JPH03127505A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、高耐電力の弾性表面波装置に関するものであ
る。

（従来の技術） 第２図は、従来の弾性表面波装置の一例を示す概略平面
図であって、弾性表面波素子からなる圧電基板１の表面
に電気信号を弾性表面波信号に変換する入力側すだれ状
電極７−１．７−２と、弾性表面波信号を電気信号に変
換する出力側すだれ状電極８−１〜８−３とを弾性表面
波の伝搬方向に交互に配置したものである（例えば、特
開昭６２−１１５号公報）。ここで、４は電気信号を入
力する入力端子、５は電気信号を取り出す出力端子であ
る。

入力端子４に供給された電気信号は各入力側すだれ状電
極７−１．７−２に分配され、圧電基板１上に弾性表面
波６を励振する。この弾性表面波６は入力端すだれ状電
極７−１．７−２の両側から出力側すだれ状電極８−１
〜８−３の方に、入力側すだれ状電極７−１．７−２の
電極指と垂直に伝搬する。前記弾性表面波６が出力側す
だれ状電極８−１〜８−３に到達すると、その電極指の
間に電位差が生じる。この電位差は電気信号として出力
端子５から取り出される。

なお、第２図に示す弾性表面波フィルタにおいて、出力
端子５から電気信号を供給する場合、上述の動作と同様
にして、入力端子４から電気信号を取り出すことができ
る。この場合、第２図の出力伸丁すだれ状電極８−１〜
８−３は入力側すだれ状電極として動作し、入力側すた
れ状電極７−１゜７−２は出力側すだれ状電極として動
作する。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記構成の弾性表面波装置では、入力端
子４に供給された電圧がそのまま入力側すだれ状電極７
−１．７−２に印加され、入力側すだれ状電極７−１．
７−２で励振される弾性表面波６の振幅は、入力側すだ
れ状電極７−１．７−２の電極指間に印加される電圧に
依存する。従って、入力端子４に大電力を印加したとき
、入力側すだれ状電極７−１．７−２電極指間の電圧が
大きくなり、入力端すだれ状電極７−１．７−２で励振
され、そして、出力側すだれ状電極８−１〜８−３で受
信される弾性表面波の振幅はかなり大きなものとなって
、すだれ状電極における電極金属のマイグレーション発
生が盛んになり、電極指間が短絡して大電流が流れ、最
後には破壊する、そのため、大電力を印加することがで
きないという問題点があった。

本発明は、以上に述べた大電力印加時の電極金属のマイ
グレーションを抑圧し、電極指のンヨートによる破壊を
防止した耐電力性の優れた弾性表面波装置を堤供するこ
とを目的とする。

（課題を角’４決するための手段） 本発明は上記目的を達成するために、すたれ状？し極の
電極指と電極指との間に、両端に電極指をＨするフロー
ティング電極を設け、前記フローティング電極の各電極
指と前記すだれ状電極の各電極指とがそれぞれ一対の電
極指を構成するようにしたものである。

（作用） 弾性表面波装置に人力される電気信号の電圧は入力端す
だれ状ｆｌｉｈに印加される。印加された電圧はフロー
ティング電極によって分解され、分解された電圧に対応
する大きさの振幅を有する弾性表面波が圧電基板上に励
振される。すなわち、弾性表面波の振幅は減少され、電
極金属のマイグレーションが抑圧される。励振された弾
性表面波は圧電基板上を伝搬し、入力端すだれ状電険に
到達する。入力端すだれ状電極も出力側すだれ状電極と
同様の構成となっており、到達した弾性表面波はほぼ元
の大きさの電圧を持つ電気信号に変換され、出力される
。

（実施例） 第１図は本発明の第１の実施例を示す概略平面図である
。第１図において、１は弾性表面波素子の圧電基板、２
−１．２−２は入力側すだれ状電極、３−１〜３−３は
出力側すだれ状電極、４は入力端子、５は出力端子であ
って、入力側すだれ状電極２−１．２−２と出力側すだ
れ状電極３−１〜３−３は弾性表面波の伝搬方向に交互
に配置され、入力端すだれ状電極２−１．２−２は互い
に並列に入力端子４に接続され、出力側すだれ状電極３
−１〜３−３は互いに並列に出力端子５に接続されてい
る。

第３図は第１図に示す入力側すだれ状電極２−１．２−
２の拡大平面図である。この入力端すだれ状電極は、電
気信号１２が印加される信号電極１０と、一端がアース
されるアース電極１１と、両端に電極指を有し、前記信
号電極１０とアース電極１１との間に設けられるフロー
ティング電極９とから構成されており、信号電極１０の
電極指とフローティング電極９の一端の電極指が対をな
し、アース電極１１の電極指とフローティング電極９の
他端の電極指が対をなしている。これは、２個のすだれ
状電極を電気的には直列に、音響的には並列に接続した
状態にある。

なお、第１図に示す出力側すだれ状７（［３−１〜３−
３も、第３図に示す入力端すだれ状電極と「１］１様な
構成となっている。

次に、本実施例の動作を第１図および第３図に基づいて
説明する。入力端子４に印加された電気信号の電圧は入
力端すだれ状電極２−１．２−２にそのまま供給される
。入力端すたれ状電極２−１、．２−２に電圧が供給さ
れると、第３図に示すフローティング電極９上に誘導電
荷が誘導され、信号電極１０とフローティング電極９と
の間、およびフローティング電極つとアース電極１１と
の間にそれぞれ電界か生じる。これらの電界の大きさは
、フローティング電極９を設置しない場合に信号電極１
０とアース電極１１との間に生じる電界の大きさの１７
２である。従って、前記信号電極１０とフローティング
電極９との間の電極指、および前記フローティング電極
９とアース電極１１との間の電極指で、それぞれ供給電
圧１・２の電圧の１／２に対応する振幅を持つ弾性表面
波６が励振される。すなわち、本実施例の入力端すだれ
状電極２−１．２−２では、フローティング電極を有し
ない従来の入力端すだれ状電極で励振される弾性表面波
の１／２の振幅を持つ弾性表面波６を２倍の励振領域で
励振することになる。

励振された弾性表面波６が出力側すだれ状電極３−１〜
３−３に到達すると、その信号電極とフローティング電
極との間、およびフローティング電極とアース電極との
間にそれぞれ、フローティング電極を有しない従来の出
力側すだれ状電極間に生じる電位差の１／２の大きさの
電位差が生じ、前記信号電極とアース電極との間には前
記電位差の和の電位差が現われ、出力端子５から出力信
号として取り出される。

従っ−Ｃ１本実施例によれば電極金属のマイグレーショ
ンを起こすことな〈従来の場合よりも大きい電力を入力
端子に印加することが可能になる。

８３５　ＭＨｚ帯の伸性表面波装置の実測例によれば、
第２図に示す従来の弾性表面波装置が出力２ｗの通電で
電極が破壊したのに対して、第１図に示す本実施例の弾
性表面波装置では出力３Ｗ以上の電力印加が可能である
。なお、第４図は上記実測に使用したｆｌｌ定系のブロ
ック図であって、弾性表面波装置１６が測定対象であり
、該弾性表面波装置１６の入力電力はパワーメータＡの
Ａｐ１定値とパワーメータＢの測定値の差により、出力
電力はパワーメータＣのＡｌ１１定値によりそれぞれ知
ることができる。

第５図は本発明の第２の実施例を示す概略平面図である
。第５図において、入力側すだれ状電極２０−１．２０
−２、および出力側すだれ状電極２１−１〜２１−３は
、いずれも信号電極とアース電極との間にフローティン
グ電極を２個直列的に設けたものであり、第２図に示す
従来のすだれ状電極を３個、電気的には直列に、音響的
には並列に接続した状態にある。従って、本実施例によ
れば第１図に示す本発明の第１の実施例の場合よりも更
に大きい電力を印加し、取り出すことが可能となる。な
お、第５図における１は圧電基板、４は入力端子、５は
出力端子である。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように本発明によれば、すだれ状
電極の電極指の間にフローティング電極を設けたので、
前記電極指間の電圧が前記フローティング電極によって
分割され、圧電基板上に励振される引ｉ性表面波の振幅
が減少し、電極金属のマイグレーションが抑圧される。

従って、従来の弾性表面波装置に印加し得る電力よりも
大きい電力を印加することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の概略平面図、第２図は
従来の弾性表面波装置の概略平面図、第３図は第１図に
示す入力側すだれ状電極の拡大平面図、第４図は弾性表
面波装置の出力バヮーｄｐｊ定系のブロック図、第５図
は本発明の第２の実施例の概略平面図である。 １・・・圧電基板、２−１．２−２．２０−１゜２０−
２・・・入力側すだれ状電極、３−１〜３−３゜２１−
１〜２１−３・・・出力側すだれ状電極、４・・・入力
端子、５・・・出力端子、９・・・フローティング電極
、１０・・・信号電極、１１・・・アース電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　すだれ状電極の電極指と電極指との間に、両端に電極
   指を有するフローティング電極を設け、前記フローティ
   ング電極の各電極指と前記すだれ状電極の各電極指とが
   それぞれ一対の電極指を構成するようにしたことを特徴
   とする弾性表面波装置。