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JP2000270541A - チャージポンプ回路 - Google Patents

チャージポンプ回路

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JP2000270541A
JP2000270541A JP11073491A JP7349199A JP2000270541A JP 2000270541 A JP2000270541 A JP 2000270541A JP 11073491 A JP11073491 A JP 11073491A JP 7349199 A JP7349199 A JP 7349199A JP 2000270541 A JP2000270541 A JP 2000270541A
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Japan
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charge pump
level
capacitor
transistor
pump circuit
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JP11073491A
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Masao Kuriyama
正男 栗山
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Priority to TW089103238A priority patent/TW451490B/zh
Priority to US09/523,729 priority patent/US6373325B1/en
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    • G11C5/145Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
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    • G11C16/30Power supply circuits

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Abstract

(57)【要約】 【課題】チャージポンプ動作の停止時の電流消費を削減
し、かつ復帰時の出力が最大電流になるをまでの時間を
短縮するチャージポンプ回路を提供する。 【解決手段】チャージポンプ動作の停止時(スタンド・
バイ状態時)には、チャージポンプ回路1の各キャパシ
タノードの駆動電圧が、全て昇圧ノードの電位VDDR
に近い方の電圧に固定される。通常“H”/“L”レベ
ルを伝達する発振器2の出力OSC信号がENABLE
信号によるチャージポンプ動作停止の制御によって無効
となる。この時点でチャージポンプ回路は、各キャパシ
タノードに逆流抑制用の同一レベルを伝達する。すなわ
ち、昇圧ノードの電位VDDRが正の電位であればキャ
パシタ駆動用の“H”レベルであり、VDDRが負の電
位であればキャパシタ駆動用の“L”レベルである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、昇圧電圧を生成す
るチャージポンプ回路に関する。特にチャージポンプ回
路が組み込まれたデバイスの動作停止中、または待機中
の低消費電力が要求されるチャージポンプ回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスは、微細加工技術と、電
源電圧の低電圧化により、その性能を向上させてきた。
その中でメモリ等のデバイスにおいては、メモリセル等
に印加する電圧を外部電圧と同等に設定できず、チップ
内部に昇圧回路、いわゆるチャージ・ポンプ回路を持つ
ものがある。
【0003】チャージポンプ回路によりチップ内部で昇
圧された電位は、チップ停止時(チップ非活性時:St
and−by(スタンド・バイ状態))においても保た
れる。これは、スタンド・バイ状態→アクティブ状態の
変化直後においてもアクセス・タイム等、チップ性能を
保証するためである。
【0004】よって、スタンド・バイ状態においても、
昇圧電位を保持するため、チャージポンプ回路は常に昇
圧レベルを監視し内部電位がトランジスタのリーク等に
より電位低下を起こすと、チャージポンプ動作を自動的
に再開する設定となっている。このため、内部昇圧を行
うデバイスではスタンド・バイ時でも消費する電流(ス
タンド・バイ電流と称する)はゼロとはならない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】最近、このような内部
昇圧を伴うデバイスは、携帯機器の中に組み込まれるこ
とが多くなり、スタンド・バイ電流の低減化の要求が厳
しい。その理由は、携帯機器は基本的に電池駆動である
ため、微小電流でも流すとそのデバイスの待機時間が短
くなる等、その機器の性能に直接かかわってくるためで
ある。このため、チャージポンプ回路のスタンド・バイ
電流の許容値はより小さくなり、従来のような値を許容
されなくなってきた。
【0006】この発明は上記事情を考慮してなされたも
のであり、その課題は、チャージポンプ動作の停止時
(デバイスのスタンド・バイ時)の電流消費を削減し、
かつ復帰時のチャージポンプ出力が最大電流を出すまで
の時間が短縮できるチャージポンプ回路を提供すること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明のチャージポン
プ回路は、ドレイン・ゲートが接続されたトランジスタ
とこのトランジスタのドレインにキャパシタが接続さ
れ、このトランジスタ、キャパシタのセットが複数段直
列接続され、各キャパシタは動作時、“H”/“L”レ
ベルの互い違いの駆動電位にされるチャージポンプ回路
において、チャージポンプ動作停止時には前記各キャパ
シタの駆動電位が全てチャージポンプ出力レベルに近い
方の同一レベルの状態で固定されることを特徴とする。
【0008】本発明によれば、チャージポンプ動作停止
時、チャージポンプ出力レベルに近い方の同一レベルの
状態にキャパシタの駆動電位を揃えておくことにより、
各段に接続されたゲート・ドレイン共通接続のトランジ
スタからの逆流電流による内部昇圧電位のロスを最小限
におさえる。しかもチャージポンプ動作初期において
は、各段の間にキャパシタ駆動電圧の電圧差は最低限保
証される。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明を説明する前提としてま
ず、一般的なチャージポンプ回路に関し、スタンド・バ
イ時の電流削減の観点からチャージポンプ動作を検証す
る。
【0010】図6は一般的なチャージポンプ回路の構成
を示す回路図である。ゲート・ドレインを共通接続(ダ
イオード接続)したトランジスタQxのドレインにキャ
パシタCxの一方電極が接続されている。このトランジ
スタQxとキャパシタCxの回路構成を多数直列に接続
し(この例ではxが1 〜4 )、各段のキャパシタCxを
“H”レベル(ハイレベル)/“L”レベル(ローレベ
ル)交互に駆動することにより電荷を転送していく。Q
inは入力用トランジスタであり、電流通路の一端は外部
電源VDDOに接続されている。昇圧出力VDDRは最
終段のトランジスタQ4 のソースにて得られる。
【0011】上記チャージポンプ回路の制御系は次のよ
うに構成されている。NANDゲートNAND1,2そ
れぞれは一方の入力端子にイネーブル信号ENABLE
が供給される。NAND1の出力はインバータIV1を
介して上記トランジスタQinのゲートに供給される。
【0012】NAND2の他方の入力端子には図示しな
い発振器の出力信号OSCが供給される。NAND2の
出力は2つに分かれて上記キャパシタCxを交互に駆動
する。すなわち、NAND2の出力はインバータIV
2,3,4を介してキャパシタC1とC3それぞれの他
方電極に供給される。また、NAND2の出力はインバ
ータIV2,5を介してNAND1の他方の入力端子、
キャパシタC2,C4の他方電極それぞれに供給され
る。
【0013】このチャージポンプ回路はENABLE信
号が“H”レベル(ハイレベル)になることによって活
性化する。ENABLE信号が“H”レベルになると、
NAND2の出力は発振器出力OSC信号(“H”/
“L”レベル)を伝達する。また、NAND1の出力は
インバータIV1を介してインバータIV5の出力を伝
達し、“H”/“L”のタイミング信号がトランジスタ
Qinのゲートに与えられる。電荷転送用のトランジスタ
Qxを隔てて隣り合うノードに接続された各キャパシタ
Cxは、動作時“H”/“L”レベルの互い違いのレベ
ルに駆動され電荷が転送されることにより、最終段のト
ランジスタQ4に昇圧電位VDDRが得られる。
【0014】電荷の転送の観点から、ダイオード接続の
トランジスタQxのしきい値はできる限り0Vに近いこ
とが望ましい。このためチャージポンプ回路構成するト
ランジスタ(Qin,Qx)には、基板上にチャネル・イ
オン注入をしない状態で形成されたトランジスタ(In
trinsic トランジスタ:I−タイプトランジス
タ)が使用される。基板上のI−タイプトランジスタで
はチャネル部の不純物濃度が希薄なためトランジスタの
しきい値を略0Vとすることができる。
【0015】図7(a)は基板上に形成されるダイオー
ド接続のI−タイプトランジスタの各電位点を示す回路
図、図7(b)は(a)で示す条件のときのドレイン電
圧VDに対するドレイン電流IDの特性曲線図である。
ここでは基板電位VBは接地電位とする(VB=0
V)。ドレイン電圧VDがソース電圧VS(=ゲート電
圧VG)より小さい条件では主にlogスケール(グラ
フ左側の目盛り)を参照し、ドレイン電圧VDがソース
電圧VS(=ゲート電圧VG)より大きい条件では主に
通常のスケール(グラフ右側の目盛り)を参照する。
【0016】図8(a)は基板上に形成されるI−タイ
プトランジスタの各電位点を示す回路図、図8(b)は
(a)で示す条件(VB=0,−1,−2,−3,−
4,−5V)のときのゲート電圧VGに対するドレイン
電流IDの特性曲線図である。ゲート電圧VGが0V以
下の条件では主にlogスケール(グラフ左側の目盛
り)を参照し、ゲート電圧VGが0V以上の条件では主
に通常のスケール(グラフ右側の目盛り)を参照する。
【0017】図9(a)は基板上に形成されるI−タイ
プトランジスタの各電位点を示す回路図、図9(b)は
(a)で示す条件のときのゲート電圧VGに対するドレ
イン電流IDの特性曲線図である。ゲート電圧VGが0
V以下の条件では主にlogスケール(グラフ左側の目
盛り)を参照し、ゲート電圧VGが0V以上の条件では
主に通常のスケール(グラフ右側の目盛り)を参照す
る。
【0018】さて、図6のチャージポンプ回路がアクテ
ィブ→スタンド・バイ状態となり、チャージポンプ動作
が停止した時の、チャージポンプ回路内部の各ノードの
状態に注目する。
【0019】一般にチャージポンプ動作が停止するスタ
ンド・バイ時には、ENABLE信号が“L”レベルと
なる。これにより、発振器の出力OSCの供給は強制的
にストップさせられるため、各段のキャパシタのノード
N1〜N4は“H”レベルと“L”レベルが交互になっ
た状態で停止する。
【0020】図7(a)におけるダイオード接続のよう
に、各段のダイオード接続トランジスタQxは、バック
バイアスがかかった状態でもカット・オフしないことが
わかる。特にVDが10Vでは、VS(=VG)が1V
のとき、20μA近い電流が流れる。また、図8(b)
及び図9(b)からわかるように、I−タイプトランジ
スタはそのしきい値が負でもあり、ゲート電圧がマイナ
スになってもオフせずに微少な電流が流れ続ける。
【0021】つまり、図6に示すチャージポンプ回路は
停止したその瞬間より、各段のトランジスタQxを通じ
て、電荷の逆流が起こる。この逆流電荷の量は、チャー
ジポンプ駆動電圧(VDDO)と昇圧電圧(VDDR)
の差が大きいほど大きくなる。
【0022】この逆流電荷による昇圧ノードのレベル低
下が起こると、チャージポンプ回路は、前述のように、
電位を補給するために動作しなければならなくなる。つ
まり、チャージポンプの逆流電荷の存在は、スタンド・
バイ電流の増加要因となり、この逆流電荷量は、外部電
位と昇圧電位のレベル差が大きいほど大きくなる。従っ
て、近年の外部電位の低電圧化と、スタンド・バイ電流
の低減化は両立困難となる。
【0023】もし、逆流電流を無視できるほどトランジ
スタのカット・オフ特性を良くするためには、図9
(b)におけるI=10-9[A]でのポイントをVG=
0V以上にシフトさせる必要があり、これはトランジス
タのしきい値Vthを+0.5V以上にしなければ実現で
きないことを示している。
【0024】しかしながら、前述のように、チャネルイ
オン注入等でトランジスタのVthを上げるとバックバイ
アス効果が増大し、チャージポンプ動作における電流供
給能力を極端に悪化させるため、現状ではI−タイプト
ランジスタを使わざるを得ない。
【0025】そこで、本発明におけるチャージポンプ回
路は、I−タイプトランジスタを使用して、かつ、スタ
ンド・バイ時の逆流を極力抑えることのできる制御方式
を有する構成とした。
【0026】図1は、本発明の基本的な実施形態に係る
チャージポンプ回路及びその制御回路の構成を示すブロ
ック図である。本発明において、チャージポンプ動作の
停止時(スタンド・バイ状態時)には、チャージポンプ
回路1の各キャパシタノードの駆動電圧が、全て昇圧ノ
ードの電位VDDRに近い方の電圧に固定される、逆流
抑制用の同一レベルになることが特徴となっている。す
なわち、昇圧ノードの電位VDDRが正の電位であれば
キャパシタ駆動用の“H”レベルであり、VDDRが負
の電位であればキャパシタ駆動用の“L”レベルであ
る。
【0027】すなわち、通常“H”/“L”レベルを伝
達する発振器2の出力OSC信号がENABLE信号に
よるチャージポンプ動作停止の制御によって無効とな
る。この時点でチャージポンプ回路は、各キャパシタノ
ードに逆流抑制用の同一レベルを伝達する。
【0028】もちろんスタンド・バイ時でも時間が経つ
に連れて昇圧ノードが基準電位より低くなる。その時は
検知回路3がENABLE信号を制御し、チャージポン
プ動作を再開させる。昇圧ノードが基準電位に達すると
検知回路3がENABLE信号を制御し、チャージポン
プ動作を停止させる。このときも逆流抑制用の同一レベ
ルが各キャパシタノードに伝達される。
【0029】なお、検知回路3は、図2のように例えば
昇圧ノードの電位VDDRをR1,R2で抵抗分割した
所定電位と、BGR(バンドギャップリファレンス)回
路からの基準電位とを比較する比較器COMPを含んで
構成される。
【0030】また、検知回路3は、早急に昇圧電位を補
給しなければならない実動作に比べて、スタンド・バイ
時は緩慢に昇圧電位を補給しても支障はないので、より
低消費電力を優先する理由から2系統に回路が分かれて
いるものもある。すなわち検知回路3は、比較的感度の
高い性能を有して構成された実動作用のものと、比較的
感度の低い性能を有して構成されたスタンド・バイ用の
ものとの2系統の回路で構成される。
【0031】本発明によれば、半導体デバイスをスタン
ド・バイ状態で停止させる時、内部に設けられたチャー
ジポンプ回路の各段のキャパシタ駆動電位を全て昇圧レ
ベルに近い方の、“H”レベル(ハイレベル)、“L”
レベル(ローレベル)いずれかのレベルに統一し、キャ
パシタ接続ノード(N1〜N4)をすべて逆流抑制レベ
ルにしてキャパシタ駆動を停止させる。これにより、次
のような利点が得られる。
【0032】第1に、スタンド・バイ中に各段に接続さ
れたゲート・ドレイン共通接続のトランジスタからの逆
流電流による内部昇圧電位のロスを最小限におさえる。
第2に、スタンド・バイ→アクティブ状態移行時におけ
るチャージポンプ動作初期においては、各段の間にキャ
パシタ駆動電圧の電圧差は最低限保証されるため、チャ
ージポンプが最大電流を出すまでの時間を短縮できる。
これについて以下に具体的な回路を参照して説明する。
【0033】図3は、本発明の一実施形態に係るチャー
ジポンプ回路の構成を示す回路図である。ゲート・ドレ
インを共通接続(ダイオード接続)したI−タイプのト
ランジスタQxのドレインにキャパシタCxの一方電極
が接続されている。このトランジスタQxとキャパシタ
Cxの回路構成を多数直列に接続し(この例ではxが1
〜4 )、各段のキャパシタCxを“H”レベル/“L”
レベル交互に駆動することにより電荷を転送していく。
Qinは入力用トランジスタであり、電流通路の一端は外
部電源VDDOに接続されている。昇圧出力VDDRは
最終段のトランジスタQ4 のソースにて得られる。
【0034】上記チャージポンプ回路の制御系は次のよ
うに構成されている。NANDゲートNAND1,2,
3それぞれは一方の入力端子にイネーブル信号ENAB
LEが供給される。NAND1の出力はインバータIV
1を介して上記トランジスタQinのゲートに供給され
る。
【0035】NAND2の他方の入力端子には図示しな
い発振器の出力信号OSCが供給される。NAND2の
出力はインバータIV11,12を介してキャパシタC
1とC3それぞれの他方電極に供給される。
【0036】NAND3の他方の入力端子にはインバー
タIV13を介して図示しない発振器の出力信号OSC
の反転信号が供給される。NAND3の出力はインバー
タIV14,15を介してNAND1の他方の入力端子
に供給されると共に、キャパシタC2とC4それぞれの
他方電極に供給される。
【0037】このチャージポンプ回路はENABLE信
号が“H”レベル(ハイレベル)になることによって活
性化する。ENABLE信号が“H”レベルになると、
NAND2,3の出力は発振器出力OSC信号(“H”
/“L”レベル)を伝達する。また、NAND1の出力
はインバータIV1を介してインバータIV15の出力
を伝達し、“H”/“L”のタイミング信号がトランジ
スタQinのゲートに与えられる。電荷転送用のトランジ
スタQxを隔てて隣り合うノードに接続された各キャパ
シタCxは、動作時“H”/“L”レベルの互い違いの
レベルに駆動され電荷が転送されることにより、最終段
のトランジスタQ4に昇圧電位VDDRが得られる。
【0038】上記構成のチャージポンプ回路の動作が停
止するスタンド・バイ時には、ENABLE信号は
“L”レベルとなる。発振器の出力OSCの供給は強制
的にストップさせられるが、各段のキャパシタの駆動電
位はすべて“H”レベルとなり、ノードN1〜N4はす
べて“H”レベルとなった状態で停止する。
【0039】この停止制御では、従来“L”レベルで停
止していたノードへの逆流電流による充電電荷をQ=C
・Vだけ削減することができる。(C:各段につくキャ
パシタCxの容量、V:外部電源VDDOレベル) 図4は、本発明におけるチャージポンプ回路(全段
“H”停止)の逆流特性のシミュレーション結果を、図
6の各段“H”/“L”互い違いの停止方式に比べて示
す特性図である。逆流による昇圧レベルの低下は本発明
は従来回路に比較して2/3程度にまで減少している。
これより、電源電圧の低下と低スタンド・バイ電流の両
立をより低い電源電圧まで可能にする。
【0040】図5(a),(b)は、図1の本発明のチ
ャージポンプ回路に係るスタンド・バイ→アクティブ状
態移行時におけるチャージポンプ動作初期特性のシミュ
レーション結果を示す特性図である。(a)は、再起動
時キャパシタノードが“H”/“L”交互安定レベルに
復帰するまでの推移、(b)は、(a)により安定した
電流供給までの推移を示す。
【0041】図10(a),(b)は、図6のチャージ
ポンプ回路に係るスタンド・バイ→アクティブ状態移行
時におけるチャージポンプ動作初期特性の図4と同様な
シミュレーション結果を示す特性図である。各キャパシ
タノードが昇圧レベルからの逆流により適切なレベルに
ないため、復帰時“H”/“L”交互に差がついたレベ
ルになるまで時間がかかり、チャージポンプが最大電流
を出すまでに時間がかかる問題があった。
【0042】この実効的なスタンド・バイ→アクティブ
までのチャージポンプ動作時間を短縮できないと、アク
ティブになった直後は、チップ内部での昇圧電流の消費
をチャージポンプが補給できず、アクセス・タイム等の
チップ能力を保証できなくなる。
【0043】本発明に係る図5の特性図を参照すると、
動作開始直後は、全て“H”となっていた各ノード(図
3のN1〜N4)が“H”/“L”交互のレベルにもど
り、各段にキャパシタ駆動電圧(VDDO)の電位差が
確保される。この状態よりチャージポンプは動作を続け
るので、チャージポンプが最大電流を出し始めるまでの
時間(矢印の期間A)が図10の構成における同期間
(矢印の期間B)と比べて略1/2に短縮できる。
【0044】これにより、アクティブ直後におけるチッ
プ内部の昇圧電位の消費を、本発明のチャージポンプ回
路が短時間で補給することが可能となり、アクセス・タ
イム等のチップ能力を保証可能となる。
【0045】このように上記実施形態によれば、半導体
装置をスタンド・バイ状態で停止させる時、各段のキャ
パシタ駆動電位を全て“H”レベルにし、各キャパシタ
接続ノードを全て“H”状態で停止させる。これによ
り、(1)スタンド・バイ中に各段に接続されたゲート
・ドレイン共通接続のトランジスタからの逆流電流によ
る内部昇圧電位のロスを最小限におさえる効果がある。
さらに、(2)スタンド・バイ→アクティブ状態移行時
におけるチャージポンプ動作初期においては、各段の間
にキャパシタ駆動電圧(VDDO)の電圧差は最低限保
証されるため、チャージポンプが最大電流を出すまでの
時間を短縮できる効果がある。
【0046】なお、本発明はチャージポンプ動作停止時
に各キャパシタ全ノードを逆流抑制用の同一レベルにす
るための様々な回路構成が考えられ、上記図2の回路構
成に限らない。また、負の昇圧電位をチャージポンプ出
力するものについては、チャージポンプ動作停止時に各
キャパシタ全ノードを逆流抑制用の同一レベル“L”レ
ベル(キャパシタ駆動用の“L”レベル)にすればよ
い。
【0047】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
チャージポンプ動作停止時、格段のキャパシタノードを
全てチャージポンプ出力に対する逆流抑制用のレベルに
するという比較的簡単な制御構成で、電荷転送効率のよ
いI−タイプトランジスタを用いつつ、チャージポンプ
動作の停止時(デバイスのスタンド・バイ時)の電流消
費を削減し、かつ復帰時のチャージポンプ出力が最大電
流を出すまでの時間が短縮でき、デバイスの低電圧化に
も対応可能なチャージポンプ回路を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基本的な実施形態に係るチャージポン
プ回路及びその制御回路の構成を示すブロック図。
【図2】図1中の一部の回路図。
【図3】本発明の一実施形態に係るチャージポンプ回路
の構成を示す回路図。
【図4】本発明におけるチャージポンプ回路の逆流特性
のシミュレーション結果を従来の構成に比べて示す特性
図。
【図5】(a),(b)は、図1のチャージポンプ回路
に係るスタンド・バイ→アクティブ状態移行時における
チャージポンプ動作初期特性のシミュレーション結果を
示す特性図。
【図6】一般的なチャージポンプ回路の構成を示す回路
図。
【図7】(a)は基板上に形成されるダイオード接続の
I−タイプトランジスタの各電位点を示す回路図、
(b)は(a)で示す条件のときのドレイン電圧VDに
対するドレイン電流IDの特性曲線図。
【図8】(a)は基板上に形成されるI−タイプトラン
ジスタの各電位点を示す回路図、(b)は(a)で示す
条件のときのゲート電圧VGに対するドレイン電流ID
の特性曲線図。
【図9】(a)は基板上に形成されるI−タイプトラン
ジスタの各電位点を示す回路図、(b)は(a)で示す
条件のときのゲート電圧VGに対するドレイン電流ID
の特性曲線図。
【図10】(a),(b)は、図6のチャージポンプ回
路に係るスタンド・バイ→アクティブ状態移行時におけ
るチャージポンプ動作初期特性のシミュレーション結果
を示す特性図。
【符号の説明】
1…チャージポンプ回路 2…発振器 3…検知回路 Qin,Qx(xは1 〜4 )…I−タイプトランジスタ
(Intrinsicトランジスタ) Cx…キャパシタ NAND1〜3…NANDゲート IV1,IV11〜15…インバータ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ドレイン・ゲートが接続されたトランジ
    スタとこのトランジスタのドレインにキャパシタが接続
    され、このトランジスタ、キャパシタのセットが複数段
    直列接続され、各キャパシタは動作時、“H”/“L”
    レベルの互い違いの駆動電位にされるチャージポンプ回
    路において、チャージポンプ動作停止時には前記各キャ
    パシタの駆動電位が全てチャージポンプ出力レベルに近
    い方の同一レベルの状態で固定されることを特徴とする
    チャージポンプ回路。
  2. 【請求項2】 ドレイン・ゲートが接続されたトランジ
    スタとこのトランジスタのドレインにキャパシタが接続
    され、このトランジスタ、キャパシタのセットが複数段
    直列接続され、各キャパシタは動作時、“H”/“L”
    レベルの互い違いのレベルに駆動されるチャージポンプ
    回路において、スタンド・バイ時には各キャパシタの接
    続ノードが全てチャージポンプ出力に対する逆流抑制用
    のレベルにされることを特徴とするチャージポンプ回
    路。
  3. 【請求項3】 前記チャージポンプ動作停止時の前記チ
    ャージポンプ出力レベルが所定値を維持するように制御
    される機構を有することを特徴とする請求項1または2
    記載のチャージポンプ回路。
  4. 【請求項4】 前記ドレイン・ゲートが接続されたトラ
    ンジスタのしきい値Vthは0.5V以下であることを特
    徴とする請求項1または2記載のチャージポンプ回路。
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