KR101292803B1

KR101292803B1 - 기판 합착장치의 간격유지유닛

Info

Publication number: KR101292803B1
Application number: KR20060123232A
Authority: KR
Inventors: 최봉환
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2006-12-06
Filing date: 2006-12-06
Publication date: 2013-08-02
Anticipated expiration: 2026-12-06
Also published as: CN101197252A; CN101197252B; KR20080051689A

Abstract

본 발명은 기판 합착장치의 간격유지유닛에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛은 제 1기판이 안착되는 제 1챔버, 상기 제 1챔버로부터 이격되며 상기 제 1기판과 합착되는 제 2기판이 안착되는 제 2챔버로 이루어진 기판 합착장치의 기밀과 간격을 유지하기 위한 간격유지유닛으로, 상기 제 1챔버와 제 2 챔버의 사이에 위치하고, 상기 제 1챔버에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재; 상기 메인 실부재를 완충하며, 눌려진 값을 보상하기 위한 버퍼 실부재; 상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하여 상기 메인 실부재의 눌림이 조절되도록 상기 버퍼 실부재의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부로 이루어지는 것이 바람직한바 상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면 기밀과 간격을 유지하는 기능의 실부재를 복수개로 사용하여 눌림양을 상대적으로 보상할 수 있어 보다 균일한 간격을 얻을 수 있어 기판 간의 간격을 균일하게 하는 효과가 있다.

Description

기판 합착장치의 간격유지유닛{Apparatus for assembling substrates having a gap control unit}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치를 도시한 측단면도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 확대도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 사용상태도다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 분해사시도이다.

도 5는 도 4의 평면도이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 다른 형태의 분해사시도이다.

도 7은 도 6의 평면도이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 확대도이다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 분해사시도이다.

도 10은 도 9의 평면도이다.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛의 다른 형태 의 분해사시도이다.

도 12는 도 11의 평면도이다.

본 발명은 기판 합착장치의 간격유지유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버 사이의 간격을 복수의 실부재를 사용하여 눌림값에 대한 상대적인 보상으로 균일한 간격을 유지할 수 있는 기판 합착장치의 간격유지유닛에 것이다.

기판 합착장치는 박판 디스플레이 장치의 두 기판을 합착하기 위한 것이다. 박판 디스플레이 장치의 예로써 TFT-LCD 패널, PDP, OLED 등이 있다. 이들 박판 디스플레이 장치는 복수의 TFT(Thin Film Transistor)가 매트릭스형으로 형성된 TFT 기판과, 컬러 필터나 차광막 등이 형성된 컬러 필터 기판이 수 ㎛ 정도의 간격을 가지고 서로 대향하여 합착된다.

기판 합착은 진공상태에서 두 기판을 합착함으로써 이루어지며, 이를 위한 공간을 형성하기 위해 제 1챔버 및 제 1챔버와 이격된 제 2챔버를 구비한다. 각각의 챔버 내측면에는 TFT 기판과 컬러 필터 기판을 합착 전에 고정상태로 유지하기 위한 정전척(ESC, Electro- Static Chuck)이 구비되고, 이중 상부에 위치하는 챔버에는 진공척(Vacuum chuck)이 함께 구비된다.

TFT 기판과 컬러 필터 기판이 내부로 유입되면 제 1챔버와 제 2챔버를 밀착시켜 내부를 진공상태가 형성되도록 펌프를 작동시켜 배기한다. 챔버의 사이에는 기밀을 위한 실부재가 구비된다.

이후 챔버 내부를 진공상태로 하는 과정에서 각각의 기판을 정렬하고, 합착을 위한 진공상태가 되었을 때 두 기판을 합착하게 된다.

두 기판의 합착은 양 기판이 매우 근접한 상태에서 실시되며, 이들을 근접한 상태로 유지하는 것은 합착공정에 있어서 합착된 기판의 양불을 판정하는데 매우 중요한 요소인데, 이를 위해 상술한 실부재를 사용한다.

실부재는 기밀의 유지와 더불어 합착 전 근접한 상태의 기판의 간격유지를 조절하는 주요 요소로써, 이는 실부재의 눌림양에 의해 판정된다.

종래에 설치된 실부재는 기판의 둘레에 제 1챔버와 제 2챔버가 밀착되는 부분에 설치된다. 이러한 실부재는 일반적으로 탄성체이고, 단면이 동일하지 않으며 탄성의 정도가 균일하지 않기 때문에 챔버들의 밀착에 의해 전면적이 균일하게 눌리지 않는 문제가 발생한다. 즉, 눌림양에 차이가 발생하게 된다.

실부재의 눌림양의 차이가 발생할 경우 합착을 위한 두 기판의 근접간격이 균일한 상태가 되지 않아 기판의 일부가 접촉되고 이로 인해 불량기판이 발생하게 된다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 균일한 간격유지 및 조절이 가능한 기판 합착장치의 간격유지유닛을 제공하는데 있다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛은 제 1기판이 안착되는 제 1챔버, 상기 제 1챔버로부터 이격되며 상기 제 1기 판과 합착되는 제 2기판이 안착되는 제 2챔버로 이루어진 기판 합착장치의 기밀과 간격을 유지하기 위한 간격유지유닛으로, 상기 제 1챔버와 제 2 챔버의 사이에 위치하고, 상기 제 1챔버에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재; 상기 메인 실부재를 완충하며, 눌려진 값을 보상하기 위한 버퍼 실부재; 상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하여 상기 메인 실부재의 눌림이 조절되도록 상기 버퍼 실부재의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고 상기 누름조절부는 상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하는 상부 플레이트, 상기 버퍼 실부재의 외측에 위치하여 상기 제 2 챔버에 밀착된 상태를 유지하고, 상기 상부 플레이트를 상기 제 2챔버에 구속시키기 위한 체결볼트, 상기 체결볼트의 외주에는 스프링이 구비되는 것이 바람직하다.

상기 상부 플레이트는 상기 제 1챔버와 제 2챔버의 사이에 위치하도록 상하 관통된 판 형태인 것이 바람직하고, 상기 상부 플레이트는 일체로 형성되거나, 상기 상부 플레이트는 적어도 2개 이상이 연결된 판 형태인 것이 바람직하다.

그리고 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛은 제 1기판이 안착되는 제 1챔버, 상기 제 1챔버로부터 이격되며 상기 제 1기판과 합착되는 제 2기판이 안착되는 제 2챔버로 이루어진 기판 합착장치의 기밀과 간격을 유지하기 위한 간격유지유닛으로, 상기 제 1챔버와 제 2 챔버의 사이에 위치하고, 상기 제 1챔버에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재; 상기 메인 실부재를 완충하며, 눌려진 값을 보상하기 위한 버퍼 실부재; 상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하여 상기 메인 실부재의 눌림이 조절되도록 상기 버퍼 실부재의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고 상기 누름조절부는 상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하는 상부 플레이트, 상기 버퍼 실부재와 상기 제 2 챔버의 사이에 위치하는 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트와 상기 제 2 챔버의 사이에 위치하는 보조 실부재, 상기 상부 플레이트와 하부 플레이트를 결합하며, 상기 버퍼 실부재의 양측에 위치하는 체결볼트, 상기 체결볼트의 외주에 구비되는 스프링으로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고 상기 상부 플레이트 및 하부 플레이트는 상기 제 1챔버와 제 2챔버의 사이에 위치하도록 상하로 관통된 판 형태인 것이 바람직하고, 상기 상부 플레이트는 일체로 형성되거나 상기 상부 플레이트 및 하부 플레이트는 적어도 2개 이상이 연결된 판 형태인 것이 바람직하다.

이하에서는 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 하며, 각 도면에 도시된 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일부재를 가리킨다. 그리고 본 발명에서 나타난 구성요소는 당업계에서 다양한 명칭으로 부여하여 사용할 수 있을 것이다. 그러나 이러한 구성요소가 기능의 유사성 및 동일성이 있다면 모두 본 발명의 기술적 사상의 범주에 포함되는 동등한 구성으로 볼 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 합착장치(100) 및 간격유지유닛(130)을 나타 낸 것으로, 도시된 바와 같이 기판 합착장치(100)는 외관을 형성하는 지지프레임(190) 및 지지 프레임(190)의 내측 상부에 위치하는 제 1챔버(110)와 제 1 챔버(110)와 이격된 상태로 하부에 위치하는 제 2챔버(120)를 구비하는데, 제 1 챔버(110)와 제 2 챔버(120)는 상호 밀착하여 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)이 합착되는 공간(미도시)을 형성한다.

기판(S1)(S2)은 TFT 기판 또는 컬러필터 기판일 수 있다.

제 1챔버(110)에는 제 1기판(S1)이 지지되고, 제 2챔버(120)에는 제 2 기판(S2)이 지지되며, 이를 위해 제 1챔버(110) 및 제 2 챔버(120)의 내측면에는 복수개의 조합으로 이루어진 제 1척(102) 및 제 2척(152)이 각각 구비되는데, 제 1 척(102)과 제 2척(152)은 평판 형태이다.

여기서 제 1척(102) 및 제 2 척(152)은 정전척(ESC, Electrostatic-chuck)이 바람직할 수 있다. 정전척은 평판 형태로 되어 인가된 직류전원(DC Power)에 의해 발생하는 정전기력에 의해 기판(S)을 지지하는 것이다. 이러한 정전척은 알루미늄 바디 상에 필름형태가 부착된 것으로, 필름은 다양한 형태가 사용될 수 있으나 일반적으로 폴리이미드에 전극이 삽입된 형태를 사용한다.

그리고 도시하지는 않았으나 제 1 챔버(110)와 제 2 챔버(120)에는 기판(S1)(S2)의 정렬을 위한 복수개의 스테이지(Stage), 마크 정렬을 위한 비젼(Vision), 챔버의 승강을 일으키는 구동부 및 기판 합착을 위해 진공을 형성하는 펌프 등이 구비된다.

이러한 구성의 기판 합착장치(100)에 간격유지유닛(130)이 구비되는 것으로, 간격유지유닛(130)의 설치위치는 제 1 챔버(110)와 제 2 챔버(120)가 밀착되는 둘레에 위치하여 그 내측에 각각의 기판(S1)(S2)이 위치하게 된다.

간격유지유닛(130)은 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1챔버(110)에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재(132), 메인 실부재(132)를 완충하기 위한 버퍼 실부재(134), 메인 실부재(132)와 버퍼 실부재(134)의 사이에 위치하여 메인 실부재(132)의 눌림이 조절되도록 버퍼 실부재(134)의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부(140)로 이루어져 있다.

메인 실부재(132)는 제 1챔버(110)에 밀착되는 것으로, 기판의 합착에 있어 간격을 유지하는 주요 기능을 하며, 버퍼 실부재(134)는 메인 실부재(132)가 균일한 간격이 유지되도록 눌려진 양에 대한 만큼을 보상하게 된다.

그리고 누름조절부(140)는 버퍼 실부재(134)의 눌림양을 실질적으로 조절하는 기능을 한다.

이를 위한 구성으로는 도시된 바와 같이, 메인 실부재(132)와 버퍼 실부재(134)의 사이에 위치하는 상부 플레이트(142), 버퍼 실부재(134)의 외측에 위치하여 제 2 챔버(120)에 밀착된 상태를 유지하고, 상부 플레이트(142)를 제 2챔버(120)에 구속시키기 위한 체결볼트(144)로 이루어진다. 체결볼트(144)의 외측에는 스프링(146)이 구비된다.

체결볼트(144)는 상술한 바와 같이 메인 실부재(132)의 간격(g1)이 균일한 상태가 되도록 버퍼 실부재(134)의 간격(g2)을 조절하는 것으로, 메인 실부재(132)의 일정부분이 제 1챔버(110)에 의해 다른 부분보다 많이 눌렸을 경우 체결볼 트(144)가 제 2챔버(120)로 삽입되도록 하여 그 높이를 조절하게 된다. 이 경우 상부 플레이트(142)는 도시된 도면을 기준으로 하강하게 되고, 버퍼 실부재(134)는 눌리게 된다.

이러한 기능의 상태는 도 3에 도시되어 있다. 도시된 도면을 보면 제 1 챔버(110)와 제 2 챔버(120)가 밀착함에 따라 메인 실부재(132)는 눌려지게 되는데, 좌측에 위치한 메인 실부재(132)와 우측에 위치한 메인 실부재(132′)의 상태를 비교해 보면 좌측의 메인 실부재(132)가 우측의 메인 실부재(132′)가 더 많이 눌려진 것(g1′〉g1)을 확인할 수 있다. 이럴 경우 내부에 위치한 기판(S1)(S2) 역시 전 면적이 균일한 간격으로 되지 않은 것으로 판단할 수 있다.

이러한 문제가 발생할 경우 메인 실부재(132)(132′)의 간격이 동일한 상태가 되도록 하는 방법, 다시 말해 실질적으로 내부의 기판(S1)(S2)이 균일한 간격이 되도록 하는 방법은, 좌측에 위치한 메인 실부재(132) 및 버퍼 실부재(134)의 높이와 우측에 위치한 메인 실부재(132′)와 버퍼 실부재(134′)의 눌림양(g1+g2=g1′+g2′)이 동일하게 되도록 조절하는 것이다. 이는 g1과 g2′눌림 또는 g2와1′의 눌림이 동일하게 하는 것을 의미한다. 이 경우, 우측의 버퍼 실부재(134′)가 눌려지도록 체결볼트(144′)를 조절하여 상부 플레이트(142′)로 누르는 것으로 이를 해결할 수 있게 된다.

즉, 우측의 상부 플레이트(142′)를 눌러줌으로 좌측의 메인 실부재(132)가 더 눌려진 만큼 우측의 버퍼 실부재(134′)를 눌러 그 차이값을 보상하여 동일한 상태의 높이가 되도록 조절하는 것이다.

이러한 간격유지유닛(130)은 이를 형성하는 다양한 방법이 있을 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(142)를 상하 관통된 판 형태로 하고, 이를 일체로 형성하는 방법이 있을 수 있다. 이러한 상태로 제 2챔버(120)에 설치될 경우 도 5와 같은 설치상태가 된다.

이와는 다른 방법으로 상부 플레이트(142)를 판 형태로 하고, 2개 이상 다수개의 조합으로 하는 방법이 있을 수 있는데, 도 6에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(142)를 다수개의 판(142a)(142b)(142c)(142d)으로 하여 연결하여 설치하는 방법이다.

이러한 상태로 제 2 챔버(120)에 설치될 경우 도 7과 같은 상태가 된다. 이 경우 각각의 상부 플레이트(142)를 이루는 다수개의 판(142a)(142b)(142c)(142d)의 사이에는 별도의 기밀을 위한 실부재가 구비될 것이다.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 합착장치(100)의 간격유지유닛(230)의 다른 형태의 실시예에 대해 설명하기로 한다.

도 8에 도시된 바와 같이 간격유지유닛(230)은 제 1챔버(110)와 제 2 챔버(120)의 사이에 위치하고, 제 1챔버(110)에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재(132), 메인 실부재(132)를 완충하며, 눌려진 값을 보상하기 위한 버퍼 실부재(134), 메인 실부재(132)와 버퍼 실부재(134)의 사이에 위치하여 메인 실부재(132)의 눌림이 조절되도록 버퍼 실부재(134)의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부(240)로 이루어진다.

이를 위한 구성으로는 도시된 바와 같이, 메인 실부재(132)와 버퍼 실부재(134)의 사이에 위치하는 상부 플레이트(142), 버퍼 실부재(134)와 제 2 챔버(120)의 사이에 위치하는 하부 플레이트(242), 하부 플레이트(242)와 제 2 챔버(120)의 사이에 위치하는 보조 실부재(280), 상부 플레이트(142)와 하부 플레이트(242)를 결합하며, 버퍼 실부재(134)의 양측에 위치하는 체결볼트(144)로 이루어진다.

그리고 체결볼트(144)의 외주에는 스프링(146)이 구비된다.

이러한 간격유지유닛(230)은 챔버(110)(120)의 밀착에 의해 메인 실부재(132)의 눌려진 부분에 차이가 있을 경우, 그 부분에 대해 눌린값 만큼 버퍼 실부재(134)를 눌러 그 차이값을 보상하여 실질적으로 챔버(110)(120) 내부의 기판(S1)(S2)의 간격이 동일한 상태가 되도록 조절하는 것이다.

만약, 챔버(110)(120)의 밀착으로 어느 한 부분에 위치한 메인 실부재(132)의 높이(g3)가 다른 부분의 메인 실부재(132′)의 높이(g3′)와 다를 경우, 좌측에 위치한 메인 실부재(132) 및 버퍼 실부재(134)의 높이와 우측에 위치한 메인 실부재(132′)와 버퍼 실부재(134′)의 눌림양(g3+g4=g3′+g4′)이 동일하게 되도록 조 절하는 것이다. 이는 g3과g4′의 눌림을 동일하게 하거나 g4와3′의 눌림을 동일하게 하는 것을 의미한다. 이 경우, 어느 한 부분의 버퍼 실부재(134′)가 눌려지도록 체결볼트(144′)를 조절하여 상부 플레이트(142′)로 누르거나, 상부 플레이트(142′)가 상승하도록 하는 것을 통해 해결할 수 있게 된다.

이러한 간격유지유닛(230)은 이를 형성하는 다양한 방법이 있을 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(142) 및 하부 플레이트(242)를 상하 관통된 판 형태로 하고, 이를 일체로 형성하는 방법이 있을 수 있다. 이러한 상태로 제 2챔버(120)에 설치될 경우 도 10과 같은 설치상태가 된다.

이와는 다른 방법으로 상부 플레이트(142) 및 하부 플레이트(242)를 판 형태로 하고, 2개 이상 다수개의 조합으로 하는 방법이 있을 수 있는데, 도 11에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(142) 및 하부 플레이트(242)를 다수개의 판(142a)(142b)(142c)(142d)(242a)(242b)(242c)(242d)으로 하여 연결하여 설치하는 방법이다.

이러한 상태로 제 2 챔버(120)에 설치될 경우 도 12와 같은 상태가 된다. 이 경우 각각의 상부 플레이트(142) 및 하부 플레이트(242)를 이루는 다수개의 판(142a)(142b)(142c)(142d)(242a)(242b)(242c)(242d)의 사이에는 별도의 기밀을 위한 실부재가 구비될 것이다.

이상과 같은 본 발명에 따른 기판 합착장치의 간격유지유닛은 기밀과 간격을 유지하는 기능의 실부재를 복수개로 사용하여 눌림양을 상대적으로 보상할 수 있어 보다 균일한 간격을 얻을 수 있어 기판 간의 간격을 균일하게 하는 효과가 있다.

Claims

제 1기판이 안착되는 제 1챔버, 상기 제 1챔버로부터 이격되며 상기 제 1기판과 합착되는 제 2기판이 안착되는 제 2챔버로 이루어진 기판 합착장치의 기밀과 간격을 유지하기 위한 간격유지유닛으로,

상기 제 1챔버와 제 2 챔버의 사이에 위치하고, 상기 제 1챔버에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재;

상기 메인 실부재를 완충하며, 눌려진 값을 보상하기 위한 버퍼 실부재; 및

상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하여 상기 메인 실부재의 눌림이 조절되도록 상기 버퍼 실부재의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부를 포함하며,

상기 누름조절부는,

상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하는 상부 플레이트; 및

상기 버퍼 실부재의 외측에 위치하여 상기 제 2 챔버에 밀착된 상태를 유지하고, 상기 상부 플레이트를 상기 제 2챔버에 구속시키기 위한 체결볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
삭제
제 1 항에 있어서, 상기 체결볼트의 외주에는 스프링이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 1 항에 있어서, 상기 상부 플레이트는 상기 제 1챔버와 제 2챔버의 사이에 위치하도록 상하 관통된 판 형태인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 4 항에 있어서, 상기 상부 플레이트는 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 1 항에 있어서, 상기 상부 플레이트는 적어도 2개 이상이 연결된 판 형태인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 1기판이 안착되는 제 1챔버, 상기 제 1챔버로부터 이격되며 상기 제 1기판과 합착되는 제 2기판이 안착되는 제 2챔버로 이루어진 기판 합착장치의 기밀과 간격을 유지하기 위한 간격유지유닛으로,

상기 제 1챔버와 제 2 챔버의 사이에 위치하고, 상기 제 1챔버에 밀착되어 기밀이 유지되게 하는 메인 실부재;

상기 메인 실부재를 완충하며, 눌려진 값을 보상하기 위한 버퍼 실부재; 및

상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하여 상기 메인 실부재의 눌림이 조절되도록 상기 버퍼 실부재의 눌림을 조절하기 위한 누름조절부를 포함하며,

상기 누름조절부는,

상기 메인 실부재와 버퍼 실부재의 사이에 위치하는 상부 플레이트;

상기 버퍼 실부재와 상기 제 2 챔버의 사이에 위치하는 하부 플레이트;

상기 하부 플레이트와 상기 제 2 챔버의 사이에 위치하는 보조 실부재; 및

상기 상부 플레이트와 하부 플레이트를 결합하며, 상기 버퍼 실부재의 양측에 위치하는 체결볼트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
삭제
제 7 항에 있어서, 상기 체결볼트의 외주에는 스프링이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 7 항에 있어서, 상기 상부 플레이트 및 하부 플레이트는 상기 제 1챔버와 제 2챔버의 사이에 위치하도록 상하로 관통된 판 형태인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 10 항에 있어서, 상기 상부 플레이트는 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.
제 7 항에 있어서, 상기 상부 플레이트 및 하부 플레이트는 적어도 2개 이상이 연결된 판 형태인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치의 간격유지유닛.