JP3010702U - 質量流量制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 継手間寸法が異なる質量流量制御装置におい
て、この寸法を簡単に共通化できるとともに、特に、継
手間寸法の質量流量制御装置を長短いずれの継手間寸法
でも用いることができるようにすること。 【構成】 本体２１内部に流体の流量測定を行うセンサ
部２４を設け、本体２１の互いに対向する側面２１ａ，
２１ｂに流体導入用継手２２と流体導出用継手２３とを
突設した質量流量制御装置において、前記流体導入用継
手２２または流体導出用継手２３の少なくともいずれか
にガスケット３４を介在させた状態でジョイント継手３
３を着脱自在に設け、前記両継手間の寸法が所望の寸法
となるように構成した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ガスや液体など流体の流量を制御するマスフローコントローラや 前記流体の流量を測定するマスフローメータなどのように、流体の質量流量を測 定したり、制御するところの質量流量制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近時、マスフローコントローラやマスフローメータなどの質量流量制御装置は 、その性能アップに伴って小型・軽量化される傾向にある。例えば、図２は従来 のマスフローコントローラ１０（以下、旧型マスフローコントローラという）と 、これを改良したマスフローコントローラ２０（以下、新型マスフローコントロ ーラという）とを示すもので、それぞれのマスフローコントローラ１０，２０は 、その本体１１，２１内部に流体の流量測定を行うセンサ部と流体の流量制御を 行う流量制御部とを備えている。そして、本体１１，２１のそれぞれには、対向 する側面１１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂに流体導入用継手１２，２２と流体導 出用継手１３，２３が突設されている。なお、図２において、３０は配管、３１ は接続用部材である。

【０００３】 ところで、上記図２から理解されるように、新型マスフローコントローラ２０ は、旧型マスフローコントローラ１０に比べてその外形寸法が一回り以上も小さ く、特に、旧型マスフローコントローラ１０における流体導入用継手１２と流体 導出用継手１３との間の寸法（以下、継手間寸法という）Ｌ₁ と、新型マスフロ ーコントローラ２０における流体導入用継手２２と流体導出用継手２３との間の 寸法（継手間寸法）Ｌ₂ とでは、後者Ｌ₂ が前者Ｌ₁ よりもかなり小さくなって いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】

このように、同じ仕様内容で外形寸法、特に、継手間寸法が大きく異なること は往々にして存在するが、例えば、旧型マスフローコントローラ１０に代えて新 型マスフローコントローラ２０を使用する場合、新型マスフローコントローラ２ ０が小型化された分、固定的に設けられている配管３０などとの接続の関係上、 寸法調整を行い、必要な部分の寸法を共通化する必要がある。

【０００５】 そこで、従来においては、図３に示すように、新型マスフローコントローラ２ ０における一方の継手、例えば、流体導出用継手２３を溶接３２によって前記寸 法Ｌ₁ とＬ₂ との寸法差だけ、外方に突出させるようにして、旧型マスフローコ ントローラ１０の継手間寸法Ｌ₁ になるように改造していた。なお、この図にお いて、２４は流体の流量測定を行うセンサ部、２５は流体の流量制御を行う流量 制御部である。

【０００６】 しかしながら、上述のように、溶接によって継手間寸法が大きく（Ｌ₁ ）なる ように改造した新型マスフローコントローラ２０は、前記寸法Ｌ₁ より小さい継 手間寸法Ｌ₂ のものとしてはもはや用いることができないといった大きな欠点が ある。

【０００７】 上述した課題は、マスフローコントローラのみならず、マスフローメータにお いても同様に生じているところである。

【０００８】 この考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、継手間寸法が異なる質量 流量制御装置において、この寸法を簡単に共通化できるとともに、特に、継手間 寸法の質量流量制御装置を長短いずれの継手間寸法でも用いることができるよう にすることを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案では、本体内部に流体の流量測定を行うセ ンサ部を設け、本体の互いに対向する側面に流体導入用継手と流体導出用継手と を突設した質量流量制御装置において、前記流体導入用継手または流体導出用継 手の少なくともいずれかにガスケットを介在させた状態でジョイント継手を着脱 自在に設け、前記両継手間の寸法が所望の寸法となるように構成している。

【００１０】

【作用】

上記構成によれば、例えば、継手間寸法の大きいマスフローコントローラに代 えて、継手間寸法の小さいマスフローコントローラを用いる場合、このマスフロ ーコントローラの継手にジョイント継手を螺着することにより、継手間寸法を所 望の大きい寸法にすることができ、そして、このマスフローコントローラにおい て、ジョイント継手を外した場合には、継手間寸法の小さいマスフローコントロ ーラとして使用することができる。

【００１１】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例を示し、この図において、図２および図３に示し た符号と同一の符号は同一物を示しているので、その説明は省略する。この実施 例におけるマスフローコントローラ２０においては、流体導入用継手２２または 流体導出用継手２３の少なくともいずれかにガスケットを介在させた状態でジョ イント継手を着脱自在に設け、両継手２２，２３間の寸法が所望の寸法となるよ うに構成している。

【００１２】 すなわち、図１において、３３はジョイント継手で、図示する例においては、 流体導出用継手２３に螺着されている。このジョイント継手３３は、流体導出用 継手２３と螺合する内ねじ部を形成した筒状の第１接続部３３Ａと外周にねじ部 を形成した第２接続部３３Ｂとからなり、第２接続部３３Ｂの内部の孔３３ｂは 、例えば、流体導出用継手２３内の流体流通孔（図示してない）と同じ径に設定 されている。また、３４は流体導出用継手２３とジョイント継手３３との間に介 装される耐腐食性素材よりなるガスケットである。

【００１３】 前記ジョイント継手３３において、ガスケット３４の厚みと第２接続部３３Ｂ の長さとの和Ｌは、次のように設定される。例えば、旧型のマスフローコントロ ーラ１０の継手間寸法Ｌ₁ とし、新型のマスフローコントローラ２０の継手間寸 法Ｌ₂ であるとき、前記寸法Ｌは、（Ｌ₁ −Ｌ₂ ）と同じになるように設定され る。

【００１４】 上記構成においては、例えば、図２に示すような継手間寸法Ｌ₁ の大きいマス フローコントローラ１０に代えて、継手間寸法Ｌ₂ の小さいマスフローコントロ ーラ１０を用いる場合、このマスフローコントローラ１０の流体導出用継手２３ に、ガスケット３４を介装して、ジョイント継手３３を螺着する。このようにす ることにより、マスフローコントローラ１０における継手間寸法を所望の大きい 寸法Ｌ₁ にすることができる。そして、前記ジョイント継手３３を、例えば、図 ２に示す接続用部材３１によって配管３０と接続するのである。

【００１５】 そして、前記ジョイント継手３３を流体導出用継手２３に接続しない場合は、 マスフローコントローラ１０を、その継手間寸法が本来の継手間寸法Ｌ₂ のもの として使用することができる。

【００１６】 上述の実施例においては、ジョイント継手３３を流体導出用継手２３に接続す るようにしていたが、これに代えて、流体導入用継手２２に接続するようにして もよく、また、調整する寸法の大きさによっては、前記継手２２，２３の両方に ジョイント継手３３を接続するようにしてもよい。また、ジョイント継手３３を 流体導出用継手２３に螺着していたが、嵌着するようにしてもよい。

【００１７】 なお、この考案は、マスフローコントローラのみならず、マスフローメータに も同様に適用できることは言うまでもない。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、マスフローコントローラやマスフロ ーメータなどの質量流量制御装置における継手間寸法が異なるような場合、従来 のように、溶接などを行わなくても、継手間寸法の小さい質量流量制御装置に、 所定のジョイント継手を接続するだけで継手間寸法を、継手間寸法の大きい質量 流量制御装置のそれと等しくすることを簡単に、しかも安価にできる。また、継 手間寸法の小さい質量流量制御装置は、ジョイント継手を用いない場合は、本来 の継手間寸法で用いることができるため、使用寸法の統一化が簡単に行なえ、使 用範囲の拡大が大いに促進される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の質量流量制御装置の一例を示す部分
縦断面図である。

【図２】従来技術を説明するための図である。

【図３】従来技術を説明するための図である。

【符号の説明】

２１…本体、２１ａ，２１ｂ…側面、２２…流体導入用
継手、２３…流体導出用継手、２４…センサ部、３３…
ジョイント継手、３４…ガスケット。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体内部に流体の流量測定を行うセンサ
   部を設け、本体の互いに対向する側面に流体導入用継手
   と流体導出用継手とを突設した質量流量制御装置におい
   て、前記流体導入用継手または流体導出用継手の少なく
   ともいずれかにガスケットを介在させた状態でジョイン
   ト継手を着脱自在に設け、前記両継手間の寸法が所望の
   寸法となるように構成したことを特徴とする質量流量制
   御装置。