TWI400118B

TWI400118B - A deflatable filter

Info

Publication number: TWI400118B
Application number: TW096131260A
Authority: TW
Inventors: Hirokazu Kuwabara
Original assignee: Entegris Inc
Priority date: 2006-08-25
Filing date: 2007-08-23
Publication date: 2013-07-01
Also published as: JPWO2008023593A1; EP2060309B1; JP5354525B2; WO2008023593A1; EP2060309A1; TW200831176A; US20100000932A1; US8167140B2; US7997420B2; EP2060309A4; US20110252973A1

Description

可放氣之過濾裝置

本發明關於在操作上藉由泵浦噴出藥液的機器所使用的過濾裝置，詳細而言，乃關於在該機器噴出前所必要之放氣操作簡化的過濾裝置。

在藉由泵浦將藥液由噴嘴噴出之類型的操作機器中，為了防止藥液中之異物所造成之噴嘴阻塞、印刷模糊和污染等之問題，或為了抑制藥液噴出噴嘴中空氣混入所造成之噴出量變化，藥液在由噴嘴噴出之前會預先通過過濾裝置而過濾。在此，上述之操作機器並非為本發明要旨，因此未特別加以圖示，然而，在此是指例如半導體製造裝置所使用的噴嘴洗淨裝置及印表機的墨水過濾等。

圖9及圖10中所示的為以往的過濾裝置10之立體圖。過濾裝置10在構造上包含：固定器12；及過濾器本體20，其係夾置於由此固定器12之底壁14前後各側緣部向上延伸的前壁16及後壁18之間，整體成圓柱形。

過濾器本體20設有：吸入口22，其係由此過濾器本體20之中心位置向前突出，用來吸入應過濾之藥液；及噴出口24，其係由與此吸入口22在半徑方向上相隔之位置同樣地向前突出，用來噴出已通過過濾器本體內而完成過濾的藥液。

固定器12之前壁16上形成有一個可由上方縱向同時插通過濾器本體20之吸入口22及噴出口24的垂直溝槽26之外，前壁16及後壁18向彼此方向受壓而將過濾器本體20夾置於兩者之間。從而，將過濾器本體20之吸入口22及噴出口24插通於垂直溝槽26並插通於此等前壁16及後壁18之間時，過濾器本體20將會被此等前後的各壁所夾置，並且插通於垂直溝槽26的吸入口22及噴出口24會固定成而使過濾器無法轉動。

過濾器本體20在藥液過濾操作時，則如圖10所示般地以噴出口24位於吸入口22下側的狀態來使用，使由吸入口22流入的藥液中所混入的空氣在過濾器本體20內移動至上部而被捕集。

為了由過濾器本體20排除如此捕集到的空氣，需要一連串如下的作業：將吸入口22及噴出口24上仍連接導管之狀態的過濾器本體20向上拉起而暫時由固定器12取下，接著使過濾器本體20反轉180度而使噴出口24成為在吸入口22的上面後，再度由上方插入固定器12而與固定器12組合，接著完成指定時間的放氣作業；放氣作業後，再度拉起過濾器本體20而由固定器12取下，將其反轉180度而使噴出口24成為在吸入口22的下面後，由上方插入固定器12而與固定器組合，恢復成圖10所示的使用狀態。。

然而，以上述般的放氣作業，必須在內含過濾裝置10的機器的用來收納藥液瓶及其他過濾相關零組件中的有限空間內，確保足夠的物理空間，以便能夠在不妨礙到上述零組件地構到固定器12，並將過濾器本體20向上拿起而由固定器12取下，惟正因如此而使裝置整體的小型化受到限制。此外，在噴出口24及吸入口22仍分別連接導管的狀態下在狹小空間內取下過濾器本體20，並使其上下180度反轉的作業本身，亦為使過濾裝置1相關的操作性及作業性降低的原因。

本發明所欲解決的課題在於提供一種過濾裝置，其促進可放氣之藥液用過濾裝置之小型化，並提升與過濾裝置之放氣作業等有關的操作性及作業性等。

依據本發明，係可由過濾器本體放氣之過濾裝置1，且包含：固定器3、103、203，其具有藉由連結部分而彼此連結且並立的前壁5、105、205及後壁7、107、207，前壁5、105、205具有中央溝孔11、111、211；及過濾器本體，其係作為以其轉軸為中心而旋轉自如地夾持在固定器3、103、203之前壁5、105、205及後壁7、107、207之間且整體形成圓柱形的過濾器本體13、113、213，並具有：吸入口15，其係設在上述轉軸位置上，可旋轉自如地保持於固定器3、103、203之前壁5、105、205之中央溝孔11、111、211；及噴出口17，其係設在過濾器本體13、113、213之圓周位置附近；固定器3、103、203之前壁5、105、205進一步具有：卡止部19、21，其係在固定器3、103、203之中央溝孔11、111、211保持吸入口15的狀態下使過濾器本體13、113、213以轉軸為中心順時針及逆時針旋轉時，可使噴出口17分別暫時固定於放氣位置及過濾位置；固定機構23、25、27，其係用於暫時固定成在各卡止位置上過濾器本體13、113、213不旋轉；及用於使過濾器本體13、113、213易於旋轉之機構39、139。

在本發明具代表性的實施例中，卡止部為中央溝孔垂直上方的上方溝孔及中央溝孔垂直下方的下方溝孔，此外，於放氣及藥液過濾用之各位置，用於暫時固定過濾器本體旋轉之固定機構為一體或個別地設於隔著中央溝孔之之固定器之前壁上下各位置的第一卡止構件和第二卡止構件、及與此等第一卡止構件和第二卡止構件彼此彈出卡脫自如的設於過濾器本體上的第三卡止構件。

此外，固定器之前壁及後壁向彼此方向施力而在此等前壁及後壁之間夾持過濾器本體而使其可旋轉自如，固定器亦為過濾器本體之安裝構件，為使過濾器本體轉動容易的裝置則由沿著過濾器本體的圓周方向的肋或在過濾器本體的半徑方向外側延伸的把手所構成。

此外，固定器之中央溝孔之下側內緣部以關於水平方向在上方之角度α延伸，上側內緣部與下側內緣部之間的溝孔的開口寬度大於吸入口的外徑。

此外，在各實施例中，彼此連結固定器之前壁及後壁的連結部分可構成固定器中之上壁、側壁、底壁之任一者。

本發明之過濾裝置可為藉由泵浦將藥液由噴嘴噴出之類型的操作機器所使用，此般的操作機器可為由半導體製造裝置所使用之分配裝置或印表機之墨水過濾裝置等。

本發明提供一種產業用的過濾裝置，其在實施對固定器之組裝或放氣作業時，不需要將過濾器本體提至固定器上方的操作，並可從橫向使過濾器本體進入固定器及拆裝，因此沒有必要確保固定器上方的空間，不僅過濾裝置的組裝及放氣作業的簡易性提升，並可促進裝置整體之小型化之外，於可有效地防止以往伴隨將過濾器本體提至固定器上方的操作而必然產生的配管組件的扭曲變形、或此扭曲變形之應力所造成的配管組件之損傷及由吸入口和噴出口之脫落等方面，亦可改善作業性，此外，藉由使吸入口及噴出口分別暫時固定於中央溝孔、上方溝孔及下方溝孔時所產生的輕微卡嗒感，可提升操作感，在過濾器本體上裝有旋轉用把手構件的實施例中，會更進一步提升作業性。

以下，參照圖1至圖5來詳細說明本發明之三個實施例。

圖1中例示本發明之可放氣之過濾裝置的第一實施例，整體以編號1表之。過濾裝置1具有固定器3，此固定器3具有並排的前壁5及後壁7，此等前壁5及後壁7在本實施例中藉由構成固定器之上壁9之連結部分來彼此連結。在本發明中，在固定器3之前壁5上，並非如以往產品中設有單一長形U字形溝孔，而如以下說明般地，在過濾器本體與固定器3組合時相當於過濾器本體之吸入口的位置上，設有將此吸入口固定成可自由轉動的中央溝孔11。

過濾器本體13與圖9及圖10所示之以往產品之固定器在構造及形狀上大致類似，整體呈圓柱形，具有可被固定器3之向彼此方向受壓的前壁5與後壁7之間夾置成可自由轉動的尺寸形狀，過濾器本體13在通常的狀態下藉由上述固定器3之前壁5及後壁7在彼此方向上的受壓力而定位於指定的位置上。此外，相當於過濾器本體13之轉軸的位置上，設有為了通過此過濾器本體13而吸入應被過濾之藥液的吸入口15之外，在圓周位置附近上設有為了將已過濾的藥液由過濾器本體13向噴嘴送出的、或為了使過濾器本體13中累積的空氣排出的噴出口17。

固定器3更進一步具有在構造上包含上方溝孔19及下方溝孔21的卡止部，將過濾器本體13之吸入口15固定於中央溝孔11而使其在此中央溝孔11中保持可自由轉動，接著將過濾器本體13以此吸入口15之轉軸為中心而在上下180°的範圍內分別順時針及逆時針方向轉動時，在中央溝孔11垂直方向的上下各位置上暫時固定噴出口17。

構成卡止部之上方溝孔19及下方溝孔21如圖1至圖4所示般地，設於夾置固定器3之前壁5之中央溝孔11的上下180°的各位置上，兩者為了能以輕微的卡嗒聲觸感來暫時固定噴出口17，例如均可成為能使噴出口17接觸並跨過沿著該內側外緣部之開口邊緣部的尺寸形狀。

一方面，在固定器3之前壁5的上下夾置中央溝孔11的且比吸入口15及噴出口17更靠外圓方向內側的各位置上，用來在放氣及藥液過濾的各固定位置上將過濾器本體13暫時固定成無法轉動的第一卡止構件23及第二卡止構件25(本實施例中為切起成板簧狀的各兩小片)與固定器3一體地設置。另一方面，在相當於過濾器本體13的第一卡止構件23及第二卡止構件25的位置上，設有能與此等第一卡止構件23及第二卡止構件25自由彈性固定脫離的第三卡止構件27(本實施例中為小突起)。將噴出口17暫時固定於各溝孔時，切起成板簧狀的兩片小片29間所形成之凹部31與第三卡止構件之小突起27彼此固定時會產生的卡嗒手感，藉此可使噴出口17固定於上方溝孔19及下方溝孔21時之操作感提升。此外，因為在噴出口17暫時固定於各溝孔的同時，第三卡止構件27固定於第一卡止構件23及第二卡止構件25，從而使上方溝孔19及下方溝孔21中之噴出口17之保持性進一步提升。

固定器之前壁5及後壁7為了在過濾器本體13插通於此等前壁5與後壁7之間時能在兩者之間有效地夾置且保持過濾器本體13，乃在受壓而在彼此方向上接近指定距離之狀態下以上壁9連結。此外，固定器3在例示之實施例中構成過濾器本體13之安裝構件，在該底部上，可於底板3的四個角落等的適當位置上設置供複數個用來固定於未圖示之過濾單元的螺絲等通過的小孔33。

更進一步地，過濾器本體13上作為為使將噴出口配置於各暫停位置時之轉動變得容易之裝置，本實施例中乃沿著過濾器本體13的圓周方向的一部分形成肋35。肋35為能在被以手指推壓等而轉動時確實地傳達該施力，例如可如圖所示般地在半徑方向上設置多條溝槽。

此外，固定器3之前壁5上所形成之中央溝孔11具有相對於水平方向以朝上角度α延伸的(圖1)下側內緣部35，使吸入口15受到下側內緣部35的支持，因而使中央溝孔11之上側內緣部37及下側內緣部35之間的開口寬度比吸入口15的外徑還大，結果使得過濾器本體13相對於固定器3的拆裝操作變得更為容易。

圖3中本發明之過濾裝置之第二實施例整體以元件符號101表示。同樣地在過濾裝置101的情況中，噴出口17亦在與上方溝孔119及下方溝孔121分別暫時固定的狀態下分離，在噴出口17暫時固定於各溝孔的同時，第三卡止構件27會固定於第一卡止構件23及第二卡止構件25，而固定器109則如在第一實施例中同樣地具有並排的前壁105及後壁107，並且前壁105上所形成之中央溝孔111具有相對於水平方向以朝上角度α延伸的下側內緣部35，使中央溝孔11之上側內緣部37及下側內緣部35之間的開口寬度比吸入口15的外徑還大，而過濾器本體113之固定器103相關拆裝操作可變得更為容易。另一方面，固定器103之前壁105及後壁107在本實施例中並非以固定器之上壁而是以構成側壁109之連結部分來彼此連結。

此外，在此第二實施例中，固定器103作為使過濾器本體113之轉動變得更為容易之裝置，裝有沿著過濾器本體113之長邊方向且向半徑方向外側延伸的把手139。把手139相對於過濾器本體113，乃在使噴出口17分別暫時固定於上方溝孔119及下方溝孔121的狀態下分離而能不受妨礙地以手指等來握住把手139的範圍內，且能不與過濾裝置所設的未圖示之基台部分、及作為前壁及後壁之連結構件之側壁109接觸地作動的方式來決定。

圖5中本發明之過濾裝置之第3實施例以元件符號201表示。過濾裝置201亦與第一及第二的各實施例同樣地，噴出口17在上方溝孔219及下方溝孔221分別暫時固定的狀態下分離，噴出口17暫時固定於各溝孔的同時，第三卡止構件27固定於第一卡止構件23及第二卡止構件25上，固定器203具有並排的前壁205及後壁207，前壁205上所形成之中央溝孔211具有相對於水平方向朝上某角度α延伸的下側內緣部35，中央溝孔211之上側內緣部37及下側內緣部35之間的開口寬度變得比吸入口15的外徑還大，過濾器本體213之固定器203相關拆裝操作可進一步變得容易。另一方面，前壁205及後壁207在本實施例中並非以固定器中之上壁及側壁，而以構成底壁209之連結部分來彼此連結。

雖未圖示，然而，本第3實施例亦可在過濾器本體213的外圓位置上設置如第一實施例般的肋狀的、或如第二實施例中的把手狀的構件，使過濾器本體的轉動動作變得容易。

以下，參照圖6至圖8先從在本發明之圖1至5所例示的過濾裝置內，特別在圖1及圖2所例示的實施例中，將過濾器本體第一次設於固定器的步驟來說明起。

1)將過濾器本體安裝於固定器：首先，在與固定器3組合之前，將吸入口15及噴出口17上已裝有未圖示之管子的過濾器本體13對準固定器3之前壁5與後壁7之間，並將夾置於此之間。接著，使過濾器本體13之吸入口15由橫向靠近固定器3之中央溝孔11，直接將吸入口15固定於中央溝孔11而在此中央溝孔11保持成可自由轉動，並使過濾器本體13本身夾置於固定器3而成為圖6所示的狀況。此時，在圖6中，過濾器本體13之噴出口17設在與吸入口15呈水平的位置上，然而，亦可在其他位置。

2)配置成初始放氣操作位置：接著，如上所述般地將過濾器本體13安裝於固定器3後，首先如圖8所示般地順時針轉動過濾器本體，將噴出口17暫時固定於上方溝孔19，成為初始放氣操作位置。接著在此初始放氣操作位置下，藥液由吸入口15流入過濾器本體13內時，隨著藥液漸漸蓄積於過濾器本體內，安裝初期在過濾器本體內蓄積的空氣會由噴出口17排出，因此，在充分放完氣時便完成本作業。

3)配置成通常使用位置：接著，將固定器3所夾置的過濾器本體13在吸入口15於圖7中左側上下180°的範圍內，以吸入口15的轉軸為中心如箭頭所示般地逆時針方向轉動，使噴出口17伴隨適當的卡嗒手感而暫時固定於中央溝孔11垂直下方的下方溝孔21，成為如圖7所示的進行藥液過濾的通常使用位置。

噴出口17暫時固定於下方溝孔21的同時，過濾器本體13之第三卡止構件27固定於固定器3之前壁5之第二卡止構件25。藉此，過濾器本體13會隨著噴出口17暫時固定於下方溝孔21，而良好地暫時固定及保持在此藥液過濾位置上。

接著，實施一連串的藥液過濾操作：將需過濾的藥液經由吸入口15而輸往過濾器本體13內，並使藥液在過濾器本體內過濾後，將已過濾的藥液經由噴出口17及此噴出口17上連接的管子而輸往噴嘴。

4)配置成放氣位置：在操作機器經使用指定時間後，將固定器3所夾置的過濾器本體13如圖8所示般地在吸入口15左側上下180°的範圍內，以吸入口15的轉軸為中心，本次向順時針方向轉動，使噴出口17由下方溝孔21分離，同時，使過濾器本體13之第三卡止構件27由固定器3之前壁5之第二卡止構件25脫離。接著，使噴出口17更進一步向順時針方向轉動，伴隨過當的卡嗒手感而暫時固定於中央溝孔11垂直上方的上方溝孔19，再度成為放氣位置。此時，過濾器本體13之第三卡止構件27彈性固定於固定器3之前壁5之第一卡止構件23，藉此，相對於在過濾器本體13反轉至放氣位置時在管子上產生的扭轉應力而產生的過濾器本體13的抵抗性，會伴隨噴出口17暫時固定於上方溝孔19而增加，可使過濾器本體13良好地暫時固定及保持於放氣位置上。

過濾器本體13置於此放氣位置時，過濾器本體13內部蓄積的氣泡會移至過濾器本體13的上方，因此，經由噴出口17及此噴出口上連接的未圖示之管子，實施過濾器本體13的放氣。

5)重新配置成藥液過濾操作位置：過濾器本體13的放氣結束後，使過濾器本體13如圖7所示般地在吸入口15左側上下180°的範圍內以吸入口15的轉軸為中心而逆時針方向轉動，使過濾器本體13之第三卡止構件27由固定器3之前壁5之第一卡止構件23脫離而使噴出口17脫離上方溝孔19，同時地使第三卡止構件27脫離第一卡止構件23。接著，使噴出口17更進一步逆時針方向轉動，伴隨適當的卡嗒手感而可自由脫離地暫時停固定於中央溝孔11垂直下方的下方溝孔21，而使過濾器本體13再度位於藥液過濾位置，同時，使過濾器本體13之第三卡止構件27彈性地固定在固定器3之前壁5之第二卡止構件25上。藉此，過濾器本體13會隨著噴出口17暫時固定於下方溝孔19而良好地暫時固定及保持在此藥液過濾位置上。接著，重新開始藥液過濾操作：使應過濾之藥液通過吸入口15而輸送至過濾器本體13內，在過濾器本體內過濾藥液後，使已過濾的藥液經由噴出口17及噴出口17上連接的管子而輸往操作機器。

如此一來，依本發明所提供的過濾裝置，其為了將過濾器本體安裝於固定器，不需要如同以往同等的裝置般地確保所需的上方空間，亦不需要在放氣操作時由固定器取下過濾器本體，而可進一步促進內含過濾器的裝置整體小型化，並改善作業性之外，還可消弭伴隨該取下操作所生的管子扭曲變形等造成過濾器本體及相關組件損傷之虞，此外，因並非僅將吸入口及噴出口由上插入固定器的溝孔，還進一步使其在原地轉動而暫時固定於上下的各溝孔，從而大幅提升將過濾器本體配置於放氣及藥液過濾的各操作位置的操作性之外，因在中央溝孔、上方溝孔及下方溝孔上使吸入口及噴出口伴隨適當的卡嗒手感而脫離，從而進一步提升操作感。

以上，參照實施例而說明了本發明，然而，當知在本發明範圍內可有各種變更。

1、101、201．．．過濾裝置

3、103、203．．．固定器

5、105、205．．．前壁

7、107、207．．．後壁

9．．．上壁

10．．．過濾裝置

11、111、211．．．中央溝孔

12．．．固定器

13、113、213．．．過濾器本體

14．．．底壁

15．．．吸入口

16．．．前壁

17．．．噴出口

18．．．後壁

19．．．上方溝孔(卡止部)

20．．．過濾器本體

21．．．下方溝孔(卡止部)

22．．．吸入口

23．．．第一卡止構件(固定裝置)

24．．．噴出口

25．．．第二卡止構件(固定裝置)

26．．．垂直溝槽

27．．．第三卡止構件(固定裝置)

27．．．小突起

29．．．小片

31．．．凹部

33．．．小孔

35．．．肋(下側內緣部)

37．．．上側內緣部

39、139．．．裝置

101．．．過濾裝置

109．．．側壁

109．．．固定器

111．．．中央溝孔

119．．．上方溝孔

121．．．下方溝孔

139．．．連桿

201．．．過濾裝置

203．．．固定器

209．．．底壁

211．．．中央溝孔

219．．．上方溝孔

221．．．下方溝孔

圖1係本發明的可放氣之過濾裝置之第一實施例之立體圖。

圖2係圖1的過濾裝置之固定器之立體圖。

圖3係本發明的可放氣之過濾裝置之第二實施例之立體圖。

圖4係圖3的過濾裝置之固定器之立體圖。

圖5係本發明的可放氣之過濾裝置之第3實施例之立體圖。

圖6係例示本發明的可放氣之過濾裝置中的過濾器本體及固定器的組合狀況之正視圖。

圖7係噴出口設在過濾使用位置之狀態的圖1之過濾裝置之正視圖。

圖8係噴出口設在放氣位置之狀態的圖1之過濾裝置之正視圖。

圖9係以往的可放氣之過濾裝置的噴出口設在放氣位置之狀態之立體圖。

圖10係圖9之裝置的噴出口設在過濾使用位置之狀態之立體圖。

1．．．過濾裝置

3．．．固定器

5．．．前壁

7．．．後壁