[go: up one dir, main page]

JP4444570B2 - 検出装置、検出方法、及びプログラム - Google Patents

検出装置、検出方法、及びプログラム Download PDF

Info

Publication number
JP4444570B2
JP4444570B2 JP2003026866A JP2003026866A JP4444570B2 JP 4444570 B2 JP4444570 B2 JP 4444570B2 JP 2003026866 A JP2003026866 A JP 2003026866A JP 2003026866 A JP2003026866 A JP 2003026866A JP 4444570 B2 JP4444570 B2 JP 4444570B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
change point
unit
timing
signal level
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003026866A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004264046A (ja
Inventor
優 土井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP2003026866A priority Critical patent/JP4444570B2/ja
Priority to PCT/JP2004/001106 priority patent/WO2004070406A1/ja
Priority to DE112004000274T priority patent/DE112004000274T5/de
Priority to KR1020057013899A priority patent/KR101037479B1/ko
Publication of JP2004264046A publication Critical patent/JP2004264046A/ja
Priority to US11/191,421 priority patent/US7640127B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4444570B2 publication Critical patent/JP4444570B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/3193Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
    • G01R31/31932Comparators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31922Timing generation or clock distribution
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31924Voltage or current aspects, e.g. driver, receiver

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Manipulation Of Pulses (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定信号の信号レベルの変化点を検出する検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体回路等の電子デバイスの試験として、電子デバイスが出力する出力信号を測定し、電子デバイスが期待値通りの出力信号を出力するか否かを測定する試験がある。このとき、電子デバイスを試験する試験装置は、出力信号の値がどのタイミングでどのように変化したかを測定する。
【0003】
試験装置は、出力信号の値の変化点を測定するために、エッジストローブと呼ばれる測定を行っている。エッジストローブは、位相を順次ずらしたストローブを生成し、生成したストローブのタイミングにおける出力信号の信号レベルを順次検出する測定である(例えば、特許文献1参照)。これにより、位相の異なる複数のタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出し、出力信号の値の変化点を検出し、信号レベルが変化するタイミング、及び信号レベルがどのように変化したかを測定している。
【0004】
上述したエッジストローブにおける信号レベルの検出は、出力信号を受け取り、ストローブを動作クロックとするコンパレータによって行われる。コンパレータは、ストローブが示すタイミングにおける出力信号の信号レベルと所定の閾値とを比較し、信号レベルがHレベル又はLレベルのいずれであるかを検出する。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−356153号公報(第7頁、第15−16図)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来の試験装置は、上述したような方法で、出力信号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジのタイミングを検出している。しかし、出力信号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジを上述した従来の方法で測定した場合、両者の測定結果に誤差が生じる場合がある。例えば、同一のタイミングで値が変化する立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとを測定した場合であっても、両者の測定結果が同一とならない場合がある。
【0007】
上述した誤差が生じる原因として、出力信号の信号レベルの検出に用いられるコンパレータのヒステリシス特性が考えられる。つまり、コンパレータがHレベルを検出するために出力信号と比較する閾値と、Lレベルを検出するために出力信号と比較する閾値とは異なるため、LレベルからHレベルに変化する立ち上がりエッジのタイミングと、HレベルからLレベルに変化する立ち下がりエッジのタイミングとを測定した場合に、両者の間に測定誤差が生じてしまう。
【0008】
また、他の原因として、出力信号が試験装置内の論理回路、バッファ等を通過する場合における、立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとの伝搬遅延時間の差異等も考えられる。
【0009】
このように、様々な原因により、上述した測定誤差が生じる。より高速動作を行うデバイスを試験するためには、このような測定誤差を低減することが望ましい。しかし、このような測定誤差を低減するために、試験装置内の回路特性を調整した場合であっても、当該測定誤差を十分に低減することは困難であり、またそのような補正回路を作成することは困難である。また、設計コスト等を考慮しても好ましくない。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出する検出装置であって、出力信号を受け取り、変化点を検出する変化点検出部と、出力信号における、変化点より前又は後における出力信号の信号レベルを検出する信号レベル検出部と、信号レベル検出部が検出した出力信号の信号レベルに基づいて、変化点検出部が検出した変化点のタイミングを補正する補正部とを備えることを特徴とする検出装置を提供する。
【0011】
信号レベル検出部は、変化点から予め定められた時間離れたタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出してよい。また、信号レベル検出部が検出した信号レベルに基づいて、変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれを示すかを判定するエッジ種判定部を更に備え、補正部は、エッジ種判定部における判定結果に基づいて、変化点検出部が検出した変化点のタイミングを補正してよい。
【0012】
立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジのそれぞれに対応する複数の補正値を格納する補正値格納部を更に備え、補正部は、エッジ種判定部における判定結果に応じた補正値を用いて変化点のタイミングを補正してよい。また、予め定められた補正値を格納する補正値格納部を更に備え、補正部は、エッジ種判定部における判定結果が予め定められた結果である場合に、補正値格納部が格納した補正値を用いて変化点のタイミングを補正してもよい。
【0013】
ストローブ信号を順次遅延させて出力する、カスケード接続された複数の可変遅延回路を有し、位相の異なる複数のタイミングを示す複数のストローブを生成するマルチストローブ生成部を更に備え、信号レベル検出部は、可変遅延回路に対応して設けられ、対応する可変遅延回路が出力するストローブ信号のタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出する複数の比較器を有し、複数のストローブが示す複数のタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出し、変化点検出部は、複数のタイミングにおける複数の信号レベルにおいて、隣接するタイミングにおける2つの信号レベルが異なる場合に、変化点を検出し、エッジ種判定部は、信号レベル検出部が検出した複数の信号レベルのうち、変化点より前又は後ろのタイミングにおける信号レベルを受け取り、受け取った信号レベルに基づいて変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれを示すかを判定してよい。
【0014】
変化点検出部は、隣接するタイミングにおける2つの信号レベルを受け取り、対応する2つの信号レベルが異なる場合にH論理を出力する複数の排他論理和回路と、複数の排他論理和回路の出力結果に基づいて、変化点のタイミングを示すエンコード信号を生成するエンコーダとを有してよい。
【0015】
補正部は、エンコード信号を受け取り、エンコード信号に補正値を加算した補正信号を出力する加算部と、エンコード信号及び補正信号を受け取り、エッジ種判定部における判定結果に応じて、エンコード信号又は補正信号のいずれかを、変化点のタイミングとして出力する選択部とを有してよい。
【0016】
エッジ種判定部は、エンコード信号に基づいて、変化点検出部が変化点を検出したか否かを更に判定し、選択部は、変化点検出部が変化点を検出したか否かに更に基づいて、エンコード信号又は補正信号のいずれかを選択して出力してよい。
【0017】
補正部は、変化点検出部が検出した変化点のタイミングと、エッジ種判定部が判定したエッジの種類とを対応付けて格納するフェイルメモリと、フェイルメモリが格納したエッジの種類に基づいて、対応する変化点のタイミングを補正する補正手段とを有してよい。
【0018】
本発明の第2の形態においては、電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出する検出方法であって、出力信号を受け取り、変化点を検出する変化点検出段階と、出力信号における、変化点より前又は後における出力信号の信号レベルを検出する信号レベル検出段階と、信号レベル検出段階において検出した出力信号の信号レベルに基づいて、変化点検出段階において検出した変化点のタイミングを補正する補正段階とを備えることを特徴とする検出方法を提供する。
【0019】
本発明の第3の形態においては、検出装置に、電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出させるプログラムであって、検出装置が、出力信号を受け取り、変化点を検出する変化点検出部と、出力信号における、変化点より前又は後における出力信号の信号レベルを検出する信号レベル検出部と、信号レベル検出部が検出した出力信号の信号レベルに基づいて、変化点検出部が検出した変化点のタイミングを補正する補正部として機能させることを特徴とするプログラムを提供する。
【0020】
尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又、発明となりうる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0022】
図1は、本発明の実施形態に係る検出装置100の構成の一例を示す。検出装置100は、被測定デバイス(DUT)である電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出し、検出した変化点のタイミングを補正する装置である。検出装置100は、複数のマルチストローブ回路(10a、10b)、複数のバッファ部(30a、30b)、複数の変化点検出部(34a、34b)、複数の補正値格納部(36a、36b)、複数の補正部(52a、52b)、複数のエッジ種判定部(54a、54b)、選択回路48、及びフェイルメモリ50を備える。
【0023】
マルチストローブ回路10aは、外部のコンパレータ60aを介して、電子デバイスが出力した出力信号を受け取る。コンパレータ60aは、出力信号と与えられた閾値ViHとを比較し、出力信号をHレベル及びLレベルの2値の信号に変換する。
【0024】
マルチストローブ回路10aは、マルチストローブ生成部14、信号レベル検出部12、及びカスケード接続された複数の遅延回路(16−1〜16−n)を有する。マルチストローブ生成部14は、カスケード接続された複数の可変遅延回路(20−1〜20−n)を有し、位相の異なる複数のタイミングを示す複数のストローブを生成する。それぞれの可変遅延回路(20−1〜20−n)は、外部又は前段の可変遅延回路からストローブ信号(STRBH)を受け取り、順次遅延させて出力することにより、位相の異なる複数のストローブ信号を有するマルチストローブを生成する。
【0025】
信号レベル検出部12は、複数の比較器(18−0〜18−n)を有し、マルチストローブ生成部14が生成したマルチストローブを用いて、複数のタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出する。比較器(18−1〜18−n)は、可変遅延回路(20−1〜20〜n)に対応して設けられ、対応する可変遅延回路(20−1〜20−n)が出力するストローブ信号のタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出する。また、比較器18−0は、マルチストローブ生成部14に与えられるストローブ信号が示すタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出する。
【0026】
複数の遅延回路(16−1〜16−n)は、比較器(18−1〜18−n)に対応して設けられる。複数の遅延回路(16−1〜16−n)は、出力信号SHを受け取り、順次遅延させて対応する比較器(18−1〜18−n)に供給する。それぞれの比較器(18−1〜18−n)は、受け取った出力信号の信号レベルを、対応する可変遅延回路(16−1〜16−n)が生成するストローブ信号に応じて検出する。それぞれの遅延回路(16−1〜16−n)における遅延量は、可変遅延回路(20−1〜20−n)におけるオフセット遅延量と略等しい遅延量に設定することが好ましい。これにより、可変遅延回路(20−1〜20−n)におけるオフセット遅延量により生じる、生成するべきストローブ信号のタイミングと、実際に生成されるストローブ信号のタイミングとの誤差を補償し、信号レベルを検出することができる。
【0027】
バッファ部30aは、複数の比較器(18−0〜18−n)に対応して設けられた複数の先入先出回路(32−0〜32−n)を有する。本例においては、先入先出回路32−nが比較器18−0に対応して設けられ、先入先出回路32−0が比較器18−nに対応して設けられる。複数の先入先出回路(32−0〜32−n)は、対応する比較器(18−0〜18−n)が検出した出力信号の信号レベルを受け取り、受け取った信号レベルをそれぞれ基準クロック(REF CLK)と同期させて順に出力する。
【0028】
変化点検出部34aは、バッファ部30aから受け取った出力信号の信号レベルに基づいて、出力信号の変化点を検出する。ここで、変化点とは、出力信号の信号レベルが、所定の閾値以下の信号レベルから所定の閾値以上の信号レベル、又は所定の閾値以上の信号レベルから所定の閾値以下の信号レベルに変化する点を指す。
【0029】
変化点検出部34aは、比較器(18−0〜18−n)が検出した、複数のタイミングにおける複数の信号レベルにおいて、隣接するタイミングにおける2つの信号レベルが異なる場合に、変化点を検出する。本例において、変化点検出部34aは、隣接するタイミングにおける2つの信号レベルを受け取り、対応する2つの信号レベルが異なる場合にH論理を出力する複数の排他論理和回路(56−0〜56−(n−1))と、複数の排他論理和回路(56−0〜56−(n−1))の出力結果に基づいて、変化点のタイミングを示すエンコード信号を生成するエンコーダ38aとを有する。例えば、エンコーダ38aは、複数の排他論理和回路(56−0〜56−(n−1))から出力されるnビットの信号を、2進数の信号に変換する。つまり、複数の排他論理和回路(56−0〜56−(n−1))が出力するnビットの信号は、H論理を示すビットの位置によって変化点のタイミングを示すが、エンコーダ38aは、当該nビットの信号を、変化点のタイミングを数値で表す信号に変換する。
【0030】
エッジ種判定部54aは、信号レベル検出部12が検出した信号レベルに基づいて、変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれを示すかを判定する。本例において、エッジ検出部54aは、先入先出回路32−nが受け取った信号レベルを、エッジ判定ビットとして受け取り、当該エッジ判定ビットに基づいて変化点のエッジ種を判定する。先入先出回路32−nは、比較器18−0が検出した信号レベル、すなわち変化点より前の信号レベルを受け取る。エッジ種判定部54aは、エッジ判定ビットがHレベルであれば、変化点が立ち下がりエッジであると判定し、エッジ判定ビットがLレベルであれば、変化点が立ち上がりエッジであると判定する。
【0031】
また、エッジ種判定部54aは、他の比較器18が検出した信号レベルをエッジ判定ビットとして用いてもよい。例えば、比較器18−0が検出した信号レベル、即ち変化点より後の信号レベルをエッジ判定ビットとして用いてもよい。この場合であっても同様に変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれであるかを判定することができる。
【0032】
補正部52aは、エッジ種判定部54aにおける変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれであるかの判定結果に基づいて、変化点検出部34aが検出した変化点のタイミングを補正する。つまり、補正部52aは、信号レベル検出部12が検出した、変化点より前又は後の信号レベルに基づいて、変化点検出部34aが検出した変化点のタイミングを補正する。
【0033】
補正値格納部36aは、補正部52aが変化点のタイミングを補正するための補正値を格納する。補正値格納部36aは、予め定められた一の補正値を格納してよく、また立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジのそれぞれに対応する複数の補正値を格納してもよい。補正値格納部36aが一の補正値を格納する場合、補正部52aは、エッジ種判定部54aにおける判定結果が予め定められた結果である場合に、補正値格納部36aが格納した補正値を用いて変化点のタイミングを補正する。補正値格納部36aが複数の補正値を格納する場合、補正部52aは、エッジ種判定部54aにおける判定結果に応じた補正値を用いて変化点のタイミングを補正する。本例においては、補正値格納部36aが一の補正値を格納する場合について説明する。
【0034】
補正部52aは、エンコード信号を受け取り、エンコード信号に補正値格納部36aが格納した補正値を加算した補正信号を出力する加算部40aと、エンコード信号及び補正信号を受け取り、エッジ種判定部54aにおける判定結果に応じて、エンコード信号又は補正信号のいずれかを、変化点のタイミングとして出力する選択部44aとを有する。本例において、選択部44aは、エッジ種判定部54aが立ち下がりエッジを検出した場合に、加算部40aにおいて補正値が加算された補正信号を出力し、エッジ種判定部54aが立ち上がりエッジを検出した場合に、エンコード信号を出力する。これにより、立ち上がりエッジのタイミングと立ち下がりエッジのタイミングとの相対的な誤差を補償することができる。
【0035】
また、エッジ種判定部54aは、エンコード信号に基づいて、変化点検出部34aが変化点を検出したか否かを更に判定し、選択部44aは、変化点検出部34aが変化点を検出したか否かに更に基づいて、エンコード信号又は補正信号のいずれかを選択して出力してもよい。この場合、エッジ種判定部54aは、検出部42a及び論理積回路46aを有する。
【0036】
変化点検出部34aにおいて変化点を検出しない場合、エンコーダ38aは零を示す信号を出力する。検出部42aは、エンコード信号を受け取り、エンコード信号が零を示すか否かを判定し、変化点検出部34aが変化点を検出したか否かを判定する。論理積回路46aは、エンコード信号が零でなく、且つ変化点が立ち下がりエッジである場合に選択部44aに補正信号を選択させ、エンコード信号が零であるか、又は変化点が立ち上がりエッジである場合に選択部44aにエンコード信号を選択させる。
【0037】
本例においては、補正値格納部36aに立ち下がりエッジに対応した補正値が格納されている場合について説明したが、補正値格納部36aが立ち上がりエッジに対応した補正値を格納した場合についても、同様の動作により変化点のタイミングを補正することができる。
【0038】
また、信号レベル検出部12は、変化点から予め定められた時間離れたタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出し、補正部52aは、変化点から予め定められた時間離れたタイミングにおける出力信号の信号レベルに基づいて、変化点のタイミングを補正してもよい。例えば、アナログの出力信号が与えられた場合に、変化点のタイミングと検出した信号レベルのタイミングとのタイミング差と、検出した信号レベルとに基づいて変化点の傾きを算出し、算出した傾きに基づいて、変化点のタイミングを補正してもよい。この場合、出力信号の周波数に応じて、出力信号の波形が変化する場合であっても、波形の傾きに更に基づいて、変化点のタイミングを補正することができる。
【0039】
また、マルチストローブ回路10b、バッファ部30b、変化点検出部34b、補正値格納部36b、エッジ種判定部54b、及び補正部52bは、マルチストローブ回路10a、バッファ部30a、変化点検出部34a、補正値格納部36a、エッジ種判定部54a、及び補正部52aと同一又は同様の機能及び構成を有する。マルチストローブ回路10bは、外部のコンパレータ60bを介して出力信号SLを受け取る。コンパレータ60bは、電子デバイスの出力信号を受け取り、出力信号と与えられた閾値ViLとを比較し、出力信号をHレベル及びLレベルの2値の信号に変換して出力する。本例において、コンパレータ60bは、閾値ViLとして、閾値ViHと略等しい値の信号が与えられ、コンパレータ60aが出力する出力信号に対して、略反転した出力信号を出力する。また、他の場合においては、閾値ViLと閾値ViHとは等しくなくともよい。
【0040】
選択回路48は、補正部52aが出力する変化点のタイミングとエッジ種判定部54aが出力する判定結果、又は補正部52bが出力する変化点のタイミングとエッジ種判定部54bが出力する判定結果のいずれかを選択し、フェイルメモリ50に格納する。
【0041】
以上説明したように、本例における検出装置100によれば、変化点が立ち上がりエッジである場合の変化点を検出するタイミングと、変化点が立ち下がりエッジである場合の変化点を検出するタイミングとの相対的な誤差を容易に補償することができる。
【0042】
図2は、フェイルメモリ50におけるデータ構成の一例を示す。フェイルメモリ50は、補正部52aが出力した変化点のタイミング(変化点コード)、変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれであるか、及び当該変化点が出力信号SH又は出力信号SLのいずれであるか(EXP)を対応付けて格納する。また、他の例においては、フェイルメモリ50は、変化点コードに代えてエンコーダ38が出力するエンコード信号を格納してもよい。この場合、検出装置100は、フェイルメモリ50が格納したエンコード信号が示す変化点のタイミングを、当該変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれであるかに基づいて補正する。例えば、検出装置100は、当該補正を行う補正手段として演算装置を更に備えてよい。
【0043】
図3は、電子デバイスが出力する出力信号の波形の一例を示す。電子デバイスが出力信号を出力した場合、当該出力信号はマルチストローブ回路10に入力されるまでに、論理回路、バッファ等の回路を通過する。このとき、出力信号は遅延されるが、出力信号の立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとでは遅延時間が異なる。例えば、立ち上がりエッジが時間T遅延され、立ち下がりエッジが時間T+α遅延される。このため、このまま出力信号を測定すると、電子デバイスがどのような波形を出力したかを精度よく測定することができない。図1において説明した検出装置100は、このようなエッジ種によるタイミングのずれを補正することにより、電子デバイスが出力した出力信号を精度よく測定することができる。
【0044】
また、比較器のヒステリシス特性により、エッジ種によって検出タイミングにずれが生じる場合もある。図1において説明した検出装置100はこのようなタイミングのずれをも補正することができる。
【0045】
図4は、図1において説明した検出装置100の動作の一例を示す。検出装置100は、まず電子デバイスから出力信号を受け取る(S300)。次に、マルチストローブ回路10においてマルチストローブを生成し、マルチストローブの複数のタイミングにおける出力信号の信号レベルを検出する(S302)。次に、変化点検出部34において、当該信号レベルに基づいて変化点を検出する(S304)。次に、変化点より前又は後のタイミングにおける信号レベルを検出し、変化点のエッジ種を判定する(S306)。本例において、S306では、複数の比較器(18−0〜18−n)のうち、最後段に設けられた比較器18−nが検出した信号レベルを用いて、変化点のエッジ種を判定する。次に、補正部52において、検出した信号レベル即ち変化点のエッジ種に基づいて変化点のタイミングを補正する(S308)。
【0046】
図5は、検出装置100を制御するコンピュータ200の構成の一例を示す。コンピュータ200は、検出装置100に、電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出させるためのプログラムに応じて、検出装置100を制御する。つまり、コンピュータ200は、検出装置100図1から図4において説明したように機能させるプログラムを格納する。コンピュータ200は、CPU700と、ROM702と、RAM704と、通信インターフェース706と、ハードディスクドライブ710と、FDディスクドライブ712と、CD−ROMドライブ716とを備える。CPU700は、ROM702、RAM704、ハードディスク710、FDディスク714、及び/又はCD−ROM718に格納されたプログラムに基づいて動作する。
【0047】
通信インターフェース706は、検出装置100と通信し、検出装置100を図1から図4において説明した検出装置100として機能させる。格納装置の一例としてのハードディスクドライブ710は、設定情報及びCPU700を動作させるプログラムを格納する。ROM702、RAM704、及び/又はハードディスクドライブ710は、検出装置100を図1から図4に関連して説明した検出装置100として機能させるためのプログラムを格納する。
【0048】
フレキシブルディスクドライブ712はフレキシブルディスク714からプログラムを読み取りCPU700に提供する。CD−ROMドライブ716はCD−ROM718からプログラムを読み取りCPU700に提供する。
【0049】
また、プログラムは記録媒体から直接RAMに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にRAMに読み出されて実行されても良い。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。
【0050】
プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、CD−ROMの他にも、DVD、PD等の光学記録媒体、MD等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ICカードやミニチュアーカードなどの半導体メモリー等を用いることができる。又、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはRAM等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。
【0051】
また、コンピュータ200は、図1及び図2において説明したフェイルメモリ50及び補正手段の機能を有していてもよい。例えば、コンピュータ200は、エンコーダ38が出力したエンコード信号を格納し、変化点のエッジ種に応じて格納したエンコード信号を補正してよい。この場合、コンピュータ200は、予め与えられた補正値によってエンコード信号を補正する。
【0052】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0053】
【発明の効果】
上記説明から明らかなように、本発明によれば電子デバイスの出力信号の変化点のタイミングを精度よく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る検出装置100の構成の一例を示す図である。
【図2】 フェイルメモリ50におけるデータ構成の一例を示す図である。
【図3】 電子デバイスが出力する出力信号の波形の一例を示す図である。
【図4】 図1において説明した検出装置100の動作の一例を示す図である。
【図5】 検出装置100を制御するコンピュータ200の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
10・・・マルチストローブ回路、12・・・信号レベル検出部、14・・・マルチストローブ生成部、16・・・遅延回路、18・・・比較器、20・・・可変遅延回路、30・・・バッファ部、32・・・先入先出回路、34・・・変化点検出部、36・・・補正値格納部、38・・・エンコーダ、40・・・加算部、42・・・検出部、44・・・選択部、46・・・論理積回路、48・・・選択回路、50・・・フェイルメモリ、52・・・補正部、54・・・エッジ種判定部、56・・・排他的論理和回路、60・・・コンパレータ、100・・・検出装置、200・・・コンピュータ、700・・・CPU、702・・・ROM、704・・・RAM、706・・・通信I/F、710・・・ハードディスクドライブ、712・・・FDドライブ、714・・・CD−ROMドライブ、720・・・フレキシブルディスク、722・・・CD−ROM

Claims (10)

  1. 電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出する検出装置であって、
    ストローブ信号を順次遅延させて出力する、カスケード接続された複数の可変遅延回路を有し、位相の異なる複数のタイミングを示す複数のストローブを生成するマルチストローブ生成部と、
    前記可変遅延回路に対応して設けられ、対応する前記可変遅延回路が出力する前記ストローブ信号のタイミングにおける前記出力信号の前記信号レベルを検出する複数の比較器を有し、前記複数のストローブが示す前記複数のタイミングにおける前記出力信号の前記信号レベルを検出する信号レベル検出部と、
    前記複数のタイミングにおける前記複数の信号レベルにおいて、隣接するタイミングにおける2つの前記信号レベルが異なる場合に、前記変化点を検出する変化点検出部と、
    前記信号レベル検出部が検出した前記複数の信号レベルのうち、前記変化点より前又は後ろのタイミングにおける前記信号レベルを受け取り、受け取った前記信号レベルに基づいて前記変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれを示すかを判定するエッジ種判定部と、
    前記エッジ種判定部における判定結果に基づいて、前記変化点検出部が検出した前記変化点のタイミングを補正する補正部と、
    を備えることを特徴とする検出装置。
  2. 前記信号レベル検出部は、前記変化点から予め定められた時間離れたタイミングにおける前記出力信号の信号レベルを検出することを特徴とする請求項1に記載の検出装置。
  3. 前記立ち上がりエッジ及び前記立ち下がりエッジのそれぞれに対応する複数の補正値を格納する補正値格納部を更に備え、
    前記補正部は、前記エッジ種判定部における判定結果に応じた前記補正値を用いて前記変化点のタイミングを補正することを特徴とする請求項1または2に記載の検出装置。
  4. 予め定められた前記補正値を格納する補正値格納部を更に備え、
    前記補正部は、前記エッジ種判定部における判定結果が予め定められた結果である場合に、前記補正値格納部が格納した前記補正値を用いて前記変化点のタイミングを補正することを特徴とする請求項に記載の検出装置。
  5. 前記変化点検出部は、
    前記隣接するタイミングにおける2つの前記信号レベルを受け取り、対応する2つの前記信号レベルが異なる場合にH論理を出力する複数の排他論理和回路と、
    複数の前記排他論理和回路の出力結果に基づいて、前記変化点のタイミングを示すエンコード信号を生成するエンコーダと
    を有することを特徴とする請求項3または4に記載の検出装置。
  6. 前記補正部は、
    前記エンコード信号を受け取り、前記エンコード信号に前記補正値を加算した補正信号を出力する加算部と、
    前記エンコード信号及び前記補正信号を受け取り、前記エッジ種判定部における判定結果に応じて、前記エンコード信号又は前記補正信号のいずれかを、前記変化点のタイミングとして出力する選択部と
    を有することを特徴とする請求項に記載の検出装置。
  7. 前記エッジ種判定部は、前記エンコード信号に基づいて、前記変化点検出部が前記変化点を検出したか否かを更に判定し、
    前記選択部は、前記変化点検出部が前記変化点を検出したか否かに更に基づいて、前記エンコード信号又は前記補正信号のいずれかを選択して出力することを特徴とする請求項に記載の検出装置。
  8. 前記補正部は、
    前記変化点検出部が検出した前記変化点のタイミングと、前記エッジ種判定部が判定したエッジの種類とを対応付けて格納するフェイルメモリと、
    前記フェイルメモリが格納した前記エッジの種類に基づいて、対応する前記変化点のタイミングを補正する補正手段と
    を有することを特徴とする請求項に記載の検出装置。
  9. 電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出する検出方法であって、
    ストローブ信号を順次遅延させて出力する、カスケード接続された複数の可変遅延回路を利用して、位相の異なる複数のタイミングを示す複数のストローブを生成するマルチストローブ生成段階と、
    前記可変遅延回路に対応して設けられ、対応する前記可変遅延回路が出力する前記ストローブ信号のタイミングにおける前記出力信号の前記信号レベルを検出する複数の比較器を利用して、前記複数のストローブが示す前記複数のタイミングにおける前記出力信号の信号レベルを検出する信号レベル検出段階と、
    前記複数のタイミングにおける前記複数の信号レベルにおいて、隣接するタイミングにおける2つの前記信号レベルが異なる場合に、前記変化点を検出する変化点検出段階と、
    前記信号レベル検出段階で検出した前記複数の信号レベルのうち、前記変化点より前又は後ろのタイミングにおける前記信号レベルを受け取り、受け取った前記信号レベルに基づいて前記変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれを示すかを判定するエッジ種判定段階と、
    前記エッジ種判定段階における判定結果に基づいて、前記変化点検出段階で検出した前記変化点のタイミングを補正する補正段階と、
    を備えることを特徴とする検出方法。
  10. 検出装置に、電子デバイスが出力する出力信号の信号レベルが変化する変化点を検出させるプログラムであって、
    前記検出装置を、
    ストローブ信号を順次遅延させて出力する、カスケード接続された複数の可変遅延回路を有し、位相の異なる複数のタイミングを示す複数のストローブを生成するマルチストローブ生成部と、
    前記可変遅延回路に対応して設けられ、対応する前記可変遅延回路が出力する前記ストローブ信号のタイミングにおける前記出力信号の前記信号レベルを検出する複数の比較器を有し、前記複数のストローブが示す前記複数のタイミングにおける前記出力信号の信号レベルを検出する信号レベル検出部と、
    前記複数のタイミングにおける前記複数の信号レベルにおいて、隣接するタイミングにおける2つの前記信号レベルが異なる場合に、前記変化点を検出する変化点検出部と、
    前記信号レベル検出部が検出した前記複数の信号レベルのうち、前記変化点より前又は後ろのタイミングにおける前記信号レベルを受け取り、受け取った前記信号レベルに基づいて前記変化点が立ち上がりエッジ又は立ち下がりエッジのいずれを示すかを判定するエッジ種判定部と、
    前記エッジ種判定部における判定結果に基づいて、前記変化点検出部が検出した前記変化点のタイミングを補正する補正部と
    して機能させることを特徴とするプログラム。
JP2003026866A 2003-02-04 2003-02-04 検出装置、検出方法、及びプログラム Expired - Fee Related JP4444570B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003026866A JP4444570B2 (ja) 2003-02-04 2003-02-04 検出装置、検出方法、及びプログラム
PCT/JP2004/001106 WO2004070406A1 (ja) 2003-02-04 2004-02-04 検出装置、検出方法、及びプログラム
DE112004000274T DE112004000274T5 (de) 2003-02-04 2004-02-04 Erfassungsvorrichtung, Erfassungsverfahren und Programm
KR1020057013899A KR101037479B1 (ko) 2003-02-04 2004-02-04 검출 장치, 검출 방법, 및 프로그램
US11/191,421 US7640127B2 (en) 2003-02-04 2005-07-28 Detection apparatus, detection method, and program

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003026866A JP4444570B2 (ja) 2003-02-04 2003-02-04 検出装置、検出方法、及びプログラム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004264046A JP2004264046A (ja) 2004-09-24
JP4444570B2 true JP4444570B2 (ja) 2010-03-31

Family

ID=32844157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003026866A Expired - Fee Related JP4444570B2 (ja) 2003-02-04 2003-02-04 検出装置、検出方法、及びプログラム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7640127B2 (ja)
JP (1) JP4444570B2 (ja)
KR (1) KR101037479B1 (ja)
DE (1) DE112004000274T5 (ja)
WO (1) WO2004070406A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITTO20060861A1 (it) * 2006-12-04 2008-06-05 St Microelectronics Srl Dispositivo sensore dotato di un circuito di rilevamento di eventi singoli o multipli per la generazione di corrispondenti segnali di interruzione
JP5119255B2 (ja) * 2007-08-20 2013-01-16 株式会社アドバンテスト 試験装置、試験方法、および、製造方法
WO2009025020A1 (ja) * 2007-08-20 2009-02-26 Advantest Corporation 試験装置、試験方法、および、製造方法
US8094766B2 (en) * 2008-07-02 2012-01-10 Teradyne, Inc. Tracker circuit and method for automated test equipment systems
US8067943B2 (en) * 2009-03-24 2011-11-29 Advantest Corporation Test apparatus, calibration method, program, and recording medium

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4686391A (en) * 1986-05-08 1987-08-11 Genrad, Inc. Fast-acting comparison circuit
JP2816705B2 (ja) * 1989-05-25 1998-10-27 日立電子エンジニアリング株式会社 Ic試験装置
JPH05281307A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Hitachi Ltd 半導体回路
JPH09304482A (ja) * 1996-05-21 1997-11-28 Hitachi Ltd Ic試験装置
JPH10332782A (ja) * 1997-05-30 1998-12-18 Ando Electric Co Ltd Icテストシステム
JPH11353352A (ja) 1998-06-11 1999-12-24 Fujitsu Ltd Lsiテストデータ検証方法
US6789224B2 (en) * 2000-01-18 2004-09-07 Advantest Corporation Method and apparatus for testing semiconductor devices
JP4495308B2 (ja) 2000-06-14 2010-07-07 株式会社アドバンテスト 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置
JP2001337141A (ja) 2000-05-30 2001-12-07 Sharp Corp 半導体集積回路の外付けテスト回路及びそのテスト方法
JP4782271B2 (ja) * 2000-07-06 2011-09-28 株式会社アドバンテスト 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050095632A (ko) 2005-09-29
DE112004000274T5 (de) 2006-01-12
JP2004264046A (ja) 2004-09-24
US7640127B2 (en) 2009-12-29
WO2004070406A1 (ja) 2004-08-19
US20050259556A1 (en) 2005-11-24
KR101037479B1 (ko) 2011-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7574633B2 (en) Test apparatus, adjustment method and recording medium
US7002334B2 (en) Jitter measuring apparatus and a testing apparatus
JP5255282B2 (ja) 試験装置、試験方法、および、プログラム
US20060129335A1 (en) Test apparatus
JP4417955B2 (ja) 集積回路のタイミング関連不良検証のためのイベント形式によるテスト方法
JP4444570B2 (ja) 検出装置、検出方法、及びプログラム
US7209849B1 (en) Test system, added apparatus, and test method
US7079060B2 (en) Test circuit for evaluating characteristic of analog signal of device
US7209853B2 (en) Measuring apparatus and program
US8330471B2 (en) Signal generation and detection apparatus and tester
US7620515B2 (en) Integrated circuit with bit error test capability
US20080048750A1 (en) Delay circuit, test apparatus, storage medium semiconductor chip, initializing circuit and initializing method
US7454674B2 (en) Digital jitter detector
JP5274648B2 (ja) 試験装置、キャリブレーション方法、および、プログラム
JP2005354617A (ja) A/d変換器試験装置及びa/d変換器の生産方法
JP3934384B2 (ja) 半導体デバイス試験装置
JPH11195987A (ja) グリッチノイズの検査方法および装置ならびに記録媒体
US8539327B2 (en) Semiconductor integrated circuit for testing logic circuit
US7228475B2 (en) Program, test apparatus and testing method
JP2644112B2 (ja) Fifo試験診断回路
JPH11112440A (ja) サンプリングレートコンバータ
US7583544B2 (en) Data reading circuit
JP2002365345A (ja) 可変遅延回路の線形化方法、タイミング発生器及び半導体試験装置
JP2005037280A (ja) 電子回路システム、及び電子回路システムの検査方法
JPH02298879A (ja) 欠陥検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051031

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090210

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100105

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100114

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees