본 발명의 기판 이송 장치는 기판의 위치를 정밀하게 정렬시킬 수 있다. 대형 유리 기판은 기판 이송에 필요한 공간을 절약하기 위해 경사진 채로 제조장치 내로 안전하게 투입될 수 있다.
비록 본 발명은 바람직한 실시예와 관련되어 설명되었으나, 여기에 청구된 바와 같이 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 수많은 수정이나 변형이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

Claims (16)

  1. 베이스;
    지지축과 축 베이스를 가지며, 상기 지지축의 제1 단부가 상기 베이스 상에 장착된 상기 축 베이스에 회동가능하게 결합되어, 상기 지지축을 지지하는 동시에 회전을 제어하는 축 유니트; 및
    상기 지지축의 제2 단부에 고정 장착되어 지지되는 기판 반송 유니트;를 포함하고,
    상기 기판 반송 유니트는,
    상기 지지축에 결합된 하부 반송 시트;
    상기 하부 반송 시트의 표면 상에 장착된 복수의 제1 지지요소;
    상기 지지축이 위치한 상기 하부 반송 시트의 측면과 반대되는 측에 장착된 상부 반송 시트;
    상기 상부 반송 시트의 내측면 상에 장착된 복수의 제2 지지요소; 및
    상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이에 개재되는 신축자재요소;를 포함하고, 상기 상부 반송 시트의 표면 상에는 복수의 진공 흡입 노즐이 구비되고, 상기 신축자재요소는 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이의 거리를 조정하여, 상기 제1 지지요소가 상기 상부 반송 시트와 하부 반송 시트 사이에 위치하도록 하거나 또는 상기 제1 지지요소가 상기 상부 반송 시트의 표면 밖으로 돌출되어 기판을 지지하도록 하고,
    상기 축 베이스는 상기 지지축의 회전을 제어함으로써 상기 기판 반송 유니트의 경사 각도를 간접적으로 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는 이동가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 지지요소는 상기 기판을 지지하는 핀인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 지지요소는 상기 기판을 지지하기 위한 복수의 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 지지요소와 접촉하도록 상기 상부 반송 시트 내에 장착되는 복수의 플로팅 홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 신축자재요소는 신축가능한 실린더인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 진공 흡입 노즐 내로 질소가 유동하여 상기 진공 흡입 노즐의 내부 압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 위치를 정렬하기 위해 상기 상부 반송 시트 주위에 장착된 복수의 정렬 및 이송요소 세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 정렬 및 이송요소 세트 중에서 적어도 하나는,
    톱니 벨트, 상기 톱니 벨트가 주행하도록 작동시키는 구동휠 및 종동휠, 상기 구동휠이 회전하도록 작동시키는 모터, 및 상기 톱니 벨트 상에 고정 장착된 복수의 정렬휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 상부 반송 시트로부터 상기 정렬 및 이송요소의 거리를 조절하기 위한 복수의 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 주변부에 상응하는 위치에, 상기 상부 반송 시트의 표면 상에 형성된 진공 슬릿을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 상부 반송 시트의 표면 상에 형성된 상기 진공 슬릿은, 상기 기판의 주변부에 상응하는 위치에, 상기 진공 흡입 노즐과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  13. 제3항에 있어서,
    상기 제1 지지요소는 상기 기판의 일측에 균일하게 구비된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 축 유니트는,
    상기 지지축에 결합되어, 상기 기판 반송 유니트에 구동력을 제공하는 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 축 유니트는,
    상기 기판 반송 유니트의 경사 각도를 제한하기 위해 상기 축 베이스에 형성된 제한홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는,
    상기 기판 이송 장치의 높이 또는 회전 각도를 제어하고 조정하기 위해,
    지면에 수직인 이동가능한 정렬 유니트, 또는 회전하면서 이동가능한 정렬 유니트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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