JPS60253021A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60253021A JPS60253021A JP59108608A JP10860884A JPS60253021A JP S60253021 A JPS60253021 A JP S60253021A JP 59108608 A JP59108608 A JP 59108608A JP 10860884 A JP10860884 A JP 10860884A JP S60253021 A JPS60253021 A JP S60253021A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- carbon nitride
- nitride film
- film
- magnetic disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば金属薄膜型の磁気ディスクといった磁
気記録媒体に関するものである。
気記録媒体に関するものである。
近年、磁気記録再生装置の進歩に対応して、磁気記録媒
体に対しても高性能化(高密度記録化)の要求が著しく
果されるようになり、このような観点より磁性層形成に
バインダー樹脂を用いていない、すなわちCo、Co−
Ni合金、C0−Cr合金等の強磁性金属材料をポリエ
チレンテt/フタレート、ポリイミド等の非磁性支持体
上に蒸着又はスパッタして磁性薄膜層を形成したいわゆ
る金属薄膜型磁気記録媒体が提案されている。
体に対しても高性能化(高密度記録化)の要求が著しく
果されるようになり、このような観点より磁性層形成に
バインダー樹脂を用いていない、すなわちCo、Co−
Ni合金、C0−Cr合金等の強磁性金属材料をポリエ
チレンテt/フタレート、ポリイミド等の非磁性支持体
上に蒸着又はスパッタして磁性薄膜層を形成したいわゆ
る金属薄膜型磁気記録媒体が提案されている。
ところが、金属薄膜型磁気記録媒体は、磁性薄膜層中に
バインダー樹脂が含1れていないことより、それだけ磁
性材料の充填密度が高く、高密度化に適しているものの
、この金属薄膜型磁気記録媒体の磁性薄膜層表面が硬質
の磁気へノド、ドラム、ガイド等と接触しながら走行し
ていると、摩擦抵抗が大きく、かつ薄膜である故に、磁
性薄膜層が傷つき、ひどい場合には磁性薄膜層の剥離が
起きたり、又、耐蝕性に劣っているといった欠点もある
。
バインダー樹脂が含1れていないことより、それだけ磁
性材料の充填密度が高く、高密度化に適しているものの
、この金属薄膜型磁気記録媒体の磁性薄膜層表面が硬質
の磁気へノド、ドラム、ガイド等と接触しながら走行し
ていると、摩擦抵抗が大きく、かつ薄膜である故に、磁
性薄膜層が傷つき、ひどい場合には磁性薄膜層の剥離が
起きたり、又、耐蝕性に劣っているといった欠点もある
。
非磁性支持体上の金属磁性薄膜表面に保護膜としての窒
化炭素膜を設ける。
化炭素膜を設ける。
〔実施例1〕
第1図は、本発明に係る磁気記録媒体の断面説明図であ
る。
る。
同図中、1は非磁性支持体であり、この非磁性支持体1
の基板は例えばアルミニウム合金よりカリ、そのアルミ
ニウム合金板表面に下地層としてN1−Pメッキ薄膜層
が設けられたものである。
の基板は例えばアルミニウム合金よりカリ、そのアルミ
ニウム合金板表面に下地層としてN1−Pメッキ薄膜層
が設けられたものである。
2は、前記ガ磁性支持体1表面、すなわちNi−Pメッ
キ薄膜層上に設けられた約0.06μm恩の金属磁性薄
膜層であり、この金属磁性薄膜層2は例えばN1−Co
−Pがメッキ手段で構成されたものである。
キ薄膜層上に設けられた約0.06μm恩の金属磁性薄
膜層であり、この金属磁性薄膜層2は例えばN1−Co
−Pがメッキ手段で構成されたものである。
3は、前記金属磁性薄膜層2上に設けられた約002〜
015μm、例えば約005μIn厚の窒化炭素膜であ
り、この窒化炭素膜3は、例えばRFマグネトロンスパ
ッタ装置を用い、約10mTorrの窒素ガス中で炭素
ターゲットにRFパワーを印加すると共に約ioo C
に加熱することによって形成され得る。
015μm、例えば約005μIn厚の窒化炭素膜であ
り、この窒化炭素膜3は、例えばRFマグネトロンスパ
ッタ装置を用い、約10mTorrの窒素ガス中で炭素
ターゲットにRFパワーを印加すると共に約ioo C
に加熱することによって形成され得る。
尚、この窒化炭素膜3は、オージェ分析手段によれば原
子比でC:N=1:3である。
子比でC:N=1:3である。
上記のように構成された表面に窒化炭素膜形成の磁気デ
ィスクと窒化炭素膜を形成していない磁気ディスクとを
、ディスクドライブシステムにおいてコンタクトスター
トアンドストップ(CSS)テストを行なうと、窒化炭
素膜未形成の磁気ディスクは1000回のC8Sで再生
出力が5dBも劣下し、そして3000回のC8Sでヘ
ンドグラッシュ後でも再生出力の低下はほとんど認めら
れないものである。
ィスクと窒化炭素膜を形成していない磁気ディスクとを
、ディスクドライブシステムにおいてコンタクトスター
トアンドストップ(CSS)テストを行なうと、窒化炭
素膜未形成の磁気ディスクは1000回のC8Sで再生
出力が5dBも劣下し、そして3000回のC8Sでヘ
ンドグラッシュ後でも再生出力の低下はほとんど認めら
れないものである。
又、上記窒化炭素膜形成の磁気ディスク及び窒化炭素膜
未形成の磁気ディスクより6n角の試料片を切り出し、
これを温度40℃、湿度90%の条件下VC2週間放置
し、その後光学顕微鏡で表面を観察すると、窒化炭素膜
の形成されていない試料片には表面にさびが認められる
ものの、窒化炭素膜の形成されている試料片にはさびが
認められず、変化のほとんどないものである。
未形成の磁気ディスクより6n角の試料片を切り出し、
これを温度40℃、湿度90%の条件下VC2週間放置
し、その後光学顕微鏡で表面を観察すると、窒化炭素膜
の形成されていない試料片には表面にさびが認められる
ものの、窒化炭素膜の形成されている試料片にはさびが
認められず、変化のほとんどないものである。
又、試料振動型磁力計で磁気測定をすると、窒化炭素膜
の形成されていないものは磁化が5%も劣下しているの
に対し、窒化炭素膜の形成されているものは磁化の劣下
がほとんどない。
の形成されていないものは磁化が5%も劣下しているの
に対し、窒化炭素膜の形成されているものは磁化の劣下
がほとんどない。
又、上記実施例の窒化炭素膜の代りにカーボン膜を同様
に形成した磁気ディスクと上記実施例の磁気ディスクと
を、常温、湿度90チの条件下で2昼夜放置していると
、本実施例のものでは第2図に光学顕微鏡による表面の
写真(倍率1000倍)を示す通り凹凸はほとんど認め
られないのに対し、窒化炭素膜の代りにカーボン膜の形
成された磁気ディスクでは第3図に光学顕微鏡による表
面の写真(倍率1000倍)を示す通りカーボン膜の脱
離が起きて凹凸が生じるといった欠点が認められるもの
であった。すなわち、上記実施例の窒化炭素膜の形成さ
れた磁気ディスクは、耐久性に著しく富んだものである
。伺、このような耐久性は、窒化炭素膜の組成が、オー
ジェ分析手段による原子比で、炭素対窒素が1対n(但
しnは約2以上)であれば充分ある。
に形成した磁気ディスクと上記実施例の磁気ディスクと
を、常温、湿度90チの条件下で2昼夜放置していると
、本実施例のものでは第2図に光学顕微鏡による表面の
写真(倍率1000倍)を示す通り凹凸はほとんど認め
られないのに対し、窒化炭素膜の代りにカーボン膜の形
成された磁気ディスクでは第3図に光学顕微鏡による表
面の写真(倍率1000倍)を示す通りカーボン膜の脱
離が起きて凹凸が生じるといった欠点が認められるもの
であった。すなわち、上記実施例の窒化炭素膜の形成さ
れた磁気ディスクは、耐久性に著しく富んだものである
。伺、このような耐久性は、窒化炭素膜の組成が、オー
ジェ分析手段による原子比で、炭素対窒素が1対n(但
しnは約2以上)であれば充分ある。
〔実施例2〕
実施例1と同様な非磁性支持体上に、RFマグネトロン
スパッタ装置でCo−C+金合金Cr20wt%)の磁
性薄膜層を約0.05μm厚形成し、次にこのスパッタ
装置内に窒素ガスを約10mTorrとなるよう導入し
、炭素ターゲットにRFパワーを印加し、磁性薄膜層上
に約0.05μm厚の前記実施例と同様な窒化炭素膜を
形成して磁気ディスクを構成した。
スパッタ装置でCo−C+金合金Cr20wt%)の磁
性薄膜層を約0.05μm厚形成し、次にこのスパッタ
装置内に窒素ガスを約10mTorrとなるよう導入し
、炭素ターゲットにRFパワーを印加し、磁性薄膜層上
に約0.05μm厚の前記実施例と同様な窒化炭素膜を
形成して磁気ディスクを構成した。
上記のように構成された表面に窒化炭素膜形成の磁気デ
ィスクと窒化炭素膜を形成していない磁気ディスクとを
、ハードディスクドライブ/ステムにおいてC8S試験
してみると、窒化炭素膜未形成の磁気ディスクは200
0回のC8Sで再生出力が5dBも劣下し、7000回
のC8Sでヘソドクラツ/ユが引き起こされてし捷うの
に対し、表面に窒化炭素膜の形成された磁気ディスクは
10000回のC8S後でも再生出力の低下はほとんど
認められないものである。
ィスクと窒化炭素膜を形成していない磁気ディスクとを
、ハードディスクドライブ/ステムにおいてC8S試験
してみると、窒化炭素膜未形成の磁気ディスクは200
0回のC8Sで再生出力が5dBも劣下し、7000回
のC8Sでヘソドクラツ/ユが引き起こされてし捷うの
に対し、表面に窒化炭素膜の形成された磁気ディスクは
10000回のC8S後でも再生出力の低下はほとんど
認められないものである。
耐摩耗性、耐スチル性及び耐蝕性に優れており、すなわ
ち耐久性に極めて富んでいる。
ち耐久性に極めて富んでいる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る磁気記録媒体の断面説明図、第2
図は2昼夜放置後における本発明の磁気記録媒体表面の
写真、第3図は2昼夜放置後におはるカーボン膜形成の
磁気記録媒体表面の写真である。 1・・・非磁性支持体、2・・・金属磁性薄膜層、3・
・窒化炭素膜。 特許出願人 日本ビクター株式会社 2′−〜 代理人 宇 高 克 己 第Jll121 第2図 第3図 手 1つ・−補 正 書(方式) %式% 1、事件の表示 @鯨日昭59−108608号 2発明の名称 磁気記録JS′1体 3補正をする渚 事件との序!係 牡竹出・4人 日本ビクター株式会社 4代作人 東京都千代田12神田佐久間11jl−,14ト、L (7900)宇高 俺、己 +噸 5袖止命令の日付 1J4(裕159中B月8日 6・1+ 、iヒの!・1λ− (])発明の詳細な説明 (2)図面C’)1ml’m囁な49hμi(、う)1
ン11萌 7梢止のl’+ ;’: (11明細N−、tlページ第2(常−〕h〜・A−5
ペ一ジ第2行目の「第2図・・・・・・す通り」をfi
ll Qする。 (2・明絹j曹第5ベージII”、 4〜5行目の「第
3ν1・・・・す通り」 全量(乍する。 (,3)明細¥勤6ペーノη1′]7〜19行−の[、
第2図・・・・・・の4呵JをAl1吟ず八〇(4;図
面中、第2ツ1^’ OrIS 31z1を)gl!
作する。
図は2昼夜放置後における本発明の磁気記録媒体表面の
写真、第3図は2昼夜放置後におはるカーボン膜形成の
磁気記録媒体表面の写真である。 1・・・非磁性支持体、2・・・金属磁性薄膜層、3・
・窒化炭素膜。 特許出願人 日本ビクター株式会社 2′−〜 代理人 宇 高 克 己 第Jll121 第2図 第3図 手 1つ・−補 正 書(方式) %式% 1、事件の表示 @鯨日昭59−108608号 2発明の名称 磁気記録JS′1体 3補正をする渚 事件との序!係 牡竹出・4人 日本ビクター株式会社 4代作人 東京都千代田12神田佐久間11jl−,14ト、L (7900)宇高 俺、己 +噸 5袖止命令の日付 1J4(裕159中B月8日 6・1+ 、iヒの!・1λ− (])発明の詳細な説明 (2)図面C’)1ml’m囁な49hμi(、う)1
ン11萌 7梢止のl’+ ;’: (11明細N−、tlページ第2(常−〕h〜・A−5
ペ一ジ第2行目の「第2図・・・・・・す通り」をfi
ll Qする。 (2・明絹j曹第5ベージII”、 4〜5行目の「第
3ν1・・・・す通り」 全量(乍する。 (,3)明細¥勤6ペーノη1′]7〜19行−の[、
第2図・・・・・・の4呵JをAl1吟ず八〇(4;図
面中、第2ツ1^’ OrIS 31z1を)gl!
作する。
Claims (1)
- 表面に窒化炭素膜を構成してなる磁気記録媒体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59108608A JPS60253021A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 磁気記録媒体 |
KR1019850002587A KR890003552B1 (ko) | 1984-05-30 | 1985-04-17 | 자기 기록 매체 |
US06/738,757 US4664976A (en) | 1984-05-30 | 1985-05-29 | Magnetic recording medium comprising a protective carbon nitride layer on the surface thereof |
DE19853519383 DE3519383A1 (de) | 1984-05-30 | 1985-05-30 | Magnetaufzeichnungsmedium mit einer kohlenstoffnitrid-schutzschicht auf seiner oberflaeche |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59108608A JPS60253021A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60253021A true JPS60253021A (ja) | 1985-12-13 |
Family
ID=14489109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59108608A Pending JPS60253021A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4664976A (ja) |
JP (1) | JPS60253021A (ja) |
KR (1) | KR890003552B1 (ja) |
DE (1) | DE3519383A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6367924B1 (en) | 1999-01-11 | 2002-04-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thermally assisted magnetic recording medium |
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JPH07114016B2 (ja) * | 1986-06-12 | 1995-12-06 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
WO1989005362A1 (en) * | 1987-12-07 | 1989-06-15 | Akashic Memories Corporation | A magnetic disk with a high incidence chromium underlayer |
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-
1984
- 1984-05-30 JP JP59108608A patent/JPS60253021A/ja active Pending
-
1985
- 1985-04-17 KR KR1019850002587A patent/KR890003552B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1985-05-29 US US06/738,757 patent/US4664976A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-05-30 DE DE19853519383 patent/DE3519383A1/de active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5819739A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-04 | Sony Corp | 薄膜磁気記録媒体 |
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---|---|---|---|---|
US6367924B1 (en) | 1999-01-11 | 2002-04-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thermally assisted magnetic recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3519383A1 (de) | 1985-12-05 |
KR850008731A (ko) | 1985-12-21 |
DE3519383C2 (ja) | 1989-09-07 |
US4664976A (en) | 1987-05-12 |
KR890003552B1 (ko) | 1989-09-23 |
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