KR100750224B1

KR100750224B1 - 유체 제어 장치

Info

Publication number: KR100750224B1
Application number: KR1020010038748A
Authority: KR
Inventors: 호시조지; 오카베쯔네유키; 고시마게니치; 고바야시히데오; 나가야아키노리; 야마지미치오; 요시카와가즈히로; 가와노유지
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사; 씨케이디 가부시키 가이샤; 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2000-06-30
Filing date: 2001-06-30
Publication date: 2007-08-20
Also published as: JP3482601B2; EP1167846A2; DE60110685T2; KR20020002335A; DE60110685D1; EP1167846B1; US8973615B2; US20020031417A1; EP1167846A3; TW544751B; JP2002206700A

Abstract

각 라인(A, B, C)에 대응하는 레일(20)이 기판(1)에 병렬로 설치되고, 이 대응 레일(20)에 이음 부재(21, 22)가 활주 가능하게 장착되며, 이들 이음 부재(21, 22)에 걸쳐서 유체 제어 기기(3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)가 장착되어 있다.

Description

유체 제어 장치{FLUID CONTROL DEVICE}

도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하는 측면도.

도 2는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하는 평면도.

도 3은 도 2의 선 III-III을 따라 취한 단면도.

도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시하는 단면도.

도 5는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제3 실시예의 주요부를 도시하는 단면도.

도 6은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제4 실시예를 도시하는 측면도.

도 7은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제4 실시예를 도시하는 평면도.

도 8은 도 7의 선 VIII-VIII을 따라 취한 단면도.

도 9는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제5 실시예의 주요부를 도시하는 단면도.

도 10은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제6 실시예의 주요부를 도시하는 단면도.

도 11은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제7 실시예를 도시하는 측면도.

도 12는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제7 실시예를 도시하는 평면도.

도 13은 도 12의 선 XIII-XIII을 따라 취한 단면도.

도 14는 도 13의 레일의 상면을 따라 취한 확대 수평 단면도.

도 15는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제8 실시예를 도시하는 단면도.

도 16은 도 15의 레일의 상면을 따라 취한 확대 단면도.

도 17은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제9 실시예를 도시하는 단면도.

도 18은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제10 실시예를 도시하는 단면도.

도 19는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제11 실시예를 도시하는 분해 사시도 및 단면도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1 : 베이스 부재

2 : 질량 유량 제어기

3 : 입구측 제1 개폐 밸브

4 : 입구측 제2 개폐 밸브

5, 13 : 체크 밸브

6 : 횡방향 연결 통로 블록

7 : 압력 센서

8 : 압력 조정기

9 : 필터

10 : 수동 밸브

11 : 출구측 제1 개폐 밸브

12 : 출구측 제2 개폐 밸브

14 : 분기 합류용 관통 통로 블록

15 : 수나사

21, 22 : 이음 부재

24 : 활주 부재

25 : 암나사부

본 발명은 반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 말하면, 보수 점검 시에 유체 제어 기기를 상방으로 취출할 수 있도록 조립된 집적화 유체 제어 장치에 관한 것이다.

본원 명세서에 있어서 사용되는 전후ㆍ상하의 표현에 있어서는, 도 1 및 도 4의 우측을 전방으로, 좌측을 후방으로 하고, 이들 도면의 위 아래를 상하로 하며, 좌우는 도면의 앞뒤를 말하는 것으로 한다. 이러한 전후·상하의 표현은 설명의 편의를 위한 것으로, 전후가 반대로 되거나, 상하가 좌우로 되어 사용될 수도 있다.

반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 장치는, 여러 유체 제어 기기를 복수 열로 배치하고, 인접 열의 유체 제어 기기의 유로를 소정 부분에 있어서 기기 접속 수단에 의해 서로 접속함으로써 구성되지만, 최근 이러한 형태의 유체 제어 장치에서는, 질량 유량 제어기나 개폐 밸브 등을 튜브를 통하지 않고 접속하는 집적화가 진행되고 있다. 이 유체 제어 장치는, 먼저 한 장의 기판에 블록형 이음새 등의 이음 부재를 수나사로 부착하고, 뒤이어 이들의 이음 부재에 걸치도록 질량 유량 제어기, 필터, 개폐 밸브 등의 유체 제어 기기를 부착함으로써 조립되었다.

이러한 종래의 유체 제어 장치에 의하면, 개개의 유체 제어 기기를 상방으로 취출하여 점검·수리·교환하는 것이 가능하지만, 조립 작업에 시간이 걸리며, 또한 라인의 증설 및 변경에 관해서는 충분히 고려하지 않았기 때문에, 시스템의 개조가 발생한 경우에는 모든 부재를 기판 전체로 제거하여 필요한 부재를 부착한 기판으로 교환하는 것이 필요하게 되어, 장치의 장기간 정지나 현지 공사 공정수의 증가로 이어지는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 조립이 용이하고, 라인의 증설ㆍ변경에 용이하게 대응할 수 있는 유체 제어 장치를 제공하는 것이다.

제1 발명에 따른 유체 제어 장치는, 하나의 라인이 상단에 배치된 복수의 유체 제어 기기와 하단에 배치된 복수의 이음 부재에 의해 형성되고, 복수의 라인이 그 입구 및 출구가 동일 방향을 향하게 베이스 부재 상에 병렬로 배치되는 유체 제어 장치로서, 각 라인은 각각 하나의 라인 지지 부재에 부착되고, 라인 지지 부재는 라인과 직교하는 방향으로 활주 가능하게 베이스 부재에 장착되는 것을 특징으로 한다.

제1 발명의 유체 제어 장치에 의하면, 장치 전체를 조립할 때에 이음 부재 및 유체 제어 기기가 부착된 라인 지지 부재 전체를 베이스 부재에 부착할 수 있어, 조립을 용이하게 할 수 있다. 또한, 라인의 변경을 행할 때에는, 필요에 따라서 통로 접속 수단을 상방으로 제거한 후, 변경될 구라인을 라인 지지 부재 전체로 떼어내고, 변경되지 않는 라인의 라인 지지 부재를 필요에 따라서 활주 이동시키며, 대체되는 라인의 라인 지지 부재를 베이스 부재 상에 부착하고, 또한 변경되지 않는 라인의 라인 지지 부재를 활주 이동시켜 적정 위치로 복귀시키고, 마지막으로 변경 후에 필요한 통로 수단을 부착하면 되고, 유사하게 라인을 증설할 때에는, 필요에 따라서 통로 접속 수단을 상방으로 제거한 후, 기존에 설치된 라인의 라인 지지 부재를 필요에 따라서 활주시키고, 증설해야 할 라인의 라인 지지 부재를 베이스 부재 상에 부착하며, 또한 기존에 설치된 라인의 라인 지지 부재를 활주시켜 적정 위치로 복귀시키고, 마지막으로 증설 후에 필요한 통로 수단을 부착하는 것만으로, 라인의 증설 및 변경을 용이하게 행할 수 있다.

예컨대, 라인 지지 부재로서는 라인 방향으로 긴 판재를 사용할 수 있고, 필요에 따라 그 양단부에는 베이스 부재로의 부착을 용이하게 하기 위한 절곡부가 형성된다. 라인 지지 부재로서 여러 형상의 레일을 사용할 수 있으며, 이 경우에 라인 지지 부재는 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착되는 레일로 되는 동시에, 각 이음 부재가 레일에 활주 가능하게 부착되며, 이들 이음 부재에 걸쳐 유체 제어 기기가 부착되는 것이 바람직하다. 그에 따라, 이음 부재 및 유체 제어 기기를 라인 지지 부재에 부착할 때에는, 이음 부재를 궤도를 따라서 활주시켜 소요 위치에 배 치한 후, 이들 이음 부재에 걸쳐 유체 제어 기기를 부착할 수 있으므로, 각 라인을 용이하게 조립할 수 있다. 또한, 유체 제어 기기를 길이가 상이한 것으로 대체할 경우에는, 대상이 되는 기존에 설치된 유체 제어 기기를 제거하는 동시에, 이음 부재를 궤도를 따라서 소요 위치까지 이동시켜 이음 부재를 궤도에 고정한 후, 새로운 유체 제어 기기를 부착할 수 있다. 기존에 설치된 라인에 새롭게 유체 제어 기기 및 이음 부재를 추가하는 경우도 동일하게 수행할 수 있다. 이렇게 해서, 라인의 변경ㆍ추가를 용이하게 수행할 수 있다.

제1 발명에 있어서, 예컨대 레일은 내향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되어, 암나사가 마련된 활주 부재와 이음 부재는 수나사 부재에 의하여 결합될 수 있다. 이 일례로서, 암나사가 마련된 활주 부재를 레일 내에 삽입하고, 이 활주 부재에 이음 부재를 관통하는 수나사 부재를 나사식으로 결합함으로써, 활주 부재의 상면이 레일의 내향 플랜지의 하면에 압박되어 이음 부재가 레일에 부착될 수 있다.

제2 발명에 따른 유체 제어 장치는, 하나의 라인이 상단에 배치된 복수의 유체 제어 기기와 하단에 배치된 복수의 이음 부재에 의해 형성되고, 복수의 라인이 그 입구 및 출구가 동일 방향을 향하게 베이스 부재 상에 병렬로 배치되는 유체 제어 장치로서, 베이스 부재에 각 라인에 대응하는 궤도가 병렬로 설치되고, 각 라인의 이음 부재는 대응하는 궤도에 활주 가능하게 부착되며, 이들 이음 부재에 걸쳐 유체 제어 기기가 부착되는 것을 특징으로 한다.

제2 발명의 유체 제어 장치에 의하면, 장치 전체를 조립할 때에 이음 부재를 궤도를 따라 활주시켜 소요 위치에 배치한 후, 이들 이음 부재에 걸쳐 유체 제어 기기를 부착할 수 있어, 조립을 용이하게 할 수 있다.

또한, 유체 제어 기기를 길이가 상이한 것으로 대체할 경우에는, 대상이 되는 기존에 설치된 유체 제어 기기를 제거하는 동시에, 이음 부재를 궤도를 따라서 소요 위치까지 이동시켜 이음 부재를 궤도에 고정한 후, 새로운 유체 제어 기기를 부착할 수 있다. 기존에 설치된 라인에 새롭게 유체 제어 기기 및 이음 부재를 추가하는 경우도 동일하게 수행할 수 있다. 이렇게 해서, 라인의 변경ㆍ추가를 용이하게 수행할 수 있다.

각 이음 부재에 대응하는 활주 부재가 궤도에 배치되고, 활주 부재와 이음 부재가 결합되는 궤도에 활주 부재가 부착되게, 활주 부재와 이음 부재가 결합되는 것이 바람직하다. 궤도 및 활주 부재의 형상은, 활주 부재가 궤도를 따라서 활주 이동 가능하고 궤도로부터 용이하게 분리되지 않는다는 조건을 만족하는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다. 예컨대, 궤도는, 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착된 레일에 의해 형성될 수 있고, 또한 베이스 부재 상면의 홈에 의해서 형성될 수도 있으며, 레일에 의해 형성되는 것이 보다 바람직하다.

궤도가 착탈 가능한 레일에 의해서 형성되는 경우, 장치 전체를 조립할 때에는, 이음 부재 및 유체 제어 기기가 부착된 레일 전체를 베이스 부재에 부착할 수 있어, 조립을 용이하게 할 수 있다. 또한, 라인의 변경을 행할 때에는, 필요에 따라서 통로 접속 수단을 상방으로 제거한 후, 변경할 구라인을 레일 전체로 떼어내고, 그에 대체되는 라인의 레일을 베이스 부재 상에 부착하고, 마지막으로 변경 후 에 필요한 통로 접속 수단을 부착하면 되고, 유사하게 라인을 증설할 때에는, 필요에 따라서 통로 접속 수단을 상방으로 제거한 후, 증설해야 할 라인의 레일을 베이스 부재 상에 부착하고, 마지막으로 증설 후에 필요한 통로 접속 수단을 부착하는 것만으로, 라인의 증설 및 변경을 용이하게 행할 수 있다.

상기 제2 발명에 있어서, 라인 지지 부재 또는 궤도를 형성하는 레일은 내향 플랜지가 있는 단면 U자형 또는 외향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성될 수 있다. 또한, 단면 U자형의 레일에는 그것을 폭방향으로 분할하는 T형의 중간벽이 추가로 마련될 수도 있다. 홈은 밑이 넓은 사다리꼴 형상의 단면 또는 역 T자형의 단면으로 형성되는 것이 바람직하다.

활주 부재는 수나사 부재에 의해서 레일에 부착될 수 있으며, 활주 부재에는 레일에 걸어 맞춰지는 레일 파지 갈고리가 설치될 수도 있다.

예컨대, 레일은 내향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되고, 암나사가 마련된 활주 부재와 이음 부재는 수나사 부재에 의해 결합될 수도 있다. 이 일례로서, 암나사가 마련된 활주 부재를 레일 내에 삽입하고, 이 활주 부재에 이음 부재를 관통하는 수나사 부재를 나사식으로 결합함으로써, 활주 부재 상면이 레일의 내향 플랜지 하면에 압박되어 이음 부재가 레일에 부착될 수도 있다. 또한, 레일 대신에 홈에 의해 궤도를 형성할 때에는, 활주 부재가 상방으로 탈락하는 것을 방지하도록 홈의 개구 가장자리부에 탈락 방지부가 형성되는 것이 바람직하다. 탈락 방지부는 홈의 형상을 밑이 넓은 사다리꼴 또는 역 T자형으로 형성함으로써 용이하게 얻어진다. 궤도가 레일 및 홈 중 어느 것인 경우에도, 수나사를 회전시키는 공 구를 끼워 넣기 위한 간극이 유체 제어 기기 사이에 마련되는 것이 바람직하다.

또한, 레일이 외향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되고, 활주 부재에는 레일의 외향 플랜지에 걸어 맞춰지는 레일 파지 갈고리가 설치될 수도 있으며, 레일이 내향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되고, 활주 부재에 레일의 내향 플랜지에 걸어 맞춰지는 레일 파지 갈고리가 설치될 수도 있다. 예컨대, 레일 파지 갈고리가 설치된 활주 부재에는 암나사가 마련되어 수나사 부재에 의하여 이음 부재와 결합되고, 또한 소정 위치에서 레일에 고정되는 것이 바람직하다.

인접하는 레일은 소정 위치에서 서로 연결되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 레일 간격의 변동이나 각 레일의 흔들림이 방지되어 조립 후의 장치를 사용하기 쉽게 된다.

또한, 제1 및 제2 발명에 있어서, 베이스 부재는 라인 지지 부재 또는 궤도를 형성하는 레일을 사용하여, 입구측 레일, 출구측 레일 및 양 레일을 서로 연결하는 연결 부재에 의해서 프레임형으로 형성될 수도 있다. 이 경우에, 연결 부재에도 레일이 사용될 수 있다.

도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.

도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시예를 도시하며, 유체 제어 장치는 제1 라인(A)과, 제2 라인(B)과, 예비 라인(C)이 판형 베이스 부재(1)에 병렬로 배치됨으로써 형성된다.

제1 라인(A) 및 제2 라인(B)은 상단에 배치된 질량 유량 제어기, 개폐 밸브, 압력 조절기, 통로 블록 등의 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)와, 하단에 배치되어 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)를 서로 연통하게 하는 복수의 이음 부재(21, 22)로 구성된다. 하단의 이음 부재(21, 22)는 각 라인(A, B) 전체로 레일(20)에 부착되고, 이들 이음 부재(21, 22)에 걸쳐 상단의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)가 부착된다. 예비 라인(C)에는 레일(20)만이 배치되어 있다.

제1 라인(A)의 유체 제어 기기로는, 질량 유량 제어기(2)와, 질량 유량 제어기(2)의 전방(입구측)에 설치된 입구측 제1 개폐 밸브(3), 입구측 제2 개폐 밸브(4), 체크 밸브(5), 횡방향 연통로 블록(6), 압력 센서(7), 압력 조정기(8), 필터(9) 및 수동 밸브(10)와, 질량 유량 제어기(2)의 후방(출구측)에 설치된 출구측 제1 개폐 밸브(11), 출구측 제2 개폐 밸브(12), 체크 밸브(13) 및 분기 합류용 관통 통로 블록(14)이 있고, 제2 라인(B)의 유체 제어 기기로는, 질량 유량 제어기(2)와, 질량 유량 제어기(2)의 전방(입구측)에 설치된 입구측 제1 개폐 밸브(3), 입구측 제2 개폐 밸브(4), 체크 밸브(5) 및 횡방향 연통로 블록(6)과, 질량 유량 제어기(2)의 후방(출구측)에 설치된 출구측 제1 개폐 밸브(11), 출구측 제2 개폐 밸브(12), 체크 밸브(13) 및 분기 합류용 관통 통로 블록(14)이 있다.

질량 유량 제어기(2)는 그 하단의 전후면에 입구측 접속부(2a) 및 출구측 접속부(2b)를 구비하며, 질량 유량 제어기(2)와 입구측 제1 개폐 밸브(3) 및 출구측 제1 개폐 밸브(11)는 각각 그들의 하방에 배치된 V자형 통로가 형성된 블록형 이음 부재(21)에 의해 연통된다. 그외의 인접 유체 제어 기기(4, 6, 7, 8, 9, 10, 12, 14)도 동일한 V자형 통로가 형성된 블록형 이음 부재(21)에 의해 서로 연통된다. 또한, 입구측의 단부에 위치하는 수동 밸브(10) 및 출구측의 단부에 위치하는 분기 합류용 관통 통로 블록(14)에는 외부와의 접속을 위한 이음 부재(22)가 설치되어 있다.

레일(20)의 전후 단부에는 관통 구멍이 마련되어, 레일은 이 관통 구멍을 통과한 수나사(23)에 의해 베이스 부재(1)에 고정된다. 블록형 이음 부재(21) 및 외부 접속용 이음 부재(22)의 상면에는 수직 암나사부가 형성되며, 각 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)는 이것을 관통하는 수나사(15)가 이음 부재(21, 22)의 수직 암나사부에 나사식으로 삽입됨으로써 이음 부재(21, 22)에 부착된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 레일(20)은 U형 단면으로 형성되고, 외향 플랜지(20a) 및 내향 플랜지(20b)를 구비한다. 이 레일(20) 내에는 활주 부재(24)가 삽입된다. 활주 부재(24)는 금속제이며, 위로부터 레일(20) 내에 삽입될 수 있도록 둘로 분할되어 있다. 또한, 좌우의 각 반쪽 부재(24a, 24b)에는 각각 수직 암나사부(25)가 관통형으로 형성되고, 이음 부재(21, 22)를 관통하는 수나사(26)가 그 암나사부(25)에 나사식으로 결합된다. 좌우의 각 반쪽 부재(24a, 24b)의 상면에는 외측이 낮아지게 단차가 형성되고, 수직 암나사부(25)는 낮은 쪽의 면에 형성되어 있다. 활주 부재(24)는 암나사부(25)와 수나사(26)가 느슨하게 나사식으로 결합되어 있는 상태에서, 활주는 가능하지만 회전은 불가능하게 되어 있다. 그리고, 이 상태로부터 수나사(26)를 체결해 감으로써, 활주 부재(24)는 레일(20) 내를 상방으로 이동하고, 활주 부재(24) 상면의 낮은 쪽 면이 레일(20)의 내향 플랜지(20b) 하면에 압박되어 이음 부재(21, 22)가 레일(20)에 고정된다. 이음 부재(21, 22)의 하면과 레일(20)의 상면 사이에는 와셔(27)가 개재되어, 활주 부재(24) 상면의 높은 쪽 면이 이 와셔(27)의 하면에 접촉한다. 또한, 이음 부재(21, 22)에 형성되어 있는 수나사 삽입 관통 구멍(28)에는 계단부(28a)가 형성되고, 수나사(26)의 축 부분에는 상단부에 플랜지(29a)가 있는 원통형 스페이서(29)가 끼워 넣어지며, 스페이서(29)의 플랜지(29a)와 수나사 삽입 관통 구멍(28)의 계단부(28a) 사이에는 원통형 탄성 부재(30)가 개재된다. 또한, 블록형 이음 부재(21)를 레일(20)에 부착하는 수나사(26)를 상방으로부터 회전시킬 수 있도록, 각 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14) 사이의 블록형 이음 부재(21) 중앙부 상방에는 스패너 삽입 관통용 간극이 확보되어 있다.

또한, 전술한 실시예에 있어서, 활주 부재(24)는 둘로 분할되지 않고 일체로 될 수도 있으며, 이 경우에 활주 부재(24)는 레일(20)의 전후 어느 한 쪽 끝으로부터 레일(20) 내에 삽입된다.

또한, 레일의 형상은 특별히 한정되는 것이 아니고, 다양한 변경이 가능하다. 그 일례를 도 4에 도시한다. 도 4에 도시된 제2 실시예에 있어서, 레일(40)은 개구가 위를 향하는 E자형 단면, 즉 U자형 단면에 내향 플랜지(41a)가 있는 레일 본체(41)의 좌우의 중앙에 레일 본체를 폭방향으로 분할하는 T자형의 중간벽(42)이 추가된 형상으로 될 수도 있다. 이 경우에, 활주 부재(43)는 직방체형으로 좌우 한 쌍으로 되며, 상기 제1 실시예와 마찬가지로 수나사 부재(26)가 나사식으로 삽입됨에 따라 상방으로 이동하여 레일(40)에 고정된다.

레일(20, 40)은 각 라인(A, B, C)에 그 이음 부재를 활주 이동시키기 위한 궤도를 제공하는 것으로, 이들 레일(20, 40) 대신에, 도 5에 도시한 바와 같이 베이스 부재(1)의 상면에 활주 부재(52, 54)를 안내하는 홈(51, 53)을 마련하고, 이들 홈(51, 53)에 의해서 궤도를 형성할 수도 있다. 도 5a 및 도 5b에 도시된 제3 실시예에 있어서, 도 5a의 홈(51)은 도브테일(dovetail) 홈, 즉 밑이 넓은 사다리꼴 형상의 단면을 가지며, 도 5b에 도시된 홈(53)은 내부 확대 홈, 즉 단면이 역 T자형인 홈이다. 도 5a의 경우, 활주 부재(52)는 단면이 밑이 넓은 사다리꼴로 된 블록으로 되고, 도 5b의 경우, 활주 부재(54)는 내부 확대 홈(53)의 확대된 부분에 수용되는 직방체형 블록으로 된다. 도 5a 및 도 5b 중 어느 경우에도, 활주 부재(52, 54)는 수나사 부재(26)가 나사식으로 삽입됨으로써 상방으로 이동하여, 홈(51, 53)의 개구 가장자리부에 압박된다.

전술한 제1 내지 제3 실시예에 따른 유체 제어 장치에 의하면, 장치 전체를 조립할 때에, 이음 부재(21, 22)를 궤도〔레일(20, 40) 또는 홈(51, 53)〕를 따라서 활주시켜 소정 위치에 배치한 후, 이들 이음 부재(21, 22, 61, 62)에 걸쳐 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)를 부착할 수 있어, 조립을 용이하게 할 수 있다.

또한, 예컨대 제2 라인(B)을 제1 라인(A)과 동일한 구성으로 하는 경우에는, 추가할 유체 제어 기기(7, 8, 9, 10)를 접속하는 데 필요한 이음 부재(21, 22)를 궤도(20, 40, 51, 53)의 전단으로부터 장착하여, 궤도를 따라서 소정 위치까지 활주시킨 후, 이들 이음 부재에 유체 제어 기기를 부착하면 된다. 이 때, 제1 및 제2 실시예에서는, 궤도 상방으로부터의 장착도 가능하다. 그리고, 예컨대 질량 유량 제어기(2)를 전후 길이가 상이한 것으로 변경하는 경우에는, 유체 제어 기기(3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)를 제거하지 않고, 이음 부재(21, 22)를 느슨하게 하여, 궤도(20, 40, 51, 53)를 따라서 소정 위치까지 활주시킨 후, 이들을 궤도에 고정하고, 다시 유체 제어 기기를 부착하면 된다. 이 작업 중 기존에 설치된 라인의 이음 부재는 궤도에 부착된 상태이므로, 이들의 낙하 또는 분실은 방지된다. 각 유체 제어 기기 사이에 새로운 기기를 삽입하는 경우도, 질량 유량 제어기(2)의 교환과 동일한 순서로 행할 수 있다. 이렇게 해서, 라인의 변경도 용이하게 수행할 수 있다.

도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제4 실시예를 도시하며, 제1 라인(A), 제2 라인(B) 및 예비 라인(C)이 베이스 부재(1)에 병렬로 배치되어 형성되는 것과, 제1 라인(A) 및 제2 라인(B)의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)의 구성은 제1 실시예의 것과 동일하다. 이하의 설명에 있어서는, 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다.

도 6에 있어서, 하단의 블록형 이음 부재(61) 및 외부 접속용 이음 부재(62)는 그 형상이 제1 실시예의 것으로부터 약간 변형된 것으로, 각 이음 부재(61, 62)의 하단에는, 도 8에 상세하게 도시하는 바와 같이, 레일 파지 갈고리(64)가 있는 합성 수지로 제조된 활주 부재(63)가 나사(65)에 의해 고정된다. 레일(60)은 단면 U자형으로 형성되고, 외향 플랜지(60a)만을 구비하고, 내향 플랜지는 구비하지 않는다. 활주 부재(63)는 역 U자형 형상이며, 그 하단부에 레일(60)의 외향 플랜지(60a)에 걸어 맞춰지는 내향의 레일 파지 갈고리(64)가 마련되어 있다. 레일 파지 갈고리(64)에는 좌우로 벌어지는 것이 가능할 정도의 탄성이 부여된다. 이렇게 해서, 각 이음 부재(61, 62)는 레일(60)을 따라서 활주 가능하게 되는 동시에, 통상시는 상방으로 탈락하지 않으면서, 강제적으로는 상방으로 제거 가능하게 된다. 또한, 조립 후의 각 이음 부재(61, 62)의 전후 이동을 방지하기 위해서, 입구 및 출구의 외부 접속용 이음 부재(62)와 질량 유량 제어기(2)의 입구측 이음 부재(61A)에 설치된 활주 부재(63)는 레일(60)에 고정된다.

이 제4 실시예의 유체 제어 장치에서는, 도 7에 도시한 바와 같이 3개의 레일(60)이 그 전후 단부에서 연결 부재(66)에 의해서 서로 연결되어 있다. 이에 따라, 레일(60) 간격의 변동이나 각 레일(60)의 흔들림이 방지되는 동시에, 레일(60)로부터 기기가 탈락되는 것은 방지된다.

상기 제4 실시예에 있어서, 레일(60)의 형상은 특별히 한정되는 것이 아니고 여러 변경이 가능하다. 예컨대, 레일(60)은 제1 실시예와는 상이한 형상이지만, 동일한 레일(20)을 사용하는 것도 물론 가능하다. 또한, 레일(70) 및 활주 부재(71)의 형상을 도 9에 도시한 바와 같이 할 수도 있다.

도 9에 도시하는 제5 실시예에 있어서, 레일(70)은 단면 U자형으로 형성되고, 내향 플랜지(70a)만을 구비하고, 외향 플랜지는 구비하지 않는다. 활주 부재(71)에는 레일(70)의 내향 플랜지(70a)에 걸어 맞춰지는 외향의 레일 파지 갈고리(72)가 마련되어 있다. 레일 파지 갈고리(72)에는 좌우 방향 내측으로 변형시키는 것이 가능한 정도의 탄성이 부여된다. 이렇게 해서, 각 이음 부재(61, 62)는 레일(70)을 따라 활주 가능한 동시에, 통상시는 상방으로 탈락하지 않으면서, 강제적으로는 상방으로 제거할 수 있게 된다.

제4 및 제5 실시예에서, 활주 부재(63, 71)는 합성 수지제지만, 좌우로 개방하는 것이 가능할 정도의 탄성이 부여된 금속제의 것으로 대신할 수도 있다.

또한, 활주 부재를 금속제로 하여 도 10에 도시하는 형태(제6 실시예)로 할 수도 좋다. 도 10에 있어서, 레일(60) 및 이음 부재(61, 61A, 62)는 제4 실시예와 동일한 것이 사용되고, 활주 부재(81)는 역 U자형으로, 그 하단부에 내향의 레일 파지 갈고리(82)가 마련되어 있다. 이 활주 부재(81)는 레일(60)의 전후 어느 한 쪽 끝으로부터 장착되어 소정 위치까지 이동되어 고정된다. 이러한 고정에는 수나사 부재(26)가 사용되고, 활주 부재(81)를 관통하는 수직 암나사부에 수나사 부재(26)를 나사식으로 결합하여 와셔(83)를 통해 레일(60)의 외향 플랜지(60a)에 체결함으로써, 이음 부재(61, 61A, 62)의 이동이 저지된다. 이음 부재(61, 61A, 62)에 마련되는 수나사 삽입 관통 구멍(28)에는 제1 실시예의 것과 동일하게 계단부(28a)가 마련되지만, 스페이서(29, 30)는 사용되지 않는다.

이 제6 실시예의 활주 부재(81)는 제4 실시예의 활주 부재(63)와 병용하는 것이 가능하다. 즉, 입구 및 출구의 외부 접속용 이음 부재(62)와 질량 유량 제어기(2)의 입구측 이음 부재(61A)에 설치되는 것은 제6 실시예의 활주 부재(81)로 하고, 그 외의 것은 제4 실시예의 활주 부재(63)로 하면, 조립 후의 각 이음 부재(61, 62)의 전후 이동이 방지되고, 제4 실시예의 활주 부재(63)가 부착된 이음 부재(61)는 레일(60)의 끝까지 이동시키지 않아도 상방으로 취출할 수 있어, 라인의 변경ㆍ증설 시의 작업이 쉬워지게 된다.

제4 내지 제6 실시예의 유체 제어 장치에 의하면, 장치 전체를 조립할 때에, 이음 부재(61, 62)를 궤도〔레일(60, 70)〕를 따라서 활주시켜 소정 위치에 배치한 후, 이들 이음 부재(61, 62)에 걸쳐 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)를 부착할 수 있어, 조립을 용이하게 할 수 있다.

그리고, 예컨대, 제2 라인(B)을 제1 라인(A)과 동일한 구성으로 하는 경우에는, 추가할 유체 제어 기기(7, 8, 9, 10)를 접속하는 데에 필요한 이음 부재(61, 62)를 궤도(60, 70)의 전단으로부터 장착하여 궤도를 따라 소정 위치까지 활주시킨 후, 이들 이음 부재에 유체 제어 기기를 부착하면 된다. 이 때, 제4 및 제5 실시예의 경우에는, 활주 부재(63, 71)를 궤도 상방으로부터 장착하는 것도 가능하다. 그리고, 각 유체 제어 기기 사이에 새로운 기기를 삽입하는 경우도 동일하므로, 라인의 변경을 용이하게 수행할 수 있다.

또한, 제1, 제2, 제4, 제5 및 제6 실시예에서는, 궤도가 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착된 레일(20, 40, 60, 70)에 의해서 형성되기 때문에, 장치 전체를 조립할 때에는 이음 부재(21, 22, 61, 62) 및 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)가 부착된 레일 전체를 베이스 부재(1)에 부착할 수 있어, 조립을 용이하게 할 수 있다. 그리고, 라인의 변경을 행할 때에는, 필요에 따라서 통로 접속 수단을 상방으로 제거한 후, 변경되는 구라인을 레일 전체로 떼어내고, 이에 대체되는 라인의 레일을 베이스 부재 상에 부착하며, 마지막으로 변경 후에 필요한 통로 접속 수단을 부착하는 순서로도 행할 수 있고, 마찬가지로 라인을 증 설할 때에는, 필요에 따라서 통로 접속 수단을 상방으로 제거한 후, 증설해야 할 라인을 레일 전체로 베이스 부재 상에 부착하고, 마지막으로 증설 후에 필요한 통로 접속 수단을 부착하면 되므로, 라인의 증설 및 변경을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 베이스 부재(1)가 판형으로 되어 있지만, 도 11 내지 도 13에 도시한 바와 같이, 베이스 부재는 프레임 형태일 수도 있다.

해당 도면에 도시된 제7 실시예에 있어서, 베이스 부재(91)는 입구측 레일(92)과, 출구측 레일(93)과, 양 레일(92, 93)을 서로 연결하는 연결 부재(94)와, 양 레일(92, 93) 사이의 중간에 설치된 중간 레일(95)로 이루어진다. 그리고, 하단의 이음 부재(21, 22)가 각 라인(A, B)마다 라인 지지용 레일(96)에 부착되고, 이들 이음 부재(21, 22)에 걸쳐 상단의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14)가 부착된다.

이 실시예의 라인 지지용 레일(96)은 도 13에 도시한 바와 같이, 하나의 라인(A, B)에 대하여 각각 한 홈 타입의 틀 부재(97)가 2개 병렬로 배치됨으로써 형성된다. 각각의 틀 부재(97)는 각각 내향 플랜지(97a)를 구비하고, 그 내부에 형성된 홈(97b)은 단면이 밑이 좁아지는 사다리꼴 형상으로 되어 있다. 그리고, 이에 대응하여, 활주 부재(98)의 단면 형상도 밑이 좁아지는 사다리꼴 형상으로 되어 있다. 활주 부재(98)에는 수직 암나사부(99)가 마련되고, 이 암나사부(99)에 이음 부재(21, 22)를 관통하는 수나사(26)가 나사식으로 결합된다. 이때, 활주 부재(98)의 축방향 길이는 틀 부재(97)의 내향 플랜지(97a)의 선단간 거리보다도 작게 구성되고, 도 14에 도시한 바와 같이 수나사(26)에 나사식으로 결합된 활주 부재(98)를 도 13의 상태로부터 90°회전시킨 형태로 홈(97b) 내에 끼워 넣고(이점 쇄선으로 표시된 상태), 그 후 활주 부재(98)를 90°회전시킴으로써(실선 및 파선으로 표시된 상태), 활주 부재(98)를 일시적으로 멈출 수 있게 되어 있다.

입구측 레일(92), 출구측 레일(93) 및 중간 레일(95)은, 전술한 한 홈 타입의 틀 부재(97) 2개를 일체화한 형상으로 된 두 홈 타입의 틀 부재를 그대로 사용한 것이다. 또한, 입구측 레일(92)과 출구측 레일(93)을 연결하는 연결 부재(94)로서는, 라인 지지용 레일(96)을 형성하는 것과 동일한 한 홈 타입의 틀 부재(97)가 사용된다.

라인 지지용의 레일(96)은 이음 부재(21, 22)를 그 레일에 부착하는 것과 동일한 구성에 의해, 입구측 레일(92) 및 출구측 레일(93)에 부착된다. 즉, 라인 지지용 레일(96)의 전후 양단부에는 스폿 페이싱(spot facing)이 마련되어, 여기서부터 삽입 관통된 수나사 부재(100)가 입구측 및 출구측 레일(92, 93) 내에 배치된 활주 부재(98)에 나사식으로 결합된다. 이에 따라, 각 라인 지지용 레일(96)은 라인(전후 방향)과 직교하는 방향(좌우 방향)으로 활주 가능하다.

연결 부재(94)와 입구측 레일(92), 출구측 레일(93) 및 중간 레일(95) 모두는 동일한 구성에 의해 연결 부재(94)가 활주 가능하도록 레일(92, 93, 95)에 부착된다.

제7 실시예의 변형예를 도 15 및 도 16에 도시한다. 이들 도면에 도시하는 제8 실시예에 있어서, 하나의 라인 지지용 레일(101)은 한 홈 타입의 틀 부재(97) 2개를 일체화한 형상으로 된 두 홈 타입의 틀 부재에 의해서 형성된다. 레일(101) 내부에는 단면이 밑이 좁아지는 사다리꼴 형상인 홈(101a)이 두개 형성되어 있다. 그리고, 이에 대응하여 활주 부재(102)의 단면 형상도 밑이 좁아지는 사다리꼴 형상으로 되어 있다. 활주 부재(102)에는 스프링(104)에 의해 하향으로 편향된 플런저(103)가 내장되고, 이 플런저(103)가 홈(101a)의 바닥면에 닿음으로써 활주 부재(102)가 상방으로 압박되게 구성된다. 따라서, 수나사(26)를 활주 부재(102)의 수직 암나사부(105)에 나사 결합시키기 전의 단계에서, 활주 부재(102)의 일시적인 멈춤이 수행된다.

제7 및 제8 실시예에 있어서는, 라인의 변경이나 증설을 행할 때에, 기존에 설치된 라인(A, B)의 라인 지지용 레일(96, 101)을 필요에 따라서 활주시키고, 대체 또는 추가되는 라인의 레일을 베이스 부재(91) 상에 부착하고, 이후 기존에 설치된 라인(A, B)의 라인 지지용 레일(96, 101)을 활주시켜 적정 위치로 복귀시킬 수 있어, 라인의 증설 및 변경을 더욱 용이하게 행할 수 있다.

도 17은 제9 실시예를 도시한다. 도 17에 있어서, 하나의 라인 지지용 레일(111)은 두 홈 타입의 틀 부재에 의해서 형성된다. 레일(111) 내부에는, 상방으로 개방되고 내부의 단면 형상이 밑이 좁아지는 사다리꼴 형상인 내부 확대 홈(111a)이 두개 형성되어 있다. 또한, 레일(111)에는 그 양 외측면에 길이 방향(전후 방향)으로 신장하는 홈(111b)이 형성되어 있다. 활주 부재(112)는 금속제이면서 외부 그립 타입(outer grip type)으로 되어 있다. 즉, 활주 부재(112)는 정상벽(112a) 및 전후 수직벽(112b)이 있는 역 U자형으로 되고, 활주 부재(112)는 그 양 수직벽(112b)이 레일(111)의 양 외면을 둘러쌓음으로써 레일(111)에 부착된다. 활주 부재(112)의 양 수직벽(112b)은 전후의 중간 부분이 절결됨으로써 좌우 방향의 탄성이 커지고, 또한 그 높이의 중간 부분이 안쪽으로 굴곡됨으로써 내향의 돌기(113)가 형성된다. 그리고, 활주 부재(112)의 수직벽(112b)의 돌기(113)가 레일(111) 외측면의 홈(111b)에 끼워짐으로써, 활주 부재(112)는 길이 방향으로만 이동 가능하게 구성된다. 레일(111)의 상면과 활주 부재(112)의 정상벽(112a) 사이에는 판형의 스페이서(114)가 개재되고, 이음 부재(22)를 관통하는 수나사(26)도 또한 활주 부재(112)의 정상벽(112a)을 관통하며, 이 수나사(26)의 선단부가 스페이서(114)에 마련된 나사 구멍에 나사식으로 삽입됨으로써, 이음 부재(22)와 활주 부재(112)가 일체화 된다.

도 18은 제10 실시예를 도시한다. 도 18에 있어서, 라인 지지용 레일(111)은 제9 실시예의 것과 동일 형상이며, 활주 부재(122)가 금속제이면서 외부 그립 타입이라는 것과, 활주 부재(122)가 정상벽(122a) 및 전후 수직벽(122b)이 있는 역 U자형으로 되어 있고, 이음 부재(22)를 관통하는 수나사(26)가 또한 활주 부재(122)의 정상벽(122a)을 관통하며, 이 수나사(26)의 선단부가 스페이서(114)에 마련된 나사 구멍에 나사식으로 삽입됨으로써, 이음 부재(22)와 활주 부재(112)가 일체화되는 것도 또한 동일하다. 그리고, 이 실시예에 있어서, 활주 부재(122)의 양 수직벽(122b)에는 그 높이의 중간 부분에 내향으로 돌출하는 돌기(123)가 일체로 형성되고, 이 돌기(123)가 레일(111) 외측면의 홈(111b)에 끼워짐으로써, 활주 부재(112)가 길이 방향으로만 이동 가능하게 구성된다.

상기 제9 및 제10 실시예에 있어서, 활주 부재(112, 122)는 금속제가 아닌 고무제나 합성 수지제일 수도 있다. 고무제인 경우에는, 활주성을 확보하기 위해서 비점착성의 고무인 것이 바람직하고, 또한 금속제인 경우라도 테플론 가공 등의 활주성 향상을 위한 코팅을 실시하는 것이 보다 바람직하다.

도 19는 제11 실시예를 도시한다. 도 19에 있어서, 라인 지지용 레일(111)은 제9 실시예의 것과 동일 형상이지만, 활주 부재(131)는 레일(111)의 내부 확대 홈(111a)에 끼워지도록 구성된다. 즉, 활주 부재(131)는 고무제이며, 이음 부재(22)의 하면에 접촉하는 판형부(133)와, 판형부(133) 하면에 마련된 하방 돌출부(134)로 이루어진다. 하방 돌출부(134)는 그 하단부가 상방으로 빠지지 않도록 내부 확대 홈(111a) 내에 끼워 넣어지며, 레일(111)의 좌우 방향으로 변형되기 쉽도록 중공 형상으로 되어 있다. 레일(111)의 상면과 활주 부재(131)의 판형부(133) 사이에는 판형의 스페이서(132)가 개재되어 있다. 스페이서(132)는 활주 부재(112)의 하방 돌출부(134)가 상방으로부터 삽입 관통되는 사각형 관통 구멍(135)과, 수나사(137)를 하방으로부터 삽입 관통시키는 두개의 원형 관통 구멍(136)과, 레일(111) 내에 활주 가능하게 끼워 넣어지는 하방 돌출부(138)로 구성된다. 활주 부재(131)는 수나사(137)에 의해 스페이서(132)를 이음 부재(22)에 고정함으로써, 이음 부재(22)와 일체화된다. 또한, 활주 부재(131)는 고무제가 아닌 금속제나 합성 수지제로도 될 수 있다.

도 8에 도시하는 제4 실시예, 도 9에 도시하는 제5 실시예, 도 17에 도시하는 제9 실시예, 도 18에 도시하는 제10 실시예 및 도 19에 도시하는 제11 실시예에 있어서, 활주 부재(63, 71, 112, 122, 131)는 나사에 의해서 고정되지 않기 때문에 이동 가능하며, 나사에 의해 레일에 고정되는 고정 활주 부재〔예컨대 도 15의 활주 부재(102)〕와 병용되는 것이 바람직하다. 이 경우에, 가동 활주 부재(63, 71, 112, 122, 131)를 갖는 이음 부재(61, 61A, 22)는 고정 활주 부재(102)를 갖는 이음 부재(22)와 가동 활주 부재(63, 71, 112, 122, 131)를 갖는 이음 부재(61, 61A, 22)가 유체 제어 기기를 통해 접속됨으로써, 그 이동이 저지된다.

제7 내지 제11 실시예에서는, 라인의 변경이나 증설을 행할 때에, 기존에 설치된 라인(A, B)의 라인 지지용 레일(96, 101)을 필요에 따라서 활주시키고, 대체 또는 추가될 라인의 레일을 베이스 부재(91) 상에 부착하며, 이후 기존에 설치된 라인(A, B)의 라인 지지용 레일(96, 101)을 활주시켜 적정 위치로 복귀시킬 수 있으므로, 라인의 증설 및 변경을 더욱 용이하게 행할 수 있다.

또한, 제7 내지 제11 실시예에 있어서, 라인 지지용 레일(96, 101) 대신에 궤도를 갖지 않은 판재를 사용한 경우에도, 라인의 변경이나 증설을 행할 때 기존에 설치된 라인의 라인 지지용 판재를 필요에 따라서 활주시키고, 대체 또는 추가될 라인의 판재를 베이스 부재 상에 부착하며, 이후 기존에 설치된 라인의 판재를 활주시켜 적정 위치로 복귀시킬 수 있으므로, 라인의 증설 및 변경을 용이하게 행할 수 있다는 효과를 나타낼 수 있다.

본 발명에 따르면, 조립이 용이하고, 라인의 증설ㆍ변경에 용이하게 대응할 수 있는 유체 제어 장치가 제공된다.

Claims

하나의 라인이 상단에 배치된 복수의 유체 제어 기기와 하단에 배치된 복수의 이음 부재에 의해 형성되고, 복수의 라인이 그 입구 및 출구가 동일한 방향을 향하게 베이스 부재 상에 병렬로 배치되는 유체 제어 장치로서,

각 라인은 각각 하나의 라인 지지 부재에 부착되고, 라인 지지 부재는 라인과 직교하는 방향으로 활주 가능하게 베이스 부재에 장착되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제1항에 있어서, 상기 라인 지지 부재는 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착되는 레일로 되고, 각 이음 부재는 레일에 활주 가능하게 부착되며, 이들 이음 부재에 걸쳐 유체 제어 기기가 부착되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
하나의 라인이 상단에 배치된 복수의 유체 제어 기기와 하단에 배치된 복수의 이음 부재에 의해 형성되고, 복수의 라인이 그 입구 및 출구가 동일한 방향을 향하게 베이스 부재 상에 병렬로 배치되는 유체 제어 장치로서,

베이스 부재에 각 라인에 대응하는 궤도가 병렬로 설치되고, 각 이음 부재는 대응하는 궤도에 활주 가능하게 부착되며, 이들 이음 부재에 걸쳐 유체 제어 기기가 부착되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제3항에 있어서, 각 이음 부재에 대응하는 활주 부재가 궤도에 배치되고, 활주 부재와 이음 부재는 결합되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제3항에 있어서, 베이스 부재는 판형으로 되고, 궤도는 베이스 부재 상면의 홈에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제5항에 있어서, 암나사가 마련되고 홈 내에 배치되는 활주 부재와 이음 부재는 수나사 부재에 의해 결합되고, 활주 부재의 상방으로의 탈락을 방지하도록 홈의 개구 가장자리부에 탈락 방지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제4항에 있어서, 상기 궤도는 베이스 부재에 착탈 가능하게 부착된 레일에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제2항 또는 제7항에 있어서, 상기 레일은 내향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되고, 암나사가 마련되고 레일 내에 배치된 활주 부재와 이음 부재는 수나사 부재에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제6항에 있어서, 유체 제어 기기 사이에는 수나사 부재를 회전시키는 공구를 끼워 넣기 위한 간극이 마련되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제8항에 있어서, 레일에는 그 레일을 폭방향으로 둘로 분할하는 T자형의 중간벽이 설치되어, 활주 부재는 폭방향으로 둘로 분할되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 레일은 외향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되고, 활주 부재에는 레일의 외향 플랜지에 걸어 맞춰지는 레일 파지 갈고리가 마련되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 레일은 내향 플랜지가 있는 단면 U자형으로 형성되고, 활주 부재에는 레일의 내향 플랜지에 걸어 맞춰지는 레일 파지 갈고리가 마련되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제11항 또는 제12항에 있어서, 활주 부재에 암나사가 마련되고, 활주 부재와 이음 부재는 수나사 부재에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제11항 또는 제12항에 있어서, 활주 부재는 소정 위치에서 레일에 고정되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 레일은 연결 부재에 의해서 서로 연결되어 있는 것을 특징 으로 하는 유체 제어 장치.
제1항 또는 제3항에 있어서, 베이스 부재는 입구측 레일, 출구측 레일 및 양 레일을 서로 연결하는 연결 부재에 의해서 프레임 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 활주 부재는 역 U자형으로 형성되고, 이 활주 부재는 그 양 수직벽이 레일의 양 외면을 둘러쌓음으로써 레일에 부착되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제17항에 있어서, 레일의 양 외면에 길이 방향으로 신장하는 홈이 마련되고, 활주 부재의 양 수직벽에는 이 홈에 끼워지는 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 레일에는 상방으로 개방되고 길이 방향으로 신장하는 내부 확대 홈이 마련되고, 활주 부재는 이음 부재의 하면에 접촉하는 판형부와, 판형부 하면에 마련되어 하단부가 레일의 내부 확대 홈에 끼워 넣어진 하방 돌출부로 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 레일에는 상방으로 개방되고 길이 방향으로 신장하는 내부 확대 홈이 마련되고, 레일의 양 외면에는 길이 방향으로 신장하는 홈이 마련되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제7항에 있어서, 활주 부재에는 나사에 의하여 레일에 고정된 고정 활주 부재와, 고정되지 않는 가동 활주 부재가 있고, 고정 활주 부재를 갖는 이음 부재와 가동 활주 부재를 갖는 이음 부재가 유체 제어 기기를 통해 접속됨으로써, 가동 활주 부재를 갖는 이음 부재의 이동은 저지되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.