JPH0750009A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0750009A JPH0750009A JP21214793A JP21214793A JPH0750009A JP H0750009 A JPH0750009 A JP H0750009A JP 21214793 A JP21214793 A JP 21214793A JP 21214793 A JP21214793 A JP 21214793A JP H0750009 A JPH0750009 A JP H0750009A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- alloy
- magnetic recording
- thin film
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高保磁力及び低ノイズの磁気記録媒体を提案
する。 【構成】 非磁性基体層上に非磁性金属下地層、磁性
層、保護層を設けてなる磁気記録媒体であり、前記非磁
性金属下地層はＣｒ９５〜６０ａｔ％とＭｏ，Ｗのうち
の１種以上５〜４０ａｔ％とからなる合金組成を有する
薄膜媒体である。
する。 【構成】 非磁性基体層上に非磁性金属下地層、磁性
層、保護層を設けてなる磁気記録媒体であり、前記非磁
性金属下地層はＣｒ９５〜６０ａｔ％とＭｏ，Ｗのうち
の１種以上５〜４０ａｔ％とからなる合金組成を有する
薄膜媒体である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク、磁気ド
ラム、磁気テープなどの磁気記録媒体に関する。
ラム、磁気テープなどの磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録媒体においては、高記録
密度が要求され、そのために連続薄膜媒体が注目されて
いる。このような連続薄膜媒体としては、非磁性基体層
上に非磁性金属下地層としてＣｒを成膜し、さらにその
上に磁性層としてＣｏＣｒＴａ系、ＣｏＣｒＰｔ系など
の合金をスパッタ等の方法により成膜して構成されてい
る。
密度が要求され、そのために連続薄膜媒体が注目されて
いる。このような連続薄膜媒体としては、非磁性基体層
上に非磁性金属下地層としてＣｒを成膜し、さらにその
上に磁性層としてＣｏＣｒＴａ系、ＣｏＣｒＰｔ系など
の合金をスパッタ等の方法により成膜して構成されてい
る。
【０００３】そして、高記録密度のためには、高保磁力
（以下、保磁力をＨｃと記載する）及び低ノイズが要求
される。
（以下、保磁力をＨｃと記載する）及び低ノイズが要求
される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
非磁性金属下地層としてＣｒを成膜した上にＣｏＣｒＴ
ａ系、ＣｏＣｒＰｔ系などの合金を成膜する方法は、高
保磁力（Ｈｃ≧１８００ｏｅ）及び低ノイズの点では不
十分であった。したがって、高保磁力及び低ノイズの両
特性を満足する磁気記録媒体が嘱望されていた。
非磁性金属下地層としてＣｒを成膜した上にＣｏＣｒＴ
ａ系、ＣｏＣｒＰｔ系などの合金を成膜する方法は、高
保磁力（Ｈｃ≧１８００ｏｅ）及び低ノイズの点では不
十分であった。したがって、高保磁力及び低ノイズの両
特性を満足する磁気記録媒体が嘱望されていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記高保磁力及び低ノイ
ズの両特性を満足させるため、本発明は、非磁性基体層
上に、Ｃｒと、Ｍｏ，Ｗのうちの１種以上とからなる非
磁性金属下地層を形成し、その組成割合をＭｏ，Ｗのう
ちの１種以上５〜４０ａｔ％、残部Ｃｒに設定した磁気
記録媒体に関するものである。
ズの両特性を満足させるため、本発明は、非磁性基体層
上に、Ｃｒと、Ｍｏ，Ｗのうちの１種以上とからなる非
磁性金属下地層を形成し、その組成割合をＭｏ，Ｗのう
ちの１種以上５〜４０ａｔ％、残部Ｃｒに設定した磁気
記録媒体に関するものである。
【０００６】本発明に先立ち、本発明者はＡｒ圧６ｍＴ
ｏｒｒ、投入パワー４Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２３０℃で
ＤＣマグネトロンスパッタリング法によりＴＥＸを施し
たＮｉＰメッキ基板上にＣｒＭｏ合金下地膜を成膜し、
さらにＣｏＣｒＰｔ合金磁性膜を成膜した磁気記録媒体
の磁気特性を測定した。このとき、ＣｒＭｏの組成割合
は、ＣｒターゲットにＭｏチップを埋め込むことにより
コントロールした。その結果、ＣｒＭｏを下地膜に用い
たＣｏＣｒＰｔ合金磁性膜は、従来のＣｒを下地膜に用
いた場合に比べてＨｃが向上していることが見出され
た。このような効果は、Ｍｏ５ａｔ％以上４０ａｔ％以
下の条件で認められた。また、ＭｏをＷに代えても同様
の効果が認められた。
ｏｒｒ、投入パワー４Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２３０℃で
ＤＣマグネトロンスパッタリング法によりＴＥＸを施し
たＮｉＰメッキ基板上にＣｒＭｏ合金下地膜を成膜し、
さらにＣｏＣｒＰｔ合金磁性膜を成膜した磁気記録媒体
の磁気特性を測定した。このとき、ＣｒＭｏの組成割合
は、ＣｒターゲットにＭｏチップを埋め込むことにより
コントロールした。その結果、ＣｒＭｏを下地膜に用い
たＣｏＣｒＰｔ合金磁性膜は、従来のＣｒを下地膜に用
いた場合に比べてＨｃが向上していることが見出され
た。このような効果は、Ｍｏ５ａｔ％以上４０ａｔ％以
下の条件で認められた。また、ＭｏをＷに代えても同様
の効果が認められた。
【０００７】また、面内磁気記録としてＨｃを再現よく
高い値に保つため、ＣｒＭｏ合金またはＣｒＷ合金から
なる非磁性金属下地層を１００〜３０００Åの膜厚で設
けることが望ましい。
高い値に保つため、ＣｒＭｏ合金またはＣｒＷ合金から
なる非磁性金属下地層を１００〜３０００Åの膜厚で設
けることが望ましい。
【０００８】さらに、上記磁気記録媒体の表面に５０〜
５００Åの非磁性被覆膜を形成させることにより、耐久
性及び耐蝕性を向上させることができる。
５００Åの非磁性被覆膜を形成させることにより、耐久
性及び耐蝕性を向上させることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。
【００１０】［製造方法］；日電アネルバ製ＩＬＣ−３
１０８を用い、ＤＣマグネトロンスパッタリング法でス
パッタを行った。非磁性基体層としては、ＮｉＰメッキ
Ａｌ板（９５ｍｍφ）を用いた。ターゲットは、Ｃｒ合
金／Ｃｏ75Ｃｒ13Ｐｔ12合金／Ｃで、Ｃｒターゲット上
にＭｏ、Ｗを埋め込んで実験を行った。Ｃｒ合金の組成
割合は、ペレットの数によりコントロールした。
１０８を用い、ＤＣマグネトロンスパッタリング法でス
パッタを行った。非磁性基体層としては、ＮｉＰメッキ
Ａｌ板（９５ｍｍφ）を用いた。ターゲットは、Ｃｒ合
金／Ｃｏ75Ｃｒ13Ｐｔ12合金／Ｃで、Ｃｒターゲット上
にＭｏ、Ｗを埋め込んで実験を行った。Ｃｒ合金の組成
割合は、ペレットの数によりコントロールした。
【００１１】次に、上記製造方法により製造された磁気
記録媒体の静磁気特性並びに記録再生特性を調べた。静
磁気特性は振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて測定
し、記録再生特性は、ギャップ長０．４μｍ、トラック
幅１０μｍ、フライングハイト０．１μｍのＭＩＧヘッ
ドを使用し、測定記録密度３６ＫＦＣＩ（半径２０ｍ
ｍ）にて測定し、それぞれの結果を表１に示した。
記録媒体の静磁気特性並びに記録再生特性を調べた。静
磁気特性は振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて測定
し、記録再生特性は、ギャップ長０．４μｍ、トラック
幅１０μｍ、フライングハイト０．１μｍのＭＩＧヘッ
ドを使用し、測定記録密度３６ＫＦＣＩ（半径２０ｍ
ｍ）にて測定し、それぞれの結果を表１に示した。
【００１２】
【表１】
【００１３】上記表１より、本発明の実施例１〜５で
は、高保磁力、低ノイズが得られることが確認された。
は、高保磁力、低ノイズが得られることが確認された。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体は、高保磁力及び低ノイズの両特性を満足し、高密
度記録が可能とな磁気ディスク、磁気ドラム、磁気テー
プなどを得ることができるものである。
媒体は、高保磁力及び低ノイズの両特性を満足し、高密
度記録が可能とな磁気ディスク、磁気ドラム、磁気テー
プなどを得ることができるものである。
Claims (2)
- 【請求項１】 非磁性基体層上に非磁性金属下地層、磁
性層、保護層を設けてなる磁気記録媒体において、前記
非磁性金属下地層はＣｒ９５〜６０ａｔ％とＭｏ，Ｗの
うちの１種以上５〜４０ａｔ％とからなる合金組成を有
する薄膜媒体であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 非磁性金属下地層のＣｒ合金の膜厚が１
００〜３０００Åであることを特徴とする請求項１に記
載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21214793A JPH0750009A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21214793A JPH0750009A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0750009A true JPH0750009A (ja) | 1995-02-21 |
Family
ID=16617672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21214793A Pending JPH0750009A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750009A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6071607A (en) * | 1996-04-26 | 2000-06-06 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6129981A (en) * | 1998-02-20 | 2000-10-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic recording disk device |
| US6740383B2 (en) | 1998-05-27 | 2004-05-25 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium possessing a ratio of Hc(perpendicular) to Hc(horizontal) that is not more than 0.22 and magnetic recording disk device |
-
1993
- 1993-08-05 JP JP21214793A patent/JPH0750009A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6071607A (en) * | 1996-04-26 | 2000-06-06 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6129981A (en) * | 1998-02-20 | 2000-10-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic recording disk device |
| US6740383B2 (en) | 1998-05-27 | 2004-05-25 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium possessing a ratio of Hc(perpendicular) to Hc(horizontal) that is not more than 0.22 and magnetic recording disk device |
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