JPH03290940A - プロービングマシンのウエハ載置台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハ上のＩＣの電気的特性を検査するプロー
ビングマシンに係り、特にウェハの種類に応じて交換さ
れるプローブカードを備えたプロービングマシンに関ス
ル。

〔従来の技術〕

プロービングマシンには、絶縁基板に触針を備えたプロ
ーブカードを使用するものがあり、このプローブカード
は予め数種類用意され、検査されるウェハに合ったプロ
ーブカードが測定部に取付けられて用いられる。

プローブカードは、触針がウェハ上のＩＣのボンディン
グパッドに接触し、ＩＣテスタにその測定信号を送るよ
うになっている。従って、プローブカードの触針は測定
時にはウェハ上のＩＣのボンディングパッドに正確に且
つ所定の接触圧で接触していることが必要である。

〔発明が解決しようとする課題〕

方、ＩＣの高性能化に伴い、ウェハの径も大きくなり、
これに応じてプローブカードの寸法も大きくなる。プロ
ーブカードの寸法が大きくなると、プローブカードがわ
ずかに傾いても傾斜量は大きくなり、触針に十分な接触
圧が得られず、測定不良となる場合がある。この為、従
来のプロービングマシンでは、プローブカードの傾斜補
正をプローブカードの取付部を操作して行っているが、
調整に手間取る欠点があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、プ
ローブカードの触針とウエノ＼のＩＣ上のボンディング
パッドとの接触が容易に確実に得られるプロービングマ
シンを提案することを目的としている。

〔課題を解決する為の手段〕

本発明は、前記目的を達成する為に、Ｘ方向、Ｙ方向及
び２方向（上下方向〉に移動自在でウェハを載置して測
定部に移送するウェハ載置台と、ウェハの種類に応じて
予め備えられウニ／％上のＩＣのボンディングパッドと
接触する触針を有し、プロービングマシン本体に取付け
られると共にＩＣテスタと接続されたプローブカードと
、を有するプロービングマシンに於いて、前記載置台は
、プローブカードの傾斜量に応じて傾斜補正可能である
ことを特徴としている。

〔作用〕 本発明は、ウェハ載置台が傾斜補正機能を有しているの
で、プローブカードの傾斜に対しては簡単にウェハ載置
台を傾斜補正することにより対応でき、プローブカード
の触針とウエノ＼上のＩＣのボンディングパッドとの接
触は確実になされる。

〔実施例〕

以下、添付図面に従って本発明に係るプロービングマシ
ンの好ましい実施例を詳説する。

第１図は本発明が適用されるプロービングマシンの平面
図である。第１図に示すように、プロービングマシンは
、ウェハを吸引固着するウエノ翫チャック１０、ウェハ
載置台１２、ウエノ＼の位置決めを行うプリアライメン
ト装置１４、プローブカード２８が取付けられてウエノ
＼の電気的特性の検査を行う測定部１６等から構成され
ている。

第１図に示すカセット１８に収納されたウエノ飄２２は
、搬送ベルト２０で矢印方向に１枚ずつ導かれ、プリア
ライメント装置１４によって一定方向に揃えた状態でＡ
位置に位置決めされる。位置決めされたウェハ２２は搬
送アーム２４により、Ａ位置からＢ位置へと搬送される
。更に、Ｂ位置へ移動されたウェハ２２はウエノ＼チャ
ック１０に真空吸着され、ウェハ載置台１２によって測
定部１６に移送される。

第２図（Ａ）、（Ｂ）はウェハ載置台１２の構造が示さ
れている。ウェハ載置台１２は、下からＸ−Ｙステージ
５０、傾斜補正機構５２、Ｚステージ５４、Ｚステージ
の上面に形成されたウエノ＼チャックｌＯから構成され
ている。Ｘ−Ｙステージ５０はねじ送り機構等の公知の
構造によりＸ−Ｙ方向に移動し、Ｚステージ５４はカム
機構等の公知の構造により上下方向に移動する。

傾斜補正機構の支持板５６の下面中央には半球５８が形
成され、この半球５８はＺ−Ｙステージ５０上に植立さ
れたポスト６０の球面座６２で支持され、従って支持板
５６は半球部５８を中心に任意の方向に傾斜可能である
。ポスト６０の周りには、上下棒６４．６４．６４が設
けられ、この上下棒６４はモータ等の上下送り機構６６
により駆動される。尚、６８．６８．６８はばねである
。

前記の如く構成した本発明に係るプロービングマシンの
作用を説明する。

プローブカード２８がプローブソケットに接続された後
、第１図に示すようにウェハチャックｌＯはＢ位置に移
動し、被検査品であるウェハ２２を受けとり、Ｃ位置、
Ｄ位置の順に移動する。Ｃ位置では、ウェハの位置決め
が行われ、更に、Ｄ位置において、図示しない顕微鏡で
ウエノ＼の電極と触針２８Ａとが位置合わせされ、触針
２８Ａをウェハの各電極に接触させなからウェハの電気
的緒特性の検査が実施される。この時プローブカード２
８が傾斜し、触針２８Ａの接触が充分でない時は、傾斜
機構５２のいずれかの上下棒６４を上下動し、プローブ
カード２８の傾斜面にウェハ載置台１２の載置面を合わ
せ、触針２８Ａを確実に接触させる。

プローブカードをプローブソケットに取付けるのには、
マニュアル操作でも、自動装置でもよいが、本発明では
マニュアル操作に特に有効である。

またウェハの搬送を行うウェハチャック１０を利用して
プローブカード２８を測定部１６に搬送及び接続するよ
うにしてもよい。これにより、プローブカードの搬送手
段を別個に設ける必要がなくなり、装置の簡略化を図る
ことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るプロービングマシンに
よれば、ウェハ載置台に傾斜補正機構を設けたので、プ
ローブカードの傾斜量に応じてウェハ載置面を傾けるこ
とが出来、プローブカードの触針を正確にウェハ上のＩ
Ｃに接触させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプロービングマシンの平面図、第
２図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の要部を示す説明図である
。 １０・・・ウェハチャック、　　１２・・・ウェハ載置
台、１６・・・測定部、　　　　　　２２・・・ウェハ
２８・・・プローブカード、５２・・・傾斜補正機構、
５８・・・半球部、６２・・・球面座、６４・・・上下
棒。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向（上下方向）に移動自在で
   ウェハを載置して測定部に移送するウェハ載置台と、ウ
   ェハの種類に応じて予め備えられウェハ上のＩＣのボン
   ディングパッドと接触する触針を有し、プロービングマ
   シン本体に取付けられると共にＩＣテスタと接続された
   プローブカードと、を有するプロービングマシンに於い
   て、前記載置台は、プローブカードの傾斜量に応じて傾
   斜補正可能であることを特徴とするプロービングマシン
   のウェハ載置台。