KR102173043B1

KR102173043B1 - 기판 처리 시스템, 이에 포함된 라미네이팅 장치, 및 기판 처리 시스템을 이용한 기판 처리 방법

Info

Publication number: KR102173043B1
Application number: KR1020130089824A
Authority: KR
Inventors: 이홍로; 고요섭; 홍성훈; 명승호; 정병화
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-07-29
Filing date: 2013-07-29
Publication date: 2020-11-03
Anticipated expiration: 2033-07-29
Also published as: CN104347451B; KR20150014314A; CN104347451A; TWI616346B; TW201504063A

Abstract

본 발명의 일 실시예는 제1기판을 제2기판에 대응되게 하여 상기 제1기판을 상기 제2기판과 접촉시켜 예비적으로 라미네이팅하는 제1라미네이팅부를 포함하는 제1챔버; 및 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 제2라미네이팅부를 포함하는 제2챔버; 를 포함하는, 기판 처리 시스템을 개시한다.

Description

기판 처리 시스템, 이에 포함된 라미네이팅 장치, 및 기판 처리 시스템을 이용한 기판 처리 방법{SYSTEM FOR TREATING SUBSTRATE AND APPARATUS OF LAMINATING INCLUDING THEREOF, AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE}

본 발명의 일 실시예는 박판 유리를 캐리어 유리에 라미네이팅하는 기판 처리 시스템, 이에 포함된 라미네이팅 장치 및 기판 처리 시스템을 이용한 기판 처리 방법에 관한 것이다.

표시 장치는 경량화, 용이한 휴대성을 갖추고 나아가 구부러지거나 접을 수 있도록 변화하고 있다. 이를 위해 표시 장치의 두께를 얇게 하는 것이 요구된다.

박형의 표시 장치를 제조하기 위해서, 표시 장치를 제조한 후에 기판 및 밀봉 기판을 식각하여 표시 장치 전체의 두께를 줄이는 방법을 사용할 수 있다. 그러나 이러한 방법으로 제조된 표시 장치는 두께가 아주 얇은 박형의 표시 장치를 제조하는 데에는 한계가 있다.

한편, 박형의 표시 장치를 제조하기 위해 박판 유리를 기판을 사용할 수 있다. 그런데 이러한 박판 유리는 단독으로 핸들링할 경우 쉽게 손상될 수 있으므로 박판 유리를 캐리어 유리에 라미네이팅 한 후 표시 소자를 제조한 다음, 캐리어 유리를 제거하는 과정을 거친다.

캐리어 유리는 중앙부의 탈착 영역 및 주변부의 흡착 영역을 포함한다. 따라서, 박판 유리를 캐리어 유리에 라미네이팅할 때 틀어짐 없이 올바르게 라미네팅해야만 이후 캐리어 유리 탈착이 용이하게 수행될 수 있다.

한편, 박판 유리를 캐리어 유리에 라미네이팅하는 과정에서 두 유리 사이에 에어 트랩(air trap)이 발생하는 경우, 이후 표시 소자를 제조할 때 에어 트랩으로 인한 패턴 에러나 박판 유리 크랙이 발생하는 문제가 있다. 이러한 에어 트랩은 캐리어 유리를 제거하기 전에는 제거하는 것이 어렵다. 따라서, 박판 유리와 캐리어 유리를 라미네이팅할 때 에어 트랩을 최소화하는 것이 필요하다.

그리고, 박판 유리와 캐리어 유리를 라미네이팅할 때 양 유리의 열팽창 계수 차이 및 라미네이팅 시 스트레스로 인하여 휨이 발생할 수 있다. 이러한 휨이 적절하게 컨트롤되지 않는 경우 박판 유리에 크랙이 발생하는 등의 문제가 발생할 수 있다.

본 발명의 일 실시예는 박판 유리를 캐리어 유리에 라미네이팅하는 기판 처리 시스템, 이에 포함된 라미네이팅 장치 및 기판 처리 시스템을 이용한 기판 처리 방법을 제공하고자 한다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 제1기판을 제2기판에 대응되게 하여 상기 제1기판을 상기 제2기판과 접촉시켜 예비적으로 라미네이팅하는 제1라미네이팅부를 포함하는 제1챔버; 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 제2라미네이팅부를 포함하는 제2챔버; 및 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 이송하는 로봇 암을 포함하며, 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버와 연결된 제3챔버; 를 포함하는, 기판 처리 시스템을 제공한다.

상기 제1기판의 적어도 상면을 세정하며, 상기 제3챔버에 연결되는 제1세정부; 및 상기 제2기판의 적어도 상면을 세정하며, 상기 제3챔버에 연결되는 제2세정부;를 더 포함한다.

상기 제1세정부는 상기 제1기판을 상기 제3챔버의 방향으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하며, 상기 제2세정부는 상기 제2기판을 상기 제3챔버의 방향으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하며, 상기 제1세정부의 이송 롤러들의 간격은 상기 제2세정부의 이송 롤러들의 간격보다 촘촘하다.

상기 제1세정부 및 상기 제2세정부는 상압을 유지하며, 상기 제1챔버 내지 상기 제3챔버는 진공을 유지하며, 상기 제1세정부와 상기 제3챔버 사이에 기압을 조절하는 제1보조챔버가 배치되고, 상기 제2세정부와 상기 제3챔버 사이에 기압을 조절하는 제2보조챔버가 배치된다.

상기 로봇 암은 상기 제1보조챔버로부터 상기 제1기판을 상기 제1챔버로 이송하고, 상기 제2보조챔버로부터 상기 제2기판을 상기 제1챔버로 이송한다.

상기 제2챔버와 연결되며 기압을 조절하는 제3보조챔버를 더 포함한다.

상기 제1라미네이팅부는 상기 제2기판이 배치되는 스테이지; 상기 제1기판을 상기 제2기판에 대응되게 일 방향으로 이송하는 얼라인부; 및 외주면에 정전기가 인가되며, 상기 얼라인부로부터의 상기 제1기판을 정전기에 의해 외주면을 따라 회전 방향으로 이송하여 제2기판과 순차적으로 예비적 라미네이팅하는 제1롤러부; 를 포함하며, 상기 스테이지는 상기 제1롤러부 아래쪽에 배치되고, 상기 얼라인부는 상기 제1롤러부의 위쪽에 배치된다.

상기 제2라미네이팅부는 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 제2롤러유닛; 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 제2롤러유닛으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하는 제1이송부; 및 가압하여 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 제3보조챔버로 반송하는 복수개의 반송 롤러들을 포함하는 제2이송부; 을 포함한다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 제1기판 및 제2기판을 접촉시켜 예비적으로 라미네이팅하는 라미네이팅 장치에 있어서, 상기 제2기판이 배치되는 스테이지; 상기 제1기판을 상기 제2기판에 대응되게 일 방향으로 이송하는 얼라인부; 및 외주면에 정전기가 인가되며, 상기 얼라인부로부터의 상기 제1기판을 정전기에 의해 외주면을 따라 회전 방향으로 이송하여 제2기판과 순차적으로 예비적 라미네이팅하는 롤러부; 를 포함하며, 상기 스테이지는 상기 롤러부 아래쪽에 배치되고, 상기 얼라인부는 상기 롤러부의 위쪽에 배치되는, 라미네이팅 장치를 제공한다.

상기 얼라인부는 상기 제1기판을 상기 일 방향으로 이송하는 전달 롤러들 및 상기 제1기판의 틀어짐을 감지하는 감지부; 를 포함하며, 상기 라미네이팅 장치는 상기 감지부에서 상기 제1기판의 틀어짐이 감지되면 상기 전달 롤러들의 위치를 조절하여 상기 제1기판의 틀어짐을 수정하는 제1제어부; 를 더 포함한다.

상기 라미네이팅 장치는, 상기 제1기판의 접촉 여부에 따라 상기 롤러부 외주면의 정전기 인가 여부를 제어하는 제2제어부를 더 포함한다.

상기 제2제어부는 상기 제1기판과 상기 제2기판의 접촉 여부에 따라 상기 롤러부의 회전 속도와 연동하여 상기 스테이지의 이동을 제어한다.

상기 스테이지와 상기 롤러부는 상기 제1기판 및 상기 제2기판를 합한 두께만큼 이격된다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 예비적으로 라미네이팅된 제1기판과 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 라미네이팅 장치에 있어서, 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 롤러유닛; 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 상기 롤러유닛으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하는 제1이송부; 및 가압하여 라미네이팅된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 보조챔버로 반송하는 복수개의 반송 롤러들을 포함하는 제2이송부; 을 포함하는, 라미네이팅 장치를 제공한다.

상기 롤러유닛의 외주면은 연성 소재로 이루어진다.

상기 이송 롤러들 및 상기 반송 롤러들 각각은 상기 제1기판 및 상기 제2기판의 휨에 따라 높낮이가 세팅된다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 상압에서 제1기판 및 제1기판의 적어도 상면을 각각 세정하는 단계; 진공에서 상기 제1기판의 상면 및 상기 제2기판의 상면을 서로 접촉하여 예비적 라미네이팅하는 단계; 및 진공에서 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 단계;를 포함하는 기판 처리 방법을 제공한다.

상기 예비적 라미네이팅하는 단계는, 상기 제1기판을 상기 제2기판에 비해 위쪽에 위치하고 상기 제1기판을 상기 제2기판에 대응되게 얼라인하는 단계; 및 상기 제1기판이 상기 제2기판 쪽으로 원호를 그리며 이송되어 상기 제1기판의 상면 및 상기 제2기판의 상면이 서로 접촉하는 단계;를 포함한다.

상기 가압하여 라미네이팅하는 단계는, 서로 접촉된 상기 제1기판 및 제2기판을 순차적으로 롤링하여 라미네이팅하는 단계이다.

상술한 본 발명의 일 실시예에 의하면, 박판 유리와 캐리어 유리의 얼라인이 용이하며, 박판 유리와 캐리어 유리를 라미네이팅할 때 에어 트랩이 발생하지 않고, 두 유리의 휨에 따른 라미네이팅이 가능한 특징이 있다.

도 1 및 도 2은 본 명세서에서 언급되는 일 실시예에 의한 제1기판 및 제2기판을 개략적으로 도시한 것이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 도시한 것이다.
도 4은 도 3에 포함된 제1세정부를 도시한 것이다.
도 5는 도 3에 포함된 제2세정부를 도시한 것이다.
도 6은 도 3의 기판 처리 시스템을 통한 기판 처리 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 7는 도 3의 제1챔버의 제1라미네이팅 장치를 보다 상세하게 도시한 것이다.
도 8 내지 도 10은 제1챔버 내의 제1라미네이팅 장치의 구동 과정을 도시한 것이다.
도 11는 도 3의 제2챔버의 제2라미네이팅 장치를 보다 상세하게 도시한 것이다.
도 12 및 도 13은 제2챔버 내의 제2라미네이팅 장치의 구동 과정을 도시한 것이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

본 명세서에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 명세서에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명함에 있어 실질적으로 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.

도 1 및 도 2는 본 명세서에서 언급되는 일 실시예에 의한 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 개략적으로 도시한 것이다. 도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템(100)을 개략적으로 도시한 것이다. 도 4은 도 3에 포함된 제1세정부(111)를 도시한 것이다. 도 5는 도 3에 포함된 제2세정부(112)를 도시한 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템(100)은, 두께가 얇은 제1기판(11)과 캐리어 기판인 제2기판(12)을 라미네이팅하는 시스템(100)을 의미한다.

본 명세서에서 언급되는 제1기판(11)이란, 두께가 얇고 표시 장치의 하부 기판으로 사용되는 것이다. 예를 들어, 도 1 및 도 2을 참조하면 제1기판(11)은 박판 유리일 수 있다. 박판 유리의 두께는 약 수 마이크로미터 내지 500마이크로미터 범위 내일 수 있으며, 바람직하게는 약 1 마이크로미터 내지 100 마이크로미터 범위 내일 수 있다. 한편, 박판 유리의 두께가 약 1 마이크로미터 내지 20마이크로미터 범위 내인 경우에는 박형 표시 장치를 접을 수(foldable)도 있다.

본 명세서에서 언급되는 제2기판(12)이란, 제1기판(11) 상에 표시 소자를 제조하는 과정에서 제1기판(11)을 지지하는 캐리어 기판으로 사용되는 것이다. 예를 들어, 도 2를 참조하면 제2기판(12)은 캐리어 유리일 수 있다. 캐리어 유리는 상면에 합착 영역(12b) 및 탈착 영역(12a)을 포함한다.

합착 영역(12b)은 탈착 영역(12a)을 둘러싸며 폐쇄된(closed) 형상으로 캐리어 유리의 가장자리에 배치된다. 합착 영역(12b)은 아무런 처리가 되어 있지 않은 베어 글라스(bare glass)이다. 따라서 박판 유리가 합착 영역(12b)에 라미네이팅되고 열처리를 수행하면 박판 유리와 합착 영역의 계면에서 공유 결합이 이루어진다. 이로써 박판 유리가 캐리어 유리에 고정된다.

탈착 영역(12a)은 캐리어 유리의 중앙부에 배치된다. 예를 들어, 탈착 영역(12a)에는 표면이 식각 처리되거나 또는 도 1에 도시된 바와 같이 금속 산화물층이 배치될 수 있다. 따라서, 박판 유리를 캐리어 유리에 라미네이팅한 이후 열처리를 수행하더라도 박판 유리와 탈착 영역(12a)의 계면에서 공유결합이 이루어지지 않는다. 박판 유리 상에 표시 소자를 형성한 후 탈착 영역(12a)과 합착 영역(12b)의 경계선을 따라 컷팅(cutting)한 후 탈착 영역(12a)에 대응하는 박판 유리 부분만 들어내면, 박형의 표시 장치를 수득할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 상술한 바에 한정되지 않고, 다양한 재료 및 구조로 구현이 가능하다. 예를 들어 제1기판(11)은 폴리이미드로 이루어진 플라스틱 필름일 수도 있다.

도 3를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 처리 시스템(100)은 여러 개의 챔버들이 연결된 클러스터(cluster) 구조를 가진다. 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 처리 시스템(100)은 제1기판(11)과 제2기판(12)을 예비적으로 라미네이팅하는 제1챔버(131), 제1기판(11)과 제2기판(12)을 가압하여 라미네이팅하는 제2챔버(132), 제1챔버(131) 및 제2챔버(132)를 이송하는 로봇 암(133a)을 포함하는 제3챔버(133), 제1기판(11)을 세정하는 제1세정부(111), 제2기판(12)을 세정하는 제2세정부(112), 제1세정부(111)와 제3챔버(133)를 연결하는 제1보조챔버(121), 제2세정부(112)와 제3챔버(133)를 연결하는 제2보조챔버(122), 및 제2챔버(132)와 외부를 연결하는 제3보조챔버(123)를 포함한다.

제1챔버(131)는 제3챔버(133)와 연결되어 있으며, 제1기판(11)과 제2기판(12)을 예비적으로 라미네이팅하는 제1라미네이팅 장치를 포함한다. 제1라미네이팅 장치는 제1기판(11)이 제2기판(12)에 대응되도록 하여 제1기판(11)과 제2기판(12)을 예비적으로 라미네이팅하며, 구체적인 구성에 대해서는 후술하기로 한다. 한편, 본 명세서에서 언급되는 예비적 라미네이팅이란, 제1기판(11)이 제2기판(12) 상면에 적당한 위치에 배치되어 물리적으로 접촉하는 것이다. 즉, 제1기판(11)이 제2기판(12) 상에 얼라인되어 단순히 올려져 있는 것이며, 두 기판 사이의 계면에서 합착이 일어나는 것은 아니다. 제1챔버(131)는 제1기판(11)과 제2기판(12)이 접촉하는 과정에서 파티클 및 이물질 등이 유입되지 않게 하고 장치의 열화를 줄이기 위하여 진공 상태를 유지한다.

제2챔버(132)는 제3챔버(133) 및 제3보조챔버(123)와 연결되어 있으며, 서로 접촉된 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 가압하여 라미네이팅하는 제2라미네이팅 장치를 포함한다. 제2라미네이팅 장치는 서로 접촉된 제1기판(11)과 제2기판(12)을 순차적으로 가압하면서 제1기판(11)과 제2기판(12)을 합착하며 이 과정에서 제1기판(11)과 제2기판(12) 사이의 에어 트랩을 제거한다. 제2라미네이팅 장치의 구체적인 구성에 대해서는 후술하기로 한다. 한편, 본 명세서에서 언급되는 가압(하여) 라미네이팅이란, 단순 접촉된 제1기판(11)과 제2기판(12)을 합착하는 것이다. 가압하여 라미네이팅한 경우 양 기판의 계면의 모폴로지에 따른 반데르발스 힘에 의해 제1기판(11)과 제2기판(12)은 쉽게 분리되지 않는다. 제2챔버(132)는 제1기판(11)과 제2기판(12)이 합착하는 과정에서 파티클 및 이물질 등이 유입되지 않게 하고 장치의 열화를 줄이기 위하여 진공 상태를 유지한다.

제2챔버(132)는 진공 상태를 유지하므로 상압을 유지하는 외부와 직접 연결될 수 없고 제3보조챔버(123)를 통해 연결된다. 제3보조챔버(123)는 기압을 조절하는 역할을 한다.

제3챔버(133)는 제1챔버(131), 제2챔버(132), 제1보조챔버(121) 및 제2보조챔버(122)와 연결된다. 제3챔버(133)는 제1챔버(131) 및 제2챔버(132)와 연결되므로 진공 상태를 유지한다. 제3챔버(133)에는 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 각각 제1보조챔버(121)와 제2보조챔버(122)로부터 제1챔버(131)로 이송하고, 접촉된 제1기판(11)과 제2기판(12)을 제1챔버(131)로부터 제2챔버(132)로 이송하기 위한 로봇 암(133a)이 배치된다. 로봇 암(133a)은 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 이송하기 위한 형상을 갖춘 것이면 만족하고, 그 구체적인 형상이나 구동 방법은 다양하게 변형될 수 있으며 이미 공지된 것이므로 구체적인 설명은 생략한다.

제1세정부(111)는 제3챔버(133)와 제1보조챔버(121)를 통해 연결된다. 도 4을 참조하면, 제1세정부(111)는 제1기판(11)의 적어도 상면을 세정한다. 제2챔버(132)를 거쳐 서로 합착된 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 열처리 과정에서 제1기판(11)과 제2기판(12)의 계면에서 공유결합이 일어나서 양 기판은 더욱 강하게 결합하게 된다. 서로 합착하는 제1기판(11)의 상면 및 제2기판(12)의 상면은 각각 친수성을 띄고 있어야 한다. 제1기판(11)의 상면은 제1세정부(111)에서 친수성을 띄게 된다. 제1세정부(111)는 제1기판(11)의 상면에 친수성을 부여하기 위한 장비를 포함한다. 예를 들어, 제1세정부(111)는 워터 젯, 스프레이를 통해 물, 오존수 또는 수소수를 공급하여 제1기판(11)을 세정한다. 물은 OH-와 같은 친수성기를 포함하므로 제1기판(11)의 표면에 친수성을 부여할 수 있다. 한편, 제1기판(11)의 표면에 유기 오염 물질, 유기 파티클 등이 존재하는 경우 합착에 방해가 될 수 있는바, 브러쉬와 같은 물리적 세정을 제1세정부(111)에서 추가로 수행할 수 있다. 상술한 방식으로 제1기판(11)의 표면에 부여된 친수성은 물이 증발하므로 시간이 지날수록 감소할 수 있다. 따라서, 제1세정부(111)는 제1챔버(131) 및 제2챔버(132)와 인라인(inline)으로 연결되어야 한다. 한편, 제1기판(11) 중 제2기판(12)과 접촉할 면이 세정되어야 하며 세정된 면은 합착 전까지 표면 접촉이 없어야 한다. 따라서, 제1기판(11)은 제2기판(12)과 접촉한 상면을 위로 하여 제1세정부(111)로 투입되고, 이후 과정에서도 제1기판(11)의 상면은 제2기판(12) 외에 다른 구성과 표면 접촉이 없도록 한다. 한편 제1세정부(111)는 상압을 유지할 수 있다.

제1세정부(111)는 상압을 유지하고, 제1세정부(111)와 연결될 제3챔버(133)는 진공을 유지하므로, 제1세정부(111)와 제3챔버(133) 사이에는 기압을 조절하는 제1보조챔버(121)가 배치된다.

제2세정부(112)는 제3챔버(133)와 제2보조챔버(122)를 통해 연결된다. 도 5를 참조하면, 제2세정부(112)는 제2기판(12)의 적어도 상면을 세정하는 점이 제1세정부(111)와 상이하다. 한편, 제1세정부(111)는 박판 유리를 세정하고, 제2세정부(112)는 이보다 두꺼운 캐리어 유리를 세정한다. 이에 따라 제1세정부(111)에 배치된 복수개의 이송 롤러들(111a)은 제2세정부(112)에 배치된 복수개의 이송 롤러들(112a)에 비하여 배치 간격이 촘촘한 점이 상이하다. 그 이유는 이송시 박판 유리의 손상을 방지하기 위한 것이다. 그 밖에 제2세정부(112)의 구성, 상태, 역할 등은 제1세정부(111)와 동일하거나 유사하므로 중복되는 설명은 생략한다.

제2세정부(112)는 상압을 유지하고, 제2세정부(112)와 연결될 제3챔버(133)는 진공을 유지하므로, 제2세정부(112)와 제3챔버(133) 사이에는 기압을 조절하는 제2보조챔버(122)가 배치된다.

도 6은 도 3의 기판 처리 시스템(100)을 통한 기판 처리 방법을 나타낸 흐름도이다. 도 6을 참조하여 도 3의 시스템(100)을 이용한 기판 처리 방법을 개략적으로 설명한다.

먼저 제1기판(11)과 제2기판(12)이 각각 제1세정부(111) 및 제2세정부(112)로 투입되어 상압에서 세정을 실시한다.(S51) 이 과정에서 제1기판(11)의 상면이 친수성을 띄게 되며, 제2기판(12)의 상면도 친수성을 띄게 된다.

세정된 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 각각 제1보조챔버(121) 및 제2보조챔버(122)에 수용된다.

제3챔버(133)에 배치된 로봇 암(133a)은 세정된 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 동시에 또는 순차적으로 제1챔버(131)로 이송한다. 진공상태에서 제1기판(11)은 상면이 위를 향한 상태에서 제2기판(12)에 대응하여 얼라인된다. 이 때 제1기판(11)이 제2기판(12)에 비하여 위쪽에 위치한다. 제1기판(11)은 상면이 위를 향한 상태에서 원호를 그리면서 상면이 아래를 향한 상태로 반전되면서 제2기판(12)의 상면과 접촉한다. 이로써 제1기판(11)과 제2기판(12)의 예비적 라미네이팅이 완료되었다. (S52)

서로 접촉한 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 로봇 암(133a)에 의해 제2챔버(132)로 이송된다.

제1기판(11) 및 제2기판(12)은 이송 방향으로 순차적으로 롤링 방식으로 가압됨으로써 합착된다. 이로써 제1기판(11)과 제2기판(12)의 가압 라미네이팅이 완료되었다. (S53)

서로 합착된 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 제3예비 챔버로 연속적으로 이송된 후 외부로 반출된다.

도 7는 도 3의 제1챔버(131)의 제1라미네이팅 장치를 보다 상세하게 도시한 것이다. 도 8 내지 도 10은 제1챔버(131) 내의 제1라미네이팅 장치의 구동 과정을 도시한 것이다. 이하에서는 도 7 내지 도 10을 참조하여 제1라미네이팅 장치의 구조 및 구동 방법을 상세하게 설명한다.

제1라미네이팅 장치는, 제1기판(11)과 제2기판(12)의 예비적 라미네이팅을 수행하는 장치이다. 즉, 제1라미네이팅 장치는 제1기판(11)이 제2기판(12)과 얼라인 되도록 하여, 제1기판(11)과 제2기판(12)을 단순히 접촉시킨다. 제1라미네이팅 장치는, 제2기판(12)이 배치되는 스테이지(1312), 얼라인부(1311), 제1롤러부(1313) 및 얼라인부(1311)를 제어하는 제1제어부(1314) 및 제1롤러부(1313) 및 스테이지(1312)를 함께 제어하는 제2제어부(1315)를 포함한다.

스테이지(1312)는 예비적 라미네이팅이 수행되는 동안 제2기판(12)이 배치되는 곳이다. 스테이지(1312)는 편평한 상면을 구비하며, 적어도 제1롤러부(1313)가 회전하는 방향 및 그 반대 방향으로 직선운동을 수행할 수 있다. 스테이지(1312)는 스크류 또는 리니어 가이드 등에 의해 직선운동 할 수 있다. 바람직하게는 정밀한 위치 제어가 가능한 리니어 가이드를 사용할 수 있다. 스테이지(1312)는 예비적 라미네이션이 수행되는 동안 제1롤러부(1313)의 아래쪽에 배치된다.

얼라인부(1311)는 제1제어부(1314)의 제어에 의해 제1기판(11)과 제2기판(12)의 얼라인을 담당한다. 상세히 얼라인부(1311)는 복수개의 전달 롤러들(1311a) 및 감지부(1311b)를 포함할 수 있다. 얼라인부(1311)는 제1롤러부(1313)의 위쪽에 배치된다.

복수개의 전달 롤러들(1311a)은 로봇 암(133a)으로부터 전달된 제1기판(11)을 제1롤러부(1313)쪽으로 이송한다. 복수개의 전달 롤러들(1311a)의 끝단, 즉 제1롤러부(1313)에 가까운 전달 롤러들(1311a)의 가장자리에는 감지부(1311b)가 배치된다. 하지만 감지부(1311b)의 위치는 이에 한정되지 않으며, 이송 롤러들(1311a)의 배열 방향을 따라 선형적으로 감지부(1311b)가 배치될 수도 있다.

감지부(1311b)는 제2기판(12)에 대응한 제1기판(11)의 얼라인을 감지한다. 예를 들어 감지부(1311b)는 카메라, 적외선 센서, 광 센서 등일 수 있다. 감지부(1311b)는 전달 롤러들(1311a)로부터 이송된 제1기판(11)이 평면적으로 틀어짐이 발생했는지 여부 및 얼마나 틀어짐이 발생했는지 판단할 수 있다. 예를 들어, 감지부(1311b)는 제1기판(11)의 위치값 및 세팅된 이상적인 제1기판(11)의 위치값을 비교하여, 실제 제1기판(11)이 얼마나 틀어짐이 발생하였는지 도출 가능하다.

도 1를 다시 참조하면, 제1기판(11)은 제2기판(12)의 중앙부에 위치하는 탈착 영역(12a)을 모두 덮고, 합착 영역(12b)과 접촉해야 한다. 따라서, 제1기판(11)이 평면적으로 틀어진 상태로 제2기판(12) 상에 공급되는 경우, 탈착 영역(12a)이 외부로 노출되어 합착에 문제가 발생할 수도 있고, 제품의 신뢰성을 보장하기 어렵다. 또한, 제1라미네이팅 장치의 경우 설비 체적을 최소화하기 위하여 제1기판(11)의 상면이 위로 향한 상태에서 제1챔버(131)로 이송된 후 제1롤러부(1313)의 외주면을 따라 제1기판(11)의 상면이 아래로 향하도록 반전되어 제2기판(12)과 접촉하는 방식을 사용한다. 이러한 방식에서는 이송 중간에 틀어짐을 수정하는 것이 불가능하기 때문에 제1롤러부(1313) 전단에 배치된 얼라인부(1311)에 의해 제1기판(11)과 제2기판(12)의 얼라인을 미리 맞추는 작업이 필요하다.

감지부(1311b)에서 제1기판(11)의 평면적 틀어짐이 감지되지 않은 경우, 제1기판(11)은 그대로 제1롤러부(1313)에 공급된다. 그러나, 감지부(1311b)에서 제1기판(11)의 평면적 틀어짐이 감지된 경우, 제1제어부(1314)는 전달 롤러들(1311a)의 위치, 예를 들어 평면적 각도를 조절하여 제1기판(11)의 틀어짐을 수정한다. 이를 위해 복수개의 전달 롤러들(1311a)은 각각 평면적 각도를 별개로 조절 가능하다. 예를 들어 전달 롤러들(1311a) 각각에 각도 조절기를 달아서 조절할 수도 있으며 이러한 기계적인 장치는 공지된 것을 사용할 수 있는바 구체적인 내용은 생략한다. 한편, 본 발명의 일 실시예는 이에 한정되지 않고 별도의 보정 장치, 예를 들어 로봇 암(133a), 등에 의해 제1기판(11)의 틀어짐을 직접 수정할 수도 있다.

제1롤러부(1313)는 외주면에 정전기가 인가되어 제1기판(11)을 전기적 인력으로 이송할 수 있다. 예를 들어 제1롤러부(1313)는 ESD (Electrostatic Discharge) 롤러일 수 있다. 제1롤러부(1313)는 얼라인부(1311)로부터 이송된 제1기판(11)을 외주면을 따라 이송하여 스테이지(1312) 상의 제2기판(12)과 접촉시킨다. 제1롤러부(1313)는 얼라인부(1311)에 배치된 전달 롤러들(1311a)의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전한다. 제2제어부(1315)는 제1롤러부(1313)의 외주면 위치에 따라 정전기의 인가 여부를 조절한다. 예를 들어, 얼라인부(1311)로부터 제1기판(11)이 제1롤러부(1313)에 접촉할 때 정전기가 인가되며, 제1기판(11)이 이송되는 과정에서 제1기판(11)과 접촉하는 제1롤러부(1313)의 외주면에는 모두 정전기가 인가된다. 그리고, 제2기판(12)과 제1기판(11)이 접촉할 때 해당 제1롤러부(1313)의 외주면에는 정전기가 인가되지 않아 제1기판(11)이 제1롤러부(1313)로부터 분리되어 제2기판(12)에 접촉한다. 이와 같이 제2제어부(1315)는 제1기판(11)의 접촉 여부에 따라 제1롤러부(1313)의 외주면의 정전기 인가 여부를 조절할 수 있다.

한편, 제2제어부(1315)는 제1롤러부(1313)의 회전 속도에 따라 스테이지(1312)의 위치도 제어한다. 제1롤러부(1313)가 회전하여 제1기판(11)과 제2기판(12)이 접촉하는 순간 제2제어부(1315)는 스테이지(1312)를 제1롤러부(1313)의 회전 방향 및 회전 속도에 따라 이동시킨다. 이로부터, 제1기판(11) 전체가 제2기판(12)과 순차적으로 접촉할 수 있다.

제1롤러부(1313)는 제1기판(11)을 단순히 제2기판(12) 상으로 옮기는 역할을 하는 것이며, 접촉된 제1기판(11)과 제2기판(12)을 가압하지 않는다. 이에 따라 제1롤러부(1313)는 표면이 단단한(rigid) 재질로 이루어져도 무관하다. 또한 제1롤러부(1313)와 스테이지(1312)는 제1기판(11)과 제2기판(12)의 두께를 합한 간격이상으로 이격(d)될 수 있다. 바람직하게는 제1롤러부(1313)와 스테이지(1312)가 제1기판(11)과 제2기판(12)의 두께만큼 이격(d)될 수 있다. 왜냐하면, 제1롤러부(1313)는 제1기판(11)과 제2기판(12)을 가압하지 않으므로 양 기판의 두께 이상의 간격만 보장된다면 동작이 가능하기 때문이다.

도 8을 참조하면, 먼저, 제3챔버(133)의 로봇 암(133a)으로부터 이송된 제1기판(11)은 얼라인부(1311)의 전달 롤러들(1311a) 상에 배치되고 제2기판(12)은 스테이지(1312) 상에 배치된다. 제1기판(11)은 제2기판(12)에 비해 상대적으로 위쪽에 위치하게 된다. 이는, 제1롤러부(1313)를 통해 제1기판(11)을 제2기판(12)으로 투입하기 때문이다.

제1기판(11)은 얼라인부(1311)에서 제2기판(12)과 대응되도록 얼라인된다. 상세히, 제1기판(11)은 전달 롤러들(1311a)을 따라 이송되면서 감지부(1311b)를 통해 평면적 틀어짐을 감지되고, 틀어짐이 감지되는 경우 수정도 함께 이루어진다.

도 9를 참조하면, 얼라인된 제1기판(11)이 일 방향으로 회전하는 제1롤러부(1313)에 순차적으로 접촉하면 제1롤러부(1313)의 외주면에 정전기가 순차적으로 인가된다. 이에 따라 제1기판(11)은 제1롤러부(1313)의 외주면을 따라 원호를 그리며 제2기판(12) 쪽으로 이송된다.

도 10 를 참조하면, 제1기판(11)과 제2기판(12)이 순차적으로 접촉하면, 제1롤러부(1313)의 외주면에 순차적으로 정전기 인가가 중단되고, 동시에 제2기판(12)을 지지하는 스테이지(1312)가 제1롤러부(1313)의 회전 방향으로 이동한다. 이 때, 스테이지(1312)의 이동 속도 및 제1롤러부(1313)의 회전 속도는 연동된다. 따라서, 제1기판(11)과 제2기판(12)은 순차적으로 접촉된다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 제1기판(11)의 친수성 면을 위로 하여 얼라인하고, 제1기판(11)의 친수성 면이 원호를 그리며 아래로 반전되어 제2기판(12)의 친수성 면과 접촉하는 방식을 취한다. 또한 이러한 방식에서는 최초에 제1기판(11)이 제2기판(12) 보다 위쪽에 위치한다. 이러한 방식은 비교예로써 로봇 암(133a)에 의해 제1기판(11)의 친수성 면을 반전하여 제2기판(12)에 접촉하는 방식에 의해 보다 안정적이며, 제1기판(11)의 손상을 방지할 수 있는 특징이 있다. 또한 비교예에 비하여 제1기판(11)을 뒤집는데 필요한 공간이 보다 적게 소요되므로 설비 체적을 최소화할 수 있는 특징이 있다.

도 11는 도 3의 제2챔버(132)의 제2라미네이팅 장치를 보다 상세하게 도시한 것이다. 도 12 및 도 13은 제2챔버(132) 내의 제2라미네이팅 장치의 구동 과정을 도시한 것이다. 이하에서는 도 11 내지 도 13을 참조하여 제2라미네이팅 장치의 구조 및 구동 방법을 상세하게 설명한다.

제2라미네이팅 장치는, 서로 첩촉한 제1기판(11)과 제2기판(12)의 합착을 수행하는 장치이다. 즉, 제2라미네이팅 장치는 롤링 방식을 사용하여 서로 접촉한 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 가압하여 라미네이팅한다. 제2라미네이팅 장치는 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 가압하여 합착하는 롤러유닛(1323), 롤러유닛(1323)의 전단부 및 후단부에 각각 배치되는 제1이송부(1321) 및 제2이송부(1322)를 포함한다.

롤러유닛(1323)은 양 기판을 롤링 방식으로 가압하는 장치로써, 상부 및 하부에 배치된 적어도 두개의 롤러를 포함한다. 롤러유닛(1323)의 외주면은 연성 소재, 예를 들어 우레탄, 고무 등, 으로 이루어질 수 있다. 이로써, 롤러유닛(1323)에 의해 가압하여 합착하더라도 제1기판(11)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 롤러유닛(1323)을 통해 양 기판을 합착하는 방식은 양 기판을 순차적으로 합착하며, 선 접촉으로 합착하므로 양 기판 사이의 에어 트랩을 효과적으로 제거할 수 있다.

한편, 제1기판(11)과 제2기판(12)은 서로 두께, 표면의 상태, 가압시 스트레스 분포 등이 서로 상이하다. 또한, 기판은 탈착 영역(12a) 및 합착 영역(12b)을 포함하는바, 양 기판이 서로 합착하는 부분이 균일하지 않다. 따라서, 롤러유닛(1323)으로 양 기판을 가압하여 합착할 때 제1기판(11) 또는 제1기판(11)과 제2기판(12)은 응력에 의해 휨 또는 왜곡(warpage) 가 발생하게 된다. 이렇게 휘어있는 상태의 제1기판(11)에 표시 소자를 형성하는 경우 패턴 형성 오류가 발생할 위험이 크며 표시 장치의 신뢰성이 하락하는 문제가 있다. 이를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의하면 제1이송부(1321) 및 제2이송부(1322)가 배치된다.

제1이송부(1321)는 복수개의 이송 롤러들(1321)을 포함하며, 접촉된 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 롤러유닛(1323)으로 이송한다. 제2이송부(1322)는 복수개의 반송 롤러들(1322)을 포함하며, 롤러유닛(1323)에 의해 합착된 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 제3보조챔버(123)로 반출한다. 복수개의 이송 롤러들(1321) 및 반송 롤러들(1322)은 각각 제1기판(11) 및 제2기판(12)의 휨 또는 왜곡에 따라 높낮이가 세팅될 수 있다. 즉, 제1기판(11) 및 제2기판(12)의 휨 또는 왜곡을 상쇄할 수 있도록 이송 롤러들(1321) 및 반송 롤러들(1322) 각각의 높낮이가 세팅될 수 있다.

본 발명의 일 실시예로 이송 롤러들(1321)과 반송 롤러들(1322) 각각의 높낮이는 다음에 의하여 세팅될 수 있다. 제1기판(11)과 제2기판(12) 각각의 두께, 표면의 상태, 가압시 스트레스 분포, 롤러유닛(1323)이 가하는 압력 등을 전체적으로 고려하여 예비적으로 라미네이팅된 제1기판(11) 및 제2기판(12)의 휨 또는 왜곡의 정도를 판단한다. 휨 또는 왜곡 정도는 시뮬레이션이나 다수의 실험에 의해 도출할 수 있다. 그리고, 휨 또는 왜곡의 정도를 상쇄시킬 수 있도록 이송 롤러들(1321) 및 반송 롤러들(1322) 각각의 높낮이를 미리 세팅한다. 즉, 라미네이팅 공정이 시작되기 전에 제1이송부(1321) 및 제2이송부(1322)는 미리 세팅될 수 있다.

예를 들어, 도 12를 참조하면, 제1이송부(1321)를 지나는 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 휨 또는 왜곡이 거의 발생하지 않는다고 가정하면, 제1이송부(1321)에 배치된 이송 롤러들(1321)은 롤러유닛(1323)과 평행하도록 배치될 수 있다. 그러나, 롤러유닛(1323)을 지나면서 합착된 제1기판(11) 및 제2기판(12)의 경우 제1기판(11) 쪽으로 휨이 발생한다고 가정하면, 도 13를 참조하면, 제2이송부(1322)에 배치된 반송 롤러들(1322)은 중력에 의해 휨을 상쇄하도록 아래쪽으로 낮아지는 경향을 가지도록 배치될 수 있다. 그러나 이는 예시적인 일 실시예에 불과한 것으로, 기판의 상태, 롤링 강도에 따라 다양하게 응용될 수 있을 것이다.

도 11에 도시된 제2라미네이팅 장치의 동작 방법을 간략히 설명한다.

먼저 서로 접촉된 제1기판(11)과 제2기판(12)이 로봇 암(133a)에 의해 제1챔버(131)로부터 제2챔버(132)로 이송된다. 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 제1이송부(1321)를 통해 롤러유닛(1323)으로 이송된다.

제1기판(11) 및 제2기판(12)은 롤러유닛(1323)을 통과하면서 선접촉 방식으로 순차적으로 롤링되어 라미네이팅됨으로써 합착된다. 이때, 양 기판 사이의 에어 트랩도 제거될 수 있다. 제1챔버(131)에서 제1기판(11)과 제2기판(12)의 얼라인이 이미 맞춰진 상태이므로 제2챔버(132)에서 양 기판을 합착시 미스 얼라인 문제가 발생하지 않는다.

합착된 제1기판(11) 및 제2기판(12)은 제2이송부(1322)를 통해 제3보조챔버(123)로 이송된 후, 다음 공정으로 넘어간다.

본 발명의 일 실시예에 의한 기판 처리 시스템(100) 및 이를 이용한 기판 처리 방법으로 제1기판(11) 및 제2기판(12)을 합착한 후, 제1기판(11) 상에 표시 소자를 형성하는 경우, 제1기판(11)과 제2기판(12) 사이에 에어 트랩이 발생하지 않고, 제1기판(11)의 휨 또는 왜곡이 생기지 않아 신뢰성 높은 표시 장치를 제조할 수 있다.

한편, 제1라미네이팅 장치 및 제2라미네이팅 장치는 기판 처리 시스템(100)과 별개로 사용될 수도 있다. 제1라미네이팅 장치 및 제2라미네이팅 장치는 함께 사용될 수도 있으며 각각 단독으로 사용될 수도 있을 것이다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

11: 제1기판
12: 제2기판
100: 기판 처리 시스템
111: 제1세정부
112: 제2세정부
131: 제1챔버
132: 제2챔버
133: 제3챔버

Claims

제1기판을 제2기판에 대응되게 하여 상기 제1기판을 상기 제2기판과 접촉시켜 예비적으로 라미네이팅하는 제1라미네이팅부를 포함하는 제1챔버;
예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 제2라미네이팅부를 포함하는 제2챔버; 및
상기 제1기판 및 상기 제2기판을 이송하는 로봇 암을 포함하며, 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버와 연결된 제3챔버;를 포함하고,
상기 제2라미네이팅부는,
예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 롤러유닛;
가압하여 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 반송하는 복수개의 반송 롤러들을 포함하되, 상기 복수개의 반송 롤러들은 각각 높이 조절이 가능한, 제2이송부;를 포함하는, 기판 처리 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1기판의 적어도 상면을 세정하며, 상기 제3챔버에 연결되는 제1세정부; 및
상기 제2기판의 적어도 상면을 세정하며, 상기 제3챔버에 연결되는 제2세정부;
를 더 포함하는, 기판 처리 시스템.
제2항에 있어서,
상기 제1세정부는 상기 제1기판을 상기 제3챔버의 방향으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하며,
상기 제2세정부는 상기 제2기판을 상기 제3챔버의 방향으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하며,
상기 제1세정부의 이송 롤러들의 간격은 상기 제2세정부의 이송 롤러들의 간격보다 촘촘한, 기판 처리 시스템.
제2항에 있어서,
상기 제1세정부 및 상기 제2세정부는 상압을 유지하며,
상기 제1챔버 내지 상기 제3챔버는 진공을 유지하며,
상기 제1세정부와 상기 제3챔버 사이에 기압을 조절하는 제1보조챔버가 배치되고, 상기 제2세정부와 상기 제3챔버 사이에 기압을 조절하는 제2보조챔버가 배치되는, 기판 처리 시스템.
제4항에 있어서,
상기 로봇 암은 상기 제1보조챔버로부터 상기 제1기판을 상기 제1챔버로 이송하고, 상기 제2보조챔버로부터 상기 제2기판을 상기 제1챔버로 이송하는, 기판 처리 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제2챔버와 연결되며 기압을 조절하는 제3보조챔버를 더 포함하는, 기판 처리 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1라미네이팅부는
상기 제2기판이 배치되는 스테이지;
상기 제1기판을 상기 제2기판에 대응되게 일 방향으로 이송하는 얼라인부; 및
외주면에 정전기가 인가되며, 상기 얼라인부로부터의 상기 제1기판을 정전기에 의해 외주면을 따라 회전 방향으로 이송하여 제2기판과 순차적으로 예비적 라미네이팅하는 제1롤러부;
를 포함하며, 상기 스테이지는 상기 제1롤러부 아래쪽에 배치되고, 상기 얼라인부는 상기 제1롤러부의 위쪽에 배치되는, 기판 처리 시스템.
제6항에 있어서,
상기 제2라미네이팅부는
예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 롤러유닛으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하는 제1이송부;를 더 포함하고,
상기 제2 이송부는 가압하여 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 제3보조챔버로 반송하는, 기판 처리 시스템.
제1기판 및 제2기판을 접촉시켜 예비적으로 라미네이팅하는 라미네이팅 장치에 있어서,
상기 제2기판이 배치되는 스테이지;
상기 제1기판을 상기 제2기판에 대응되게 일 방향으로 이송하며, 상기 제1기판을 상기 일 방향으로 이송하는 전달 롤러들을 포함하는 얼라인부; 및
외주면에 정전기가 인가되며, 상기 얼라인부로부터의 상기 제1기판을 정전기에 의해 외주면을 따라 회전 방향으로 이송하여 제2기판과 순차적으로 예비적 라미네이팅하는 롤러부;
를 포함하며, 상기 스테이지는 상기 롤러부 아래쪽에 배치되고, 상기 얼라인부는 상기 롤러부의 위쪽에 배치되는, 라미네이팅 장치.
제9항에 있어서,
상기 얼라인부는
상기 제1기판의 틀어짐을 감지하는 감지부를 더 포함하며,
상기 라미네이팅 장치는
상기 감지부에서 상기 제1기판의 틀어짐이 감지되면 상기 전달 롤러들의 위치를 조절하여 상기 제1기판의 틀어짐을 수정하는 제1제어부; 를 더 포함하는, 라미네이팅 장치.
제9항에 있어서
상기 라미네이팅 장치는,
상기 제1기판의 접촉 여부에 따라 상기 롤러부 외주면의 정전기 인가 여부를 제어하는 제2제어부를 더 포함한, 라미네이팅 장치.
제11항에 있어서,
상기 제2제어부는
상기 제1기판과 상기 제2기판의 접촉 여부에 따라 상기 롤러부의 회전 속도와 연동하여 상기 스테이지의 이동을 제어하는, 라미네이팅 장치.
제9항에 있어서,
상기 스테이지와 상기 롤러부는 상기 제1기판 및 상기 제2기판를 합한 두께만큼 이격되는, 라미네이팅 장치.
예비적으로 라미네이팅된 제1기판과 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 라미네이팅 장치에 있어서,
예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 롤러유닛;
예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 상기 롤러유닛으로 이송하는 복수개의 이송 롤러들을 포함하는 제1이송부; 및
가압하여 라미네이팅된 상기 제1기판과 상기 제2기판을 보조챔버로 반송하는 복수개의 반송 롤러들을 포함하는 제2이송부;을 포함하고,
상기 이송 롤러들 및 상기 반송 롤러들 각각은 상기 제1기판 및 상기 제2기판의 휨에 따라 높낮이가 세팅되는, 라미네이팅 장치.
제14항에 있어서,
상기 롤러유닛의 외주면은 연성 소재로 이루어진, 라미네이팅 장치.
삭제
상압에서 제1기판 및 제2기판의 적어도 상면을 각각 세정하는 단계;
진공에서 상기 제1기판의 상면 및 상기 제2기판의 상면을 서로 접촉하여 예비적 라미네이팅하는 단계; 및
진공에서 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하여 라미네이팅하는 단계;
진공에서 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 롤러유닛을 통해 가압하여 라미네이팅하는 단계;를 포함하고,
상기 라미네이팅하는 단계는,
제1이송부를 통해 예비적으로 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 상기 롤러유닛으로 이송하는 단계;
상기 롤러유닛을 통해 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 가압하는 단계; 및
제2이송부를 통해 가압하여 라미네이팅된 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 반송하는 단계;를 포함하며,
상기 제2이송부에 포함된 복수개의 반송 롤러들은 각각 높이 조절이 가능한, 기판 처리 방법.
제17항에 있어서,
상기 예비적 라미네이팅하는 단계는,
상기 제1기판을 상기 제2기판에 비해 위쪽에 위치하고 상기 제1기판을 상기 제2기판에 대응되게 얼라인하는 단계; 및
상기 제1기판이 상기 제2기판쪽으로 원호를 그리며 이송되어 상기 제1기판의 상면 및 상기 제2기판의 상면이 서로 접촉하는 단계;
를 포함하는, 기판 처리 방법.
제17항에 있어서,
상기 가압하여 라미네이팅하는 단계는,
서로 접촉된 상기 제1기판 및 제2기판을 순차적으로 롤링하여 라미네이팅하는 단계인, 기판 처리 방법.