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KR101712034B1 - 턴 오버 모듈 및 이를 구비한 레이저 리프트 오프 장치 - Google Patents

턴 오버 모듈 및 이를 구비한 레이저 리프트 오프 장치 Download PDF

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KR101712034B1
KR101712034B1 KR1020160091364A KR20160091364A KR101712034B1 KR 101712034 B1 KR101712034 B1 KR 101712034B1 KR 1020160091364 A KR1020160091364 A KR 1020160091364A KR 20160091364 A KR20160091364 A KR 20160091364A KR 101712034 B1 KR101712034 B1 KR 101712034B1
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KR
South Korea
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glass
rotated
plate
mounting
base
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Inventor
김대진
엄승환
조운기
Original Assignee
디앤에이 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부; 상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부; 상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재; 상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및 상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함하는 턴 오버 모듈 및 이를 구비하는 레이저 리프트 오프 장치를 제공한다.

Description

턴 오버 모듈 및 이를 구비한 레이저 리프트 오프 장치{TURN OVER MODULE AND LASER LIFT OFF APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 글라스 및 기판을 분리하기 위해 글라스를 회전시키는 턴 오버 모듈 및 이를 구비하는 레이저 리프트 오프 장치에 관한 것이다.
최근 들어 엑시머 레이저(Eximer Laser) 빔의 안정성과 출력이 향상됨에 따라 반도체 물질을 가공하는 공정으로까지 그 사용 범위가 넓어지고 있다.
특히, 발광 다이오드(LED : Light Emitting Diode)와 같은 소자를 형성하기 위해, 레이저 빔(Laser beam)을 발생시키는 레이저 가공장치를 통해, 글라스 및 기판을 분리하는 공정이 주로 이루어지고, 이러한 공정을 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off : LLO)공정이라고 한다.
기판 및 글라스의 분리를 위해서, 레이저를 기판 및 글라스 사이에 조사하여야 하는데, 이를 위해 글라스를 180 ° 회전시키는 공정이 필요하다.
이를 위해, 종래에는 180 ° 회전하고, 로봇에 의해 회전된 글라스가 다른 곳으로 이송되었기에, 회전 전, 회전 후 및 이송 후에 각각 글라스를 정렬시켜야 하는 번거로움이 있었다.
또한, 글라스의 회전, 이송 및 정렬이 별도의 공정으로서 행해져서 제조 공정상의 불리한 점이 있었다.
한편, 종래에는 회전된 글라스를 로봇이 이송하여 반응챔버 내부로 공급하여야 하였으므로, 생산성이 저하되는 문제가 있었다.
본 발명의 일 목적은, 레이저의 조사로 기판과 글라스를 분리시키기 위해 글라스를 회전시키는 구조를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은, 기판과 글라스를 분리시키기 위해 글라스를 회전시키는데 있어서, 글라스를 최소로 정렬시키는 등 제조 공정을 단축시키는 구조를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 일 목적은, 글라스를 회전시키면서 바로, 회전된 글라스를 반응챔버 내부로 공급할 수 있는 구조를 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 턴 오버 모듈은, 베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부; 상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부; 상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재; 상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및 상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예에 의하면, 상기 제1거치부는, 상기 베이스부에 고정되는 제1지지판; 및 상기 제1가이드핀이 결합되고, 상기 제1지지판에 대해 상대 이동하도록 상기 제1지지판에 설치되는 제1연결판을 더 구비한다.
본 발명과 관련된 다른 일 예에 의하면, 상기 제2가이드핀에 인접하여 지그카세트가 설치되고, 상기 지그카세트에 수용된 지그는 이송 로봇에 의해 상기 제2거치부로 이송되어 상기 제2거치부에 거치되며, 상기 회전된 글라스는 상기 지그에 지지되어 상기 제2거치부에 거치된다.
본 발명의 턴 오버 모듈은 상기 베이스부에 설치되며, 상기 제2거치부에 거치된 상기 지그를 기결정된 위치로 정렬시키는 제2얼라인부를 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 또 다른 일 예에 의하면, 상기 흡착부재는, 상기 회전부재에 설치되어 함께 회동하는 판부; 및 상기 판부의 일 측에 복수 개로 설치되고, 부압을 형성하여 상기 글라스를 흡착시키는 흡착유닛을 포함한다.
상기 판부는, 상기 제1가이드핀을 이동 가능하게 하는 이동 공간을 구비하고, 상기 제1가이드핀은, 상기 글라스가 거치된 상태에서 상기 글라스를 상기 흡착유닛에 흡착 가능하도록 상기 판부와 교차하는 방향으로 상기 이동 공간에서 이동될 수 있다.
상기 흡착유닛은 상기 회전부재에 의해 상기 판부가 회전된 상태에서, 상기 부압의 형성을 해제하여서 상기 회전된 글라스를 상기 흡착유닛으로부터 이탈시키고 상기 제2가이드핀에 거치 가능하도록 할 수 있다.
본 발명과 관련된 또 다른 일 예에 의하면, 상기 제2거치부는 내부에서 레이저가 조사되는 반응챔버의 내부에 배치된다.
상기의 또 다른 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 레이저 리프트 오프 장치는, 특허청구범위의 청구항 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 턴 오버 모듈; 상기 턴 오버 모듈에 의해 회전된 글라스를 수용하도록 이루어지는 반응챔버; 및 상기 반응챔버에 설치되고, 상기 글라스를 향해서 레이저를 조사하는 레이저 발생부를 포함한다.
본 발명은 회전축에 연결되는 회전부재를 구비하여 흡착부재로 글라스를 흡착시킨 채로 글라스를 회전시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 글라스가 제1거치부에 거치된 상태에서 글라스를 정렬시키고 회전 후에도 기 결정된 위치로 위치하여 제조 공정을 단축시킬 수 있다.
한편, 본 발명은 반응챔버 내부에 제2거치부가 설치되어 글라스를 회전시키면서 바로 반응챔버 내부로 공급할 수 있게 한다.
도 1은 턴 오버 모듈이 설치된 레이저 리프트 오프 장치의 일예를 도시하는 사시도.
도 2는 회전되기 전 상태의 글라스가 흡착된 턴 오버 모듈의 사시도.
도 3은 글라스가 제1거치대에 거치된 상태를 도시하는 단면도.
도 4는 도 2의 A부분의 확대도.
도 5는 도 4의 턴 오버 모듈의 종단면도.
도 6는 회전된 후 상태의 글라스가 거치된 턴 오버 모듈의 사시도.
도 7은 도 6의 B부분의 확대도.
도 8은 도 7의 턴 오버 모듈의 종단면도.
도 9a는 턴 오버 모듈 및 챔버 간 배치의 일 예를 도시하는 개념도.
도 9b는 턴 오버 모듈 및 챔버 간 배치의 다른 일 예를 도시하는 개념도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 동일하거나 유사한 구성요소에는 동일·유사한 도면 부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "구비한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 턴 오버 모듈(100)이 설치된 레이저 리프트 오프 장치(1000)의 일예를 도시하는 사시도이고, 도 2는 회전되기 전 상태의 글라스가(3) 흡착된 턴 오버 모듈(100)의 사시도이다. 도 3은 글라스(3)가 제1거치대(10)에 거치된 상태를 도시하는 단면도이다. 또한, 도 4은 도 2의 A부분의 확대도이다. 한편, 도 5는 회전되기 전 상태의 글라스가 흡착부재(40)에 흡착된 턴 오버 모듈(100)의 종단면도이다.
이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여, 글라스(3)가 회전 되기 전 상태에서 턴 오버 모듈(100)의 구성에 대하여 서술하기로 한다.
본 발명의 턴 오버 모듈(100)은, 제1거치부(10), 제1얼라인부(20), 회전부재(30), 흡착부재(40) 및 제2거치부(50)를 포함한다.
턴 오버 모듈(100)은 턴 오버 모듈(100)을 수용하는 턴 오버 모듈 챔버 내에 설치될 수 있다.
제1거치부(10)는 복수 개의 제1가이드핀(12)을 구비하여 글라스(3)를 거치 가능하게 한다. 제1거치부(10)는 베이스부(80)에 설치되는데, 본 발명의 베이스부(80)는 후술하는 바와 같이, 제1 및 제2베이스부(83, 85)를 포함하고, 제1거치부(10)는 제1베이스부(83)에 설치될 수 있다. 제1베이스부(83)는 제1거치부(10) 및 제1얼라인부(20)가 설치되도록 판이나 봉 등을 구비할 수 있다. 또한, 제2베이스부(85)는 제2거치부(50)가 설치되도록 판이나 봉 등을 구비할 수 있다.
도 2 내지 5에는 턴 오버 모듈(100)의 하부를 형성하고, 제1거치부(10) 및 제1얼라인부(20)가 설치되도록 판과 이에 설치되는 봉을 구비하는 제1베이스부(83) 및 제2거치부(50)가 설치되도록 판과 이에 설치되는 봉을 구비하는 제2베이스부(85) 일예가 도시된다.
제1거치부(10)는 제1연결판(16), 제1지지판(14) 및 제1구동부(18)를 더 구비할 수 있다. 제1연결판(16)은 제1가이드핀(12)이 연결되는 판으로, 제1가이드핀(12)과 함께 상하로 이동한다. 제1지지판(14)은 제1베이스부(83)에 고정되는데, 제1연결판(16)은 제1지지판(14)과의 상대적 거리가 가변되도록 제1지지판(14)에 설치된다. 제1구동부(18)는 제1연결판(16)에 설치되는데, 제1연결판(16)에 구동력을 제공하여서 제1연결판(16)을 상하 운동시킨다.
도 3 등을 참조하면, 제1연결판(16)은 제1지지판(14)의 하측에서 제1지지판(14)에 상대 이동 가능하도록 이격되어 배치되며, 제1가이드핀(12)이 상측을 향해 배치되도록 제1연결판(16)의 상면에 고정되는 일예가 도시된다. 또한, 제1구동부(16)는 제1연결판(16)의 하면에 설치되어 제1열결판(16)과 함께 제1가이드핀(12)을 상하 운동시킨다.
제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 가장 가까워지도록 제1가이드핀(12)은 상방향으로 최대 이동된 상태가 되고, 제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 가장 멀게되면, 제1가이드핀(12)은 하방향으로 최대 이동된 상태가 된다. 도 3에는 제1연결판(16)이 상측으로 이동되어 제1지지판(14)과 거리가 가까워지고, 이로 인해 제1가이드핀(12)이 상방향으로 이동되며, 글라스(3)를 거치하는 일 예가 도시되어 있다.
제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 가까워진 상태 즉 제1가이드핀(12)에 상방향으로 이동된 상태에서, 글라스(3)가 제1가이드핀(12)에 거치되고, 후술하는 제1얼라인부(20)에 의해 글라스(3)가 정렬된다. 그 후에, 제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 멀어지도록 제1연결판(16)이 하방향으로 이동하여, 글라스(3)는 흡착부재(40)까지 이동되어 도 2, 도 4 및 도 5의 도면에서의 상태로 될 수 있다. 도 4에는 제1연결판(16)이 하측으로 이동되어 제1지지판(14)과 거리가 멀어지고, 이로 인해 제1가이드핀(12)이 하방향으로 이동되며, 글라스(3)는 흡착부재(40)의 흡착유닛(45)에 의해 흡착되는 일 예가 도시되어 있다.
글라스(3)는 제1거치부(10)에 거치되기 전에 턴 오버 모듈(100)에 인접하여 배치된 글라스카세트(110)에 적층되는데, 이송 로봇(120)은 글라스(3)를 제1거치부(10)로 이송시킨다. 이송 로봇(120)은 글라스(3)를 글라스카세트(110)로부터 제1거치부(10)로 이송한다. 또한, 이송 로봇(120)은 본 발명의 턴 오버 모듈(100)에 의해 글라스(3)가 회전된 후 제2거치부(50)에 거치된 후, 글라스(3)를 반응챔버(300) 내로 이송시킬 수 있다.
물론, 본 발명의 다른 일 예에서는 글라스(3)가 회전된 후 이송 로봇(120)에 의해서 반응챔버(300) 내부로 이송되는 것이 아니고, 바로 이송되도록 제2거치부(50)가 반응챔버(300) 내부에 배치될 수도 있다. 이는 도 9b에 도시되어 있는데, 제2거치부(50)가 반응챔버 내부에 배치되는 일 예가 도시된다.
이송 로봇(120)은 복수의 링크로 구성될 수 있는데, 글라스(3)를 턴 오버 모듈(100)에 공급하고, 회전된 글라스(3)를 반응챔버(300)로 이송시키도록 글라스(3)를 병진 및 회전 이송 가능하도록 동작하도록 구성된다.
제1얼라인부(20)는 글라스(3)를 기결정된 제1위치로 정렬시킨다. 제1얼라인부(20)는 제1가이드핀(12)에 거치된 글라스(3)를 글라스(3)의 일 대각선에서 양쪽을 가압하여 정렬시킬 수 있다.
일예로, 도 3에는, 글라스(3)의 일 대각선의 양쪽에 각각 제1얼라인부(20)의 복수의 핀(23)이 배치되고, 복수의 핀(23)이 복수의 핀(23)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 이동하여 글라스(3)의 모서리 측부를 가압하여 글라스(3)를 정렬시키는 일례가 도시된다. 제1얼라인부(20)의 복수의 핀(23)에서 글라스(3)의 모서리를 가압하는 부분은 회전 가능하도록 이루어질 수 있다.
본 발명의 턴 오버 모듈(100)은 회전부재(30)에 의해 글라스(3)가 회전되기 전 상태에서 제1얼라인부(20)에 의해 정렬이 이루어지게 되므로, 회전된 상태에서도 원하는 위치에 배치된 상태가 유지된다.
회전부재(30)는 일 축을 중심으로 회전하는 회전축(32)에 연결되어 정렬된 글라스(3)를 일 축을 중심으로 회동 가능하게 한다. 회전부재(30)는 판형상으로 이루어질 수 있다. 회전부재(30)에는 후술하는 흡착부재(40)의 판부(42)가 회전부재(30)와 나란하게 배치되도록 설치되는데, 회전부재(30)의 회전에 따라 판부(42)가 함께 회동되게 되고, 판부(42)에 거치된 글라스(3)는 회전된 후 제2거치부(50)로 거치되게 된다. 회전부재(30)는 글라스(3)를 180 °회전시킬 수 있다. 도 3 및 도 5을 참조하면, 회전부재(30)는 도시된 화살표 방향으로 회전 운동 가능하도록 이루어지며, 글라스(3)를 시계방향으로 회전시킨다.
본 발명의 글라스(3)에는 기판이 붙어있는데, 회전부재(30)에 의해 회전이 되기 전 상태에서는 기판이 위쪽에 놓이게 되고, 글라스(3)가 회전부재(30)에 의해 180 °회전되게 되면, 글라스(3)가 위쪽, 기판이 아래쪽에 배치된 상태로 된다. 회전된 글라스(3)는 반응챔버(300) 내에서 레이저 발생부에 의해 레이저가 조사되어 기판으로부터 글라스(3)가 분리되게 된다.
회전부재(30)가 연결되는 회전축(32)은 구동부에 의해 회전될 수 있다. 한편, 구동부는 동력을 발생시키는 구성으로서 예를 들면, 모터가 될 수 있다.
흡착부재(40)는 회전부재(30)에 설치되어 글라스(3)를 회전부재(30)의 회전축(32)을 중심으로 회전 가능하게 흡착시킨다. 흡착부재(40)는 판부(42) 및 흡착유닛(45)을 포함할 수 있다.
판부(42)는 회전부재(30)에 설치되어 회전부재(30)와 함께 회동 가능하도록 이루어질 수 있다. 판부(42)는 제1가이드핀(12)이 이동되는 이동 공간(43)을 구비하는데, 제1가이드핀(12)은 이동 공간(43)에서 판부(42)와 교차하는 방향으로 이동되어서 제1가이드핀(12)에 거치되었던 글라스(3)를 흡착유닛(45)에 접촉 가능하게 한다.
흡착유닛(45)은 판부(42)의 일 측에 복수 개로 설치되는데, 부압을 형성하여 흡착유닛(45)에 접촉된 상태의 글라스(3)를 흡착시킬 수 있다. 또한, 흡착유닛(45)에 글라스(3)를 흡착시킨 후, 회전부재(40)가 회전한 뒤 흡착유닛(45)은 부압의 형성을 해제함으로써, 글라스(3)의 흡착을 해제하여 제2거치대(50)에 거치 가능하도록 한다. 흡착유닛(45)은 예를 들면, 패드(pad) 또는 진공척(vacuum chuck)일 수 있다.
도 6는 회전된 후 상태의 글라스(3)가 거치된 턴 오버 모듈(100)의 사시도이고, 도 7은 도 6의 B부분의 확대도이다. 또한, 도 8은 도 7의 턴 오버 모듈(100)의 종단면도이다.
도 6 내지 도 8은, 회전부재(30)에 의해 흡착유닛(45)에 흡착된 글라스(3)가 회전된 후와 관련된 도면이다. 이하, 회전부재(30)에 의해 글라스(3)가 회전된 상태 및 턴 오버 모듈(100)의 구성 중에서 앞서 서술하지 않은 구성들에 대하여 서술하기로 한다.
제2거치부(50)는 복수 개의 제2가이드핀(52)을 구비하여 회전된 글라스(3)를 거치 가능하게 한다. 제2거치부(50)는 제2베이스부(85)에 설치될 수 있다.
제2거치부(50)는 제2연결판(56) 및 제2지지판(54) 및 제2구동부(57)를 더 구비할 수 있다. 제2연결판(56)은 제2가이드핀(52)이 연결되는 판으로, 제2가이드핀(52)과 함께 상하로 이동한다. 제2지지판(54)은 제2베이스부(85)에 고정되는데, 제2연결판(56)은 제2지지판(54)과의 상대적 거리가 가변되도록 제2지지판(54)에 설치된다. 제2구동부(57)는 제2연결판(56)에 설치되는데, 제2연결판(56)에 구동력을 제공하여서 제2연결판(56)을 상하 운동시킨다.
제2거치부(50)는 회전된 글라스(3)를 거치시키는 점에서 회전 전의 글라스(3)를 거치시키는 제1거치부(10)와 차이가 있다. 글라스(3)가 제1거치부(10)에 의해 거치된 후, 흡착부재(40)에 의해 흡착되고, 회전부재(30)의 회전에 의해 회전하는 점에 대해서는, 도 2 내지 도 5의 설명 부분에서 상세히 전술하였다.
제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 상대적인 거리가 가장 가까워지면, 제2가이드핀(52)은 상방향으로 최대 이동된 상태가 되고, 제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 상대적인 거리가 가장 멀게되면, 제2가이드핀(52)은 하방향으로 최대 이동된 상태가 된다.
일례로, 제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 거리가 가까워진 상태 즉 제2가이드핀(52)에 상방향으로 이동된 상태에서, 회전된 글라스(3)가 제2가이드핀(52)에 거치된다. 그 후에, 제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 거리가 멀어지도록 제2연결판(56)이 하방향으로 이동하여, 회전된 글라스(3)가 이송 로봇(120)에 의해 반응챔버(300) 내부로 이송될 수 있도록 제2가이드핀(52)은 위치된다.
제2가이드핀(52)에는 별도의 지그(58)가 더 거치될 수 있으며, 회전된 글라스(3)는 제2가이드핀(52)에 직접 거치될 수 있고, 지그(58)에 지지된 채로 제2가이드핀(52)에 거치될 수도 있다. 지그(58)는 턴 오버 모듈(100)과 인접하여 배치되는 지그카세트(115)에 적층되고, 이송 로봇(120)에 의해 제2가이드핀(52)에 제공되게 된다.
회전된 글라스(3)가 지그(58)에 지지된 채로 제2가이드핀(52)에 거치되는 경우, 지그(58)를 정렬시키는 제2얼라인부(59)가 더 설치될 수도 있다. 제2얼라인부(59)는 제1얼라인부(20)와 마찬가지로, 복수의 봉(59a)을 포함할 수 있는데, 지그(58)의 모서리부근을 가압하여 정렬시키도록 하며, 지그(58)를 가압하여 정렬하는 점은 차이가 있으나 동작원리는 글라스(3)를 가압하여 정렬하는 제1얼라인부(20)와 거의 같다. 지그(58)에는 회전된 글라스(3)가 지지되고, 회전된 글라스(3) 및 지그(58)가 함께 이송 로봇(120)에 의해 반응챔버(300) 내부로 이송될 수 있다.
도 8을 참조하면, 회전부재(30)에 의해 회전된 글라스(3)가 도시된다. 이때, 지그(58)는 제2가이드핀(52)에 의해 거치된 상태이다. 지그(58)는 지그 카세트(115)로부터 이송 로봇(120)에 의해 제2가이드핀(52)에 제공되는데, 제2가이드핀(52)은 제2연결판(56)에 이동에 의해 상하로 이동하여, 제2얼라인부(59)에 의해 지그(58)가 정렬되도록 할 수 있다. 제2얼라인부(59)에 의해 지그(58)가 정렬된 후, 제2가이드핀(52)에 의해 상방향으로 더 이동하여 회전된 글라스(3)를 지지하도록 할 수 있다.
제2가이드핀(52)에 거치된 회전된 글라스(3) 또는 회전된 글라스(3)를 지지하는 지그(58)는 이송 로봇(120)에 의해 반응챔버(300) 내부로 이송될 수 있다. 반응챔버(300) 내부에서 조사되는 레이저에 의해 글라스(3)에 결합된 기판은 분리되게 된다.
도 9a는 턴 오버 모듈 및 반응챔버 간 배치의 일 예를 도시하는 개념도이고, 도 9b는 턴 오버 모듈 및 반응챔버 간 배치의 다른 일 예를 도시하는 개념도이다. 이하, 도 9a 및 도 9b를 참조하여, 턴 오버 모듈(100), 글라스카세트(110), 지그카세트(115), 이송 로봇(120) 및 반응챔버(300) 등의 배치관계에 예에 대하여 서술한다.
전술한 턴 오버 모듈(100), 글라스카세트(110) 및 지그카세트(115)는 서로 인접하여 배치될 수 있다. 하지만, 턴 오버 모듈(100)이 글라스카세트(110) 및 지그카세트(115)와 인접하여 배치되지 않고, 턴 오버 모듈(100)이 반응챔버(300)에 설치되는 예 또한 가능하다.
이러한 경우, 제1거치부(10)는 반응챔버(300) 외부에 설치되고, 제2거치부(50)는 반응챔버(300) 내부에 설치되게 된다. 도 9a 및 도 9b에는 턴 오버 모듈(100), 글라스카세트(110) 및 지그카세트(115)가 서로 인접 배치되는 일 예와 턴 오버 모듈(100)이 반응챔버(300)에 설치되는 다른 일예에 대하여 각각 도시된다.
한편, 본 발명의 레이저 리프트 오프 장치(1000)는, 턴 오버 모듈(100), 반응챔버(300) 및 레이저 발생부를 포함한다.
턴 오버 모듈(100)에 대한 설명은 전술한 설명으로 갈음하기로 한다.
반응챔버(300)는 회전된 글라스(3)를 수용하도록 이루어질 수 있고, 내부에서 레이저가 조사되도록 형성된다.
레이저 발생부는 반응챔버(300)에 설치되는데, 반응챔버(300) 내부에 설치된 글라스(3)를 기판으로부터 분리시키도록 글라스(3)를 향해서 레이저를 조사한다.
턴 오버 모듈(100)에 의해 회전된 글라스(3)는 반응챔버(300) 내부에서 조사된 레이저에 의해 기판으로부터 분리되게 된다.
본 발명의 레이저 리프트 오프 장치(1000)는, 턴 오버 모듈(100)에 의해, 기판을 최소로 정렬시키고, 박막을 회전시키면서 바로, 회전된 박막을 반응챔버(300) 내부로 공급할 수 있게 하는 등 제조 공정을 단축시킬 수 있다.
이상에서 설명한 턴오버 모듈(100) 및 이를 구비한 레이저 리프트 오프 장치(1000)는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 따라서, 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.

Claims (9)

  1. 베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부;
    상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부;
    상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재;
    상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및
    상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함하고,
    상기 흡착부재는,
    상기 회전부재에 설치되어 함께 회동하는 판부; 및
    상기 판부의 일 측에 복수 개로 설치되고, 부압을 형성하여 상기 글라스를 흡착시키는 흡착유닛을 포함하며,
    상기 판부는, 상기 제1가이드핀을 이동 가능하게 하는 이동 공간을 구비하고,
    상기 제1가이드핀은, 상기 글라스가 거치된 상태에서 상기 글라스를 상기 흡착유닛에 흡착 가능하도록 상기 판부와 교차하는 방향으로 상기 이동 공간에서 이동되는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1거치부는,
    상기 베이스부에 고정되는 제1지지판; 및
    상기 제1가이드핀이 결합되고, 상기 제1지지판에 대해 상대 이동하도록 상기 제1지지판에 설치되는 제1연결판을 더 구비하는 턴 오버 모듈.
  3. 베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부;
    상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부;
    상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재;
    상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및
    상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함하고,
    상기 제2가이드핀에 인접하여 지그카세트가 설치되고,
    상기 지그카세트에 수용된 지그는 이송 로봇에 의해 상기 제2거치부로 이송되어 상기 제2거치부에 거치되며,
    상기 회전된 글라스는 상기 지그에 지지되어 상기 제2거치부에 거치되는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스부에 설치되며, 상기 제2거치부에 거치된 상기 지그를 기결정된 위치로 정렬시키는 제2얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 흡착유닛은 상기 회전부재에 의해 상기 판부가 회전된 상태에서, 상기 부압의 형성을 해제하여서 상기 회전된 글라스를 상기 흡착유닛으로부터 이탈시키고 상기 제2가이드핀에 거치 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제2거치부는 내부에서 레이저가 조사되는 반응챔버의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
  9. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제7항 및 제8항 중 어느 한 항의 턴 오버 모듈;
    상기 턴 오버 모듈에 의해 회전된 글라스를 수용하도록 이루어지는 반응챔버; 및
    상기 반응챔버에 설치되고, 상기 글라스를 향해서 레이저를 조사하는 레이저 발생부를 포함하는 레이저 리프트 오프 장치.
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