JP2003194648A - 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 - Google Patents
圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置Info
- Publication number
- JP2003194648A JP2003194648A JP2001399910A JP2001399910A JP2003194648A JP 2003194648 A JP2003194648 A JP 2003194648A JP 2001399910 A JP2001399910 A JP 2001399910A JP 2001399910 A JP2001399910 A JP 2001399910A JP 2003194648 A JP2003194648 A JP 2003194648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- temperature
- pressure sensor
- drift
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
- G01D3/022—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation having an ideal characteristic, map or correction data stored in a digital memory
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/50—Correcting or compensating means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
- G01F15/04—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured
- G01F15/043—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured using electrical means
- G01F15/046—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured using electrical means involving digital counting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/025—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning with temperature compensating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Technology Law (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力センサの温度ドリフトを自動補正して温
度変動に拘わらず圧力を正確に検出できる圧力センサ、
圧力制御装置及び流量制御装置を開発する。 【解決手段】 本発明に係る圧力式流量制御装置の温度
ドリフト補正装置は、オリフィス４とコントロールバル
ブ２２の間に上流側圧力Ｐ1を検出する上流側圧力セン
サ１０を設け、上流側圧力Ｐ1によりオリフィス通過流
量を演算しながらコントロールバルブ２２の開閉により
オリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置にお
いて、流体温度を測定する温度センサ１４と、流体温度
Ｔと上流側圧力センサ１０の出力ドリフトの関係を格納
するメモリ手段６４と、流体温度Ｔが変化した場合にメ
モリ手段６４のデータから上流側圧力センサ１０の出力
ドリフト量を演算し、この演算出力ドリフト量により上
流側圧力センサ１０の出力ドリフトを消去補正する温度
ドリフト補正手段から構成される。この構成により、圧
力センサの温度ドリフトを自動補正して、正確な流量制
御を可能とする。
度変動に拘わらず圧力を正確に検出できる圧力センサ、
圧力制御装置及び流量制御装置を開発する。 【解決手段】 本発明に係る圧力式流量制御装置の温度
ドリフト補正装置は、オリフィス４とコントロールバル
ブ２２の間に上流側圧力Ｐ1を検出する上流側圧力セン
サ１０を設け、上流側圧力Ｐ1によりオリフィス通過流
量を演算しながらコントロールバルブ２２の開閉により
オリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置にお
いて、流体温度を測定する温度センサ１４と、流体温度
Ｔと上流側圧力センサ１０の出力ドリフトの関係を格納
するメモリ手段６４と、流体温度Ｔが変化した場合にメ
モリ手段６４のデータから上流側圧力センサ１０の出力
ドリフト量を演算し、この演算出力ドリフト量により上
流側圧力センサ１０の出力ドリフトを消去補正する温度
ドリフト補正手段から構成される。この構成により、圧
力センサの温度ドリフトを自動補正して、正確な流量制
御を可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は主として半導体製造
設備や化学プラント等で使用される圧力センサ、圧力制
御装置又は圧力式流量制御装置に関し、更に詳細には、
流体の圧力を計測する圧力センサの出力が温度変動によ
りドリフトする場合に、その温度ドリフトを自動的に消
去することにより正確に流体圧力を検出して流体の圧力
や流量を制御できる圧力センサ、圧力制御装置又は圧力
式流量制御装置の温度ドリフト補正装置に関する。
設備や化学プラント等で使用される圧力センサ、圧力制
御装置又は圧力式流量制御装置に関し、更に詳細には、
流体の圧力を計測する圧力センサの出力が温度変動によ
りドリフトする場合に、その温度ドリフトを自動的に消
去することにより正確に流体圧力を検出して流体の圧力
や流量を制御できる圧力センサ、圧力制御装置又は圧力
式流量制御装置の温度ドリフト補正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造設備や化学プラントなどで
は、原料となる複数のガスを所定の流量で供給し、原料
ガスを反応炉の中で化学反応させて目的ガスを生成する
場合が多い。このような場合に、原料ガスの供給流量が
正確でないと化学反応に過不足が生じ、目的ガスの中に
原料ガスが残留する事態が生じる。特に、この原料ガス
が引火性の場合には爆発の危険性が付きまとう。従っ
て、原料ガスの化学反応を過不足無く行なうために、ガ
ス流量を正確に供給制御することが必要となる。
は、原料となる複数のガスを所定の流量で供給し、原料
ガスを反応炉の中で化学反応させて目的ガスを生成する
場合が多い。このような場合に、原料ガスの供給流量が
正確でないと化学反応に過不足が生じ、目的ガスの中に
原料ガスが残留する事態が生じる。特に、この原料ガス
が引火性の場合には爆発の危険性が付きまとう。従っ
て、原料ガスの化学反応を過不足無く行なうために、ガ
ス流量を正確に供給制御することが必要となる。
【０００３】従来、ガス流量を正確に制御するために、
配管内にオリフィスを配置し、オリフィスを通過する理
論流量を表現する出来るだけ精度の良い流量式が選択さ
れてきた。最初に用いられた流量式は流体を非圧縮性流
体として近似するもので、Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1−Ｐ2）
1/2で表される。Ｐ1はオリフィスより上流側の圧力、ま
たＰ2はオリフィスより下流側の圧力を示す。Ｋは流体
温度に依存した比例定数である。この流量式はＰ1とＰ2
の二つの圧力パラメータで制御される。
配管内にオリフィスを配置し、オリフィスを通過する理
論流量を表現する出来るだけ精度の良い流量式が選択さ
れてきた。最初に用いられた流量式は流体を非圧縮性流
体として近似するもので、Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1−Ｐ2）
1/2で表される。Ｐ1はオリフィスより上流側の圧力、ま
たＰ2はオリフィスより下流側の圧力を示す。Ｋは流体
温度に依存した比例定数である。この流量式はＰ1とＰ2
の二つの圧力パラメータで制御される。
【０００４】実際のガス流は圧縮性流体であるから、上
式の精度は良くない。そこで、圧力比Ｐ2／Ｐ1を約０．
５の臨界値より小さくすると、オリフィスを通過するガ
スの流速が音速に達し、この音速領域では理論流量式が
Ｑｃ＝ＫＰ1になることが知られている。臨界条件が満
足される限り、この式は上流側流量Ｐ1にのみ依存する
単純性を有するだけでなく、圧縮性流体に対する正確な
オリフィス通過流量を与えることでも知られている。
式の精度は良くない。そこで、圧力比Ｐ2／Ｐ1を約０．
５の臨界値より小さくすると、オリフィスを通過するガ
スの流速が音速に達し、この音速領域では理論流量式が
Ｑｃ＝ＫＰ1になることが知られている。臨界条件が満
足される限り、この式は上流側流量Ｐ1にのみ依存する
単純性を有するだけでなく、圧縮性流体に対する正確な
オリフィス通過流量を与えることでも知られている。
【０００５】従って、非圧縮性流体という近似制御では
Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1−Ｐ2）1/2が使用され、臨界条件
（Ｐ2／Ｐ1＜約０．５）ではＱｃ＝ＫＰ1が流量制御に
主に使用されている。これらの流量式を使用する場合
に、流体圧力Ｐ1又はＰ2の測定が前提になる。即ち、前
者においては上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2の同時測定
を要し、また後者では上流側圧力Ｐ1の測定を要する。
Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1−Ｐ2）1/2が使用され、臨界条件
（Ｐ2／Ｐ1＜約０．５）ではＱｃ＝ＫＰ1が流量制御に
主に使用されている。これらの流量式を使用する場合
に、流体圧力Ｐ1又はＰ2の測定が前提になる。即ち、前
者においては上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2の同時測定
を要し、また後者では上流側圧力Ｐ1の測定を要する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】流体圧力を測定するに
は、流体中に圧力センサを配置することが必要になる。
従って、圧力センサは流体温度に極めて敏感になり、直
ぐに流体温度Ｔと同一、即ち流体と平衡温度に到達す
る。流体圧力を正確に測定するには、圧力センサのサイ
ズは流体の流れを撹乱しない程度に小さくする必要があ
り、この場合には平衡温度への到達速度は極めて速いと
考えられる。
は、流体中に圧力センサを配置することが必要になる。
従って、圧力センサは流体温度に極めて敏感になり、直
ぐに流体温度Ｔと同一、即ち流体と平衡温度に到達す
る。流体圧力を正確に測定するには、圧力センサのサイ
ズは流体の流れを撹乱しない程度に小さくする必要があ
り、この場合には平衡温度への到達速度は極めて速いと
考えられる。
【０００７】配管を流れるガス流体はできるだけ一定温
度で流通するように制御されているが、実際の長時間流
通では、かなりの温度変動が存在することが知られてい
る。また、ガス流体を交換して流通させる場合には、あ
る時間帯では高温ガスが流れ、他の時間帯では低温ガス
が流れることがある。従って、温度変動する流体を同一
の圧力センサで計測すると、圧力センサ出力の温度ドリ
フト特性が問題となり、検出された流体圧力を補正する
必要が生じる。
度で流通するように制御されているが、実際の長時間流
通では、かなりの温度変動が存在することが知られてい
る。また、ガス流体を交換して流通させる場合には、あ
る時間帯では高温ガスが流れ、他の時間帯では低温ガス
が流れることがある。従って、温度変動する流体を同一
の圧力センサで計測すると、圧力センサ出力の温度ドリ
フト特性が問題となり、検出された流体圧力を補正する
必要が生じる。
【０００８】従来の圧力センサには、圧力の検出方式が
どのようなものであれ必ず温度ドリフトが存在する。温
度ドリフトとは、圧力センサの周囲の環境温度が変化し
たときに、圧力センサの出力が同じ圧力に対して変動す
ることを云う。この出力ドリフトは流体温度と相関があ
ることが判明している。
どのようなものであれ必ず温度ドリフトが存在する。温
度ドリフトとは、圧力センサの周囲の環境温度が変化し
たときに、圧力センサの出力が同じ圧力に対して変動す
ることを云う。この出力ドリフトは流体温度と相関があ
ることが判明している。
【０００９】個々の圧力センサについては、温度補償回
路が組み込まれているものも存在するが、この場合にお
いても、温度ドリフトが例えば０．０５％／℃であれ
ば、２０℃から１００℃に変化する場合には、４％の出
力ドリフトが発生することになる。
路が組み込まれているものも存在するが、この場合にお
いても、温度ドリフトが例えば０．０５％／℃であれ
ば、２０℃から１００℃に変化する場合には、４％の出
力ドリフトが発生することになる。
【００１０】圧力センサには各種の形式があるが、一例
としてストレインゲージを考えてみる。ストレインゲー
ジは圧力を電圧に変換し、横軸を圧力にとると縦軸が出
力電圧に対応した関係になる。当然、絶対圧力がゼロの
場合に出力電圧はゼロになり、絶対圧力の増加に従って
出力電圧が増加することが期待される。
としてストレインゲージを考えてみる。ストレインゲー
ジは圧力を電圧に変換し、横軸を圧力にとると縦軸が出
力電圧に対応した関係になる。当然、絶対圧力がゼロの
場合に出力電圧はゼロになり、絶対圧力の増加に従って
出力電圧が増加することが期待される。
【００１１】圧力センサに加わる圧力がゼロのときのセ
ンサ出力をゼロ点出力と云い、ゼロ点が温度変化に応じ
て変動する温度ドリフトをゼロ点出力ドリフトと呼ぶ。
これに対し、加圧時のセンサ出力の温度ドリフトをスパ
ン出力ドリフトと呼ぶ。正確なセンサ出力を得るために
は、ゼロ点出力ドリフトとスパン出力ドリフトの両者の
調整が必要になる。
ンサ出力をゼロ点出力と云い、ゼロ点が温度変化に応じ
て変動する温度ドリフトをゼロ点出力ドリフトと呼ぶ。
これに対し、加圧時のセンサ出力の温度ドリフトをスパ
ン出力ドリフトと呼ぶ。正確なセンサ出力を得るために
は、ゼロ点出力ドリフトとスパン出力ドリフトの両者の
調整が必要になる。
【００１２】具体的に考えると、仮に圧力センサのゼロ
点出力ドリフトが無く、そのゼロ点電圧が０（Ｖ）であ
るとしよう。今、流体の絶対圧力が１．０（×１０2ｋ
ＰａＡ）、即ち１ａｔｍのとき、圧力センサの出力電圧
が２０ｍＶであるとする。この状態で流体温度を変化さ
せた場合、当然にその出力電圧は２０ｍＶから変化す
る。この変動が前述したスパン出力ドリフトである。実
際には、ゼロ点出力ドリフトがあるため、任意圧力にお
けるスパン出力ドリフトにはゼロ点電圧が加算されて出
現する。
点出力ドリフトが無く、そのゼロ点電圧が０（Ｖ）であ
るとしよう。今、流体の絶対圧力が１．０（×１０2ｋ
ＰａＡ）、即ち１ａｔｍのとき、圧力センサの出力電圧
が２０ｍＶであるとする。この状態で流体温度を変化さ
せた場合、当然にその出力電圧は２０ｍＶから変化す
る。この変動が前述したスパン出力ドリフトである。実
際には、ゼロ点出力ドリフトがあるため、任意圧力にお
けるスパン出力ドリフトにはゼロ点電圧が加算されて出
現する。
【００１３】このように、上流側圧力Ｐ1又は下流側圧
力Ｐ2を測定しながらオリフィス通過流量を制御する圧
力式流量制御装置では、圧力センサの出力電圧にゼロ点
出力ドリフトとスパン出力ドリフトという温度変動特性
が含まれる。従って、その出力電圧を直接圧力に変換す
ると圧力Ｐ1、Ｐ2に誤差が含まれる事になり、前述した
流量式に従って演算流量Ｑｃに誤差を導入することにな
る。この問題が圧力式流量制御装置における温度ドリフ
トの問題である。
力Ｐ2を測定しながらオリフィス通過流量を制御する圧
力式流量制御装置では、圧力センサの出力電圧にゼロ点
出力ドリフトとスパン出力ドリフトという温度変動特性
が含まれる。従って、その出力電圧を直接圧力に変換す
ると圧力Ｐ1、Ｐ2に誤差が含まれる事になり、前述した
流量式に従って演算流量Ｑｃに誤差を導入することにな
る。この問題が圧力式流量制御装置における温度ドリフ
トの問題である。
【００１４】圧力センサが有するゼロ点及びスパンの温
度ドリフト特性は個々の圧力センサにより異なるが、圧
力センサの温度ドリフトを補正する方法を確立するする
ことによって、正確なセンサ出力を得ることが要望され
てきた。
度ドリフト特性は個々の圧力センサにより異なるが、圧
力センサの温度ドリフトを補正する方法を確立するする
ことによって、正確なセンサ出力を得ることが要望され
てきた。
【００１５】従って、本発明に係る温度ドリフト補正装
置は、温度変動による圧力センサのゼロ点出力ドリフト
及び／又はスパン出力ドリフトを制御回路や制御ソフト
により自動補正して、流体圧力を正確に測定することを
目的とする。また、この圧力センサを有した圧力制御装
置や圧力式流量制御装置に関しても、圧力センサのゼロ
点出力ドリフト及び／又はスパン出力ドリフトを補正し
て、正確に圧力制御や流量制御を実現する圧力制御装置
や圧力式流量制御装置を開発することを目的とする。
置は、温度変動による圧力センサのゼロ点出力ドリフト
及び／又はスパン出力ドリフトを制御回路や制御ソフト
により自動補正して、流体圧力を正確に測定することを
目的とする。また、この圧力センサを有した圧力制御装
置や圧力式流量制御装置に関しても、圧力センサのゼロ
点出力ドリフト及び／又はスパン出力ドリフトを補正し
て、正確に圧力制御や流量制御を実現する圧力制御装置
や圧力式流量制御装置を開発することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、流体
圧力を測定する圧力センサにおいて、流体温度を測定す
る温度センサと、流体温度と圧力センサ出力ドリフトの
関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した場合
にメモリ手段のデータから圧力センサ出力ドリフト量を
演算し、この演算出力ドリフト量により圧力センサの出
力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正手段から構
成され、流体温度が変動しても流体圧力を正確に測定す
ることを特徴とする圧力センサの温度ドリフト補正装置
である。
圧力を測定する圧力センサにおいて、流体温度を測定す
る温度センサと、流体温度と圧力センサ出力ドリフトの
関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した場合
にメモリ手段のデータから圧力センサ出力ドリフト量を
演算し、この演算出力ドリフト量により圧力センサの出
力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正手段から構
成され、流体温度が変動しても流体圧力を正確に測定す
ることを特徴とする圧力センサの温度ドリフト補正装置
である。
【００１７】請求項２の発明は、圧力制御用のコントロ
ールバルブと流体圧力を測定する圧力センサから構成さ
れた圧力制御装置において、流体温度と圧力センサ出力
ドリフトの関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変
化した場合にメモリ手段のデータから圧力センサ出力ド
リフト量を演算し、この演算出力ドリフト量により圧力
センサの出力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正
手段から構成され、流体温度が変動しても流体圧力を正
確に制御することを特徴とする圧力制御装置の温度ドリ
フト補正装置である。
ールバルブと流体圧力を測定する圧力センサから構成さ
れた圧力制御装置において、流体温度と圧力センサ出力
ドリフトの関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変
化した場合にメモリ手段のデータから圧力センサ出力ド
リフト量を演算し、この演算出力ドリフト量により圧力
センサの出力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正
手段から構成され、流体温度が変動しても流体圧力を正
確に制御することを特徴とする圧力制御装置の温度ドリ
フト補正装置である。
【００１８】請求項３の発明は、流量制御用のオリフィ
スと、オリフィスの上流側配管に設けたコントロールバ
ルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けて
上流側圧力Ｐ1を検出する上流側圧力センサから構成さ
れ、上流側圧力Ｐ1によりオリフィス通過流量を制御す
る圧力式流量制御装置において、流体温度を測定する温
度センサと、流体温度と上流側圧力センサの出力ドリフ
トの関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した
場合にメモリ手段のデータから上流側圧力センサの出力
ドリフト量を演算し、この演算出力ドリフト量により上
流側圧力センサの出力ドリフトを消去補正する温度ドリ
フト補正手段から構成され、流体温度が変動しても流体
流量を正確に制御することを特徴とする圧力式流量制御
装置の温度ドリフト補正装置である。
スと、オリフィスの上流側配管に設けたコントロールバ
ルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けて
上流側圧力Ｐ1を検出する上流側圧力センサから構成さ
れ、上流側圧力Ｐ1によりオリフィス通過流量を制御す
る圧力式流量制御装置において、流体温度を測定する温
度センサと、流体温度と上流側圧力センサの出力ドリフ
トの関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した
場合にメモリ手段のデータから上流側圧力センサの出力
ドリフト量を演算し、この演算出力ドリフト量により上
流側圧力センサの出力ドリフトを消去補正する温度ドリ
フト補正手段から構成され、流体温度が変動しても流体
流量を正確に制御することを特徴とする圧力式流量制御
装置の温度ドリフト補正装置である。
【００１９】請求項４の発明は、流量制御用のオリフィ
スと、オリフィスの上流側配管に設けたコントロールバ
ルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けて
上流側圧力Ｐ1を検出する上流側圧力センサと、オリフ
ィスの下流側配管に設けられて下流側圧力Ｐ2を検出す
る下流側圧力センサとから構成され、上流側圧力Ｐ1と
下流側圧力Ｐ2によりオリフィス通過流量を制御する圧
力式流量制御装置において、流体温度を測定する温度セ
ンサと、流体温度と上流側圧力センサ及び下流側圧力セ
ンサの出力ドリフトの関係を格納するメモリ手段と、流
体温度が変化した場合にメモリ手段のデータから上流側
圧力センサ及び下流側圧力センサの出力ドリフト量を演
算し、この演算出力ドリフト量により上流側圧力センサ
及び下流側圧力センサの出力ドリフトを消去補正する温
度ドリフト補正手段から構成され、流体温度が変動して
も流体流量を正確に制御することを特徴とする圧力式流
量制御装置の温度ドリフト補正装置である。
スと、オリフィスの上流側配管に設けたコントロールバ
ルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けて
上流側圧力Ｐ1を検出する上流側圧力センサと、オリフ
ィスの下流側配管に設けられて下流側圧力Ｐ2を検出す
る下流側圧力センサとから構成され、上流側圧力Ｐ1と
下流側圧力Ｐ2によりオリフィス通過流量を制御する圧
力式流量制御装置において、流体温度を測定する温度セ
ンサと、流体温度と上流側圧力センサ及び下流側圧力セ
ンサの出力ドリフトの関係を格納するメモリ手段と、流
体温度が変化した場合にメモリ手段のデータから上流側
圧力センサ及び下流側圧力センサの出力ドリフト量を演
算し、この演算出力ドリフト量により上流側圧力センサ
及び下流側圧力センサの出力ドリフトを消去補正する温
度ドリフト補正手段から構成され、流体温度が変動して
も流体流量を正確に制御することを特徴とする圧力式流
量制御装置の温度ドリフト補正装置である。
【００２０】請求項５の発明は、前記メモリ手段は圧力
がゼロのときに流体温度と圧力センサのゼロ点出力ドリ
フトの関係を格納し、前記温度ドリフト補正手段は、流
体温度が変化した場合にメモリ手段のゼロ点出力ドリフ
ト量を演算し、この演算ゼロ点出力ドリフト量により圧
力センサのゼロ点出力ドリフトを消去補正する請求項
１、２、３又は４に記載の温度ドリフト補正装置であ
る。
がゼロのときに流体温度と圧力センサのゼロ点出力ドリ
フトの関係を格納し、前記温度ドリフト補正手段は、流
体温度が変化した場合にメモリ手段のゼロ点出力ドリフ
ト量を演算し、この演算ゼロ点出力ドリフト量により圧
力センサのゼロ点出力ドリフトを消去補正する請求項
１、２、３又は４に記載の温度ドリフト補正装置であ
る。
【００２１】請求項６の発明は、前記メモリ手段は任意
圧力におけるに流体温度と圧力センサのスパン出力ドリ
フトの関係を格納し、流体温度が変化した場合にメモリ
手段からスパン出力ドリフト量を演算し、圧力センサの
出力又はこの出力の増幅量から前記演算スパン出力ドリ
フト量を消去補正する請求項１、２、３又は４に記載の
温度ドリフト補正装置である。
圧力におけるに流体温度と圧力センサのスパン出力ドリ
フトの関係を格納し、流体温度が変化した場合にメモリ
手段からスパン出力ドリフト量を演算し、圧力センサの
出力又はこの出力の増幅量から前記演算スパン出力ドリ
フト量を消去補正する請求項１、２、３又は４に記載の
温度ドリフト補正装置である。
【００２２】請求項７の発明は、請求項１乃至５のいず
れか1項に記載の温度ドリフト補正装置において、ガス
を流体として流通させ、このガス圧力又はガス流量を制
御するガス供給システムである。
れか1項に記載の温度ドリフト補正装置において、ガス
を流体として流通させ、このガス圧力又はガス流量を制
御するガス供給システムである。
【００２３】
【発明の実施の形態】本発明者等は、温度変化による圧
力センサのゼロ点出力ドリフトやスパン出力ドリフトを
分析することによって、圧力センサのみならず、圧力セ
ンサを使用する圧力制御装置や圧力式流量制御装置の温
度ドリフトをも補正できる方法を創案するに到った。以
下に、本発明に係る圧力式流量制御装置の温度ドリフト
補正装置の実施形態を図面に従って詳細に説明する。
力センサのゼロ点出力ドリフトやスパン出力ドリフトを
分析することによって、圧力センサのみならず、圧力セ
ンサを使用する圧力制御装置や圧力式流量制御装置の温
度ドリフトをも補正できる方法を創案するに到った。以
下に、本発明に係る圧力式流量制御装置の温度ドリフト
補正装置の実施形態を図面に従って詳細に説明する。
【００２４】図１は本発明に係る臨界条件を利用した圧
力式流量制御装置による流量制御の構成図である。この
圧力式流量制御装置２は、供給される流体が臨界条件に
ある場合、即ちオリフィス４から流出する流体の流体速
度が音速である場合を前提としているため、流量はＱ＝
ＫＰ1で表され、圧力測定は上流側圧力センサ１０だけ
で行なわれる。
力式流量制御装置による流量制御の構成図である。この
圧力式流量制御装置２は、供給される流体が臨界条件に
ある場合、即ちオリフィス４から流出する流体の流体速
度が音速である場合を前提としているため、流量はＱ＝
ＫＰ1で表され、圧力測定は上流側圧力センサ１０だけ
で行なわれる。
【００２５】この圧力式流量制御装置２には、オリフィ
ス孔４ａを形成したオリフィス４、上流側配管６、下流
側配管８、上流側圧力センサ１０、温度センサ１４、制
御回路１６、バルブ駆動部２０及びコントロールバルブ
２２が配置されている。
ス孔４ａを形成したオリフィス４、上流側配管６、下流
側配管８、上流側圧力センサ１０、温度センサ１４、制
御回路１６、バルブ駆動部２０及びコントロールバルブ
２２が配置されている。
【００２６】制御回路１６は電子回路とマイクロコンピ
ュータと内蔵プログラムを中心に構成されているが、電
子回路だけで構成してもよいし、電子回路とパーソナル
コンピュータで構成してもよい。この制御回路１６は、
図示しない増幅回路やＡ／Ｄ変換器などの電子回路系
と、実験流量式による流量Ｑｃを演算する流量演算手段
１７と、流すべき設定流量Ｑｓを指令する流量設定手段
１８と、演算流量Ｑｃと設定流量Ｑｓの流量差ΔＱ（＝
Ｑｓ−Ｑｃ）を計算する比較手段１９から構成されてい
る。流量差ΔＱはＱｃ−Ｑｓにより算出されてもよい。
ュータと内蔵プログラムを中心に構成されているが、電
子回路だけで構成してもよいし、電子回路とパーソナル
コンピュータで構成してもよい。この制御回路１６は、
図示しない増幅回路やＡ／Ｄ変換器などの電子回路系
と、実験流量式による流量Ｑｃを演算する流量演算手段
１７と、流すべき設定流量Ｑｓを指令する流量設定手段
１８と、演算流量Ｑｃと設定流量Ｑｓの流量差ΔＱ（＝
Ｑｓ−Ｑｃ）を計算する比較手段１９から構成されてい
る。流量差ΔＱはＱｃ−Ｑｓにより算出されてもよい。
【００２７】この圧力式流量制御装置２の上流側には、
高圧ガスを内蔵するガスタンク２４と、この高圧ガスの
ガス圧力を適度に調整するレギュレータ２６と、このガ
スを供給側配管２７からコントロールバルブ２２に供給
するバルブ２８が接続されている。
高圧ガスを内蔵するガスタンク２４と、この高圧ガスの
ガス圧力を適度に調整するレギュレータ２６と、このガ
スを供給側配管２７からコントロールバルブ２２に供給
するバルブ２８が接続されている。
【００２８】また、圧力式流量制御装置２の下流側に
は、流量制御されたガスを流通させる制御側配管２９
と、このガスをチャンバー３２に供給するバルブ３０
と、真空ポンプ３４が連結されている。チャンバー３２
は供給される原料ガスから目的ガスを生成する反応室
で、例えばＨ２とＯ２の原料ガスからＨ２Ｏの水分ガス
を生成する反応室である。
は、流量制御されたガスを流通させる制御側配管２９
と、このガスをチャンバー３２に供給するバルブ３０
と、真空ポンプ３４が連結されている。チャンバー３２
は供給される原料ガスから目的ガスを生成する反応室
で、例えばＨ２とＯ２の原料ガスからＨ２Ｏの水分ガス
を生成する反応室である。
【００２９】次に、この圧力式流量制御装置２の制御動
作を説明する。上流側では供給側配管２７に所定圧力の
ガスが供給され、更にバルブ駆動部２０により開閉制御
されるコントロールバルブにより上流側配管６への供給
流量が制御される。同時に、下流側ではドライポンプ３
４により下流側配管８が低圧に設定されている。
作を説明する。上流側では供給側配管２７に所定圧力の
ガスが供給され、更にバルブ駆動部２０により開閉制御
されるコントロールバルブにより上流側配管６への供給
流量が制御される。同時に、下流側ではドライポンプ３
４により下流側配管８が低圧に設定されている。
【００３０】真空ポンプ３４による排気で、下流側配管
８内の下流側圧力Ｐ2は上流側圧力Ｐ1よりもかなり小さ
く設定され、少なくともＰ2／Ｐ1＜約０．５の臨界条件
は常に満足されるように自動的に設定されるから、オリ
フィス孔４ａから流出するガス速度は音速となってい
る。従って、オリフィス４の通過流量ＱはＱ＝ＫＰ1が
成立している。
８内の下流側圧力Ｐ2は上流側圧力Ｐ1よりもかなり小さ
く設定され、少なくともＰ2／Ｐ1＜約０．５の臨界条件
は常に満足されるように自動的に設定されるから、オリ
フィス孔４ａから流出するガス速度は音速となってい
る。従って、オリフィス４の通過流量ＱはＱ＝ＫＰ1が
成立している。
【００３１】上流側圧力Ｐ1は圧力センサ１０により計
測される。正確な圧力測定をするため、圧力センサ１０
のセンサ部分はガス流に接触して配置され、しかもガス
流を撹乱しないように、そのセンサ部分は極めて小さく
設計されている。従って、センサ部分はガス温度Ｔに等
しくなっている。
測される。正確な圧力測定をするため、圧力センサ１０
のセンサ部分はガス流に接触して配置され、しかもガス
流を撹乱しないように、そのセンサ部分は極めて小さく
設計されている。従って、センサ部分はガス温度Ｔに等
しくなっている。
【００３２】またガス温度Ｔも温度センサ１４により計
測されている。温度センサ１４はガス流を撹乱しないよ
うにオリフィス４の近傍温度を測定しており、ガスとオ
リフィスが熱平衡にあれば両者の温度は等しくなるか
ら、オリフィス温度をガス温度として測定する。
測されている。温度センサ１４はガス流を撹乱しないよ
うにオリフィス４の近傍温度を測定しており、ガスとオ
リフィスが熱平衡にあれば両者の温度は等しくなるか
ら、オリフィス温度をガス温度として測定する。
【００３３】上流側圧力Ｐ1とガス温度Ｔは電圧として
得られ、図示しない増幅回路やＡ／Ｄ変換器によりデジ
タル信号になる。これらのデジタル信号は流量演算手段
１７に入力され、ガス温度Ｔとガス物性から比例係数Ｋ
が算出され、また上流側圧力Ｐ1を利用して、演算流量
ＱｃがＱｃ＝ＫＰ1により算出される。
得られ、図示しない増幅回路やＡ／Ｄ変換器によりデジ
タル信号になる。これらのデジタル信号は流量演算手段
１７に入力され、ガス温度Ｔとガス物性から比例係数Ｋ
が算出され、また上流側圧力Ｐ1を利用して、演算流量
ＱｃがＱｃ＝ＫＰ1により算出される。
【００３４】流量設定手段１８からは目的となる設定流
量Ｑｓが入力されており、比較手段１９により流量差Δ
ＱがΔＱ＝Ｑｓ−Ｑｃとして演算される。この流量差Δ
ＱとしてΔＱ＝Ｑｃ−Ｑｓが用いられてもよい。
量Ｑｓが入力されており、比較手段１９により流量差Δ
ＱがΔＱ＝Ｑｓ−Ｑｃとして演算される。この流量差Δ
ＱとしてΔＱ＝Ｑｃ−Ｑｓが用いられてもよい。
【００３５】この流量差ΔＱはバルブ駆動部２０に出力
され、ΔＱをゼロにする方向にコントロールバルブ２２
の開度を調整する。この開度調整により、ガスの上流側
圧力Ｐ1が可変調整され、Ｑｃ＝ＫＰ1によって得られる
演算流量Ｑｃが設定流量に等しくなるように制御され
る。
され、ΔＱをゼロにする方向にコントロールバルブ２２
の開度を調整する。この開度調整により、ガスの上流側
圧力Ｐ1が可変調整され、Ｑｃ＝ＫＰ1によって得られる
演算流量Ｑｃが設定流量に等しくなるように制御され
る。
【００３６】前述したように、圧力センサ１０のセンサ
部分はガス温度Ｔに等しくなっており、ガス温度Ｔが変
動すると、それに連れてセンサ部分の温度も変化する。
しかし、圧力センサは温度依存性を有し、圧力センサの
出力電圧が温度変動に従ってドリフトする。この出力ド
リフトの補正について次に述べる。
部分はガス温度Ｔに等しくなっており、ガス温度Ｔが変
動すると、それに連れてセンサ部分の温度も変化する。
しかし、圧力センサは温度依存性を有し、圧力センサの
出力電圧が温度変動に従ってドリフトする。この出力ド
リフトの補正について次に述べる。
【００３７】図２は圧力式流量制御装置のゼロ点出力ド
リフト補正用の簡易ブロック回路図である。圧力センサ
１０の出力電圧ｖは固定増幅回路４２及び可変増幅回路
４４によって圧力電圧Ｖにまで増幅される。圧力電圧Ｖ
はＡ／Ｄ変換器４８を介してＣＰＵ４１に入力される。
また、固定増幅回路４２の出力は他の可変増幅回路４６
にも出力され、この可変増幅回路４６の出力も圧力電圧
Ｖを与え、上流側圧力Ｐ1として表示板に表示される。
リフト補正用の簡易ブロック回路図である。圧力センサ
１０の出力電圧ｖは固定増幅回路４２及び可変増幅回路
４４によって圧力電圧Ｖにまで増幅される。圧力電圧Ｖ
はＡ／Ｄ変換器４８を介してＣＰＵ４１に入力される。
また、固定増幅回路４２の出力は他の可変増幅回路４６
にも出力され、この可変増幅回路４６の出力も圧力電圧
Ｖを与え、上流側圧力Ｐ1として表示板に表示される。
【００３８】この実施形態で用いられる圧力センサ１０
は、例えば絶対圧でＰ1＝７気圧、即ち７（×１０2ｋＰ
ａＡ）を感受したときに１００ｍＶを出力すると仮定す
る。この圧力センサ１０を用いてＰ1＝０〜３（×１０2
ｋＰａＡ）の範囲で上流側圧力Ｐ1を制御すると、圧力
センサ１０の出力電圧ｖはｖ＝０〜４２．８６ｍＶの範
囲になる。
は、例えば絶対圧でＰ1＝７気圧、即ち７（×１０2ｋＰ
ａＡ）を感受したときに１００ｍＶを出力すると仮定す
る。この圧力センサ１０を用いてＰ1＝０〜３（×１０2
ｋＰａＡ）の範囲で上流側圧力Ｐ1を制御すると、圧力
センサ１０の出力電圧ｖはｖ＝０〜４２．８６ｍＶの範
囲になる。
【００３９】この出力電圧ｖの最大電圧４２．８６ｍＶ
をフルスケールの５Ｖに増幅するとすれば、増幅率は１
１７倍となる。この実施形態では、１１７倍の増幅率
は、前記固定増幅器４２で１００倍、可変増幅器４４、
４６で１．１７倍にして実現されている。
をフルスケールの５Ｖに増幅するとすれば、増幅率は１
１７倍となる。この実施形態では、１１７倍の増幅率
は、前記固定増幅器４２で１００倍、可変増幅器４４、
４６で１．１７倍にして実現されている。
【００４０】しかし、圧力センサ１０の出力は温度変動
によりドリフトする。圧力ゼロのときにおける出力ドリ
フトをゼロ点出力ドリフトと呼び、任意の圧力を受けて
いるときのドリフトを出力ドリフトと呼ぶことにする。
によりドリフトする。圧力ゼロのときにおける出力ドリ
フトをゼロ点出力ドリフトと呼び、任意の圧力を受けて
いるときのドリフトを出力ドリフトと呼ぶことにする。
【００４１】ゼロ点出力ドリフトは固定増幅器４２のオ
フセット端子４２ａを調整することによって補正され
る。ゼロ点出力ドリフト補正はオフセット用Ｄ／Ａ変換
器４０によって実現される。即ち、圧力がゼロのときに
出力電圧ｖがある値ｖ0を示したとき、このゼロ点出力
ドリフト電圧ｖ0をゼロにするように、オフセット端子
４２ａに−ｖ0を入力する。この結果、圧力がゼロのと
きに、ｖ0が固定増幅器４２に入力しても、実効入力電
圧はｖ0＋（−ｖ0）＝０となり、ゼロ点出力ドリフト補
正が行なわれる。
フセット端子４２ａを調整することによって補正され
る。ゼロ点出力ドリフト補正はオフセット用Ｄ／Ａ変換
器４０によって実現される。即ち、圧力がゼロのときに
出力電圧ｖがある値ｖ0を示したとき、このゼロ点出力
ドリフト電圧ｖ0をゼロにするように、オフセット端子
４２ａに−ｖ0を入力する。この結果、圧力がゼロのと
きに、ｖ0が固定増幅器４２に入力しても、実効入力電
圧はｖ0＋（−ｖ0）＝０となり、ゼロ点出力ドリフト補
正が行なわれる。
【００４２】オフセット用Ｄ／Ａ変換器４０は、粗調整
用（ＲＯＵＧＨ）のＤ／Ａ変換器４０ａとバッファ４０
ｃ、微調整用（ＦＩＮＥ）のＤ／Ａ変換器４０ｂとバッ
ファ４０ｄ及び合成用のバッファ４０ｅから構成され
る。このように、粗調整用回路と微調整用回路により、
ゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0を反転したゼロ点補正電圧
―ｖ0をオフセット端子４２ａに印加して、ゼロ点出力
ドリフトを消去するように補正している。
用（ＲＯＵＧＨ）のＤ／Ａ変換器４０ａとバッファ４０
ｃ、微調整用（ＦＩＮＥ）のＤ／Ａ変換器４０ｂとバッ
ファ４０ｄ及び合成用のバッファ４０ｅから構成され
る。このように、粗調整用回路と微調整用回路により、
ゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0を反転したゼロ点補正電圧
―ｖ0をオフセット端子４２ａに印加して、ゼロ点出力
ドリフトを消去するように補正している。
【００４３】図３はゼロ点出力ドリフト補正とフルスケ
ール設定の説明図である。横軸は上流側圧力Ｐ1を示
し、縦軸は出力電圧ｖと圧力電圧Ｖを示している。圧力
範囲はＰ1＝０〜Ｐ1mで、最大圧力はＰ1m＝３．０（×
１０2ｋＰａＡ）とする。ガス温度ＴがＴ0のとき、ゼロ
点出力ドリフトはｖ0＝−２．０ｍＶ、最大圧力におい
てセンサ最大出力はｖ1＝４０．８ｍＶであるとする。
ール設定の説明図である。横軸は上流側圧力Ｐ1を示
し、縦軸は出力電圧ｖと圧力電圧Ｖを示している。圧力
範囲はＰ1＝０〜Ｐ1mで、最大圧力はＰ1m＝３．０（×
１０2ｋＰａＡ）とする。ガス温度ＴがＴ0のとき、ゼロ
点出力ドリフトはｖ0＝−２．０ｍＶ、最大圧力におい
てセンサ最大出力はｖ1＝４０．８ｍＶであるとする。
【００４４】ｖ0とｖ1を結んだドット線が圧力センサ１
０の温度特性である。オフセット端子４２ａに−ｖ0を
印加すると、ｖ0＋（−ｖ0）＝０によりｖ0は０ｍＶへ
と消去補正され、Zero-Adjで示されている。その結果、
最大圧力Ｐ1mにおいてもｖ1＋（−ｖ0）＝４０．８＋
２．０＝４２．８ｍＶになる。従って、圧力センサ１０
の出力はゼロ点ドリフト補正により０〜４２．８ｍＶへ
と補正される。この補正は破線により表されている。
０の温度特性である。オフセット端子４２ａに−ｖ0を
印加すると、ｖ0＋（−ｖ0）＝０によりｖ0は０ｍＶへ
と消去補正され、Zero-Adjで示されている。その結果、
最大圧力Ｐ1mにおいてもｖ1＋（−ｖ0）＝４０．８＋
２．０＝４２．８ｍＶになる。従って、圧力センサ１０
の出力はゼロ点ドリフト補正により０〜４２．８ｍＶへ
と補正される。この補正は破線により表されている。
【００４５】次に、この圧力センサ１０のフルスケール
設定を行なう。Zero-Adj後の圧力センサの出力が０〜ｖ
1＋（−ｖ0）、即ち０〜４２．８ｍＶであるとき、これ
をフルスケール５Ｖに設定する。即ち、４２．８ｍＶを
５Ｖに増幅するため、可変増幅器４４、４６の増幅率を
１．１７とし、その結果、２段増幅率はＭ＝１００×
１．１７＝１１７に設定される。この補正はSpan-Adjで
表されている。
設定を行なう。Zero-Adj後の圧力センサの出力が０〜ｖ
1＋（−ｖ0）、即ち０〜４２．８ｍＶであるとき、これ
をフルスケール５Ｖに設定する。即ち、４２．８ｍＶを
５Ｖに増幅するため、可変増幅器４４、４６の増幅率を
１．１７とし、その結果、２段増幅率はＭ＝１００×
１．１７＝１１７に設定される。この補正はSpan-Adjで
表されている。
【００４６】従って、最大電圧ＶmはＶm＝Ｍ（ｖ1−
ｖ0）で与えられ、任意圧力Ｐ1での圧力センサ１０の出
力ｖは、Ｖ＝Ｍ（ｖ−ｖ0）へと増幅される。この増幅
出力Ｖは実線によって表され、臨界条件ではこの実線は
Ｖ＝ａ（Ｔ0）Ｐ1を表す。比例定数ａ（Ｔ0）はガス温
度ＴがＴ0における比例定数を与える。
ｖ0）で与えられ、任意圧力Ｐ1での圧力センサ１０の出
力ｖは、Ｖ＝Ｍ（ｖ−ｖ0）へと増幅される。この増幅
出力Ｖは実線によって表され、臨界条件ではこの実線は
Ｖ＝ａ（Ｔ0）Ｐ1を表す。比例定数ａ（Ｔ0）はガス温
度ＴがＴ0における比例定数を与える。
【００４７】図４は圧力センサの出力ドリフトを測定す
る説明図である。圧力センサ１０は圧力式流量制御装置
に組み込んだ状態で恒温槽５０に設置し、恒温槽５０の
外側に配置した真空ポンプＤＰおよび基準圧力発生器５
２を配管で圧力式流量制御装置と接続する。
る説明図である。圧力センサ１０は圧力式流量制御装置
に組み込んだ状態で恒温槽５０に設置し、恒温槽５０の
外側に配置した真空ポンプＤＰおよび基準圧力発生器５
２を配管で圧力式流量制御装置と接続する。
【００４８】真空ポンプＤＰで配管内をゼロ圧力（真
空）、即ちＰ1＝０（×１０2ｋＰａＡ）に設定し、温度
を変化させながら圧力センサ１０のゼロ点出力ドリフト
電圧ｖ 0を測定する。また、バルブを切替えて基準圧力
発生器５２の圧力Ｐ1を特定の圧力に設定し、温度を変
化させながら圧力センサ１０の出力電圧ｖを測定する。
空）、即ちＰ1＝０（×１０2ｋＰａＡ）に設定し、温度
を変化させながら圧力センサ１０のゼロ点出力ドリフト
電圧ｖ 0を測定する。また、バルブを切替えて基準圧力
発生器５２の圧力Ｐ1を特定の圧力に設定し、温度を変
化させながら圧力センサ１０の出力電圧ｖを測定する。
【００４９】図５は圧力センサのゼロ点出力ドリフト
（ZERO DRIFT）の一例の温度特性図である。横軸はガ
ス温度Ｔであり、縦軸はゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0の
相対比率ｋ（Ｔ）である。０％のドットラインはドリフ
トが無い理想的なIdeal Lineを示し、折線は実際に測定
されたゼロ点出力ドリフトを与える。このドリフトは６
０℃でゼロ、８５℃で２．０％程度である。この相対比
率ｋ（Ｔ）をゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0に換算して、
前述したオフセット端子４２ａに印加する。
（ZERO DRIFT）の一例の温度特性図である。横軸はガ
ス温度Ｔであり、縦軸はゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0の
相対比率ｋ（Ｔ）である。０％のドットラインはドリフ
トが無い理想的なIdeal Lineを示し、折線は実際に測定
されたゼロ点出力ドリフトを与える。このドリフトは６
０℃でゼロ、８５℃で２．０％程度である。この相対比
率ｋ（Ｔ）をゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0に換算して、
前述したオフセット端子４２ａに印加する。
【００５０】図６は圧力センサの出力ドリフト（SPAN D
RIFT）の温度特性図である。横軸はガス温度Ｔであり、
縦軸は特定圧力に対するスパン出力ドリフト電圧ｖの相
対比率Δ（Ｔ）である。３種類の圧力、１．５、２．
０、３．０（×１０2ｋＰａＡ）に関して出力ドリフト
が測定され、出力ドリフトは圧力が変わると僅かな違い
を見せるだけである事が分かった。例えば６０℃以下の
ような温度が低い場合には、圧力の違いは無視できるこ
とが分かる。従って、これらのドリフトを平均して、任
意圧力に対し同一幅の出力ドリフトがあるとして補正を
することができる。
RIFT）の温度特性図である。横軸はガス温度Ｔであり、
縦軸は特定圧力に対するスパン出力ドリフト電圧ｖの相
対比率Δ（Ｔ）である。３種類の圧力、１．５、２．
０、３．０（×１０2ｋＰａＡ）に関して出力ドリフト
が測定され、出力ドリフトは圧力が変わると僅かな違い
を見せるだけである事が分かった。例えば６０℃以下の
ような温度が低い場合には、圧力の違いは無視できるこ
とが分かる。従って、これらのドリフトを平均して、任
意圧力に対し同一幅の出力ドリフトがあるとして補正を
することができる。
【００５１】図７は圧力式流量制御装置の制御回路の詳
細ブロック構成図である。圧力センサ１０、固定増幅器
４２、可変増幅器４４・４６、Ａ／Ｄ変換器４８、オフ
セット用Ｄ／Ａ変換器４０は図２と同一であるから、そ
の説明を省略する。
細ブロック構成図である。圧力センサ１０、固定増幅器
４２、可変増幅器４４・４６、Ａ／Ｄ変換器４８、オフ
セット用Ｄ／Ａ変換器４０は図２と同一であるから、そ
の説明を省略する。
【００５２】温度センサ１４により測定されたガス温度
出力は、固定増幅器５６により増幅されてガス温度Ｔと
なり、Ａ／Ｄ変換器５８を介してＣＰＵ４１に入力され
る。このガス温度Ｔは温度ドリフト補正手段６０とガス
温度補正手段６８に入力される。
出力は、固定増幅器５６により増幅されてガス温度Ｔと
なり、Ａ／Ｄ変換器５８を介してＣＰＵ４１に入力され
る。このガス温度Ｔは温度ドリフト補正手段６０とガス
温度補正手段６８に入力される。
【００５３】温度ドリフト補正手段６０は、ゼロ点補正
手段６２、メモリ手段６４及びスパン補正手段６６から
構成されている。メモリ手段６４には、図５に示される
ゼロ点出力ドリフトの相対比率ｋ（Ｔ）と図６に示され
る出力ドリフトの相対比率Δ（Ｔ）のデータが格納され
ている。
手段６２、メモリ手段６４及びスパン補正手段６６から
構成されている。メモリ手段６４には、図５に示される
ゼロ点出力ドリフトの相対比率ｋ（Ｔ）と図６に示され
る出力ドリフトの相対比率Δ（Ｔ）のデータが格納され
ている。
【００５４】ガス温度Ｔがゼロ点補正手段６２に入力さ
れると、メモリ手段６４から必要なゼロ点出力ドリフト
の相対比率データｋ・・が取り出され、ガス温度Ｔにお
ける相対比率ｋ（Ｔ）が計算される。この計算された相
対比率ｋ（Ｔ）からゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0が演算
され、この反転電圧―ｖ0がオフセット用Ｄ／Ａ変換器
４０を介してオフセット端子４２ａに印加されて、ゼロ
点出力ドリフトが自動的に補正される。
れると、メモリ手段６４から必要なゼロ点出力ドリフト
の相対比率データｋ・・が取り出され、ガス温度Ｔにお
ける相対比率ｋ（Ｔ）が計算される。この計算された相
対比率ｋ（Ｔ）からゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0が演算
され、この反転電圧―ｖ0がオフセット用Ｄ／Ａ変換器
４０を介してオフセット端子４２ａに印加されて、ゼロ
点出力ドリフトが自動的に補正される。
【００５５】また、ガス温度Ｔがスパン補正手段６６に
入力されると、メモリ手段６６から必要な出力ドリフト
の相対比率データΔ・・が取り出され、ガス温度Ｔにお
ける相対比率Δ（Ｔ）が計算される。この計算された相
対比率Δ（Ｔ）とＡ／Ｄ変換器４８から入力された圧力
電圧Ｖにより出力ドリフトを消去することにより、正確
な上流側圧力Ｐ1が導出される。
入力されると、メモリ手段６６から必要な出力ドリフト
の相対比率データΔ・・が取り出され、ガス温度Ｔにお
ける相対比率Δ（Ｔ）が計算される。この計算された相
対比率Δ（Ｔ）とＡ／Ｄ変換器４８から入力された圧力
電圧Ｖにより出力ドリフトを消去することにより、正確
な上流側圧力Ｐ1が導出される。
【００５６】また、ガス温度Ｔがガス温度補正手段６８
に入力されると、物性データと合わせて正確な比例定数
Ｋが算出され、この比例定数Ｋと上流側圧力Ｐ1により
演算流量ＱｃがＱｃ＝ＫＰ1として算出される。この演
算流量ＱｃはＤ／Ａ変換器７２と固定増幅器７４を介し
て出力され、図示しない外部表示装置に表示される。
に入力されると、物性データと合わせて正確な比例定数
Ｋが算出され、この比例定数Ｋと上流側圧力Ｐ1により
演算流量ＱｃがＱｃ＝ＫＰ1として算出される。この演
算流量ＱｃはＤ／Ａ変換器７２と固定増幅器７４を介し
て出力され、図示しない外部表示装置に表示される。
【００５７】流量設定手段１８から目的流量として入力
された設定流量Ｑｓは、固定増幅器７６とＡ／Ｄ変換器
７８を介して比較手段１９に入力される。一方、ガス温
度補正手段６８から演算流量Ｑｃが比較手段１９に入力
され、流量差ΔＱがΔＱ＝Ｑｃ−Ｑｓとして計算され、
バルブ駆動部２０に出力される。
された設定流量Ｑｓは、固定増幅器７６とＡ／Ｄ変換器
７８を介して比較手段１９に入力される。一方、ガス温
度補正手段６８から演算流量Ｑｃが比較手段１９に入力
され、流量差ΔＱがΔＱ＝Ｑｃ−Ｑｓとして計算され、
バルブ駆動部２０に出力される。
【００５８】バルブ駆動部２０は、この流量差ΔＱをゼ
ロにするようにコントロールバルブ２２の弁開度を開閉
調整し、この開閉によって上流側圧力Ｐ1が制御され
る。この結果、ΔＱはゼロとなり、演算流量Ｑｃは設定
流量Ｑｓに一致するように自動制御される。
ロにするようにコントロールバルブ２２の弁開度を開閉
調整し、この開閉によって上流側圧力Ｐ1が制御され
る。この結果、ΔＱはゼロとなり、演算流量Ｑｃは設定
流量Ｑｓに一致するように自動制御される。
【００５９】図８は、本発明に係るゼロ点補正手段６２
の作動フロー図である。ステップｍ１でガス温度Ｔを入
力され、ｍ２ではメモリ手段６４の相対比率データを基
礎にしてガス温度Ｔでの相対比率ｋ（Ｔ）を導出する。
ｍ３では、この相対比率ｋ（Ｔ）と圧力センサ１０の出
力電圧ｖからゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0を演算し、ｍ
４でこの電圧ｖ0を反転させた後、ｍ５で−ｖ0をオフセ
ット端子４２に印加する。このようにして、ゼロ点が補
正される。
の作動フロー図である。ステップｍ１でガス温度Ｔを入
力され、ｍ２ではメモリ手段６４の相対比率データを基
礎にしてガス温度Ｔでの相対比率ｋ（Ｔ）を導出する。
ｍ３では、この相対比率ｋ（Ｔ）と圧力センサ１０の出
力電圧ｖからゼロ点出力ドリフト電圧ｖ0を演算し、ｍ
４でこの電圧ｖ0を反転させた後、ｍ５で−ｖ0をオフセ
ット端子４２に印加する。このようにして、ゼロ点が補
正される。
【００６０】図９は、本発明に係るスパン補正手段６６
の作動フロー図である。ステップｎ１ではガス温度Ｔが
入力される。同時に、ｎ２では圧力センサ１０により計
測された出力電圧ｖがゼロ点補正されて圧力電圧Ｖとし
て入力される。
の作動フロー図である。ステップｎ１ではガス温度Ｔが
入力される。同時に、ｎ２では圧力センサ１０により計
測された出力電圧ｖがゼロ点補正されて圧力電圧Ｖとし
て入力される。
【００６１】ｎ３では、メモリ手段６４の相対比率デー
タを基礎にしてガス温度Ｔでのドリフトの相対比率Δ
（Ｔ）が導出される。ｎ４では、この相対比率Δ（Ｔ）
と前記圧力電圧Ｖから温度補正されて温度補正出力電圧
Ｖ’が算出され、この温度補正出力電圧Ｖ’が正確な上
流側圧力Ｐ1となる。ｎ５では、この上流側圧力Ｐ1がガ
ス温度補正手段６８に入力される。
タを基礎にしてガス温度Ｔでのドリフトの相対比率Δ
（Ｔ）が導出される。ｎ４では、この相対比率Δ（Ｔ）
と前記圧力電圧Ｖから温度補正されて温度補正出力電圧
Ｖ’が算出され、この温度補正出力電圧Ｖ’が正確な上
流側圧力Ｐ1となる。ｎ５では、この上流側圧力Ｐ1がガ
ス温度補正手段６８に入力される。
【００６２】図１０は、本発明に係る非臨界条件を利用
した圧力式流量制御装置による流量制御の構成図であ
る。この圧力式流量制御装置２は、供給される流体が非
臨界条件にある場合、即ちオリフィス４から流出する流
体の流体速度が音速より低い場合を前提としている。
した圧力式流量制御装置による流量制御の構成図であ
る。この圧力式流量制御装置２は、供給される流体が非
臨界条件にある場合、即ちオリフィス４から流出する流
体の流体速度が音速より低い場合を前提としている。
【００６３】流体が非臨界条件にあるとき、オリフィス
通過流量の理論流量式の一つは、非圧縮性流体に対して
成立するベルヌーイの定理から導出したもので、Ｑ＝Ｋ
Ｐ2 1 /2（Ｐ1−Ｐ2）1/2で与えられる。この実施形態で
は、この理論流量式を使用して、ガス流量を制御する。
通過流量の理論流量式の一つは、非圧縮性流体に対して
成立するベルヌーイの定理から導出したもので、Ｑ＝Ｋ
Ｐ2 1 /2（Ｐ1−Ｐ2）1/2で与えられる。この実施形態で
は、この理論流量式を使用して、ガス流量を制御する。
【００６４】この流量式では、オリフィス通過量Ｑは上
流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2を使用して演算される。従
って、上流側圧力センサ１０により上流側圧力Ｐ1を測
定し、下流側圧力センサ１２により下流側圧力Ｐ2を常
に計測しながら、演算流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1
−Ｐ2）1/2で算出する。
流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2を使用して演算される。従
って、上流側圧力センサ１０により上流側圧力Ｐ1を測
定し、下流側圧力センサ１２により下流側圧力Ｐ2を常
に計測しながら、演算流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1
−Ｐ2）1/2で算出する。
【００６５】図１との相違点は、下流側圧力Ｐ2を下流
側圧力センサ１２により測定して制御回路１６に入力す
る電子回路系及びソフト系が付加されることである。こ
の電子回路系及びソフト系としては、上流側圧力センサ
１０に連続する電子回路系及びソフト系と同一のものが
そのまま並行して配置される。
側圧力センサ１２により測定して制御回路１６に入力す
る電子回路系及びソフト系が付加されることである。こ
の電子回路系及びソフト系としては、上流側圧力センサ
１０に連続する電子回路系及びソフト系と同一のものが
そのまま並行して配置される。
【００６６】図１１は図１０の制御回路の詳細ブロック
構成図である。電子回路系としては、下流側圧力センサ
１２に連続して、固定増幅器（ＡＭＰ）、可変増幅器
（ＶＡＭＰ）、表示用の可変増幅器（ＶＡＭＰ）、Ａ／
Ｄ変換器及びオフセット用のＤ／Ａ変換器がある。これ
らの電子回路系はＣＰＵ４１の入力系に配置される。
構成図である。電子回路系としては、下流側圧力センサ
１２に連続して、固定増幅器（ＡＭＰ）、可変増幅器
（ＶＡＭＰ）、表示用の可変増幅器（ＶＡＭＰ）、Ａ／
Ｄ変換器及びオフセット用のＤ／Ａ変換器がある。これ
らの電子回路系はＣＰＵ４１の入力系に配置される。
【００６７】また、ソフト系としては、上流側圧力セン
サ１０のソフト系を共用する。即ち、下流側圧力センサ
１２のゼロ点出力ドリフトとスパン出力ドリフトのデー
タを格納するメモリ手段６４、これらのデータを使用し
てゼロ点出力ドリフトを補正するゼロ点補正手段６２と
スパン出力ドリフトを補正するスパン補正手段６６があ
る。これらのソフト系はＣＰＵ４１の中に構成される。
サ１０のソフト系を共用する。即ち、下流側圧力センサ
１２のゼロ点出力ドリフトとスパン出力ドリフトのデー
タを格納するメモリ手段６４、これらのデータを使用し
てゼロ点出力ドリフトを補正するゼロ点補正手段６２と
スパン出力ドリフトを補正するスパン補正手段６６があ
る。これらのソフト系はＣＰＵ４１の中に構成される。
【００６８】このような電子回路系とソフト系を配置
し、制御回路１６の中にＱｃ＝ＫＰ2 1 /2（Ｐ1−Ｐ2）
1/2を演算する流量演算手段１６を配置し、同時に流量
差ΔＱ＝Ｑｓ−Ｑｃを演算する比較手段１９を配置し
て、目的とする流量を得るように流量制御を行なう。他
の部材の作用・効果は図１と同様であるから、その説明
を省略する。
し、制御回路１６の中にＱｃ＝ＫＰ2 1 /2（Ｐ1−Ｐ2）
1/2を演算する流量演算手段１６を配置し、同時に流量
差ΔＱ＝Ｑｓ−Ｑｃを演算する比較手段１９を配置し
て、目的とする流量を得るように流量制御を行なう。他
の部材の作用・効果は図１と同様であるから、その説明
を省略する。
【００６９】図１２は、本発明に係る非臨界条件を利用
した改良型圧力式流量制御装置による流量制御の構成図
である。この圧力式流量制御装置２は、供給される流体
が非臨界条件にある場合を前提としているが、改良され
た理論流量式を使用する。
した改良型圧力式流量制御装置による流量制御の構成図
である。この圧力式流量制御装置２は、供給される流体
が非臨界条件にある場合を前提としているが、改良され
た理論流量式を使用する。
【００７０】実際のガス流体は膨張性と圧縮性を有して
いるため、非圧縮性を前提としたベルヌーイの定理は近
似的にしか成立しない。従って、Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1
−Ｐ2）1/2で表される流量式は近似式でしかない。本発
明者等は、この近似式を改良して実際の流量を高精度に
再現できる流量式を検討した。
いるため、非圧縮性を前提としたベルヌーイの定理は近
似的にしか成立しない。従って、Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1
−Ｐ2）1/2で表される流量式は近似式でしかない。本発
明者等は、この近似式を改良して実際の流量を高精度に
再現できる流量式を検討した。
【００７１】この改良された流量式として、Ｑｃ＝ＫＰ
2 m（Ｐ1−Ｐ2）nを使用することにした。指数として二
つのパラメータｍ、ｎを使用し、実際の流量をこの流量
式でフィットすることにより、ｍとｎを導出した。得ら
れた値は、ｍ＝０．４７１５２、ｎ＝０．５９４９２で
あった。これらのパラメータを使用することにより、実
際の流量を高精度に再現する事ができた。
2 m（Ｐ1−Ｐ2）nを使用することにした。指数として二
つのパラメータｍ、ｎを使用し、実際の流量をこの流量
式でフィットすることにより、ｍとｎを導出した。得ら
れた値は、ｍ＝０．４７１５２、ｎ＝０．５９４９２で
あった。これらのパラメータを使用することにより、実
際の流量を高精度に再現する事ができた。
【００７２】この実施形態では、改良された流量式を用
いて流量演算手段１７を構成しており、この点を除けば
図１０に示す実施形態と全く同様である。即ち、上流側
圧力センサ１０と下流側圧力センサ１２の温度ドリフト
を補正する構成は図１１と同一であるから、その説明は
省略する。
いて流量演算手段１７を構成しており、この点を除けば
図１０に示す実施形態と全く同様である。即ち、上流側
圧力センサ１０と下流側圧力センサ１２の温度ドリフト
を補正する構成は図１１と同一であるから、その説明は
省略する。
【００７３】上述では、本発明を圧力式流量制御装置に
ついて説明したが、圧力センサ自体の温度ドリフト（ゼ
ロ点出力ドリフトとスパン出力ドリフト）の補正にも適
用できる。また、圧力センサが組み込まれた圧力制御装
置の温度ドリフト補正にも使用できる。
ついて説明したが、圧力センサ自体の温度ドリフト（ゼ
ロ点出力ドリフトとスパン出力ドリフト）の補正にも適
用できる。また、圧力センサが組み込まれた圧力制御装
置の温度ドリフト補正にも使用できる。
【００７４】本発明は上記実施形態に限定されるもので
はなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における
種々の変形例・設計変更などをその技術的範囲内に包含
することは云うまでもない。
はなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における
種々の変形例・設計変更などをその技術的範囲内に包含
することは云うまでもない。
【００７５】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、圧力センサ自
体の出力の温度ドリフトを消去補正する温度ドリフト補
正手段を設けることによって、正確に圧力を検出できる
圧力センサを提供できる。
体の出力の温度ドリフトを消去補正する温度ドリフト補
正手段を設けることによって、正確に圧力を検出できる
圧力センサを提供できる。
【００７６】請求項２の発明によれば、圧力センサとコ
ントロールバルブを有した圧力制御装置において、圧力
センサの出力の温度ドリフトを消去補正する温度ドリフ
ト補正手段を設けることによって、圧力を正確に検出し
ながら精密に圧力制御できる圧力制御装置を提供でき
る。
ントロールバルブを有した圧力制御装置において、圧力
センサの出力の温度ドリフトを消去補正する温度ドリフ
ト補正手段を設けることによって、圧力を正確に検出し
ながら精密に圧力制御できる圧力制御装置を提供でき
る。
【００７７】請求項３の発明によれば、流体温度と上流
側圧力センサの出力ドリフトの関係を格納するメモリ手
段と、流体温度が変化した場合にメモリ手段のデータか
ら上流側圧力センサの出力ドリフト量を演算し、この演
算出力ドリフト量により上流側圧力センサの出力ドリフ
トを消去補正する温度ドリフト補正手段を有するから、
どのような温度特性を有する圧力センサを用いても、そ
の温度特性をメモリ手段に格納するだけで、上流側圧力
Ｐ1を正確に検出することができる。従って、Ｑｃ＝Ｋ
Ｐ1を流量式として使用する圧力式流量制御装置におい
て、正確な流量制御を達成することができる。
側圧力センサの出力ドリフトの関係を格納するメモリ手
段と、流体温度が変化した場合にメモリ手段のデータか
ら上流側圧力センサの出力ドリフト量を演算し、この演
算出力ドリフト量により上流側圧力センサの出力ドリフ
トを消去補正する温度ドリフト補正手段を有するから、
どのような温度特性を有する圧力センサを用いても、そ
の温度特性をメモリ手段に格納するだけで、上流側圧力
Ｐ1を正確に検出することができる。従って、Ｑｃ＝Ｋ
Ｐ1を流量式として使用する圧力式流量制御装置におい
て、正確な流量制御を達成することができる。
【００７８】請求項４の発明によれば、流体温度と上流
側圧力センサ及び下流側圧力センサの出力ドリフトの関
係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した場合に
メモリ手段のデータから上流側圧力センサ及び下流側圧
力センサの出力ドリフト量を演算し、この演算出力ドリ
フト量により上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの
出力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正手段から
構成されるから、どのような温度特性を有する圧力セン
サを用いても、その温度特性をメモリ手段に格納するだ
けで、上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2を正確に検出する
ことができる。従って、Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1−Ｐ2）
1/2又はＱｃ＝ＫＰ2 m（Ｐ1−Ｐ2）nを流量式として使用
する圧力式流量制御装置において、正確な流量制御を達
成することができる。
側圧力センサ及び下流側圧力センサの出力ドリフトの関
係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した場合に
メモリ手段のデータから上流側圧力センサ及び下流側圧
力センサの出力ドリフト量を演算し、この演算出力ドリ
フト量により上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの
出力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正手段から
構成されるから、どのような温度特性を有する圧力セン
サを用いても、その温度特性をメモリ手段に格納するだ
けで、上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2を正確に検出する
ことができる。従って、Ｑｃ＝ＫＰ2 1/2（Ｐ1−Ｐ2）
1/2又はＱｃ＝ＫＰ2 m（Ｐ1−Ｐ2）nを流量式として使用
する圧力式流量制御装置において、正確な流量制御を達
成することができる。
【００７９】請求項５の発明によれば、圧力がゼロのと
きに流体温度と圧力センサのゼロ点出力ドリフトの関係
をメモリ手段に格納するから、流体温度が任意の温度に
変化してもメモリ手段のデータからゼロ点出力ドリフト
量が演算でき、この演算ゼロ点出力ドリフト量により圧
力センサのゼロ点出力ドリフトを消去補正することがで
きる。
きに流体温度と圧力センサのゼロ点出力ドリフトの関係
をメモリ手段に格納するから、流体温度が任意の温度に
変化してもメモリ手段のデータからゼロ点出力ドリフト
量が演算でき、この演算ゼロ点出力ドリフト量により圧
力センサのゼロ点出力ドリフトを消去補正することがで
きる。
【００８０】請求項６の発明によれば、任意圧力のとき
に流体温度と圧力センサのスパン出力ドリフトの関係を
メモリ手段に格納するから、任意の圧力状態で流体温度
が任意温度に変化してもメモリ手段のデータからスパン
出力ドリフト量を演算でき、この演算スパン出力ドリフ
ト量により圧力センサのスパン出力ドリフトを自動的に
消去補正することができる。
に流体温度と圧力センサのスパン出力ドリフトの関係を
メモリ手段に格納するから、任意の圧力状態で流体温度
が任意温度に変化してもメモリ手段のデータからスパン
出力ドリフト量を演算でき、この演算スパン出力ドリフ
ト量により圧力センサのスパン出力ドリフトを自動的に
消去補正することができる。
【００８１】請求項７の発明によれば、流通するガス流
体の温度がどのように変化しても、正確にガスの圧力を
検出でき、半導体製造装置や化学品製造装置などにおい
てガス流体の制御効率を向上させることができる。
体の温度がどのように変化しても、正確にガスの圧力を
検出でき、半導体製造装置や化学品製造装置などにおい
てガス流体の制御効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る臨界条件を利用した圧力式流量制
御装置による流量制御の構成図である。
御装置による流量制御の構成図である。
【図２】圧力式流量制御装置のゼロ点出力ドリフト補正
用の簡易ブロック回路図である。
用の簡易ブロック回路図である。
【図３】ゼロ点出力ドリフト補正とフルスケール設定の
説明図である。
説明図である。
【図４】圧力センサの出力ドリフトを測定する説明図で
ある。
ある。
【図５】圧力センサのゼロ点出力ドリフト（ZERO DRIF
T）の温度特性図である。
T）の温度特性図である。
【図６】圧力センサの出力ドリフト（SPAN DRIFT）の温
度特性図である。
度特性図である。
【図７】圧力式流量制御装置の制御回路の詳細ブロック
構成図である。
構成図である。
【図８】本発明に係るゼロ点補正手段６２の作動フロー
図である。
図である。
【図９】本発明に係るスパン補正手段６６の作動フロー
図である。
図である。
【図１０】本発明に係る非臨界条件を利用した圧力式流
量制御装置による流量制御の構成図である。
量制御装置による流量制御の構成図である。
【図１１】図１１は図１０の制御回路の詳細ブロック構
成図である。
成図である。
【図１２】本発明に係る非臨界条件を利用した改良型圧
力式流量制御装置による流量制御の構成図である。
力式流量制御装置による流量制御の構成図である。
２は圧力式流量制御装置、４はオリフィス、４ａはオリ
フィス孔、６は上流側配管、８は下流側配管、１０は上
流側圧力センサ、１２は下流側圧力センサ、１４は温度
センサ、１６は制御回路、１７は流量演算手段、１８は
流量設定手段、１９は比較手段、２０はバルブ駆動部、
２２はコントロールバルブ、２４はガスタンク、２６は
レギュレータ、２７は供給側配管、２８はバルブ、２９
は制御側配管、３０はバルブ、３２はチャンバー、３４
は真空ポンプ、４０はオフセット用Ｄ／Ａ変換器、４０
ａは粗調整用Ｄ／Ａ変換器、４０ｂは微調整用Ｄ／Ａ変
換器、４０ｃはバッファ、４０ｄはバッファ、４０ｅは
バッファ、４１はＣＰＵ、４２は固定増幅器、４２ａは
オフセット端子、４４は可変増幅器、４６は可変増幅
器、４８はＡ／Ｄ変換器、５０は恒温槽、５２は基準圧
力発生器、５６は固定増幅器、５８はＡ／Ｄ変換器、６
０は温度ドリフト補正手段、６２はゼロ点補正手段、６
４はメモリ手段、６６はスパン補正手段、６８はガス温
度補正手段、７２はＤ／Ａ変換器、７４は固定増幅器、
７６は固定増幅器、７８はＡ／Ｄ変換器、ＤＰは真空ポ
ンプ、Ｐ1は上流側圧力、Ｐ2は下流側圧力、Ｑｃは演算
流量、Ｑｓは設定流量、ΔＱは流量差、ｖ０はゼロ点出
力ドリフト電圧、ｖは出力電圧、Ｖは圧力電圧。
フィス孔、６は上流側配管、８は下流側配管、１０は上
流側圧力センサ、１２は下流側圧力センサ、１４は温度
センサ、１６は制御回路、１７は流量演算手段、１８は
流量設定手段、１９は比較手段、２０はバルブ駆動部、
２２はコントロールバルブ、２４はガスタンク、２６は
レギュレータ、２７は供給側配管、２８はバルブ、２９
は制御側配管、３０はバルブ、３２はチャンバー、３４
は真空ポンプ、４０はオフセット用Ｄ／Ａ変換器、４０
ａは粗調整用Ｄ／Ａ変換器、４０ｂは微調整用Ｄ／Ａ変
換器、４０ｃはバッファ、４０ｄはバッファ、４０ｅは
バッファ、４１はＣＰＵ、４２は固定増幅器、４２ａは
オフセット端子、４４は可変増幅器、４６は可変増幅
器、４８はＡ／Ｄ変換器、５０は恒温槽、５２は基準圧
力発生器、５６は固定増幅器、５８はＡ／Ｄ変換器、６
０は温度ドリフト補正手段、６２はゼロ点補正手段、６
４はメモリ手段、６６はスパン補正手段、６８はガス温
度補正手段、７２はＤ／Ａ変換器、７４は固定増幅器、
７６は固定増幅器、７８はＡ／Ｄ変換器、ＤＰは真空ポ
ンプ、Ｐ1は上流側圧力、Ｐ2は下流側圧力、Ｑｃは演算
流量、Ｑｓは設定流量、ΔＱは流量差、ｖ０はゼロ点出
力ドリフト電圧、ｖは出力電圧、Ｖは圧力電圧。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 大見 忠弘
宮城県仙台市青葉区米ケ袋２丁目１番17−
301号
(72)発明者 杉山 一彦
山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１
東京エレクトロン株式会社内
(72)発明者 西野 功二
大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号
株式会社フジキン内
(72)発明者 宇野 富雄
大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号
株式会社フジキン内
(72)発明者 中村 修
大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号
株式会社フジキン内
(72)発明者 松本 篤諮
大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号
株式会社フジキン内
(72)発明者 土肥 亮介
大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号
株式会社フジキン内
(72)発明者 池田 信一
大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号
株式会社フジキン内
Ｆターム(参考） 2F030 CC11 CD15
2F055 AA39 BB03 BB05 CC60 DD20
EE40 FF02 GG32
5H316 AA01 BB01 CC08 DD08 EE02
ES06 FF02 FF06 FF17 FF23
GG01 GG11 HH04 HH12 JJ03
JJ13 KK02 KK04
Claims (7)
- 【請求項１】 流体圧力を測定する圧力センサにおい
て、流体温度を測定する温度センサと、流体温度と圧力
センサ出力ドリフトの関係を格納するメモリ手段と、流
体温度が変化した場合にメモリ手段のデータから圧力セ
ンサ出力ドリフト量を演算し、この演算出力ドリフト量
により圧力センサの出力ドリフトを消去補正する温度ド
リフト補正手段から構成され、流体温度が変動しても流
体圧力を正確に測定することを特徴とする圧力センサの
温度ドリフト補正装置。 - 【請求項２】 圧力制御用のコントロールバルブと流体
圧力を測定する圧力センサから構成された圧力制御装置
において、流体温度と圧力センサ出力ドリフトの関係を
格納するメモリ手段と、流体温度が変化した場合にメモ
リ手段のデータから圧力センサ出力ドリフト量を演算
し、この演算出力ドリフト量により圧力センサの出力ド
リフトを消去補正する温度ドリフト補正手段から構成さ
れ、流体温度が変動しても流体圧力を正確に制御するこ
とを特徴とする圧力制御装置の温度ドリフト補正装置。 - 【請求項３】 流量制御用のオリフィスと、オリフィス
の上流側配管に設けたコントロールバルブと、オリフィ
スとコントロールバルブの間に設けて上流側圧力Ｐ1を
検出する上流側圧力センサから構成され、上流側圧力Ｐ
1によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御
装置において、流体温度を測定する温度センサと、流体
温度と上流側圧力センサの出力ドリフトの関係を格納す
るメモリ手段と、流体温度が変化した場合にメモリ手段
のデータから上流側圧力センサの出力ドリフト量を演算
し、この演算出力ドリフト量により上流側圧力センサの
出力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正手段から
構成され、流体温度が変動しても流体流量を正確に制御
することを特徴とする圧力式流量制御装置の温度ドリフ
ト補正装置。 - 【請求項４】 流量制御用のオリフィスと、オリフィス
の上流側配管に設けたコントロールバルブと、オリフィ
スとコントロールバルブの間に設けて上流側圧力Ｐ1を
検出する上流側圧力センサと、オリフィスの下流側配管
に設けられて下流側圧力Ｐ2を検出する下流側圧力セン
サとから構成され、上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2によ
りオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置に
おいて、流体温度を測定する温度センサと、流体温度と
上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの出力ドリフト
の関係を格納するメモリ手段と、流体温度が変化した場
合にメモリ手段のデータから上流側圧力センサ及び下流
側圧力センサの出力ドリフト量を演算し、この演算出力
ドリフト量により上流側圧力センサ及び下流側圧力セン
サの出力ドリフトを消去補正する温度ドリフト補正手段
から構成され、流体温度が変動しても流体流量を正確に
制御することを特徴とする圧力式流量制御装置の温度ド
リフト補正装置。 - 【請求項５】 前記メモリ手段は圧力がゼロのときに流
体温度と圧力センサのゼロ点出力ドリフトの関係を格納
し、前記温度ドリフト補正手段は、流体温度が変化した
場合にメモリ手段のゼロ点出力ドリフト量を演算し、こ
の演算ゼロ点出力ドリフト量により圧力センサのゼロ点
出力ドリフトを消去補正する請求項１、２、３又は４に
記載の温度ドリフト補正装置。 - 【請求項６】 前記メモリ手段は任意圧力におけるに流
体温度と圧力センサのスパン出力ドリフトの関係を格納
し、流体温度が変化した場合にメモリ手段からスパン出
力ドリフト量を演算し、圧力センサの出力又はこの出力
の増幅量から前記演算スパン出力ドリフト量を消去補正
する請求項１、２、３又は４に記載の温度ドリフト補正
装置。 - 【請求項７】 請求項１乃至５のいずれか1項に記載の
温度ドリフト補正装置において、ガスを流体として流通
させ、このガス圧力又はガス流量を制御するガス供給シ
ステムの温度ドリフト補正装置。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001399910A JP4082901B2 (ja) | 2001-12-28 | 2001-12-28 | 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 |
| CA002442166A CA2442166C (en) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | Apparatus for the correction of temperature drift for a pressure sensor, a pressure control apparatus, and a pressure-type flow rate control apparatus |
| PCT/JP2002/012251 WO2003058187A1 (fr) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | Capteur de pression, regulateur de pression et correcteur de derive de temperature d'un regulateur de debit du type commande par la pression |
| EP02806059A EP1460401A1 (en) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | Pressure sensor, pressure controller and temperature drift corrector of pressure type flow controller |
| US10/476,973 US7085628B2 (en) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | Apparatus for the correction of temperature drift for pressure sensor, pressure control apparatus and pressure-type flow rate control apparatus |
| KR10-2003-7011365A KR100537445B1 (ko) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | 압력센서, 압력제어장치 및 압력식 유량제어장치의 온도드리프트 보정장치 |
| CNB028086899A CN1285896C (zh) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | 压力传感器、压力控制装置及压力式流量控制装置的温度漂移修正装置 |
| IL15731102A IL157311A0 (en) | 2001-12-28 | 2002-11-22 | Apparatus for the correction of temperature drift for a pressure sensor, a pressure control apparatus, and a pressure-type flow rate control apparatus |
| TW091135190A TW554164B (en) | 2001-12-28 | 2002-12-04 | Pressure sensor, pressure controller, and temperature drift correction device of pressure type flow controller |
| IL157311A IL157311A (en) | 2001-12-28 | 2003-08-10 | Temperature drift correction device for pressure sensor, pressure control device and extractor flow control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001399910A JP4082901B2 (ja) | 2001-12-28 | 2001-12-28 | 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003194648A true JP2003194648A (ja) | 2003-07-09 |
| JP4082901B2 JP4082901B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=19189535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001399910A Expired - Lifetime JP4082901B2 (ja) | 2001-12-28 | 2001-12-28 | 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7085628B2 (ja) |
| EP (1) | EP1460401A1 (ja) |
| JP (1) | JP4082901B2 (ja) |
| KR (1) | KR100537445B1 (ja) |
| CN (1) | CN1285896C (ja) |
| CA (1) | CA2442166C (ja) |
| IL (2) | IL157311A0 (ja) |
| TW (1) | TW554164B (ja) |
| WO (1) | WO2003058187A1 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007195703A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Takara Belmont Co Ltd | フットコントローラ装置 |
| KR100796328B1 (ko) * | 2006-07-31 | 2008-01-24 | 주식회사 협성히스코 | 순간 상승압력 경보 압력계 |
| US7669455B2 (en) | 2003-06-20 | 2010-03-02 | Fujikin Incorporated | Automatic zero point correction device for a pressure sensor, a pressure control device and a pressure type flow rate control device |
| JP2011089773A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Yokogawa Electric Corp | 電子式差圧・圧力伝送器 |
| US9081388B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-07-14 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow rate control device |
| KR101861549B1 (ko) | 2017-01-10 | 2018-05-29 | 에코박 주식회사 | 진공단열재 검사용 열류센서 열류량 검출장치 |
| JP2019200067A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 横河電機株式会社 | 測定システム、測定方法及び圧力測定装置 |
| WO2022035254A1 (ko) * | 2020-08-12 | 2022-02-17 | 울산과학기술원 | 센서 드리프트 보상 방법 및 장치 |
Families Citing this family (57)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005307233A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置及び成膜方法及びプロセスガスの供給方法 |
| DE102004053884A1 (de) * | 2004-11-04 | 2006-05-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation |
| US8150558B2 (en) * | 2004-12-08 | 2012-04-03 | Iwate University | Temperature control method and temperature controller |
| JP4684135B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-05-18 | 株式会社フジキン | 配管路の漏洩検査方法及び漏洩検査装置 |
| CN101241015B (zh) * | 2007-02-08 | 2011-04-20 | 亚洲光学股份有限公司 | 温度漂移的补正方法及其系统 |
| US8197133B2 (en) * | 2008-02-22 | 2012-06-12 | Brooks Instruments, Llc | System and method for sensor thermal drift offset compensation |
| US8050828B2 (en) * | 2008-03-31 | 2011-11-01 | GM Global Technology Operations LLC | Transmission oil measurement system and method |
| US7637167B2 (en) * | 2008-04-25 | 2009-12-29 | Schlumberger Technology Corporation | Apparatus and method for characterizing two phase fluid flow |
| JP2010105063A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Fanuc Ltd | 温度ドリフト補正を行う機上計測装置を用いるワークの形状計測方法および機上計測装置を備えた工作機械 |
| US7950286B2 (en) * | 2008-12-19 | 2011-05-31 | Honeywell International Inc. | Multi-range pressure sensor apparatus and method utilizing a single sense die and multiple signal paths |
| US10330513B2 (en) * | 2009-05-27 | 2019-06-25 | Honeywell International Inc. | Multi-dynamic-range sensor |
| CN101629800B (zh) * | 2009-08-19 | 2011-10-26 | 河南中光学集团有限公司 | 一种消除温度漂移的测量电路 |
| KR101059381B1 (ko) | 2009-08-19 | 2011-08-25 | 김지홍 | 영점 및 스팬을 조절하는 아날로그신호 보정장치 |
| KR101128500B1 (ko) * | 2009-08-19 | 2012-03-27 | 김지홍 | 스트레인게이지용 계측장치 |
| CN102597719B (zh) * | 2009-11-09 | 2016-01-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 具有温度补偿的流体感测装置 |
| US20120239336A1 (en) * | 2009-11-09 | 2012-09-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Flow sensing method with temperature compensation |
| KR101375678B1 (ko) | 2009-12-01 | 2014-04-01 | 가부시키가이샤 후지킨 | 압력식 유량 제어 장치 |
| US8942883B2 (en) * | 2009-12-17 | 2015-01-27 | GM Global Technology Operations LLC | Sensor messaging systems and methods |
| US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
| DE102010030845A1 (de) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Druckmessvorrichtung und Verfahren zur Druckwertermittlung |
| CN102062209B (zh) * | 2010-11-15 | 2014-01-22 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种用于消除传感器漂移的自适应控制方法及装置 |
| US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
| JP5703114B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-04-15 | 株式会社フジキン | 原料の気化供給装置 |
| US8446220B2 (en) | 2011-05-09 | 2013-05-21 | Honeywell International Inc. | Method and apparatus for increasing the effective resolution of a sensor |
| WO2012153455A1 (ja) | 2011-05-10 | 2012-11-15 | 株式会社フジキン | 流量モニタ付圧力式流量制御装置 |
| JP5755958B2 (ja) | 2011-07-08 | 2015-07-29 | 株式会社フジキン | 半導体製造装置の原料ガス供給装置 |
| US8770034B2 (en) | 2011-09-06 | 2014-07-08 | Honeywell International Inc. | Packaged sensor with multiple sensors elements |
| JP5647083B2 (ja) | 2011-09-06 | 2014-12-24 | 株式会社フジキン | 原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置 |
| CN103091037A (zh) * | 2011-10-27 | 2013-05-08 | 上海宝钢设备检修有限公司 | 气动宽量程压力变送器在线校验装置 |
| JP5754853B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2015-07-29 | 株式会社フジキン | 半導体製造装置のガス分流供給装置 |
| JP6001315B2 (ja) * | 2012-04-26 | 2016-10-05 | トヨタ自動車株式会社 | ガス充填システム及び車両 |
| EP2893123A4 (en) * | 2012-09-09 | 2017-03-01 | Foro Energy Inc. | Light weight high power laser presure control systems and methods of use |
| US9689729B2 (en) * | 2012-10-24 | 2017-06-27 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Zero point drift compensating flowmeter |
| US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
| US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
| EP3000393B1 (en) * | 2013-05-23 | 2017-02-15 | Panasonic Healthcare Holdings Co., Ltd. | Exhalation measurement device and control method therefor |
| CN103557969B (zh) * | 2013-11-07 | 2016-02-24 | 南京环科电子技术有限公司 | 可精确修调温漂误差的陶瓷压力传感器芯片及修调系统和修调方法 |
| US9329097B2 (en) | 2014-03-21 | 2016-05-03 | Flextronics Ap, Llc | Method for temperature transmission compensation |
| US10281311B2 (en) * | 2014-09-11 | 2019-05-07 | Dresser, Llc | Method of operating a liquid-level transmitter device and implementation thereof |
| CN104198004B (zh) * | 2014-09-23 | 2017-10-31 | 上海华力微电子有限公司 | 一种气体质量流量计 |
| US9904299B2 (en) * | 2015-04-08 | 2018-02-27 | Tokyo Electron Limited | Gas supply control method |
| EP3344953B1 (en) * | 2015-08-31 | 2021-07-28 | MKS Instruments, Inc. | Method and apparatus for pressure-based flow measurement in non-critical flow conditions |
| CN108369425B (zh) * | 2015-12-25 | 2021-03-02 | 株式会社富士金 | 流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法 |
| CN107202859A (zh) * | 2016-03-18 | 2017-09-26 | 株式会社岛津制作所 | Voc检测仪、voc检测仪的供气流量控制方法及其设备 |
| CN105806371B (zh) * | 2016-04-29 | 2018-03-09 | 国网上海市电力公司 | 传感器的温压动态补偿方法 |
| US10684159B2 (en) * | 2016-06-27 | 2020-06-16 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on choked flow |
| US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
| KR101876960B1 (ko) * | 2017-03-14 | 2018-07-10 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 박막형성 장치 |
| WO2019026700A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-07 | 株式会社フジキン | 流体制御システムおよび流量測定方法 |
| CN107607144B (zh) * | 2017-09-15 | 2020-09-25 | 深圳市卡普瑞环境科技有限公司 | 一种传感器基线漂移校正方法及检测设备 |
| CN109839215A (zh) * | 2017-11-28 | 2019-06-04 | 李明守 | 一种温度信号检测装置 |
| US11079774B2 (en) * | 2017-11-30 | 2021-08-03 | Fujikin Incorporated | Flow rate control device |
| US11767218B2 (en) | 2018-09-14 | 2023-09-26 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Microelectromechanical capacitive pressure sensor having a valve portion being operable to close first output and open second output to equalize pressure |
| JP7437980B2 (ja) * | 2019-03-12 | 2024-02-26 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置、流体制御システム、診断方法、及び、流体制御装置用プログラム |
| CN114002311B (zh) * | 2021-11-03 | 2022-09-13 | 江苏舒茨测控设备股份有限公司 | 一种低漂移顺磁氧传感器 |
| CN114704947B (zh) * | 2022-03-31 | 2023-06-16 | 同舟蓝海(北京)控股有限公司 | 一种可精确测量风量的风量调节阀 |
| US11725612B1 (en) * | 2022-06-15 | 2023-08-15 | Ford Global Technologies, Llc | Method and system for rationalizing a temperature within an engine system |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263529A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Toshiba Corp | 温度補正差圧伝送装置 |
| JPH02213736A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Nittetsu Mining Co Ltd | 圧力測定装置 |
| JPH04248430A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-03 | Yamatake Honeywell Co Ltd | リモートシール型差圧・圧力発信器 |
| US5466923A (en) * | 1993-01-28 | 1995-11-14 | Rexroth Sigma | Method and circuit for compensating the drift of the output signal of a photoelectric sensor in an electrical remote control apparatus, and remote control apparatus realizing this method and this arrangement |
| JPH08233792A (ja) * | 1994-12-30 | 1996-09-13 | Hewlett Packard Co <Hp> | 流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置 |
| JPH08338546A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Fujikin:Kk | 圧力式流量制御装置 |
| JP2000214029A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ回路 |
| JP2000337982A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ回路 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3503489A1 (de) * | 1985-01-30 | 1986-07-31 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Schaltungsanordnung zur kompensation der temperaturabhaengigkeit von empfindlichkeit und nullpunkt eines piezoresistiven drucksensors |
| JP2001060114A (ja) * | 1999-08-24 | 2001-03-06 | Smc Corp | 圧力制御装置 |
| US6813954B2 (en) * | 2001-05-25 | 2004-11-09 | Panametrics, Inc. | High sensitivity pressure sensor with long term stability |
-
2001
- 2001-12-28 JP JP2001399910A patent/JP4082901B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-11-22 IL IL15731102A patent/IL157311A0/xx active IP Right Grant
- 2002-11-22 CN CNB028086899A patent/CN1285896C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-22 CA CA002442166A patent/CA2442166C/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-22 WO PCT/JP2002/012251 patent/WO2003058187A1/ja active IP Right Grant
- 2002-11-22 US US10/476,973 patent/US7085628B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-22 EP EP02806059A patent/EP1460401A1/en not_active Withdrawn
- 2002-11-22 KR KR10-2003-7011365A patent/KR100537445B1/ko active IP Right Grant
- 2002-12-04 TW TW091135190A patent/TW554164B/zh not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-08-10 IL IL157311A patent/IL157311A/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263529A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Toshiba Corp | 温度補正差圧伝送装置 |
| JPH02213736A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Nittetsu Mining Co Ltd | 圧力測定装置 |
| JPH04248430A (ja) * | 1991-02-04 | 1992-09-03 | Yamatake Honeywell Co Ltd | リモートシール型差圧・圧力発信器 |
| US5466923A (en) * | 1993-01-28 | 1995-11-14 | Rexroth Sigma | Method and circuit for compensating the drift of the output signal of a photoelectric sensor in an electrical remote control apparatus, and remote control apparatus realizing this method and this arrangement |
| JPH08233792A (ja) * | 1994-12-30 | 1996-09-13 | Hewlett Packard Co <Hp> | 流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置 |
| JPH08338546A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Fujikin:Kk | 圧力式流量制御装置 |
| JP2000214029A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ回路 |
| JP2000337982A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ回路 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7669455B2 (en) | 2003-06-20 | 2010-03-02 | Fujikin Incorporated | Automatic zero point correction device for a pressure sensor, a pressure control device and a pressure type flow rate control device |
| JP2007195703A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Takara Belmont Co Ltd | フットコントローラ装置 |
| KR100796328B1 (ko) * | 2006-07-31 | 2008-01-24 | 주식회사 협성히스코 | 순간 상승압력 경보 압력계 |
| US9081388B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-07-14 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow rate control device |
| US9304030B2 (en) | 2009-08-25 | 2016-04-05 | Horiba Stec, Co. Ltd. | Flow rate control device |
| JP2011089773A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Yokogawa Electric Corp | 電子式差圧・圧力伝送器 |
| KR101861549B1 (ko) | 2017-01-10 | 2018-05-29 | 에코박 주식회사 | 진공단열재 검사용 열류센서 열류량 검출장치 |
| JP2019200067A (ja) * | 2018-05-14 | 2019-11-21 | 横河電機株式会社 | 測定システム、測定方法及び圧力測定装置 |
| CN110487480A (zh) * | 2018-05-14 | 2019-11-22 | 横河电机株式会社 | 测定系统、测定方法及压力测定装置 |
| US11022512B2 (en) | 2018-05-14 | 2021-06-01 | Yokogawa Electric Corporation | Measurement system, measurement method, and pressure measurement apparatus |
| CN110487480B (zh) * | 2018-05-14 | 2021-12-10 | 横河电机株式会社 | 测定系统、测定方法及压力测定装置 |
| WO2022035254A1 (ko) * | 2020-08-12 | 2022-02-17 | 울산과학기술원 | 센서 드리프트 보상 방법 및 장치 |
| KR102364019B1 (ko) * | 2020-08-12 | 2022-02-18 | 울산과학기술원 | 센서 드리프트 보상 방법 및 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4082901B2 (ja) | 2008-04-30 |
| CA2442166C (en) | 2007-04-10 |
| TW200301350A (en) | 2003-07-01 |
| TW554164B (en) | 2003-09-21 |
| CA2442166A1 (en) | 2003-07-17 |
| CN1285896C (zh) | 2006-11-22 |
| KR20030080241A (ko) | 2003-10-11 |
| CN1503904A (zh) | 2004-06-09 |
| IL157311A (en) | 2007-05-15 |
| KR100537445B1 (ko) | 2005-12-19 |
| EP1460401A1 (en) | 2004-09-22 |
| WO2003058187A1 (fr) | 2003-07-17 |
| US20040144178A1 (en) | 2004-07-29 |
| US7085628B2 (en) | 2006-08-01 |
| IL157311A0 (en) | 2004-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003194648A (ja) | 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置 | |
| US8851105B2 (en) | Mass flow meter, mass flow controller, mass flow meter system and mass flow control system containing the mass flow meter and the mass flow controller | |
| KR100710630B1 (ko) | 압력센서, 압력 제어장치 및 압력식 유량 제어장치의 자동영점 보정장치 | |
| KR100427563B1 (ko) | 병렬분류형 유체공급장치와, 이것에 사용하는 유체가변형압력식 유량제어방법 및 유체가변형 압력식 유량제어장치 | |
| US7651263B2 (en) | Method and apparatus for measuring the temperature of a gas in a mass flow controller | |
| US8104323B2 (en) | Flow controller, flow measuring device testing method, flow controller testing system, and semiconductor manufacturing apparatus | |
| JP3577379B2 (ja) | 流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置 | |
| WO2008041390A1 (fr) | Régulateur de débit massique | |
| CN102640070A (zh) | 压力式流量控制装置 | |
| JP2010512571A (ja) | 質量流量コントローラのコントローラ利得スケジューリング | |
| JP5110878B2 (ja) | プロセス圧力センサのキャリブレーション | |
| JP4669193B2 (ja) | 圧力式流量制御装置の温度測定装置 | |
| US8443675B2 (en) | Dual physical quantity sensor | |
| KR20230081610A (ko) | 유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 및 유량 제어 장치용 프로그램 기록 매체 | |
| JP4763031B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| US20110120301A1 (en) | Method of measuring information for adsorption isostere creation, adsorption isostere creation method, adsorption heat calculation method, computer program, and measurement system | |
| US20210310844A1 (en) | Flow rate control system and flow rate measurement method | |
| JP4852654B2 (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
| KR101668483B1 (ko) | 매스플로우 컨트롤러 | |
| JP2009116904A (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
| KR101639249B1 (ko) | 가스유속 측정기 교정장치 | |
| RU2309447C2 (ru) | Способ регулирования расхода газа | |
| JP2021036250A (ja) | 測定システム、測定方法及び圧力測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041217 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071116 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071227 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080130 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080212 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4082901 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |