JPH05144892A - ウエハプローバ - Google Patents
ウエハプローバInfo
- Publication number
- JPH05144892A JPH05144892A JP27421691A JP27421691A JPH05144892A JP H05144892 A JPH05144892 A JP H05144892A JP 27421691 A JP27421691 A JP 27421691A JP 27421691 A JP27421691 A JP 27421691A JP H05144892 A JPH05144892 A JP H05144892A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- probe card
- wafer
- horizontal
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ウエハプローバのステージに水平角度の調整機
構を持たせることで、プローブカードとステージが平行
でないとき、ステージ側で調整してプローブカードの取
り付け精度を考慮しなくて済むプロービングを提供する
ことにより測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防
ぐ。 【構成】ウエハプローバのウエハ保持部であるステージ
において、ステージ動作を従来の水平方向、回転方向、
垂直方向の動作に加え、ステージの平面角度を自在に変
化、調整出来る機構を持たせる。 【効果】測定装置とウエハとの距離が広がるのを防ぎ、
高速ＩＣの正確な測定が出来る。
構を持たせることで、プローブカードとステージが平行
でないとき、ステージ側で調整してプローブカードの取
り付け精度を考慮しなくて済むプロービングを提供する
ことにより測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防
ぐ。 【構成】ウエハプローバのウエハ保持部であるステージ
において、ステージ動作を従来の水平方向、回転方向、
垂直方向の動作に加え、ステージの平面角度を自在に変
化、調整出来る機構を持たせる。 【効果】測定装置とウエハとの距離が広がるのを防ぎ、
高速ＩＣの正確な測定が出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハのプローブ測定
に用いられるウエハプローバに関するものである。
に用いられるウエハプローバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハプローバのステージは、ス
テージ動作が水平方向、回転方向、垂直方向の動作しか
なく、ステージとプローブカードが平行でないときは、
プローブカードをステージ側の角度に合わせていた。そ
のため、プローブカード側で取り付け精度を考慮しなけ
ればならず、今後、高周波測定が要求されるウエハプロ
ーバにおいてプローブカード側で取り付け精度を考慮す
る事は、測定装置とウエハとの距離を広げることにな
り、高速ＩＣの正確な測定が困難になる。
テージ動作が水平方向、回転方向、垂直方向の動作しか
なく、ステージとプローブカードが平行でないときは、
プローブカードをステージ側の角度に合わせていた。そ
のため、プローブカード側で取り付け精度を考慮しなけ
ればならず、今後、高周波測定が要求されるウエハプロ
ーバにおいてプローブカード側で取り付け精度を考慮す
る事は、測定装置とウエハとの距離を広げることにな
り、高速ＩＣの正確な測定が困難になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明はステ
ージに水平角度の調整機構を持たせる事で、プローブカ
ードとステージが平行でないとき、ステージ側で調整し
てプローブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプ
ロービングを提供し、測定装置とウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事を目的にする。
ージに水平角度の調整機構を持たせる事で、プローブカ
ードとステージが平行でないとき、ステージ側で調整し
てプローブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプ
ロービングを提供し、測定装置とウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事を目的にする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明はステージ側にステージの水平角度を調整す
る機構を取り付ける事を特徴とする。
め、本発明はステージ側にステージの水平角度を調整す
る機構を取り付ける事を特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明の上記の機構により、プローブカードと
ステージが平行でないとき、ステージ側で水平角度をプ
ローブカードに平行になるよう調整することで、プロー
ブカードの取り付け精度を考慮しないプロービングが提
供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防ぐ
事が出来る。
ステージが平行でないとき、ステージ側で水平角度をプ
ローブカードに平行になるよう調整することで、プロー
ブカードの取り付け精度を考慮しないプロービングが提
供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防ぐ
事が出来る。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。
明する。
【０００７】図１は、本発明においてアーム４を３本以
上用いて水平角度を調整する場合の図、図２は、アーム
４を２本用いて水平角度を調整する場合の図、図３は、
アーム４を１本用いて水平角度を調整する場合の図であ
る。また、図４は、ステージ支持台を付けずアーム４で
垂直方向と水平角度を調整する場合の図、図５は、ステ
ージ支持台３に関節機構８を持たせて水平角度を調整す
る場合の図、図６は、ステージ２を２つに分割し、その
ステージを回転させる事で水平角度を調整する図であ
る。
上用いて水平角度を調整する場合の図、図２は、アーム
４を２本用いて水平角度を調整する場合の図、図３は、
アーム４を１本用いて水平角度を調整する場合の図であ
る。また、図４は、ステージ支持台を付けずアーム４で
垂直方向と水平角度を調整する場合の図、図５は、ステ
ージ支持台３に関節機構８を持たせて水平角度を調整す
る場合の図、図６は、ステージ２を２つに分割し、その
ステージを回転させる事で水平角度を調整する図であ
る。
【０００８】図１において、ステージ２に、シリンダー
または、モーターなどで上下に動作するアーム４をステ
ージ２に等間隔に３本以上取り付ける。プローブカード
５が水平でない時、３本以上のアーム４が上下に動作す
ることにより、プローブカード５と平行になるように自
由に角度を調整する事が出来る（図１（ｃ））。この
時、ステージ２の中心の位置は一定である。
または、モーターなどで上下に動作するアーム４をステ
ージ２に等間隔に３本以上取り付ける。プローブカード
５が水平でない時、３本以上のアーム４が上下に動作す
ることにより、プローブカード５と平行になるように自
由に角度を調整する事が出来る（図１（ｃ））。この
時、ステージ２の中心の位置は一定である。
【０００９】図２において、ステージ２の中心を対象に
シリンダーまたはモーターなどで上下に動作するアーム
４を２本取り付ける。プローブカード５が水平でない
時、アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持
台７ごと回転方向に最大１８０゜回転動作することによ
り、プローブカード５と平行になるように自由に角度を
調整する事が出来る（図２（ｃ））。この時、ステージ
２の中心の位置は一定である。
シリンダーまたはモーターなどで上下に動作するアーム
４を２本取り付ける。プローブカード５が水平でない
時、アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持
台７ごと回転方向に最大１８０゜回転動作することによ
り、プローブカード５と平行になるように自由に角度を
調整する事が出来る（図２（ｃ））。この時、ステージ
２の中心の位置は一定である。
【００１０】図３において、ステージ２に１本だけアー
ム４を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に最大３６０゜回転動作することにより、
プローブカード５と平行になるように自由に角度を付け
る事が出来る（図３（ｃ））。この時、ステージ２の中
心の位置は一定である。
ム４を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に最大３６０゜回転動作することにより、
プローブカード５と平行になるように自由に角度を付け
る事が出来る（図３（ｃ））。この時、ステージ２の中
心の位置は一定である。
【００１１】図４において、ステージ２にアーム４を２
本以上等間隔に取り付け、支持台７ごと垂直方向、回転
方向へ動作するようなシリンダーまたはモーターなどの
機構を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に動作する事によって、プローブカード５
と平行になるように自由に角度を付けることが出来る
（図４（ｃ））。図１から図３までとの違いは、ステー
ジ２の中心の位置が一定でない事である。
本以上等間隔に取り付け、支持台７ごと垂直方向、回転
方向へ動作するようなシリンダーまたはモーターなどの
機構を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に動作する事によって、プローブカード５
と平行になるように自由に角度を付けることが出来る
（図４（ｃ））。図１から図３までとの違いは、ステー
ジ２の中心の位置が一定でない事である。
【００１２】図５において、上記の実施例のようなアー
ム４を用いないで、ステージ支持台３に関節機構８を取
り付ける。その関節機構８をモーターなどで水平方向に
動作するようにし、プローブカード５が水平でない時、
関節機構８をモーターなどで動作させ、更に、ステージ
支持台３を最大３６０゜回転方向に動作させることによ
り、ステージ２をプローブカード５に平行になるように
自由に角度をつけることが出来る（図５（ｃ））。
ム４を用いないで、ステージ支持台３に関節機構８を取
り付ける。その関節機構８をモーターなどで水平方向に
動作するようにし、プローブカード５が水平でない時、
関節機構８をモーターなどで動作させ、更に、ステージ
支持台３を最大３６０゜回転方向に動作させることによ
り、ステージ２をプローブカード５に平行になるように
自由に角度をつけることが出来る（図５（ｃ））。
【００１３】図６において、図６（ｂ）のようにステー
ジをステージＡ２’、ステージＢ２”の２つに斜めに分
け、ステージＡ２’が回転することにより、切断面が斜
めなためステージの水平角度が調整でき、プローブカー
ド５とステージとが平行になるように調整できる （図
６（ｃ））。
ジをステージＡ２’、ステージＢ２”の２つに斜めに分
け、ステージＡ２’が回転することにより、切断面が斜
めなためステージの水平角度が調整でき、プローブカー
ド５とステージとが平行になるように調整できる （図
６（ｃ））。
【００１４】以上のような実施例において、プローブカ
ード５とステージ２の水平角度を調整することにより、
プローブカード５の取り付け精度を考慮しないプロービ
ングが提供でき、テスタヘッドとウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事が出来る。
ード５とステージ２の水平角度を調整することにより、
プローブカード５の取り付け精度を考慮しないプロービ
ングが提供でき、テスタヘッドとウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事が出来る。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、プロ
ーブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプロービ
ングが提供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広が
りを防ぐ事が出来る。
ーブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプロービ
ングが提供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広が
りを防ぐ事が出来る。
【図１】本発明においてアームを３本以上用いて水平角
度調整を行なうウエハプローバのステージ部図。（ａ）
は、斜視図。（ｂ）は、側面図。（ｃ）は、動作説明
図。
度調整を行なうウエハプローバのステージ部図。（ａ）
は、斜視図。（ｂ）は、側面図。（ｃ）は、動作説明
図。
【図２】本発明においてアームを２本用いて水平角度調
整を行なうウエハプローバのステージ部図。（ａ）は、
斜視図。（ｂ）は、側面図。（ｃ）は、動作説明図。
整を行なうウエハプローバのステージ部図。（ａ）は、
斜視図。（ｂ）は、側面図。（ｃ）は、動作説明図。
【図３】本発明においてアームを１本用いて水平角度調
整を行なうウエハプローバのステージ部図。（ａ）は、
斜視図。（ｂ）は、側面図。（ｃ）は、動作説明図。
整を行なうウエハプローバのステージ部図。（ａ）は、
斜視図。（ｂ）は、側面図。（ｃ）は、動作説明図。
【図４】本発明においてステージ支持台を付けずアーム
で垂直方向と水平角度の調整を行なうウエハプローバの
ステージ部図。（ａ）は、斜視図。（ｂ）は、側面図。
（ｃ）は、動作説明図。
で垂直方向と水平角度の調整を行なうウエハプローバの
ステージ部図。（ａ）は、斜視図。（ｂ）は、側面図。
（ｃ）は、動作説明図。
【図５】本発明においてステージ支持台に関節機構を持
たせてステージの水平角度調整を行なうウエハプローバ
のステージ部図。（ａ）は、斜視図。（ｂ）は、側面
図。（ｃ）は、動作説明図。
たせてステージの水平角度調整を行なうウエハプローバ
のステージ部図。（ａ）は、斜視図。（ｂ）は、側面
図。（ｃ）は、動作説明図。
【図６】本発明において、ステージを２つに分割し、そ
のステージを回転させる事で水平角度調整を行なうウエ
ハプローバのステージ部図。（ａ）は、斜視図。（ｂ）
は、側面図。（ｃ）は、動作説明図。
のステージを回転させる事で水平角度調整を行なうウエ
ハプローバのステージ部図。（ａ）は、斜視図。（ｂ）
は、側面図。（ｃ）は、動作説明図。
１ ・・・ウエハ ２ ・・・ステージ ２’・・・ステージＡ ２”・・・ステージＢ ３ ・・・ステージ支持台 ４ ・・・アーム ５ ・・・プローブカード ６ ・・・プローブ針 ７ ・・・支持台 ８ ・・・関節機構
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハのプローブ測定
に用いられるウエハプローバに関するものである。
に用いられるウエハプローバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハプローバのステージは、ス
テージ動作が水平方向、回転方向、垂直方向の動作しか
なく、ステージとプローブカードが平行でないときは、
プローブカードをステージ側の角度に合わせていた。そ
のため、プローブカード側で取り付け精度を考慮しなけ
ればならず、今後、高周波測定が要求されるウエハプロ
ーバにおいてプローブカード側で取り付け精度を考慮す
る事は、測定装置とウエハとの距離を広げることにな
り、高速ＩＣの正確な測定が困難になる。
テージ動作が水平方向、回転方向、垂直方向の動作しか
なく、ステージとプローブカードが平行でないときは、
プローブカードをステージ側の角度に合わせていた。そ
のため、プローブカード側で取り付け精度を考慮しなけ
ればならず、今後、高周波測定が要求されるウエハプロ
ーバにおいてプローブカード側で取り付け精度を考慮す
る事は、測定装置とウエハとの距離を広げることにな
り、高速ＩＣの正確な測定が困難になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明はステ
ージに水平角度の調整機構を持たせる事で、プローブカ
ードとステージが平行でないとき、ステージ側で調整し
てプローブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプ
ロービングを提供し、測定装置とウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事を目的にする。
ージに水平角度の調整機構を持たせる事で、プローブカ
ードとステージが平行でないとき、ステージ側で調整し
てプローブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプ
ロービングを提供し、測定装置とウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事を目的にする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明はステージ側にステージの水平角度を調整す
る機構を取り付ける事を特徴とする。
め、本発明はステージ側にステージの水平角度を調整す
る機構を取り付ける事を特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明の上記の機構により、プローブカードと
ステージが平行でないとき、ステージ側で水平角度をプ
ローブカードに平行になるよう調整することで、プロー
ブカードの取り付け精度を考慮しないプロービングが提
供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防ぐ
事が出来る。
ステージが平行でないとき、ステージ側で水平角度をプ
ローブカードに平行になるよう調整することで、プロー
ブカードの取り付け精度を考慮しないプロービングが提
供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防ぐ
事が出来る。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。
明する。
【０００７】図１は、本発明においてアーム４を３本以
上用いて水平角度を調整する場合の図、図２は、アーム
４を２本用いて水平角度を調整する場合の図、図３は、
アーム４を１本用いて水平角度を調整する場合の図であ
る。また、図４は、ステージ支持台を付けずアーム４で
垂直方向と水平角度を調整する場合の図、図５は、ステ
ージ支持台３に関節機構８を持たせて水平角度を調整す
る場合の図、図６は、ステージ２を２つに分割し、その
ステージを回転させる事で水平角度を調整する図であ
る。
上用いて水平角度を調整する場合の図、図２は、アーム
４を２本用いて水平角度を調整する場合の図、図３は、
アーム４を１本用いて水平角度を調整する場合の図であ
る。また、図４は、ステージ支持台を付けずアーム４で
垂直方向と水平角度を調整する場合の図、図５は、ステ
ージ支持台３に関節機構８を持たせて水平角度を調整す
る場合の図、図６は、ステージ２を２つに分割し、その
ステージを回転させる事で水平角度を調整する図であ
る。
【０００８】図１において、ステージ２に、シリンダー
または、モーターなどで上下に動作するアーム４をステ
ージ２に等間隔に３本以上取り付ける。プローブカード
５が水平でない時、３本以上のアーム４が上下に動作す
ることにより、プローブカード５と平行になるように自
由に角度を調整する事が出来る（図１（ｃ））。この
時、ステージ２の中心の位置は一定である。
または、モーターなどで上下に動作するアーム４をステ
ージ２に等間隔に３本以上取り付ける。プローブカード
５が水平でない時、３本以上のアーム４が上下に動作す
ることにより、プローブカード５と平行になるように自
由に角度を調整する事が出来る（図１（ｃ））。この
時、ステージ２の中心の位置は一定である。
【０００９】図２において、ステージ２の中心を対象に
シリンダーまたはモーターなどで上下に動作するアーム
４を２本取り付ける。プローブカード５が水平でない
時、アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持
台７ごと回転方向に最大１８０゜回転動作することによ
り、プローブカード５と平行になるように自由に角度を
調整する事が出来る（図２（ｃ））。この時、ステージ
２の中心の位置は一定である。
シリンダーまたはモーターなどで上下に動作するアーム
４を２本取り付ける。プローブカード５が水平でない
時、アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持
台７ごと回転方向に最大１８０゜回転動作することによ
り、プローブカード５と平行になるように自由に角度を
調整する事が出来る（図２（ｃ））。この時、ステージ
２の中心の位置は一定である。
【００１０】図３において、ステージ２に１本だけアー
ム４を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に最大３６０゜回転動作することにより、
プローブカード５と平行になるように自由に角度を付け
る事が出来る（図３（ｃ））。この時、ステージ２の中
心の位置は一定である。
ム４を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に最大３６０゜回転動作することにより、
プローブカード５と平行になるように自由に角度を付け
る事が出来る（図３（ｃ））。この時、ステージ２の中
心の位置は一定である。
【００１１】図４において、ステージ２にアーム４を２
本以上等間隔に取り付け、支持台７ごと垂直方向、回転
方向へ動作するようなシリンダーまたはモーターなどの
機構を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に動作する事によって、プローブカード５
と平行になるように自由に角度を付けることが出来る
（図４（ｃ））。図１から図３までとの違いは、ステー
ジ２の中心の位置が一定でない事である。
本以上等間隔に取り付け、支持台７ごと垂直方向、回転
方向へ動作するようなシリンダーまたはモーターなどの
機構を取り付ける。プローブカード５が水平でない時、
アーム４が上下に動作し、また、ステージ２が支持台７
ごと回転方向に動作する事によって、プローブカード５
と平行になるように自由に角度を付けることが出来る
（図４（ｃ））。図１から図３までとの違いは、ステー
ジ２の中心の位置が一定でない事である。
【００１２】図５において、上記の実施例のようなアー
ム４を用いないで、ステージ支持台３に関節機構８を取
り付ける。その関節機構８をモーターなどで水平方向に
動作するようにし、プローブカード５が水平でない時、
関節機構８をモーターなどで動作させ、更に、ステージ
支持台３を最大３６０゜回転方向に動作させることによ
り、ステージ２をプローブカード５に平行になるように
自由に角度をつけることが出来る（図５（ｃ））。
ム４を用いないで、ステージ支持台３に関節機構８を取
り付ける。その関節機構８をモーターなどで水平方向に
動作するようにし、プローブカード５が水平でない時、
関節機構８をモーターなどで動作させ、更に、ステージ
支持台３を最大３６０゜回転方向に動作させることによ
り、ステージ２をプローブカード５に平行になるように
自由に角度をつけることが出来る（図５（ｃ））。
【００１３】図６において、図６（ｂ）のようにステー
ジをステージＡ２’、ステージＢ２”の２つに斜めに分
け、ステージＡ２’が回転することにより、切断面が斜
めなためステージの水平角度が調整でき、プローブカー
ド５とステージとが平行になるように調整できる（図６
（ｃ））。
ジをステージＡ２’、ステージＢ２”の２つに斜めに分
け、ステージＡ２’が回転することにより、切断面が斜
めなためステージの水平角度が調整でき、プローブカー
ド５とステージとが平行になるように調整できる（図６
（ｃ））。
【００１４】以上のような実施例において、プローブカ
ード５とステージ２の水平角度を調整することにより、
プローブカード５の取り付け精度を考慮しないプロービ
ングが提供でき、テスタヘッドとウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事が出来る。
ード５とステージ２の水平角度を調整することにより、
プローブカード５の取り付け精度を考慮しないプロービ
ングが提供でき、テスタヘッドとウエハの物理的距離の
広がりを防ぐ事が出来る。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、プロ
ーブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプロービ
ングが提供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広が
りを防ぐ事が出来る。
ーブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプロービ
ングが提供でき、測定装置とウエハの物理的距離の広が
りを防ぐ事が出来る。
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハの測定に用いられるウエハプロー
バにおいて、ウエハ保持部であるステージの水平角度調
整を可能とする事を特徴とするウエハプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27421691A JPH05144892A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | ウエハプローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27421691A JPH05144892A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | ウエハプローバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05144892A true JPH05144892A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=17538650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27421691A Pending JPH05144892A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | ウエハプローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05144892A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6501289B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-12-31 | Tokyo Electron Limited | Inspection stage including a plurality of Z shafts, and inspection apparatus |
| US6583614B2 (en) | 2000-06-15 | 2003-06-24 | Tokyo Electron Limited | Inspection stage and inspection apparatus having a plurality of Z axes |
| WO2004010153A3 (en) * | 2002-07-18 | 2004-06-03 | James E Orsillo | Probe device cleaner and method |
| US6774621B2 (en) | 2000-06-15 | 2004-08-10 | Tokyo Electron Limited | Inspection stage having a plurality of Z axes |
| US6813817B2 (en) | 2000-09-15 | 2004-11-09 | James Orsillo | Method of using a replacement headplate to adapt a probe station |
| US6839948B2 (en) | 2000-09-15 | 2005-01-11 | James Orsillo | Tooling plate adapted to facilitate rapid and precise attachment into a probing station |
| US7053646B2 (en) | 2000-09-15 | 2006-05-30 | Orsillo James F | Apparatus and method for use in testing a semiconductor wafer |
| JP2021510454A (ja) * | 2018-01-19 | 2021-04-22 | セミックス インコーポレイテッドＳｅｍｉｃｓ Ｉｎｃ． | ウェハプローバ |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP27421691A patent/JPH05144892A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6501289B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-12-31 | Tokyo Electron Limited | Inspection stage including a plurality of Z shafts, and inspection apparatus |
| US6583614B2 (en) | 2000-06-15 | 2003-06-24 | Tokyo Electron Limited | Inspection stage and inspection apparatus having a plurality of Z axes |
| US6774621B2 (en) | 2000-06-15 | 2004-08-10 | Tokyo Electron Limited | Inspection stage having a plurality of Z axes |
| US6813817B2 (en) | 2000-09-15 | 2004-11-09 | James Orsillo | Method of using a replacement headplate to adapt a probe station |
| US6839948B2 (en) | 2000-09-15 | 2005-01-11 | James Orsillo | Tooling plate adapted to facilitate rapid and precise attachment into a probing station |
| US7053646B2 (en) | 2000-09-15 | 2006-05-30 | Orsillo James F | Apparatus and method for use in testing a semiconductor wafer |
| US7389572B2 (en) | 2000-09-15 | 2008-06-24 | Orsillo James E | Method of retrofitting a probe station |
| WO2004010153A3 (en) * | 2002-07-18 | 2004-06-03 | James E Orsillo | Probe device cleaner and method |
| JP2021510454A (ja) * | 2018-01-19 | 2021-04-22 | セミックス インコーポレイテッドＳｅｍｉｃｓ Ｉｎｃ． | ウェハプローバ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60150645A (ja) | 集束電磁エネルギビームの位置決め方法及び装置 | |
| JP3081174B2 (ja) | 真円度測定機及びその検出器感度校正方法 | |
| US6161294A (en) | Overhead scanning profiler | |
| JPH05144892A (ja) | ウエハプローバ | |
| US3999866A (en) | Wafer test system with integrated calibration | |
| JP3887188B2 (ja) | プローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法 | |
| JPH0265150A (ja) | プローブカードの自動位置合せ方法 | |
| JPH07229811A (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置 | |
| JPS63155616A (ja) | 回路印刷用縮小対物レンズの一体的な測定装置 | |
| JPS6336241Y2 (ja) | ||
| JP3401400B2 (ja) | 直径測定方法および直径測定装置 | |
| CN222189469U (zh) | 一种角度可调的激光标定仪 | |
| JP3940819B2 (ja) | 半導体ウェーハの表面形状測定装置および表面形状測定方法 | |
| JP2518729Y2 (ja) | 工具の測定装置 | |
| JPH08226926A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
| JP2816709B2 (ja) | 低温用プローバ | |
| JP2001074402A (ja) | 板厚測定方法および装置 | |
| JPH1177461A (ja) | 切削装置 | |
| JPS6350034A (ja) | プロ−バ装置 | |
| JPH03113304A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH10253334A (ja) | 真円度測定機および真円度測定機の被測定物位置決め方法 | |
| JPH08330371A (ja) | プローブ検査装置及び検査方法 | |
| JP2600501Y2 (ja) | 加工機用の間隔測定装置 | |
| KR200205134Y1 (ko) | 반도체 프로브 홀더 수평측정장치 | |
| JP2525565Y2 (ja) | 測量機の求心移動装置 |