JP3091192B2 - 誘電体磁器組成物および電子部品 - Google Patents
誘電体磁器組成物および電子部品Info
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Description
誘電体磁器組成物と、これを用いた積層セラミックコン
デンサなどの電子部品とに関する。
ンサは、小型、大容量、高信頼性の電子部品として広く
利用されており、1台の電子機器の中で使用される個数
も多数にのぼる。近年、機器の小型・高性能化にともな
い、積層セラミックコンデンサに対する更なる小型化、
大容量化、低価格化、高信頼性化への要求はますます厳
しくなっている。
電極層用のペーストと誘電体層用のペーストとをシート
法や印刷法等により積層し、積層体中の内部電極層と誘
電体層とを同時に焼成して製造される。
やPd合金が用いられているが、Pdは高価であるた
め、比較的安価なNiやNi合金等の卑金属が使用され
るようになってきている。内部電極層の導電材として卑
金属を用いる場合、大気中で焼成を行なうと内部電極層
が酸化してしまうため、誘電体層と内部電極層との同時
焼成を、還元性雰囲気中で行なう必要がある。しかし、
還元性雰囲気中で焼成すると、誘電体層が還元され、比
抵抗が低くなってしまう。このため、非還元性の誘電体
材料が開発されている。
層セラミックコンデンサは、電界の印加によるIR(絶
縁抵抗)の劣化が著しく、すなわち、IR寿命が短く、
信頼性が低いという問題がある。
電率εr が経時的に低下するという問題が生じる。チ
ップコンデンサを小型および大容量化するために誘電体
層を薄くすると、直流電圧を印加したときの誘電体層に
かかる電界が強くなるため、比誘電率εr の経時変
化、すなわち容量の経時変化が著しく大きくなってしま
う。
であることも要求され、特に、用途によっては、厳しい
条件下で温度特性が平坦であることが求められる。近
年、自動車のエンジンルーム内に搭載するエンジン電子
制御ユニット(ECU)、クランク角センサ、アンチロ
ックブレーキシステム(ABS)モジュールなどの各種
電子装置に積層セラミックコンデンサが使用されるよう
になってきている。これらの電子装置は、エンジン制
御、駆動制御およびブレーキ制御を安定して行うための
ものなので、回路の温度安定性が良好であることが要求
される。
冷地の冬季には−20℃程度以下まで温度が下がり、ま
た、エンジン始動後には、夏季では+130℃程度以上
まで温度が上がることが予想される。最近では電子装置
とその制御対象機器とをつなぐワイヤハーネスを削減す
る傾向にあり、電子装置が車外に設置されることもある
ので、電子装置にとっての環境はますます厳しくなって
いる。したがって、これらの電子装置に用いられるコン
デンサは、広い温度範囲において温度特性が平坦である
必要がある。
料としては、(Sr,Ca)(Ti,Zr)O3 系、
Ca(Ti,Zr)O3 系、Nd2 O3 −2Ti
O2 系、La2 O3 −2TiO2 系等が一般に知
られているが、これらの組成物は比誘電率が非常に低い
(一般には100以下)ので、容量の大きいコンデンサ
を作製することが実質的に不可能である。
る誘電体磁器組成物として、BaTiO3 を主成分と
し、Nb2 O5 −Co3 O4 、MgO−Y、希
土類元素(Dy,Ho等)、Bi2 O3 −TiO
2 などを添加した組成が知られている。これらBaT
iO3 を主成分とする誘電体磁器組成物の温度特性
は、BaTiO3 のキュリー温度が約130℃付近に
あるため、それ以上の高温領域で容量温度特性のR特性
(ΔC=±15%以内)を満足することが非常に難し
い。このため、BaTiO3 系の高誘電率材料は、E
IA規格のX7R特性(−55〜125℃、ΔC=±1
5%以内)を満足することしかできなかった。X7R特
性を満足するだけでは、上記した厳しい環境で使用され
る自動車の電子装置には対応できない。上記電子装置に
は、EIA規格のX8R特性(−55〜150℃、ΔC
=±15%以内)を満足する誘電体磁器組成物が必要と
される。
組成物においてX8R特性を満足させるために、BaT
iO3 中のBaをBi,Pbなどで置換することによ
り、キュリー温度を高温側にシフトさせることが提案さ
れている(特開平10−25157号公報、同9−40
465号公報)。また、BaTiO3 +CaZrO
3 +ZnO+Nb2 O5 系の組成を選択すること
によりX8R特性を満足させることも提案されている
(特開平4−295048号公報、同4−292458
号公報、同4−292459号公報、同5−10931
9公報、同6−243721号公報)。しかし、これら
のいずれの組成系においても、蒸発飛散しやすいPb,
Bi,Znを使用するため、空気中等の酸化性雰囲気で
の焼成が前提となる。このため、コンデンサの内部電極
に安価なNi等の卑金属を使用することができず、P
d,Au,Ag等の高価な貴金属を使用しなければなら
ないという問題がある。
電率が高く、容量温度特性がEIA規格のX8R特性
(−55〜150℃、ΔC=±15%以内)を満足し、
かつ、還元性雰囲気中での焼成が可能であり、また、直
流電界下での容量の経時変化が小さく、さらに、絶縁抵
抗の寿命が長い誘電体磁器組成物を提供することであ
り、また、この誘電体磁器組成物を用いた積層セラミッ
クコンデンサなどの電子部品を提供することである。
に、本発明の第1の観点に係る誘電体磁器組成物は、主
成分であるBaTiO3 と、MgO,CaO,Ba
O,SrOおよびCr2 O3 から選択される少なく
とも1種を含む第1副成分と、(Ba,Ca)x Si
O2+x (ただし、x=0.8〜1.2)で表される
第2副成分と、V2 O5 ,MoO3 およびWO
3 から選択される少なくとも1種を含む第3副成分
と、R1の酸化物(ただし、R1はSc,Er,Tm,
YbおよびLuから選択される少なくとも1種)を含む
第4副成分と少なくとも有する誘電体磁器組成物であっ
て、主成分であるBaTiO3 100モルに対する各
副成分の比率が、 第1副成分:0.1〜3モル、 第2副成分:2〜10モル、 第3副成分:0.01〜0.5モル、 第4副成分:0.5〜7モル(ただし、第4副成分のモ
ル数は、R1単独での比率である)である。 なお、前記第2副成分において、BaとCaとの比率は
任意であり、一方だけを含有するものであってもよい。
物は、第5副成分として、R2の酸化物(ただし、R2
はY、Dy、Ho、Tb、GdおよびEuから選択され
る少なくとも一種)をさらに有し、前記第5副成分の含
有量が、主成分であるBaTiO3 100モルに対し
9モル以下(ただし、第5副成分のモル数は、R2単独
での比率である)である。
副成分の合計の含有量が、主成分であるBaTiO3
100モルに対し13モル以下(ただし、第4副成分お
よび第5副成分のモル数は、R1およびR2単独での比
率である)、さらに好ましくは10モル以下である。
器組成物は、第6副成分としてMnOをさらに有し、前
記第6副成分の含有量が、主成分であるBaTiO3
100モルに対し0.5モル以下である。
物は、主成分としてBaTiO3を含有する誘電体磁器
組成物であって、Cu−Kα線を用いたX線回折におい
て、2θ=44〜46°の範囲内に(002)ピークと
(200)ピークとを含む擬立方晶ピークが観察され、
前記擬立方晶ピークの半値幅が0.3°以上であり、
(002)ピークの強度をI(002)とし、(20
0)ピークの強度をI(200)としたとき、I(00
2)≧I(200)である。
物は、主成分としてBaTiO3を含有する誘電体磁器
組成物であって、DSC(示差走査熱量測定)によって
測定された単位時間当たりの熱流差(dq/dt)を、
温度で微分した値をDDSCとしたとき、温度とDDS
Cとの関係を表すグラフにおいて、キュリー温度の両側
に存在する一対のピーク間の温度差が4.1℃以上であ
る。なお、温度とDDSCとの関係を表すグラフにおい
て、必ずしもピークが明確でない場合には、温度とDS
Cとの関係を表すグラフにおいての半値幅が4.1°C
以上となる誘電体磁器組成物が、本発明の第3の観点に
係る誘電体磁器組成物に相当する。半値幅は、温度とD
SCとの関係を表すグラフにおいて、吸熱ピークのベー
スラインを仮定し、ベースラインと平行でベースライン
の幅の1/2となる幅の直線を形成する二点であって、
ピークを挟む二点間の温度差として定義される。
る電子部品であれば、特に限定されず、たとえば誘電体
層と共に内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ
素子本体を有する積層セラミックコンデンサ素子であ
る。本発明では、前記誘電体層が、上記いずれかの誘電
体組成物で構成してある。内部電極層に含まれる導電材
としては、特に限定されないが、たとえばNiまたはN
i合金である。
形態に基づき説明する。
ミックコンデンサの断面図、図2はコンデンサの容量温
度特性を表すグラフ、図3はTmを含有する誘電体磁器
組成物の2θ=44〜46°の範囲におけるX線回折チ
ャート、図4はYを含有する誘電体磁器組成物の2θ=
44〜46°の範囲におけるX線回折チャート、図5は
Ybを含有する誘電体磁器組成物の温度−熱量差(dq
/dt)曲線と温度−DDSC曲線とを示すグラフ、図
6はYを含有する誘電体磁器組成物の温度−熱流差(d
q−dt)曲線と温度−DDSC曲線とを示すグラフ、
図7は希土類元素を含有しない誘電体磁器組成物の温度
−熱流差(dq/dt)曲線と温度−DDSC曲線とを
示すグラフである。
セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3
とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を
有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素
子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各
々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデン
サ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方
体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用
途に応じて適当な寸法とすればよいが、通常、(0.6
〜5.6mm)×(0.3〜5.0mm)×(0.3〜
1.9mm)程度である。
本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するよう
に積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子
本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電
極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成
する。
本発明の誘電体磁器組成物は、主成分であるBaTiO
3 と、MgO,CaO,BaO,SrOおよびCr
2 O3 から選択される少なくとも1種を含む第1副
成分と、(Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、
x=0.8〜1.2)で表される第2副成分と、V2
O5 ,MoO3 およびWO3 から選択される少な
くとも1種を含む第3副成分と、R1の酸化物(ただ
し、R1はSc,Er,Tm,YbおよびLuから選択
される少なくとも1種)を含む第4副成分と少なくとも
有する誘電体磁器組成物で構成してある。
各副成分の比率は、BaTiO3100モルに対し、 第1副成分:0.1〜3モル、 第2副成分:2〜10モル、 第3副成分:0.01〜0.5モル、 第4副成分:0.5〜7モルであり、好ましくは、 第1副成分:0.5〜2.5モル、 第2副成分:2.0〜5.0モル、 第3副成分:0.1〜0.4モル、 第4副成分:0.5〜5.0モルである。なお、第4副
成分の上記比率は、R1酸化物のモル比ではなく、R1
単独のモル比である。すなわち、例えば第4副成分とし
てYbの酸化物を用いた場合、第4副成分の比率が1モ
ルであることは、Yb2 O3 の比率が1モルなので
はなく、Ybの比率が1モルであることを意味する。
成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化
物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであって
もよい。ただし、各副成分の上記比率は、各副成分を構
成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成
の酸化物に換算して求める。
とおりである。第1副成分(MgO,CaO,BaO,
SrOおよびCr2 O3 )の含有量が少なすぎる
と、容量温度変化率が大きくなってしまう。一方、含有
量が多すぎると、焼結性が悪化する。なお、第1副成分
中における各酸化物の構成比率は任意である。
2+x ]中のBaOおよびCaOは第1副成分にも含
まれるが、複合酸化物である(Ba,Ca)x SiO
2+x は融点が低いため主成分に対する反応性が良好な
ので、本発明ではBaOおよび/またはCaOを上記複
合酸化物としても添加する。第2副成分の含有量が少な
すぎると、容量温度特性が悪くなり、また、IR(絶縁
抵抗)が低下する。一方、含有量が多すぎると、IR寿
命が不十分となるほか、誘電率の急激な低下が生じてし
まう。(Ba,Ca)x SiO2+x におけるx
は、好ましくは0.8〜1.2であり、より好ましくは
0.9〜1.1である。xが小さすぎると、すなわちS
iO2 が多すぎると、主成分のBaTiO3 と反応
して誘電体特性を悪化させてしまう。一方、xが大きす
ぎると、融点が高くなって焼結性を悪化させるため、好
ましくない。なお、第2副成分においてBaとCaとの
比率は任意であり、一方だけを含有するものであっても
よい。
よびWO3 )は、キュリー温度以上での容量温度特性
を平坦化する効果と、IR寿命を向上させる効果とを示
す。第3副成分の含有量が少なすぎると、このような効
果が不十分となる。一方、含有量が多すぎると、IRが
著しく低下する。なお、第3副成分中における各酸化物
の構成比率は任意である。
度を高温側へシフトさせる効果と、容量温度特性を平坦
化する効果とを示す。第4副成分の含有量が少なすぎる
と、このような効果が不十分となり、容量温度特性が悪
くなってしまう。一方、含有量が多すぎると、焼結性が
悪化する傾向にある。第4副成分のうちでは、特性改善
効果が高く、しかも安価であることから、Yb酸化物が
好ましい。
じ、第5副成分として、R2酸化物(ただし、R2は
Y、Dy、Ho、Tb、GdおよびEuから選択される
少なくとも一種)が含有されていることが好ましい。こ
の第5副成分(R2酸化物)は、IRおよびIR寿命を
改善する効果を示し、容量温度特性への悪影響も少な
い。ただし、R2酸化物の含有量が多すぎると、焼結性
が悪化する傾向にある。第5副成分のうちでは、特性改
善効果が高く、しかも安価であることから、Y酸化物が
好ましい。
量は、主成分であるBaTiO3100モルに対し、好
ましくは13モル以下、さらに好ましくは10モル以下
(ただし、第4副成分および第5副成分のモル数は、R
1およびR2単独での比率である)である。焼結性を良
好に保つためである。
6副成分としてMnOが含有されていてもよい。この第
6副成分は、焼結を促進する効果と、IRを高くする効
果と、IR寿命を向上させる効果とを示す。このような
効果を十分に得るためには、BaTiO3 100モル
に対する第6副成分の比率が0.01モル以上であるこ
とが好ましい。ただし、第6副成分の含有量が多すぎる
と容量温度特性に悪影響を与えるので、好ましくは0.
5モル以下とする。
上記各酸化物のほか、Al2 O3 が含まれていてもよ
い。Al2 O3 は容量温度特性にあまり影響を与え
ず、焼結性、IRおよびIR寿命を改善する効果を示
す。ただし、Al2 O3の含有量が多すぎると焼結性
が悪化してIRが低くなるため、Al2 O3 は、好
ましくは、BaTiO3 100モルに対して1モル以
下、さらに好ましくは、誘電体磁器組成物全体の1モル
以下である。
1種が、ペロブスカイト構造を構成する主成分中のBa
またはTiを置換している場合、キュリー温度が低温側
にシフトするため、125℃以上での容量温度特性が悪
くなる。このため、これらの元素を含むBaTiO3
[例えば(Ba,Sr)TiO3 ]を主成分として用
いないことが好ましい。ただし、不純物として含有され
るレベル(誘電体磁器組成物全体の0.1モル%程度以
下)であれば、特に問題はない。
は、特に限定されず、誘電体層の厚さなどに応じて例え
ば0.1〜3.0μmの範囲から適宜決定すればよい。
容量温度特性は、誘電体層が薄いほど悪化し、また、平
均結晶粒径を小さくするほど悪化する傾向にある。この
ため、本発明の誘電体磁器組成物は、平均結晶粒径を小
さくする必要がある場合に、具体的には、平均結晶粒径
が0.1〜0.5μmである場合に特に有効である。ま
た、平均結晶粒径を小さくすれば、IR寿命が長くな
り、また、直流電界下での容量の経時変化が少なくなる
ため、この点からも平均結晶粒径は上記のように小さい
ことが好ましい。
(強誘電体から常誘電体への相転移温度)は、組成を選
択することにより変更することができるが、X8R特性
を満足するためには、好ましくは120℃以上、より好
ましくは123℃以上とする。なお、キュリー温度は、
DSC(示差走査熱量測定)などによって測定すること
ができる。
誘電体層の厚さは、一層あたり、通常、40μm以下、
特に30μm以下である。厚さの下限は、通常、2μm
程度である。本発明の誘電体磁器組成物は、このような
薄層化した誘電体層を有する積層セラミックコンデンサ
の容量温度特性の改善に有効である。なお、誘電体層の
積層数は、通常、2〜300程度とする。
ラミックコンデンサは、80℃以上、特に125〜15
0℃の環境下で使用される機器用電子部品として用いて
好適である。そして、このような温度範囲において、容
量の温度特性がEIA規格のR特性を満足し、さらに、
X8R特性も満足する。また、EIAJ規格のB特性
[−25〜85℃で容量変化率±10%以内(基準温度
20℃)]、EIA規格のX7R特性(−55〜125
℃、ΔC=±15%以内)も同時に満足することが可能
である。
に、通常、0.02V/μm以上、特に0.2V/μm
以上、さらには0.5V/μm以上、一般に5V/μm
程度以下の交流電界と、これに重畳して5V/μm以下
の直流電界とが加えられるが、このような電界が加わっ
ても、容量の温度特性は極めて安定である。
3 を主成分とする誘電体磁器組成物であって、Cu−
Kα線を用いたX線回折において以下の条件を満足する
ものを包含する。その条件とは、2θ=44〜46°の
範囲内に(002)ピークと(200)ピークとが重な
って擬立方晶ピークとして観察され、前記擬立方晶ピー
クの半値幅が0.3°以上であって、かつ、前記(00
2)ピークの強度をI(002)とし、前記(200)
ピークの強度をI(200)としたとき、I(002)
≧I(200)であることである。この条件を満足する
ことにより、容量温度特性が改善され、X8R特性を満
足することが可能である。
定されないが、上記半値幅を確認できる程度の分解能を
得るためには、通常、以下の測定条件を利用する。
る誘電体磁器組成物は、X線回折において上記条件を満
足できるが、他の組成の誘電体磁器組成物であっても、
組成や製造条件を適宜制御することにより、X線回折に
おいて上記条件を満足することができる。
3 を含有する誘電体磁器組成物であって、DSC(示
差走査熱量測定)において下記特性を示すものを包含す
る。DSCは、温度と、単位時間当たりの熱流差(dq
/dt)との関係を求める測定法であり、キュリー温度
の測定などに利用される。上記熱流差を温度で微分した
値(以下、DDSC)は、キュリー温度において0とな
る。温度とDDSCとの関係をグラフ化すると、キュリ
ー温度を挟んで低温側にプラスのDDSCピークが、高
温側にマイナスのDDSCピークが存在することにな
る。これら一対のピーク間の距離(温度差)が、4.1
℃以上、好ましくは6℃以上である特性をもつ誘電体磁
器組成物は、容量の温度特性が良好となり、X8R特性
を満足することが可能である。
る誘電体磁器組成物は、DSCにおいて上記特性を満足
することができるが、他の組成の誘電体磁器組成物であ
っても、組成や製造条件を適宜制御することにより、D
SCにおいて上記特性を満足するものとできる。
が、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑
金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属
としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金と
しては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1
種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi
含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、
NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.
1重量%程度以下含まれていてもよい。内部電極層の厚
さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.
5〜5μm、特に0.5〜2.5μm程度であることが
好ましい。
本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いる
ことができる。外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決
定されればよいが、通常、10〜50μm程度であるこ
とが好ましい。
デンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、
ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリー
ンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷
または転写して焼成することにより製造される。以下、
製造方法について具体的に説明する。
ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水
系の塗料であってもよい。
合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼
成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合
物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、
有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いること
ができる。誘電体原料中の各化合物の含有量は、焼成後
に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定す
ればよい。
μm程度の粉末として用いられる。
に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダ
は特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチ
ラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよ
い。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法や
シート法など、利用する方法に応じて、テルピネオー
ル、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種
有機溶剤から適宜選択すればよい。
する場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶
解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよ
い。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定さ
れず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水
溶性アクリル樹脂などを用いればよい。
電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記
した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネ
ート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製す
る。外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペー
ストと同様にして調製すればよい。
有量に特に制限はなく、通常の含有量、例えば、バイン
ダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度と
すればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各
種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添
加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、1
0重量%以下とすることが好ましい。
および内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積
層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグ
リーンチップとする。
ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内
部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグ
リーンチップとする。
理を施す。脱バインダ処理は、通常の条件で行えばよい
が、内部電極層の導電材にNiやNi合金等の卑金属を
用いる場合、特に下記の条件で行うことが好ましい。 昇温速度:5〜300℃/時間、特に10〜100℃/
時間、 保持温度:180〜400℃、特に200〜300℃、 温度保持時間:0.5〜24時間、特に5〜20時間、 雰囲気:空気中。
極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定され
ればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を
用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−8〜1
0−15 気圧とすることが好ましい。酸素分圧が前記
範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起
こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前
記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。
100〜1400℃、より好ましくは1200〜136
0℃、さらに好ましくは1200〜1320℃である。
保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分とな
り、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による
電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量
温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすく
なる。
選択することが好ましい。 昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300
℃/時間、 温度保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、 冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300
℃/時間。 なお、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好まし
く、雰囲気ガスとしては、例えば、N2 とH2 との
混合ガスを加湿して用いることが好ましい。
サ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニー
ルは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これに
よりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼
性が向上する。
気圧以上、特に10−6〜10−9気圧とすることが好
ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再
酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸
化する傾向にある。
下、特に500〜1100℃とすることが好ましい。保
持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分
となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりや
すい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極
層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が
誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、I
Rの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、ア
ニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよ
い。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場
合、保持温度は最高温度と同義である。
選択することが好ましい。
0時間、 冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300
℃/時間 なお、雰囲気用ガスには、加湿したN2 ガス等を用い
ることが好ましい。
ールにおいて、N2 ガスや混合ガス等を加湿するに
は、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、
水温は5〜75℃程度が好ましい。
連続して行なっても、独立に行なってもよい。これらを
連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰
囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して
焼成を行ない、次いで冷却し、アニールの保持温度に達
したときに雰囲気を変更してアニールを行なうことが好
ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際
しては、脱バインダ処理時の保持温度までN2 ガスあ
るいは加湿したN2 ガス雰囲気下で昇温した後、雰囲
気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、アニ
ール時の保持温度まで冷却した後は、再びN2 ガスあ
るいは加湿したN2 ガス雰囲気に変更して冷却を続け
ることが好ましい。また、アニールに際しては、N2
ガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更
してもよく、アニールの全過程を加湿したN2 ガス雰
囲気としてもよい。
本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより
端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写
して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペース
トの焼成条件は、例えば、加湿したN2 とH2 との
混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程
度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電
極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。このよ
うにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサ
は、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、
各種電子機器等に使用される。
されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変する
ことができる。
に係る電子部品として積層セラミックコンデンサを例示
したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミッ
クコンデンサに限定されず、上記組成の誘電体磁器組成
物で構成してある誘電体層を有するものであれば何でも
良い。
き説明するが、本発明は、これら実施例に限定されな
い。
ルを作製した。まず、下記の各ペーストを調製した。
原料を用意した。MgOおよびMnOの原料には炭酸塩
を用い、他の原料には酸化物を用いた。また、第2副成
分の原料には、(Ba0.6 Ca0.4 )SiO
3 を用いた。なお、(Ba0.6 Ca0.4 )S
iO3 は、BaCO3 ,CaCO3およびSiO
2 をボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、
1150℃で空気中で焼成し、さらに、ボールミルによ
り100時間湿式粉砕することにより製造した。
〜表4に示すものとなるように配合して、ボールミルに
より16時湿式混合し、乾燥した。乾燥後の誘電体原料
100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部と、塩化メ
チレン40重量部と、酢酸エチル20重量部と、ミネラ
ルスピリット6重量部と、アセトン4重量部とをボール
ミルで混合し、ペースト化した。
と、有機ビヒクル(エチルセルロース8重量部をブチル
カルビトール92重量部に溶解したもの)40重量部
と、ブチルカルビトール10重量部とを3本ロールによ
り混練し、ペースト化した。
ヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブチルカルビ
トール92重量部に溶解したもの)35重量部およびブ
チルカルビトール7重量部とを混練し、ペースト化し
た。
リーンシートを形成した。この上に内部電極用ペースト
を印刷した後、PETフィルムからシートを剥離した。
次いで、これらのグリーンシートと保護用グリーンシー
ト(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)とを積
層、圧着して、グリーンチップを得た。
ダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行った後、
外部電極を形成して、図1に示す構成の積層セラミック
コンデンササンプルを得た。
は、水温を35℃としたウエッターを用いた。
た後、上記外部電極用ペーストを前記端面に転写し、加
湿したN2 +H2 雰囲気で800℃にて10分間焼
成することにより形成した。
ズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内
部電極層に挟まれた誘電体層の数は4、その厚さは10
μmであり、内部電極層の厚さは2.0μmであった。
ないサンプルおよび第4副成分の希土類元素に替えて他
の希土類元素を含むサンプルも作製した。前記他の希土
類元素は、各表の第4副成分の欄に記載した。
板状サンプルも作製した。この円板状サンプルは、上記
各コンデンサのサンプルの誘電体層と同組成で、かつ焼
成条件が同じであり、直径5mmのIn−Ga電極をサ
ンプルの両面に塗布したものである。各サンプルについ
て下記特性の評価を行った。
により1kHz,1Vrmsの条件下で容量およびta
nδを測定した。そして、容量、電極寸法およびサンプ
ルの厚さから、比誘電率を算出した。結果を各表に示
す。
た。比抵抗の測定は、絶縁抵抗計((株)アドバンテス
ト社製R8340A(50V−1分値))により行っ
た。結果を各表に示す。
に対し、−55〜160℃の温度範囲で容量を測定し、
X8R特性を満足するかどうかを調べた。満足するもの
を○、満足しないものを×とし、各表に示した。また、
本発明の実施例としてYbを含有するサンプルを選び、
比較例としてYを含有するサンプルおよび希土類元素を
含有しないサンプルを選び、これらのサンプルの−55
℃〜160℃における容量温度特性を図2に示した。図
2には、X8R特性を満足する矩形範囲を併記した。な
お、測定には、LCRメータを用い、測定電圧は1Vと
した。
折装置により、2θ=44〜46°の間を下記条件にて
測定し、(002)ピークと(200)ピークとが重な
った擬立方晶ピークの半値幅を測定した。この半値幅が
0.3°以上であるものを○、0.3°未満であるもの
を×とし、各表に示した。また、(002)ピークの強
度I(002)と、(200)ピークの強度I(20
0)とを測定し、I(002)≧I(200)を満足す
るかどうかを調べ、満足するものを○、満足しないもの
を×とし、各表に示した。なお、測定は室温で行った。
をKα1 線のものとKα2 線のものとに分離し、K
α1線についてのデータを利用した。各表に示すサンプ
ルのうち、Tmを含有するものおよびYを含有するもの
について、X線回折チャートを、図3および図4にそれ
ぞれ示した。なお、これら各図には、希土類元素を含ま
ない組成のものも示した。
mであるコンデンサのサンプルに対し、200℃にて1
0V/μmの電界下で加速試験を行い、絶縁抵抗が1M
Ω以下になるまでの時間を寿命時間とした。結果を表1
〜表4に示す。なお、第4副成分を含有しない組成を有
するサンプルについても同様な測定を行い、結果を表2
に示した。
を所定量含有する本実施例のサンプルは、X8R特性を
満足し、しかも、比誘電率および絶縁抵抗が十分に高
く、かつ、誘電損失も問題ないことが判明した。なお、
本実施例のサンプルは、X8R特性のほか、前記したE
IAJ規格のB特性およびEIA規格のX7R特性も満
足していた。
満足する本実施例のサンプルは、X線回折における上記
半値幅および上記両ピークの強度関係が、本発明で限定
する条件を満足することがわかる。
ら、第4副成分を含有することにより、十分なIR寿命
が得られることが確認できた。なお、この条件下では、
寿命時間が1時間以上であれば、IR寿命が十分である
といえる。
査型電子顕微鏡による組織の観察および密度測定を行っ
た結果、第4副成分の含有量が10モル以上であるサン
プルは、焼成温度1280〜1320℃の範囲では焼結
性が不十分となることが確認された。焼結性が不十分で
あると、表4の組成番号411〜413(比較例)に示
すように、誘電損失、比誘電率、IR寿命などの特性が
低くなってしまい、また、耐湿性や強度も不十分とな
る。なお、焼成温度をさらに高くすることによって焼結
性を向上させることは可能であるが、1320℃を超え
るような高温で焼成した場合、内部電極層の途切れや誘
電体磁器組成物の還元が生じやすくなってしまう。
様にして作製した。これらのサンプルは、第4副成分と
してYb酸化物を用い、さらに、第5副成分としてY酸
化物を添加したものである。これらのサンプルについ
て、実施例1と同様な測定を行った。結果を表5に示
す。
えY酸化物(第5副成分)を添加することにより、IR
寿命が向上することが確認できた。また、Y酸化物添加
による他の特性への悪影響も認められないことも確認で
きた。
例1の組成番号213と同様にしてサンプルを作製し
た。これらのサンプルについて、実施例1と同様な測定
を行った。結果を表6に示す。なお、表6では、組成番
号603が表2中の組成番号213に相当する。
比率にかかわらず、本発明の効果が実現することが確認
できた。
たは4.26モル添加した以外は、実施例1の組成番号
301と同様にして、本実施例のサンプルを作製した。
また、第4副成分として、本発明の範囲外のYまたはH
oを2モルまたは4.26モル添加した以外は、実施例
1の組成番号301と同様にして、比較例に係るサンプ
ルを作製した。
理し、無負荷状態で室温(25℃)にて24時間放置し
た後、LCRメーターにより測定電圧1kHz,1.0
Vrmsで初期容量C0 を測定した。次に、誘電体層
1層あたり6.3Vの直流電界を40℃にて100時間
印加した後、無負荷状態で室温(25℃)にて放置し
た。放置開始から24時間後および111時間後に、C
0 測定の際と同じ条件で容量を測定し、初期容量C
o からの変化量ΔC1 を求めて、容量変化率ΔC
1 /C0 を算出した。結果を表7に示す。
し、X7R特性を満足する比較例に係るサンプルに比較
して、本実施例のサンプルは、直流電界下での容量の経
時変化が比較例のサンプルと同等または小さくなってお
り、信頼性が十分に高いことが確認できた。
モル添加した以外は、実施例1の組成番号301と同様
にして、本実施例の円板状サンプルを作製した。また、
第4副成分として、何も添加しない、または本発明の範
囲外のY、Ho、Dy、Tb、La、Ce、Sm、N
d、Pr、EuまたはGdを4.23モル添加した以外
は、実施例1の組成番号301と同様にして、比較例に
係る円板状サンプルを作製した。
より吸熱ピークを測定し、キュリー温度を求めた。ま
た、温度−DDSCグラフにおける前記一対のピーク間
の温度差を求めた。結果を表8に示す。また、表8に示
すサンプルのうち、Ybを含有するもの、Yを含有する
ものおよび希土類元素を含有しないものの温度−熱流差
(dq/dt)曲線と温度−DDSC曲線とを、図5、
図6および図7にそれぞれ示す。
有し、X8R特性を満足する本実施例のサンプルは、温
度−DDSCグラフにおける一対のピーク間の温度差が
4.1℃以上であることがわかる。なお、表8に示す
「測定不可」の意味は、ピーク強度が弱い、または、測
定範囲にピークが存在しないために判定不可能というこ
とである。
様にして作製した。これらのサンプルは、第4副成分と
してYb酸化物を用い、さらに、第5副成分としてY酸
化物を添加したものである。これらのサンプルについ
て、実施例1と同様にして、比誘電率(εr)、誘電損
失(tanδ)、絶縁抵抗(R25)およびIR寿命を
測定した。結果を表9に示す。
えY酸化物(第5副成分)を添加することにより、IR
寿命が向上することが確認できた。また、Y酸化物添加
による他の特性への悪影響も認められないことも確認で
きた。
計の含有量が、あまりに多すぎると、焼結性に悪影響を
与えることから、第4副成分および第5副成分の合計の
含有量は、主成分であるBaTiO3 100モルに対
し13モル以下、さらに好ましくは10モル以下であ
る。
ば、比誘電率が高く、容量温度特性がEIA規格のX8
R特性(−55〜150℃、ΔC=±15%以内)を満
足し、かつ、還元性雰囲気中での焼成が可能であり、ま
た、直流電界下での容量の経時変化が小さく、さらに、
絶縁抵抗の寿命が長い誘電体磁器組成物を実現すること
ができる。この誘電体磁器組成物で構成された誘電体層
を有する積層セラミックコンデンサなどの電子部品は、
自動車の電子装置のように厳しい環境下で使用される各
種機器内において安定した動作が可能であるため、適用
される機器の信頼性を著しく向上させる。
クコンデンサの断面図である。
である。
=44〜46°の範囲におけるX線回折チャートであ
る。
44〜46°の範囲におけるX線回折チャートである。
−熱量差(dq/dt)曲線と温度−DDSC曲線とを
示すグラフである。
熱流差(dq−dt)曲線と温度−DDSC曲線とを示
すグラフである。
物の温度−熱流差(dq/dt)曲線と温度−DDSC
曲線とを示すグラフである。
Claims (14)
- 【請求項1】 主成分であるBaTiO3 と、 MgO,CaO,BaO,SrOおよびCr2 O3
から選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、 (Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.
8〜1.2)で表される第2副成分と、 V2 O5 ,MoO3 およびWO3 から選択され
る少なくとも1種を含む第3副成分と、 R1の酸化物(ただし、R1はSc,Er,Tm,Yb
およびLuから選択される少なくとも1種)を含む第4
副成分と少なくとも有する誘電体磁器組成物であって、 主成分であるBaTiO3 100モルに対する各副成
分の比率が、 第1副成分:0.1〜3モル、 第2副成分:2〜10モル、 第3副成分:0.01〜0.5モル、 第4副成分:0.5〜7モル(ただし、第4副成分のモ
ル数は、R1単独での比率である)である誘電体磁器組
成物。 - 【請求項2】 第5副成分として、R2の酸化物(ただ
し、R2はY、Dy、Ho、Tb、GdおよびEuから
選択される少なくとも一種)をさらに有し、前記第5副
成分の含有量が、主成分であるBaTiO3 100モ
ルに対し9モル以下(ただし、第5副成分のモル数は、
R2単独での比率である)である請求項1に記載の誘電
体磁器組成物。 - 【請求項3】 第4副成分および第5副成分の合計の含
有量が、主成分であるBaTiO3 100モルに対し
13モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分の
モル数は、R1およびR2単独での比率である)である
請求項2に記載の誘電体磁器組成物。 - 【請求項4】 第6副成分としてMnOをさらに有し、
前記第6副成分の含有量が、主成分であるBaTiO
3 100モルに対し0.5モル以下である請求項1〜
3のいずれかに記載の誘電体磁器組成物。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の誘電体
磁器組成物であって、 Cu−Kα線を用いたX線回折において、2θ=44〜
46°の範囲内に(002)ピークと(200)ピーク
とを含む擬立方晶ピークが観察され、前記擬立方晶ピー
クの半値幅が0.3°以上であり、(002)ピークの
強度をI(002)とし、(200)ピークの強度をI
(200)としたとき、I(002)≧I(200)で
ある誘電体磁器組成物。 - 【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載の誘電体
磁器組成物であって、 DSC(示差走査熱量測定)によって測定された単位時
間当たりの熱流差(dq/dt)を、温度で微分した値
をDDSCとしたとき、温度とDDSCとの関係を表す
グラフにおいて、キュリー温度の両側に存在する一対の
ピーク間の温度差が4.1℃以上である誘電体磁器組成
物。 - 【請求項7】 誘電体層を有する電子部品であって、 前記誘電体層が、 主成分であるBaTiO3 と、 MgO,CaO,BaO,SrOおよびCr2 O3
から選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、 (Ba,Ca)x SiO2+x (ただし、x=0.
8〜1.2)で表される第2副成分と、 V2 O5 ,MoO3 およびWO3 から選択され
る少なくとも1種を含む第3副成分と、 R1の酸化物(ただし、R1はSc,Er,Tm,Yb
およびLuから選択される少なくとも1種)を含む第4
副成分と少なくとも有し、 主成分であるBaTiO3 100モルに対する各副成
分の比率が、 第1副成分:0.1〜3モル、 第2副成分:2〜10モル、 第3副成分:0.01〜0.5モル、 第4副成分:0.5〜7モル(ただし、第4副成分のモ
ル数は、R1単独での比率である)である電子部品。 - 【請求項8】 前記誘電体層が、第5副成分として、R
2の酸化物(ただし、R2はY、Dy、Ho、Tb、G
dおよびEuから選択される少なくとも一種)をさらに
有し、前記第5副成分の含有量が、主成分であるBaT
iO3 100モルに対し9モル以下(ただし、第5副
成分のモル数は、R2単独での比率である)である請求
項7に記載の電子部品。 - 【請求項9】 第4副成分および第5副成分の合計の含
有量が、主成分であるBaTiO3 100モルに対し
13モル以下(ただし、第4副成分および第5副成分の
モル数は、R1およびR2単独での比率である)である
請求項8に記載の電子部品。 - 【請求項10】 前記誘電体層が、第6副成分としてM
nOをさらに有し、前記第6副成分の含有量が、主成分
であるBaTiO3 100モルに対し0.5モル以下
である請求項7〜9のいずれかに記載の電子部品。 - 【請求項11】 請求項7〜10のいずれかに記載の電
子部品であって、前記誘電体層がCu−Kα線を用いたX線回折分析され
る場合に、 2θ=44〜46°の範囲内に(002)ピ
ークと(200)ピークとを含む擬立方晶ピークが観察
され、前記擬立方晶ピークの半値幅が0.3°以上であ
り、(002)ピークの強度をI(002)とし、(2
00)ピークの強度をI(200)としたとき、I(0
02)≧I(200)である電子部品。 - 【請求項12】 請求項7〜10のいずれかに記載の電
子部品であって、前記誘電体層がDSC(示差走査熱量測定)によって測
定された 単位時間当たりの熱流差(dq/dt)を、温
度で微分した値をDDSCとしたとき、温度とDDSC
との関係を表すグラフにおいて、キュリー温度の両側に
存在する一対のピーク間の温度差が4.1℃以上である
電子部品。 - 【請求項13】 前記誘電体層と共に内部電極層とが交
互に積層してあるコンデンサ素子本体を有する請求項7
〜12のいずれかに記載の電子部品。 - 【請求項14】 前記内部電極層に含まれる導電材がN
iまたはNi合金である請求項13の電子部品。
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