CN115839480A - 一种特气柜 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种特气柜，涉及供气设备技术领域，以解决现有的特气柜占地面积大的问题。所述特气柜包括：气路系统；多个气路基块，所述气路系统上的组件通过所述多个气路基块接通；所述气路基块包括：基块本体，所述基块本体上设置有多个安装孔，所述安装孔用于连接所述气路系统上的组件；所述基块本体内设置有进气通道和出气通道，所述进气通道具有第一进气口和第一出气口；所述出气通道具有第二进气口和第二出气口，所述第一出气口与所述气路系统上的组件的进气口相通；所述第二进气口与所述气路系统上的组件的出气口相通。本发明提供的特气柜用于输送特种气体。

Description

一种特气柜

技术领域

本发明涉及供气设备技术领域，尤其涉及一种特气柜。

背景技术

特气柜是一种供应特种气体的柜子，主要用于易燃、易爆、毒性、腐蚀性等特性的气体，可调节压力，泄露报警，紧急关闭等，主要用于半导体和LED的新兴行业。

如图1所示，现有的特气柜一般使用常规的管件和阀体连接，管路结构比较复杂，需要使用到多条管路与阀体等连接，占地面积大(一般长1600mm，宽800mm)，多数场合无法安装使用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种特气柜，能够解决现有的特气柜各组件通过管道连接占地面积大的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种特气柜，包括：

气路系统；

多个气路基块，所述气路系统上的组件通过所述多个气路基块接通；所述气路基块包括：

基块本体，所述基块本体上设置有多个安装孔，所述安装孔用于连接所述气路系统上的组件；所述基块本体内设置有进气通道和出气通道，所述进气通道具有第一进气口和第一出气口；所述出气通道具有第二进气口和第二出气口，所述第一出气口与所述气路系统上的组件的进气口相通；所述第二进气口与所述气路系统上的组件的出气口相通。

在一些实施方式中，特气柜还包括：

气路安装座，所述多个气路基块固定安装于所述气路安装座上。

在一些实施方式中，所述基块本体包括：

进气基块，所述进气基块内设置所述进气通道；

出气基块，与所述进气基块相对设置，所述出气基块内设置所述出气通道。

在一些实施方式中，所述气路系统包括多个具有不同功能的子气路系统。

在一些实施方式中，所述子气路系统包括：

第一子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第一手动隔膜阀、第一调压阀组件、第一过滤器组件、第一单向阀组件、第一气动隔膜阀以及第一质量流量计；所述第一过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第一压力传感器组件、第一连接盖、第五气动隔膜阀、第五单向阀组件以及第五质量流量计。

在一些实施方式中，所述第一调压阀组件包括：

调压阀本体；

基块连接座，设置于所述调压阀本体的进气口和出气口处，所述基块连接座内设置有气体通道，所述气体通道一端分别与所述调压阀本体的进气口和出气口相通，所述气体通道的另一端与所述基块本体相通。

在一些实施方式中，所述第一过滤器组件包括：

过滤器安装底座，设置于所述基块本体上；

过滤器本体，安装于所述过滤器安装底座上；

过滤器流通底座，一端设置于所述过滤器本体上，另一端设置于所述基块本体上。

在一些实施方式中，所述第一单向阀组件包括：

单向阀安装底座，设置于所述基块本体上；

单向阀本体，一端连接于所述单向阀安装底座上；

单向阀流通底座，一端连接于所述单向阀本体上，另一端连接于所述基块本体上。

在一些实施方式中，所述第一压力传感器组件包括：

压力传感器安装底座，设置于所述基块本体上；

压力传感器本体，连接于所述压力传感器安装底座上，对基块本体内的气压进行监测。

在一些实施方式中，所述子气路系统还包括：

第二子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第二手动隔膜阀、第二调压阀组件、第二过滤器组件、第二单向阀组件、第二气动隔膜阀以及第二质量流量计；所述第二过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第二压力传感器组件、第二连接盖；所述第二单向阀组件通过所述气路基块依次连接有第一压力表组件、第五压力传感器组件以及第六质量流量计。

在一些实施方式中，所述第一压力表组件包括：

压力表安装底座，设置于所述基块本体上；

压力表本体，连接于所述压力表安装底座上，对基块本体内的压力进行显示。

在一些实施方式中，所述子气路系统还包括：

第三子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第三手动隔膜阀、第三调压阀组件、第三过滤器组件、第三单向阀组件、第三气动隔膜阀以及第三质量流量计；所述第三过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第三压力传感器组件和第二压力表组件；所述第三气动隔膜阀通过所述气路基块依次连接有第三连接盖和第七质量流量计；所述第三连接盖与第一连接盖之间通过管道接通。

在一些实施方式中，所述子气路系统还包括：

第四子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第四手动隔膜阀、第四调压阀组件、第四过滤器组件、第四气动隔膜阀、第四单向阀组件以及第四质量流量计；所述第四过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第四压力传感器组件和第三压力表组件；所述第四手动隔膜阀通过所述气路基块依次连接有第五手动隔膜阀和氮气连接底座；第四单向阀组件通过所述气路基块依次连接有第六压力传感器组件、基块两孔连接盖以及第八质量流量计。

与现有技术相比，本发明提供的一种特气柜中，将气路系统通过多个气路基块相配合连接，省去了复杂的管路连接，大大减小了特气柜的占地面积(长654mm，宽457mm)，能适应多种使用场合。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为现有技术中的特气柜的俯视图；

图2为本发明实施例中一种特气柜的结构示意图；

图3为图2中一种气路基块的结构示意图；

图4为图3的A-A剖视图；

图5为图2中另一种气路基块的结构示意图；

图6为图5的剖视图；

图7为图2另一视角的结构示意图；

图8为图7另一视角的结构示意图；

图9为图8中第一调压阀组件的结构示意图；

图10为图8中第一过滤器组件的结构示意图；

图11为图8中第一单向阀组件的结构示意图；

图12为图8中第一压力传感器组件的结构示意图；

图13为图8中第一压力表组件的结构示意图。

附图标记：

1-气路系统；2-气路基块；201-安装孔；202-进气通道；203-出气通道；204-第一进气口；205-第一出气口；206-第二进气口；207-第二出气口；208-进气基块；209-出气基块；3-气路安装座；4-第一子气路系统；401-第一手动隔膜阀；402-第一调压阀组件；4021-调压阀本体；4022-基块连接座；403-第一过滤器组件；4031-过滤器安装底座；4032-过滤器本体；4033-过滤器流通底座；404-第一单向阀组件；4041-单向阀安装底座；4042-单向阀本体；4043-单向阀流通底座；405-第一气动隔膜阀；406-第一质量流量计；407-第一压力传感器组件；4071-压力传感器安装底座；4072-压力传感器本体；408-第一连接盖；409-第五气动隔膜阀；410-第五单向阀组件；411-第五质量流量计；5-第二子气路系统；501-第二手动隔膜阀；502-第二调压阀组件；503-第二过滤器组件；504-第二单向阀组件；505-第二气动隔膜阀；506-第二质量流量计；507-第二压力传感器组件；508-第二连接盖；509-第一压力表组件；5091-压力表安装底座；5092-压力表本体；510-第五压力传感器组件；511-第六质量流量计；6-第三子气路系统；601-第三手动隔膜阀；602-第三调压阀组件；603-第三过滤器组件；604-第三单向阀组件；605-第三气动隔膜阀；606-第三质量流量计；607-第三压力传感器组件；608-第二压力表组件；609-第三连接盖；610-第七质量流量计；7-第四子气路系统；701-第四手动隔膜阀；702-第四调压阀组件；703-第四过滤器组件；704-第四气动隔膜阀；705-第四单向阀组件；706-第四质量流量计；707-第四压力传感器组件；708-第三压力表组件；709-第五手动隔膜阀；710-氮气连接底座；711-第六压力传感器组件；712-基块两孔连接盖；713-第八质量流量计。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图2-图6，本发明实施例提供的一种特气柜包括：气路系统1和多个气路基块2，气路系统1设置于多个气路基块2上，气路系统1上的组件通过多个气路基块2接通；气路基块2包括：基块本体，基块本体上设置有多个安装孔201，安装孔201用于连接气路系统1上的组件；基块本体内设置有进气通道202和出气通道203，进气通道202具有第一进气口204和第一出气口205；出气通道203具有第二进气口206和第二出气口207，第一出气口205与气路系统1上的组件的进气口相通；第二进气口206与气路系统1上的组件的出气口相通。

具体实施时：气路系统1上的组件连接于气路基块2上，气体从气路基块2的第一进气口204进入气路基块2，经过进气通道202后从第一出气口205出来。由于第一出气口205与气路系统1上的组件连接，从第一出气口205出来的气体进入气路系统1上的组件，然后从第二进气口206进入出气通道203。经过出气通道203的气体从第二出气口207进入气路系统1上的下一个组件。

通过上述特气柜的结构和具体实施过程可知，将气路系统1通过多个气路基块2相配合连接，省去了复杂的管路连接，大大减小了特气柜的占地面积，能适应多种使用场合。

请参阅图2，在一些实施例中，特气柜还包括：气路安装座3，多个气路基块2固定安装于气路安装座3上。为了便于实施，气路安装座3可以为板状结构，多个气路基块2通过螺栓固定连接的方式连接于气路安装座3上，也可以通过插销的连接方式连接于气路安装座3上；根据不同的使用场合，气路安装座3还可以为支架结构，在支架结构上设置一固定板或固定支架将多个气路基块2限位。

具体实施时：在气路安装座3上开设多个连接孔，多个气路基块2对应于各自的连接孔，并通过螺栓或插销的固定方式将多个气路基块2连接于气路安装座3上，保证多个气路基块2不会掉落或松动。

通过上述特气柜的结构和具体实施过程可知，通过设置气路安装座3将多个气路基块2固定，保证了整个系统的稳定性。

请参阅图3-图6，在一些实施例中，基块本体包括：进气基块208和出气基块209。进气基块208内设置进气通道202；出气基块209与进气基块208相对设置，出气基块209内设置出气通道203。在另一些实施例中，进气基块208与出气基块209为分体结构或一体结构。进气基块208与出气基块209为分体结构时，出气基块209与进气基块208相对设置，出气基块209与进气基块208之间间隔一定的距离；调节两者之间的距离，可以适应不同的气路系统1上的组件的连接，进气基块208与出气基块209为一体结构时，搬运、安装较为方便。

具体实施时：气体先经过进气基块208内的进气通道202，然后再经过出气基块209内的出气通道203，气路系统1上的组件在进气基块208与出气基块209之间，以监测或控制进气通道202与出气通道203间的气体流通。

通过上述气路基块的结构和具体实施过程可知，将基块本体划分为进气基块208和出气基块209。进气基块208内设置进气通道202；出气基块209内设置出气通道203，进气基块208与出气基块209之间的距离可调，以适应不同类型的气路系统1组件。

在一些实施例中，气路系统1包括多个具有不同功能的子气路系统。具体实施时：将多个具有不同功能的子气路系统上的组件与多个气路基块2接通，更加节省空间。

请参阅图7、图8，在一些实施例中，子气路系统包括：第一子气路系统4，第一子气路系统4包括依次使用气路基块2连接的第一手动隔膜阀401、第一调压阀组件402、第一过滤器组件403、第一单向阀组件404、第一气动隔膜阀405以及第一质量流量计406；第一过滤器组件403通过气路基块2依次连接有第一压力传感器组件407、第一连接盖408、第五气动隔膜阀409、第五单向阀组件410以及第五质量流量计411。

具体实施时：气体经过第一手动隔膜阀401，由第一手动隔膜阀401控制气体的通过与否。当第一手动隔膜阀401处于打开的状态时，气体进入第一调压阀组件402。第一调压阀组件402对气体的压力进行调节之后，气体的一个分支进入第一过滤器组件403、第一单向阀组件404、第一气动隔膜阀405以及第一质量流量计406；气体的另一个分支经过第一过滤器组件403后依次进入第一压力传感器组件407、第一连接盖408、第五气动隔膜阀409、第五单向阀组件410以及第五质量流量计411。

通过上述特气柜的结构和具体实施过程可知，特气柜气路系统1的多个组件之间通过气路基块2相连通，不再使用传统的管路进行连接，节省了大量的空间，安装较为方便。

请参阅图9，在一些实施例中，第一调压阀组件402包括：调压阀本体4021和基块连接座4022。基块连接座4022设置于调压阀本体4021的进气口和出气口处，基块连接座4022内设置有气体通道，气体通道一端分别与调压阀本体4021的进气口和出气口相通，气体通道的另一端与基块本体相通。

具体实施时：气体通过气路基块2进入基块连接座4022内的气体通道，从而通过调压阀本体4021对气压进行调节，输出符合规定气压的气体。

通过上述特气柜的结构和具体实施过程可知，通过在调压阀本体4021的进气口和出气口设置基块连接座4022，基块连接座4022与气路基块2相连接进行气体的输送，结构紧凑、可靠性高。

请参阅图10，在一些实施例中，第一过滤器组件403包括：过滤器安装底座4031、过滤器本体4032以及过滤器流通底座4033。过滤器安装底座4031设置于基块本体上。过滤器本体4032安装于过滤器安装底座4031上。过滤器流通底座4033一端设置于过滤器本体4032上，另一端设置于基块本体上。具体实施时：气体首先通过气路基块2进入过滤器流通底座4033，接着进入过滤器本体4032，最后进入过滤器安装底座4031上连接的气路基块2。

请参阅图11，在一些实施例中，第一单向阀组件404包括：单向阀安装底座4041、单向阀本体4042以及单向阀流通底座4043。其中，单向阀安装底座4041设置于基块本体上。单向阀本体4042一端连接于单向阀安装底座4041上。单向阀流通底座4043一端连接于单向阀本体4042上，另一端连接于基块本体上。

具体实施时：气体依次经过单向阀安装底座4041、单向阀本体4042以及单向阀流通底座4043，单向阀本体4042限制气体只能单向流通。

通过上述特气柜的结构和具体实施过程可知，设置单向阀安装底座4041和单向阀流通底座4043有效保证了单向阀本体4042与气路基块2的连接，连接的可靠性高，便于拆卸。

请参阅图12，在一些实施例中，第一压力传感器组件407包括：压力传感器安装底座4071和压力传感器本体4072。压力传感器安装底座4071设置于基块本体上。压力传感器本体4072连接于压力传感器安装底座4071上，对基块本体内的气压进行监测。具体实施时：压力传感器安装底座4071连接在气路基块2上并与其接通，压力传感器本体4072连接于压力传感器安装底座4071上，气体经过压力传感器安装底座4071由压力传感器本体4072对气压进行监测。

请参阅图7、图8，在一些实施例中，所述子气路系统还包括：第二子气路系统5，包括依次使用气路基块2连接的第二手动隔膜阀501、第二调压阀组件502、第二过滤器组件503、第二单向阀组件504、第二气动隔膜阀505以及第二质量流量计506；第二过滤器组件503通过气路基块2依次连接有第二压力传感器组件507、第二连接盖508；第二单向阀组件504通过气路基块2依次连接有第一压力表组件509、第五压力传感器组件510以及第六质量流量计511。

具体实施时：气体经过第二手动隔膜阀501，由第二手动隔膜阀501控制气体的通过与否。当第二手动隔膜阀501处于打开的状态时，气体进入第二调压阀组件502。第二调压阀组件502对气体的压力进行调节之后，气体的一个分支进入第二过滤器组件503、第二单向阀组件504、第二气动隔膜阀505以及第二质量流量计506；气体的另一个分支经过第二过滤器组件503后依次经过第二压力传感器组件507、第二连接盖508；气体在经过第二单向阀组件504后，又分出一支依次经过第一压力表组件509、第五压力传感器组件510以及第六质量流量计511。各组件通过气路基块相连接，节省了大量的空间，安装较为方便。

请参阅图13，在一些实施例中，第一压力表组件509包括：压力表安装底座5091和压力表本体5092。压力表安装底座5091设置于基块本体上。压力表本体5092连接于压力表安装底座5091上，对基块本体内的压力进行显示。具体实施时：压力表安装底座5091与气路基块2相接通，压力表本体5092连接于压力表安装底座5091上，气体经过压力表安装底座5091由压力表本体5092对气压进行显示。

请参阅图7、图8，在一些实施例中，子气路系统还包括：第三子气路系统6。第三子气路系统6包括依次使用气路基块2连接的第三手动隔膜阀601、第三调压阀组件602、第三过滤器组件603、第三单向阀组件604、第三气动隔膜阀605以及第三质量流量计606；第三过滤器组件603通过气路基块2依次连接有第三压力传感器组件607和第二压力表组件608；第三气动隔膜阀605通过气路基块2依次连接有第三连接盖609和第七质量流量计610；第三连接盖609与第一连接盖408之间通过管道接通。

具体实施时：气体经过第三手动隔膜阀601，由第三手动隔膜阀601控制气体的通过与否。当第三手动隔膜阀601处于打开的状态时，气体进入第三调压阀组件602。第三调压阀组件602对气体的压力进行调节之后，气体的一个分支进入第三过滤器组件603、第三单向阀组件604、第三气动隔膜阀605以及第三质量流量计606；气体的另一个分支经过第三过滤器组件603后依次进入第三压力传感器组件607和第二压力表组件608；气体经过第三气动隔膜阀605后，有一支依次通过第三连接盖609和第七质量流量计610。

请参阅图7、图8，在一些实施例中，子气路系统还包括：第四子气路系统7。第四子气路系统7包括依次使用气路基块2连接的第四手动隔膜阀701、第四调压阀组件702、第四过滤器组件703、第四气动隔膜阀704、第四单向阀组件705以及第四质量流量计706；第四过滤器组件703通过气路基块2依次连接有第四压力传感器组件707和第三压力表组件708；第四手动隔膜阀701通过气路基块2依次连接有第五手动隔膜阀709和氮气连接底座710；第四单向阀组件705通过气路基块2依次连接有第六压力传感器组件711、基块两孔连接盖712以及第八质量流量计713。

具体实施时：气体经过第四手动隔膜阀701，由第四手动隔膜阀701控制气体的通过与否。当第四手动隔膜阀701处于打开的状态时，气体进入第四调压阀组件702。第四调压阀组件702对气体进行调节之后，气体的一个分支进入第四过滤器组件703、第四气动隔膜阀704、第四单向阀组件705以及第四质量流量计706；气体的另一个分支进入第四压力传感器组件707和第三压力表组件708；当气体经过第四手动隔膜阀701时，第五手动隔膜阀709和氮气连接底座710分支的气体也可以进入第四手动隔膜阀701；当气体经过第四单向阀组件705时，分出一支到达第六压力传感器组件711、基块两孔连接盖712以及第八质量流量计713。

通过上述特气柜的结构和具体实施过程可知，将第四子气路系统7通过多个气路基块2相配合连接，省去了复杂的管路连接，大大减小了特气柜的占地面积，能适应多种使用场合。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (13)

1.一种特气柜，其特征在于，包括：

气路系统；

多个气路基块，所述气路系统上的组件通过所述多个气路基块接通；所述气路基块包括：

基块本体，所述基块本体上设置有多个安装孔，所述安装孔用于连接所述气路系统上的组件；所述基块本体内设置有进气通道和出气通道，所述进气通道具有第一进气口和第一出气口；所述出气通道具有第二进气口和第二出气口，所述第一出气口与所述气路系统上的组件的进气口相通；所述第二进气口与所述气路系统上的组件的出气口相通。

2.根据权利要求1所述的特气柜，其特征在于，还包括：

气路安装座，所述多个气路基块固定安装于所述气路安装座上。

3.根据权利要求1所述的特气柜，其特征在于，所述基块本体包括：

进气基块，所述进气基块内设置所述进气通道；

出气基块，与所述进气基块相对设置，所述出气基块内设置所述出气通道。

4.根据权利要求1所述的特气柜，其特征在于，所述气路系统包括多个具有不同功能的子气路系统。

5.根据权利要求4所述的特气柜，其特征在于，所述子气路系统包括：

第一子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第一手动隔膜阀、第一调压阀组件、第一过滤器组件、第一单向阀组件、第一气动隔膜阀以及第一质量流量计；所述第一过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第一压力传感器组件、第一连接盖、第五气动隔膜阀、第五单向阀组件以及第五质量流量计。

6.根据权利要求5所述的特气柜，其特征在于，所述第一调压阀组件包括：

调压阀本体；

基块连接座，设置于所述调压阀本体的进气口和出气口处，所述基块连接座内设置有气体通道，所述气体通道一端分别与所述调压阀本体的进气口和出气口相通，所述气体通道的另一端与所述基块本体相通。

7.根据权利要求5所述的特气柜，其特征在于，所述第一过滤器组件包括：

过滤器安装底座，设置于所述基块本体上；

过滤器本体，安装于所述过滤器安装底座上；

过滤器流通底座，一端设置于所述过滤器本体上，另一端设置于所述基块本体上。

8.根据权利要求5所述的特气柜，其特征在于，所述第一单向阀组件包括：

单向阀安装底座，设置于所述基块本体上；

单向阀本体，一端连接于所述单向阀安装底座上；

单向阀流通底座，一端连接于所述单向阀本体上，另一端连接于所述基块本体上。

9.根据权利要求5所述的特气柜，其特征在于，所述第一压力传感器组件包括：

压力传感器安装底座，设置于所述基块本体上；

压力传感器本体，连接于所述压力传感器安装底座上，对基块本体内的气压进行监测。

10.根据权利要求4所述的特气柜，其特征在于，所述子气路系统还包括：

第二子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第二手动隔膜阀、第二调压阀组件、第二过滤器组件、第二单向阀组件、第二气动隔膜阀以及第二质量流量计；所述第二过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第二压力传感器组件、第二连接盖；所述第二单向阀组件通过所述气路基块依次连接有第一压力表组件、第五压力传感器组件以及第六质量流量计。

11.根据权利要求10所述的特气柜，其特征在于，所述第一压力表组件包括：

压力表安装底座，设置于所述基块本体上；

压力表本体，连接于所述压力表安装底座上，对基块本体内的压力进行显示。

12.根据权利要求5所述的特气柜，其特征在于，所述子气路系统还包括：

第三子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第三手动隔膜阀、第三调压阀组件、第三过滤器组件、第三单向阀组件、第三气动隔膜阀以及第三质量流量计；所述第三过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第三压力传感器组件和第二压力表组件；所述第三气动隔膜阀通过所述气路基块依次连接有第三连接盖和第七质量流量计；所述第三连接盖与第一连接盖之间通过管道接通。

13.根据权利要求4所述的特气柜，其特征在于，所述子气路系统还包括：

第四子气路系统，包括依次使用所述气路基块连接的第四手动隔膜阀、第四调压阀组件、第四过滤器组件、第四气动隔膜阀、第四单向阀组件以及第四质量流量计；所述第四过滤器组件通过所述气路基块依次连接有第四压力传感器组件和第三压力表组件；所述第四手动隔膜阀通过所述气路基块依次连接有第五手动隔膜阀和氮气连接底座；第四单向阀组件通过所述气路基块依次连接有第六压力传感器组件、基块两孔连接盖以及第八质量流量计。

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