JP3226645B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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Description
弾性表面波フィルタに関する。
フィルタにおける電極構造の一般的な例を示す。同図に
示す例では、入力側にアポタイズ重み付けされた一対の
くし型電極1、2を設け、出力側にアポタイズ重み付け
されない一対のくし型電極3、4を設けている。そし
て、これをフィルタとして動作させるためには、図5に
示すように、入力側の一方のくし型電極1に信号源5を
接続し、他方のくし型電極2を接地するとともに、出力
側の一方のくし型電極3に増幅器6を接続し、他方のく
し型電極4を接地するアンバランス型の回路構成とす
る。
のくし型電極1に入力される信号の実効電圧Vinとくし
型電極2の電位(0)とが、出力側のくし型電極3から
出力される信号の実効電圧Vout とくし型電極4の電位
(0)とが、それぞれアンバランスであることから、入
出力信号に重畳したノイズや、入出力回路間の静電結合
や電磁結合による誘導によって帯域内に振幅リップルや
群遅延リップルが生じ、所望のフィルタ特性が得られな
い場合がある。
ルントランス7を介して入力側の各くし型電極1、2
(以下、くし型電極1をhot1、くし型電極2をco
ld2と呼ぶ。)に接続するとともに、出力側の各くし
型電極3、4(以下、くし型電極3をhot3、くし型
電極4をcold4と呼ぶ。)を差動増幅器8に接続し
たバランス型の回路構成とすることが行われている。こ
のような回路構成にすると、入力側にノイズが乗った場
合、入力側のhot1とcold2には同相のノイズが
それぞれ重畳し、フィルタ内を通過する各ノイズ信号は
所定の伝達関数が乗じられて出力側のhot3とcol
d4より出力されるが、出力されるノイズ信号は同相で
かつ同じ大きさであることから差動増幅器8でキャンセ
ルされる。また、出力側に新たに乗ったノイズも同様に
差動増幅器8でキャンセルされる。また、入出力間の誘
導は、圧電基板上のくし型電極1、2とくし型電極3、
4との間にシールド電極を設けることで、効果的に抑圧
できる。
力側のhot3とcold4に弾性表面波が同レベルか
つ同相で到達すると仮定すると、差動増幅器8でキャン
セルされることになる。
で、電気的に誘導を取り除くことができる。ここで、図
7にバランス型の回路構成の場合に入力側の電極に生じ
る電圧と信号源電圧との関係を示し、図8にアンバラン
ス型の回路構成の場合に入力側の電極に生じる電圧と信
号源電圧との関係を示す。図7に示すように、バランス
型の回路構成の場合、hot1は1/2V、cold2
は−1/2Vの電位になる。図8に示すように、アンバ
ランス型の回路構成の場合、hot1はV、cold2
は0の電位になる。したがって、バランス型の回路構成
の場合、電極の実効電圧は0になり、アンバランス型の
回路構成の場合、電極の実効電圧は1/2Vになる。つ
まり、実効電圧が0であれば電磁放射がないのであるか
ら、バランス型の回路構成とすれば電磁放射による誘導
をなくすことができる。なお、このことは、出力側の電
極でも同様である。
て、hot、cold間の実効電圧を実際に0とするた
めには、hotとcoldとが幾何学的に対称であるこ
とが前提となる。つまり、hotからみたcoldと、
coldからみたhotが合同であることが必要とされ
る。
造では、hotの電極指とcoldの電極指とを交叉し
た構造としているので、hotとcoldとが幾何学的
に完全に対称とはいえない。このため、hot、col
d間の実効電圧は実際には0とはならず、入力側のho
t、cold間である電位を生じて電磁波が発生し、こ
の電磁波が出力側の電極に直接波として飛び込み、誘導
による特性劣化を引き起こす。
フィルタをバランス型の回路構成としても、従来の弾性
表面波フィルタの電極構造では、hotとcoldとが
幾何学的に完全に対称ではないため、hot、cold
間の実効電圧が0とはならず、誘導による特性劣化を引
き起こしていた。
たもので、バランス型の回路構成とすることで対向する
くし型電極間の実効電圧を0にでき耐誘導特性に優れた
弾性表面波フィルタを提供することを目的としている。
を解決するため、圧電基板上に弾性表面波を励振する一
対のくし型電極と弾性表面波を受信する一対のくし型電
極とを設け、前記各対のくし型電極間に接地されたブス
バーを互いに同一直線上にのるように配置するととも
に、前記各対のくし型電極を前記ブスバーを挟んで各対
のくし型電極の各電極指が対向しかつ鏡面対称となるよ
うに配置し、かつ前記くし型電極の電極指と交叉しかつ
前記ブスバーに接続された電極指を前記ブスバーに挟ん
で鏡面対称となるように配置し、かついずれか一方のく
し型電極対にアポタイズ重み付けしたことを特徴とす
る。
のくし型電極間に挟まれたブスバーを1本のブスバーで
構成してもよい。また、各対のくし型電極間に挟まれた
ブスバーの間にシールド電極を配置してもよい。
を挟んで鏡面対称であることから、バランス型の回路構
成とすることで、くし型電極対間の実効電圧がそれぞれ
完全に0になる。したがって、各くし型電極対から電磁
波が放射されることがなくなり、誘導による特性劣化を
引き起こすことはない。
る。
フィルタの平面図である。
の圧電基板10上には、弾性表面波を励振する入力側の
一対のくし型電極11、12と弾性表面波を受信する出
力側の一対のくし型電極13、14が設けられている。
そして、入力側のくし型電極11、12には、アポタイ
ズ重み付けがされている。
13、14には、それぞれ接地されたブスバー15、1
6が配置されている。そして、これらブスバー15とブ
スバー16とは、同一直線上にのるように配置されてい
る。
15を挟んでくし型電極11、12の各電極指11a、
12aが対向しかつ鏡面対称となるように配置されてい
る。同様に、くし型電極13、14も、ブスバー16を
挟んでくし型電極13、14の各電極指13a、14a
が対向しかつ鏡面対称となるように配置されている。さ
らに、ブスバー15には、くし型電極11、12の電極
指11a、12aと交叉する電極指15aがブスバー1
5を挟んで鏡面対称となるように接続されている。同様
に、ブスバー16にも、くし型電極13、14の電極指
13a、14aと交叉する電極指16aがブスバー16
を挟んで鏡面対称となるように接続されている。
フィルタを用い、図6に示したようなバランス型の回路
構成とする。
ランス信号で駆動した場合、これらくし型極11、12
はブスバー15を挟んでくし型電極11、12の各電極
指11a、12aが対向しかつ鏡面対称となるように配
置されているので、入力側のくし型極11、12全体の
実効電圧は0となる。これにより、入力側のくし型極1
1、12から出力側のくし型電極13、14への電磁波
の放射がなくなる。
ブスバー15で励振された表面波は出力側のくし型電極
13、14およびブスバー16により受信されて電気信
号に変換されるが、図6に示したようにこれをバランス
信号で出力信号を取り出し差動増幅器8に入力する場合
には、出力側のくし型電極13、14はブスバー16を
挟んでくし型電極13、14の各電極指13a、14a
が対向しかつ鏡面対称となるように配置されているの
で、入力側のくし型極11、12の場合と同様、出力側
のくし型電極13、14全体の実効電圧は0となる。こ
れにより、出力側のくし型電極13、14から入力側の
くし型極11、12への電磁波の放射がなくなる。
用い、図6に示したようなバランス型の回路構成とすれ
ば、入力側のくし型極11、12と出力側のくし型電極
13、14の相互間の電磁波の放射がなくなるので、耐
誘導特性に優れたフィルタを実現できる。
入力側のブスバー15およびくし型極11で励振された
信号は出力側のブスバー16およびくし型電極13で、
入力側のブスバー15およびくし型極12で励振された
信号は出力側のブスバー16およびくし型電極14で受
信しなければならないので、ブスバー15とブスバー1
6とを同一直線上にのるように配置している。
来のそれに対して電極構造のみの変更で実現できるた
め、露光マスクの変更だけで従来の製造プロセス、設備
で製造できる。
い。
電極間に挟まれたブスバーを1本のブスバー17で構成
してもよい。
間に挟まれたブスバー15、16の間にシールド電極1
8を配置してもよい。
フィルタによれば、バランス型の回路構成とすることで
対向するくし型電極間の実効電圧を0にできるので、各
くし型電極対から電磁波が放射されることがなくなり、
耐誘導特性に優れたフィルタを実現できる。また、従来
の弾性表面波フィルタの電極構造のみを変更すればよい
ので、製造コストの面でも問題がない。
平面図である。
の平面図である。
の平面図である。
タにおける電極構造の平面図である。
回路構成を示す図である。
構成を示す図である。
生じる電圧と信号源電圧との関係を示す図である。
極に生じる電圧と信号源電圧との関係を示す図である。
3、14…出力側のくし型電極、15…入力側のブスバ
ー、16…出力側のブスバー、11a、12a…入力側
のくし型電極の電極指、13a、14a…出力側のくし
型電極の電極指、15a…入力側のブスバーの電極指、
16a…出力側のブスバーの電極指。
Claims (3)
- 【請求項1】 圧電基板上に弾性表面波を励振する一対
のくし型電極と弾性表面波を受信する一対のくし型電極
とを設け、 前 記各対のくし型電極間に接地されたブスバーを互いに
同一直線上にのるように配置するとともに、前記各対の
くし型電極を前記ブスバーを挟んで各対のくし型電極の
各電極指が対向しかつ鏡面対称となるように配置し、か
つ前記くし型電極の電極指と交叉しかつ前記ブスバーに
接続された電極指を前記ブスバーに挟んで鏡面対称とな
るように配置し、かついずれか一方のくし型電極対にア
ポタイズ重み付けしたことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。 - 【請求項2】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 各対のくし型電極間に挟まれたブスバーを1本のブスバ
ーで構成したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 各対のくし型電極間に挟まれたブスバーの間にシールド
電極を配置したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00980493A JP3226645B2 (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00980493A JP3226645B2 (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06224683A JPH06224683A (ja) | 1994-08-12 |
JP3226645B2 true JP3226645B2 (ja) | 2001-11-05 |
Family
ID=11730379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00980493A Expired - Fee Related JP3226645B2 (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3226645B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4962717B2 (ja) * | 2007-04-25 | 2012-06-27 | 株式会社島津製作所 | 高周波誘導加熱装置 |
-
1993
- 1993-01-25 JP JP00980493A patent/JP3226645B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06224683A (ja) | 1994-08-12 |
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