[go: up one dir, main page]

KR101163851B1 - 유체 제어 장치 - Google Patents

유체 제어 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101163851B1
KR101163851B1 KR1020097026366A KR20097026366A KR101163851B1 KR 101163851 B1 KR101163851 B1 KR 101163851B1 KR 1020097026366 A KR1020097026366 A KR 1020097026366A KR 20097026366 A KR20097026366 A KR 20097026366A KR 101163851 B1 KR101163851 B1 KR 101163851B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
block
fluid
passage
support
blocks
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020097026366A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100021471A (ko
Inventor
도모히로 나카타
츠토무 시노하라
미치오 야마지
Original Assignee
가부시키가이샤 후지킨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 후지킨 filed Critical 가부시키가이샤 후지킨
Publication of KR20100021471A publication Critical patent/KR20100021471A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101163851B1 publication Critical patent/KR101163851B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
    • C30B25/02—Epitaxial-layer growth
    • C30B25/14—Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the reactive gases
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

본 발명은 라인의 폭을 좁게 함으로써, 장치의 점유 공간을 한층 더 줄일 수 있는 유체 제어 장치를 제공한다. 지지 통로 블록(9, 10)은, 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 유체 통로(11c, 11d)의 개구에 시일부(20)를 통해 맞대어지는 유체 통로(9a, 10a)의 개구를 갖고 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 하면에 접촉하는 대블록부(25, 27)와, 대블록부(25, 27)와 하면이 동일면이며 대블록부보다 높이가 낮은 소블록부(26, 28)로 이루어진다. 소블록부(26, 28)에는, 베이스 부재(30)에 지지 통로 블록(9, 10)을 부착하기 위한 수나사 부재 삽입 구멍(26a, 28a)이 형성되어 있다.

Description

유체 제어 장치{FLUID CONTROL APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것으로, 특히 복수의 유체 제어 기기가 집적화되어 형성되는 유체 제어 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 장치에서는, 복수의 유체 제어 기기가 직렬형으로 배치되어 파이프나 조인트를 통하지 않고 접속됨으로써 형성된 복수의 라인을 베이스 부재 상에 병렬형으로 설치한다고 하는 집적화가 진행되고 있고, 특허문헌 1에는 그와 같은 유체 제어 장치로서, 하단층이 되는 복수의 블록형 조인트 부재가 수나사 부재에 의해 베이스 부재에 부착되며, 상단층이 되는 복수의 유체 제어 기기가 인접하는 조인트 부재에 걸치도록 부착되어 있는 것이 개시되어 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 평성 제10-227368호 공보
상기 특허문헌 1의 유체 제어 장치에서는, 종래의 것에 비해서, 장치의 점유 공간의 감소 및 통로의 볼륨의 감소가 가능해진다고 하는 이점을 가지고 있지만, 한층 더 장치의 점유 공간의 감소, 특히 각 라인의 폭의 협소화가 요구되고 있다.
본 발명의 목적은, 라인의 폭을 좁게 함으로써, 장치의 점유 공간을 한층 더 감소할 수 있는 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 유체 제어기와, 유체 제어기의 양측에 마련된 돌출 통로 블록과, 돌출 통로 블록에 연통하는 유체 통로를 가지며 베이스 부재에 고정되어 유체 제어기를 지지하는 1쌍의 지지 통로 블록을 구비하고 있는 유체 제어 장치에 있어서, 지지 통로 블록은, 돌출 통로 블록의 유체 통로의 개구에 시일부를 통해 맞대어지는 유체 통로의 개구를 갖고 돌출 통로 블록의 하면에 접촉하는 대블록부와, 대블록부와 하면이 동일면이며 대블록부보다 높이가 낮은 소블록부로 이루어지고, 소블록부에는, 베이스 부재에 지지 통로 블록을 부착하기 위한 수나사 부재 삽입 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 명세서에서, 상하는 도 1의 상하를 말하는 것으로 하지만, 이 상하는 편의적인 것이며, 예컨대 도 1의 좌우가 상하가 되도록 배치되어도 좋고, 설치시의 상하에 일치하는 것은 아니다.
이 종류의 유체 제어 장치에 사용되고 있는 각종 유체 제어 기기는, 치수의 규격화가 진행되어 있으며, 개폐 밸브, 감압 밸브, 압력 표시기 등은 동일하게 부착할 수 있다. 통상, 이들 표준 타입의 유체 제어 기기를 지지하는 지지 통로 블록에는, 라인 방향으로 늘어서는 2개의 개구가 형성되고, 2개의 개구의 정확히 중간에 폭방향으로 늘어서는 1쌍의 수나사 부재에 의해 지지 통로 블록이 베이스 부재에 고정되어 있다. 이에 비하여, 유량 조정기(매스플로우 컨트롤러)는, 라인 방향의 길이가 이들 표준 타입의 유체 제어 기기에 비해 길게 되어 있고, 유량 조정기(본 발명에서의 「유체 제어기」의 1예)의 양측에 돌출 통로 블록이 마련되며, 베이스 부재에 고정되는 1쌍의 지지 통로 블록에 의해 지지되는 구성으로 되어 있고, 각 지지 통로 블록에는, 대응하는 돌출 통로 블록의 유체 통로의 개구에 시일부를 통해 맞대어지는 유체 통로의 개구가 1개만 형성된다. 이 경우, 표준 타입의 유체 제어 기기용의 지지 통로 블록과 동일하게 하여 지지 통로 블록을 부착하려고 하면, 시일부를 통해(시일부의 폭방향 외측에) 나사 삽입 구멍을 형성할 필요가 있고, 폭을 좁게 하는 것이 곤란해진다. 그래서, 개구를 갖고 돌출 통로 블록의 하면에 접촉하는 대블록부와는 별도로, 대블록부와 하면이 동일면이며 대블록부보다 높이가 낮은 소블록부를 마련하고, 소블록부를 베이스 부재에 부착하도록 함으로써, 시일부의 폭방향 양측에 수나사 부재 부착용의 공간을 확보할 필요가 없어서, 폭의 협소화가 도모된다.
돌출 통로 블록은, 그 하면이 유체 제어기 본체 하면보다도 상방에 있도록 유체 제어기 본체에 부착되어 있고, 대블록부는, 그 꼭대기부 측면이 유체 제어기 본체의 측면에 접촉되어 있는 경우가 있다. 또한, 돌출 통로 블록은, 그 하면이 유체 제어기 본체 하면과 동일면으로 되어 있는 경우가 있다. 또한, 각 돌출 통로 블록을 대응하는 지지 통로 블록에 부착하기 위한 수나사 부재는, 상방으로부터의 수나사 부재 1개만으로 되어 있고, 시일 수단보다도 외측에 배치되어 있는 경우가 있다.
시일 수단은, 조인트 부재 사이에 개재된 가스켓과, 조인트 부재의 맞댐면에 형성된 환형 가스켓 압박 돌기를 구비하고 있고, 환형 가스켓 압박 돌기에 의해 가스켓이 변형됨으로써 시일성이 확보되는 것이 된다.
수나사 부재는, 스테인레스강제(SUS304, SUS316 등)가 바람직하며, 조인트 부재도 스테인레스강제(SUS304, SUS316 등)가 바람직하다. 가스켓은, 스테인레스강, 니켈 합금 등에 의해 원환형(천공 원판형)으로 형성된 것이 바람직하다.
본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 소블록부를 베이스 부재에 부착하도록 함으로써, 시일부의 폭방향 양측에 수나사 부재 부착용의 공간을 확보하지 않아도 되며, 지지 통로 블록 및 유체 제어 기기의 폭의 협소화가 가능해진다. 따라서, 유체 제어 장치의 각 라인의 폭을 좁게 할 수 있으며, 장치의 점유 공간을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태를 나타내는 종단면도.
도 2는 도 1에 도시된 제1 실시형태의 평면도.
도 3은 도 1에 도시된 제1 실시형태의 주요부의 확대 분해 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태를 나타내는 종단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 유체 제어 장치
9, 10, 31, 32 : 지지 통로 블록
9a, 10a, 31a, 32a : 유체 통로
11 : 유량 조정기(유체 제어기)
11a, 11b : 돌출 통로 블록
11c, 11d : 유체 통로
20 : 시일부(시일 수단)
25, 27, 35, 37 : 대블록부
26, 28, 36, 38 : 소블록부
26a, 28a, 36a, 38a : 수나사 부재 삽입 구멍
30 : 베이스 부재
본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에서 도 3까지는 본 발명의 유체 제어 장치의 제1 실시형태를 나타내고 있다.
이 유체 제어 장치(1)는, 반도체 제조 장치 등에서 이용되는 것으로, 하단에 접속 통로 블록(2a)을 가지고 있는 감압 밸브(표준 타입의 유체 제어 기기)(2)와, 감압 밸브(2)를 지지하는 제1 지지 통로 블록(3)과, 감압 밸브(2)의 출구측(도면의 우측)에 인접하여 배치되며 하단에 접속 통로 블록(4a)을 가지고 있는 압력 표시기(표준 타입의 유체 제어 기기)(4)와, 압력 표시기(4)를 지지하는 제2 지지 통로 블록(5)과, 압력 표시기(5)의 출구측에 인접하여 배치되며 하방에 지지 통로 블록(3, 5)과 동일한 레벨에 있는 본체(6a)가 일체로 형성된 제1 개폐 밸브(표준 타입의 유체 제어 기기)(6)와, 제1 개폐 밸브(6)의 출구측에 인접하여 배치되며 제1 개폐 밸브(6)의 본체(6a)보다도 높이가 낮은 본체(7a)가 일체로 형성된 제2 개폐 밸브(표준 타입의 유체 제어 기기)(7)와, 하면이 지지 통로 블록(3, 5)의 하면과 동일한 레벨에 있으며 제2 개폐 밸브(7)를 지지하는 제3 지지 통로 블록(8)과, 제2 개폐 밸브(7)의 본체(7a)의 출구측에 인접하여 배치된 제4 지지 통로 블록(9)과, 제4 지지 통로 블록(9)의 출구측에 소정 간격을 두고 대향형으로 배치된 제5 지지 통로 블록(10)과, 입구측(도면의 좌측) 및 출구측에 돌출 통로 블록(11a, 11b)을 가지고 있으며 입구측 돌출 통로 블록(11a)이 제4 지지 통로 블록(9)에, 출구측 돌출 통로 블록(11b)이 제5 지지 통로 블록(10)에 각각 지지됨으로써 제4 및 제5 지지 통로 블록(9, 10)에 걸쳐 지지된 유량 조정기(본 발명의 유체 제어기)(11)와, 제5 지지 통로 블록(10)의 출구측에 인접하여 배치되며 제5 지지 통로 블록(10)보다도 높이가 낮은 본체(12a)가 일체로 형성된 제3 개폐 밸브(표준 타입의 유체 제어 기기)(12)와, 하면이 다른 지지 통로 블록(3, 5, 8, 9)의 하면과 동일한 레벨에 있으며 제3 개폐 밸브(12)를 지지하는 제6 지지 통로 블록(13)을 구비하고 있다.
제1 지지 통로 블록(3)에는, 프로세스 가스를 감압 밸브(2)에 공급하기 위한 프로세스 가스 도입용 조인트(14)가 접속되어 있다. 제3 지지 통로 블록(8)에는, 퍼지 가스를 제2 개폐 밸브(7)에 공급하는 퍼지 가스 도입용 조인트(15)가 접속되어 있다. 제6 지지 통로 블록(13)에는, 프로세스 가스 및 퍼지 가스를 제3 개폐 밸브(12)로부터 배출하는 프로세스 가스 및 퍼지 가스 배출용 조인트(16)가 접속되어 있다.
각 부품(2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13)의 조립에 있어서는, 상방 으로부터의 수나사 부재(17, 19)뿐만 아니라, 전후 방향으로부터의 수나사 부재(18)도 사용되고 있다. 또한, 각 지지 통로 블록(3, 5, 8, 9, 10, 13), 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6a, 7a, 12a) 및 각 유체 제어기(2, 4, 11)의 접속 블록부(2a, 4a) 및 돌출 통로 블록(11a, 11b)은, 시일부(시일 수단)(20)를 통해 맞대어져 있다.
감압 밸브(2) 및 압력 표시기(4)와 이에 대응하는 지지 통로 블록(3, 5)은, 전후로 소정 간격을 둔 2곳에서 그 유체 통로(23, 24)끼리가 접속되어 있고, 이에 대응하여, 감압 밸브(2) 및 압력 표시기(4)와 지지 통로 블록(3, 5)의 사이에는, 각각 전후로 소정 간격을 둔 2개의 시일부(20)가 마련되어 있다.
도 3은, 본 발명의 유체 제어기의 1예인 유량 조정기(11) 및 이것을 지지하는 1쌍의 지지 통로 블록(9, 10)을 상세하게 나타내는 도면이고, 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 유량 조정기(11)를 지지하는 1쌍의 지지 통로 블록(9, 10)은, 각각, 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 유체 통로(11c, 11d)의 개구에 시일부(20)를 통해 맞대어지는 유체 통로(9a, 10a)의 개구를 갖고 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 하면에 접촉하는 대블록부(25, 27)와, 유량 조정기(11) 하방에 위치하도록 대블록부(25, 27)에 일체로 형성된 소블록부(26, 28)로 이루어진다. 소블록부(26, 28)는 대블록부(25, 27)와 하면이 동일면이며 대블록부보다 높이가 낮은 형상으로 되어 있고, 소블록부(26, 28)에는, 알루미늄 판금으로 이루어지는 베이스 부재(30)에 각 지지 통로 블록(9, 10)을 부착하기 위한 수나사 부재 삽입 구멍(26a, 28a)이 형성되어 있다.
각 돌출 통로 블록(11a, 11b)을 대응하는 지지 통로 블록(9, 10)에 부착하기 위한 수나사 부재(19)는, 상방으로부터의 수나사 부재 1개로 되어 있고, 지지 통로 블록(9, 10)의 시일 수단(20)보다도 전후 방향 외측에 설치되었기 때문에 나사부(9b, 10b)에 그 선단부가 삽입되어 있다. 그리고, 각 지지 통로 블록(9, 10)의 소블록부(26, 28)에 형성되어 있는 수나사 부재 삽입 구멍(26a, 28a)은, 폭방향으로 2개 나란히 뚫려 있고, 각 지지 통로 블록(9, 10)은, 각각 2개의 수나사 부재(29)에 의해 베이스 부재(30)에 부착되어 있다.
도 4는, 본 발명의 유체 제어 장치의 제2 실시형태를 나타내고 있다. 이 제2 실시형태는, 유량 조정기(11) 및 이것을 지지하는 1쌍의 지지 통로 블록(9, 10)만이 제1 실시형태와 상이하며, 이하에서는, 제1 실시형태와 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 설명을 생략하고, 상이한 부분만을 설명한다.
도 4에서 돌출 통로 블록(11a, 11b)은, 그 하면이 유량 조정기 본체(11)의 하면보다도 상측에 있도록 유량 조정기 본체(11)에 부착되어 있다.
그리고, 유량 조정기(11)를 지지하는 1쌍의 지지 통로 블록(31, 32)은, 각각 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 유체 통로(11c, 11d)의 개구에 시일부(20)를 통해 맞대어지는 유체 통로(31a, 32a)의 개구를 가지며 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 하면에 접촉하는 대블록부(35, 37)와, 유량 조정기(11) 하방에 위치하도록 대블록부(35, 37)에 일체로 형성된 소블록부(36, 38)로 이루어진다. 각 대블록부(35, 37)는, 돌출 통로 블록(11a, 11b)의 하면이 유량 조정기 본체(11) 하면보다도 상방에 있는 것에 대응하여, 도 1의 것에 비해서 높게 형성되어 있고, 그 꼭대기부 측 면이 유량 조정기 본체(11)의 측면에 접촉되어 있다.
그 밖의 구성은, 제1 실시형태의 것과 동일하며, 소블록부(36, 38)는, 대블록부(35, 37)와 하면이 동일면이며 대블록부보다 높이가 낮은 형상으로 되어 있고, 소블록부(36, 38)에는, 베이스 부재(30)에 각 지지 통로 블록(31, 32)을 부착하기 위한 수나사 부재 삽입 구멍(36a, 38a)이 형성되어 있다. 그리고, 도 3과 동일하게 하여, 각 지지 통로 블록(31, 32)은, 소블록부(36, 38)에 형성되어 있는 수나사 부재 삽입 구멍(26a, 28a)에 삽입된 2개의 수나사 부재(29)에 의해 베이스 부재(30)에 부착되어 있다.
본 발명에 따르면, 유체 제어 장치의 각 라인의 폭을 좁게 할 수 있으며, 장치의 점유 공간을 줄일 수 있기 때문에, 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 적용함으로써, 반도체 제조 장치 등의 성능 향상에 기여할 수 있다.

Claims (3)

  1. 유체 제어기(11)와, 유체 제어기(11)의 양측에 마련된 돌출 통로 블록(11a,11b)과, 돌출 통로 블록(11a,11b)의 유체 통로(11c,11d)에 연통하는 유체 통로(9a,10a,31a,32a)를 가지며 베이스 부재(30)에 고정되어 유체 제어기(11)를 지지하는 1쌍의 지지 통로 블록(9,10,31,32)을 구비하고 있는 유체 제어 장치로서,
    지지 통로 블록(9,10,31,32)은, 돌출 통로 블록(11a,11b)의 유체 통로(11c,11d)의 개구에 시일부(20)를 통해 맞대어지는 지지 통로 블록(9,10,31,32)의 유체 통로(9a,10a,31a,32a)의 개구를 갖고 돌출 통로 블록(11a,11b)의 하면에 접촉하는 대블록부(25,27,35,37)와, 하면이 대블록부(25,27,35,37)의 하면과 동일면이며 대블록부(25,27,35,37)보다 높이가 낮은 소블록부(26,28,36,38)로 이루어지고,
    소블록부(26,28,36,38)에는, 베이스 부재(30)에 지지 통로 블록(9,10,31,32)을 부착하기 위한 수나사 부재 삽입 구멍(26a,28a,36a,38a)이 형성되어 있고,
    각 지지 통로 블록(9,10,31,32)은, 전후 방향으로부터의 수나사 부재(18)에 의해 이웃하는 본체(7a,12a)와 접속되어 있고,
    각 돌출 통로 블록(11a,11b)은, 그 상방으로부터 체결되는 수나사 부재(19) 1개 만에 의해 대응하는 지지 통로 블록(9,10,31,32)에 부착되어 있고, 상기 수나사 부재(19)는 지지 통로 블록(9,10,31,32)의 상기 시일부(20)보다도 외측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 돌출 통로 블록은, 그 하면이 유체 제어기 본체 하면보다도 상방에 있도록 유체 제어기 본체에 부착되어 있고, 대블록부는, 그 꼭대기부 측면이 유체 제어기 본체의 측면에 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  3. 삭제
KR1020097026366A 2007-05-31 2008-05-26 유체 제어 장치 Active KR101163851B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-144932 2007-05-31
JP2007144932A JP5127304B2 (ja) 2007-05-31 2007-05-31 流体制御装置
PCT/JP2008/059633 WO2008146780A1 (ja) 2007-05-31 2008-05-26 流体制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100021471A KR20100021471A (ko) 2010-02-24
KR101163851B1 true KR101163851B1 (ko) 2012-07-09

Family

ID=40075021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097026366A Active KR101163851B1 (ko) 2007-05-31 2008-05-26 유체 제어 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8281816B2 (ko)
JP (1) JP5127304B2 (ko)
KR (1) KR101163851B1 (ko)
TW (1) TWI388753B (ko)
WO (1) WO2008146780A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089754A (ko) * 2018-12-27 2021-07-16 가부시키가이샤 후지킨 유체 제어장치, 조인트 블록 및 유체 제어장치의 제조방법

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5797010B2 (ja) * 2011-05-20 2015-10-21 株式会社フジキン 流体制御装置
KR101599344B1 (ko) 2011-09-30 2016-03-03 가부시키가이샤 후지킨 가스 공급 장치
US9188990B2 (en) 2011-10-05 2015-11-17 Horiba Stec, Co., Ltd. Fluid mechanism, support member constituting fluid mechanism and fluid control system
JP5616416B2 (ja) 2012-11-02 2014-10-29 株式会社フジキン 集積型ガス供給装置
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
JP6147113B2 (ja) * 2013-06-27 2017-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置用継手および流体制御装置
JP6320780B2 (ja) * 2014-02-05 2018-05-09 イハラサイエンス株式会社 流体制御モジュール
WO2017033745A1 (ja) * 2015-08-24 2017-03-02 株式会社フジキン 流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置
JP6082082B2 (ja) * 2015-10-29 2017-02-15 株式会社堀場エステック 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材
SG11201808788PA (en) 2016-04-04 2018-11-29 Ichor Systems Inc Liquid delivery system
CN109563942B (zh) * 2016-06-21 2020-04-10 株式会社富士金 流体控制装置
JP6694618B2 (ja) * 2016-06-21 2020-05-20 株式会社フジキン 流体制御装置
CN109690159B (zh) * 2016-09-12 2021-04-23 株式会社富士金 流体控制装置以及流体控制装置的制造方法
WO2018079288A1 (ja) * 2016-10-24 2018-05-03 株式会社フジキン 流体制御装置およびこの流体制御装置を用いた製品製造方法
US10983537B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
CN112534169B (zh) * 2018-07-17 2024-11-22 肯发系统有限公司 流动基板的安装结构
JP2024545949A (ja) 2021-11-24 2024-12-16 アイコール・システムズ・インク 流体送達システム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000018409A (ja) * 1998-06-30 2000-01-18 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2003086579A (ja) * 2001-09-14 2003-03-20 Ckd Corp ガス供給集積ユニット
JP2006521522A (ja) * 2003-03-26 2006-09-21 ケヴィン エス ベネット 流体送出装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0716881Y2 (ja) * 1988-10-20 1995-04-19 シーケーディ株式会社 流体機器の連結構造
JP3997338B2 (ja) 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JP2002517697A (ja) * 1998-06-12 2002-06-18 ジェイ． グレゴリー ホーリングスヘッド， 一体化モジュラー化学送達ブロック
JP3921565B2 (ja) * 1998-07-10 2007-05-30 株式会社フジキン 流体制御装置
JP4244254B2 (ja) * 1999-04-30 2009-03-25 株式会社キッツエスシーティー 集積化ガス制御装置
JP3612285B2 (ja) 2001-03-19 2005-01-19 アドバンス電気工業株式会社 マニホールド弁構造体
TW524944B (en) * 2001-05-16 2003-03-21 Unit Instr Inc Fluid flow system
US6953048B2 (en) * 2001-09-07 2005-10-11 Circle Seal Controls, Inc. Modular surface-mount fluid-flow system
JP4341052B2 (ja) * 2003-12-02 2009-10-07 山田 明 通路ブロックの結合装置
JP4780555B2 (ja) * 2005-09-12 2011-09-28 株式会社フジキン 流体制御装置
JP4221425B2 (ja) * 2006-08-11 2009-02-12 シーケーディ株式会社 パージガスユニット及びパージガス供給集積ユニット

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000018409A (ja) * 1998-06-30 2000-01-18 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2003086579A (ja) * 2001-09-14 2003-03-20 Ckd Corp ガス供給集積ユニット
JP2006521522A (ja) * 2003-03-26 2006-09-21 ケヴィン エス ベネット 流体送出装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089754A (ko) * 2018-12-27 2021-07-16 가부시키가이샤 후지킨 유체 제어장치, 조인트 블록 및 유체 제어장치의 제조방법
KR102584075B1 (ko) 2018-12-27 2023-10-04 가부시키가이샤 후지킨 유체 제어장치, 조인트 블록 및 유체 제어장치의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP5127304B2 (ja) 2013-01-23
TWI388753B (zh) 2013-03-11
TW200912169A (en) 2009-03-16
KR20100021471A (ko) 2010-02-24
US20100132819A1 (en) 2010-06-03
US8281816B2 (en) 2012-10-09
WO2008146780A1 (ja) 2008-12-04
JP2008298180A (ja) 2008-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101163851B1 (ko) 유체 제어 장치
KR101230747B1 (ko) 유체 제어 장치 및 그 조립 방법
US6273139B1 (en) Fluid control apparatus
US6035893A (en) Shutoff-opening devices and fluid control apparatus comprising such devices
US6868867B2 (en) Fluid control apparatus
US8434522B2 (en) Fluid control apparatus
US6039360A (en) Couplings for fluid controllers
KR101269724B1 (ko) 유체 제어 장치
US7814797B2 (en) Pressure sensor apparatus and pressure sensor built-in fluid control equipment
JP2007327542A (ja) 流体機器ユニット構造
JP2008298177A (ja) 流体制御装置
JP4528592B2 (ja) ガス供給集積ユニット
KR102403907B1 (ko) 유체 제어 장치 및 반도체 제조 장치
CN112043926A (zh) 与便携式氧气浓缩器一起使用的产品歧管和包括这种产品歧管的便携式氧气浓缩器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0105 International application

Patent event date: 20091217

Patent event code: PA01051R01D

Comment text: International Patent Application

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20110927

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20120409

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20120702

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20120702

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150612

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20150612

Start annual number: 4

End annual number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160616

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20160616

Start annual number: 5

End annual number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20170616

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190530

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20190530

Start annual number: 8

End annual number: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20200618

Start annual number: 9

End annual number: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210617

Start annual number: 10

End annual number: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20220615

Start annual number: 11

End annual number: 11