JPH02298879A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JPH02298879A JPH02298879A JP12072689A JP12072689A JPH02298879A JP H02298879 A JPH02298879 A JP H02298879A JP 12072689 A JP12072689 A JP 12072689A JP 12072689 A JP12072689 A JP 12072689A JP H02298879 A JPH02298879 A JP H02298879A
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- Japan
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- signal level
- signal
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- determination signal
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
情報記録媒体等の欠陥検査装置に関する。
［従来の技術］
磁気式、ある０は光学式の情報記録媒体を製造する際、
媒体上には傷やごみ、媒体の不均一などによって欠陥を
生ずる。媒体上にこのような欠陥が存在すると媒体から
情報を再生した際データ中に誤りを生ずる。この様な誤
りはアナログ信号の場合は多少許容されるがデジタル情
報の場合は１つの誤りも許されないことがある。あるい
は、誤り訂正符号を用いて誤りを検出、訂正する装置が
情報再生装置に備わっている場合は訂正能力を越えない
誤りは許容されることがある。いずれにしても、情報記
録媒体を製造する際には、誤りの個数、最大長などを基
準以下に維持することが必要であり、そのために欠陥検
査が不可欠である。
媒体上には傷やごみ、媒体の不均一などによって欠陥を
生ずる。媒体上にこのような欠陥が存在すると媒体から
情報を再生した際データ中に誤りを生ずる。この様な誤
りはアナログ信号の場合は多少許容されるがデジタル情
報の場合は１つの誤りも許されないことがある。あるい
は、誤り訂正符号を用いて誤りを検出、訂正する装置が
情報再生装置に備わっている場合は訂正能力を越えない
誤りは許容されることがある。いずれにしても、情報記
録媒体を製造する際には、誤りの個数、最大長などを基
準以下に維持することが必要であり、そのために欠陥検
査が不可欠である。
特に光学式情報記録媒体は欠陥が頻発するので、これを
検査し、管理することが重要であった。媒体上の比較的
大きなごみ、傷は数十バイトにも及ぶバーストエラーを
引き起こすことがある。光学式情報記録媒体の再生装置
には通常誤り訂正装置を備えていて、１セクタ当り一定
７ＸＩイトまで、例えば８０バイトまでのエラーを訂正
することが可能である。しかし３、長大なバーストエラ
ーの発生はこの訂正範囲を越えてしまう恐れがあり、欠
陥検査上もっとも懸念されるべき点である。つまり、欠
陥の長さ、及びその発生頻度を正確に測定することが欠
陥検査には要求される。
検査し、管理することが重要であった。媒体上の比較的
大きなごみ、傷は数十バイトにも及ぶバーストエラーを
引き起こすことがある。光学式情報記録媒体の再生装置
には通常誤り訂正装置を備えていて、１セクタ当り一定
７ＸＩイトまで、例えば８０バイトまでのエラーを訂正
することが可能である。しかし３、長大なバーストエラ
ーの発生はこの訂正範囲を越えてしまう恐れがあり、欠
陥検査上もっとも懸念されるべき点である。つまり、欠
陥の長さ、及びその発生頻度を正確に測定することが欠
陥検査には要求される。
［発明が解決しようとする課題 ］
しかし、従来の欠陥検査装置では測定された欠陥の長さ
、発生頻度が実際の媒体上の欠陥の状態と異なるという
問題点を有していた。この問題点について第２図を用い
て説明する。記録トラック２０２上に欠陥２０１が存在
するとする。記録トラックを再生手段を用いて再生する
と再生信号２０３が得られる。ここでは、記録トラック
上は何も記録されていない状態にある。再生手段が欠陥
上を通過する際には再生信号２０３に異常部２０４が現
れる。この異常部を検出するために判定電圧レベル２０
５を設け、再生信号に判定電圧レベルを下回る電圧が生
じたときここを異常部として検出する方法を採用したと
する。異常部にどの様な波形が出るかは、欠陥の種類、
形状によって異なるので予想はつかないので、異常部２
０４にありながら判定電圧レベルを上回る電圧が生ずる
箇所２０６がある。そのため、欠陥判定信号２０７には
欠陥信号レベル２０８と無欠陥信号レベル２０９とが交
互に現れる。欠陥検出の目的からすれば、異常部の間連
続して欠陥信号レベルが出力されるべきであるのに、実
際はそうはならない。
、発生頻度が実際の媒体上の欠陥の状態と異なるという
問題点を有していた。この問題点について第２図を用い
て説明する。記録トラック２０２上に欠陥２０１が存在
するとする。記録トラックを再生手段を用いて再生する
と再生信号２０３が得られる。ここでは、記録トラック
上は何も記録されていない状態にある。再生手段が欠陥
上を通過する際には再生信号２０３に異常部２０４が現
れる。この異常部を検出するために判定電圧レベル２０
５を設け、再生信号に判定電圧レベルを下回る電圧が生
じたときここを異常部として検出する方法を採用したと
する。異常部にどの様な波形が出るかは、欠陥の種類、
形状によって異なるので予想はつかないので、異常部２
０４にありながら判定電圧レベルを上回る電圧が生ずる
箇所２０６がある。そのため、欠陥判定信号２０７には
欠陥信号レベル２０８と無欠陥信号レベル２０９とが交
互に現れる。欠陥検出の目的からすれば、異常部の間連
続して欠陥信号レベルが出力されるべきであるのに、実
際はそうはならない。
［課題 を解決するための手段］
本発明の欠陥検査装置は検査対象から再生信号を再生す
る再生部、再生信号の異常を検出して欠陥の存在を示す
欠陥信号レベル、欠陥が存在しないことを示す無欠陥信
号レベルの二値の信号レベルからなる欠陥判定信号を出
力する欠陥検出部、欠陥判定信号が欠陥信号レベルを出
力したのに続き無欠陥信号レベルを有限時間出力した後
、再び欠陥信号レベルを出力した場合、前記無欠陥信号
レベルを出力した前記有限時間が所定の判定時間以内で
あった場合、前記無欠陥信号レベルを欠陥信号レベルに
修正して前記無欠陥信号レベルの前後に出力された前記
欠陥信号レベルと一続きの欠陥信号レベルに補間する欠
陥判定信号補間部からなることを特徴とする。
る再生部、再生信号の異常を検出して欠陥の存在を示す
欠陥信号レベル、欠陥が存在しないことを示す無欠陥信
号レベルの二値の信号レベルからなる欠陥判定信号を出
力する欠陥検出部、欠陥判定信号が欠陥信号レベルを出
力したのに続き無欠陥信号レベルを有限時間出力した後
、再び欠陥信号レベルを出力した場合、前記無欠陥信号
レベルを出力した前記有限時間が所定の判定時間以内で
あった場合、前記無欠陥信号レベルを欠陥信号レベルに
修正して前記無欠陥信号レベルの前後に出力された前記
欠陥信号レベルと一続きの欠陥信号レベルに補間する欠
陥判定信号補間部からなることを特徴とする。
［実施例］
本発明の実施例について図を用いて説明する。
第１図は本発明の欠陥検査装置の一実施例を示す。
情報記録媒体は再生部１０１によって再生され、第２図
２０３に示されるような再生信号を出力する。再生信号
は、欠陥検出部に入力され、再生信号の異常部を検出し
て欠陥判定信号を出力する。
２０３に示されるような再生信号を出力する。再生信号
は、欠陥検出部に入力され、再生信号の異常部を検出し
て欠陥判定信号を出力する。
再生信号が２０３に示されるように媒体上に何も記録さ
れていない状態を再生した場合では、電圧比較器を用い
れば欠陥判定信号を得ることができる。また、一定パタ
ーンを媒体上に書き込んだ後再生する場合には、再生パ
ターンと原パターンの比較をおこなって、両者に違いが
あれば欠陥信号レベルを出力するように構成すればよい
。いずれにせよ、欠陥検出部１０２から欠陥判定信号が
出力され、欠陥判定信号補間部に入力される。欠陥判定
信号はまず、インバータを通り論理が反転する。続いて
、シフトレジスタ１０５に入力される。
れていない状態を再生した場合では、電圧比較器を用い
れば欠陥判定信号を得ることができる。また、一定パタ
ーンを媒体上に書き込んだ後再生する場合には、再生パ
ターンと原パターンの比較をおこなって、両者に違いが
あれば欠陥信号レベルを出力するように構成すればよい
。いずれにせよ、欠陥検出部１０２から欠陥判定信号が
出力され、欠陥判定信号補間部に入力される。欠陥判定
信号はまず、インバータを通り論理が反転する。続いて
、シフトレジスタ１０５に入力される。
第１図に示される実施例では８ビツトのシフトレジスタ
を用いている。クロック発生回路１０６から出力される
信号が、シフトレジスタのクロックとして使われる。つ
まり、このクロックによって欠陥判定信号がサンプリン
グされる。シフトレジスタの各レジスタの出力は多入力
アンドゲート１０７に入力される。多入力アンドゲート
の出力はシフトレジスタの最終段Ｑ８の出力と共にＲＳ
フリップフロップ１０８を制御する構成となっている。
を用いている。クロック発生回路１０６から出力される
信号が、シフトレジスタのクロックとして使われる。つ
まり、このクロックによって欠陥判定信号がサンプリン
グされる。シフトレジスタの各レジスタの出力は多入力
アンドゲート１０７に入力される。多入力アンドゲート
の出力はシフトレジスタの最終段Ｑ８の出力と共にＲＳ
フリップフロップ１０８を制御する構成となっている。
欠陥判定信号補間部１０３の動作を第３図のタイミング
チャートを用いて説明する。３０１はシフトレジスタ１
０５に入力されるクロック（ＣＬＫ）、３０２は欠陥判
定信号補間部に入力される欠陥判定信号（ＥＲＲ）、３
０３はＲＳフリップフロップ１０８のＳＥＴ入力（ＳＥ
Ｔ）、３０４はフリップフロップ１０８のＲＥＳＥＴ入
力（ＲＥ Ｓ ＥＴ）、３０５はフリップフロップ１０
８のＱ出力（Ｑ）、の各信号のタイミングを表すもので
ある。欠陥判定信号に無欠陥信号レベル（ここではロウ
）が続くとき、シフトレジスタ１０５にはハイが入力さ
れ続ける。そのときシフトレジスタの各レジスタの出力
は全てハイであるから多入力アンドゲート１０７の出力
はロウである。この状態ではＳＥＴがハイ、ＲＥＳＥＴ
がロウなのでＱにはロウが出力されている。このことは
補間後の欠陥判定信号が無欠陥信号レベルにあることを
示す。
チャートを用いて説明する。３０１はシフトレジスタ１
０５に入力されるクロック（ＣＬＫ）、３０２は欠陥判
定信号補間部に入力される欠陥判定信号（ＥＲＲ）、３
０３はＲＳフリップフロップ１０８のＳＥＴ入力（ＳＥ
Ｔ）、３０４はフリップフロップ１０８のＲＥＳＥＴ入
力（ＲＥ Ｓ ＥＴ）、３０５はフリップフロップ１０
８のＱ出力（Ｑ）、の各信号のタイミングを表すもので
ある。欠陥判定信号に無欠陥信号レベル（ここではロウ
）が続くとき、シフトレジスタ１０５にはハイが入力さ
れ続ける。そのときシフトレジスタの各レジスタの出力
は全てハイであるから多入力アンドゲート１０７の出力
はロウである。この状態ではＳＥＴがハイ、ＲＥＳＥＴ
がロウなのでＱにはロウが出力されている。このことは
補間後の欠陥判定信号が無欠陥信号レベルにあることを
示す。
ここで、再生信号に異常部が発生して、３０２に示すよ
うな欠陥判定信号が出力されたとする。
うな欠陥判定信号が出力されたとする。
３回の断続的な欠陥信号レベルが出力されているが、こ
れは３つの欠陥によるものではなく１つの一続きの欠陥
によるものであることは先に述べた通りである。３０２
がインバータ１０４によって論理反転された信号がシフ
トレジスタに入力するのでシフトレジスタの各段の出力
が全てハイだた状態から一部（または全部）ロウが出力
される状態へと遷移する。そのため欠陥の正味の長さを
Ｌθとすると、欠陥信号レベルが入力されてからし８＋
７クロツクの閑、多入力アンドゲートの出力はハイにな
る。これを示すのが３０５である。また、シフトレジス
タの最終段の出力ＱＧＩは欠陥信号レベルの先頭が入力
されてから８クロツク目に、つまり７クロツク分の時間
が経過してから初めてロウになる。その瞬間ＲＳフリッ
プフロップ１０８はＳＥＴされ、その出力はハイになる
。その時点から数えて、ＲＳフリップフロップ１０８が
ＲＥＳＥＴされロウに戻るのは、 （Ｌｅ＋７）
７＝Ｌｅクロック分の時間が経過した後である。つまり
、ＲＳフリップフロップ１０８の出力Ｑは３０６に示さ
れるようにＬｔｉクロックの間ハイになる。３０６はシ
フトレジスタの段数分だけの遅延があるが、補間された
欠陥判定信号として利用することができる。
れは３つの欠陥によるものではなく１つの一続きの欠陥
によるものであることは先に述べた通りである。３０２
がインバータ１０４によって論理反転された信号がシフ
トレジスタに入力するのでシフトレジスタの各段の出力
が全てハイだた状態から一部（または全部）ロウが出力
される状態へと遷移する。そのため欠陥の正味の長さを
Ｌθとすると、欠陥信号レベルが入力されてからし８＋
７クロツクの閑、多入力アンドゲートの出力はハイにな
る。これを示すのが３０５である。また、シフトレジス
タの最終段の出力ＱＧＩは欠陥信号レベルの先頭が入力
されてから８クロツク目に、つまり７クロツク分の時間
が経過してから初めてロウになる。その瞬間ＲＳフリッ
プフロップ１０８はＳＥＴされ、その出力はハイになる
。その時点から数えて、ＲＳフリップフロップ１０８が
ＲＥＳＥＴされロウに戻るのは、 （Ｌｅ＋７）
７＝Ｌｅクロック分の時間が経過した後である。つまり
、ＲＳフリップフロップ１０８の出力Ｑは３０６に示さ
れるようにＬｔｉクロックの間ハイになる。３０６はシ
フトレジスタの段数分だけの遅延があるが、補間された
欠陥判定信号として利用することができる。
以上の動作により欠陥判定信号を欠陥判定信号補間部に
入力すると、欠陥信号レベルが補間された欠陥判定信号
が出力端１０９に現れる。
入力すると、欠陥信号レベルが補間された欠陥判定信号
が出力端１０９に現れる。
この実施例では前後して現れる欠陥信号レベルの間に現
れる無欠陥信号レベルが７クロツク以内の時に補間動作
を、実行する。２つの欠陥信号レベルの間に８クロック
以上無欠陥信号レベルカ続イたときは補間しない。この
基準値は、シフトレジスタ１０５の段数及び多入力アン
ドゲートの入力数で決まる。ここで用いている８段のシ
フトレジスタをより多段なものにして各段の出力を段数
分の入力を持つ多入力アンドゲートに入力することによ
って、より長い補間が可能になる。欠陥検査の手法、目
的に応じた段数を選べば良い。
れる無欠陥信号レベルが７クロツク以内の時に補間動作
を、実行する。２つの欠陥信号レベルの間に８クロック
以上無欠陥信号レベルカ続イたときは補間しない。この
基準値は、シフトレジスタ１０５の段数及び多入力アン
ドゲートの入力数で決まる。ここで用いている８段のシ
フトレジスタをより多段なものにして各段の出力を段数
分の入力を持つ多入力アンドゲートに入力することによ
って、より長い補間が可能になる。欠陥検査の手法、目
的に応じた段数を選べば良い。
補間後の欠陥判定信号を用いれば正確な計測が可能とな
る。箪４図には欠陥判定信号補間部に続いて欠陥計数部
４０１を設は欠陥の長さ分布を測定する実施例を示しで
ある。この欠陥計数部は入力される欠陥判定信号の欠陥
信号レベルの計数を行い、欠陥長毎の欠陥発生回数、総
欠陥発生回数、総欠陥発生ビット数を測定することがで
きる。第２図に示される欠陥２０１を測定した場合、欠
陥判定信号２０７は欠陥判定信号補間部１０３によって
補間され補間された欠陥判定信号２１０となる。２１０
を欠陥計数部に入力した場合、欠陥計数部はＬ＠ビット
や長さの欠陥が１回発生したと認識して、Ｌｏビット長
の欠陥発生回数をプラス１、総欠陥発生回数をプラス１
、総欠陥発生ビット数をプラスＬ、することになる。一
方、欠陥判定信号補間部のない従来の欠陥検査装置では
欠陥判定信号２０７を直接欠陥計数部に入力ことになる
。その場合、欠陥計数部は、Ｌ＋、Ｌ２、Ｌ３ビットの
長さの欠陥がそれぞれ１回ずつ発生したと認識して、Ｌ
ｌ、Ｌ２、Ｌ３ピット長の欠陥発生回数をそれぞれプラ
ス１１ 総欠陥発生回数をプラス３、総欠陥発生ビット
数をプラス（ＬＩ＋Ｌ２＋Ｌ３）することになる。後者
の従来欠陥検査装置の測定結果は実際の媒体上の欠陥の
状態を表していない。ｔ、ｓビットという長い欠陥が発
生したことは見逃され、代わってＬｌ、Ｌ２、Ｌ３ビッ
ト長の短い欠陥が発生したことになってしまう。先に述
べたように、情報記録媒体上の欠陥で訂正不能を引き起
こし情報の読み出しを不可能にするのは長いバーストエ
ラーであるので、これを見逃すことは欠陥検査装置にと
って重大な欠陥であるといえる。
る。箪４図には欠陥判定信号補間部に続いて欠陥計数部
４０１を設は欠陥の長さ分布を測定する実施例を示しで
ある。この欠陥計数部は入力される欠陥判定信号の欠陥
信号レベルの計数を行い、欠陥長毎の欠陥発生回数、総
欠陥発生回数、総欠陥発生ビット数を測定することがで
きる。第２図に示される欠陥２０１を測定した場合、欠
陥判定信号２０７は欠陥判定信号補間部１０３によって
補間され補間された欠陥判定信号２１０となる。２１０
を欠陥計数部に入力した場合、欠陥計数部はＬ＠ビット
や長さの欠陥が１回発生したと認識して、Ｌｏビット長
の欠陥発生回数をプラス１、総欠陥発生回数をプラス１
、総欠陥発生ビット数をプラスＬ、することになる。一
方、欠陥判定信号補間部のない従来の欠陥検査装置では
欠陥判定信号２０７を直接欠陥計数部に入力ことになる
。その場合、欠陥計数部は、Ｌ＋、Ｌ２、Ｌ３ビットの
長さの欠陥がそれぞれ１回ずつ発生したと認識して、Ｌ
ｌ、Ｌ２、Ｌ３ピット長の欠陥発生回数をそれぞれプラ
ス１１ 総欠陥発生回数をプラス３、総欠陥発生ビット
数をプラス（ＬＩ＋Ｌ２＋Ｌ３）することになる。後者
の従来欠陥検査装置の測定結果は実際の媒体上の欠陥の
状態を表していない。ｔ、ｓビットという長い欠陥が発
生したことは見逃され、代わってＬｌ、Ｌ２、Ｌ３ビッ
ト長の短い欠陥が発生したことになってしまう。先に述
べたように、情報記録媒体上の欠陥で訂正不能を引き起
こし情報の読み出しを不可能にするのは長いバーストエ
ラーであるので、これを見逃すことは欠陥検査装置にと
って重大な欠陥であるといえる。
Ｌｉ１ビツトの長壱の欠陥が１回発生したとする本発明
の欠陥検査装置の結果が正しい。
の欠陥検査装置の結果が正しい。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、欠陥判定信号補間
部を設け、欠陥信号レベルの間に一定長さ以下の無欠陥
信号レベルが発生して断続的になるのを補間することに
よって、媒体上の欠陥の現実を良く表した欠陥検査が可
能になり、特に情報記録媒体にとって問題となる長い欠
陥の検出に於て正確な結果が得られるものである。なお
、第１図に示した欠陥判定信号補間部１０３の回路構成
は一例であって、このほかの回路でも実現可能である。
部を設け、欠陥信号レベルの間に一定長さ以下の無欠陥
信号レベルが発生して断続的になるのを補間することに
よって、媒体上の欠陥の現実を良く表した欠陥検査が可
能になり、特に情報記録媒体にとって問題となる長い欠
陥の検出に於て正確な結果が得られるものである。なお
、第１図に示した欠陥判定信号補間部１０３の回路構成
は一例であって、このほかの回路でも実現可能である。
補間することの重要性、そしてその補間手段を欠陥検査
装置が備えるべきであることを主張することが本特許の
主眼である。
装置が備えるべきであることを主張することが本特許の
主眼である。
第１図は、本発明の欠陥検査装置の実施例を示す構成図
。 第２図は、欠陥１、再生信号、欠陥判定信号、補間後の
欠陥判定信号の関係を示す模式図。 第３図は、本発明の欠陥検査装置に用いられる欠陥判定
信号補間部の動作を示すタイミングチャー ト。 第４図は、本発明の欠陥検査装置に欠陥計数部を加えた
ブロック図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 鈴木喜三部 他１名 第１図 第２図 第３図 第４図
。 第２図は、欠陥１、再生信号、欠陥判定信号、補間後の
欠陥判定信号の関係を示す模式図。 第３図は、本発明の欠陥検査装置に用いられる欠陥判定
信号補間部の動作を示すタイミングチャー ト。 第４図は、本発明の欠陥検査装置に欠陥計数部を加えた
ブロック図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士 鈴木喜三部 他１名 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 検査対象から再生信号を再生する再生部、前記再生信
号の異常を検出して欠陥の存在を示す欠陥信号レベル、
欠陥が存在しないことを示す無欠陥信号レベルの二値の
信号レベルからなる欠陥判定信号を出力する欠陥検出部
、 前記欠陥判定信号が欠陥信号レベルを出力したのに続き
無欠陥信号レベルを有限時間出力した後、再び欠陥信号
レベルを出力した場合、前記無欠陥信号レベルを出力し
た前記有限時間が所定の判定時間以内であった場合、前
記無欠陥信号レベルを欠陥信号レベルに修正して前記無
欠陥信号レベルの前後に出力された前記欠陥信号レベル
と一続きの欠陥信号レベルに補間する欠陥判定信号補間
部、からなることを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12072689A JPH02298879A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12072689A JPH02298879A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02298879A true JPH02298879A (ja) | 1990-12-11 |
Family
ID=14793482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12072689A Pending JPH02298879A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02298879A (ja) |
-
1989
- 1989-05-15 JP JP12072689A patent/JPH02298879A/ja active Pending
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