JPS6350034A - プロ−バ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は被測定体の入出力端子（パッド）にプローブ針
を接触させてテストするためのブローバ装置に係り、特
に測定精度の向上を図った高速ディバイス測定用のブロ
ーバ装置に関する。

［発明の技術的背景及び問題点コ 従来、この種のプローバにおいては第７図及び第８図に
示すようにウェハに形成されたパッドと接触させるプロ
ーブ針を有するプローブカード２０は、プローバ装置の
ヘッドプレート内に設けられたリングインサート部２１
に取り付けられ、テストヘッド２３とは配線−ボード２
４−ポゴピン２５−ボード２６−配線−ボード２７を介
して接続されており、チャックトップ２９上のウェハ３
０との０（水平角度）調整はリングインサート部２１の
θ回転機構で行うよう構成されていた。このようにヘッ
トプレート／リングインサート部にθ回転機構を設ける
ことにより、ヘッドプレート／リングインサート部は５
０ｍｍ程度の厚みを必要とし、このため、プローブカー
ドの入出力線はテスター高周波テストヘッドに結線する
のに８０ｍｍ前後の長さを必要とした。しかし、テスト
精度の見地から言えば信号線が長くなればなる程、測定
タイミングや容量負荷の増大による諸性性が悪くなり実
際の素子性能より悪く測定してしまう可能性があるので
信号線はより短かく例えば数０ｍ以内にすることが望ま
れていた。

［発明の目的コ 本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたもので、リ
ンクインサート機構を廃止し、テスター高周波テストヘ
ッドにプローブカードを直接取り付は測定ケーブルの短
縮を測り、もって測定精度の向上を図ったプローバ装置
を提供せんとするものである。

［発明の概要］ このような目的を達成するために本発明のブローバ装置
は、テストヘッド搭載型のプローバ装置において、被測
体例えば半導体ウェハのチップをテストするためのプロ
ーブカードをテストヘッドに固定したことを特徴とし、
これにより従来のヘッドプレートとリングインサート機
構を廃し、テストヘッドとプローブカードとの間の測定
ケーブルを大幅に短縮したものである。又、本発明のプ
ローバ装置においては、プローブカードをテストヘッド
に固定しているため、プローブカードとウェハとの角度
方向の位置調整が必要な場合はウェハを塔載するチャッ
クステージ側で行うことによって達成できる。

更にリングインサート機構を設けなくてもよいので、テ
ストヘッドとウェハとを垂直方向に相対的に接近できる
効果を有する。

［発明の実施例］ 以下、本発明の好ましい実施例を図面に基き説明する。

第１図は、本発明に係るプローバ装置の１例を示し、主
としてローダ部１、プローバ部２及びテストヘッド３か
ら成り、プローバ部２はローダ部１に搬入されたキャリ
ヤから一枚づつ取り出され搬送される被測定体例えば半
導体ウェハを塔載する載置台としてのチャックトップ４
、アラインメントステージ（図示せず）及びチャックト
ップ４を水平（Ｘ−４）駆動するチャックステージ５か
ら成る。ナス１−ヘッド３はヒンジ部６を中心に回動し
、チャックステージ５」二に設置される。

又、テストヘッド３のパフォーマンスポード７には第２
図に示すようし；プローブカード８が、ネジ９によって
固定される。プローブカード８とパフォーマンスポード
７との接続は、線材１０又はポゴピン等によって結線す
る。

次に本実施例におけるプローブカード８とチャック１−
ツブ４」二のウェハ１１との位置合わせについて説明す
る。

まず、垂直（Ｚ）方向（図中、矢印方向）の位置合わせ
は従来のプローバ装置に比ベリングインサ□−ト機構の
分だけプローブカード８とウェハ１０との距離が遠くな
っているので、その分（約２０ｍｍ以上）チャックトッ
プ４の２ストロークを長くし、プローブカード８の針１
２とウェハ１０の接触を可能にする。あるいは第３図に
示すように、テストヘッド３とプローバ部２とのヒンジ
部分６をプローバ部２の最上部２ａより下側に設け、テ
ストヘッド３をセットした時にプローブカード８が従来
のコンタクトポイントに位置するようにする。又は、第
４図に示すように従来テストヘッド３に設けられている
マイクロスコープ用の円筒形の穴を廃止し、この部分１
３にピンエレク１ヘロニクスを配置すると共にこの部分
を凸状１３　ａとし。

プローバ部２内へ突出させチャックトップ４との距離を
縮めてもよい。この場合、プローブカード８とウェハ１
０の位置合わせは、ＴＶカメラにより撮像し、これをＣ
ＲＴに入力しＣＲＴを目視しながら調整する。

次に角度（θ）方向の位置合わせは、プローブカード８
がテストヘッド３に固定されているわけであるから、ウ
ェハがのっているプローバ部２側でこれを行う。すなわ
ち、第５図に示すように、プローブカード８とチャック
ステージ５のＸ−Ｙ軸とが０ずれている場合、まずアラ
インメントステージでチャックトップ４を０ｉ５ＳＩ整
してチップの配列とプローブカード８と合致させる。そ
して、このチャックトップ４のＸＹ軸に対するずれ（θ
）をプローバ部に内蔵されるＣＰＩＪによりソフトウェ
アで計算処理しチャックステージ５におけるＸ・Ｙ駆動
を制御する。すなわち、第６図に示すように、チップＣ
１を測定後、チップＣ２を測定するためには、チャック
１−ツブをＸ軸方向にＸ移動した後、Ｙ軸方向にＸ移動
する。且し、チップ幅をａとする時、ｘ：ａｃｏｓ１３
、ｙ＝ａｓｉｎ　θである。

尚、０調整は本例に限定されるものではなく例えば、ア
ラインメント及びチャックステージ５におけるＸ−Ｙ駆
動は通常と同様に行ない、チップの６一 １測定毎にチャックトップ４を回転させるように構成す
ることも可能である。いずれにしても、テストヘッドに
固定されたプローブカードに対し、プローバ部側でウェ
ハのチップをＯ調整するように構成する。

［発明の効果コ 以上の説明からも明らかなように、本発明のプローバ装
置においては従来のヘッドプレートとリングインサート
機構を廃し、テストヘッド側にプローブカードを固定し
たので、テストヘッドとプローブカードとの間の測定ケ
ーブルを大幅に短縮することができ、測定の精度を高め
、ひいてはチップ製品の歩留りを向上することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るプローバ装置の一実施例の正面
図、第２図は同プローバ装置のテストヘッドを示す図、
第３図及び第４図はそれぞれ他の実施例の正面図、第５
図はプローブカードとＸ−Ｙ軸との関係を示す図、第６
図はθ調整の説明図。 第７図及び第８図はそれぞれ従来のプローバ装置を示す
図である。 １・・・・・・・・・ロータ部 ２・・・・・・・・・プローバ部 ３・・・・・・・・・テストヘッド ４・・・・・・・・・チャックトップ（載置台）５・・
・・・・・・・チャックステージ６・・・・・・・・・
ヒンジ部 ７・・・・・・・・・パフォーマンスポード８・・・・
・・・・・プローブカード １１・・・・・・・ウェハ（被測定体）代理人　弁理士
　　守　谷　−雄 第４図 第５図　　。 θ Ｘ り＝〉 竺　　　Ｃ間 １８開！］、ＵＣ２−５００３４（４）第７図 第８図 ■ パ≧−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 載置台に設けられた被測定体の上方に設置されるテスト
   ヘッドを備えたプローバ装置において、前記テストヘッ
   ドに前記被測定体をテストするためのプローブカードと
   を固定したことを特徴とするプローバ装置。