WO2005114016A1

WO2005114016A1 - ガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法

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Publication number: WO2005114016A1
Application number: PCT/JP2005/008694
Authority: WO
Inventors: Akihiro Takeichi; Tatsuhito Aoyama; Toshikazu Miwa; Akinori Nagaya
Original assignee: Ckd Corporation
Priority date: 2004-05-20
Filing date: 2005-05-12
Publication date: 2005-12-01
Also published as: TWI338755B; CN100408900C; JP4504368B2; JPWO2005114016A1; CN1957197A; TW200540353A; KR20070028428A; KR101074266B1

Abstract

　ラインを増設する際のガスユニットの取扱性がよいガス供給集積ユニット及びガスユニット増設方法を提供するために、ガスユニット１，２，Ａ～Ｅをレール３１，３２に取り付けたガス供給集積ユニットに、プロセスガス共通流路端部手動弁２８とパージガス共通流路端部手動弁２９を設け、レール３１，３２に形成したガイド溝３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂに、２個のボルト孔４７１，４７１が形成されたＴナット４５，４６，４７を摺動可能に装着し、増設する第６ガスユニットＦにプロセスガス共通流路端部手動弁２８と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁４１と、パージガス共通流路端部手動弁２９と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁４２とを設け、当該第６ガスユニットＦを貫通するボルトＶをボルト孔４７１に締結することにより第６ガスユニットＦをＴナット４７Ｆを介してレール３１，３２に取り付ける。

Description

明細書

ガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法

技術分野

[0001] 本発明は、半導体工程にプロセスガスを供給するため、プロセスガスを分岐して供給するガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法に関するものである。

背景技術

[0002] 半導体製造工場においては、プロセスガスはタンクに収納されクリーンルームの外に配置されている。そして、タンクから同じプロセスガスをクリーンルーム内の複数箇所に供給するために、プロセスガスを分岐して供給するガス供給装置が使用されている。その様なガス供給装置においては、プロセスガスを新たに必要とする箇所が生じた場合には、 1ライン増設する作業を行う必要がある。

図 13に、 3ラインの供給を行っているプロセスガス供給装置の回路図を示し、図 14 に、その回路を具体ィ匕した機器の設置状態を平面図で示す。プロセスガスエアオペレイトバルブ 107力プロセスガス供給口 108を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレイトバルブ 107は、プロセスガス共通流路 10 5を介して、第 2手動弁 103A, 103B, 103Cに接続している。

[0003] 第 2手動弁 103A, 103B, 103Cは、第 1手動弁 101A, 101B, 101Cに接続している。第 1手動弁 101A, 101B, 101Cの出口は、プロセスガス出口 100A, 100B, 100Cと連通されている。第 2手動弁 103A, 103B, 103Cと、第 1手動弁 101A, 10 IB, 101Cとの間の流路には、圧力計 102A, 102B, 102Cが連通されている。また、パージガス手動弁 110力パージガス供給口 111を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁 110は、逆止弁 109、パージガス共通流路 106を介して、第 3手動弁 104A, 104B, 104Cに接続している。第 3手動弁 10 4A, 104B, 104Cは、第 1手動弁 101A, 101B, 101Cに接続している。

プロセスガス共通流路 105の端部 105aは止め栓により封止されている。パージガス共通流路 106の端部 106aは、止め栓により封止されている。

[0004] 次に、図 13の 3ラインの回路に 1ライン増設する場合について説明する。図 13には、第 4ライン Dを右側に記載している。図 15に、増設後の回路図を示し、図 16に、その回路を具体ィ匕した機器の配置状態を平面図で示す。

第 4ラインを増設する工事手順を説明する。この工事中は、プロセスガスは供給できず、半導体製造工程も停止している必要がある。

始めに、プロセスガスエアオペレイトバルブ 107を閉弁状態とし、第 3手動弁 104A , 104B, 104Cを開弁状態とし、第 1手動弁 101A, 101B, 101Cを開弁状態とする。その状態で、パージガス手動弁 110を開弁する。これにより、プロセスガスエアオペレイトバルブ 107から第 1手動弁 101A, 101B, 101C内に残っているプロセスガスを窒素ガスであるパージガスと置換する。十分な時間をかけてガス置換を行った後、パージガス手動弁 110を閉弁する。

[0005] 次に、パージガス共通流路 106の端部 106aを封止している止め栓を外して、第 4ラインのパージガス共通流路の入口端部 106bと、配管 112により接続する。また、プロセスガス共通流路₁₀₅の端部 _105aを封止している止め栓を外して、第 4ラインのプロセスガス共通流路の入口端部 105bと、配管 113により接続する。

第 4ラインの機器の構成は第 1から第 3ラインの構成と同じなので説明を省略する。第 4ラインのパージガス共通流路 106の新たな端部 106cは、止め栓により封止されている。また、プロセスガス共通流路 105の新たな端部 105cは止め栓により封止されている。

次に、プロセスガス出口 100Dを図示しない必要な箇所と接続する。

これにより、第 4ラインの増設が終了する。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] し力しながら、従来のガス供給集積ユニットには、以下の問題があった。

(1)新たなガスラインの増設工事を行う場合、既存のガスラインを停止しなければならないため、半導体製造工程が停止するときにしか増設工事を行うことができな力つたまた、増設工事を終了した後においても、プロセスガス共通流路 105、及びパージガス共通流路 106の図 15に大気暴露部として斜線で示す部分が、大気に暴露されるため、大気中の水分が流路の内壁に付着する問題があった。すなわち、プロセスガスに水分が混入すると、プロセスガスの機能が不完全となる場合があり、第 4ラインを増設した後、パージガス共通流路 106よりパージガスを長時間流して、空気暴露した流路の水分を除去する必要があった力もである。実際に、数時間から数十時間のパージが行われていた。

[0007] (2)図 16に示すように余分な配管 112, 113を必要とするため、ガス供給集積ュ-ットが横方向に大きくなり、集積ィ匕による小型化の要請に反していた。また、第 4ラインは、ボルトにより、ベースプレート 120に取り付けられている力その位置あわせを配管 112, 113により調整する必要があり、配管工事に無駄な時間が力かる問題があつた。

[0008] この問題を解決するために、本出願人は、特開 2003— 382139号において、複数のガスユニットをレールに取り付けたガス供給集積ユニットに、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路手動弁とを設けるとともに、ガス供給集積ユニットに増設するガスユニットに、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを設け、半導体製造工程を停止させることなくガスユニットを短時間で増設する技術を提案した。

[0009] 力かるガス供給集積ユニットは、ガス供給装置に組み付ける際に壁面に取り付けられることがある。上記出願では、増設するガスユニットをレールに沿って所定位置までスライドさせ、ボルトで固定することを開示するものの、その際のガスユニットの取扱性について何ら考慮されていな力つた。ガス供給集積ユニットは、クリーンルームの外部に設置されるタンクに接続し、クリーンルーム内の複数箇所にプロセスガスを供給するため、半導体製造工場の壁面に取り付けられることが多い。各箇所にプロセスガスを供給するガスユニットは、例えば、ボルトを用いてレールに取り付けられている。そのため、ラインを増設する場合には、ガスユニットを所定位置に位置合わせした後、一方の手でガスユニットを押さえて位置ずれを防ぎつつ、他方の手でボルトを締結しなければならず、ガスユニットを取り扱いにくかった。 [0010] そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ラインを増設する際のガスユニットの取扱性がよいガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0011] 本発明に係るガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法は、次のような構成を有している。

(1)出口流路に設けられた第 1手動弁と、該第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 2手動弁と、該第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにお、て、 (_a)プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、 (b)ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも 2個のボルト孔が形成された取付部材がガイド溝に摺動可能に装着されており、（c)増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられていることを特徴とする。

[0012] (2) (1)に記載の発明において、取付部材は、ガスユニットのピッチ幅と同一幅を有することを特徴とする。

[0013] (3)出口流路に設けられた第 1手動弁と、該第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 2手動弁と、該第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにお、て、 (_a)プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、 (b)増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（C)増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、増設するガスユニットの端部から着脱されるものであることを特徴とする

[0014] (4) (3)に記載の発明において、高さ調整手段は、先端部に傾斜が設けられていることを特徴とする。

[0015] (5)出口流路に設けられた第 1手動弁と、該第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 2手動弁と、該第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットに、ガスユニットを増設するガスュ- ットの増設方法において、（a)ガス供給集積ユニットが、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、 (b)ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールにガスユニットが取り付けられ、増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、（c)レールにガイド溝が形成され、少なくともガスュニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、位置決め治具を介して増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、増設するガスユニットを取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、ガス供給集積ユニットと増設するガスユニットとを結合するとともに、増設するガスユニットを取付部材に取り付け、位置決め治具を取り外すことを特徴とする。

[0016] (6) (5)に記載の発明において、取付部材は、ボルト孔が少なくとも 2個形成され、増設するガスユニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも 2個形成され、貫通孔に貫き通したボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられるものであって、位置決め治具を取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、増設するガスユニットの貫通孔に位置決め治具を挿通することにより増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、増設するガスユニットの位置決め治具が挿通されていない貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結してから、位置決め治具を取付部材のボルト孔力取り外し、さらにその後、位置決め治具が挿通していた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結することを特徴とする。

発明の効果

[0017] 続いて、上記構成を有する発明の作用効果について説明する。

ガス供給集積ユニットのガスユニットは、ガスユニットのガスの流れと直角に交差して複数設置されるレールに取り付けられている。ガス供給集積ユニットは、例えば、ガスユニットのガスの流れが垂直となるように壁面に取り付けられ、ガス供給装置に組み込まれている。

ガス供給集積ユニットは、通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、閉弁状態にある。そして、ガス供給集積ユニットは、新しいラインを増設する場合にも、少なくともパージ終了までは、プロセスガス共通流路端部手動弁及びパージガス共通流路端部手動弁とが閉弁されている。

[0018] レールにはガイド溝が形成されており、ラインを増設する場合には、例えば、ガスュニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着する。各取付部材には、複数 (ここでは、 2個として説明する）のボルト孔が形成されている。そこで、各取付部材の一方のボルト孔に位置決め治具を取り付け、増設するガスユニットのボルトが貫通する貫通孔に位置決め治具を貫き通す。これにより、増設するガスユニットは、位置決め治具により取付部材に対して位置決めされるとともに、位置決め治具と取付部材を介してレールに保持される。そのため、増設するガスュニットから両手を離して、増設作業を行うことが可能である。

[0019] それから、増設するガスユニットを取付部材と一体的にレールに沿って移動させ、増設するガスユニットのプロセスガス共通流路の入口端部を既設のプロセスガス共通流路の出口端部と接続する位置に、増設するガスユニットのパージガス共通流路の入口端部を既設のパージガス共通流路の出口端部と接続する位置に移動させる。このとき、例えば、取付部材がガスユニットのピッチ幅と同一幅を有する場合には、増設するガスユニットの取付部材が既設のガスユニットの取付部材に当接するまで増設するガスユニットを移動させれば、ピッチ幅を所定値に容易に設定することができる。

[0020] ここで、例えば、既設のガスユニットが高さ調整手段によって高さ調整されている場合、増設するガスユニットを高さ調整手段によって高さ調整しなければ、増設するュニットと既設のガスユニットとは高さが異なる。この場合、増設ガスユニットは、既設のガスユニットと干渉することなぐプロセスガス共通流路端部手動弁の出口まで、また

、パージガス共通流路端部手動弁の出口まで移動することができる。

増設するガスユニットを所定位置まで移動させたら、既設のガスユニットに増設するガスユニットをボルトなどで仮止めして結合する。また、増設するガスユニットの空いている貫通孔にボルトを貫き通し、取付部材のボルト孔に仮止めする。その後、位置決め治具をレールから取り外して増設するガスユニットの貫通孔力抜き出し、さらに空いた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に仮止めする。

[0021] ガス供給集積ユニットに増設するガスユニットを結合するときに、増設するガスュ- ットが既設のガスユニットにならって上昇するため、増設するガスユニットの下面とレールの上面との間に隙間ができる。そこで、増設するガスユニットの端部から高さ調整部材を挿入する。このとき、高さ調整部材の先端部に傾斜を設けておけば、高さ調整部材を増設するガスユニットとレールとの間に挿入しやすい。増設するガスユニットは、高さ調整部材によってレール力も所定量持ち上げられ、既設のガスユニットの高さに合わせられる。これにより、増設するガスユニットのプロセスガス共通流路の入口端部がプロセスガス供給端部手動弁の出口と接続し、パージガス共通流路の入口端部がパージガス共通流路端部手動弁の出口と接続するので、仮止めしていたボルトを増し締めする。

[0022] 以上のように増設工事が完了したら、増設したガスユニットのプロセスガス共通流路端部手動弁とパージガス共通流路端部手動弁とを閉弁状態として、第 2手動弁を開弁状態とし、第 1手動弁及び第 3制御弁とを開弁状態として、増設したガスユニット〖こ隣接する既設のガスユニットのパージガス共通流路端部手動弁を開弁する。

これにより、増設したガスユニット内にパージガスを流してガスユニット内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、増設したガスユニットの第 3制御弁を閉じ、第 2手動弁を開くことにより、増設したガスユニットにプロセスガスを供給することができる。

[0023] 従って、本発明のガス供給集積ユニットによれば、（a)プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、 (b)ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも 2個のボルト孔が形成された取付部材がガイド溝に摺動可能に装着されており、（c)増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられているので、取付部材のボルト孔を増設するガスユニットに位置合わせする工数が減少し、ライン増設時のガスユニットの取扱性ががよい。

この場合に、取付部材がガスユニットのピッチ幅と同一幅を有すれば、増設するガスユニットと既設のガスユニットとのピッチ幅を容易に設定することができる。

[0024] また、本発明のガス供給集積ユニットによれば、（a)プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（b)増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、 (c)増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、増設するガスユニットの端部力も着脱されるものであるので、増設するガスユニットの高さ調整を容易に行うことができ、ライン増設時のガスユニットの取扱性がょ、。

この場合に、高さ調整手段の先端部に傾斜が設けられていれば、高さ調整手段を簡単に着脱することができる。

[0025] また、本発明のガスユニットの増設方法によれば、（a)ガス供給集積ユニットが、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、 (b)ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールにガスユニットが取り付けられ、増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、（C)レールにガイド溝が形成され、少なくともガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、位置決め治具を介して増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、増設するガスユニットを取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、ガス供給集積ユニットと増設するガスユニットとを結合するとともに、増設するガスユニットを取付部材に取り付け、位置決め治具を取り外すので、両手で増設作業を行うことができ、ライン増設時のガスユニットの取扱性がよい。

[0026] また、この場合に、取付部材はボルト孔を少なくとも 2個形成され、増設するガスュニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも 2個形成され、貫通孔に貫き通したボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられるものであって、位置決め治具を取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、増設するガスユニットの貫通孔に位置決め治具を挿通することにより増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、増設するガスユニットの位置決め治具が挿通されていない貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結してから、位置決め治具を取付部材のボルト孔から取り外し、さらにその後、位置決め治具が挿通していた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結すれば、位置決め治具により取付部材のボルト孔と増設するガスユニットの貫通孔とを位置合わせし、両手を使ってボルトを取付部材のボルト孔に締結することが可能となり、ライン増設作業を簡単且つ短時間に行うことができる。

図面の簡単な説明

[0027] [図 1]本発明の実施の形態に係り、ガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である

[図 2]同じぐガス供給集積ユニットの構成を示す平面図である。

[図 3]同じぐガス供給集積ユニットの一部拡大平面図である。 [図 4]同じぐガス供給集積ユニットの側面図である。

[図 5]同じぐガス供給集積ユニットの平面図であって、取付部材を取り付ける手順を示す。

[図 6]同じぐ取付部材の取付構造を説明する図である。

圆 7]同じぐガス供給集積ユニットの平面図であって、増設するガスユニットを位置決め保持する手順及び増設するガスユニットを移動する手順を示す。

[図 8]同じぐガス供給集積ユニットの側面図であって、増設するガスユニットを位置決め保持する手順及び増設するガスユニットを移動する手順を示す。

[図 9]同じぐガス供給集積ユニットの側面図であって、仮止め手順を示す。

圆 10]同じぐガス供給集積ユニットの側面図であって、高さ調整手順を示す。

圆 11]同じぐガス供給集積ユニットの平面図であって、高さ調整手順を示す。

圆 12]同じぐガス供給集積ユニットの平面図であって、増し締め手順を示す図である。

圆 13]従来のガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。

[図 14]図 13を具体化した構成を示す平面図である。

圆 15]従来の増設後ガス供給集積ユニットを示す回路図である。

[図 16]図 15を具体化した構成を示す平面図である。

符号の説明

1 プロセスガス用ガスユニット

2 パージガス用ガスユニット

A, B, C, D, E ガスユニット

F 増設するガスユニット

16 プロセスガス共通流路

16a 端部

17A, 17B, 17C, 17D, 17E 第 2手動弁

18A, 18B, 18C, 18D, 18E 第 1手動弁

26 パージガス共通流路

26a 端部 27A, 27B, 27C, 27D, 27E 第 3エアオペレイ卜ノレブ

28 プロセスガス共通流路端部手動弁

29 パージガス共通流路端部手動弁

41 プロセスガス共通流路端部手動弁

42 パージガス共通流路端部手動弁

47F Tナット

471 ボノレ卜孑し

37F 第 6ユニット固定板

371 貫通孔

52F スぺーサ

522 傾斜

55 インストーラ

発明を実施するための最良の形態

次に、本発明に係るガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法の一実施の形態について図面を参照して説明する。図 1は、既設の 5ラインへプロセスガスの供給を行っているガスユニット A, B, C, D, E力なるガス供給集積ユニットの回路図、及びそれに増設するための第 6ガスユニット Fの回路図とを示す。なお、図 1では、ガスユニット A〜Dの回路が同様であるため、ガスユニット B, C, Dを省略し、第 1,第 5 ガスユニット A, Eのみを図示している。

プロセスガス手動弁 11は、プロセスガス供給口 12を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガス手動弁 11は、圧力計 13、エアオペレイトバルブ 1 4、逆止弁 15、プロセスガス共通流路 16を介して、ガスユニット A〜Eの第 2手動弁 1 7A, 17B, 17C, 17D, 17Eの一方のポートに接続している。

第 2手動弁 17A, 17B, 17C, 17D, 17Eの他ポー卜は、第 1手動弁 18A, 18B, 1 8C, 18D, 18Eに接続している。第 1手動弁 18A, 18B, 18C, 18D, 18Eの出口ポートは、プロセスガス出口 19A, 19B, 19C, 19D, 19Eと連通されている。第 2手動弁 17A, 17B, 17C, 17D, 17Eと、第 1手動弁 18A, 18B, 18C, 18D, 18Eとを連通させている流路には、圧力計 20A, 20B, 20C, 20D, 20Eとレギユレータ 21A, 2 IB, 21C, 21D, 21Eが連通されている。

[0030] また、パージガス手動弁 22が、パージガス供給口 23を介して図示しな!、パージガスタンクと接続している。パージガス手動弁 22は、圧力計 24、エアオペレイトバルブ 2

5、パージガス共通流路 26を介して、第 3エアオペレイトバルブ（「第 3制御弁」に相当するもの。） 27A, 27B, 27C, 27D, 27Eの一方のポート【こ接続して!/ヽる。第 3エアオペレイトバルブ 27A, 27B, 27C, 27D, 27Eの他のポートは、第 1手動弁 18A, 1

8B, 18C, 18D, 18E【こ接続して!/、る。

プロセスガス共通流路 16の端部 16aは、プロセスガス共通流路端部手動弁 28により封止されている。また、パージガス共通流路 26の端部 26aは、パージガス共通流路端部手動弁 29により封止されて、る。

[0031] 図 2に、その回路を具体ィ匕した機器の設置状態を平面図で示す。図 3に、ガス供給集積ユニットの第 4,第 5ガスユニット D, Eの拡大平面図を示す。図 4は、ガス供給集積ユニットの側面図である。

図 2に示すように、 2本のレーノレ 31, 32力両端をレーノレ固定棒 33, 34により平行に固定されている。レール 31, 32には、図 2及び図 3に示すように、ユニット固定板 3 5, 36, 37A, 37B, 37C, 37D, 37E力 ^横方向に平行移動可會に取り付けられている。ュニッ卜固定板 35, 36, 37A, 37B, 37C, 37D, 37Eに各種流体 ffilj御機器力 S 取り付けられて、プロセスガス用ガスユニット 1、パージガス用ガスユニット 2、第 1〜第 5ガスユニット A〜Eが構成されて!、る。

[0032] レーノレ 31, 32には、ガイド溝 31a, 31b, 32a, 32b力形成されている。レーノレ 31のガイド溝 31bとレール 32のガイド溝 32aには、 Tナット（「取付部材」に相当するもの。） 45, 46, 47A, 47B, 47C, 47D, 47E力摺動可會に装着されている。ガスユニット 1, 2, A〜Eは、ュ-ッ卜固定板 35, 36, 37A, 37B, 37C, 37D, 37E力ナツ卜 45 , 46, 47A, 47B, 47C, 47D, 47Eに固定され、隣り合うガスユニット同士力連結した状態でレール 31, 32に保持されている。

[0033] 図 2に示すように、プロセスガス用ユニット固定板 35には、プロセスガス手動弁 11、圧力計 13、エアオペレイトバルブ 14、逆止弁 15が固定され、それら力少し右側にずれた位置にプロセスガス用流路ブロック 161が固定されて!/ヽる。パージガス用ユニット固定板 36には、パージガス手動弁 22、圧力計 24、エアオペレイトバルブ 25が固定され、それら力少し右側にずれた位置にパージガス用流路ブロック 261とプロセスガス用流路ブロック 161が固定されて!/、る。

[0034] 第 1〜第 4ガスユニット A〜Dは同一構造をなすので、ここでは、図 3を参照して第 4 ガスユニット Dの説明をし、第 1〜第 3ガスユニット A〜Cについては説明を省略する。第 4ユニット固定板 37Dには、上から第 1手動弁 18D、圧力計 20D、レギユレータ 21 D、第 3エアオペレイトバルブ 27D、第 2手動弁 17Dが固定され、それら力も少し右にずれた位置にパージガス用流路ブロック 261とプロセスガス用流路ブロック 161が固定されている。

第 5ユニット固定板 37Eには、上から第 1手動弁 18E、圧力計 20E、レギユレータ 2 1E、第 3エアオペレイトバルブ 27E、第 2手動弁 17E、そして、第 4ガスユニット Dのプロセスガス用流路ブロック 161を避けて少し右側にずれた位置に既設プロセスガス共通流路端部手動弁 28が固定されている。また、第 4ガスユニット Dのパージガス用流路ブロック 261を避けて少し右側にずれた位置に既設のパージガス共通流路端部手動弁 29が固定されている。

[0035] これらのガスユニット 1, 2, A〜Eは、プロセスガス用流路ブロック 161同士、及び、第 4ガスユニット Dのプロセスガス用流路ブロック 161と第 5ガスユニット Eのプロセスガス用流路端部手動弁 28がプロセスガス用継手ブロック 61 (例えば、図 3参照）を介して相互に連通し（図 2参照）、プロセスガス共通流路 16 (図 1参照）を構成する。

また、ガスユニット 1, 2, A〜Eは、パージガス用流路ブロック 261同士、及び、第 4 ガスユニット Dのパージガス用流路ブロック 261と第 5ガスユニット Eのパージガス共通流路端部手動弁 29がパージガス用継手ブロック 62 (例えば、図 3参照）を介して相互に連通し（図 2参照）、パージガス共通流路 26 (図 1参照）を構成する。

なお、図 4【こ示すよう【こ、ユニット固定板 35, 36, 37A, 37B, 37C, 37D, 37Eの下面とレール 31, 32の上面との間には、スぺーサ（「高さ調整手段」に相当するもの。）50, 51, 52A, 52B, 52C, 52D, 52Eカ己設され、各ラインの高さを調整している。

[0036] それらの既設ガスユニットと別に、図 2に示すように、増設する第 6ガスユニット Fが第 6ユニット固定板 37F上に固定されている。すなわち、第 6ユニット固定板 37Fには、上から第 1手動弁 18F、圧力計 20F、レギユレータ 21F、第 3エアオペレイトバルブ 27F、第 2手動弁 17F、そして少し右側にずれた位置に既設のプロセスガス共通流路端部手動弁 28と別のプロセスガス共通流路端部手動弁 41と、既設のパージガス共通流路端部手動弁 29と別のパージガス共通流路端部手動弁 42が固定されている。また、プロセスガス共通流体端部手動弁 41とパージガス共通流路端部手動弁 42 に隣接して、プロセスガス用継手ブロック 61とパージガス用流路ブロック 62が固定されている。

[0037] 次に、上記ガス供給集積ユニットに第 6ガスユニット Fを増設する手順について図 5 〜図 12を参照して説明する。なお、本実施の形態では、第 5ガスユニット Eと第 6ガスユニット Fとを結合してラインを増設するため、各平面図及び側面図には、第 5,第 6 ガスユニット E, Fを図示し、その他のガスユニットなどは適宜省略することにする。

[0038] 先ず、図 5に示すように、レール 31, 32に Tナット 47Fを 1個ずっ摺動可能に装着する。 Tナット 47Fをレール 31, 32に装着する方法は同様であるので、ここではレール 31につ!/、てのみ説明する。

レール 31のガイド溝 31a, 31bは、図 6に示すように、断面略三角形状のレール溝と、レール溝より小さい幅でレール 31の上面に開口する開口部と力もなる。 Tナット 4 7Fは、ガスユニットのピッチ幅と同一幅 Wを有する棒状のものであって、ガイド溝 31a , 3 lbのレール溝に対応して断面略三角形状に形成されている。 Tナット 47Fには、第 6ユニット固定板 37Fに形成された貫通孔 371, 371 (図 2参照）に対応する位置にボルト孔 471, 471が形成されている。ボルト孔 471は、内周に雌ネジが形成されている。 Tナット 47Fは、ボルト孔 471, 471が形成された側面をレール 31の開口部に対して傾けた状態でガイド溝 3 lbの開口部上方カゝらレール溝へと挿入され、ボルト孔 471, 471がガイド溝 31bの開口部から見えるようにガイド溝 31bのレール溝内に収納されると、縁部がガイド溝³ lbの開口部に係止されるため、レール 31にスライド可能に保持される。

[0039] 次に、図 5に示すように、 Tナット 47Fのボルト孔 471, 471の一方にインストーラ（「位置決め治具」に相当するもの。） 55をそれぞれ取り付ける。インストーラ 55は、先端部に雄ネジ 551が設けられ、その先端部をレール 31のガイド溝 3 lbから挿入して Tナット 47Fのボルト孔 471にねじ込むことにより Tナット 47Fに取り付けられる。インスト一ラ 55, 55は、対角位置になるように Tナット 47F, 47Fに取り付けられる。

[0040] それから、図 7及び図 8に示すように、第 6ガスユニット Fをインストーラ 55を介して位置決め保持する。ユニット固定板 37Fには、 Tナット 47Fに締結されるボルト Vを貫き通すための貫通孔 371が四隅に形成されており、その貫通孔 371にインストーラ 55 を挿入する。インストーラ 55は、第 6ユニット固定板 37Fの対角位置に挿通され、第 6 ガスユニット Fを第 5ガスユニット Eに対して平行に配置する。これにより、第 6ガスュ- ット Fは、ユニット固定板 37Fを介して Tナツト 47Fに対して位置合わせされるとともに、 Tナット 47Fを介してレール 31, 32に保持される。そのため、例えば、ガス供給集積ユニットが壁面に取り付けられている場合でも、第 6ガスユニット Fがインストーラ 55, 5 5に引っかけられてレール 31, 32から脱落せず、増設作業の作業者はガス供給集積ユニット及び第 6ガスユニット Fから両手を離すことができる。

[0041] 次に、図 7に示すように、第 6ガスユニット Fを既設の第 5ガスユニット E側（図中矢印 M方向）に移動させる。第 6ガスユニット Fと Tナット 47Fとはインストーラ 55, 55を介して連結しているため、第 6ガスユニット Fを Tナット 47Fと一体的にレール 31, 32に沿つて簡単に平行移動させることができる。

[0042] ここで、第 6ガスユニット Fは、プロセスガス用継手ブロック 61が第 3エアオペレイトバルブ 27Fを介してプロセスガス共通流路端部手動弁 41と連通して、る。プロセスガス用継手ブロック 61には入口端部 61aが上向きに開口している。一方、第 5ガスュ-ット Fのプロセスガス共通流路端部手動弁 28には出口端部 28bが下向きに開口している。よって、プロセスガス用継手ブロック 61の入口端部 61aとプロセスガス共通流路端部手動弁 28の出口端部 28bとを上下方向から接続すれば、プロセスガス共通流路 16をプロセスガス共通流路端部手動弁 41まで延長することができる。

また、第 6ガスユニット Fは、パージガス用継手ブロック 62が第 2手動弁 17Fを介してパージガス共通流路端部手動弁 42と連通して、る。パージガス用継手ブロック 62 には入口端部 62aが上向きに開口している。一方、第 5ガスユニット Fのパージガス共通流路端部手動弁 29には出口端部 29bが下向きに開口している。よって、パージガス用継手ブロック 62の入口端部 62aとパージガス共通流路端部手動弁 29の出口端部 29bとを上下方向力も接続すれば、パージガス共通流路 26をパージガス共通流路端部手動弁 42まで延長することができる。

[0043] 第 6ガスユニット Fを平行移動させるとき、第 5ガスユニット Eは、図 7及び図 8に示すように、第 5ユニット固定板 37Eとレール 31, 32との間にスぺーサ 52Eが配設されている。一方、第 6ガスユニット Fは、第 6ユニット固定板 37Fとレール 31, 32との間にスぺーサ 52Fが配設されていない。従って、第 6ガスユニット Fは、ちょうどスぺーサ 52 Eの厚さ分 Hだけ第 5ガスユニット Eより低い位置にある。そのため、第 6ガスユニット F は、プロセスガス用継手ブロック 61とパージガス用継手ブロック 62が第 5ガスユニット Eのプロセスガス共通流路端部手動弁 28とパージガス共通流路端部手動弁 29に干渉することなく平行移動することができ、プロセスガス用継手ブロック 61の入口端部 6 laとプロセスガス共通流路端部手動弁 28の出口端部 28bとのシール面、及び、パージガス用継手ブロック 62の入口流路 62aとパージガス共通流路端部手動弁 29の出口端部 29bとのシール面が傷つかない。

[0044] また、 Tナット 47F力ガスユニットのピッチ幅と同一幅 Wであるため、 Tナット 47Fが第 5ガスユニット Eの Tナット 47Eに当接するまで第 6ガスユニット Fをスライドさせれば、第 5ガスユニット Eと第 6ガスユニット Fのピッチ幅を所定値に容易に設定することができる。

[0045] このようにして第 6ガスユニット Fを所定位置、すなわち、第 6ガスユニット Fのプロセスガス共通流路の入口端部 61aを第 5ガスユニット Eのプロセスガス共通流路 16の出口端部 28bに対して真下の位置に、また、第 6ガスユニット Fのパージガス共通流路の入口端部 62aを第 5ガスユニット Eのパージガス共通流路 26の出口端部 29bに対して真下の位置にそれぞれ移動させたら、図 9に示すように、インストーラ 55, 55はそのままにして、ユニット固定板 37Fの空、て!/、る貫通孔 371にボルト Vを貫き通して T ナット 47Fのボルト孔 471にそれぞれ仮止めする。つまり、第 6ガスユニット Fの対角位置をボルト Vで仮止めする（図中 XI部、 X2部参照)。その後、第 5ガスユニット Eのプロセスガス共通流路端部手動弁 28と第 6ガスユニット Fのプロセスガス用継手ブロック 61とをボルト Vで仮止めするとともに（図中 X3部参照）、第 5ガスユニット Eのパージガス共通流路端部手動弁 29と第 6ガスユニット Fのパージガス用継手ブロック 62とをボルト Vで仮止めする（図中 X4部参照)。

[0046] このとき、第 6ユニット固定板 37Fと Tナット 47Fは、インストーラ 55により対角位置を位置決めされており、両手を離した状態でも貫通孔 371とボルト孔 471が重なり合つている。そのため、増設作業の作業者は、両手を使ってボルト Vを第 6ユニット固定板 37Fの貫通孔 371から Tナット 47Fのボルト孔 471へと貫き通し、ボルト Vをドライバなどで回転させることが可能となり、簡易かつ短時間にボルト Vを仮止めすることができる。なお、第 5ガスユニット Eのプロセスガス共通流路端部手動弁 28に形成されたボルト孔と第 6ガスユニット Fのプロセスガス用継手ブロック 61に形成されたボルト孔、及び、第 5ガスユニット Eのパージガス共通流路端部手動弁 29に形成されたボルト孔と第 6ガスユニット Fのパージガス用継手ブロック 62に形成されたボルト孔も重なり合つており、作業者は両手を使ってボルト Vを仮止めすることができる。

第 6ガスユニット Fは、ボルト Vをボルト孔 471にねじ込んで仮止めする際、ネジ送りによって第 5ガスユニット Eに倣って上昇し、図 10の側面図に示すように、第 6ユニット固定板 37Fの下面とレール 31, 32の上面との間にスペース Sができる。

[0047] それから、インストーラ 55, 55を Tナット 47F, 47Fから取り外して、ユニット固定板 3 7Fの貫通孔 371から抜き出す。そして、空いた貫通孔 371にボルト Vを貫き通し、 T ナット 47F, 47Fのボルト孔 471, 471に仮止めする。このように、第 6ガスユニット Fは、第 6ユニット固定板 37Fの対角位置を順次仮止めされるので、仮止め時に傾いて第 5ガスユニット Eと拗れることがな、。

[0048] そこで、図 10及び図 11に示すように、スぺーサ 52Fを第 6ガスユニット Fの両端部にそれぞれ配設し、第 6ガスユニット Fの高さを調整する。スぺーサ 52Fは、ボルト Vを避けるように切り欠き 521が設けられ、その先端部に傾斜 522が形成されている。スぺーサ 52Fは、ユニット固定板 37Fの端部力も第 6ガスユニット Fのガスの流れに沿つて図中矢印 N方向にユニット固定板 37Fの下面とレール 31, 32の上面との間にそれぞれ揷入される。これにより、第 6ガスユニット Fは、スぺーサ 52F, 52Fの厚さ分だけレール 31, 32から持ち上げられ、第 6ガスユニット Fのプロセスガス用継手ブロック 61 に形成された入口端部 6 laが第 5ガスユニット Eのプロセスガス共通流路端部手動弁 28に形成された出口端部 28bに、また、第 6ガスユニット Fのパージガス用継手ブロック 62に形成された入口端部 62aが第 5ガスユニット Eのパージガス共通流路端部手動弁 29に形成された出口端部 29bに接続する。

[0049] この状態で図 12に示すように、第 6ガスユニット Fを仮止めしていたボルト Vをそれぞれ増し締めし（図中 X5, X6, X7, X8部参照）、第 6ガスユニット Fを第 5ガスュ-ット Eと Tナット 47Fに固定する。なお、この場合にも、第 6ガスユニット Fは、傾きを防止するために、第 6ユニット固定板 37Fの対角位置を順次増し締めすることが望ましい。これにより、既設のプロセスガス共通流路端部手動弁 28と増設したプロセスガス共通流路端部手動弁 41とが連通するとともに、既設のパージガス共通流路端部手動弁 2 9と増設したパージガス共通流路端部手動弁 42とが連通する。

[0050] 以上により、第 6ガスユニット Fの増設工事は終了する。次に、第 6ガスユニット Fの新たなプロセスガス共通流路端部手動弁 41とパージガス共通流路端部手動弁 42とを閉弁状態とし、第 2手動弁 17Fを閉弁状態とし、第 1手動弁 18F及び第 3エアオペレイトバルブ 27Fとを開弁状態として、第 5ガスユニット Eのパージガス共通流路端部手動弁 29を開弁する。

これにより、第 6ガスユニット F内にパージガスを流して、第 6ガスユニット F内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第 3ェァオペレイトバルブ 27Fを閉じ、第 2手動弁 17Fを開くことにより、第 6ガスライン Fにプロセスガスを供給することができる。

[0051] 従って、本実施の形態のガス供給集積ユニットによれば、（a)プロセスガス共通流路 16の端部 16aと連通するプロセスガス共通流路端部手動弁 28と、パージガス共通流路 26の端部 26aと連通するパージガス共通流路端部手動弁 29とを有し、 (b)ガスユニット 1, 2, A〜Eのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニット 1, 2, A〜E力 S取り付けられるレーノレ 31, 32にガイド溝 3 la, 31b, 32a, 32b力 S形成され、 2個のボルト孔 471, 471が形成された Tナット 47Fがガイド溝 31b, 32aに摺動可能に装着されており、（c)増設する第 6ガスユニット Fが、プロセスガス共通流路端部手動弁 28と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁 41と、パージガス共通流路端部手動弁 29と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁 42とを有し、当該第 6ガスユニット Fを貫通するボルト Vをボルト孔 471に締結することにより Tナット 47Fに取り付けられているので、 Τナット 47Fのボルト孔 471, 471を第 6ユニット固定板 37Fの貫通孔 371, 371に位置合わせする工数が減少し、ライン増設時のガスュニット Fの取扱'性ががよい。

[0052] すなわち、 Τナットにボルト孔を 1個だけ形成する場合には、 4個の Τナットをユニット固定板の貫通孔にそれぞれ位置合わせしなければならないが、本実施の形態のように Τナット 47Fにボルト孔 471を 2個設ければ、一方のボルト孔 471を貫通孔 371に位置合わせすると、他方のボルト孔 471が自動的に他の貫通孔 371に位置合わせされる。そのため、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、第 6ユニット固定板 37Fの貫通孔 371を Τナット 71Fのボルト孔 471に簡単に位置合わせし、第 6ガスユニット F をガス供給集積ユニットに取り付けることができる。

し力も、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、 Τナット 47Fがガスユニット Α〜Ε のピッチ幅と同一幅を有するので、第 6ガスユニット Fと第 5ガスユニット Εとのピッチ幅を容易に設定することができる。

[0053] また、本実施の形態のガス供給集積ユニットによれば、（a)プロセスガス共通流路 1 6の端部 16aと連通するプロセスガス共通流路端部手動弁 28と、パージガス共通流路 26の端部 26aと連通するパージガス共通流路端部手動弁 29とを有し、 (b)増設する第 6ガスユニット F力プロセスガス共通流路端部手動弁 28と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁 41と、パージガス共通流路端部手動弁 29と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁 42とを有し、 (c)第 6ガスユニット Fを第 5ガスュ- ット Eと接続するためのスぺーサ 52F力第 6ガスユニット Fの端部力も着脱されるものであるので、第 6ガスユニット Fの高さ調整を容易に行うことができ、ライン増設時のガスユニット Fの取扱'性がよヽ。

し力も、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、スぺーサ 52Fの先端部に傾斜 5 22が設けられて!/、るので、スぺーサ 52Fを簡単に第 6ガスユニット Fの下面とレール 3 1, 32の上面との間に着脱することができる。

[0054] さらに、本実施の形態のガスユニットの増設方法によれば、（_a)ガス供給集積ュ-ットが、プロセスガス共通流路 16の端部 16aと連通するプロセスガス共通流路端部手動弁 28と、パージガス共通流路 26の端部 26aと連通するパージガス共通流路端部手動弁 29とを有し、（b)ガスユニット 1, 2, A〜Eのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレール 31, 32にガスユニット 1, 2, A〜Eが取り付けられ、増設する第 6ガスユニット F力プロセスガス共通流路端部手動弁 28と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁 41と、パージガス共通流路端部手動弁 29と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁 42とを有しており、（c)レール 31, 32にガイド溝 31 a, 31b, 32a, 32b力 S形成され、ガスユニット 1, 2, A〜Eの両端咅に設置されるレール 31, 32のガイド溝 31b, 32aに Tナット 47Fをそれぞれ摺動可能に装着し、各 Tナット 47Fにインストーラ 55を取り付けた後、インストーラ 55を介して第 6ガスユニット Fを各 Tナット 47Fに対して位置決め保持し、その後、第 6ガスユニット Fを Tナット 47Fと一体的に所定位置まで移動させてから、第 5ガスユニット Eと第 6ガスユニット Fとを結合するとともに、第 6ガスユニット Fを Tナット 47Fに取り付け、インストーラ 55を取り外すので、両手で増設作業を行うことができ、ライン増設時のガスユニット Fの取扱性がよい。このことは、特に、ガス供給集積ユニットを壁面に取り付ける場合に有効であるし力も、この場合に、 Tナット 47Fは 2個のボルト孔 471, 471を形成され、第 6ガスユニット Fの第 6ユニット固定板 37Fは、ボルト Vが貫通する貫通孔 371, 371が両端部に 2個ずつ形成され、貫通孔 371に貫き通したボルト Vを Tナット 47Fのボルト孔 4 71に締結することにより Tナット 47Fに取り付けられるものであって、インストーラ 55を Tナット 47Fのボルト孔 471, 471の一方にねじ込んで取り付けた後、第 6ユニット固定板 37Fの貫通孔 371にインストーラ 55を揷通することにより第 6ガスユニット Fを位置決め保持し、その後、第 6ガスユニット Fのインストーラ 55が揷通されていない貫通孔 371にボルト Vを貫き通して Tナット 47Fのボルト孔 471に締結してから、インスト一ラ 55を Tナット 47Fのボルト孔 471から取り外し、さらにその後、インストーラ 55が揷通して、た貫通孔 371にボルト Vを貫き通して Tナット 47Fのボルト孔 471に締結するので、インストーラ 55により Tナット 47Fのボルト孔 471と第 6ユニット固定板 37Fの貫通孔 371とを位置合わせし、両手を使ってボルト Vを Tナット 47Fのボルト孔 471に締結することが可能となり、ライン増設作業を簡単且つ短時間に行うことができる。 [0056] 尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。

[0057] 例えば、上記実施の形態では、 Tナット 47に 2個のボルト孔 471, 471を設けるとともに、ユニット固定板 37の両端部に貫通孔 371を 2個ずつ設けた。これに対して、 T ナット 47とユニット固定板 37に 3個以上のボルト孔 471若しくは貫通孔 371を設けてもよい。この場合、 Tナット 47とガスユニットとをインストーラ 55で位置合わせすれば、ボルト孔 471と貫通孔 371とが位置合わせされるので、位置合わせする工数が少なくて済む。

[0058] 例えば、上記実施の形態では、増設する第 6ガスユニット Fを所定位置に移動させて位置決めした後、スぺーサ 52Fを配設して高さ調整するようにした。これに対して、ガス供給集積ユニットのガスユニット 1, 2, A〜Eをスぺーサ 50, 51, 52で高さ調整せず、増設するガスユニット Fにスぺーサ 52Fを取り付けて、第 6ガスユニット Fを所定位置に位置決め後にスぺーサ 52Fを抜いて第 6ガスユニット Fを第 5ガスユニット Eに対して位置合わせするようにしてもよ!、。

[0059] 例えば、上記実施の形態では、位置決め治具としてインストーラ 55を使用した。これに対して、位置決め治具は、 Tナット 47とガスユニットとを連結してレール 31, 32に沿って一体的に摺動させることができるものであれば、インストーラ 55に限定されるものではない。

[0060] 例えば、上記実施の形態では、第 6ユニット Fを Tナット 47に仮止めした後、第 5ガスユニット Eのプロセスガス共通流路端部手動弁 28とパージガス共通流路端部手動弁 29に第 6ガスユニット Fのプロセスガス用継手ブロック 61とパージガス用継手ブロック 62をボルト Vで仮止めした力この仮止めの手順を逆にしてもよい。

[0061] 例えば、上記実施の形態では、第 3制御弁として第 3エアオペレイトバルブ 27A, 2 7B…を使用した。これに対して、第 3制御弁として手動弁を用いてもよい。

Claims

請求の範囲

[1] 出口流路に設けられた第 1手動弁と、該第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 2手動弁と、該第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、

前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、

前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されて前記ガスュニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも 2個のボルト孔が形成された取付部材が前記ガイド溝に摺動可能に装着されており、

増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトを前記ボルト孔に締結することにより前記取付部材に取り付けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。

[2] 請求項 1に記載するガス供給集積ユニットにお、て、

前記取付部材は、前記ガスユニットのピッチ幅と同一幅を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。

[3] 出口流路に設けられた第 1手動弁と、該第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 2手動弁と、該第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、

増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、

前記増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、前記増設するガスユニットの端部力着脱されるものであることを特徴とするガス供給集積ユニット。

[4] 請求項 3に記載するガス供給集積ユニットにお、て、

前記高さ調整手段は、先端部に傾斜が設けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。

[5] 出口流路に設けられた第 1手動弁と、該第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 2手動弁と、該第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第 3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットに、ガスユニットを増設するガスュ-ットの増設方法において、

前記ガス供給集積ユニットが、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールに前記ガスユニットが取り付けられ、

前記増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、

前記レールにガイド溝が形成され、少なくとも前記ガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、前記位置決め治具を介して前記増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、前記増設するガスユニットを前記取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、前記ガス供給集積ユニットと前記増設するガスユニットとを結合するとともに、前記増設するガスユニットを前記取付部材に取り付け、前記位置決め治具を取り外すことを特徴とするガスユニットの増設方法。

[6] 請求項 5に記載するガスユニットの増設方法にぉ、て、

前記取付部材は、ボルト孔が少なくとも 2個形成され、前記増設するガスユニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも 2個形成され、前記貫通孔に貫き通したボルトを前記ボルト孔に締結することにより前記取付部材に取り付けられるものであって、

前記位置決め治具を前記取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、前記増設するガスユニットの前記貫通孔に前記位置決め治具を挿通することにより前記増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、前記増設するガスユニットの前記位置決め治具が挿通されて、な、貫通孔に前記ボルトを貫き通して前記取付部材のボルト孔に締結してから、前記位置決め治具を前記取付部材のボルト孔から取り外し、さらにその後、前記位置決め治具が挿通して、た貫通孔にボルトを貫き通して前記取付部材のボルト孔に締結することを特徴とするガスユニットの増設方法。