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JPS61217925A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

Info

Publication number
JPS61217925A
JPS61217925A JP60059191A JP5919185A JPS61217925A JP S61217925 A JPS61217925 A JP S61217925A JP 60059191 A JP60059191 A JP 60059191A JP 5919185 A JP5919185 A JP 5919185A JP S61217925 A JPS61217925 A JP S61217925A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
alloy
magnetic
magnetic film
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60059191A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Mizukami
誠 水上
Toshio Kato
敏雄 加藤
Toshikazu Nishihara
西原　敏和
Toshiro Abe
安部　俊郎
Akihiro Kimura
明弘 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Victor Company of Japan Ltd filed Critical Victor Company of Japan Ltd
Priority to JP60059191A priority Critical patent/JPS61217925A/ja
Priority to US06/842,647 priority patent/US4753852A/en
Publication of JPS61217925A publication Critical patent/JPS61217925A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
    • G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
    • G11B5/7373—Non-magnetic single underlayer comprising chromium
    • G—PHYSICS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体、特に金属薄膜型の磁気記録媒
体に関するものである。
〔従来技術とその問題点〕
磁気記録において高密度記録が行なえるようにするには
、磁気記録媒体の磁気特性中保磁力の高いことが必要で
ある。
ところが、従来より例えばスパッタリング等のフィジカ
ルペーパーデポジション法によって作られている金属薄
膜型磁気記録媒体は、その保磁力、モジュレーションノ
イズ、耐食性等の点において問題が残されており、高密
度記録用のものとしては不充分なものである。
〔発明の開示〕
本発明者は、金属薄膜型の磁気記録媒体の研究を続けて
いるうちに、特にＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性膜の磁気
記録媒体の研究を続けているうちに、このＣｏ−Ｎｉ−
Ｃｒ系合金磁性膜の下地層にＣｒ膜を構成し、かつＣｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性膜としてＣｒが約３〜１７原子
％含まれたものであって、そしてこの磁性膜の厚みが約
４００〜２０００Ａであるものを用いた場合、この磁性
膜の保磁力Ｈｃは高く、ノイズレベルの小さな高Ｓ／Ｎ
のものとなり、さらには磁性膜の耐食性が高まり、高性
能な磁気記録媒体を得ることが出来ることを見い出した
。
すなわち、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金の下地層としてＣｒ
層を構成しておくことにより、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金
磁性膜の面内方向の配向性が高くなることを見い出した
のである。つまり、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性膜の下
地層としてＣｒ層がない場合には面内配向性°が悪くな
るのである。尚、この下地層としてのＣｒ層は、その厚
みが約１０００λ〜１μｍ１より望ましくは約２０００
〜５０００Ａ程度であることが好ましい。
又、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性膜中のＣｒの組成を制
御することにより、すなわちＣｒを約３〜１７原子％の
範囲内のものとすることにより、この磁性膜の保磁力Ｈ
ｃは高く、又、ノイ′ルレペルも小さく、さらには耐食
性が良いことを見い出したのである。
つまり、Ｃｒ量が少なすぎると、保磁力Ｈｃは低下する
傾向があり、又、ノイズレベルの低下が図れに＜＜、さ
らには耐食性も低下する傾向があり、逆にＣｒ量が多く
なりすぎると、保磁力Ｈｃが低下し始めることを見い出
したのである。尚、これは、Ｃｒを添加することによっ
て、例えばフイジカ・ルベーバーデポジションによって
形成される磁性膜構成粒子の微細化及び磁気異方性が向
上し、その結果Ｈｅが向上するものと思われ、又、磁化
過程が磁化回転型に近ずく結果ノイズレベルは低下する
ものと思われ、又、ＣｒがＣｒ５Ｏｓを形成する結果耐
食性が向上するものと思われる。
又、上記特長はＣｏ　−Ｎ　ｉ　−Ｃｒ系合金磁性膜の
厚さを制御することに裏って一層高められることもわか
った。すなわち、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性膜が厚く
なるにつれて保磁力Ｈｅは低下する傾向にあり、又、ノ
イズレベルも高くなる傾向にあることより、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｃｒ系合金磁性膜は厚すぎない方が望ましいのである
が、逆に薄すぎると耐食性は低下し、又、出力も低下す
ることより、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性膜の厚みは約
４００〜２０００Ａ厚が望ましいこともわかった。
〔実施例１〕 例えばＮ１−Ｐメッキされたアルミニウム製基板上に、
８インチ径のＣｒをターゲットとしてＰＡｒ５ミリＴｏ
ｒｒの条１件でＤＣマグネトロンスパッタを行ない、Ｎ
１−Ｐメッキ膜上に約２５００＾厚のＣｒ層を形成する
。
次に、上記Ｃｒ層の形成された基板に対して、７×７１
ｒＩＬのＮｉチップ及び７×７罰のＣｒチップを置いた
８インチ径のＣＯをターゲットとしてＰＡｒ５ミリ゛Ｔ
ｏｒｒの条件でＤＣマグネトロンスパッタを行ない、上
記Ｃｒ層上にＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒｒ系金磁性膜層ＣｏｙＮ
ｉ＋５Ｃｒｘ％ｘ＋ｙ＋１８＝１００　）を形成し、磁
気ディスクを得る。
〔実施例２〕 実施例１において、Ｃｏ　−７’Ｊ　ｉ　−Ｃｒ合金磁
性薄膜形成時のＰＡｒを８ミリＴｏｒｒで行ない、Ｃｒ
層上にＣ０ｔｓ’Ｎ、ｔｌｓ　Ｃｒｓの磁性薄膜層を形
成して磁気ディスクを得る。　・ 〔特性〕 上記実施例１で得た磁気ディスクについて、その保磁力
Ｈｃを調べた結果を第１図に示す。
これによれば、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性薄膜層中のＣ
ｒの量によって保磁力Ｈｃは大きな影響を受け、すなわ
ち第１図より明らかな如く保磁力ＨｃはＣｒが添加され
るとＣｒが全くない場合よりも高く、特にＣｒが約７〜
１３原子％の範囲内の値をピークにしていることがわか
り、又、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性薄膜層の厚みが薄い
程保磁力Ｈｃは高いことがわかり、さらに磁性薄膜層中
のＣｒが約３〜１７原子％であって、かつ磁性薄膜層の
厚みが約２０００Ｘ以下のものであれば、この磁性薄膜
の保磁力は高いことがわかる。
又、実施例１で得た磁気ディスクについて、そのノイズ
レベルを調べた結果を第２図に示す。
これによれば、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性薄膜層中のＣ
ｒの量−が増すこ、又、磁性薄膜層の厚みが薄くなると
ノイズレベルは低下しており、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁
性薄膜層中のＣｒが約３原子％以上の場合にはノイズレ
ベルの小さいことがわかる。
又、実施例２で得た磁気ディスクについて、そのノイズ
レベルを調べた結果を第３図に示す。
これによれば、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性薄膜層が薄く
なるにつれてノイズレベルは低下しており、特にＣｏ−
Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性薄膜層が約２０００Ａ以下ではノイ
ズレベルの小さなものであることがわかる。
又、実施例１で得た磁気ディスクについて、その耐食性
をテスト（温度６０℃、湿度８０％ＲＨ１１２０時間放
置）した結果を表に示す。
×錆発生、△錆がわずか認められる、 ○変化なし これによれば、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金磁性薄膜層の厚み
が約４００〜２０ＧＯＡであって、かつこの磁性薄膜層
中におけるＣｒが約３〜１７原子％の範囲内のものであ
れば、その耐食性が良好なことがわかる。
〔効果〕
高保磁力で、ノイズレベルが小さく、高Ｓ／Ｎであり、
しかも耐食性に富む磁気記録媒体が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１〜３図は、磁気記録媒体の特性を示すグラフである
。 →′：Ｆｍ 手続補正簀（自発ン 昭和６０年５月７３日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 非磁性支持体のＣｒ層上に、Ｃｒを約３〜１７原子％含
    有するＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金磁性薄膜層を約４００〜
    ２０００Å厚をもつて形成したことを特徴とする磁気記
    録媒体。
JP60059191A 1985-03-23 1985-03-23 磁気記録媒体 Pending JPS61217925A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60059191A JPS61217925A (ja) 1985-03-23 1985-03-23 磁気記録媒体
US06/842,647 US4753852A (en) 1985-03-23 1986-03-21 Magnetic recording medium comprising a magnetic Co-Ni-Cr alloy thin layer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60059191A JPS61217925A (ja) 1985-03-23 1985-03-23 磁気記録媒体

Publications (1)

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JPS61217925A true JPS61217925A (ja) 1986-09-27

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ID=13106276

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JP60059191A Pending JPS61217925A (ja) 1985-03-23 1985-03-23 磁気記録媒体

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JP (1) JPS61217925A (ja)

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US4753852A (en) 1988-06-28

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