JP5354525B2

JP5354525B2 - エア抜き可能なフィルタ装置

Info

Publication number: JP5354525B2
Application number: JP2008530860A
Authority: JP
Inventors: 寛一桑原
Original assignee: Entegris Inc
Current assignee: Entegris Inc
Priority date: 2006-08-25
Filing date: 2007-08-13
Publication date: 2013-11-27
Anticipated expiration: 2027-08-13
Also published as: EP2060309B1; US7997420B2; TWI400118B; EP2060309A4; WO2008023593A1; US20110252973A1; TW200831176A; US20100000932A1; JPWO2008023593A1; US8167140B2; EP2060309A1

Description

本発明は、薬液をポンプにより吐出することで操作される機器に使用されるフィルタ装置に関し、詳しくは、その機器に吐出される前に必要なエア抜き操作を簡略化したフィルタ装置に関するものである。

ポンプにより薬液をノズルから吐出するタイプの操作機器では、薬液中の異物によるノズルの目詰まり、印刷上のかすれや汚れなどのトラブルを防止するため、あるいは薬液吐出ノズルへのエア混入による吐出量の変化を抑制するために、ノズルから吐出される以前に予め薬液をフィルタ装置に通して濾過している。ここで、前記の操作機器とは、本発明の要旨外のため特に図示されていないが、例えば半導体製造装置で使用されるディスペンサ洗浄装置やプリンタのインク濾過などのことである。
図９及び図１０には従来のフィルタ装置１０の斜視図が示される。フィルタ装置１０は、ホルダ１２と、このホルダ１２の底壁１４の前後の各側縁部から上方に伸延させた前壁１６と後壁１８との間に挟持される全体に円筒形状のフィルタ本体２０とから構成される。
フィルタ本体２０には、このフィルタ本体２０の中心位置から前方に突出し、濾過するべき薬液を吸入するための吸入口２２と、この吸入口２２から半径方向に離間する位置に同様に前方に突出され、フィルタ本体内を通した濾過済みの薬液を吐出するための吐出口２４とが設けられる。

ホルダ１２の前壁１６には、フィルタ本体２０の吸入口２２及び吐出口２４を上方から縦方向に同時に挿通させることのできる垂直溝２６が一つ形成され、また前壁１６と後壁１８とはフィルタ本体２０をその間部分に挟持するように相互方向に付勢される。従って、フィルタ本体２０の吸入口２２及び吐出口２４を垂直溝２６に挿通させつつこれら前壁１６と後壁１８との間に挿通すると、フィルタ本体２０がこれらの前後の各壁によって挟持されると共に、垂直溝２６に挿通した吸入口２２と吐出口２４とがフィルタを回転しないように固定する。

フィルタ本体２０は、薬液濾過操作時には図１０に示すように吐出口２４を吸入口２２の下側にした状態で使用され、吸入口２２から流入する薬液中に混入するエアはフィルタ本体２０内を上部に移動してトラップされるようになっている。
こうしてトラップされたエアをフィルタ本体２０から排除するためには、吸入口２２及び吐出口２４にチューブを取り付けた状態のフィルタ本体２０を上方に引き上げてホルダ１２から一旦取り外し、次いでフィルタ本体２０を１８０°反転させて吐出口２４が吸入口２２の上方に来るようにしてから、再度上方よりホルダ１２に差し込んでホルダ１２と組み合わせ、次いで所定時間のエア抜き作業を終了させる。エア抜き作業後、フィルタ本体２０を再度上方に引き上げてホルダ１２から取り外し、吐出口２４が吸入口２２の下方に位置付けられるように１８０°反転させてから上方からホルダ１２に差し込んでホルダに組み合わせ、図１０に示す使用状態に戻すという一連の作業を行う必要がある。

しかしながら、こうしたエア抜き作業ではフィルタ装置１０を組み込む機器の、薬液ボトルやその他の濾過関連部品が収納される中での限られた空間内に、そうした部品と干渉することなくホルダ１２にアクセスし、フィルタ本体２０を上方に持ち上げてホルダ１２から取り外すための必要十分な物理的空間を確保しなければならず、それが装置全体をコンパクト化する上での制約を生じさせている。また吐出口２４と吸入口２２とに夫々チューブを接続した状態のままでフィルタ本体２０を狭小空間内で取り外し、上下に１８０°反転させると言う作業そのものが、フィルタ装置１に関連する操作性及び作業性を低下させる原因ともなっている。

解決しようとする課題は、エア抜き可能な薬液用フィルタ装置のコンパクト化を促進し、フィルタ装置のエア抜き作業等に関する操作性及び作業性等を向上させるフィルタ装置を提供することである。

本発明によれば、フィルタ本体からのエア抜きが可能なフィルタ装置１であって、
連結部分によって相互に連結され且つ並立する前壁５、１０５、２０５及び後壁７、１０７、２０７を有し、前壁５、１０５、２０５が中央溝孔１１、１１１、２１１を有するホルダ３、１０３、２０３と、
ホルダ３、１０３、２０３の前壁５、１０５、２０５と後壁７、１０７、２０７との間にその回転軸を中心として回転自在に挟持される全体に円筒形状のフィルタ本体１３、１１３、２１３にして、前記回転軸位置に設けられ、ホルダ３、１０３、２０３の前壁５、１０５、２０５の中央溝孔１１、１１１、２１１に回転自在に保持され得る吸入口１５と、フィルタ本体１３、１１３、２１３の円周位置付近に設けた吐出口１７とを有するフィルタ本体とを有し、
ホルダ３、１０３、２０３の前壁５、１０５、２０５が、
ホルダ３、１０３、２０３の中央溝孔１１、１１１、２１１に吸入口１５を保持させた状態でフィルタ本体１３、１１３、２１３を回転軸を中心として時計回り及び反時計回りに回転させた場合に、吐出口１７をエア抜き位置及び濾過位置にそれぞれ仮止めすることのできる係止部１９、２１と、
各係止位置でフィルタ本体１３、１１３、２１３が回転しないように仮固定するための固定手段２３、２５、２７と、
フィルタ本体１３、１１３、２１３を容易に回転させるための手段３９、１３９と、
を更に有するフィルタ装置が提供される。

本発明の代表的な実施例では係止部は中央溝孔の垂直上方の上方溝孔と、中央溝孔の垂直下方の下方溝孔とされ、また、エア抜き及び薬液濾過のための各位置においてフィルタ本体の回転を仮固定するための固定手段は、中央溝孔を挟むホルダの前壁の上下の各位置に一体的あるいは別個に設けた第１係止部材及び第２係止部材と、これら第１係止部材及び第２係止部材と相互に弾発係脱自在の、フィルタ本体に設けた第３係止部材とされる。
また、ホルダの前壁と後壁とは、これら前壁と後壁との間にフィルタ本体を回転自在に挟持することができるように相互方向に付勢され、ホルダはフィルタ本体の取付け部材ともされ、フィルタ本体の回転を容易化させるための手段が、フィルタ本体の周囲方向に沿ったリブあるいはフィルタ本体の半径方向外側に伸延するレバーによって構成される。
また、ホルダの中央溝孔の下側内縁部は水平方向に関して上方にある角度αで伸延され、上側内縁部と下側内縁部との間における溝孔の開口幅は吸入口の外径よりも大きくされる。
また、各実施例において、ホルダの前壁及び後壁を相互に連結する連結部分は、ホルダにおける上壁、側壁、底壁の何れかを構成するようになっている。
本発明のフィルタ装置は、ポンプにより薬液をノズルから吐出するタイプの操作機器で使用され得、そうした操作機器は、半導体製造装置で使用されるディスペンサ装置やプリンタのインク濾過装置などであり得る。

ホルダへの組み付けやエア抜き作業を実施するに際してフィルタ本体をホルダの上方に持ち上げる操作が不要化され、またフィルタ本体を横方向からホルダにアクセス及び着脱させることができるので、ホルダ上方の空間を確保する必要が無くなってフィルタ装置の組み立て及びエア抜き作業の容易性が向上し且つ装置全体の小型化が促進されるのに加え、従来、フィルタ本体をホルダの上方に持ち上げる操作に伴って必然的に生じていた配管部品のねじれや、そうしたねじれの応力による配管部品の損傷及び吸入口及び吐出口からの脱落などが有効に防止され得る点で作業性も改善され、また吸入口及び吐出口をそれぞれ中央溝孔、上方溝孔及び下方溝孔に仮止めさせる際に生じる軽いクリック感により操作感が向上され、フィルタ本体に回転用のハンドル部材を取り付けた実施例では作業性が更に向上される産業用のフィルタ装置が提供される。

以下に、図１〜図５を参照して本発明の３つの実施例を詳しく説明する。
図１には本発明のエア抜き可能なフィルタ装置の第１実施例が例示され、全体が番号１で表されている。フィルタ装置１はホルダ３を有し、このホルダ３は、並立する前壁５と後壁７とを有し、これらの前壁５及び後壁７は、本実施例ではホルダの上壁９を構成する連結部分によって相互に連結されている。本発明ではホルダ３の前壁５には、従来製品におけるような単一の長いＵ字溝孔ではなく、以下に説明するようにフィルタ本体をホルダ３と組み合わせた場合にフィルタ本体の吸入口に相当する位置に、この吸入口を回転自在に係止させるための中央溝孔１１が設けられる。

フィルタ本体１３は図９及び図１０に示す従来製品のホルダと構造及び形状的にはほぼ類似するものであり、全体に円筒形状を有し、ホルダ３の相互方向に付勢された前壁５と後壁７との間に回転自在に挟持される寸法形状を有しており、フィルタ本体１３は、通常の状態では前記ホルダ３の前壁５と後壁７による相互方向への付勢力により所定の位置に納まっている。そしてフィルタ本体１３の回転軸に相当する位置には、このフィルタ本体１３を通して濾過するべき薬液を吸入するための吸入口１５を、また円周位置付近には、濾過済みの薬液をフィルタ本体１３からノズルに向けて送り出すための、またフィルタ本体１３に貯まったエアを排出させるための吐出口１７を夫々有している。
ホルダ３は更に、フィルタ本体１３の吸入口１５を中央溝孔１１に係止してこの中央溝孔１１に回転自在に保持させ、次いでフィルタ本体１３をこの吸入口１５の回転軸を中心として上下の１８０°の範囲で時計回り及び反時計回りに夫々回転させたとき、中央溝孔１１の垂直方向の上下の各位置で吐出口１７を仮止めさせる上方溝孔１９及び下方溝孔２１よりなる係止部を更に有している。

係止部を構成する上方溝孔１９及び下方溝孔２１は、図１〜図４の実施例に示すように、ホルダ３の前壁５の中央溝孔１１を挟む上下の１８０°の各位置に設けられ、何れも吐出口１７を軽いクリック感を伴って仮止めさせるために、例えば、その内側周囲部分に沿った開口縁部を吐出口１７が接触しつつ乗り越えるような寸法形状とすることができる。

一方、ホルダ３の前壁５の、中央溝孔１１を挟む上下の、且つ吸入口１５及び吐出口１７よりも円周方向内側の各位置には、エア抜き及び薬液濾過のための各係止位置でフィルタ本体１３を回転させないように仮固定するための第１係止部材２３及び第２係止部材２５（本実施例では板バネ状に切り起こした各２つの小片）がホルダ３と一体的に設けられ、他方、フィルタ本体１３の第１係止部材２３及び第２係止部材２５に相当する位置には、これらの第１係止部材２３及び第２係止部材２５と弾発係脱自在の第３係止部材２７（本実施例では小突起）が設けられる。吐出口１７を各溝孔に仮止めさせる際に、板バネ状に切り起こした２つの小片２９間に形成される凹部３１に、第３係止部材である小突起２７が相互に係合することで生じるクリック感により、吐出口１７を上方溝孔１９及び下方溝孔２１に係合させる際の操作感が向上され、また、吐出口１７が各溝孔に仮止めすると同時に第１係止部材２３及び第２係止部材２５に第３係止部材２７が係合することで、上方溝孔１９及び下方溝孔２１での吐出口１７の保持性が一段と向上されるようにもなる。

ホルダの前壁５と後壁７とは、フィルタ本体１３をこれらの前壁５と後壁７との間に挿通したときにフィルタ本体１３がこの間部分に有効に挟持され且つ保持されるよう、相互方向に所定距離接近するように付勢された状態で、上壁９によって連結される。また、ホルダ３は例示した実施例ではフィルタ本体１３の取付け部材を構成し、その底部には、図示されない濾過ユニットに固定するためのネジ等を通すための小孔３３を底板３の四隅などの適宜の位置に複数個設けることができる。

更には、フィルタ本体１３には、吐出口を各仮止め位置に配置する際の回転を容易化するための手段として、本実施例ではフィルタ本体１３の円周方向の一部分に沿ってリブ３５が形成される。リブ３５は、これを指で押すなどして回転させる際にその力が確実に伝達されるようにするために、例えば、図示されるように半径方向に多数の溝を設けることができる。
また、ホルダ３の前壁５に形成した中央溝孔１１は、水平方向に関して上方にある角度αで伸延する（図１）下側内縁部３５を有するようにして、吸入口１５が下側内縁部３５によって支持されるようにすることで、中央溝孔１１の上側内縁部３７と下側内縁部３５との間の開口幅を吸入口１５の外径よりも大きくすることが可能となり、その結果フィルタ本体１３のホルダ３に関する着脱操作が一段と容易化され得る。

図３には本発明のフィルタ装置の第２実施例が全体を参照番号１０１で示されている。フィルタ装置１０１の場合も、吐出口１７は上方溝孔１１９及び下方溝孔１２１にそれぞれ仮止め状態で係脱され、吐出口１７が各溝孔に仮止めされると同時に、第１係止部材２３及び第２係止部材２５に第３係止部材２７が係合するようになっており、ホルダ１０９は、第１実施例におけると同様に並立する前壁１０５と後壁１０７とを有し、そして前壁１０５に形成した中央溝孔１１１は水平方向に関して上方にある角度αで伸延する下側内縁部３５を有し、中央溝孔１１の上側内縁部３７と下側内縁部３５との間の開口幅が吸入口１５の外径よりも大きくされ、フィルタ本体１１３のホルダ１０３に関する着脱操作が一段と容易化され得るようになっている。一方、ホルダ１０３の前壁１０５及び後壁１０７は、本実施例ではホルダの上壁ではなく側壁１０９を構成する連結部分によって相互に連結される。

またこの第２実施例ではホルダ１０３は、フィルタ本体１１３の回転を一層容易化するための手段として、フィルタ本体１１３の長手方向に沿って且つ半径方向外側に伸延するレバー１３９が取り付けられる。レバー１３９は、吐出口１７を上方溝孔１１９及び下方溝孔１２１にそれぞれ仮止め状態で係脱させるために指などで掴む際に支障のない範囲で、且つフィルタ装置を設置する図示されない基台部分や、前壁及び後壁の連結部材としての側壁１０９と接触せずに作動するようにフィルタ本体１１３に関して位置決めされる。

図５には本発明のフィルタ装置の第３実施例が番号２０１で示されている。フィルタ装置２０１も、第１及び第２の各実施例と同様、吐出口１７は上方溝孔２１９及び下方溝孔２２１にそれぞれ仮止め状態で係脱され、吐出口１７が各溝孔に仮止めされると同時に、第１係止部材２３及び第２係止部材２５に第３係止部材２７が係合するようになっており、ホルダ２０３は、並立する前壁２０５及び後壁２０７を有し、前壁２０５に形成した中央溝孔２１１は水平方向に関して上方にある角度αで伸延する下側内縁部３５を有し、中央溝孔２１１の上側内縁部３７と下側内縁部３５との間の開口幅が吸入口１５の外径よりも大きくされ、フィルタ本体２１３のホルダ２０３に関する着脱操作が一段と容易化され得るようになっている。一方、前壁２０５及び後壁２０７は、本実施例ではホルダにおける上壁や側壁ではなく、底壁２０９を構成する連結部分によって相互に連結される。
図示されないが、本第３実施例でも、フィルタ本体２１３の円周位置に第１実施例の如きリブ状の、あるいは第２実施例におけるようなレバー状の部材を設け、フィルタ本体の回転動作を容易化させることが可能である。

以下に、本発明の図１〜５に例示したフィルタ装置の内、特に図１及び図２に例示する実施例において、フィルタ本体を新規にホルダに取り付ける手順から、図６〜図８を参照してその使用状況を説明すると以下の通りである。
１）ホルダへのフィルタ本体の装着：
先ず、吸入口１５及び吐出口１７に図示されないチューブを装着したフィルタ本体１３を、ホルダ３と組み合わせるに先立ち、ホルダ３の前壁５と後壁７との間に挟持されるように位置決めする。次いで、フィルタ本体１３の吸入口１５を横方向からホルダ３の中央溝孔１１に接近させ、そのまま吸入口１５を中央溝孔１１に係止させてこの中央溝孔１１に回転自在に保持させるとともに、フィルタ本体１３自体をホルダ３に挟持させて図６に示す状況とする。この時、図６ではフィルタ本体１３の吐出口１７は吸入口１５と水平になるように位置付けられているが、その他の位置にあっても構わない。

２）初期エア抜き操作位置への配置：
さて、上記の如くフィルタ本体１３をホルダ３に装着した後、先ず図８に示すようにフィルタ本体を時計回りに回転させて吐出口１７を上方溝孔１９に仮止めさせて初期エア抜き操作位置とする。次いでこの初期エア抜き操作位置において、吸入口１５からフィルタ本体１３内に薬液を流入させると、薬液がフィルタ本体内に徐々に溜まるに連れて、取付け初期にフィルタ本体内に貯まっていたエアは吐出口１７から排出されて行くので、十分にエアが抜けきったところでこの作業を完了する。

３）通常使用位置への配置：
次ぎに、ホルダ３に挟持させたフィルタ本体１３を、吸入口１５の、図７で左側の上下の１８０°の範囲内で、吸入口１５の回転軸を中心として矢印で示すように反時計回り方向に回転させ、吐出口１７を、中央溝孔１１の垂直下方の下方溝孔２１に適度なクリック感を伴って仮止めさせ、図７に示すような薬液濾過のための通常使用位置とする。
吐出口１７が下方溝孔２１に仮止めされると同時に、フィルタ本体１３の第３係止部材２７がホルダ３の前壁５の第２係止部材２５に係合する。これによりフィルタ本体１３は吐出口１７が下方溝孔２１に仮止めされることと相俟って、この薬液濾過位置に良好に仮固定及び保持されるようになる。次いで、吸入口１５を通してフィルタ本体１３内に濾過するべき薬液を送り込み、フィルタ本体内で薬液を濾過した後、濾過済みの薬液を吐出口１７と、この吐出口１７に接続したチューブを通して吐出ノズルに送るという一連の薬液濾過操作を実施する。

４）エア抜き位置への配置：
操作機器を所定時間使用した後、ホルダ３に挟持させたフィルタ本体１３を、図８に示すように吸入口１５の左側の上下の１８０°の範囲内で吸入口１５の回転軸を中心として今度は時計回り方向に回転させ、吐出口１７を下方溝孔２１から取り外し、同時に、フィルタ本体１３の第３係止部材２７をホルダ３の前壁５の第２係止部材２５から脱係合させる。次いで吐出口１７を更に時計回り方向に回転させて中央溝孔１１の垂直上方の上方溝孔１９に適度なクリック感を伴って仮止めさせ、再度、エア抜き位置とする。この時、フィルタ本体１３の第３係止部材２７がホルダ３の前壁５の第１係止部材２３に弾発的に係合され、これにより、フィルタ本体１３をエア抜き位置に反転させるに際して生じるチューブのねじれ応力に対するフィルタ本体１３の抵抗性が、吐出口１７が上方溝孔１９に仮止めされることと相俟って増強され、フィルタ本体１３はエア抜き位置に良好に仮固定及び保持されるようになる。
フィルタ本体１３がこのエア抜き位置に位置決めされるとフィルタ本体１３内部に貯まっていたエア泡沫がフィルタ本体１３の上方に移動するので、吐出口１７及びこの吐出口に接続した図示されないチューブを通して、フィルタ本体１３からのエア抜きを実施する。

５）薬液濾過操作位置への再配置：
フィルタ本体１３からのエア抜きが終了した後、フィルタ本体１３を図７に示すように吸入口１５の左側の上下の１８０°の範囲内で吸入口１５の回転軸を中心として反時計回り方向に回転させ、フィルタ本体１３の第３係止部材２７をホルダ３の前壁５の第１係止部材２３から脱係合させて吐出口１７を上方溝孔１９から取り外し、同時に第１係止部材２３から第３係止部材２７を脱係合させる。次いで吐出口１７を更に反時計回り方向に回転させて中央溝孔１１の垂直下方の下方溝孔２１に適度なクリック感を伴って係脱自在に仮止めさせてフィルタ本体１３を再度薬液濾過位置に位置決めし、同時に、ホルダ３の前壁５の第２係止部材２５にフィルタ本体１３の第３係止部材２７を弾発的に係合させる。これによりフィルタ本体１３は、吐出口１７が下方溝孔１９に仮止めされることと相俟ってこの薬液濾過位置に良好に仮固定及び保持されるようになる。次いで、濾過するべき薬液を吸入口１５を通してフィルタ本体１３内に送り込み、フィルタ本体内で薬液を濾過した後、濾過済みの薬液を吐出口１７及び吐出口１７に接続したチューブを通して操作機器に送る薬液濾過操作を再開する。

このように、本発明によれば、フィルタ本体をホルダに取り付けるために同等の装置で従来必要とされていた上方空間の確保及びエア抜き操作に際してのホルダからのフィルタ本体の取り外し操作が不要化されるのでフィルタを組み込んだ装置全体の一層のコンパクト化が促進され、また作業性が改善されるのみならず、そうした取り外し操作に伴うチューブのねじれなどによりフィルタ本体及び関連部品を損傷させる恐れがなくなり、また吸入口及び吐出口をホルダの溝孔に単に上から差し込むのではなくその場で回転させて上下の各溝孔に仮止めさせるようにしたことで、エア抜き及び薬液濾過のための各操作位置にフィルタ本体を配置する上での操作性が格段に向上され、また中央溝孔、上方溝孔及び下方溝孔に吸入口及び吐出口を適度なクリック感を伴って係脱させるようにしたことで操作感が一段と向上したフィルタ装置が提供される。
以上、本発明を実施例を参照して説明したが、本発明の内で種々の変更をなし得ることを理解されたい。

本発明のエア抜き可能なフィルタ装置の第１実施例の斜視図である。図１のフィルタ装置のホルダの斜視図である。本発明のエア抜き可能なフィルタ装置の第２実施例の斜視図である。図３のフィルタ装置のホルダの斜視図である。本発明のエア抜き可能なフィルタ装置の第３実施例の斜視図である。本発明のエア抜き可能なフィルタ装置におけるフィルタ本体とホルダとの組み合わせ状況を例示する正面図である。吐出口を濾過使用位置とした状態で示す図１のフィルタ装置の正面図である。吐出口をエア抜き位置とした状態で示す図１のフィルタ装置の正面図である。従来のエア抜き可能なフィルタ装置の、吐出口をエア抜き位置とした状態で示す斜視図である。図９の装置の、吐出口を濾過使用位置とした状態で示す斜視図である。

符号の説明

１、１０１、２０１フィルタ装置
３、１０３、２０３ホルダ
５、１０５、２０５前壁
７、１０７、２０７後壁
９上壁
１１、１１１、２１１中央溝孔
１３、１１３、２１３フィルタ本体
１５吸入口
１７吐出口
１９上方溝孔
２１下方溝孔
２３第１係止部材
２５第２係止部材
２７第３係止部材
３３小孔
３５下側内縁部
３７上側内縁部
３９リブ
１０９側壁
１３９レバー
２０９底壁

Claims

フィルタ本体からのエア抜きが可能なフィルタ装置（１）であって、
連結部分（９、１０９、２０９）によって相互に連結される前壁（５、１０５、２０５）及び前壁（５、１０５、２０５）と対向して配置される後壁（７、１０７、２０７）を有し、前壁（５、１０５、２０５）が中央溝孔（１１、１１１、２１１）を含むホルダ（３、１０３、２０３）と、
回転軸および外周を有するフィルタ本体（１３、１１３、２１３）とを備え、該フィルタ本体は、前記回転軸に設けられた吸入口（１５）を備え、前記吸入口（１５）が、ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）の中央溝孔（１１、１１１、２１１）に回転自在に保持され、前記フィルタ本体（１３、１１３、２１３）は更に、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の外周付近に設けた吐出口（１７）を備え、前記フィルタ本体（１３、１１３、２１３）は、エア抜き位置と濾過位置との間で回転軸を中心として回転できるように、ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）と後壁（７、１０７、２０７）との間に配置され、
ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）が、
エア抜き位置で吐出口（１７）を係止する第１係止部（２３）及び濾過位置で吐出口（１７）を係止する第２係止部（２５）と、
フィルタ本体を第１係止部（２３）または第２係止部（２５）に固定する固定機構部（２７、２９）と
を更に有するフィルタ装置。
ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）が、中央溝孔（１１、１１１、２１１）の上方に配置された上方溝孔（１９、１１９、２１９）と、中央溝孔（１１、１１１、２１１）の下方に配置された下方溝孔（２１、１２１、２２１）とを備える請求項１に記載のフィルタ装置。
フィルタ本体（１３、１１３、２１３）を第１係止部（２３）または第２係止部（２５）に固定する固定機構部（２７、２９）が、
中央溝孔（１１、１１１、２１１）の上方位置でホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）に形成された第１係止部材（２９）と、
中央溝孔（１１、１１１、２１１）の下方位置でホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）に形成された第２係止部材（２９）とを備え、
フィルタ本体（１３、１１３、２１３）が更に、第１係止部材（２９）または第２係止部材（２９）と相互に弾発係脱自在の第３係止部材（２７）を含む請求項１に記載のフィルタ装置。
中央溝孔（１１、１１１、２１１）が、下側内縁部（３５）及び上側内縁部（３７）を含み、
中央溝孔（１１、１１１、２１１）の下側内縁部（３５）が、水平方向に関して上方にある角度（α）で伸延され、上側内縁部（３７）と下側内縁部（３５）との間における中央溝孔（１１、１１１、２１１）の幅が、吸入口（１５）の外径よりも大きい請求項１に記載のフィルタ装置。
フィルタ本体が、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の回転を補助する部材（３９、１３９）を更に含み、前記部材（３９、１３９）が、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の外周に沿って形成された周囲リブ（３９）、あるいはフィルタ本体（１３、１１３、２１３）から半径方向外側に伸延するレバー（１３９）である請求項１に記載のフィルタ装置。
ホルダ（３、１０３、２０３）の連結部分（９、１０９、２０９）が、上壁（９）、側壁（１０９）、または底壁（２０９）の少なくとも１つを備える請求項１に記載のフィルタ装置。
フィルタ本体（１３、１１３、２１３）が、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の外周に沿って形成されかつフィルタ本体（１３、１１３、２１３）の回転を補助する周囲リブ（３９）を更に含み、ホルダ（３、１０３、２０３）の連結部分（９、１０９、２０９）が、上壁（９）、側壁（１０９）、または底壁（２０９）の少なくとも１つを備える請求項１に記載のフィルタ装置。
フィルタ本体（１３、１１３、２１３）が、レバー（１３９）を更に含み、前記レバー（１３９）が、半径方向外側にフィルタ本体（１３、１１３、２１３）から伸延し、かつフィルタ本体（１３、１１３、２１３）の回転を補助し、ホルダ（３、１０３、２０３）の連結部分（９、１０９、２０９）が、上壁（９）、側壁（１０９）、または底壁（２０９）の少なくとも１つを備える請求項１に記載のフィルタ装置。
ホルダ（３、１０３、２０３）であって、
前壁（５、１０５、２０５）及び前壁（５、１０５、２０５）と対向して配置される後壁（７、１０７、２０７）を備え、前記前壁及び後壁が、連結部分（９、１０９、２０９）によって連結され、
前壁（５、１０５、２０５）が、中央溝孔（１１、１１１、２１１）と、上方溝孔（１９、１１９、２１９）と、下方溝孔（２１、１２１、２２１）とを含み、上方溝孔（１９、１１９、２１９）及び下方溝孔（２１、１２１、２２１）が、中央溝孔（１１、１１１、２１１）の上方及び下方に配置され、
前壁（５、１０５、２０５）が、第１係止部（２３）、第２係止部（２５）、及びフィルタ本体（１３、１１３、２１３）を第１係止部（２３）または第２係止部（２５）のいずれかで固定する固定機構部（２９）を更に含み、
ホルダ（３、１０３、２０３）が、前壁（５、１０５、２０５）と後壁（７、１０７、２０７）との間でフィルタ本体（１３、１１３、２１３）を受け、前記フィルタ本体（１３、１１３、２１３）が、回転軸を有し、エア抜き位置と濾過位置との間で回転軸を中心として回転できるホルダ。
フィルタ本体（１３、１１３、２１３）が、回転軸に設けられた吸入口（１５）を更に備え、ホルダ（３、１０３、２０３）が、前壁（５、１０５、２０５）の中央溝孔（１１、１１１、２１１）内で吸入口（１５）を回転自在に保持する請求項９に記載のホルダ。
フィルタ本体からのエア抜きが可能なフィルタ装置であって、
連結部分によって相互に連結され且つ並立する前壁（５、１０５、２０５）及び後壁（７、１０７、２０７）を有し、前壁（５、１０５、２０５）が中央溝孔（１１、１１１、２１１）を有するホルダ（３、１０３、２０３）と、
ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）と後壁（７、１０７、２０７）との間にその回転軸を中心として回転自在に挟持される全体に円筒形状のフィルタ本体（１３、１１３、２１３）にして、前記回転軸位置に設けられ、ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）の中央溝孔（１１、１１１、２１１）に回転自在に保持され得る吸入口（１５）と、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の外周付近に設けた吐出口（１７）とを有するフィルタ本体とを備え、
ホルダ（３、１０３、２０３）の前壁（５、１０５、２０５）が、
ホルダ（３、１０３、２０３）の中央溝孔（１１、１１１、２１１）に吸入口（１５）を保持させた状態で、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）を回転軸を中心として時計回り及び反時計回りに回転させた場合に、吐出口（１７）をエア抜き位置及び濾過位置にそれぞれ仮止めする係止部（１９、２１）と、
各係止位置でフィルタ本体（１３、１１３、２１３）が回転しないように、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）を仮固定するための固定手段（２３、２５、２７）と、
フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の回転を補助する手段（３９、１３９）とを更に有し、前記手段（３９、１３９）が、フィルタ本体（１３、１１３、２１３）の外周に沿って形成された周囲リブ（３９）、あるいはフィルタ本体（１３、１１３、２１３）から半径方向外側に伸延するレバー（１３９）であるフィルタ装置。
ポンプにより薬液をノズルから吐出するタイプの操作機器で使用される請求項１１に記載のフィルタ装置。
操作機器が、半導体製造装置で使用されるディスペンサ装置やプリンタで使用されるインク濾過装置を含む請求項１２に記載のフィルタ装置。