JP2003092243A - 周辺露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転ステージにノッチ付ウエハをどの向きに
載置してもウエハ内部の露光不要な領域まで露光してし
まうことがない周辺露光装置を提供すること。 【解決手段】 露光光照射部２はウエハエッジ検知手段
４、ノッチ検知手段９と一体に設けられ、ウエハエッジ
検知手段４はウエハＷのエッジに追従して移動し、露光
光照射部２から照射される露光光によりウエハＷのエッ
ジの周辺部を露光する。露光開始時、ウエハエッジ検知
手段４がウエハエッジを検知しても、すぐに露光光を照
射せず所定量ウエハＷを回転した後、露光を開始する。
また、上記回転中にノッチ検知手段９の出力信号が変化
した場合には、その変化状態に応じて予め設定した露光
開始位置から露光を開始し、露光光の照射領域がノッチ
開始位置に達したらノッチの終了位置に達するまでウエ
ハエッジ検知手段４の追従動作を停止させ、ウエハ内部
の露光不要な領域まで露光しないように制御する。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、外周部にＶ字形の
ノッチが形成された半導体ウエハの、周辺部に塗布され
たフォトレジストを除去するためにウエハの周辺部を露
光するノッチ付ウエハの周辺露光装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来から、図１３（ａ）に示すように、
ウエハＷのエッジＥに追従させて露光光の照射領域Ｓを
移動させ、フォトレジストＲが塗布されたウエハＷの周
辺部を所定の露光幅Ａで露光する周辺露光装置が知られ
ている。上記従来の周辺露光装置は、ウエハＷのエッジ
Ｅを常に捕らえながら、ウエハＷの周辺を露光していく
ので、外周部にＶ字形のノッチＮが形成され、フォトレ
ジストＲが塗布されたウエハＷを露光処理すると、露光
光の照射領域Ｓも、ノッチＮ部分でＶ字状に移動する。
このため、図１３（ｂ）に示すように、ウエハＷ内部の
露光不要な領域ＵＥまで露光してしまうという現象が生
じた。したがって、上記の領域ＵＥ付近には、半導体素
子形成領域（回路等のパターン）を設けることができ
ず、半導体素子の生産性向上を妨げる原因となってい
た。 【０００３】そこで、本出願人は先にウエハのノッチ部
分で照射領域がＶ字状に移動することのない、即ち、ウ
エハ内部の露光不要部分まで露光してしまうことのない
周辺露光装置を提案した（特願２００１−１５１０３７
号）。以下、上記特願２００１−１５１０３７号で開示
した周辺露光装置におけるウエハ周辺部の露光処理の概
要を図１４により説明する。上記周辺露光装置におい
て、ウエハ周辺部を露光する露光光照射部は、ウエハの
エッジＥを検出するためのウエハエッジ検知手段と一体
に設けられ、ウエハエッジ検知手段は、ウエハＷのエッ
ジＥに追従して、ウエハＷのエッジの接線に対して略直
角方向移動する。したがって、上記露光光照射部から照
射される照射領域Ｓを有する露光光は、ウエハエッジ検
知手段と同じ方向に同じ量だけ移動し、ウエハエッジＥ
の周辺部を露光する。また、ウエハエッジ検知手段の上
流側にウエハのノッチを検出するためのノッチ検知手段
が設けられる。なお、以下では、ウエハが回転する際、
ウエハエッジ検知手段に近づいていく方のウエハ周辺部
を上流、ウエハエッジ検知手段から遠ざかる方のウエハ
周辺部を下流とする。上記ノッチ検知手段は、ウエハエ
ッジ検知手段および露光光照射部と一体に設けられ、上
記ウエハエッジ検知手段と同期して、ウエハＷのエッジ
の接線に対して略直角方向に移動する。以下では、上記
周辺露光装置により、外周部にノッチが形成され、フォ
トレジストが塗布されたウエハのエッジを検知しなが
ら、ウエハの周辺部を露光していく様子を説明する。な
お、図１４は、ウエハのノッチ部分を拡大して示してい
る。 【０００４】処理ステージ上に載置されたウエハＷは、
図１４に示すように時計周りに回転し、ウエハエッジ検
知手段は、○の位置でウエハＷのエッジＥを検知してい
る。露光光照射部から出射される露光光の照射領域Ｓ
は、ウエハＷ表面上で、上記○の位置とほぼ同じ位置に
ある。また、ノッチ検知手段は、ウエハＷの上流側、す
なわち◎の位置でウエハＷのエッジＥを検知している。 (1) 図１４（ａ）に示すように、ウエハのノッチ以外の
エッジ部分をノッチ検知手段が検知している場合。ウエ
ハエッジ検知手段は、ウエハエッジＥに追従してウエハ
Ｗのエッジの接線に対して略直角方向に移動し、これと
一体に設けられた露光光照射部はウエハエッジ検知手段
とともに移動する。したがって、露光光照射部から照射
される露光光の照射領域ＳはウエハエッジＥに追従して
移動し、同図に示すようにウエハ周辺部が露光される。 【０００５】(2) 図１４（ｂ）に示すように、ノッチ検
知手段がウエハのノッチの始まりに達した場合。ウエハ
Ｗが時計周りに回転し、ウエハＷのノッチＮの始まりＮ
s がノッチ検知手段９の検知位置◎に達すると、ノッチ
検知手段がＯＮ信号を出力する。これにより、図示しな
い制御部が、ウエハＷの回転速度と、ノッチ検知手段の
検知位置◎とウエハエッジ検知手段の検知位置○の間隔
（この例の場合、５ｍｍ）から、露光光の照射領域Ｓ
が、ノッチＮの始まりＮs に達するまでの時間Ｔ１を算
出する。 (3) 図１４（ｃ）に示すように、ノッチ検知手段がノッ
チの始まりに達した後、時間Ｔ１を経過した場合。ノッ
チ検知手段がノッチＮの始まりＮｓに達した後、時間Ｔ
１を経過すると、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始
まりＮｓに達する。これにより、図示しない制御部は、
ウエハエッジ検知手段のウエハＷのエッジＥへの追従動
作を停止させる。このため、ウエハエッジ検知手段およ
び露光光の照射領域Ｓは、ノッチＮに追従せず、ウエハ
ＷのノッチＮの直前部分のエッジＥの接線に沿って移動
することとなる。また、上記制御部は、ウエハエッジ検
知手段の追従動作を停止してから再開する時間Ｔ２を演
算する。例えば、ノッチＮの切欠寸法と、ウエハＷの回
転速度とに基き、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始
まりＮs から終わりＮe に至るまでの時間Ｔ２を求め
る。 【０００６】(4) 図１４（ｄ）に示すように、露光光の
照射領域が、ノッチの始まりに達した後、時間Ｔ２を経
過した場合。露光光の照射領域Ｓが、Ｎの始まりに達し
た後、時間Ｔ２を経過すると、露光光の照射領域Ｓは、
ノッチＮの終わりＮｅに達する。図示しない制御部は、
ウエハエッジ検知手段の追従動作を再開させる。これに
より、ウエハエッジ検知手段は、ウエハエッジＥに追従
して移動し、前記図１４（ａ）に示したように、露光光
照射部から照射される露光光の照射領域Ｓはウエハエッ
ジＥに追従して移動し、同図に示すようにウエハ周辺部
が露光される。 【０００７】上記のように、ノッチの始まりを示す信号
を受けて所定時間経過した後、すなわち露光光の照射領
域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓに達した時、ウエハエッ
ジ検知手段の追従動作を停止させ、更に所定時間経過
後、すなわち露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの終わり
Ｎｅに達した時、ウエハエッジ検知手段の追従動作を再
開させることにより、ウエハのノッチ部分で照射領域が
ノッチに追従してＶ字状に移動することがなく、ウエハ
内部の露光不要な領域まで露光してしまうことはない。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】上記周辺露光装置にお
いては、周辺露光処理を開始する時、ウエハエッジ検知
手段が、ウエハの径方向に移動する。ウエハエッジ検知
手段がウエハエッジを検出すると、ウエハエッジ検知手
段は、ウエハの径方向への移動を停止する。そして、エ
ッジの検出ができた位置から露光光の照射を開始し、周
辺露光処理を開始する。しかし、通常、周辺露光装置の
回転処理ステージにノッチ付ウエハＷが載置される時、
ノッチＮの位置（ノッチをどの方向に向けて載置する
か）は決まっていない。したがって、露光処理の開始
時、ウエハエッジを検出した位置において、以下の(a)
〜(c) ように、ウエハエッジ検知手段あるいはノッチ検
知手段がノッチＮの近傍にいる状態の場合には、ノッチ
検知手段が、ウエハエッジ検知手段に先だってノッチの
始まり位置を検出できないので、ウエハエッジ検知手段
の追従動作の停止制御をすることができない。すなわ
ち、前記したノツチをならわないような（以下「ノツチ
を無視した」と呼ぶことがある) 周辺露光ができない。 (a) ウエハエッジ検知手段の位置とノッチの位置が一致
している場合。 (b) ノッチ検知手段とウエハエッジ検知手段との間にノ
ッチがある場合。 (c) ノッチ検知手段の位置とノッチの位置が一致してい
る場合。 なお、上記では前記したようにウエハエッジ検知手段が
ウエハエッジを検出している位置と、ウエハの周辺部を
露光する露光光が照射されている位置とは一致している
とする。 【０００９】以上のように、前記した従来の周辺露光処
理では、上記(a) 〜(c) の場合に、ノッチを無視した周
辺露光ができず、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光
してしまうという現象が生じる。本発明は、上記従来技
術の問題点を解決するためになされたものであって、本
発明の目的は、上記(a) 〜(c) のように、ウエハエッジ
検知手段あるいはノッチ検知手段がノッチ近傍にいる場
合においても、ノッチを無視した周辺露光を行うことが
でき、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光してしまう
ことがない周辺露光装置を提供することである。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、ウエハエッジ検知手段が、ウエ
ハエッジを検知後、すぐには露光光を照射せず、所定量
ウエハを回転し、その後、露光を開始する。また、上記
回転中に前記ノッチ検知手段の出力信号が変化した場合
には、ノッチ検知手段の出力変化のタイミングからノッ
チの開始位置を知ることができるので、該出力信号の変
化状態に応じて予め設定した露光開始位置でウエハ露光
光の照射を開始させ、照射領域がノッチ開始位置に達し
たら、前記したノッチ無視制御を行う。なお、上記所定
量は、少なくともウエハエッジ検知手段とノッチ検知手
段との間隔に相当する距離（Ｄ１）よりも大きくなけれ
ばならない。 【００１１】上記のようにすれば、前記(a) 〜(c) の状
態であっても、次のようにして、ノッチを無視した周辺
露光を行なうことが可能となり、ウエハ内部の露光不要
な領域まで露光してしまうことがない。 (1) 前記(a) のように、ウエハエッジ検知手段の位置と
ノッチの位置が一致している場合。ウエハエッジ検知手
段が、ウエハエッジを検出した位置から、所定量（Ｄ１
＋α）（ここでαは組み立てや制御の誤差を吸収するた
めに, 実験などにより求める余裕度である）だけウエハ
を回転することにより、ウエハエッジ検知手段がノッチ
からはずれる。そこから露光を開始する。露光開始後、
ウエハがほぼ１回転する頃に、ノッチ検知手段がノッチ
を検出するので、前記したように、露光光照射部の移動
を停止して、ノッチ部をならわずに露光を行なう。 (2) 前記(b) のように、ノッチ検知手段とウエハエッジ
検知手段との間にノッチがある場合。所定量（Ｄ１＋
α）だけウエハを回転することにより、(1) の場合と同
様、ノッチがウエハエッジ検知手段の位置を通過して、
ウエハエッジ検知手段はノッチ以外の位置に来る。そこ
から露光を開始する。露光開始後、ウエハがほぼ１回転
する頃に、ノッチ検知手段がノッチを検出するので、前
記したように、露光光照射部の移動を停止して、ノッチ
部をならわずに露光を行なう。 【００１２】(3) 前記(c) のように、ノッチ検知手段の
位置とノッチの位置が一致している場合。この場合は、
ウエハエッジ検知手段が、ウエハエッジを検出した時点
で、ノッチ検知手段はノッチ検出信号を出力する。しか
し、ノッチの開始点はわからないので、露光光照射部の
移動を停止するタイミングが不明である。そこで、上記
のように、所定量（Ｄ１＋α）だけウエハを回転させた
のち、さらに、少なくともノッチの幅に相当する量（Ｄ
２＋α）だけウエハを回転させる。これにより、ノッチ
がウエハエッジ検知手段の位置を通過して、ウエハエッ
ジ検知手段はノッチ以外の位置に来るので、この位置か
ら露光を開始する。そして、露光開始後、ウエハがほぼ
１回転する頃に、ノッチ検知手段がノッチを検出するの
で、前記したように、露光光照射部の移動を停止してノ
ッチ無視制御を行う。なお、この場合には、上記所定量
（Ｄ１＋α）だけウエハを回転させている間に、ノッチ
検知手段の出力がＯＦＦとなり、このタイミングと、ノ
ッチ幅等からノッチの開始位置を知ることができる。し
たがって、上記のようにウエハを少なくともノッチの幅
に相当する量（Ｄ２＋α）だけ回転させる代わりに、上
記のようにして求めたノッチ開始位置に露光光の照射領
域がきたときに、上記ノッチ無視制御を開始するように
してもよい。 【００１３】上記(a) 〜(c) の状態は、ウエハエッジを
検出したときの状態であるが、ウエハを所定量回転させ
た時点で上記(a) 〜(c) の状態となる場合もある。しか
し、この場合には、ウエハが所定量回転している間にノ
ッチ検知手段の出力状態が変化するので、この出力の変
化から、露光光の照射領域とノッチの相対位置を求める
ことができる。したがって、上記求めた露光光の照射領
域とノッチの相対位置に基づき、露光開始時点を定め、
前記したノッチ無視制御を行うことにより、ウエハ内部
の露光不要な領域まで露光してしまうといった問題を回
避することができる。 【００１４】具体的には、露光開始時、以下のように制
御すればよい。 （Ａ）ウエハエッジ検出後、ウエハを所定量（Ｄ１＋
α）回転させている間にノッチ検知手段の出力が変化し
ない場合。この場合は、(1) ノッチ部が全く関与しない
場合、(2) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段とウエ
ハエッジ検知手段との間にノツチがある場合、(3) ウエ
ハエッジ検出時、ウエハエッジ検知手段の位置とノッチ
の位置が一致している場合のいずれかであり、上記(1)
の場合は、ノッチ部が全く関与していないので、ウエハ
を所定量（Ｄ１＋α）回転させた後、直ちに露光を開始
しても問題は生じない。また、上記(2),(3) はそれぞれ
前記(a),(b) の状態の場合であるから、同様にウエハを
所定量（Ｄ１＋α）回転させた後、露光を開始しても問
題は生じない。 （Ｂ）ウエハエッジ検出後、ウエハを所定量（Ｄ１＋
α）回転させている間にノッチ検知手段の出力が変化す
る場合。この場合は、ノッチ検知手段の出力から、照射
領域とノッチ開始位置との相対距離を求めることができ
るので、ノッチ検知手段が出力を発生したときに直ちに
露光を開始しても、前記したノッチ無視制御を行うこと
が可能であり、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光し
てしまうといった問題を回避することができる。しか
し、制御シーケンスの簡単化を考慮して、実用的には、
以下のように露光を開始する時点を設定することができ
る。 (1) 上記Ａと同様に、ウエハを所定量（Ｄ１＋α）回転
させた後、露光を開始する。そして、上記回転中にノッ
チ検知手段が出力を発生したら、その出力から照射領域
とノッチ開始位置との相対距離を求める。そして、照射
領域がノッチ開始位置に達したら、前記したノッチ無視
制御を行う。この場合は、前記(3) の場合（ノッチ検知
手段の位置とノッチの位置が一致している場合）を除
き、ウエハを所定量（Ｄ１＋α）回転させた後、露光を
開始するようにしているので、比較的制御シーケンスが
簡単になる。 (2) 上記Ａと同様に、ウエハを所定量（Ｄ１＋α）回転
させた後、さらに、ウエハを、前記したノッチの幅に相
当する量（Ｄ２＋α）だけ回転させたのち、露光を開始
する。そして、照射領域がノッチ開始位置に達したら、
前記したノッチ無視制御を行う。この場合は、全てのケ
ースで、ウエハを所定量（Ｄ１＋α）回転させ、さら
に、前記したノッチの幅に相当する量（Ｄ２＋α）回転
させた後、露光を開始しているので、制御シーケンスが
最も簡単になる。但し、露光開始する時点が遅れるの
で、スループットは低下する。 (3) ノッチ検知手段の出力信号が変化したとき直ちに露
光を開始する。これは、前記したノッチ検知手段が出力
を発生したときに直ちに露光を開始する場合であり、上
記(1),(2) に比べて、露光開始の時点を早くすることが
できるので、スループットが向上する。しかし、制御シ
ーケンスは上記(1),(2) と比べて複雑となる。 【００１５】 【発明の実施の形態】図１に、本発明の前提となる周辺
露光装置の概略構成を示し、図２に本発明の周辺露光装
置の制御部の概略構成を示す。図１、図２において、光
源部１には、紫外線を含む光を放射するランプ１１、例
えば定格電力２５０Ｗの超高圧水銀ランプが配置され、
該ランプ１１からの放射光は、集光鏡１２によって、ラ
イトガイドファイバ１３の入射端面１３ａに集光され
る。ランプ１１とライトガイドファイバ１３の入射端面
１３ａとの間には、シャッタ駆動機構１５の駆動により
開閉されるシャッタ１４が配置されている。そして、制
御部５０内の演算処理部ＣＰＵからシャッタ駆動機構駆
動部ＭＤ３に、シャッタＯＰＥＮ信号が送信されると、
シャッタ駆動機構駆動部ＭＤ３が、シャッタ駆動機構１
５を駆動して、シャッタ１４を開く。これにより、集光
鏡１２によって集光された光が、ライトガイドファイバ
１３の入射端面１３ａに入射し、該ライトガイドファイ
バ１３の出射端面１３ｂに取り付けられた露光光照射部
２から、所定の照射領域Ｓを有する露光光となって照射
される。 【００１６】露光光照射部２は、ウエハエッジ検知手段
４と一体に設けられ、ウエハエッジ検知手段移動機構３
によって、ウエハＷのエッジＥの接線に対して略直角方
向、即ちウエハの略中心方向Ｏに向かって（図１内の両
矢印Ｄ方向に）移動可能に支持されている。したがっ
て、露光光照射部２から照射される、所定の照射領域Ｓ
を有する露光光は、ウエハエッジ検知手段４と同じ方向
に同じ量だけ移動する。また、上記ウエハエッジ検知手
段４と一体にノッチＮの検知のみを行なうノッチ検知手
段９が設けられている。 【００１７】一方、処理ステージ６上には、外周部にノ
ッチが形成され、フォトレジストＲが塗布されたウエハ
Ｗが載置され、不図示の固定手段、例えば真空吸着によ
り固定される。また、処理ステージ６は、処理ステージ
回転機構６１により、回転可能に支持されている。そし
て、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵから処理ステージ
回転機構駆動部ＭＤ４に、ステージ回転開始信号が送信
されると、処理ステージ回転機構駆動部ＭＤ４は、処理
ステージ回転機構６１を駆動して、入力部７に入力され
た回転速度、回転角度または回転回数等のデータに基づ
き、処理ステージ６の回転を開始する。 【００１８】図３に上記ウエハエッジ検知手段とノッチ
検知手段の構成例を示す。ウエハエッジ検知手段４は、
センサ光を投光する投光部４１と、該センサ光を受光す
る受光部４２とから構成され、投光部４１から受光部４
２に投光されるセンサ光の光量によって増減するアナロ
グ信号を制御部５０に出力する。そして、図２に示す制
御部５０は、受光部４２からの上記アナログ信号を、増
幅器ＡＣ１により、例えば、処理ステージ６上に載置さ
れたウエハＷにより完全に遮光された場合に得られる信
号を−５Ｖ、全く遮光されない場合に得られる信号を＋
５Ｖに増幅する。上記増幅器ＡＣ１において増幅された
上記電圧信号は、ＰＩＤ回路ＰＣにて演算処理され、上
記電圧信号を一定電圧にするための制御信号がウエハエ
ッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に出力される。制御
部５０内のウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１
は、受光部４２からの信号が、例えば０Ｖになる位置、
即ち投光部４１からのセンサ光が半分遮光され、残りの
半分が受光部４２に受光される位置に、ウエハエッジ検
知手段４が位置するよう、ウエハエッジ検知手段移動機
構３を駆動する。したがって、ウエハエッジ検知手段４
は、常に上述した位置、すなわちウエハＷのエッジＥ位
置に移動する。 【００１９】また、ノッチ検知手段９は、ウエハエッジ
検知手段４と同様に、センサ光を投光する投光部９１
と、該センサ光を受光する受光部９２とからなる。そし
て、ウエハＷ回転時、ウエハエッジ検知手段４より先に
ウエハＷのノッチＮを検知することができ、ウエハエッ
ジ検知手段４とノッチ検知手段９の間隔が、ノッチＮの
幅（φ３００ｍｍウエハの場合、約３．５ｍｍ、φ２０
０ｍｍウエハの場合、約３ｍｍ）よりも広くなる位置、
例えば、図３に示すように、ウエハエッジ検知手段４の
５ｍｍほど上流側にノッチ検知手段９は設けられる。こ
こで、ノッチ検知手段９は、ウエハエッジ検知手段４と
一体に設けられているので、ウエハエッジ近傍にセンサ
光を投光することができる。 【００２０】図２に示す周辺露光装置の制御部５０に
は、上記ノッチ検知手段９の受光部９２からの信号を処
理するための、増幅器ＡＣ２，比較回路ＣＣ１が設けら
れている。比較回路ＣＣ１は、入力された信号値を、予
め設定された設定値と比較し、設定値よりも大きけれ
ば、ノッチＮが検知されたとしてＯＮ信号を、小さけれ
ばＯＦＦ信号を演算処理部ＣＰＵに出力するものであ
る。ウエハエッジ検知手段４の受光部４２からのアナロ
グ信号と同様に、ノッチ検知手段９の受光部９２からの
アナログ信号は、制御部５０内の増幅器ＡＣ２により増
幅され、比較回路ＣＣ１に入力される。比較回路ＣＣ１
は、入力された上記信号の値を、あらかじめ設定された
設定値Ｉ１と比較し、設定値Ｉ１よりも大きければ、Ｏ
Ｎ信号を演算処理部ＣＰＵに出力する。 【００２１】演算処理部ＣＰＵは、ＯＮ信号が入力され
ると後述する計算を行ない、所定時間後にウエハエッジ
検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対して、動作停止信号
を出力して、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を
停止させ、更に、所定時間経過後、動作再開信号を出力
してウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開す
る。また、演算処理部ＣＰＵには前記増幅器ＡＣ１の出
力が入力され、演算処理部ＣＰＵは露光処理の開始時、
ウエハエッジ検知手段４によりウエハエッジが検出され
ると、後述するように回転ステージを所定量（前記Ｄ１
＋α）回転させる。そして、上記所定量回転中にノッチ
検知手段９の出力信号が変化しない場合、回転終了後、
露光処理を開始させる。また、上記所定量回転中にノッ
チ検知手段９の出力が変化すると、後述するようにノッ
チ検知手段の出力の変化状態に応じたタイミングで露光
処理を開始させる。 【００２２】次に、上記周辺露光装置による、ウエハ周
辺部の露光手順について説明する。 (1) 最初に、ウエハ搬送及び載置手段（図示しない）に
より、外周部にノッチＮが形成され、フォトレジストＲ
が塗布されたウエハＷが搬送され、ウエハＷの中心Ｏと
処理ステージ６の回転中心が略一致した状態で、処理ス
テージ６上に載置される。 (2) 次に、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵから露光幅
設定機構駆動部ＭＤ２に、露光幅設定開始信号が送信さ
れると、露光幅設定機構駆動部ＭＤ２は、入力部７に予
め入力されていた露光幅Ａ（露光を行なう、ウエハＷの
エッジＥからの幅）データに基づいて、露光幅設定機構
８を駆動して、露光光の照射領域Ｓを所望の位置（後述
するウエハエッジ検知手段４がウエハＷのエッジＥを捕
らえたときに、ウエハＷのエッジＥから幅Ａの領域を露
光することができる位置）に移動する。 (3) 続いて、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵからウエ
ハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に、ウエハエッ
ジ検知開始信号が送信されると、ウエハエッジ検知手段
移動機構駆動部ＭＤ１は、ウエハエッジ検知手段移動機
構３を駆動して、ウエハエッジ検知手段４をウエハＷに
向かって移動させ、ウエハエッジ検知手段４によりウエ
ハＷのエッジＥ位置の検知を開始する。 【００２３】(4) 制御部５０は、ウエハエッジ検知手段
４の受光部４２より、ウエハＷのエッジＥを捕らえてい
ることを示す信号を受け取ると、前記したように、回転
ステージを所定量回転させる。この回転量は、少なくと
もウエハエッジ検知手段４とノッチ検知手段９との間隔
Ｄ１（前記図１４では５ｍｍ）より大きい量である。上
記のようにウエハエッジＥを検出してから、上記所定量
回転ステージ６を回転させ、その間にノッチ検知手段９
の出力が変化しない場合には、回転を終了させた後、露
光処理を開始させる。また、回転ステージ６を上記所定
量回転させている間に、ノッチ検知手段９の出力が変化
した場合には、その変化状態からウエハエッジ検知手段
４に対するノッチＮの相対位置を演算し露光開始位置を
決定し、露光処理を開始させる。これにより、露光処理
の開始時、前記(a) 〜(c) の状態にある場合であって
も、ノッチ検知手段９によりノッチが検出されないま
ま、ウエハエッジ検知手段４によりノッチを追従した露
光処理を行われることがなく、前記したウエハ内部の露
光不要な領域まで露光してしまうといった問題を回避す
ることができる。なお、上記露光処理開始時の制御につ
いては後述する。 【００２４】露光を開始するには、シャッタ駆動機構１
５を駆動してシャッタ１４を開き、露光光照射部２を介
して、所定の照射領域Ｓを有する露光光をウエハＷの周
辺部に照射する。また、制御部５０は、シャッタ１４を
開くとほぼ同時に、処理ステージ回転機構６１を駆動
し、入力部７に予め入力されていた回転速度、角度範囲
でウエハＷを回転させながら、その周辺部を露光してい
く。この時、制御部５０は、ウエハエッジ検知手段移動
機構３を制御して、ウエハエッジ検知手段４が、常にウ
エハＷのエッジＥを捕らえていることを示す信号を制御
部５０に出力する位置に、ウエハエッジ検知手段４を移
動させている。また、前述したように、露光処理前に、
露光光の照射領域Ｓは、ウエハエッジ検知手段４がウエ
ハＷのエッジＥを捕らえたときに、ウエハＷのエッジＥ
から幅Ａの領域を露光することができる位置に移動さ
れ、且つ露光処理時には、該照射領域Ｓは、ウエハエッ
ジ検知手段４と同期して、同じ方向に同じ量だけ移動す
るので、ウエハＷのエッジＥから一定の露光幅Ａで、ウ
エハＷの周辺部を露光することができる。 (5) ウエハＷの周辺部の露光処理が完了すると、制御部
５０は、シャッタ１４を閉じ、処理ステージ６の回転を
終了し、更に露光光照射部２を初期の位置に戻す。 【００２５】次に、図１〜図３に示した周辺露光装置に
より、外周部にノッチが形成され、フォトレジストが塗
布されたウエハのエッジを検知しながら、ウエハの周辺
部を露光する場合の制御について説明する。まず、本発
明の前提である露光処理が開始され、露光処理の途中で
ノッチ検知手段９によりノッチが検出された場合の制御
について説明する。この場合の露光処理は、前記した特
願２００１−１５１０３７号に記載される前記図１４で
概要を説明した露光処理と同じであり、前記図１４を参
照しながら説明する。前記したように、処理ステージ６
上に載置されたウエハＷは、処理ステージ駆動機構６１
の駆動により、時計周りに回転し、ウエハエッジ検知手
段４は、図１４の○の位置でウエハＷのエッジＥを検知
している。露光光照射部２から出射される露光光の照射
領域Ｓは、ウエハＷ表面上で、投光部４１からのセンサ
光がウエハＷの周辺部に照射されている位置、即ち○の
位置とほぼ同じ位置にある。また、ノッチ検知手段９
は、ウエハＷの上流側、すなわち前記図１４の◎の位置
でウエハＷのエッジＥを検知している。 【００２６】(1) ウエハのノッチ以外のエッジ部分をノ
ッチ検知手段が検知している場合〔図１４（ａ）〕。 制御部５２は、ウエハエッジ検知手段移動機構３を制御
して、ウエハエッジ検知手段４が、常にウエハＷのエッ
ジＥを捕らえていることを示す信号、すなわちある一定
のアナログ信号を制御部５２に出力する位置に、ウエハ
エッジ検知手段４を移動させているので、受光部４２に
投光される、投光部４１からのセンサ光の光量は、ほと
んど変化しない。また、ウエハＷの中心Ｏと処理ステー
ジ６の回転中心とが一致せず、ウエハＷが偏心して回転
しているとしても、エッジＥは、なめらかな円弧である
ので、受光部４２からの信号に、大きな変化が現れるこ
とはない。また、ノッチ検知手段９は、ウエハＷのエッ
ジＥを検知する、ウエハエッジ検知手段４の近傍に、ウ
エハエッジ検知手段４と一体に設けられているので、ノ
ッチ検知手段９の受光部９２に入力されるセンサ光の光
量は、ウエハＷが偏心して回転しているとしても、ウエ
ハエッジ検知手段４の受光部４２に受光される光量とほ
ぼ同値である。したがって、制御部５２の比較回路ＣＣ
１には、受光部４２と同様のアナログ信号が出力され
る。すなわち、比較回路ＣＣ１に入力される上記信号値
は、設定値Ｉ１よりも小さく、ウエハエッジ検知手段移
動機構３は、露光光照射部２から照射される露光光の照
射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
ここで、設定値Ｉ１は、アナログ信号のノイズをカット
する為に設けられたものであり、例えば、制御部５２
が、ウエハＷのエッジＥのキズなどをノッチＮと誤認識
することが無いように設けられた閾値である。 【００２７】(2) ノッチ検知手段がウエハのノッチの始
まりに達した場合〔図１４（ｂ）〕。 ウエハＷが時計周りに回転し、ウエハＷのノッチＮの始
まりＮs がノッチ検知手段９の検知位置◎に達すると、
ノッチＮ部分では、光を遮っていたウエハＷが切り欠か
れて無くなっているため、受光部９２に投光される、投
光部９１からのセンサ光の光量が、急激に増加する。そ
の結果、制御部５２の比較回路ＣＣ１に出力されるアナ
ログ信号は、設定値Ｉ１よりも大きくなり、比較回路Ｃ
Ｃ１から演算処理部ＣＰＵにＯＮ信号が出力される。演
算処理部ＣＰＵは、上記ＯＮ信号に基き、処理ステージ
６の回転速度と、ノッチ検知手段９の検知位置◎とウエ
ハエッジ検知手段４の検知位置○の間隔（本実施例の場
合、５ｍｍ）から、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの
始まりＮs に達するまでの時間Ｔ１を算出する。 【００２８】(3) ノッチ検知手段がノッチの始まりに達
した後、時間Ｔ１を経過した場合〔図１４（ｃ）〕。 ノッチ検知手段９がノッチＮの始まりＮｓに達した後、
時間Ｔ１を経過すると、露光光の照射領域Ｓが、ノッチ
Ｎの始まりＮｓに達する。演算処理部ＣＰＵはウエハエ
ッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に動作停止信号を出
力し、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、
該信号に基づきウエハエッジ検知手段移動機構３の動作
を停止する。また、演算処理部ＣＰＵは、ウエハエッジ
検知手段移動機構３の動作を停止してから再開する時間
Ｔ２を演算する。演算方法としては種々の方法がある
が、例えば、ＳＥＭＩ規格により定められているノッチ
Ｎの切欠寸法と、入力部７に入力された、処理ステージ
６の回転速度データとに基き、露光光の照射領域Ｓが、
ノッチＮの始まりＮs から終わりＮe に至るまでの時間
Ｔ２を求める。また、ノッチ検知手段９からＯＮ信号が
出力されてから再び上記ＯＦＦ信号が出力されるまでの
時間に基づき、露光光の照射領域ＳがノッチＮの始まり
Ｎｓから終わりＮe に達するまでの時間Ｔ２を算出する
ようにしてもよい。 【００２９】(4) 露光光の照射領域が、ノッチの始まり
に達した後、時間Ｔ２を経過した場合〔図１４
（ｄ）〕。 露光光の照射領域Ｓが、Ｎの始まりに達した後、時間Ｔ
２を経過すると、露光光の照射領域Ｓは、ノッチＮの終
わりＮｅに達する。制御部５０内の演算処理部ＣＰＵか
らは、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対
して、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開す
る信号が出力される。ウエハエッジ検知手段移動機構３
の動作は再開され、ウエハエッジ検知手段移動機構３
は、露光光照射部２から照射される露光光の照射領域Ｓ
の移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。上記のよ
うに露光処理を制御することにより、前記したように、
露光開始後、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に
移動して、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光してし
まうことはない。なお、上記では、露光光の照射領域Ｓ
が、ノッチＮの始まりＮs に達するまでの時間Ｔ１を算
出しているが、ノッチ検知手段９と露光光の照射領域Ｓ
の距離は分かっているので、ノッチ検知信号から、その
時点の露光光の照射領域Ｓとノッチの始まりＮｓとの相
対位置を求めることができる。したがって、上記のよう
にＴ１を算出する代わりに、ノッチ検知手段９が検知信
号を出力してから、ウエハが上記相対距離だけ回転した
ときに、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止
するようにしてもよい。また、上記時間Ｔ２を求める代
わりに、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓ
に達した後、ノッチ幅に相当した距離だけウエハを回転
させ、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開す
るようにしてもよい。 【００３０】次に、露光処理の開始時の処理について本
発明の実施例を説明する。本発明においては、前記した
ように、露光処理の開始時、ウエハＷのエッジＥを検知
したら、回転ステージ６を所定量回転させる（ウエハエ
ッジ検知手段４とノッチ検知手段９との間隔をＤ１とし
たとき、この所定量を、以下ではＤ１＋αとする）。そ
して、露光を開始した位置を記憶しておき、ウエハの周
辺部を露光しながらウエハを少なくとも１回転させ、上
記露光を開始した位置まで露光を行ったら露光を終了す
る。また、露光の途中でノッチが検出されたら、前記図
１４で説明したようなノッチ無視の制御を行う。したが
って、露光処理の開始時にウエハＷのエッジＥを検知し
たとき、前記(a) 〜(c) の状態で無い場合には、ウエハ
エッジを検出したとき、格別の処理を行うことなく前記
図１４で説明したように、ノッチを無視した制御を行う
ことができ、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光して
しまうことはない。 【００３１】また、ウエハエッジを検出したとき、前記
(a) 〜(c) の状態にある場合であっても、前記したよう
にウエハエッジを検出してから、所定量回転ステージ６
を回転させ、その間にノッチ検知手段９の出力が変化し
ない場合には、回転終了後、露光処理を開始させ、ま
た、所定量回転させている間に、ノッチ検知手段９の出
力が変化した場合には、その変化状態に基づいて露光開
始位置を決定し、露光処理を開始させることにより、ウ
エハ内部の露光不要な領域まで露光してしまうといった
問題を回避することができる。 【００３２】以下、本発明の実施例について詳述する。 （１）実施例１ 図４は、本発明の第１の実施例のウエハエッジ検出時の
動作を説明する図、図５は第１の実施例の変形例を説明
する図、図６、図７は、本実施例において前記演算処理
部ＣＰＵにおいて行われる処理を示すフローチャートで
ある。図４は、ノッチの近傍を拡大して示した図であ
り、同図のＡ〜Ｄはウエハエッジ検出時および回転ステ
ージを所定量（Ｄ１＋α）回転させたときのノッチ検知
手段９、ウエハエッジ検知手段４と、ノッチＮの相対位
置関係を示しており、同図の符号４を付した丸印はウエ
ハエッジ検知手段４を示し、黒丸は露光開始時点を示し
ている。また、符号９を付した丸印はノッチ検知手段９
を示している。ノッチ検出手段９がウエハエッジ検出手
段４よりも、ウエハに対してやや内側に位置しているの
は、ウエハの中心が，回転の中心に対し、偏心していて
も、確実にノッチＮのみを検出するためであり、他の実
施例の場合も同様である。ノッチ検知手段９はウエハエ
ッジ検知手段４の上流側に設けられ、この例では、ウエ
ハエッジ検知手段４の距離Ｄ１は５ｍｍである。また、
ノッチ幅（ノッチ開口長）は約３ｍｍである。また、同
図において、ウエハエッジ検知手段４とノッチ検知手段
９の間を結ぶ線を点線で示したものは、ウエハエッジ検
出時のノッチ検知手段９およびウエハエッジ検知手段４
の位置を示し、太実線で示したものは、ウエハエッジを
検出してから、前記した所定量（Ｄ１＋α）だけ回転ス
テージを回転させた後のノッチ検知手段９およびウエハ
エッジ検知手段４の位置を示し、二重線で示したもの
は、所定量（Ｄ１＋α）回転させたのち、さらにＤ２＋
α回転させたときのノッチ検知手段９およびウエハエッ
ジ検知手段４の位置を示している。また、図４中の
（ア）〜（ウ）は、エッジ検出時に、ウエハエッジ検知
手段とノッチ検知手段が異なった位置にある場合のそれ
ぞれの状態を示している。なお、前記図１４と同様、ウ
エハエッジ検出センサの位置と露光光照射位置とは一致
している。 【００３３】次に図４によりＡ〜Ｄの場合におけるウエ
ハエッジ検出時の動作について本発明の第１の実施例を
説明する。 (1) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段９とウエハエ
ッジ検知手段４が図４のＡの点線の状態にあり、所定量
（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９がＯＦＦのまま
変化しない場合。この場合には、図４のＡに示すように
以下の３つの場合が考えられる。 （ア）ノッチ部が全く関与しない場合。 （イ) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段とウエハエ
ッジ検知手段との間にノツチがある場合（前記(b) の状
態の場合）。 （ウ) ウエハエッジ検出時、ウエハエッジ検知手段の位
置とノッチの位置が一致している場合（前記(a) の状態
の場合）。 【００３４】上記（ア）の場合には、所定量回転し露光
を開始する。そして、露光開始後にノッチ検知手段９に
よりノッチが検出されれば、前記図１４で説明したノッ
チ無視制御を行なう。上記（イ) の場合にも、所定量回
転した後、露光を開始する。この回転する所定量（５ｍ
ｍ＋α）はノッチ幅Ｄ２（３ｍｍ）よりも大きいので、
図４のＡ（イ）に示すようにノッチを過ぎた位置から露
光が開始されることになる。したがって、露光開始後ウ
エハをほぼ１回転させた時に、ノッチＮがノッチ検知手
段９により検知され、前記図１４で説明したノッチ無視
制御を行うことにより、ウエハ内部の露光不要な領域ま
で露光してしまうといった問題を回避することができ
る。上記（ウ）の場合は、上記（イ）と同様であり、所
定量回転した後、露光を開始する。この場合も、図４の
Ａ（ウ）に示すようにノッチを過ぎた位置から露光が開
始されることになる。以上のように、図４のＡの状態の
場合には、（ア)(イ)(ウ) のいずれの場合であっても、
所定量回転後、露光を開始し、ノッチが検出されるのを
待って、前記図１４で説明したように、ノッチ無視制御
を行なうことにより、ウエハ内部の露光不要な領域まで
露光してしまうといった問題を回避することができる。 【００３５】上記Ａはウエハを所定量回転させたとき、
回転中にノッチ検知手段９の出力が変化しない場合であ
るが、上記回転中にノッチ検知手段９の出力が変化する
場合には、以下の(2) 〜(4) のようにして、露光開始時
点を定める。すなわち、Ｂ，Ｃの場合には、上記Ａと同
様、所定量（Ｄ１＋α）回転後、露光を開始する。ま
た、Ｄのノッチ検知手段がＯＮからＯＦＦに変化する場
合には、さらにＤ２＋α回転を追加し、その後露光を開
始する。 【００３６】(2) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段
９とウエハエッジ検知手段４が図４のＢの点線の状態に
あり、所定量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９が
ＯＦＦからＯＮに変化する場合。この場合は、上記所定
量回転中にノッチ検知手段９からノッチ開始点を示すＯ
Ｎ信号が前記した制御部５０に出力される。制御部５０
は、上記ＯＮ信号に基づき、ノッチの開始位置を求め
る。そして、ウエハを所定量回転させ、ウエハエッジ検
知手段４とノッチ検知手段９が図４のＢの太実線位置に
達したら露光を開始する。そして、照射領域が上記ノッ
チ開始位置に達すると、前記したノッチ無視制御（露光
光照射部のならい移動の停止）を行う。すなわち、この
場合には、ノッチの手前近傍から露光が開始されるが、
上記のように、ＯＮ信号が検出されたら、前記したノッ
チ無視制御を行うので、ウエハ内部の露光不要な領域ま
で露光してしまうことはない。 【００３７】(3) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段
９とウエハエッジ検知手段４が図４のＣの点線の状態に
あり、所定量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９が
ＯＦＦ→ＯＮ→ＯＦＦに変化する場合。この場合も、上
記(2) と同様に、上記所定量回転中にノッチ検知手段９
からノッチ開始点を示すＯＮ信号が制御部５０に出力さ
れるので、制御部５０は、このＯＮ信号に基づき、ノッ
チ開始位置を求める。そして、ウエハを所定量回転さ
せ、ウエハエッジ検知手段４とノッチ検知手段９が図４
のＣの太実線位置に達したら露光を開始するとともに、
上記照射領域がノッチ開始位置に達したら、前記したノ
ッチ無視制御（露光光照射部のならい移動の停止）を行
う。なお、この場合、露光開始位置が、図４のＢに示す
ようにノッチ部分になることがあるが、露光光照射部の
ならい移動は、ノッチ無視制御により停止しているので
問題ない。 【００３８】(4) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段
９とウエハエッジ検知手段４が図４のＤの点線の状態に
あり、所定量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９が
ＯＮからＯＦＦに変化する場合（前記(c) の状態の場
合）。この場合は、ウエハエッジ検出時点でノッチ検知
手段９がＯＮになっているので、そこにノッチがあるこ
とはわかるが、ノッチ開始点がどこかはわからない。こ
のため、前記したように、ノッチ検知手段９のＯＮ信号
からノッチ開始位置を求めることはできない。したがっ
て、ウエハを所定量回転した後、露光開始する際、図４
のＤのようにノッチ部分と一致したとしてもノッチ無視
制御をすることができない。そこで、この場合は、前記
制御部５０は、さらにノッチの幅Ｄ２（３ｍｍ）＋αだ
けウエハをさらに回転させ、図４のＤの二重線に示す位
置まで移動させた後に、露光を開始する。これにより、
ノッチを過ぎた位置から露光が開始されることになり、
露光開始後、ウエハをほぼ１回転させた後、ノッチが検
出されたら前記図１４で説明したノッチ無視制御を行
う。 【００３９】なお、上記(4) においては、Ｄ１＋α回転
させた後、さらにＤ２＋α回転させているが、ノッチ検
知手段９による検出信号がＯＮからＯＦＦに変化するタ
イミングからノッチ位置を求めて、ノッチ無視制御を行
うようにしてもよい。すなわち、図５に示すように、ノ
ッチ検知手段９の出力がＯＮからＯＦＦしたら、制御部
５０においてウエハの回転速度とノッチ幅Ｄ２からノッ
チの開始位置を演算する。そして、照射領域がノッチ開
始位置に達したら、前記したようにノッチ無視制御を行
い、露光光照射部のならい移動を停止する。制御部５０
は、ノッチが検出されてからウエハを所定量（Ｄ１＋
α）回転させたのち露光を開始するが、この時点では露
光光照射部のならい移動は停止しているので、ウエハ内
部の露光不要な領域まで露光してしまうことはない。 【００４０】次に、図６、図７により本実施例の制御部
５０の演算処理部ＣＰＵにおける処理を説明する。ま
ず、図６に示すように変数の初期化を行う。すなわち、
予備回転フラグＦｌｇをＯＦＦとし、検出ノッチ位置を
示す変数Ｌｎを未定義に設定する（ステップＳ１）。次
に、ウエハエッジ検知手段によるウエハエッジの検出動
作を開始させる（ステップＳ２）。そして、そのときの
ノッチ検知手段の検出結果を、ウエハ回転前のノッチ検
知手段の出力を示す変数Ｓｉｎｉに入れる（ステップＳ
３）。ついで、ウエハを微小量回転させる（実際は、連
続してウエハを回転させ、定期的にノッチ検知手段の出
力を演算処理装置ＣＰＵに取り込んでいるが、ここで
は、説明のためウエハを微小量回転させる動作を繰り返
し、ノッチ検知手段の出力を取り込むとして説明する）
（ステップＳ４）。そして、回転後のノッチ検知手段の
出力を演算処理装置ＣＰＵに取り込み、ノッチ検知手段
による検出結果を、最新のノッチ検知手段の出力を示す
変数Ｓに入れる（ステップＳ５）。 【００４１】ついで、前記変数ＳｉｎｉがＯＦＦで、か
つ、変数ＳがＯＮであるかを調べる（ステップＳ６）。
そして、変数ＳｉｎｉがＯＦＦで、かつ、変数ＳがＯＮ
の場合は、ステップＳ１１に行く。なお、変数Ｓｉｎｉ
がＯＦＦで、かつ、変数ＳがＯＮの場合は、前記図４の
ＢあるいはＣの場合である。また、前記変数Ｓｉｎｉが
ＯＦＦで、かつ、変数ＳがＯＮでない場合には、ステッ
プＳ７に行き、前記変数ＳｉｎｉがＯＮで、かつ、変数
ＳがＯＦＦであるかを調べる。そして、変数Ｓｉｎｉが
ＯＮで、かつ、変数ＳがＯＦＦ場合は、ステップＳ１３
に行く。なお、変数ＳｉｎｉがＯＮで、かつ、変数Ｓが
ＯＦＦの場合は、前記図４のＤの場合である。また、ス
テップＳ７で変数ＳｉｎｉがＯＮで、かつ、変数ＳがＯ
ＦＦでない場合には、ウエハがＤ１＋α回転したかを判
定し（ステップＳ８）、ウエハがＤ１＋α回転していな
い場合には、ステップＳ４に戻り上記処理を繰り返す。 【００４２】そして、ウエハがＤ１＋α回転すると、ス
テップＳ９に行く。また、前記変数ＳｉｎｉがＯＦＦ
で、かつ、変数ＳがＯＮの場合（前記図４のＢ，Ｃの場
合）には、ステップＳ１１で、Ｌｎが未定義かを調べ、
Ｌｎが既に定義されている場合には、ステップ８に行
く。また、Ｌｎが未定義の場合には、ステップＳ１２に
おいて、現在（変数ＳがＯＮになった時点）のウエハ回
転位置から、ノッチ位置を求める。すなわち、その時点
においてノッチ検知手段がノッチの開始位置にあるとし
て、現在の照射領域とノッチとの相対位置を求めて、こ
れを検出ノッチ位置を示す変数Ｌｎに入れ、ステップＳ
８に行く。また、前記変数ＳｉｎｉがＯＮで、かつ、変
数ＳがＯＦＦの場合（前記図４のＤの場合）には、ステ
ップＳ１３で予備回転延長フラグＦｌｇをＯＮとしてス
テップＳ８に行く。 【００４３】ウエハがＤ１＋α回転すると、ステップＳ
９で、予備回転延長フラグＦｌｇがＯＮであるかを調
べ、予備回転延長フラグＦｌｇがＯＮであれば、前記Ｄ
の場合であるので、さらにウエハをＤ２＋α回転させ
て、ステップＳ１０に行く。以上の処理が終わると、ス
テップＳ１０で、露光を開始し、ウエハを回転させなが
ら、ウエハの周辺部の露光を行う。そして、露光光の照
射領域Ｓが前記ステップＳ１２で求めたノッチ開始位置
に達すると、露光光照射部のウエハエッジへの追従制御
を停止させノッチ無視制御を行う。また、その後の露光
処理中に、前記したようにノッチが検出されたら、前記
図１４で説明したように、ノッチ開始位置で露光光照射
部のウエハエッジへの追従制御を停止させノッチ無視制
御を行う。なお、前記図５で説明した制御を行う場合に
は、ステップＳ１３で、ウエハの回転位置とノッチ幅Ｄ
２からノッチの開始位置を演算して、ノッチ開始位置を
変数Ｌｎに入れておき、このＬｎにより、ステップＳ１
０でノッチ無視制御を行えばよい。この場合には、ステ
ップＳ９、ステップＳ１４の処理は不要となる。 【００４４】（２）実施例２ 図８は、本発明の第２の実施例のウエハエッジ検出時の
動作を説明する図、図９は本実施例において前記演算処
理部ＣＰＵにおいて行われる処理を示すフローチャート
である。本実施例は、前記図４のＢ，Ｃ，Ｄの場合（Ｄ
１＋α回転中にノッチ検知信号が変化する場合）に、さ
らにＤ２＋α回転を追加し、その後露光を開始するよう
にしたものである。なお、前記図４のＡの場合は、前記
図４で説明したのと同じであり、ウエハをＤ１＋α回転
させた後、直ちに露光を開始する。本実施例は、上記の
ようにＢ，Ｃ，Ｄの場合、Ｄ２＋α回転を追加するだけ
で、ノッチ検出信号の変化状態に応じて異なった制御を
する必要がないので、前記第１の実施例と比べ、制御シ
ーケンスが簡略になる。ただし、Ｄ２＋α回転回転させ
た後、露光を開始するので、第１の実施例に比べ、露光
せずにウエハを回転する時間が長くなり、スループット
が若干低下する。 【００４５】図８は、前記図４と同様、ノッチの近傍を
拡大して示した図であり、図４と同様、符号４を付した
丸印はウエハエッジ検知手段４を示し、符号９を付した
丸印はノッチ検知手段９を示し、黒丸は露光開始位置を
示している。また、ノッチ検知手段９はウエハエッジ検
知手段４の５ｍｍ上流側に設けられ、ノッチ幅（ノッチ
開口長）は約３ｍｍである。また、前記と同様、同図の
点線は、ウエハエッジ検出時のノッチ検知手段９および
ウエハエッジ検知手段４の位置を示し、太実線は、ウエ
ハエッジを検出してから、前記した所定量（Ｄ１＋α）
だけ回転ステージを回転させた後のノッチ検知手段９お
よびウエハエッジ検知手段４の位置を示し、二重線は、
所定量（Ｄ１＋α）回転させたのち、さらにＤ２＋α回
転させた後のノッチ検知手段９およびウエハエッジ検知
手段４の位置を示している。また、図８中の（ア）〜
（ウ）は、エッジ検出時に、ウエハエッジ検知手段とノ
ッチ検知手段が異なった位置にある場合のそれぞれの状
態を示している。なお、前記図１４と同様、ウエハエッ
ジ検出センサの位置と露光光照射位置とは一致してい
る。 【００４６】次に図８によりＡ〜Ｄの場合におけるウエ
ハエッジ検出時の動作について説明する。 (1) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段９とウエハエ
ッジ検知手段４が図８のＡの点線の状態にあり、所定量
（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９がＯＦＦのまま
変化しない場合。この場合には、前記図４で説明したの
と同じであり、前記（ア）の場合には、所定量回転し露
光を開始する。そして、露光開始後にノッチ検知手段９
によりノッチが検出されれば、前記図１４で説明したノ
ッチ無視制御を行なう。前記（イ) の場合にも、所定量
回転した後、露光を開始する。この回転する所定量（５
ｍｍ＋α）はノッチ幅Ｄ２（３ｍｍ）よりも大きいの
で、図８のＡ（イ）に示すようにノッチを過ぎた位置か
ら露光が開始されることになる。前記（ウ）の場合は、
上記（イ）と同様であり、所定量回転した後、露光を開
始する。この場合も、図８のＡ（ウ）に示すようにノッ
チを過ぎた位置から露光が開始されることになる。 【００４７】また、ウエハを所定量回転させたとき、回
転中にノッチ検知手段９の出力が変化する場合には、以
下に説明するように、さらにＤ２＋α回転を追加し、そ
の後露光を開始する。 (2) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段９とウエハエ
ッジ検知手段４が図８のＢの点線の状態にあり、所定量
（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９がＯＦＦからＯ
Ｎに変化する場合。この場合は、上記所定量回転中にノ
ッチ検知手段９からノッチ開始点を示すＯＮ信号が前記
した制御部５０に出力される。前記制御部５０は、さら
にノッチの幅Ｄ２（３ｍｍ）＋αだけウエハをさらに回
転させ、図８のＢの太破線に示す位置まで移動させた後
に、露光を開始する。また、制御部５０は、ノッチ検知
手段のＯＮ信号に基づき、ノッチの開始位置を求める。
そして、上記照射領域がノッチ開始位置に達したら、前
記したノッチ無視制御（露光光照射部のならい移動の停
止）を行う。すなわち、この場合には、ノッチの手前近
傍から露光が開始されるが、上記のようにノッチ無視制
御を行うので、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光し
てしまうことはない。 【００４８】(3) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段
９とウエハエッジ検知手段４が図８のＣの点線の状態に
あり、所定量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９が
ＯＦＦ→ＯＮ→ＯＦＦに変化する場合。この場合も、上
記(2) と同様に、上記所定量回転中にノッチ検知手段９
からノッチ開始点を示すＯＮ信号が制御部５０に出力さ
れので、前記制御部５０は、さらにノッチの幅Ｄ２（３
ｍｍ）＋αだけウエハをさらに回転させ、図８のＣの太
破線に示す位置まで移動させた後に、露光を開始する。
そして、上記(2) と同様、制御部５０は、ノッチ検知手
段のＯＮ信号に基づき、ノッチ開始位置を求める。そし
て、照射領域がノッチ開始位置に達したら前記したノッ
チ無視制御（露光光照射部のならい移動の停止）を行
う。なお、図８のＣの（イ）の場合には、所定量（Ｄ１
＋α）回転させたのち、さらにＤ２＋α回転させること
により、露光光の照射領域Ｓ（ウエハエッジ検知手段）
がノッチ位置を越えているので、ここでのノッチ無視制
御は行われず、ウエハがほぼ１回転したのち、前記図１
４で説明したノッチ無視制御が行われる。 【００４９】(4) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段
９とウエハエッジ検知手段４が図８のＤの点線の状態に
あり、所定量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９が
ＯＮからＯＦＦに変化する場合（前記(c) の状態の場
合）。この場合は、上記所定量回転中にノッチ検知手段
９からノッチの終了点を示すＯＦＦ信号が制御部５０に
出力されので、前記制御部５０は、さらにノッチの幅Ｄ
２＋αだけウエハを回転させ、図８のＤの太破線に示す
位置まで移動させた後に、露光を開始する。上記のよう
にウエハをＤ１＋α回転させた後、さらにＤ２＋αだけ
ウエハを回転させたのち露光を開始することにより、前
記図４と同様、図８に示すように、露光開始位置がノッ
チを越えるので、ノッチを過ぎた位置から露光が開始さ
れる。なお、露光開始後、ウエハをほぼ１回転させた
後、ノッチが検出されたら前記図１４で説明したノッチ
無視制御を行う。 【００５０】次に図９により本実施例の制御部５０の演
算処理部ＣＰＵにおける処理を説明する。まず、図９に
示すように予備回転フラグＦｌｇをＯＦＦとする（ステ
ップＳ１）。次に、ウエハエッジ検知手段によるウエハ
エッジの検出動作を開始させる（ステップＳ２）。そし
て、そのときのノッチ検知手段の検出結果を、ウエハ回
転前のノッチ検知手段の出力を示す変数Ｓｉｎｉに入れ
る（ステップＳ３）。ついで、前記したようにウエハを
微小量回転させる（ステップＳ４）。そして、回転後の
ノッチ検知手段の出力を演算処理装置ＣＰＵに取り込
み、ノッチ検知手段による検出結果を、最新のノッチ検
知手段の出力を示す変数Ｓに入れる（ステップＳ５）。 【００５１】ついで、前記変数Ｓｉｎｉ≠変数Ｓである
かを調べる（ステップＳ６）。そして、Ｓｉｎｉ≠Ｓで
ない場合には、ウエハがＤ１＋α回転したかを判定し
（ステップＳ７）、ウエハがＤ１＋α回転していない場
合には、ステップＳ４に戻り上記処理を繰り返す。ま
た、Ｓｉｎｉ≠Ｓの場合には、ステップＳ８において前
記予備回転フラグＦｌｇをＯＮとする。この場合は、前
記図８のＢ，Ｃ，Ｄの場合である。ウエハがＤ１＋α回
転すると、ステップＳ９で、予備回転延長フラグＦｌｇ
がＯＮであるかを調べ、予備回転延長フラグＦｌｇがＯ
Ｎでなければ、ステップＳ１０に行く。この場合は前記
図８のＡの場合である。また、予備回転延長フラグＦｌ
ｇがＯＮであれば、ステップＳ１１において、さらにウ
エハをＤ２＋α回転させて、ステップＳ１０に行く。以
上の処理が終わると、ステップＳ１０で、露光を開始
し、ウエハを回転させながら、ウエハの周辺部の露光を
行う。そして、その後、前記したようにノッチが検出さ
れたら、ノッチ位置で露光光照射部のウエハエッジへの
追従制御を停止させノッチ無視制御を行う。以上のよう
に、本実施例では、図８のＢ，Ｃ，Ｄの場合、Ｄ２＋α
回転を追加することで、ノッチ検出信号の変化状態に応
じて異なった制御をする必要がないので、図９に示した
ように制御部５０における処理を著しく簡単にすること
ができる。 【００５２】（２）実施例３ 図１０は、本発明の第３の実施例のウエハエッジ検出時
の動作を説明する図、図１１、図１２は本実施例におい
て前記演算処理部ＣＰＵにおいて行われる処理を示すフ
ローチャートである。本実施例は、前記図４のＢ，Ｃ，
Ｄの場合において、ノッチ検知信号が出力されたとき、
ウエハがＤ１＋α回転するのを待たずに直ちに露光を開
始することにより、露光せずにウエハを回転する時間を
短くしスループット向上させたものである。図１０は、
前記図４、図８と同様、ノッチの近傍を拡大して示した
図であり、図４、図８と同様、符号４を付した丸印はウ
エハエッジ検知手段４を示し、符号９を付した丸印はノ
ッチ検知手段９を示しており、黒丸は露光開始位置を示
している。また、ノッチ検知手段９はウエハエッジ検知
手段４の５ｍｍ上流側に設けられ、ノッチ幅（ノッチ開
口長）は約３ｍｍである。また、前記したように同図の
点線は、ウエハエッジ検出時のノッチ検知手段９および
ウエハエッジ検知手段４の位置を示し、太実線は、ウエ
ハエッジを検出してから、前記した所定量（Ｄ１＋α）
だけ回転ステージを回転させた後のノッチ検知手段９お
よびウエハエッジ検知手段４の位置を示し、実線は露光
開始時のノッチ検知手段９およびウエハエッジ検知手段
４の位置を示している。また、図１０中の（ア）〜
（ウ）は、エッジ検出時に、ウエハエッジ検知手段とノ
ッチ検知手段が異なった位置にある場合のそれぞれの状
態を示している。なお、前記図１４と同様、ウエハエッ
ジ検出センサの位置と露光光照射位置とは一致してい
る。 【００５３】次に図１０によりＡ〜Ｄの場合におけるウ
エハエッジ検出時の動作について説明する。 (1) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段９とウエハエ
ッジ検知手段４が図１０のＡの点線の状態にあり、所定
量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９がＯＦＦのま
ま変化しない場合。この場合には、前記図４、図８で説
明したのと同じであり、前記（ア）の場合には、所定量
回転し露光を開始する。そして、露光開始後にノッチ検
知手段９によりノッチが検出されれば、前記図１４で説
明したノッチ無視制御を行なう。前記（イ) の場合に
も、所定量回転した後、露光を開始する。この回転する
所定量（５ｍｍ＋α）はノッチ幅Ｄ２（３ｍｍ）よりも
大きいので、図１０のＡ（イ）に示すようにノッチを過
ぎた位置から露光が開始されることになる。前記（ウ）
の場合は、上記（イ）と同様であり、所定量回転した
後、露光を開始する。この場合も、図１０のＡ（ウ）に
示すようにノッチを過ぎた位置から露光が開始されるこ
とになる。 【００５４】また、ウエハを所定量回転させたとき、回
転中にノッチ検知手段９の出力が変化する場合には、ノ
ッチ検知信号が変化したタイミングにより、ノッチ開始
位置を知ることができるので、以下に説明するように、
直ちに露光を開始し、露光光照射部（ウエハエッジ検知
手段）がノッチ開始位置に来たら、前記したノッチ無視
制御を行う。 (2) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段９とウエハエ
ッジ検知手段４が図１０のＢの点線の状態にあり、所定
量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９がＯＦＦから
ＯＮに変化する場合。この場合は、上記所定量回転中に
ノッチ検知手段９からノッチ開始点を示すＯＮ信号が前
記した制御部５０に出力される。前記制御部５０は、ノ
ッチ検知手段のＯＮ信号に基づき、ノッチの開始位置を
求めるとともに、直ちに露光を開始する。そして、照射
領域がノッチ開始位置に達したら、前記したノッチ無視
制御（露光光照射部のならい移動の停止）を行う。すな
わち、この場合には、ノッチ検知手段のＯＮ信号が出力
されたとき、直ちに露光を開始するが、上記のようにノ
ッチ無視制御を行うので、ウエハ内部の露光不要な領域
まで露光してしまうことはない。 【００５５】(3) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段
９とウエハエッジ検知手段４が図１０のＣの点線の状態
にあり、所定量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９
がＯＦＦ→ＯＮ→ＯＦＦに変化する場合。この場合も、
上記(2) と同様に、上記所定量回転中にノッチ検知手段
９からノッチ開始点を示すＯＮ信号が制御部５０に出力
されるので、前記制御部５０は、ノッチ検知手段のＯＮ
信号に基づき、ノッチ開始位置を求めるとともに、直ち
に露光を開始する。そして、照射領域がノッチ開始位置
に達したら、前記したノッチ無視制御（露光光照射部の
ならい移動の停止）を行う。 (4) ウエハエッジ検出時、ノッチ検知手段９とウエハエ
ッジ検知手段４が図１０のＤの点線の状態にあり、所定
量（Ｄ１＋α）回転中にノッチ検知手段９がＯＮからＯ
ＦＦに変化する場合（前記(c) の状態の場合）。この場
合は、上記所定量回転中にノッチ検知手段９からノッチ
終了点を示すＯＦＦ信号が制御部５０に出力されので、
前記制御部５０は、上記ＯＦＦ信号が入力された時点で
直ちに露光を開始する。またこれと同時に、前記図５で
説明したのと同様、ノッチ検知手段９の出力がＯＮから
ＯＦＦしたタイミングと、ウエハの回転速度とノッチ幅
Ｄ２からノッチの開始位置を演算する。そして、露光光
の照射領域Ｓがノッチ開始位置に達したら、前記したよ
うに、ノッチ無視制御（露光光照射部のならい移動の停
止）を行う。 【００５６】次に、図１１、図１２により本実施例の制
御部５０の演算処理部ＣＰＵにおける処理を説明する。
まず、図１１に示すように、検出ノッチ位置を示す変数
Ｌｎを未定義に設定する（ステップＳ１）。次に、ウエ
ハエッジ検知手段によるウエハエッジの検出動作を開始
させる（ステップＳ２）。そして、そのときのノッチ検
知手段の検出結果を、ウエハ回転前のノッチ検知手段の
出力を示す変数Ｓｉｎｉに入れる（ステップＳ３）。つ
いで、前記したようにウエハを微小量回転させる（ステ
ップＳ４）。そして、回転後のノッチ検知手段の出力を
演算処理装置ＣＰＵに取り込み、ノッチ検知手段による
検出結果を、最新のノッチ検知手段の出力を示す変数Ｓ
に入れる（ステップＳ５）。 【００５７】ついで、前記変数ＳｉｎｉがＯＦＦで、か
つ、変数ＳがＯＮであるかを調べる（ステップＳ６）。
そして、変数ＳｉｎｉがＯＦＦで、かつ、変数ＳがＯＮ
の場合は、ステップＳ１０で露光を直ちに開始して、ス
テップＳ１１に行く。なお、変数ＳｉｎｉがＯＦＦで、
かつ、変数ＳがＯＮの場合は、前記図１０のＢあるいは
Ｃの場合である。また、前記変数ＳｉｎｉがＯＦＦで、
かつ、変数ＳがＯＮでない場合には、ステップＳ７に行
き、前記変数ＳｉｎｉがＯＮで、かつ、変数ＳがＯＦＦ
であるかを調べる。そして、変数ＳｉｎｉがＯＮで、か
つ、変数ＳがＯＦＦ場合は、ステップＳ１３で露光を直
ちに開始して、ステップＳ１４に行く。なお、変数Ｓｉ
ｎｉがＯＮで、かつ、変数ＳがＯＦＦの場合は、前記図
４のＤの場合である。 【００５８】ステップＳ１１では、Ｌｎが未定義かを調
べ、Ｌｎが既に定義されている場合には、ステップ８に
行く。また、Ｌｎが未定義の場合には、ステップＳ１２
において、現在（変数ＳがＯＮになった時点）のウエハ
回転位置から、ノッチ位置を求める。すなわち、その時
点においてノッチ検知手段がノッチの開始位置にあると
して、現在の照射領域Ｓとノッチとの相対位置を求め
て、これを検出ノッチ位置を示す変数Ｌｎに入れ、ステ
ップＳ８に行く。また、ステップＳ１４では、Ｌｎが未
定義かを調べ、Ｌｎが既に定義されている場合には、ス
テップ８に行く。また、Ｌｎが未定義の場合には、ステ
ップＳ１４において、現在（変数ＳがＯＦＦになった時
点）のウエハ回転位置から、ノッチ位置を求める。すな
わち、その時点においてノッチ検知手段がノッチの終了
位置にあるとして、現在の照射領域Ｓとノッチとの相対
位置を求めて、これを検出ノッチ位置を示す変数Ｌｎに
入れ、ステップＳ８に行く。また、ステップＳ７で変数
ＳｉｎｉがＯＮで、かつ、変数ＳがＯＦＦでない場合に
は、ステップＳ８に行き、前記Ｌｎの値から照射領域が
ノッチ位置にあるかを判定し、ノッチ位置にある場合に
は、ならい制御を停止する（ステップＳ９）。そして、
ウエハがＤ１＋α回転したかを判定し（ステップＳ１
６）、ウエハがＤ１＋α回転していない場合には、ステ
ップＳ４に戻り上記処理を繰り返す。そして、ウエハが
Ｄ１＋α回転した場合には、ステップＳ１７に行く。 【００５９】ウエハがＤ１＋α回転すると、まだ露光が
開始されていない場合には、ステップＳ１７で露光を開
始し、ウエハを回転させながら、ウエハの周辺部の露光
を行う。そして、露光光の照射領域Ｓがノッチ開始位置
に達すると、露光光照射部のウエハエッジへの追従制御
を停止させノッチ無視制御を行う。また、その後の露光
処理中に、前記したようにノッチが検出されたら、前記
図１４で説明したように、ノッチ位置で露光光照射部の
ウエハエッジへの追従制御を停止させノッチ無視制御を
行う。 【００６０】なお、上記説明においては、ノッチ検知手
段９の受光部９２からのアナログ信号を、制御部５２内
の増幅器ＡＣ２により増幅し、比較回路ＣＣ１にあらか
じめ設定された設定値Ｉ１と比較し、設定値Ｉ１よりも
大きい場合、ＯＮ信号を演算処理部ＣＰＵに出力した
が、これに限るものではなく、増幅回路ＡＣ２と比較回
路ＣＣ１の間に、微分回路を設け、微分データと比較回
路ＣＣ１に予め設定された設定値を比較し、設定値より
も大きい場合、ＯＮ信号を演算処理部ＣＰＵに出力する
ようにしても良い。また、上述した、周辺露光装置にお
いては、露光光照射部とウエハエッジ検知手段とが一体
に設けられており、露光光照射部から照射される露光光
の照射領域の移動は、ウエハエッジ検知手段移動機構に
よって露光光照射部を移動させることにより行ったが、
これに限るものではなく、露光光照射部から照射される
露光光の照射領域を移動させる、照射領域移動機構と、
ウエハエッジ検知手段を移動させる、ウエハエッジ検知
手段移動機構とを別々に設け、該ウエハエッジ検知手段
の移動方向及び移動量と同じ方向に同じ量だけ、該照射
領域が移動するように構成しても良い。 【００６１】 【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、ウエハの周辺露光を開始するに際し、ウエハのエッ
ジを検出時、ウエハを、少なくともウエハエッジ検知手
段とノッチ検知手段との間隔だけ回転させてからウエハ
露光光の照射を開始し、上記回転中に前記ノッチ検知手
段の出力信号が変化したとき、該出力信号の変化状態に
応じて予め設定された露光開始位置からウエハ露光光の
照射を開始させ、上記ノッチ検知手段の出力信号の変化
状態からノッチが始まる位置を求め、上記照射領域がノ
ッチの始まりに達したとき、上記露光光照射領域移動機
構の動作を停止させ、上記照射領域がノッチの終わりに
達したとき、上記照射領域移動機構の動作を再開させ,
上記回転中に前記ノッチ検知手段の出力信号が変化しな
いときには、上記回転終了後露光光の照射を開始させ、
上記ノッチ検知手段によりノッチの始まりを示す信号を
受けたとき、上記ノッチの始まりを示す信号に基づき、
ノッチが始まる位置を求め、上記照射領域がノッチの始
まりに達したとき、上記照射領域移動機構の動作を停止
させ, 上記照射領域がノッチの終わりに達したとき、上
記照射領域移動機構の動作を再開させるようにしたの
で、周辺露光を開始する際、ノッチの位置がどこであっ
ても、ノッチを無視した制御を行うことができ、ウエハ
内部の露光不要な領域まで露光してしまうという問題を
回避することができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の前提となる周辺露光装置の概略構成を
示す図である。 【図２】本発明の周辺露光装置の制御部の概略構成を示
す図である。 【図３】ウエハエッジ検知手段とノッチ検知手段の構成
例を示す図である。 【図４】本発明の第１の実施例のウエハエッジ検出時の
動作を説明する図である。 【図５】第１の実施例の変形例を説明する図である。 【図６】第１の実施例の演算処理部における処理を示す
フローチャート（１）である。 【図７】第１の実施例の演算処理部における処理を示す
フローチャート（２）である。 【図８】本発明の第２の実施例のウエハエッジ検出時の
動作を説明する図である。 【図９】第２の実施例の演算処理部における処理を示す
フローチャートである。 【図１０】本発明の第３の実施例のウエハエッジ検出時
の動作を説明する図である。 【図１１】第３の実施例の演算処理部における処理を示
すフローチャート（１）である。 【図１２】第３の実施例の演算処理部における処理を示
すフローチャート（２）である。 【図１３】従来の周辺露光装置によりウエハの周辺が露
光される様子を示す図である。 【図１４】ノッチ部分でウエハ内部の露光不要部分まで
露光してしまうことがない従来の周辺露光装置によりウ
エハの周辺が露光される様子を示す図である。 【符号の説明】 １ 光源部 １１ ランプ １２ 集光鏡 １３ ライトガイドファイバ １３ａ ライトガイドファイバの入射端面 １３ｂ ライトガイドファイバの出射端面 １４ シャッタ １５ シャッタ駆動機構 ２ 露光光照射部 ３ ウエハエッジ検知手段移動機構 ４ ウエハエッジ検知手段 ４１，９１ 投光部 ４２，９２ 受光部 ５０ 制御部 ６ 処理ステージ ６１ 処理ステージ回転機構 ７ 入力部 ８ 露光幅設定機構 ９ ノッチ検知手段 Ａ 露光幅 ＡＣ１，ＡＣ２ 増幅器 ＣＣ１ 比較回路 ＣＰＵ 演算処理部 Ｄ 露光光照射部の移動方向 Ｅ エッジ Ｉ１ 設定値 Ｌ ノッチの切欠寸法 ＭＤ１ ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部 ＭＤ２ 露光幅設定機構駆動部 ＭＤ３ シャッタ駆動機構駆動部 ＭＤ４ 処理ステージ回転機構駆動部 Ｎ ノッチ Ｎe ノッチの終わり Ｎs ノッチの始まり Ｏ ウエハの中心 ＰＣ ＰＩＤ回路 Ｒ フォトレジスト Ｓ 照射領域 ＵＥ ウエハ内部の露光不要な領域 Ｗ ウエハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 HA13 HA59 JA05 JA13 JA15 JA17 JA35 JA36 MA27 5F046 BA07 CC06 DA02 DA07 DB05 DC10 EA30

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 外周部にノッチが形成され、フォトレジ
   ストが塗布されたウエハを回転させつつ、該ウエハの周
   辺部のフォトレジストに、露光光を照射することによ
   り、該フォトレジストを露光する周辺露光装置であっ
   て、 センサ光を投光する投光部と、該センサ光を受光する受
   光部とから構成される、ウエハエッジ検知手段と、 上記ウエハエッジ検知手段を、上記ウエハの略中心方向
   に移動させる、ウエハエッジ検知手段移動機構と、 上記ウエハエッジ検知手段の上流側に設けられ、上記ウ
   エハエッジ検知手段と一体に構成された上記ノッチを検
   知するノッチ検知手段と、 上記露光光の照射領域を移動させる、照射領域移動機構
   と、 上記投光部から、センサ光を上記ウエハの周辺部に投光
   し、上記ウエハのエッジ部分に照射したセンサ光を上記
   受光部で受光し、該受光部の受光量が一定になるよう
   に、上記ウエハエッジ検知手段移動機構を制御するとと
   もに、該ウエハエッジ検知手段の移動方向及び移動量と
   同じ方向に同じ量だけ、上記照射領域を移動するよう
   に、上記照射領域移動機構を制御する制御部とを有する
   周辺露光装置において、 上記制御部は、ウエハの周辺露光を開始するに際し、上
   記ウエハエッジ検知手段によりウエハのエッジを検出
   時、ウエハを、ウエハの外周部が少なくともウエハエッ
   ジ検知手段とノッチ検知手段との間隔だけ移動するよう
   に回転させ、上記回転中に上記ノッチ検知手段の出力信
   号が変化したときには、該出力信号の変化状態に応じて
   予め設定された露光開始位置から露光光の照射を開始さ
   せ、上記ノッチ検知手段の出力信号の変化状態からノッ
   チが始まる位置を求め、上記照射領域がノッチの始まり
   に達したとき、上記露光光照射領域移動機構の動作を停
   止させ、上記照射領域がノッチの終わりに達したとき、
   上記照射領域移動機構の動作を再開させ, 上記回転中に
   前記ノッチ検知手段の出力信号が変化しないときには、
   上記回転終了後露光光の照射を開始させ、上記ノッチ検
   知手段によりノッチの始まりを示す信号を受けたとき、
   上記ノッチの始まりを示す信号に基づき、ノッチが始ま
   る位置を求め、上記照射領域がノッチの始まりに達した
   とき、上記照射領域移動機構の動作を停止させ, 上記照
   射領域がノッチの終わりに達したとき、上記照射領域移
   動機構の動作を再開させることを特徴とする周辺露光装
   置。