JP4677632B2 - ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明はペリクルフレームからペリクルライナーを剥離する剥離装置又は、基板からペリクルを剥離する剥離装置及び剥離方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法に関する。

半導体装置や液晶表示装置などの製造工程において、半導体ウエハあるいは液晶表示装置用基板上に光を照射してパターンを形成するリソグラフィー工程がある。このリソグラフィー工程では、例えば矩形状のフォトマスク基板に形成されたパターンに光を照射し、フォトマスク基板を透過した光をウエハ等の半導体基板上で結像させて、ウエハ等の半導体基板上のレジスト剤を感光させることにより、基板上に所定のパターンを転写する。

上記のパターン転写処理を行う際、フォトマスク基板上に形成されたパターンに異物が付着すると、異物が光を吸収したり、光を屈折させてしまうため、転写したパターンに異常が発生する。これによって、配線の絶縁不良や短絡などの不良原因となり、半導体装置や液晶表示装置などの性能が悪化し、製造の歩留りが低下するという問題があった。これを防止するため、一般に、フォトマスク基板に形成されたパターンを、ペリクルにより保護する方法が採られている。

通常、フォトマスク基板に形成されたパターン領域の外側を囲むように配置されたペリクルフレームにペリクル膜が張設されている。ペリクルフレームはフォトマスク基板の形状に対応しており、矩形の外周を有する枠状に設けられている。ペリクル膜は、ペリクルフレームにより保持され、フォトマスク基板のパターン形成面と所定の間隔を置いて張設される。この場合、異物はフォトマスク基板のパターン面に直接付着することなく、ペリクル膜上に捕らえられる。露光時に、焦点をフォトマスク基板上に合わせておけば、ペリクル膜上の異物はウエハ上で結像することがなく、転写とは無関係になる。

このようなペリクルフレームを有するペリクルは、通常、ゴミなどの異物が付着しないように、蓋付きのペリクル輸送ケース内で収容された状態で保管される。そして、フォトマスクに装着されるときに、ペリクル輸送ケースから取り出される。また、ペリクルフレームのペリクルと反対側の面には、粘着層とそれを保護するためのライナーが設けられている。そして、ライナーの外側に突出したタブ（突き出し部）を設け、このタブをケース（トレイ）に対して固定したものものが開示されている（特許文献１参照）。このような構成により、ペリクル付きフレームを取り出すと同時に、ペリクルライナーを剥離することができる。

また、ケースに固定するためのタブをペリクルフレームの中央部に設けたものがある（特許文献２参照）。この構成では、図２に示すように枠状のペリクルフレーム３２の各辺の中央近傍において、ペリクルライナー３３から外側に突出したタブ３４（押え代）を設け、このタブ３４を接着テープ３５を介してケース３１に固定している。この構成では、輸送時の振動などによって、ペリクルライナー３３がフレーム３２から剥離するのを防ぐことができる。
特開平９−１０６０６６号公報 特開２００４−３６１６４７号公報

このように、各辺の中央でペリクルライナーに接着テープを貼り付け、ケースに固定した場合、ペリクルライナーが剥離しにくくなる。よって、振動等によりペリクルケースからペリクルフレームが飛び上がったとしても、ペリクルライナーが剥離するのを防ぐことができる。しかしながら、このような止め方をしているペリクルは、ペリクルフレームからペリクルライナーを剥がしながら、ケースから取り出すことが困難になってしまう。これについて図９を用いて説明する。図９は、ペリクルフレームからペリクルライナーを剥がしながら、ケースから取り出すときの構成を示す側面図である。

ペリクルフレーム３２の辺の中央において、ペリクルライナー３３の上から接着テープがケース３１に対して貼り付けられている。そして、ペリクルをケース３１から取り出すため、ペリクルフレーム３２の外側側面を挟持して、ペリクルフレーム３２を持ち上げる。すると、図９に示すようにペリクルフレーム３２の辺の中央付近からペリクルライナー３３がある程度まで引き剥がされていく。しかしながら、この状態になるとペリクルライナー３３を引く力のベクトルがペリクルフレーム３２の方向に沿ってしまい、引き剥がし成分が弱くなってしまう。すなわち、ペリクルライナー３３を引く力の方向が、ペリクルフレーム３２の辺と略平行になってしまい、それ以上、ペリクルフレーム３２を引っ張っても、ペリクルライナー３３が剥がれなくなってしまう。また、ペリクルフレーム３２を持ち上げる力を強くすると、ペリクルライナー３３が破損したり、ペリクルフレーム３２が変形してしまうおそれがある。

上記のように、ペリクルフレームに設けられた粘着層を保護するペリクルライナーのタブが、ペリクルフレームの辺の中央近傍に設けられている場合、ペリクルケースから、ペリクルライナーを引き剥がしながらペリクルを取り出すことが困難になってしまうという問題点があった。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、ペリクルフレームの辺の中央近傍に設けられたタブがケースに対して固定されている場合であっても、ケースからペリクルを取り出す際に、簡易な構成でペリクルライナーを剥離することができるペリクルライナーの剥離装置及び剥離方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、ペリクルを確実に剥離することができるペリクルの剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様にかかるペリクルライナーの剥離装置は、粘着層を保護するペリクルライナーが設けられたペリクルフレームを有するペリクルをペリクルケースから取り出す際に、前記ペリクルフレームの辺の中央近傍において当該ペリクルフレームの外側に突出した前記ペリクルライナーのタブを前記ペリクルケースに固定して、前記ペリクルライナーを前記ペリクルフレームから剥離するペリクルライナーの剥離装置であって前記ペリクルを保持するペリクル保持具と、前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出する荷重センサーと、前記ペリクル保持具と前記ペリクルケースとの距離を離すよう、前記前記ペリクルケース又は前記ペリクル保持具を駆動する駆動部とを備えるものである。これにより、確実にペリクルライナーを剥離することができる。

本発明の第２の態様にかかるペリクルライナーの剥離装置は、上述の剥離装置において、前記荷重センサーで検出された荷重に基づいて、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離して、前記ペリクルライナーを剥離させるものである。これにより、ペリクルライナーを剥離した場合でも、ペリクルフレームの変形や、ペリクルライナーの破損を防ぐことができる。

本発明の第３の態様にかかるペリクルライナーの剥離装置は、上述の剥離装置において、前記荷重センサーで検出された荷重がしきい値を超えないように、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離していき、前記ペリクルライナーを剥離させるものである。これにより、ペリクルライナーを剥離した場合でも、ペリクルフレームの変形や、ペリクルライナーの破損を防ぐことができる。

本発明の第４の態様にかかるペリクルライナーの剥離装置は、上述の剥離装置において、前記ペリクル保持具が、前記ペリクルライナーのタブが設けられている箇所の近傍に設けられているものである。これにより、低い荷重でペリクルライナーを剥離することができる。

本発明の第５の態様にかかるペリクルライナーの剥離装置は、上述の剥離装置において、枠状に設けられた前記ペリクルフレームの１辺に対して、前記ペリクル保持具が複数設けられ、前記複数のペリクル保持具にかかる荷重の合計に基づいて、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離していくものである。これにより、低い荷重でペリクルライナーを剥離することができる。

本発明の第６の態様にかかるペリクルの剥離装置は、粘着層が設けられたペリクルフレームを介して基板に貼り付けられたペリクルを前記基板から剥離するペリクルの剥離装置であって、前記ペリクルを保持するペリクル保持具と、前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出する荷重センサーと、前記ペリクル保持具と前記基板との距離を離すよう、前記ペリクルケース又は前記ペリクル保持具を駆動する駆動部とを備えるものである。これにより、確実にペリクルを基板から剥離することができる。

本発明の第７の態様にかかるペリクルライナーの剥離方法は、粘着層を保護するペリクルライナーが設けられたペリクルフレームを有するペリクルをペリクルケースから取り出す際に、前記ペリクルライナーを前記ペリクルフレームから剥離するペリクルライナーの剥離方法であって、前記ペリクルフレームの辺の中央近傍において当該ペリクルフレームの外側に突出した前記ペリクルライナーのタブを前記ペリクルケースに固定し、前記ペリクルフレームをペリクル保持具によって保持し、前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出し、前記荷重センサーで検出された荷重に基づいて、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離して、前記ペリクルライナーを剥離させるものである。これにより、ペリクルライナーを確実に剥離することができる。

本発明の第８の態様にかかるペリクルライナーの剥離方法は、上述の剥離方法において、前記荷重センサで検出された荷重が、設定された範囲を超えないよう、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離して、前記ペリクルライナーを剥離させるものである。これにより、ペリクルライナーを剥離した場合でも、ペリクルフレームの変形や、ペリクルライナーの破損を防ぐことができる。

本発明の第９の態様にかかるパターン基板の製造方法は、上記のペリクルライナーの剥離方法によって、ペリクルフレームからペリクルライナーを剥離し、前記ペリクルライナーが剥離されたペリクルを前記粘着層を介してマスクに貼り付け、前記ペリクルが貼り付けられたマスクによって基板を露光し、前記露光された基板を現像するものである。これにより、生産性を向上することができる。

本発明の第１０の態様にかかるペリクルの剥離方法は、粘着層が設けられたペリクルフレームを介して基板に貼り付けられたペリクルを前記基板から剥離するペリクルの剥離方法であって、前記ペリクルフレームをペリクル保持具によって保持し、前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出し、前記荷重センサーで検出された荷重に基づいて、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離して、前記ペリクルを剥離させるものである。これにより、ペリクルを基板から確実に剥離することができる。

本発明によれば、ペリクルフレームの辺の中央近傍に設けられたタブがケースに対して固定されている場合であっても、ケースからペリクルを取り出す際に、簡易な構成でペリクルライナーを剥離することができるペリクルライナーの剥離装置及び剥離方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、ペリクルを基板から確実に剥離することができるペリクルの剥離装置及び剥離方法を提供することができる。

以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。尚、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略する。

本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置の構成について図１を用いて説明する。図１は、本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置の構成を模式的に示す側面図である。１０はペリクル輸送ケース、１１は駆動ステージ、１２はペリクル輸送ケース台、１３は駆動モータ、１５は回転シャフト、２１はペリクルチャック、２２はベースプレート、４１は移動台車、４２は固定レールである。

図１に示すようにペリクルを収容したペリクル輸送ケース１０が、ペリクル輸送ケース台１２に設けられた駆動ステージ１１上に載置されている。駆動ステージ１１は駆動モータ１３を介してペリクル輸送ケース台１２に取り付けられている。駆動モータ１３は回転シャフト１５を介して駆動ステージ１１を支持している。駆動ステージ１１は鉛直方向から傾斜して設けられている。従って、ペリクル輸送ケース１０及びペリクル輸送ケース１０に収納されたペリクルも鉛直方向から傾斜して配設されている。例えば、駆動ステージ１１は鉛直方向から３０°傾斜している。

ペリクル輸送ケース１０は、真空吸着によって駆動ステージ１１上に固定されている。すなわち、駆動ステージ１１の前面側には、ペリクル輸送ケース１０を吸着するための吸着パッドが設けられている。また、駆動ステージ１１にペリクル輸送ケース１０の落下を防止するストッパーを設けてもよい。駆動モータ１３は、回転シャフト１５を回転軸として駆動ステージ１１の傾斜角度を変化させることができる。すなわち、駆動モータ１３が駆動することによって回転シャフト１５が回転し、駆動ステージ１１の傾斜角度が変化する。これにより、ペリクル輸送ケース１０及びペリクル輸送ケース１０内に収納されたペリクルが駆動して、傾斜角度が変化する。

ペリクル輸送ケース台１２の隣には、固定レール４２が並設されている。固定レール４２は紙面に垂直な方向に沿って設けられている。固定レール４２の上には、移動台車４１が設けられている。移動台車４１は、固定レール４２が設けられている方向に沿って移動する。具体的には、ペリクルを取り出す際、移動台車４１を移動させてベースプレート２２がペリクル輸送ケース１０と対向する位置に配置する。ペリクル輸送ケース１０からペリクルを取り出したら、移動台車４１を移動させる。そして、ペリクルを装着するためペリクル装着装置の位置まで移動台車４１を移動させる。

移動台車４１の上には、ベースプレート２２が取り付けられている。ベースプレート２２は、ペリクル輸送ケース１０と同様に傾斜している。ベースプレート２２は、駆動ステージ１１と同じ傾斜角度になっている。すなわち、駆動ステージ１１とベースプレート２２とは略平行になっている。ベースプレート２２のペリクル輸送ケース１０側にはペリクルチャック２１が接続されている。ペリクルチャック２１はペリクルを挟持するため、上下に離間して設けられている。そして、このペリクルチャック２１の間にペリクルが配置される。ペリクルチャック２１はペリクルフレームの上下を把持する。ペリクルフレームを把持した状態で、駆動モータ１３を駆動して、駆動ステージ１１を倒す方向（図１の矢印の方向）に回転シャフト１５を回転させる。これにより、ペリクル輸送ケース１０がベースプレート２２から離間していく。このとき、ペリクルチャック２１によってペリクルが把持されているため、ペリクル輸送ケース１０からペリクルを取り出すことができる。そして、移動台車４１を移動させることによって、ペリクル輸送ケース１０から取り出したペリクルをフォトマスクが設けられたペリクル装着装置に配置する。

次に、ペリクル輸送ケース１０に設けられたペリクルの構成について図２を用いて説明する。図２（ａ）はペリクル輸送ケース１０内に収納されたペリクルの構成を示す平面図である。図２（ｂ）はペリクル輸送ケース１０内に収納されたペリクルの構成を示す側面断面図である。

ペリクル３０は、ペリクルフレーム３２と、ペリクルフレーム３２の上に張設されたペリクル膜３６と、ペリクルフレーム３２に下面に形成された粘着層３８とを備えている。ペリクルフレーム３２は、矩形状のフォトマスクに形成されたパターン領域の外側を囲むように配置されている。ペリクルフレーム３２はフォトマスク基板の形状に対応しており、略矩形の外周を有する枠状に設けられている。ペリクル膜３６は、ペリクルフレーム３２により保持され、フォトマスクのパターン形成面と所定の間隔を置いて張設されている。枠状のペリクルフレーム３２の下面、すなわち、ケース３１側の面には、粘着層３８が設けられている。粘着層３８はペリクルフレーム３２の全周に形成されている。従って、粘着層３８は額縁状に形成されている。粘着層３８は、ペリクルフレーム３２からはみ出さないように形成されている。

この粘着層３８の下面側、すなわち、ケース３１側には、粘着層３８を保護するペリクルライナー３３が設けられている。このペリクルライナー３３が離型紙となり、ケース３１からペリクル３０を取り出す際に、剥離される。ペリクルライナー３３を剥離した状態で、ペリクル３０をフォトマスクに押圧する。これにより、粘着層３８を介してペリクル３０をフォトマスクに貼り付けることができる。このように、粘着層３８が下面に設けられたペリクル３０がペリクルライナー３３を介してケース３１内に載置されている。従って、ペリクルライナー３３とケース３１とが接触しており、粘着層３８とケース３１とは接着していない。

ペリクルライナー３３には、ペリクルフレーム３２の外側からはみ出すように設けられたタブ３４が形成されている。すなわち、ペリクルライナー３３はその一部がペリクルフレーム３２の外側に突出するように設けられている。そして、このペリクルフレーム３２の外側に突出した部分がタブ３４となる。タブ３４はペリクルフレーム３２の各辺の中央近傍に設けられている。すなわち、ペリクルフレーム３２の各辺の中央近傍で、ペリクルライナー３３がペリクルフレーム３２の外側に突出している。

ペリクルライナー３３に設けられたタブ３４の上から、接着テープ３５が貼り付けられている。接着テープ３５はタブ３４よりも大きく設けられている。そして、タブ３４の略全体を覆うように接着テープ３５が設けられている。これにより、接着テープ３５のタブ３４からはみ出した部分がケース３１に貼り付けられる。よって、タブ３４とケース３１とが貼り付けられる。これにより、タブ３４をケース３１に対して固定することができる。ペリクルフレーム３２の各辺の中央近傍に設けたタブ３４をケース３１に貼り付けることによって、ケース３１からペリクルライナー３３が剥離しにくくなる

ペリクルフレーム３２の外側側面には、溝３７が設けられている。溝３７はペリクルフレーム３２に外周面に沿って設けられている。この溝３７にペリクルチャック２１に設けられたペリクル保持具が挿入されて、ペリクルが把持される。

次に、ペリクルチャック２１が設けられたベースプレート２２に構成について図３を用いて説明する。図３は、ペリクルチャック２１が設けられたベースプレート２２に構成を示す平面図である。ベースプレート２２には、ペリクルの大きさに対応する開口部２５が設けられている。開口部２５の内側には、ペリクルチャック２１が対向して配置されている。開口部２５の片側には、３つのペリクルチャック２１が一列に配置されている。そして、３つのペリクルチャック２１が開口部２５の上側及び下側にそれぞれ取り付けられている。３つ並んでいるペリクルチャック２１のうち、中央のペリクルチャック２１は、ペリクルフレーム３２の辺の中央近傍、すなわち、タブ３４が設けられている位置の近傍に配置される。３つ並んでいるペリクルチャック２１のうち、両側のペリクルチャック２１は、ペリクルフレーム３２の角近傍に配置される。ペリクルチャック２１の先端には、ペリクル保持具２３が設けられている。ペリクルチャック２１は、アクチュエータやエアシリンダ等の移動機構（図示せず）を備えている。ペリクルチャック２１は、移動機構により、ペリクル保持具２３を矢印の方向に移動させる。これにより、ペリクル保持具２３がペリクルを保持する。

具体的には、駆動モータ１３によりペリクル輸送ケース１０の傾斜角を変化させて、対向するペリクルチャック２１の間に、ペリクルフレーム３２を配置する。この状態で、ペリクルチャック２１は先端に配置されているペリクル保持具２３を内側にスライド移動させる。これにより、ペリクル保持具２３の先端が、ペリクルフレーム３２の外周側面に設けられた溝３７に挿入される。ペリクルチャック２１に、バネなどの弾性体を設け、ペリクル保持具２３をペリクルフレーム３２に押し付けるようにしてもよい。

また、フォトマスクの位置を確認するため、ペリクルフレーム３２の角近傍においてベースプレート２２の開口部２２を広くしてもよい。すなわち、フォトマスクの角と、ペリクルフレームの角とをＣＣＤカメラなどによって検出するための窓を開口部２５に設けてもよい。これにより、フォトマスクの装着時には、この窓においてフォトマスクとペリクル３０の位置合わせが行なわれる。

ペリクル保持具２３には、ケース３１からペリクル３０を取り出す際にペリクル保持具２３の歪みを検出するための歪みゲージが設けられている。そして、この歪みゲージによって検出したペリクル保持具２３の歪みに基づいて、ペリクル保持具２３にかかっている荷重が検出される。また、歪みゲージからの配線２９がベースプレート２２上に引き回されている。

ペリクル保持具２３の構成について図４を用いて説明する。図４はペリクル保持具２３の構成を示す斜視図である。図４（ａ）はペリクル保持具２３の上面側の構成を示す斜視図であり、図４（ｂ）はペリクル保持具２３の下面側、すなわち、ケース３１側の構成を示す斜視図である。

ペリクル保持具２３は、例えば、アルミニウム等の金属からなる矩形状の平板であり、２箇所で屈曲している。すなわち、ペリクル保持具２３は階段状に設けられている。図４（ａ）に示すように、ペリクル保持具２３の上面側、すなわち、ペリクル膜３６側には、２つの歪みゲージ２４ａ、２４ｄが並んで貼り付けられている。さらに、ペリクル保持具２３の下面側、すなわちケース３１側には、図４（ｂ）に示すように、２つの歪みゲージ２４ｂ、２４ｃが並んで貼り付けられている。また、図４（ａ）では、ペリクル保持具２３の下面側に配置された歪みゲージ２４ｂ、２４ｃが点線で示されている。さらに、図４（ｂ）では、ペリクル保持具２３の上面側に配置された歪みゲージ２４ａ、２４ｄが点線で示されている。歪みゲージ２４ａと歪みゲージ２４ｂとは、ペリクル保持具２３の裏表対称な位置に設けられている。歪みゲージ２４ｃと歪みゲージ２４ｄとは、ペリクル保持具２３の裏表対称な位置に設けられている。これらの歪みゲージ２４はペリクル保持具２３に生じる歪みに応じて電気抵抗が変化する。すなわち、ペリクル保持具２３に荷重がかかると、ペリクル保持具２３が変形して、歪みが発生する。そして、ペリクル保持具２３の歪みによって歪みゲージ２４が伸縮する。これにより、ペリクル保持具２３にかかる荷重が歪みゲージ２４の電気抵抗の変化に置き換えられる。

各々の歪みゲージ２４からは、歪みゲージ２４の電気抵抗を測定するために、２本の配線２９が延設されている。従って、ペリクル保持具２３からは、全８本の配線２９が延設されている。配線２９は、ペリクル保持具２３の後ろ側、すなわち、ペリクルフレーム３２側と反対側に設けられている。すなわち、歪みゲージ２４の配線２９が配設されている側と反対側がペリクルフレーム３２と当接して、ペリクルが保持される。ここで、ペリクル保持具２３のペリクルフレーム３２と当接する側をペリクル保持具２３の先端側とする。さらに、ペリクル保持具２３の配線２９が設けられている側が、ベースプレート２２に取り付けられる。歪みゲージ２４からの配線２９はブリッジ回路に接続されている。ここで、裏表対称な位置に設けられた歪みゲージ２４がブリッジ回路の隣辺同士になるように配線２９を接続する。すなわち、歪みゲージ２４ａ及び歪みゲージ２４ｂを、ブリッジ回路の隣辺同士になるように接続する。また、歪みゲージ２４ｃ及び歪みゲージ２４ｄを、ブリッジ回路の隣辺同士になるように接続する。これにより、ペリクル保持具２３の曲げ応力を検出することができる。さらに、歪みゲージ２４ａと歪みゲージ２４ｃがブリッジ回路の隣辺同士になり、歪みゲージ２４ｂと歪みゲージ２４ｄがブリッジ回路の隣辺同士になるように配線２９を接続する。これにより、ペリクル保持具２３の圧縮応力及び引張応力が打ち消され、曲げ応力のみを検出することができる。すなわち、本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置には、ペリクル保持具２３を起歪体とするロードセルが設けられている。

このペリクル保持具２３の先端をペリクルフレーム３２に当接させて、ペリクルを保持している状態について図５を用いて説明する。図５はペリクル保持具２３によってペリクル３０を保持している状態を示す側面断面図である。

図５に示すように、ペリクル３０がケース３１の載置面に載置されている。ペリクルライナー３３のタブ３４が接着テープ３５によってケース３１の載置面に接着されている。ペリクルフレーム３２の外側側面には、溝３７が設けられている。この溝３７に、ペリクル保持具２３の先端部分が挿入されている。ペリクル保持具２３は移動機構２８を介してベースプレート２２に取り付けられている。ペリクル３０をペリクル保持具２３の内側に配置したら、移動機構２８によって、ペリクル保持具２３を矢印Ａの方向に移動させる。これにより、ペリクル保持具２３の先端が溝３７に挿入され、ペリクルフレーム３２が把持される。ペリクル３０は傾斜しているので、図５の左側がペリクルフレーム３２の上辺となり、図５の右側がペリクル３０の下辺となる。すなわち、左側のペリクル保持具２３がペリクルフレーム３２の上辺を把持し、右側のペリクル保持具２３がペリクルフレーム３２の下辺を把持する。このように、ペリクル保持具２３は上下両側から、ペリクルフレーム３２を挟持している。

ペリクル保持具２３のペリクル膜３６側の面及び粘着層側の面には、図４で示したように、それぞれ歪みゲージ２４が設けられている。なお、ペリクル保持具２３のペリクル膜３６側の面において、ペリクル保持具２３がベースプレート２２に固定されている。すなわち、ペリクル保持具２３の歪みゲージ２４ａ、２４ｄが設けられている面が、ベースプレート２２に取り付けるための取付面となる。ペリクル保持具２３は移動機構２８を介してベースプレート２２に取り付けられている。すなわち、ベースプレート２２はペリクル保持具２３を移動可能に支持している。

ここで、ペリクルをケースから取り出すため、図１に示す駆動ステージ１１を回転駆動すると、図５のケース３１が下方に移動する。これにより、ペリクル保持具２３によって保持されているペリクル３０とケース３１が離間していく。ペリクル３０は、ペリクル保持具２３によって保持されているため、ベースプレート２２とペリクル３０の距離は一定である。従って、駆動ステージ１１を倒していくと、ケース３１とペリクル保持具２３との距離が、徐々に離れていく。ここで、駆動ステージ１１はケース３１の傾斜角度を変えているので、上辺のペリクル保持具２３とケース３１との間の距離は、下辺のペリクル保持具２３とケース３１との間の距離と異なる。具体的には、回転シャフト１５から離れて配置されている上辺のペリクル保持具２３とケース３１との間の距離が、下辺のペリクル保持具２３とケース３１との間の距離よりも広くなる。

ペリクルライナー３３のタブ３４は接着テープ３５によってケース３１に固定されている。このため、ケース３１がペリクル３０から離れていくと、接着テープ３５がペリクルライナー３３から延在されたタブ３４を引っ張る。従って、ペリクルライナー３３が貼り付けられているペリクルフレーム３２が粘着層３８を介して、下側に引っ張られる。従って、ペリクル保持具２３には、図５の矢印Ｂの方向に力がかかる。

ここで、接着テープ３５とケース３１との接着力は、ペリクルライナー３３と粘着層３８との接着力よりも高い。そのため、ペリクルを保持したペリクル保持具２３を移動させると、ペリクルフレーム３２の粘着層３８からペリクルライナー３３が剥離していく。これにより、ペリクルライナー３３がペリクルフレーム３２から剥がれていく。具体的には、図６に示すように、ペリクルライナー３３がペリクルフレーム３２から剥離していく。なお、図６は、ペリクルライナー３３を剥がしているときのペリクルフレーム３２の上辺側の側面の構成を示す図である。ペリクルライナー３３はタブ３４が設けられている箇所から剥離していく。すなわち、ペリクルフレーム３２の辺の中央近傍のペリクルライナー３３から剥離していく。そして、ペリクルフレーム３２の角に向かう方向に剥離が芯行為していく。図６の状態では、まだ、ペリクルフレーム３２の角近傍で、ペリクルライナー３３が粘着層３８と接着している。すなわち、枠状に設けられたペリクルライナー３３のタブ３４近傍の領域のみが、粘着層３８から剥離されている。また、ペリクルフレーム３２の上辺は、下辺よりもケース３１との距離が離れているため、剥離がより進んでいる。すなわち、ペリクルフレーム３２の上辺において、ペリクルライナー３３が剥離している領域は、ペリクルフレーム３２の下辺においてペリクルライナー３３が剥離している領域よりも広くなる。換言すると、ペリクルフレーム３２の上辺では、ペリクルフレーム３２の下辺よりも早くペリクルライナー３３が剥離される。

ケース３１を下げると、ペリクル保持具２３には荷重がかかる。具体的は、ペリクル保持具２３の先端側が下側に曲げられるような荷重がかかる。歪みゲージ２４はこの荷重によって生じるペリクル保持具２３の歪みを検出する。これにより、ペリクル保持具２３にかかる荷重を検出することができる。歪みゲージ２４はペリクル保持具２３に生じる歪み量によって電気抵抗が変化するため、電気抵抗の変化に基づいて荷重を検出することができる。

ここで、ペリクルライナー３３の剥離がある程度進行すると、ペリクルライナー３３を引く力のベクトルがペリクルフレーム３２の方向に沿ってしまう。すなわち、ペリクルライナー３３を引く力の方向が、ペリクルフレーム３２の辺と略平行になってしまい、引き剥がし成分が弱くなってしまう。本発明では、この状態から、ペリクルライナーを剥離させるため、歪みゲージ２４を用いている。そして、歪みゲージ２４でペリクル保持具２３の歪みに基づいてペリクル保持具にかかる荷重を検出している。そして、検出した荷重が一定となるように駆動モータ１３を制御している。これにより、ペリクルライナー３３をペリクルフレーム３２から確実に剥がすことができる。

具体的には、ペリクル保持具２３によってペリクルフレーム３２は把持した状態で、駆動モータ１３を駆動して、駆動ステージ１１を倒していく。これにより、ケース３１の傾斜角度が変わり、ペリクルライナー３３が剥がれていく。ペリクルライナー３３の剥離が開始した開始段階では、ペリクルライナー３３を力のベクトルがペリクルフレーム３２の方向と平行でないため、ペリクルライナー３３が速やかに剥離していく。そして、ペリクルライナーがある程度剥離され、ペリクルライナー３３を引く力のベクトルがペリクルフレーム３２の方向に沿ってしまい、ペリクルライナー３３の剥離が停止する。

ペリクルライナー３３の剥離中は、歪みゲージ２４によって、ペリクル保持具２３にかかる荷重を検出する。そして、検出した荷重が一定値となったら、駆動モータ１３の駆動を停止する。これにより、駆動ステージ１１の傾斜角度が一定に保たれる。従って、ペリクルライナー３３を引く力のベクトルがペリクルフレーム３２の方向に沿ってしまい、ペリクルライナー３３の剥離が停止している間も、一定の荷重がペリクル保持具２３にかけられている。すなわち、ペリクル３０からケース３１を一定の力で引き離して、ペリクルライナー３３を剥離する力をかけておく。そして、このまま放置しておくと、徐々にペリクルフレーム３２が剥離していく。そして、荷重が所定の値よりも下がったら、駆動モータ１３を駆動して、駆動ステージ１１をさらに倒す。これにより、ケース３１の傾斜角度が変化して、ペリクル保持具２３にかかる荷重が、上昇する。そして、歪みゲージ２４によって検出された荷重が所定の値となったら、駆動モータ１３の駆動を停止する。しばらくの間、そのまま放置しておくと、剥離がゆっくりと進行していく。これを繰り返して、剥離を進行させていく。すなわち、歪みゲージ２４で検出される荷重が一定になるように、駆動ステージの傾斜角度を徐々に倒していく。これにより、ペリクルライナー３３が徐々にペリクルフレーム３２から剥がれていく。すなわち、ペリクルフレーム３２の上辺におけるペリクルライナーの剥離が進行していく。

そして、ペリクルライナー３３が剥離された領域が、ペリクルフレーム３２の上辺の角部分を越えた後は、速やかに剥離されていく。すなわち、ペリクルフレーム３２の上辺全体でペリクルライナー３３が剥がれると、上辺の隣の右辺及び左辺では、速やかに剥離が進行していく。そして、最後にペリクルフレーム３２の下辺のペリクルライナー３３が剥離される。これにより、ペリクルライナー３３の全体がペリクルフレーム３２から剥離される。従って、ペリクル３０をケース３１から取り出す際に、ペリクルライナー３３の剥離を行なうことができる。例えば、ペリクルライナー３３全体を剥離するために、約１０分間必要となる。このように、荷重が一定となるよう剥離させていくことにより、ペリクルフレーム３２やペリクル膜３６に大きなストレスを与えることなく、ペリクルライナー３３を剥離することができる。よって、ペリクルフレーム３２やケース３１の変形、並びにペリクルライナー３３の破損等をふせぐことができる。これにより、確実にペリクルライナー３３を剥離させることができる。

なお、図３に示すようにペリクルチャック２１は複数設けられている。従って、ペリクル保持具２３も複数設けられている。具体的には、ペリクルフレーム３２の上辺を保持するペリクル保持具２３が３つ設けられ、ペリクルフレーム３２の下辺を把持するペリクル保持具２３が３つ設けられている。すなわち、ペリクル保持具２３は、ペリクルフレーム３２の辺の角近傍及びタブ３４が設けられている箇所の近傍でペリクルフレーム３２を把持する。これにより、１つのペリクル保持具２３にかかる荷重を緩和することができ、ペリクルにかかる負荷を軽減することができる。また、ペリクル保持具２３は、ペリクルライナー３３のタブ３４の近傍に設けることが好ましい。これにより、低い荷重でペリクルライナー３３を剥離することができる。

本発明では、全てのペリクル保持具２３に対して歪みゲージ２４を設け、全てのペリクル保持具２３にかかる荷重の合計を検出している。そして、ペリクルフレーム３２の上辺又は下辺にかかる荷重の合計が一定になるように、駆動モータ１３を制御している。すなわち、ペリクルフレーム３２の上辺に設けられた３つのペリクル保持具２３にかかる荷重の合計が一定値以上となったら駆動モータ１３を停止させる。さらに、ペリクルフレーム３２の下辺に設けられた３つのペリクル保持具２３にかかる荷重の合計が一定値以上となったら駆動モータ１３を停止させる。例えば、３つのペリクル保持具２３にかかる荷重が１０００ｇに達したら、駆動モータ１３の動作を停止させる。すなわち、駆動モータ１３の動作を停止させるか否かを判断するしきい値を１０００ｇに設定する。すなわち、上限のしきい値を１０００ｇとし、３つのペリクル保持具２３にかかる荷重の合計値が、しきい値を超えたら駆動モータ１３の動作を停止して、傾斜角度を一定に保つ。そして、この傾斜角度を一定時間、保ち続けていると、徐々にペリクルライナー３３の剥離していく。剥離が進行して、荷重の合計が荷重を下回ったら、再度駆動モータ１３を動作させ、傾斜角度を変化させていく。これを繰り返してペリクルライナー３３を剥離していく。これにより、荷重の合計が一定の範囲内で変動する。すなわち、検出された荷重が設定された範囲を超えないように、駆動回路１６が駆動モータ１３を制御する。これにより、ペリクル３０に大きな負荷をかけることなく、ペリクルライナー３３を剥離することができる。

次に、３つのペリクル保持具２３にかかる荷重の合計に基づいて、駆動モータ１３を制御する構成について図７を用いて説明する。図７は駆動モータ１３を制御するための構成を示すブロック図である。

図７に示すようにベースプレート２２には、６つのペリクルチャック２１が設けられている。これらのペリクルチャック２１は、上記のペリクル保持具２３及び歪みゲージ２４を備えている。ペリクルチャック２１に設けられた歪みゲージ２４からの配線２９は、配線基板２６まで引き回されている。配線基板２６は、例えば、フレキシブル配線基板であり、各々の歪みゲージ２４と接続される配線が形成されている。配線基板２６は上辺及び下辺のペリクルチャック２１に対してそれぞれ設けられている。この配線基板２６は、制御回路２７に接続される。制御回路２７は、アンプやＡ／Ｄ変換器、並びにコンパレータなどを備えている。なお、制御回路２７をベースプレート２２上に設けても良い。制御回路２７は、歪みゲージ２４の電気抵抗に基づいて、ペリクル保持具２３の歪み、すなわち、ペリクル保持具２３にかかる荷重を検出する。そして、検出した荷重をしきい値と比較して、荷重がしきい値よりも大きいか否かを判別する。具体的には、ブリッジ回路における電圧を検出し、この電圧がしきい値を超えたら、ペリクルにかかる荷重がしきい値を超えていると判定する。そして、制御回路２７は、この比較結果に基づく比較信号を駆動モータ１３の駆動回路１６に出力する。駆動回路１６は、制御回路２７での比較結果に基づく比較信号によって、駆動モータ１３の駆動を制御する。具体的には、駆動回路１６は、しきい値よりも荷重が小さい場合、駆動モータ１３を駆動させ、しきい値よりも荷重が大きい場合、駆動モータ１３を停止させる。これにより、簡易な構成で制御することができる。

次に、歪みゲージ２４が接続された配線基板２６の構成について説明する。図８はペリクル保持具２３に設けられた歪みゲージ２４と配線基板２６の配線の結線図である。図８は、ペリクルフレーム３２の上辺に設けられたペリクル保持具２３の歪みゲージ２４の配線２９の接続を示している。図８において、横方向に並んだ３つの歪みゲージ２４のうち右側のものが右側のペリクル保持具２３に設けられている歪みゲージ２４を示している。同様に、左側のものは左側のペリクル保持具２３に設けられている歪みゲージ２４を示し、中央のものは中央のペリクル保持具２３に設けられている歪みゲージ２４を示している。また、縦方向に並んだ４つの歪みゲージ２４のうち、一番上が、ペリクル保持具２３のペリクル膜３６側に設けられた歪みゲージ２４ａを示している。同様に、上から２番目が歪みゲージ２４ｂを示し、上から３番目が歪みゲージ２４ｃを示し、下から１番目が歪みゲージ２４ｄを示している。図８に示すように、配線基板２６には８本の配線が形成されている。これらの８本の配線を図８に示すように配線１〜配線８とする。

図８に示すように、３つの歪みゲージ２４ａは、配線基板２６の配線２によって直列に接続されている。具体的には、配線基板２６上の配線２を６箇所露出させて、接続パッドを形成する。そして、接続パッドと歪みゲージ２４ａからの配線２９とを半田等によって接続する。さらに、１つの歪みゲージ２４ａからの２本の配線２９が接続された接続パッドの間において、配線基板２６に貫通穴を設けて、配線２を切断する。この貫通穴をそれぞれの歪みゲージ２４ａに対して設ける。これにより、配線基板上の配線２が３箇所で切断される。従って、３つの歪みゲージ２４ａが直列に接続される。同様に３つの歪みゲージ２４ｂが、配線４によって直列に結線されている。さらに、３つの歪みゲージ２４ｃは配線５によって、３つの歪みゲージ２４ｄは配線７によってそれぞれ直列に接続されている。

さらに、歪みゲージ２４ａが直列接続されている配線基板２６上の配線２及び歪みゲージ２４ｂが直列接続されている配線基板２６上の配線４は、配線基板２６の左側の端部において、配線基板２６上の配線３とショートされている。また、歪みゲージ２４ｃが直列接続されている配線基板２６上の配線５及び歪みゲージ２４ｄが直列接続されている配線基板２６上の配線７は、配線基板２６の左側の端部において、配線基板２６上の配線６とショートされている。配線１及び配線８は配線２から配線７の外側に形成されたシールド配線である。配線１及び配線８は配線基板２６の左側の端部において、ショートされている。

ここで、配線１〜配線８のショートされている側と反対側は、制御回路２７に接続されている。配線２及び配線５を共通の電源電位として、配線４及び配線７をグランド電位とする。配線２、５と配線４、７の間の電源電圧は、例えば８Ｖとすることができる。すなわち、制御回路２７は、配線２と配線４との間に８Ｖの電源電圧を印加し、配線５と配線７との間に８Ｖの電源電圧を印加する。これにより、ブリッジ回路が形成される。従って、従って、配線３と配線６の間の電圧はペリクル保持具２３にかかる荷重に応じて変動する。配線３と配線６の間の電圧は制御回路２７に設けられたアンプによって増幅されて、検出される。これにより、ペリクル保持具２３の歪み、すなわち、ペリクル保持具２３にかかる荷重を測定することができる。さらに、３つのペリクル保持具２３にそれぞれ設けられている歪みゲージ２４を直列に接続しているため、ペリクル保持具２３にかかる荷重の合計を測定することができる。従って、簡易な構成で駆動モータ１３を制御することができる。

上記の構成を有する配線基板２６を、上辺のペリクル保持具２３及び下辺のペリクル保持具２３に対してそれぞれ接続する。これらの配線基板２６は制御回路２７に接続される。そして、制御回路２７は、いずれか一方の荷重の合計値がしきい値を超え、これに対応するブリッジ回路の電圧もしきい値を超えたら、駆動モータ１３を停止させる。これにより、駆動モータ１３を制御することができる。もちろん、配線基板２６は図８に示される構成に限られるものではない。例えば、図１に示す構成では、上辺のペリクル保持具２３とケース３１との間の距離が、下辺のペリクル保持具２３とケース３１との間の距離よりも広くなる。よって、上辺のペリクル保持具２３にかかる荷重は、通常、下辺のペリクル保持具２３よりも大きい。従って、上辺のペリクル保持具２３のみ歪みゲージ２４を設けてもよい。

なお上記の説明では、１辺のペリクル保持具２３にかかる荷重の合計に対してしきい値を設定したが、これに限るものではない。例えば、それぞれのペリクル保持具２３に対してしきい値を設定してもよい。すなわち、１つのペリクル保持具２３の歪みゲージ２４で検出される荷重がしきい値を超えたら、駆動モータ１３を停止させてもよい。あるいは、上下全てのペリクル保持具２３にかかる荷重の合計に基づいて、駆動モータを制御してもよい。また、駆動モータ１３の制御は上記のものに限られるものではない。すなわち、ケース３１とペリクル３０とを離間させる間、荷重がしきい値を超えないように駆動モータ１３を制御すればよい。

このように、ペリクル保持具２３にかかる荷重に基づいて、駆動モータ１３を制御している。具体的には、ペリクル保持具にかかる荷重の合計値が、設定された範囲を超えないように駆動モータ１３を駆動させている。これにより、ケース３１に固定するためのタブ３４がペリクルフレーム３２の辺の中央近傍に設けられたペリクルライナー３３を確実にペリクルフレーム３２から剥離することができる。また、ペリクル保持具２３にかかる荷重は、歪みゲージ２４以外のセンサーで検出してもよい。また、荷重センサーの数及びその配置も上記のものに限られるものではない。例えば、ペリクル保持具２３の数は、ペリクルフレーム３２の１辺に３つに限られるものでない。

なお、上記の説明では、駆動ステージ１１を倒してペリクルライナー３３を剥離したが、これに限るものではない。例えば、ベースプレート２２の傾斜角度を変えたり、ペリクル保持具２３の位置を変えることによって、ペリクルライナー３３を剥がしてもよい。すなわち、ペリクル保持具２３にかかる荷重に基づいてペリクル３０とケース３１との距離を離すよう制御すればよい。これにより、ペリクルライナー３３を確実に剥離することができる。

上記のペリクル３０は半導体あるいは液晶表示装置などの表示装置に用いられるパターン基板の製造に好適である。例えば、上記のペリクル３０をフォトマスクに対して装着する。そして、ペリクルが装着されたフォトマスクを用いて感光性樹脂が塗布された基板を露光する。そして、現像を行い、感光性樹脂をパターニングする。これにより、感光性樹脂パターンが形成されたパターン基板を製造することができる。さらに、感光性樹脂をレジストとして、感光性樹脂層の下側に形成された導電層などをエッチングする。これにより、配線パターンを形成することができる。もちろん、これ以外の既知の方法で基板にパターンを形成することが可能である。よって、パターン基板の生産性を向上することができる。

さらに上記のペリクルライナーの剥離装置は、ペリクルをフォトマスク基板から剥離するために、用いることができる。すなわち、上記のペリクルライナーの剥離装置に設けられたペリクル保持具２３によってフォトマスク基板に貼り付けられたペリクルを保持し、ペリクル保持具２３とフォトマスク基板とを離間させていくことによって、フォトマスク基板からペリクルを剥離することができる。これにより、フォトマスク基板やペリクルに対してダメージを与えることなく、ペリクルをフォトマスク基板から剥離することができる。このように、基板からペリクルを剥離するペリクルの剥離装置を構成することができる。

本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置の全体構成を示す図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置で剥離されるペリクルライナーとペリクルフレーム構成を示す図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置のベースプレートの構成を示す平面図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置のペリクル保持具の構成を示す斜視図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置のペリクル保持具でペリクルを保持している状態を示す側面断面図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置でペリクルライナーを剥離している様子を模式的に示す図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置の制御系を示すブロック図である。 本発明にかかるペリクルライナーの剥離装置の配線基板の配線構成を示す結線図である。 従来のペリクルライナーの剥離装置でペリクルライナーを剥離している状態を示す図である。

符号の説明

１０ ペリクル輸送ケース、１１ 駆動ステージ、１２ ストッカー、１３ モータ、
１５ 回転シャフト、１６ 駆動回路、２１ ペリクルチャック、
２２ ベースプレート、２３ ペリクル保持具、２４ 歪みゲージ、２５ 開口部、
２６ 配線基板、２７ 制御回路、２８ 移動機構、２９ 配線、３０ペリクル、
３１ ペリクルケース、３２ ペリクルフレーム、３３ 粘着層、３４ タブ、
３５ 接着テープ、３６ ペリクル膜、４１ 移動台車、４２ 固定レール

Claims (9)

1. 粘着層を保護するペリクルライナーが設けられたペリクルフレームを有するペリクルをペリクルケースから取り出す際に、前記ペリクルフレームの辺の中央近傍において当該ペリクルフレームの外側に突出した前記ペリクルライナーのタブを前記ペリクルケースに固定して、前記ペリクルライナーを前記ペリクルフレームから剥離するペリクルライナーの剥離装置であって
   前記ペリクルを保持するペリクル保持具と、
   前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出する荷重センサーと、
   前記ペリクル保持具と前記ペリクルケースとの距離を離すよう、前記ペリクルケース又は前記ペリクル保持具を駆動する駆動部とを備え、
   前記荷重センサーで検出された荷重がしきい値を超えないように、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離していき、前記ペリクルライナーを剥離させるペリクルライナーの剥離装置。
2. 前記ペリクル保持具が、前記ペリクルライナーのタブが設けられている箇所の近傍に設けられている請求項１に記載のペリクルライナーの剥離装置。
3. 枠状に設けられた前記ペリクルフレームの１辺に対して、前記ペリクル保持具が複数設けられ、
   前記複数のペリクル保持具にかかる荷重の合計に基づいて、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離していく請求項１、又は２に記載のペリクルライナーの剥離装置。
4. 前記ペリクルライナーが剥離された前記ペリクルを基板に貼り付けた後に、前記基板から前記ペリクルを剥離する際において、
   前記荷重センサーで検出された荷重が、しきい値を超えないように、前記ペリクル保持具で保持された前記ペリクルと前記基板とを離して、前記基板から前記ペリクルを剥離させる請求項１乃至３のいずれか１項に記載のペリクルライナーの剥離装置。
5. 粘着層を保護するペリクルライナーが設けられたペリクルフレームを有するペリクルをペリクルケースから取り出す際に、前記ペリクルライナーを前記ペリクルフレームから剥離するペリクルライナーの剥離方法であって
   前記ペリクルフレームの辺の中央近傍において当該ペリクルフレームの外側に突出した前記ペリクルライナーのタブを前記ペリクルケースに固定し、
   前記ペリクルフレームをペリクル保持具によって保持し、
   前記ペリクル保持具にかかる荷重を検出し、
   前記荷重センサーで検出された荷重が設定された範囲を超えないよう、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離して、前記ペリクルライナーを剥離させるペリクルライナーの剥離方法。
6. 前記ペリクル保持具が、前記ペリクルライナーのタブが設けられている箇所の近傍に設けられている請求項５に記載のペリクルライナーの剥離方法。
7. 枠状に設けられた前記ペリクルフレームの１辺に対して、前記ペリクル保持具が複数設けられ、
   前記複数のペリクル保持具にかかる荷重の合計に基づいて、前記ペリクル保持具と前記ケースとの距離を離していく請求項５、又は６に記載のペリクルライナーの剥離方法。
8. 前記ペリクルライナーが剥離されたペリクルを前記粘着層を介して基板に貼り付け、
   前記荷重センサーで検出された荷重が、しきい値を超えないように、前記ペリクル保持具で保持された前記ペリクルと前記基板とを離して、前記基板から前記ペリクルを剥離させる請求項５乃至７のいずか１項に記載のペリクルライナー剥離方法。
9. 請求項５乃至８のいずれか１項に記載のペリクルライナーの剥離方法によって、ペリクルフレームからペリクルライナーを剥離し、
   前記ペリクルライナーが剥離されたペリクルを前記粘着層を介してマスクに貼り付け、
   前記ペリクルが貼り付けられたマスクによって基板を露光し、
   前記露光された基板を現像するパターン基板の製造方法。

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