TW202011125A - 層壓設備以及層壓方法 - Google Patents

Abstract

本揭露是有關於一種層壓設備和層壓方法，用於通過包含以下來使第一附接構件與第二附接構件對準以及將第一附接構件附接到第二附接構件：上部壁部件；下部壁部件；驅動部件，用於使上部壁部件和下部壁部件相對地移動；以及控制部件，用於在關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的基礎上使上部壁部件與下部壁部件對準。

Description

層壓設備以及層壓方法

本發明是有關於一種層壓設備和層壓方法，且特別是有關於一種用於使上部壁部件與下部壁構件對準以及將第一附接構件附接到第二附接構件的層壓設備和層壓方法。

一般來說，包含液晶顯示器（liquid crystal display；LCD）、電漿顯示器面板（plasma display panel；PDP）以及有機發光二極體（organic light-emitting diode；OLED）的各種顯示器裝置在製造期間經歷在真空狀態下將基板彼此附接的製程，這是因為顯示器裝置通常形成為多層結構。

當在現有技術中將第一基板附接到第二基板時，通過使用視覺對準照相機來識別第一基板的標記物和第二基板的標記物，且匹配第一基板的標記物與第二基板的標記物，從而使第一基板與第二基板對準。然而，第一基板與第二基板難以對準，這是因為當第一基板和第二基板均透明時（例如，在附接窗玻璃與顯示器面板時）無法在第一基板和第二基板上形成標記物。

另外，在現有技術中第一基板僅與第二基板水平對準。在這種情況下，如果當第一基板附接到第二基板時第一基板或第二基板不是水平的，那麼出現包含第一基板和第二基板的附接表面的非均勻性的各種缺陷。因此，降低了顯示器裝置的整體可靠性。

也就是說，當上部壁部件未與下部壁部件對準時，上部壁部件與下部壁部件之間的傾斜誤差導致第一基板未與第二基板平行。當第一基板在第一基板未與第二基板平行的情況下附接到第二基板時，第一基板的安裝表面與第二基板的安裝表面未彼此相對。因此，第一基板在未對準狀態下附接到第二基板。

因此，迫切地需要研發一技術，所述技術可通過使第一基板與第二基板精確地對準的製程來確保附接操作的精確度，同時解決當第一基板附接到第二基板時，第一基板與第二基板未彼此平行的問題。 [現有技術文獻] [專利文獻] 韓國專利第10-1073558號

本揭露提供一種層壓設備和層壓方法，所述層壓設備和層壓方法用於通過使上部壁部件與下部壁構件對準以使第一附接構件與第二附接構件對準，以將第一附接構件附接到第二附接構件。

根據示範性實施例，一種用於將第一附接構件附接到第二附接構件的層壓設備包含：上部壁部件，具有第一支撐部件，第一附接構件由第一支撐部件支撐；下部壁部件，具有第二支撐部件，與第一附接構件相對的第二附接構件由第二支撐部件支撐，且下部壁部件配置成通過連接到上部壁部件來形成處理腔室；位置訊息獲取部件，配置成獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，且配置成根據所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息來運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息；控制部件，配置成在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，生成用於使上部壁部件與下部壁部件對準的控制訊息；驅動部件，配置成從控制部件接收控制訊息，以使上部壁部件和下部壁部件中的至少一個相對於另一個相對地移動；以及間隙調節部件，配置成調節上部壁部件與下部壁部件之間的間隙，且在對準狀態下使上部壁部件連接到下部壁部件。

位置訊息獲取部件可包含：上部標記板和下部標記板，各自包含圖案表面，圖案表面具有標記圖案，且上部標記板和下部標記板分別設置在上部壁部件和下部壁部件上；上部照相機和下部照相機，設置成分別面對上部壁部件和下部壁部件，以分別對上部標記板和下部標記板進行拍照，上部標記板和下部標記板分別與上部照相機和下部照相機相對；以及位置訊息分析部件，配置成通過分析由上部照相機和下部照相機分別捕捉的上部標記板和下部標記板的標記圖案圖像來分別獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，且配置成在所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息的基礎上，生成上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息。

上部照相機可對第一附接構件的特徵點進行拍照，下部照相機可對第二附接構件的特徵點進行拍照，位置訊息分析部件可通過分析對第一附接構件的特徵點進行拍照的第一特徵點圖像和對第二附接構件的特徵點進行拍照的第二特徵點圖像來獲取第一附接構件的特徵點與第二附接構件的特徵點之間的相對位置訊息，且控制部件可通過在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息中反映由位置訊息分析部件所獲取的特徵點之間的相對位置訊息來生成控制訊息。

位置訊息可包含：根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸所確定的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息；以及指示平面的傾斜度的傾斜訊息。

間隙調節部件可在使上部壁部件連接到下部壁部件時，將第一附接構件附接到第二附接構件。

第一支撐部件和第二支撐部件中的至少一個可包含按壓部件，按壓部件配置成通過向第一附接構件或對應於第一附接構件的第二附接構件施加壓力來將第一附接構件附接到第二附接構件。

標記圖案可包含：標記矩陣，具有呈矩陣形式布置的多個標記；以及多個圓形軌跡標記（circular trajectory mark），安置在標記矩陣外部，且定位在一個圓形軌跡上。

位置訊息分析部件可通過根據標記圖案圖像測量多個圓形軌跡標記的位置來計算上部壁部件和下部壁部件中的至少一個的旋轉中心。

上部標記板可安置在第一支撐部件外部，且下部標記板可安置在第二支撐部件外部。

上部標記板和下部標記板可由石英材料形成，且標記圖案可通過印刷來形成。

根據另一示範性實施例，一種用於將第一附接構件附接到第二附接構件的層壓方法包含以下操作：（a）在上部壁部件的第一支撐部件上設置第一附接構件，且在下部壁部件的第二支撐部件上設置第二附接構件；（b）獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，且根據所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息來運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息；（c）在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上使上部壁部件與下部壁部件對準；以及（d）通過調節所對準的上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來使上部壁部件連接到下部壁部件。

層壓方法可進一步包含以下操作：分別在上部壁部件和下部壁部件上設置各自包含圖案表面的上部標記板和下部標記板，圖案表面具有標記圖案。操作（b）可包含：通過使用設置成分別面對上部壁部件和下部壁部件的上部照相機和下部照相機，來分別對與上部照相機和下部照相機相對的上部標記板和下部標記板進行拍照的操作；分析由上部照相機和下部照相機分別捕捉的上部標記板和下部標記板的標記圖案圖像的操作；分別獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息的操作；以及在所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息的基礎上，生成上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的操作。

層壓方法可進一步包含：通過使用上部照相機和下部照相機來分別對第一附接構件的特徵點和第二附接構件的特徵點進行拍照的操作；以及通過分析對第一附接構件的特徵點進行拍照的第一特徵點圖像和對第二附接構件的特徵點進行拍照的第二特徵點圖像來獲取第一附接構件的特徵點與第二附接構件的特徵點之間的相對位置訊息的操作。操作（c）可通過以下操作來進行：在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息中反映從第一特徵點圖像和第二特徵點圖像所獲取的特徵點之間的相對位置訊息。

操作（b）可包含：相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個，分別提取根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸所確定的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息的操作；以及相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個，提取指示平面的傾斜度的傾斜訊息的操作。

第一附接構件可在操作（d）期間附接到第二附接構件。

層壓方法可進一步包含以下操作：在操作（d）之後將第一附接構件附接到第二附接構件。

標記圖案可包含：標記矩陣，具有呈矩陣形式布置的多個標記；以及多個圓形軌跡標記，安置在標記矩陣外部，且定位在一個圓形軌跡上，且分析標記圖案圖像的操作可包含：根據標記圖案圖像來測量多個圓形軌跡標記的位置的操作；以及計算上部壁部件和下部壁部件中的至少一個的旋轉中心的操作。

可重複操作（a）到操作（d）。層壓方法可進一步包含以下操作：在重複操作（a）之前，識別第一附接構件與第二附接構件的附接狀態。當識別出第一附接構件與第二附接構件的對準附接時，可省略操作（b），且可通過使用先前運算出的上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息來進行操作（c）。當識別出第一附接構件與第二附接構件的未對準附接時，可進行操作（b），且可通過使用重新運算出的上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息來進行操作（c）。

下文中將參考附圖詳細地描述具體實施例。然而，本發明可以不同形式實施，並且不應解釋為限於本文所闡述的實施例。而是，提供這些實施例是為了使得本揭露將是透徹且完整的，並且這些實施例將把本發明的範圍充分地傳達給本領域的普通技術人員。在圖中，相同組件由相同附圖標號標示，出於說明清楚起見，可部分地放大所述圖的尺寸。貫穿全文，相同的附圖標號指代相同的元件。

圖1是根據示範性實施例的示出層壓設備的示意性透視圖。圖2（a）和圖2（b）是根據示範性實施例的用於描述上部壁部件與下部壁部件的連接和分離的概念圖。圖2（a）示出上部壁部件與下部壁部件的分離狀態。圖2（b）示出上部壁部件與下部壁部件的連接狀態。

參考圖1和圖2（a）和圖2（b），根據示範性實施例的用於將第一附接構件11附接到第二附接構件12的層壓設備100可包含：上部壁部件110，具有第一支撐部件111，第一附接構件11由所述第一支撐部件111支撐；下部壁部件120，具有第二支撐部件121，與第一附接構件11相對的第二附接構件12由所述第二支撐部件121支撐，且所述下部壁部件120通過連接到上部壁部件110來形成處理腔室；位置訊息獲取部件（未示出），獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息，且根據所獲取的關於上部壁部件110的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件120的位置訊息來運算上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息；控制部件（未示出），在上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息的基礎上，生成用於使上部壁部件110與下部壁部件120對準的控制訊息；驅動部件（未示出），從控制部件（未示出）接收控制訊息以使上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一個相對於另一個相對地移動；以及間隙調節部件（未示出），調節上部壁部件110與下部壁部件120之間的間隙且在對準狀態下使上部壁部件110連接到下部壁部件120。

上部壁部件110可具有第一支撐部件111（第一附接構件11由所述第一支撐部件支撐），可以是形成處理腔室（或真空腔室）的上部部分的組件，且可包含形成處理腔室的上部壁的上部壁部分和形成所述處理腔室的側壁的上部部分的側壁部分。此處，上部壁部分可具有整體矩形板形狀，且側壁部分可通過沿上部壁部分的邊緣朝下彎曲來形成處理腔室的側壁。在這種情況下，側壁部分可與上部壁部分一體地形成，且也可具有另外生產和連接的結構。

第一支撐部件111可支撐第一附接構件11且可支撐第一附接構件11的除安裝表面或附接表面之外的剩餘表面的至少一部分或一些表面，以暴露第一附接構件11的安裝表面。第一支撐部件111的結構不受特定限制，且任何結構都是足夠的，只要所述結構可在暴露第一附接構件11的安裝表面時穩定地支撐第一附接構件11即可。並且，第一支撐部件111可包括支撐上部標記板130a的上部標記板支撐部件112。此處，第一附接構件11可包含窗玻璃或覆蓋玻璃。

下部壁部件120可具有第二支撐部件121（與第一附接構件11相對的第二附接構件12由所述第二支撐部件支撐），可作為形成處理腔室的下部部分的組件而通過連接到上部壁部件110來形成處理腔室，且可具有整體矩形容器形狀。舉例來說，下部壁部件120可包含形成處理腔室的下部壁的下部壁部分和形成側壁的下部部分的側壁部分。

第二支撐部件121可支撐第二附接構件12且可支撐第二附接構件12的除安裝表面之外的剩餘表面的至少一部分，以暴露第二附接構件12的安裝表面。第二支撐部件121的結構不受特定限制，且任何結構都是足夠的，只要所述結構可在暴露第二附接構件12的安裝表面時穩定地支撐第二附接構件12即可。並且，第二支撐部件121可包括支撐下部標記板130b的下部標記板支撐部件122。此處，第二附接構件12可包含顯示器面板或觸摸屏面板，且也可以是柔性顯示器面板。

位置訊息獲取部件（未示出）可獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息，且可根據關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息來運算上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息。可將運算出的上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息傳輸到控制驅動部件（未示出）的控制部件（未示出）。

控制部件（未示出）可在上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息的基礎上，生成用於使上部壁部件110與下部壁部件120對準的控制訊息。控制部件（未示出）可將控制訊息傳輸到驅動部件（未示出）以控制驅動部件（未示出）且使上部壁部件110與下部壁部件120對準。舉例來說，控制部件（未示出）可控制驅動部件（未示出），使得通過在上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息的基礎上，使一個壁部件110或壁部件120相對地移動，以使上部壁部件110與下部壁部件120對準。控制部件（未示出）可接收關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息且生成控制訊息，使得上部壁部件110與下部壁部件120（將要彼此附接的第一附接構件11和第二附接構件12分別由所述上部壁部件和所述下部壁部件支撐）可彼此對準。此處，控制部件（未示出）可通過各種方法接收關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息。

驅動部件（未示出）可從控制部件（未示出）接收控制訊息以使上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一個移動，且使所述至少一個壁部件在前、後、左以及右方向上在水平狀態下水平移動和旋轉。在這種情況下，驅動部件也可使一個壁部件110或壁部件120相對於另一個壁部件110或壁部件120相對地移動。舉例來說，驅動部件可使下部壁部件120在上部壁部件110固定的情況下，相對於上部壁部件110相對地移動。此處，驅動部件（未示出）的詳細配置可具有通常可采用的結構，且將省略對其的詳細描述。

間隙調節部件（未示出）可調節上部壁部件110與下部壁部件120之間的間隙。此處，間隙調節部件（未示出）可在上部壁部件110與下部壁部件120的對準狀態下使上部壁部件110連接到下部壁部件120，以便將第一附接構件11附接到第二附接構件12，且也可使上部壁部件110與下部壁部件120分離。舉例來說，間隙調節部件（未示出）可以用以抬升上部壁部件110和/或下部壁部件120的抬升裝置的形式配置，由此調節上部壁部件110與下部壁部件120之間的間隙。

處理腔室可通過使上部壁部件110連接到下部壁部件120來形成，且可在處理腔室內部形成真空以進行附接製程。第一附接構件11與第二附接構件12可彼此接觸，且也可通過使用間隙調節部件（未示出）使上部壁部件110連接到下部壁部件120來彼此附接。同時，在上部壁部件110連接到下部壁部件120之後，可抬升第一支撐部件111和/或第二支撐部件121以將第一附接構件11附接到第二附接構件12。

第一支撐部件111和第二支撐部件121中的至少一個可包含按壓部件，所述按壓部件通過向第一附接構件11或對應於所述第一附接構件的第二附接構件12施加壓力來將第一附接構件11附接到第二附接構件12。按壓部件可經由驅動第一支撐部件111和/或第二支撐部件121通過按壓第一附接構件11和/或第二附接構件12來將第一附接構件11附接到第二附接構件12。按壓部件也可經由抬升上部壁部件110和/或下部壁部件120通過按壓第一附接構件11和/或第二附接構件12來將第一附接構件11附接到第二附接構件12。

舉例來說，通過使上部壁部件110連接到下部壁部件120來使第一附接構件11與第二附接構件12彼此接觸。接著，可經由供應流體（例如，水或空氣）通過使按壓部件膨脹來按壓第一附接構件11和/或第二附接構件12。另外，按壓部件具有彈性且因此可通過使上部壁部件110連接到下部壁部件120而受到按壓來用彈力按壓第一附接構件11和/或第二附接構件12。

同時，間隙調節部件（未示出）可在使上部壁部件110連接到下部壁部件120時，將第一附接構件11附接到第二附接構件12。因此，第一附接構件11可在驅動用於使上部壁部件110連接到下部壁部件120的力的時間處附接到第二附接構件12，且可減少用於將第一附接構件11附接到第二附接構件12的處理時間。

在現有技術中，當上部壁部件110未與下部壁部件120對準時，第一附接構件11因上部壁部件110與下部壁部件120之間的傾斜誤差而未與第二附接構件12平行，這是因為第一附接構件11僅通過第一附接構件11和第二附接構件12的特徵點（例如，標記物）來與第二附接構件12水平對準。當第一附接構件11在第一附接構件11未與第二附接構件12平行的情況下附接到第二附接構件12時，第一附接構件11的安裝表面與第二附接構件12的安裝表面未彼此相對，或方向不同。因此，第一附接構件11在未對準狀態下附接到第二附接構件12。

然而，在示範性實施例中，通過經由在關於上部壁部件110和下部壁部件120的位置訊息的基礎上使上部壁部件110和下部壁部件120中的一個相對於另一個相對地移動以使上部壁部件110與下部壁部件120對準，第一附接構件11與第二附接構件12可彼此水平對準且可彼此平行，且第一附接構件11的安裝表面與第二附接構件12的安裝表面可彼此相對。因此，第一附接構件11與第二附接構件12可精確地彼此對準，且可在第一附接構件11與第二附接構件12之間沒有對準誤差的情況下精確地彼此附接。

位置訊息獲取部件（未示出）可進一步包含：上部標記板130a和下部標記板130b，各自包含圖案表面，所述圖案表面具有標記圖案131，且所述上部標記板和所述下部標記板分別設置在上部壁部件110和下部壁部件120上；上部照相機140a和下部照相機140b，設置成分別面對上部壁部件110和下部壁部件120以分別對上部標記板130a和下部標記板130b進行拍照，所述上部標記板130a和所述下部標記板130b分別與上部照相機140a和下部照相機140b相對；以及位置訊息分析部件（未示出），通過分析由上部照相機140a和下部照相機140b分別捕捉的上部標記板130a和下部標記板130b的標記圖案圖像來分別獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息，且在所獲取的關於上部壁部件110的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件120的位置訊息的基礎上，生成上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息。

上部標記板130a和下部標記板130b中的每一個可包含具有標記圖案131的圖案表面，且可分別設置在上部壁部件110和下部壁部件120上。上部標記板130a可設置在上部壁部件110上，使得具有標記圖案131的圖案表面面朝下，且上部標記板130a的圖案表面可與第一附接構件11的支撐表面對準或平行。舉例來說，上部標記板130a可設置成與上部壁部件110的上部壁部分對準，且可通過連接到上部壁部件110來支撐。

下部標記板130b可設置在下部壁部件120上，使得圖案表面面朝上，且下部標記板130b的圖案表面可與第二附接構件12的支撐表面對準。舉例來說，下部標記板130b可設置成與下部壁部件120的下部壁部分對準，且可通過連接到下部壁部件120來支撐。

上部照相機140a和下部照相機140b可設置成分別面對上部壁部件110和下部壁部件120，以分別對上部標記板130a和下部標記板130b進行拍照，所述上部標記板和所述下部標記板分別與上部照相機140a和下部照相機140b相對。在這種情況下，上部照相機140a和下部照相機140b可組裝成分別面朝上和麵朝下從而形成照相機組件，且可設置在上部壁部件110與下部壁部件120之間。

上部照相機140a可設置成面對上部壁部件110，可與上部標記板130a相對且在面對圖案表面的方向（例如，垂直於圖案表面的方向）上對上部標記板130a進行拍照，且可獲得上部標記板130a的標記圖案圖像。

下部照相機140b可設置成面對下部壁部件120，可與下部標記板130b相對且在面對圖案表面的方向上對下部標記板130b進行拍照，且可獲得下部標記板130b的標記圖案圖像。

位置訊息分析部件（未示出）可通過分析由上部照相機140a捕捉的上部標記板130a的標記圖案圖像和由下部照相機140b捕捉的下部標記板130b的標記圖案圖像來獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息。位置訊息分析部件（未示出）可在所獲取的關於上部壁部件110的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件120的位置訊息的基礎上，生成上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息。可通過分析來自標記圖案圖像的標記圖案131的形狀來得出上部壁部件110與下部壁部件120之間的錯位（例如傾斜），這是因為標記圖案圖像中的標記圖案131的形狀根據上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸與圖案表面之間的角度或傾斜來改變。因此，可獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息。可通過計算所獲取的關於上部壁部件110的位置訊息與所獲取的關於下部壁部件120的位置訊息之間的差來運算上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息。

關於上部壁部件110和下部壁部件120的具有高精度的位置訊息可簡單地通過以下步驟來獲取：通過使用上部照相機140a和下部照相機140b分別對分別設置在上部壁部件110和下部壁部件120上的上部標記板130a和下部標記板130b進行拍照；以及分析捕捉到的標記圖案圖像。

圖3（a）、圖3（b）和圖3（c）是根據示範性實施例的用於描述第一附接構件和第二附接構件的特徵點的概念圖。圖3（a）示出第一附接構件的特徵點。圖3（b）示出第二附接構件的特徵點。圖3（c）示出第一附接構件和第二附接構件的特徵點之間的相對位置。

參考圖3（a）、圖3（b）和圖3（c），上部照相機140a可對第一附接構件11的特徵點11a進行拍照，且下部照相機140b可對第二附接構件12的特徵點12a進行拍照。第一附接構件11的特徵點11a與第二附接構件12的特徵點12a之間的錯位或未對準可通過經由第一特徵點圖像和第二特徵點圖像比較第一附接構件11的特徵點11a和第二附接構件12的特徵點12a的位置來識別，所述第一特徵點圖像通過對第一附接構件11的特徵點11a進行拍照來獲得，所述第二特徵點圖像通過對第二附接構件12的特徵點12a進行拍照來獲得。

此處，特徵點可以是標記物或可以是附接構件（第一附接構件和/或第二附接構件）的頂點或邊緣之間的交叉點。舉例來說，第一附接構件11可以是窗玻璃或覆蓋玻璃，且可包含透明部件和不透明或黑色帶槽框（bezel）。第二附接構件12可作為顯示器面板或觸摸屏面板而形成為透明的。在這種情況下，可將第一附接構件11和第二附接構件12中的每一個的邊緣之間的交叉點用作特徵點，這是因為標記物可能未標記在第一附接構件11和/或第二附接構件12上。在這種情況下，標記物不存在，且因此使第一附接構件11與第二附接構件12對準且將第一附接構件11附接到第二附接構件12是重要的，這是因為在識別出標記物時第一附接構件11可能未與第二附接構件12對準。因此，在示範性實施例中，第一附接構件11與第二附接構件12可通過使上部壁部件110與下部壁部件120對準來在第一附接構件11未與第二附接構件12對準的情況下彼此附接。

位置訊息分析部件（未示出）可通過分析第一特徵點圖像和第二特徵點圖像來獲取第一附接構件11和第二附接構件12的特徵點之間的相對位置訊息，在所述第一特徵點圖像中對第一附接構件11的特徵點11a進行拍照，在所述第二特徵點圖像中對第二附接構件12的特徵點12a進行拍照。控制部件（未示出）可通過在上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息中反映由位置訊息分析部件所獲取的特徵點之間的相對位置訊息來生成控制訊息。位置訊息分析部件（未示出）可分析通過對第一附接構件11的特徵點11a進行拍照來獲得的第一特徵點圖像和通過對第二附接構件12的特徵點12a進行拍照來獲得的第二特徵點圖像。因此，可得出關於第一附接構件11的特徵點的位置訊息和關於第二附接構件12的特徵點的位置訊息。第一附接構件11和第二附接構件12的特徵點之間的相對位置訊息可通過計算第一附接構件11的特徵點的位置（訊息）與第二附接構件12的特徵點的位置（訊息）之間的差來獲取。

此處，第一附接構件11的特徵點11a和第二附接構件12的特徵點12a可分別設置為多個特徵點11a和多個特徵點12a，且可計算由第一附接構件11的多個特徵點11a形成的平面與由第二附接構件12的多個特徵點12a形成的平面之間的未對準度。因此,可獲取指示由第一附接構件11的多個特徵點11a形成的平面與由第二附接構件12的多個特徵點12a形成的平面之間的未對準度的旋轉位置訊息，例如θ值。此處，第一附接構件11和第二附接構件12的特徵點之間的相對位置訊息可包含旋轉位置訊息。在這種情況下，第一附接構件11和第二附接構件12中的每一個可具有總共四個特徵點11a或四個特徵點12a，所述附接構件的每一頂點或邊緣各一個，使得可精確地計算第一附接構件11與第二附接構件12之間的未對準度。

控制部件（未示出）可通過在上部壁部件110與下部壁部件120之間的相對位置訊息中反映所獲取的特徵點之間的相對位置訊息來生成控制訊息，且可通過所生成的控制訊息來控制驅動部件（未示出）。舉例來說，控制部件（未示出）可控制驅動部件（未示出），使得通過使一個壁部件110或壁部件120相對地移動來使上部壁部件110與下部壁部件120對準且使第一附接構件11與第二附接構件12對準。需要使第一附接構件11與第二附接構件12彼此對準或水平地對準，以及通過使上部壁部件110與下部壁部件120對準來使第一附接構件11與第二附接構件12彼此平行，以便在第一附接構件11與第二附接構件12之間沒有對準誤差的情況下將第一附接構件11精確地附接到第二附接構件12。因此，可通過反映所獲取的第一附接構件11的特徵點與第二附接構件12的特徵點之間的相對位置訊息來使一個壁部件110或壁部件120相對地移動。因此，第一附接構件11與第二附接構件12可精確地彼此對準，且可在第一附接構件11與第二附接構件12之間沒有對準誤差的情況下精確地彼此附接。

圖4（a）和圖4（b）是根據示範性實施例的用於描述標記圖案圖像中的形狀變化和標記圖案的未對準的概念圖。圖4（a）示出照相機的光軸垂直於圖案表面的狀態。圖4（b）示出圖案表面相對於照相機的光軸傾斜的狀態。

參考圖4（a）和圖4（b），位置訊息分析部件（未示出）可通過測量繪示於標記圖案圖像中的標記圖案131的形狀變化和未對準來獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息。位置訊息分析部件（未示出）可測量繪示於標記圖案圖像中的標記圖案131的形狀變化和未對準。因此，可獲取關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息。當在上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸垂直於圖案表面的狀態下捕捉到標記圖案圖像時，標記圖案131以其初始形狀很好地出現在標記圖案圖像的二維（two-dimensional；2D）平面上，如圖4（a）中所示出。然而，當在圖案表面相對於上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸傾斜的狀態下捕捉到標記圖案圖像時，標記圖案131未以其初始形狀出現在標記圖案圖像中，且標記圖案131的形狀改變，如圖4（b）中所示出。

標記圖案圖像中的標記圖案131的形狀根據上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸與圖案表面之間的角度來改變。因此，可通過測量繪示於標記圖案圖像中的標記圖案131的形狀變化和未對準（misalignment）來計算上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸與圖案表面之間的角度。可在上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸與圖案表面之間的角度和上部標記板130a和/或下部標記板130b的定位坐標的基礎上，獲取相對於參考軸的關於上部壁部件110的位置訊息和關於下部壁部件120的位置訊息。

位置訊息可包含：根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸所確定的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息；以及指示平面的傾斜度的傾斜訊息。可相對於上部壁部件110和下部壁部件120中的每一個提取第一軸線性位置訊息（例如，第一軸坐標值）、第二軸線性位置訊息（例如，第二軸坐標值）以及傾斜訊息（例如，φ值）。可通過所提取的第一軸線性位置訊息、第二軸線性位置訊息以及傾斜訊息來獲取關於上部壁部件110和下部壁部件120的位置訊息。通過使用第一軸線性位置訊息、第二軸線性位置訊息以及傾斜訊息來使一個壁部件110或壁部件120在第一軸方向和第二軸方向上線性地移動。可通過旋轉一個壁部件110或壁部件120使得調節平面的未對準度來使上部壁部件110與下部壁部件120對準，所述未對準度由關於上部壁部件110的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息以及關於下部壁部件120的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息確定。此處，第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息可包含方向訊息和距離訊息。同時，也可通過使用傾斜訊息來使一個壁部件110或壁部件120傾斜，使得通過調節平面的傾角來使上部壁部件110與下部壁部件120彼此平行。

位置訊息可進一步包含指示平面的未對準度的旋轉位置訊息（例如，θ值），且可根據關於上部壁部件110的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息以及關於下部壁部件120的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息來運算。在這種情況下，可經由上部標記板130a和下部標記板130b通過計算由上部標記板130a形成的平面與由下部標記板130b形成的平面之間的未對準度來運算旋轉位置訊息。此處，上部標記板130a和下部標記板130b中的每一個可以總共是四個標記板，上部壁部件110和下部壁部件120中的每一個的每一頂點或邊緣各一個，使得可精確地計算上部壁部件110與下部壁部件120之間的未對準度。

舉例來說，驅動部件（未示出）可使一個壁部件110或壁部件120在三個軸方向（x方向、y方向以及θ方向）上相對地移動，且可使一個壁部件110或壁部件120在θ方向上（以及在x方向和y方向上）相對於另一個壁部件110或壁部件120對準。當上部壁部件110未與下部壁部件120對準時，驅動部件（未示出）可進行以下對準操作：在使一個壁部件110或壁部件120在x方向、y方向以及θ方向上精細地移動時使上部壁部件110與下部壁部件120對準。在對準操作完成之後，第一附接構件11和第二附接構件12可以不水平地移動或旋轉，且其對準位置不大可能改變。驅動部件（未示出）可包含第一軸驅動部件、第二軸驅動部件以及軸向旋轉部件。第一軸驅動部件可通過使一個壁部件110或壁部件120在第一軸方向上線性地移動來在第一軸方向上對準一個壁部件110或壁部件120，且第二軸驅動部件可通過使一個壁部件110或壁部件120在第二軸方向上線性地移動來在第二軸方向上對準一個壁部件110或壁部件120。軸向旋轉部件可通過使一個壁部件110或壁部件120在θ方向上旋轉來使上部壁部件110與下部壁部件120對準，使得上部壁部件110未在θ方向上與下部壁部件120未對準。

同時，驅動部件（未示出）也可使一個壁部件110或壁部件120在φ方向上相對地移動，且可進一步包含傾斜部件。通過使一個壁部件110或壁部件120在φ方向上相對地移動或旋轉，一個壁部件110或壁部件120可以是傾斜的，且也可使上部壁部件110與下部壁部件120（例如，第一附接構件11與第二附接構件12）彼此平行。

當上部壁部件110連接到下部壁部件120時，上部照相機140a和下部照相機140b可以可移動地設置在上部壁部件110與下部壁部件120之間的空間的外部。上部照相機140a和下部照相機140b可以可移動地設置。當上部標記板130a和/或下部標記板130b設置為多個上部標記板130a和/或多個下部標記板130b時，上部照相機140a和下部照相機140b可在移動時分別對上部標記板130a和下部標記板130b進行拍照。另外，當上部壁部件110連接到下部壁部件120時，上部照相機140a和下部照相機140b可在上部壁部件110與下部壁部件120之間的空間的外部或通過移動來離開所述空間，以不干擾連接。在這種情況下，上部照相機140a和下部照相機140b可以不干擾上部壁部件110與下部壁部件120的連接。因此，上部壁部件110與下部壁部件120的連接可很好地在其內部形成真空，且可很好地將第一附接構件11附接到第二附接構件12。

另外，上部標記板130a和下部標記板130b可設置為多個上部標記板130a和多個下部標記板130b，這是因為僅在上部標記板130a和下部標記板130b設置為多個上部標記板130a和多個下部標記板130b時才可相對於多個軸（例如，第一軸和第二軸）進行對準。

標記圖案131可包含：標記矩陣，具有呈矩陣形式布置的多個標記131a；以及多個圓形軌跡標記131b，安置在標記矩陣外部，且定位在一個圓形軌跡上。標記矩陣可具有具有相同形狀且呈矩陣形式布置的多個標記131a，多個標記131a之間的間隙可在第一方向上相同，且多個標記131a之間的間隙可在與第一方向相交的第二方向上相同。當通過對包含標記矩陣的標記圖案131進行拍照來獲取標記圖案圖像時，可通過測量所獲取的標記圖案圖像中的標記131a的形狀變化和未對準來計算上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸與圖案表面之間的角度。另外，可在上部照相機140a和/或下部照相機140b的光軸與圖案表面之間的角度和上部標記板130a和/或下部標記板130b的定位坐標的基礎上，獲取相對於參考軸的關於上部壁部件110和下部壁部件120的位置訊息。因此，可計算上部壁部件110與下部壁部件120之間的錯位（dislocation）。

另外，可通過測量來自所獲取的標記圖案圖像的標記131a的大小或所述標記之間的間隙來計算上部照相機140a和下部照相機140b（其已對所獲取的標記圖案圖像進行拍照）中的一個的放大率和分辨率。因此，當第一特徵點圖像中的第一附接構件11的特徵點11a的位置與第二特徵點圖像中的第二附接構件12的特徵點12a的位置不同時，可計算第一附接構件11或第二附接構件12為了對準而所需移動的距離。

同時，當具有多個標記131a的標記矩陣呈矩陣形式布置時，可獲取形成平面的等式的坐標，且可獲得變換矩陣。

圖5是根據示範性實施例的用於描述圓形軌跡標記的概念圖。

參考圖5，多個圓形軌跡標記131b可安置在標記矩陣外部且可定位在一個圓形軌跡上。可通過連接在上部標記板130a和下部標記板130b中的相同標記板130a或標記板130b上形成的多個圓形軌跡標記131b來形成一個圓形。可通過所形成的圓形的中心來提取上部壁部件110和下部壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）中的一個的旋轉中心。在這種情況下，由多個圓形軌跡標記131b形成的圓形的中心可與一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）的旋轉中心相同。在這種情況下，因旋轉一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）而導致的傾角變化可很好地反映在相同標記板130a或標記板130b的傾角變化中，且可很好地計算θ方向。

位置訊息分析部件（未示出）可通過根據標記圖案圖像測量多個圓形軌跡標記131b的位置來計算上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一個的旋轉中心。因此，位置訊息可進一步包含關於平面的旋轉中心的位置訊息，且可用以使一個壁部件110或壁部件120在θ方向上旋轉或使一個壁部件110或壁部件120在φ方向上傾斜。當由多個圓形軌跡標記131b形成的圓形的中心與一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）的旋轉中心相同時，可提取由多個圓形軌跡標記131b形成的圓形的中心作為一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）的旋轉中心。當由多個圓形軌跡標記131b形成的圓形的中心不同於一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）的旋轉中心時，可通過由多個圓形軌跡標記131b形成的圓形的中心的位置與上部壁部件110和下部壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）中的至少一個的旋轉中心的位置之間的差來計算上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一個的旋轉中心。當至少一個壁部件110或壁部件120圍繞其旋轉中心旋轉時，由多個圓形軌跡標記131b形成的圓形的中心的位置與一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）的旋轉中心的位置之間的差可能改變。通過反映位置差，即使在至少一個壁部件110或壁部件120圍繞其旋轉中心旋轉時也可計算上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一個的旋轉中心。因此，可通過至少一個壁部件110或壁部件120的旋轉中心來計算一個壁部件110或壁部件120（相同標記板130a或標記板130b設置在其上）的傾角變化，且可很好地計算θ方向。可通過對準或匹配上部壁部件110和下部壁部件120的旋轉中心來使一個壁部件110或壁部件120在θ方向上旋轉和/或在φ方向上傾斜。

上部標記板130a可安置在第一支撐部件111外部，且下部標記板130b可安置在第二支撐部件121外部。因此，當上部壁部件110連接到下部壁部件120時可以不出現干擾，且可防止干擾在針對第一附接構件11和第二附接構件12的附接製程中出現。上部標記板130a和下部標記板130b可設置成分別固定到上部壁部件110和下部壁部件120。因此，可取決於上部標記板130a和下部標記板130b的移動和安裝來防止出現組件誤差、移動誤差以及振動，且可通過減少誤差的出現來進一步提高關於上部壁部件110和下部壁部件120的位置訊息的精確度。另外，通過將上部標記板130a和下部標記板130b設置成分別固定到上部壁部件110和下部壁部件120，可在持續附接製程期間對上部標記板130a和下部標記板130b進行實時拍照，且可重新或反復獲取和更新關於上部壁部件110和下部壁部件120的位置訊息。

上部標記板130a和下部標記板130b可由石英材料形成，且標記圖案131可通過印刷來形成。當將金屬材料用於上部標記板130a和下部標記板130b時，可能未獲得清晰標記圖案圖像，這是因為當對上部標記板130a和下部標記板130b進行拍照時從所述標記板反射光。當通過經由對上部標記板130a和下部標記板130b進行機械加工來限定一孔以形成標記圖案131時，因處理誤差而導致標記圖案131的精確度降低。

然而，可通過使用油墨或類似物在由石英材料形成的上部標記板130a和下部標記板130b上印刷標記圖案131來提高標記圖案131的精確度。另外，具有高精度的標記圖案131可提高標記圖案圖像的分辨率或分辨力，且也可顯著提高關於上部壁部件110和下部壁部件120的位置訊息的精確度。當通過印刷形成標記圖案131時，可提高印刷的精確度，且因此可提高標記圖案131的精確度。當對石英材料進行印刷時，可更好地對其進行印刷，且標記圖案131可以不與所述石英材料分離。另外，可在印刷時容易地調節標記圖案131的色彩，且當標記圖案131的色彩確定為黑色時，標記圖案131吸收光。因此，標記圖案131的可視性可進一步提高。在其上印刷標記圖案131的一個部分吸收光，且未在其上印刷標記圖案131的另一個部分是透明的且透射光，且因此，可使標記圖案圖像中的標記圖案131的邊界清晰或截然不同。

圖6是根據另一示範性實施例的示出層壓方法的流程圖。

參考圖6，將更詳細地描述根據另一示範性實施例的層壓方法，且將省略與上文結合根據示範性實施例的層壓設備所描述的描述重疊的描述。

根據另一示範性實施例，用於將第一附接構件附接到第二附接構件的層壓方法可包含以下操作：（a）在上部壁部件的第一支撐部件上設置第一附接構件，且在下部壁部件的第二支撐部件上設置第二附接構件（S100）；（b）獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，且根據所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息來運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息（S200）；（c）在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，使上部壁部件與下部壁部件對準（S300）；以及（d）通過調節所對準的上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來使上部壁部件連接到下部壁部件（S400）。

首先，在上部壁部件的第一支撐部件上設置第一附接構件，且在下部壁部件的第二支撐部件上設置第二附接構件（S100）。第一附接構件可設置在上部壁部件的第一支撐部件上或由所述第一支撐部件支撐，且第二附接構件設置在下部壁部件的第二支撐部件上以便將第一附接構件附接到第二附接構件。在這種情況下，可首先支撐第一附接構件，或可首先支撐第二附接構件，且可同時支撐第一附接構件和第二附接構件。

接下來，獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，且根據所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息來運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息（S200）。可獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，以在關於上部壁部件和下部壁部件的相對位置訊息的基礎上，使上部壁部件與下部壁部件對準。可根據所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息來運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息。

同時，也可在操作（a）（S100）之前進行操作（b）（S200），且也可同時進行操作（a）（S100）和操作（b）（S200）。

接著，在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，使上部壁部件與下部壁部件對準（S300）。可通過在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，使上部壁部件和下部壁部件中的一個相對於另一個相對地移動來使上部壁部件與下部壁部件對準。因此，第一附接構件與第二附接構件可彼此水平對準且可彼此平行，且第一附接構件的安裝表面與第二附接構件的安裝表面可彼此相對。因此，第一附接構件與第二附接構件可精確地彼此對準，且可在第一附接構件與第二附接構件之間沒有對準誤差的情況下精確地彼此附接。

可通過調節所對準的上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來使上部壁部件連接到下部壁部件（S400）。可通過連接所對準的上部壁部件與下部壁部件來形成用於將第一附接構件附接到第二附接構件的處理腔室，且第一附接構件與第二附接構件可彼此附接。此處，也可經由調節上部壁部件與下部壁部件之間的間隙通過使上部壁部件連接到下部壁部件來將第一附接構件附接到第二附接構件。另外，在通過使上部壁部件連接到下部壁部件來形成處理腔室之後，可經由抬升第一支撐部件和/或第二支撐部件通過進行額外的附接製程來將第一附接構件附接到第二附接構件。

第一附接構件可在操作（d）（S400）期間附接到第二附接構件。因此，第一附接構件可在驅動用於使上部壁部件連接到下部壁部件的力的時間處附接到第二附接構件，且可減少用於將第一附接構件附接到第二附接構件的處理時間。

在操作（d）（S400）之後，可進一步包含將第一附接構件附接到第二附接構件的操作（S450）。

在操作（d）（S400）之後，第一附接構件可附接到第二附接構件（S450）。也可經由驅動第一支撐部件和/或第二支撐部件通過按壓第一附接構件和/或第二附接構件來將第一附接構件附接到第二附接構件。

舉例來說，通過使上部壁部件連接到下部壁部件來使第一附接構件與第二附接構件彼此接觸。接著，可經由供應流體（例如，水或空氣）通過使按壓部件或類似物膨脹來按壓第一附接構件和/或第二附接構件。

根據另一示範性實施例，層壓方法可進一步包含分別在上部壁部件和下部壁部件上設置各自包含具有標記圖案的圖案表面的上部標記板和下部標記板的操作（S150）。操作（b）（S200）可包含：通過使用設置成分別面對上部壁部件和下部壁部件的上部照相機和下部照相機來分別對上部標記板和下部標記板進行拍照的操作（S210），所述上部標記板和所述下部標記板分別與上部照相機和下部照相機相對；分析由上部照相機和下部照相機分別捕捉的上部標記板和下部標記板的標記圖案圖像的操作（S220）；分別獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息的操作（S230）；以及在所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息的基礎上，生成上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的操作（S240）。

可分別在上部壁部件和下部壁部件上設置各自包含具有標記圖案的圖案表面的上部標記板和下部標記板（S150）。可分別在上部壁部件和下部壁部件上設置上部標記板和下部標記板，使得可簡單地獲取關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息。

在操作（S150）之後，可通過使用設置成分別面對上部壁部件和下部壁部件的上部照相機和下部照相機來分別對上部標記板和下部標記板進行拍照（S210），所述上部標記板和所述下部標記板分別與上部照相機和下部照相機相對。可通過使用上部照相機和下部照相機來分別對上部標記板和下部標記板（其分別與上部照相機和下部照相機相對）進行拍照，以便分析由上部照相機和下部照相機分別捕捉的上部標記板和下部標記板的標記圖案圖像。

可分析由上部照相機和下部照相機分別捕捉的上部標記板和下部標記板的標記圖案圖像（S220）。關於上部壁部件和下部壁部件的具有高精度的位置訊息可簡單地通過以下步驟來獲取：通過使用上部照相機和下部照相機分別對（分別設置在上部壁部件和下部壁部件上的）上部標記板和下部標記板進行拍照；以及分析所拍照的標記圖案圖像。

接下來，可獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息（S230）。可通過分析標記圖案圖像來獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息，且可在所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息的基礎上，運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息。標記圖案圖像中的每一個中的標記圖案的形狀根據上部照相機和/或下部照相機的光軸與圖案表面之間的角度或傾斜來改變。因此，可通過分析來自標記圖案圖像的標記圖案的形狀，來得出上部壁部件與下部壁部件之間的錯位，例如傾斜。因此，可獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息。

接著，可在所獲取的關於上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於下部壁部件的位置訊息的基礎上，生成上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息（S240）。可通過計算所獲取的關於上部壁部件的位置訊息與所獲取的關於下部壁部件的位置訊息之間的差，來運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息。

根據另一示範性實施例，層壓方法可進一步包含：通過使用上部照相機和下部照相機來分別對第一附接構件的特徵點和第二附接構件的特徵點進行拍照的操作（S250）；以及通過分析對第一附接構件的特徵點進行拍照的第一特徵點圖像和對第二附接構件的特徵點進行拍照的第二特徵點圖像，來獲取第一附接構件和第二附接構件的特徵點之間的相對位置訊息的操作（S260），在所述第二特徵點圖像中。可通過在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息中反映從第一特徵點圖像和第二特徵點圖像所獲取的特徵點之間的相對位置訊息來進行操作（c）（S300）。

可通過使用上部照相機和下部照相機來分別對第一附接構件的特徵點和第二附接構件的特徵點進行拍照（S250）。可對第一附接構件的特徵點和第二附接構件的特徵點進行拍照，以經由通過對第一附接構件的特徵點進行拍照來獲得的第一特徵點圖像和通過對第二附接構件的特徵點進行拍照來獲得的第二特徵點圖像來比較第一附接構件的特徵點和第二附接構件的特徵點的位置。

接下來，可通過分析通過對第一附接構件的特徵點進行拍照來獲得的第一特徵點圖像和通過對第二附接構件的特徵點進行拍照來獲得的第二特徵點圖像，來獲取第一附接構件和第二附接構件的特徵點之間的相對位置訊息（S260）。可通過分析第一特徵點圖像和第二特徵點圖像來識別第一附接構件的特徵點與第二附接構件的特徵點之間的錯位，所述第一特徵點圖像通過對第一附接構件的特徵點進行拍照來獲得，所述第二特徵點圖像經由對第二附接構件的特徵點進行拍照並通過比較第一附接構件的特徵點和第二附接構件的特徵點的位置來獲得。

舉例來說，可通過分析第一特徵點圖像和第二特徵點圖像來得出相對於參考軸的關於第一附接構件的特徵點的位置訊息和關於第二附接構件的特徵點的位置訊息。可根據第一附接構件的特徵點的位置與第二附接構件的特徵點的位置之間的差，來獲取第一附接構件和第二附接構件的特徵點之間的相對位置訊息。

可通過在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息中反映所獲取的特徵點之間的相對位置訊息來進行操作（c）（S300）。需要使第一附接構件與第二附接構件彼此平行，且通過使上部壁部件與下部壁部件對準來使第一附接構件與第二附接構件水平地對準，以便在第一附接構件與第二附接構件之間沒有對準誤差的情況下，將第一附接構件精確地附接到第二附接構件。因此，可通過反映所獲取的第一附接構件的特徵點與所獲取的第二附接構件的特徵點之間的相對位置訊息來使一個壁部件相對地移動。因此，第一附接構件與第二附接構件可精確地彼此對準，且可在第一附接構件與第二附接構件之間沒有對準誤差的情況下精確地彼此附接。

操作（b）（S200）可包含：相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個分別提取根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸所確定的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息的操作（S225）；以及相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個提取指示平面的傾斜度的傾斜訊息的操作（S226）。

可相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個分別提取根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸所確定的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息（S225）。可從所提取的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息獲取關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息。

可相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個提取指示平面的傾斜度的傾斜訊息（S226）。可從關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息獲取指示平面的傾斜度的傾斜訊息。

同時，操作（b）（S200）可進一步包含相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個提取指示平面的未對準度的旋轉位置訊息的操作（S227）。

也可相對於上部壁部件和下部壁部件中的每一個提取指示平面的未對準度的旋轉位置訊息（S227）。可從關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息獲取指示平面的未對準度的所提取的旋轉位置訊息。

通過使用第一軸線性位置訊息、第二軸線性位置訊息以及傾斜訊息來使一個壁部件在第一軸方向和第二軸方向上線性地移動。可通過旋轉一個壁部件來使上部壁部件與下部壁部件對準，使得調節由第一軸線性位置訊息、第二軸線性位置訊息以及傾斜訊息確定的平面的未對準度。在這種情況下，也可通過使用旋轉位置訊息來旋轉一個壁部件。另外，也可通過使用傾斜訊息來使一個壁部件傾斜，使得調節平面的傾角。

同時，操作（c）（S300）可包含：在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，計算一個壁部件的移動方向和移動距離的操作（S310）；以及使一個壁部件在計算出的移動方向上相對地移動計算出的移動距離的操作（S320）。

可在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，計算一個壁部件的移動方向和移動距離（S310）。可在通過分析標記圖案圖像來獲得的關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的基礎上，計算一個壁部件的移動方向和移動距離。可得出需要在任何方向上使一個壁部件相對地移動多少距離。舉例來說，可在關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的基礎上，運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息，且可在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，計算一個壁部件的移動方向和移動距離。

可使一個壁部件在計算出的移動方向上相對地移動計算出的移動距離（S320）。因此，可使上部壁部件與下部壁部件對準。可在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上，計算一個壁部件的移動方向和移動距離。可使一個壁部件在計算出的移動方向上相對地移動計算出的移動距離，以使上部壁部件與下部壁部件對準。

通過使一個壁部件在三個軸方向（x方向、y方向以及θ方向）上相對地移動來進行使一個壁部件相對地移動的操作（S320）。可使一個壁部件在三個軸方向（x方向、y方向以及θ方向）上相對地移動，且可使一個壁部件在θ方向上（以及在x方向和y方向上）相對於另一個壁部件對準。當上部壁部件未與下部壁部件對準時，可進行以下對準操作：在使一個壁部件在x方向、y方向以及θ方向上精細地調節時，使上部壁部件與下部壁部件對準。在對準操作完成之後，第一附接構件和第二附接構件可以不水平地移動或旋轉，且其對準位置不大可能改變。

也可在使一個壁部件相對地移動的操作中使一個壁部件在φ方向上相對地移動（S320）。一個壁部件可通過在φ方向上相對地移動來傾斜，且可使第一附接構件與第二附接構件彼此平行。

根據另一示範性實施例，層壓方法可進一步包含移動上部照相機和下部照相機使，得上部照相機和下部照相機在上部壁部件與下部壁部件之間的空間的外部的操作（S270）。

在上部壁部件連接到下部壁部件之前，可使上部照相機和下部照相機移動，使得上部照相機和下部照相機在上部壁部件與下部壁部件之間的空間的外部（S270）。當上部照相機和下部照相機在上部壁部件與下部壁部件之間的空間的外部時，上部照相機和下部照相機可以不干擾上部壁部件與下部壁部件的連接。因此，上部壁部件與下部壁部件的連接可很好地在其內部形成真空，且可很好地將第一附接構件附接到第二附接構件12。

標記圖案可包含：標記矩陣，具有呈矩陣形式布置的多個標記；以及多個圓形軌跡標記，安置在標記矩陣外部，且定位在一個圓形軌跡上。標記矩陣可具有具有相同形狀且呈矩陣形式布置的多個標記，多個標記之間的間隙可在第一方向上相同，且多個標記之間的間隙可在與第一方向相交的第二方向上相同。當通過對包含標記矩陣的標記圖案進行拍照來獲取標記圖案圖像時，可通過測量來自所獲取的標記圖案圖像的標記的形狀變化和未對準來計算上部照相機和/或下部照相機的光軸與圖案表面之間的角度。另外，可在上部照相機和/或下部照相機的光軸與圖案表面之間的角度和上部標記板和/或下部標記板的定位坐標的基礎上，獲取相對於參考軸的關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息。因此，可計算上部壁部件與下部壁部件之間的錯位。

多個圓形軌跡標記可安置在標記矩陣外部且可定位在一個圓形軌跡上。可通過連接在上部標記板和下部標記板中的相同標記板上形成的多個圓形軌跡標記來形成一個圓形。可通過所形成的圓形的中心來提取上部壁部件和下部壁部件（相同標記板設置在其上）中的一個壁部件的旋轉中心。在這種情況下，由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心可與一個壁部件（相同標記板設置在其上）的旋轉中心相同。在這種情況下，因旋轉一個壁部件（相同標記板設置在其上）而導致的傾角變化可很好地反映在相同標記板的傾角變化中，且可很好地計算θ方向。

分析標記圖案圖像的操作可包含：根據標記圖案圖像測量多個圓形軌跡標記的位置的操作（S221）；以及計算上部壁部件和下部壁部件中的至少一個的旋轉中心的操作（S222）。

可根據標記圖案圖像來測量多個圓形軌跡標記的位置（S221）。可根據標記圖案圖像來測量多個圓形軌跡標記的位置，以便得出由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心。可通過根據標記圖案圖像測量多個圓形軌跡標記的位置來識別由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心。

可計算上部壁部件和下部壁部件中的至少一個的旋轉中心（S222）。當由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心與一個壁部件（相同標記板設置在其上）的旋轉中心相同時，可提取由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心作為一個壁部件（相同標記板設置在其上）的旋轉中心。當由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心不同於一個壁部件（相同標記板設置在其上）的旋轉中心時，可通過由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心的位置與一個壁部件（相同標記板設置在其上）的旋轉中心的位置之間的差來計算上部壁部件和下部壁部件中的至少一個的旋轉中心。當至少一個壁部件圍繞其旋轉中心旋轉時，由多個圓形軌跡標記形成的圓形的中心的位置與一個壁部件（相同標記板設置在其上）的旋轉中心的位置之間的差可能改變。通過反映位置差，即使在至少一個壁部件圍繞其旋轉中心旋轉時也可計算上部壁部件和下部壁部件中的至少一個的旋轉中心。因此，可通過至少一個壁部件的旋轉中心來計算一個壁部件（相同標記板設置在其上）的傾角變化，且可很好地計算θ方向。

根據另一示範性實施例，層壓方法可進一步包含：通過調節上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來使上部壁部件與下部壁部件彼此分離的操作（S500）；以及實施其中第一附接構件附接到第二附接構件的附接組件的操作（S600）。

接下來，可通過調節上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來使上部壁部件與下部壁部件彼此分離（S500）。可在第一附接構件附接到第二附接構件之後通過調節上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來使上部壁部件與下部壁部件分離。

可實施其中第一附接構件附接到第二附接構件的附接組件（S600）。其中第一附接構件附接到第二附接構件的附接組件可由上部壁部件或下部壁部件實施，以便將新的或另一第一附接構件附接到新的或另一第二附接構件。

可重複操作（a）（S100）到操作（d）（S400）。因此，可進行持續附接製程，且可持續生產附接組件。

根據另一示範性實施例，層壓方法可進一步包含在重複操作（a）（S100）之前，識別第一附接構件與第二附接構件的附接狀態的操作（S700）。當識別出第一附接構件與第二附接構件的對準附接時，可省略操作（b）（S200），且可通過使用先前運算出的上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息來進行操作（c）（S300）。當識別出第一附接構件與第二附接構件的未對準附接時，可進行操作（b）（S200），且可通過使用重新運算出的上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息來進行操作（c）（S300）。

可識別第一附接構件與第二附接構件的附接狀態（S700）。舉例來說，可識別附接組件的附接狀態。當上部壁部件和下部壁部件的位置因較長製程而改變時，關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息（例如，上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息）需要改變。因此，當識別出第一附接構件與第二附接構件的未對準附接時，通過在持續附接製程期間識別來自附接組件的第一附接構件與第二附接構件的附接狀態以及重複操作（b）（S200），可實時（real time）地重新運算和更新上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息，且可進行持續附接製程。

當識別出第一附接構件與第二附接構件的對準附接時，可省略操作（b）（S200），且可通過使用先前運算出的上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息來進行操作（c）（S300）。當後續第一附接構件附接到後續第二附接構件時，可省略操作（b）（S200）。可在未重新運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的情況下進行持續附接製程。

當識別出第一附接構件與第二附接構件的未對準附接時，可重複操作（b）（S200），且可通過使用重新運算出的上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息來進行操作（c）（S300）。另外，可更新上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息，使得在後續第一附接構件附接到後續第二附接構件時通過重複操作（b）（S200）來使後續第一附接構件與後續第二附接構件對準。

舉例來說，在運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息之後，可通過重複以下操作來持續生產附接組件：操作（a）（S100）、分別拍照操作（S250）、獲取特徵點之間的相對位置訊息的操作（S260）、操作（c）（S300）、操作（d）（S400）、使上部壁部件與下部壁部件彼此分離的操作（S500）以及實施附接組件的操作（S600）。在上部標記板和下部標記板設置成分別固定到上部壁部件和下部壁部件且運算上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息一次之後，可通過重複以下操作來進行持續附接製程：操作（a）（S100）、分別拍照操作（S250）、獲取特徵點之間的相對位置訊息的操作（S260）、操作（c）（S300）、操作（d）（S400）、使上部壁部件與下部壁部件彼此分離的操作（S500）以及實施附接組件的操作（S600）。因此，可持續生產附接組件，且可提高附接組件的生產率。

換句話說，可周期性地或即刻識別第一附接構件與第二附接構件的附接狀態，且當第一附接構件與第二附接構件的附接狀態較差時，可即時進行和應用上部照相機和下部照相機的校準。因此，可更新上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息。

同時，根據另一示範性實施例，層壓方法可進一步包含識別上部照相機與下部照相機的緊固狀態（fastened state）和/或螺釘未擰緊狀態（screw loosening state）的操作（S710）。可能出現上部照相機與下部照相機的緊固狀態下的缺陷（例如螺釘未擰緊），且可周期性地或即刻檢查上部照相機與下部照相機的緊固狀態和/或螺釘未擰緊狀態。因此，可維持上部照相機與下部照相機的緊固狀態和/或螺釘未擰緊狀態，且可通過上部照相機與下部照相機的緊固狀態和/或螺釘未擰緊狀態下的缺陷來間接識別第一附接構件與第二附接構件的附接狀態下的缺陷。

以此方式，在示範性實施例中，可經由在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上使上部壁部件和下部壁部件中的一個相對於另一個相對地移動，通過使上部壁部件與下部壁部件對準來使第一附接構件與第二附接構件精確地對準，所述相對位置訊息通過獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息來運算。另外，第一附接構件與第二附接構件可在第一附接構件與第二附接構件之間沒有對準誤差的情況下精確地彼此附接。關於上部壁部件和下部壁部件的具有高精度的位置訊息可簡單地通過以下步驟來獲取：通過使用上部照相機和下部照相機對（分別設置在上部壁部件和下部壁部件上的）上部標記板和下部標記板進行拍照，以及分析所拍照的標記圖案圖像。另外，通過在第一支撐部件外部安置上部標記板且在第二支撐部件外部安置下部標記板，可以不在上部壁部件連接到下部壁部件時出現干擾。因此，上部標記板和下部標記板可設置成分別固定到上部壁部件和下部壁部件，且可取決於上部標記板和下部標記板的移動和安裝來防止出現組件誤差、移動誤差以及振動。因此，可進一步提高關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的精確度。同時，可通過在由石英材料形成的上部標記板和下部標記板中的每一個上印刷標記圖案來提高標記圖案的精確度。另外，具有高精度的標記圖案可提高標記圖案圖像的分辨率或分辨力，且也可顯著提高關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的精確度。

以上描述中所使用的術語“在……上（on）”意味著“與……直接接觸”和“在不與……直接接觸的情況下與上部部件或下部部件相對”，且還意味著“與整個上部表面或下部表面相對”、“與上部表面或下部表面部分地相對”、“在不同位置與上部表面或下部表面相對”或“與上部表面或下部表面直接接觸”。

根據示範性實施例，層壓設備可通過在上部壁部件與下部壁部件之間的相對位置訊息的基礎上使上部壁部件與下部壁部件對準來使第一附接構件與第二附接構件精確地對準，所述相對位置訊息通過獲取關於上部壁部件的位置訊息和關於下部壁部件的位置訊息來運算。另外，第一附接構件可在第一附接構件與第二附接構件之間沒有對準誤差的情況下精確地附接到第二附接構件。

關於上部壁部件和下部壁部件的具有高精度的位置訊息可簡單地通過以下步驟來獲取：通過使用上部照相機和下部照相機對（分別設置在上部壁部件和下部壁部件上的）上部標記板和下部標記板進行拍照，以及分析所拍照的標記圖案圖像。

另外，通過在第一支撐部件外部安置上部標記板且在第二支撐部件外部安置下部標記板，可以不在上部壁部件連接到下部壁部件時出現干擾。因此，上部標記板和下部標記板可分別設置成固定到上部壁部件和下部壁部件，且可取決於上部標記板和下部標記板的移動和安裝來防止出現組件誤差、移動誤差以及振動。因此，可進一步提高關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的精確度。

同時，可通過在由石英材料形成的上部標記板和下部標記板中的每一個上印刷標記圖案來提高標記圖案的精確度。另外，具有高精度的標記圖案可提高標記圖案圖像的分辨率或分辨力，且也可顯著提高關於上部壁部件和下部壁部件的位置訊息的精確度。

雖然已示出和描述本發明的示範性實施例，但本發明不應解釋為限於所述實施例。本領域的普通技術人員應理解，可在不脫離由所附申請專利範圍所界定的本發明的精神和範圍的情況下對本發明作出各種修改和等效方案。因此，本發明的技術範圍應由所附申請專利範圍界定。

11:第一附接構件 11a、12a:特徵點 12:第二附接構件 100:層壓設備 110:上部壁部件 111:第一支撐部件 112:上部標記板支撐部件 120:下部壁部件 121:第二支撐部件 122:下部標記板支撐部件 130a:上部標記板 130b:下部標記板 131:標記圖案 131a:多個標記 131b:多個圓形軌跡標記 140a:上部照相機 140b:下部照相機 S100、S200、S300、S400:操作

通過結合所附圖式進行的以下描述可更詳細地理解示範性實施例，在所述圖式中： 圖1是根據示範性實施例的示出層壓設備的示意性透視圖。 圖2（a）和圖2（b）是根據示範性實施例的用於描述上部壁部件與下部壁部件的連接和分離的概念圖。 圖3（a）、圖3（b）和圖3（c）是根據示範性實施例的用於描述第一附接構件和第二附接構件的特徵點的概念圖。 圖4（a）和圖4（b）是根據示範性實施例的用於描述標記圖案圖像中的形狀變化和標記圖案的未對準的概念圖。 圖5是根據示範性實施例的用於描述圓形軌跡標記的概念圖。 圖6是根據另一示範性實施例的示出層壓方法的流程圖。

100:層壓設備

110:上部壁部件

111:第一支撐部件

112:上部標記板支撐部件

120:下部壁部件

121:第二支撐部件

122:下部標記板支撐部件

130a:上部標記板

130b:下部標記板

131:標記圖案

131a:多個標記

131b:多個圓形軌跡標記

140a:上部照相機

140b:下部照相機

Claims (18)

1. 一種層壓設備，用於將第一附接構件附接到第二附接構件，所述層壓設備包括： 上部壁部件，包括第一支撐部件，所述第一附接構件由所述第一支撐部件支撐； 下部壁部件，包括第二支撐部件，與所述第一附接構件相對的所述第二附接構件由所述第二支撐部件支撐，且所述下部壁部件配置成通過連接到所述上部壁部件來形成處理腔室； 位置訊息獲取部件，配置成獲取關於所述上部壁部件的位置訊息和關於所述下部壁部件的位置訊息，且配置成根據所獲取的關於所述上部壁部件的位置訊息和所述所獲取的關於所述下部壁部件的位置訊息來運算所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的相對位置訊息； 控制部件，配置成在所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息的基礎上，生成用於使所述上部壁部件與所述下部壁部件對準的控制訊息； 驅動部件，配置成從所述控制部件接收所述控制訊息，以使所述上部壁部件和所述下部壁部件中的至少一個相對於另一個相對地移動；以及 間隙調節部件，配置成調節所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的間隙，且在對準狀態下將所述上部壁部件連接到所述下部壁部件。
2. 如申請專利範圍第1項所述的層壓設備，其中所述位置訊息獲取部件包括： 上部標記板和下部標記板，各自包括圖案表面，所述圖案表面包括標記圖案，且所述上部標記板和所述下部標記板分別設置在所述上部壁部件和所述下部壁部件上； 上部照相機和下部照相機，設置成分別面對所述上部壁部件和所述下部壁部件，以分別對所述上部標記板和所述下部標記板進行拍照，所述上部標記板和所述下部標記板分別與所述上部照相機和所述下部照相機相對；以及 位置訊息分析部件，配置成通過分析由所述上部照相機和所述下部照相機分別捕捉的所述上部標記板和所述下部標記板的標記圖案圖像來分別獲取關於所述上部壁部件的所述位置訊息和關於所述下部壁部件的所述位置訊息，且配置成在所獲取的關於所述上部壁部件的所述位置訊息和所獲取的關於所述下部壁部件的所述位置訊息的基礎上，生成所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息。
3. 如申請專利範圍第2項所述的層壓設備，其中所述上部照相機對所述第一附接構件的特徵點進行拍照， 所述下部照相機對所述第二附接構件的特徵點進行拍照， 所述位置訊息分析部件通過分析對所述第一附接構件的所述特徵點進行拍照的第一特徵點圖像和對所述第二附接構件的所述特徵點進行拍照的第二特徵點圖像來獲取所述第一附接構件的所述特徵點與所述第二附接構件的所述特徵點之間的相對位置訊息，且 所述控制部件通過在所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息中反映由所述位置訊息分析部件所獲取的所述特徵點之間的所述相對位置訊息來生成所述控制訊息。
4. 如申請專利範圍第1項所述的層壓設備，其中所述位置訊息包括： 第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息，根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸來確定；以及 傾斜訊息，指示所述平面的傾斜度。
5. 如申請專利範圍第1項所述的層壓設備，其中所述間隙調節部件在將所述上部壁部件連接到所述下部壁部件時，將所述第一附接構件附接到所述第二附接構件。
6. 如申請專利範圍第1項所述的層壓設備，其中所述第一支撐部件和所述第二支撐部件中的至少一個包括按壓部件，所述按壓部件配置成通過向所述第一附接構件或對應於所述第一附接構件的所述第二附接構件施加壓力來將所述第一附接構件附接到所述第二附接構件。
7. 如申請專利範圍第2項所述的層壓設備，其中所述標記圖案包括： 標記矩陣，包括呈矩陣形式布置的多個標記；以及 多個圓形軌跡標記，安置在所述標記矩陣外部，且定位在一個圓形軌跡上。
8. 如申請專利範圍第7項所述的層壓設備，其中所述位置訊息分析部件通過從所述標記圖案圖像測量所述多個圓形軌跡標記的位置來計算所述上部壁部件和所述下部壁部件中的至少一個的旋轉中心。
9. 如申請專利範圍第2項所述的層壓設備，其中所述上部標記板安置在所述第一支撐部件外部，且所述下部標記板安置在所述第二支撐部件外部。
10. 如申請專利範圍第2項所述的層壓設備，其中所述上部標記板和所述下部標記板由石英材料形成，且所述標記圖案通過印刷來形成。
11. 一種層壓方法，用於將第一附接構件附接到第二附接構件，所述層壓方法包括以下操作： 操作a：在上部壁部件的第一支撐部件上設置第一附接構件，且在下部壁部件的第二支撐部件上設置第二附接構件； 操作b：獲取關於所述上部壁部件的位置訊息和關於所述下部壁部件的位置訊息，且根據所獲取的關於所述上部壁部件的位置訊息和所獲取的關於所述下部壁部件的位置訊息來運算所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的相對位置訊息； 操作c：在所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息的基礎上使所述上部壁部件與所述下部壁部件對準；以及 操作d：通過調節所對準的上部壁部件與下部壁部件之間的間隙來將所述上部壁部件連接到所述下部壁部件。
12. 如申請專利範圍第11項所述的層壓方法，更包括以下操作：分別在所述上部壁部件和所述下部壁部件上設置各自包括圖案表面的上部標記板和下部標記板，所述圖案表面包括標記圖案， 其中所述操作b包括： 通過使用設置成分別面對所述上部壁部件和所述下部壁部件的上部照相機和下部照相機，來分別對分別與所述上部照相機和所述下部照相機相對的所述上部標記板和所述下部標記板進行拍照的操作； 分析由所述上部照相機和所述下部照相機分別捕捉的所述上部標記板和所述下部標記板的標記圖案圖像的操作； 分別獲取關於所述上部壁部件的所述位置訊息和關於所述下部壁部件的所述位置訊息的操作；以及 在所獲取的關於所述上部壁部件的所述位置訊息和所獲取的關於所述下部壁部件的所述位置訊息的基礎上，生成所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息的操作。
13. 如申請專利範圍第12項所述的層壓方法，更包括： 通過使用所述上部照相機和所述下部照相機來分別對所述第一附接構件的特徵點和所述第二附接構件的特徵點進行拍照的操作；以及 通過分析對所述第一附接構件的所述特徵點進行拍照的第一特徵點圖像和對所述第二附接構件的所述特徵點進行拍照的第二特徵點圖像來獲取所述第一附接構件的所述特徵點與所述第二附接構件的所述特徵點之間的相對位置訊息的操作， 其中所述操作c通過以下操作來進行：在所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息中反映從所述第一特徵點圖像和所述第二特徵點圖像所獲取的所述特徵點之間的所述相對位置訊息。
14. 如申請專利範圍第11項所述的層壓方法，其中所述操作b包括： 相對於所述上部壁部件和所述下部壁部件中的每一個，分別提取根據存在於一個平面上的第一軸和第二軸所確定的第一軸線性位置訊息和第二軸線性位置訊息的操作；以及 相對於所述上部壁部件和所述下部壁部件中的每一個，提取指示所述平面的傾斜度的傾斜訊息的操作。
15. 如申請專利範圍第11項所述的層壓方法，其中所述第一附接構件在所述操作d期間附接到所述第二附接構件。
16. 如申請專利範圍第11項所述的層壓方法，更包括以下操作：在所述操作d之後將所述第一附接構件附接到所述第二附接構件。
17. 如申請專利範圍第12項所述的層壓方法，其中所述標記圖案包括： 標記矩陣，包括呈矩陣形式布置的多個標記；以及 多個圓形軌跡標記，安置在所述標記矩陣外部，且定位在一個圓形軌跡上，且 分析所述標記圖案圖像的所述操作包括： 從所述標記圖案圖像測量所述多個圓形軌跡標記的位置的操作；以及 計算所述上部壁部件和所述下部壁部件中的至少一個的旋轉中心的操作。
18. 如申請專利範圍第11項所述的層壓方法，其中重複所述操作a到所述操作d， 所述層壓方法更包括以下操作：在重複所述操作a之前，識別所述第一附接構件與所述第二附接構件的附接狀態， 當識別出所述第一附接構件與所述第二附接構件的對準附接時，省略所述操作b，且通過使用先前運算出的所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息來進行所述操作c，且 當識別出所述第一附接構件與所述第二附接構件的未對準附接時，進行所述操作b，且通過使用重新運算出的所述上部壁部件與所述下部壁部件之間的所述相對位置訊息來進行所述操作c。

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