KR100257279B1

KR100257279B1 - 주변노광장치 및 방법

Info

Publication number: KR100257279B1
Application number: KR1019970022142A
Authority: KR
Inventors: 카즈야 아키야마; 겐지 가메이; 사토시 야마모토
Original assignee: 이시다 아키라; 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 1996-06-06
Filing date: 1997-05-30
Publication date: 2000-06-01
Anticipated expiration: 2017-05-30
Also published as: KR980005332A; US5982474A

Abstract

기판의 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하고, 기판이 스핀척에 유지되면, 그 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하고, 이 검출결과에 의거하여 입력된 위치 데이터의 축선방향과 2축방향 변위 기구의 축선방향을 일치시킨 후, 입력된 위치 데이터에 의거하여, 감광막의 주변노광영역에 따라서 광조사부로부터의 광을 변위시켜서 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행한다. 또한 스핀척에 유기된 기판의 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력하고, 이 화상정보에 의거하여 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 산출하여 이 주변노광영역의 위치 데이터에 의거하여 감광막의 주변노광영역을 노광해도 된다. 게다가, 기판 및 소자영역의 형상정보를 입력하고, 스핀척에 유지된 기판의 소자영역 내의 스크라이브 라인의 교점근방의 형상을 화상정보로서 입력하고, 입력된 화상정보와 기판 및 소자영역의 형상정보에 의거하여 주변노광영역의 위치를 산출하고, 이 주변노광영역의 위치에 의거하여 감광막의 주변노광영역을 노광해도 된다.

Description

주변노광장치 및 방법

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 주변노광장치의 구성도.

제2(a)도∼제2(c)도는 스팟(spot)광의 형상의 일례를 나타내는 도면.

제3도는 제1실시예에 관한 주변노광장치의 제어블록도.

제4도는 실시예 장치에서 주변을 노광하는 주변노광영역의 일례를 나타내는 도면.

제5도는 변위부의 변위방향과 기판에 형성되어 있는 소자영역의 외형에 따른 방향이 어긋나 있는 상태를 나타내는 도면.

제6도는 제1도의 주변노광방법의 순서를 나타내는 순서도.

제7(a)도, 제7(b)도는 축을 맞추는 방법을 설명하기 위한 도면.

제8도는 축을 맞추기 위한 오리엔테이션 플랫(orientation flat)의 중앙을 검출하는 방법을 설명하기 위한 도면.

제9도는 분할 노광하는 분할영역을 나타내는 도면.

제10도는 위치데이터에 의거하여 스팟광을 2축방향으로 변위시켜 노광하는 상태를 나타내는 도면.

제11도는 변위원점의 채택방법을 설명하기 위한 도면.

제12도는 변위원점으로부터 기판의 에지까지의 거리를 구하는 방법을 설명하기 위한 도면.

제13(a)도, 제13(b)도는 회전축과 기판의 중심이 어긋나 있는 경우의 조정방법을 설명하기 위한 도면.

제14도는 소자영역의 주위에 가선을 형성하여 주변을 노광하는 경우의 방법을 설명하기 위한 도면.

제15도는 위치데이터의 다른 설정방법을 설명하기 위한 도면.

제16도는 위치데이터에 의거한 노광에서 남아있는 미노광영역을 노광하는 상태를 나타내는 도면.

제17도는 위치 데이터에 의거한 노광에서 남아있는 미노광영역을 다른 방법으로 노광하는 상태를 나타내는 도면.

제18도는 위치데이터에 의거한 노광에서 미노광영역을 남게 하지 않는 방법을 설명하기 위한 도면.

제19(a)도, 제19(b)도는 분할 노광하지 않는 경우의 변위부의 변위가능범위를 나타내는 도면.

제20도는 변위부의 다른 변위가능범위를 나타내는 도면.

제21도는 본 발명의 제2실시예에 관한 주변노광장치의 구성도.

제22도는 제2실시예에 관한 주변노광장치의 제어블록도.

제23도는 제2주변노광방법의 노광동작의 설명도.

제24도는 제2주변노광방법에서 축을 맞추는 것을 설명하기 위한 도면.

제25도는 제2주변노광방법의 순서를 나타내는 순서도.

제26도는 제2실시예 장치의 변형예의 구성도.

제27도는 제26도의 변형예의 노광동작의 설명도.

제28도는 제2실시예 장치의 다른 변형예의 구성도.

제29도는 본 발명의 제3실시예에 관한 주변노광장치의 구성도.

제30도는 제3실시예에 관한 주변노광장치의 제어블록도.

제31도는 제3주변노광방법의 순서를 나타내는 순서도.

제32도는 주변노광장치의 기판 중심, 회전 중심 및 시야 중심의 오프셋(OFFSET)의 관계를 설명하기 위한 도면.

제33도는 기판상의 유효한 소자영역을 결정하는 동작을 설명하기 위한 도면.

제34(a)도, 제34(b)도는 CCD카메라의 입력화상의 모식도.

제35도는 스크라이브 라인(SCRIBE LINE)위치 산출부의 동작을 설명하기 위한 도면.

제36도는 제3주변노광방법의 노광동작의 설명도이다.

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 기판의 표면에 도포된 감광막의 둘레단부(주변부)를 노광하는 주변노광장치 및 주변노광방법에 관한 것이다.

반도체 디바이스의 제조공정에서는 반도체 웨이퍼 등의 기판상에 레지스트액을 회전 도포하고, 소정의 패턴으로 현상하여 레지스트마스크를 형성한 후, 이 레지스트마스크를 사용하여 박막패턴을 형성하는 것이 행하여지고 있다.

레지스트액이 회전 도포된 기판은 그 둘레단부가 파지(把持)되어 여러 종류의 기판장치 사이에 반송된다. 레지스트액은 회전도포에 의해 기판의 둘레단부에까지 퍼져 있다. 따라서, 기판의 둘레단부를 파지하면, 둘레단부의 레지스트가 떨어져 비산하여, 기판 중앙부의 레지스트막의 표면을 오염시키거나, 다른 기판의 표면을 오염시켜서 기판처리의 수율을 저하시켜 버리는 경우가 있다.

이 때문에, 포지티브(POSITIVE)형의 레지스트의 경우에는, 주변노광장치를 사용하여 미리 기판의 둘레단부의 레지스트를 노광하여 두고, 레지스트패턴을 현상할 때 동시에 기판의 둘레단부의 불필요한 레지스트를 제거하는 처리가 행하여 지고 있다.

종래의 주변노광장치에서는 기판의 바깥 둘레로부터 일정한 폭의 영역을 원형으로 노광하는 방법이 행하여져 왔다. 이와 같은 주변노광장치로서는 예컨대, 기판의 바깥 둘레단부에 접촉시킨 캠을 사용하여 기계적으로 기판의 오리엔테이션 플랫(ORIENTATION FLAT) 또는 노치(NOTCH)의 위치를 검출하고, 이것을 기준으로 하여 기판의 둘레단부에 일정한 폭의 주변노광영역을 원형으로 형성하여, 이 원형의 주변노광영역을 노광하도록 구성되어 있다.

또한, 다른 종래의 장치에서는 라인센서(LINE SENSOR)를 사용하여 광학적으로 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치의 위치를 검출하고, 이것을 기준으로 하여 일정한 폭의 주변노광영역을 원형으로 형성하여, 이 원형의 주변노광영역을 노광하도록 구성되어 있다.

하지만, 최근에는 레지스트에서 발생하는 파티클에 의한 오염을 확실하게 방지하기 위해, 기판의 둘레단부의 불필요한 레지스트를 보다 완전하게 제거할 필요성이 높아져 왔다.

기판상에는 직사각형의 소자가 복수개 형성되기 때문에, 정렬된 복수의 소자(소자영역)의 외형은 계단모양으로 형성되어 있다. 한편, 기판은 거의 원형이기 때문에, 기판의 바깥 둘레단부에서 일정한 폭의 주변노광영역을 노광하는 것만으로는 계단모양의 소자영역의 외형부분과의 사이에 불필요한 레지스트가 남아있는 영역이 발생한다.

그래서, 최근에는 계단모양의 소자영역의 외형에 따라서 주변노광을 행하는 것이 가능한 주변노광장치가 제안되어 있다. 이 계단모양의 주변노광이 가능한 종래의 장치는 소자영역의 외형에 따른 계단모양의 주변노광영역의 위치 데이터를 미리 입력해 두고, 이 위치 데이터에 의거하여 기판유지 기구에 유지된 기판에 광을 조사하는 광조사부를 서로 직교하는 2축방향으로 변위시키는 것에 의해 주변노광영역을 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하도록 하고 있다.

하지만, 상기 계단모양의 주변노광이 가능한 종래의 장치에는 이하와 같은 단점이 있다. 즉, 미리 입력하고 있는 계단모양의 주변노광영역의 위치데이터는 예컨대, 기판의 오리엔테이션 플랫 등을 기준으로 기판상에 형성되는 각 소자의 소자영역에 맞춰서 결정되어 있고, 한편, 광조사부의 2축방향으로의 변위는 기판유지기구의 근방에 설치된 변위기구에 의해 행하여진다. 그리고, 기판이 기판유지기구에 반입되어 유지된 상태로, 기판의 오리엔테이션 플랫 등과 상기 변위기구와의 위치관계가 어긋나는 것도 있고, 이 기판상에 실제로 형성된 계단모양의 소자영역의 외형의 축선방향과, 광조사부를 변위시키는 2축방향의 축선방향이 반드시 일치하고 있는 것은 아니다. 이 때문에, 기판이 기판유지기구에 반입되어 유지된 상태로 상기 양쪽의 축선방향이 어긋나 있으면, 계단모양의 소자영역의 외형에 따른 주변노광을 아주 정밀하게 행할 수 없다.

또한, 다른 문제로서, 기판상에 실제로 형성된 각 소자의 기판상의 위치(소자영역의 외형의 기판상의 위치)가 기판마다 흐트러지는 일이 있고, 이 경우, 기판마다의 주변노광영역이 미리 입력되어 있는 주변노광영역의 위치데이터와 어긋나서, 소자상의 필요한 레지스트의 부분까지 노광되기도 하고, 혹은 본래의 주변노광에 의해 제거해야할 부분이 남아있기도 하여 주변노광의 불량이 발생한다. 게다가, 주변노광영역의 위치 데이터를 미리 입력시켜두는 작업은 번잡하여, 조작자의 부담이 크게 있었다.

본 발명의 목적은 기판상의 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 아주 정밀하게 주변노광을 행할 수 있는 주변노광장치 및 주변노광방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해 다음과 같은 구성을 채택한다.

즉, 본 발명의 제1주변노광장치는 기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광장치이고, 상기 장치는, 기판을 유지하는 기판유지수단과,

상기 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 검출수단과,

상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 광을 조사하는 광조사수단과,

상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위 수단과,

상기 기판의 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 위치 데이터 입력수단과,

상기 검출수단의 검출결과에 의거하여, 상기 위치 데이터 입력수단에서의 위치 데이터의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단과,

상기 입력된 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단에서의 광을 변위시켜서 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행하도록 상기 2축방향 변위수단을 제어하는 제어수단을 포함한다.

이 제1주변노광장치에 의한 제1주변노광방법은,

(A-1) 상기 기판의 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 공정과,

(A-2) 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥 둘레의 기준위치를 검출하는 공정과,

(A-3) 상기 (A-2)의 공정의 검출결과에 의거하여, 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치 데이터의 축선방향과, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 서로 직교하는 2축방향의 축선방향을 일치시키는 공정과,

(A-4) 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시켜서, 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행하는 공정을 포함하고 있다.

상기 제1주변노광장치 및 그 방법에 의하면, 기판이 기판유지수단에 반입되어 유지된 상태에서, 입력된 위치 데이터의 축선방향과 2축방향 변위수단의 축선방향이 어긋나 있어도, 축맞춤수단((A-3)의 공정)에 의해, 입력된 위치데이터의 축선방향과 2축방향 변위수단의 축선방향이 일치되기 때문에, 주변노광영역의 노광에 있어서는, 위치 데이터의 축선방향에 따라서 아주 정밀하게 광조사수단으로부터의 광을 2축방향으로 변위시킬 수 있고, 계단모양의 소자영역의 외형에 따른 주변노광을 아주 정밀하게 행할 수 있다.

상기 제1주변노광장치에 있어서, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하고, 상기 주변노광영역에 따른 노광을 분할된 주변노광영역마다 행하도록 구성해도 된다.

또한, 「상기 주변노광영역에 따른 노광을 분할된 주변노광영역마다 행하도록 구성했다」는 예컨대, 1대의 광조사수단이 분할된 주변노광영역에 따른 노광을 순차적으로 행하도록 구성하는 경우와, 복수대의 광조사수단에 의해 분할된 주변노광영역에 따른 노광을 동시에 행하도록 구성하는 경우를 포함한다.

전자의 구성에 의하면, 분할된 비교적 좁은 주변노광영역 내에서 광조사수단으로부터의 광이 2축방향으로 변위할 수 있으면 되므로, 2축방향 변위수단의 2축방향으로의 변위 가능범위를 작게 할 수 있고, 2축방향 변위수단을 컴팩트(Compact)하게 구성할 수 있어, 장치의 컴팩트화를 도모할 수 있고, 2축방향 변위 수단의 변위가능범위에 비해 외형이 큰 기판에 대해서도 주변노광처리를 행하는 것이 가능하게 된다. 한편, 후자의 구성에 의하면, 주변노광영역의 노광처리의 수율을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제1주변노광장치에 있어서, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대해서 기판의 원호모양의 주변부에 따라서 상대적으로 회전시키는 회전수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따른 노광의 전 또는 후에 기판의 원호모양의 주변부에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시키도록 상기 회전수단을 제어하도록 구성하고, 기판의 원호모양의 주변부에 따른 상기 광조사 수단에서의 광의 변위에 의해, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따른 노광에서 미노광으로 되는 영역의 노광을 행하도록 해도 된다.

이와 같이, 주변노광영역에 따른 노광과, 기판의 원호모양의 주변부에 따른 노광의 2단계의 노광으로 주변노광영역을 노광함으로써, 예컨대, 주변노광영역에 따른 노광에서 주변노광영역 내에 미노광으로 되는 영역이 있어도, 기판의 원호모양의 주변부에 따른 노광으로 그 미노광영역을 노광할 수 있어, 주변노광영역 전체를 미노광영역을 남김없이 정밀하게 노광할 수 있다.

본 발명에 관한 제2주변노광장치는 기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광장치이고, 상기 장치는, 기판을 유지하는 기판유지수단과,

상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력하는 화상입력수단과,

상기 화상입력수단으로부터 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 상기 주변노광영역의 위치 데이터를 산출하는 화상처리 수단과,

상기 광조사수단에서의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 변위수단과,

상기 화상처리수단에 의해 산출된 상기 주변노광영역의 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역이 노광되도록 상기 변위수단을 제어하는 제어수단을 포함한다.

이 제2주변노광장치에 의한 제2주변 노광방법은,

(B-1) 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력하는 공정과,

(B-2) 상기 (B-1)의 공정에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 상기 주변노광영역의 위치데이터를 반출하는 공정과,

(B-3) 상기 (B-2)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역의 위치 데이터에 의거하여, 광조사수단에서의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시켜서, 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하는 공정을 포함하고 있다.

상기 제2주변노광장치 및 그 방법에 의하면, 기판유지수단에 유지된 기판의 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력하고, 이 화상정보에 의거하여 주변노광장치의 위치 데이터가 직접 산출된다. 이 때문에, 기판유지수단에 유지된 기판상에 실제로 형성된 소자영역으로부터 주변노광영역의 위치 데이터가 얻어지고, 종래의 장치에 비해 주변노광영역의 위치 데이터의 정밀도가 향상한다. 그리고, 이 아주 정밀한 주변노광영역의 노광데이터에 의거하여 주변노광처리를 행함으로써, 소자영역의 외형에 다른 계단모양의 주변노광영역의 노광을 아주 정밀하게 행할 수 있다. 또한, 주변노광영역의 위치 데이터를 미리 입력시킬 필요가 없기 때문에, 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

상기 제2주변노광장치의 상기 변위수단에는 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고, 계단모양의 주변노광영역이 따른 노광을 행한다. 또한, 필요에 따라서, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 기판의 원호모양의 주변부에 따라서 상대적으로 회전시키는 회전수단을 상기 변위수단에 포함하여, 소자영역에 따른 노광과, 기판의 원호모양의 주변부에 따른 노광의 2단계의 노광으로 주변노광영역을 노광하도록 해도 된다.

또한, 변위수단에 2축방향 변위수단을 포함하고, 기판유지수단에 유지된 기판 상에 실제로 형성된 소자영역의 외형의 축선방향과, 상기 2축방향 변위수단의 축선방향이 어긋날 가능성이 있는 경우에는 상기 화상입력수단에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 외형의 축선방향을 산출하여, 이 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 구비하여, 기판유지수단에 유지된 기판상에 실제로 형성된 소자영역의 외형의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키도록 해도 된다.

또한, 상기 제2주변노광장치에 있어서, 상기 화상입력수단은 상기 기판의 상기 소자영역보다 작은 화상입력범위를 가지고, 상기 화상입력수단의 상기 화상입력범위에 대응하여 소정의 각도씩 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 회전시키는 기판회전수단을 더 구비하고, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하여, 상기 화상입력범위에 따라 소정의 각도씩 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 회전시켜서, 상기 분할된 주변노광영역마다 노광을 행하도록 구성하면, 지름이 큰 기판에 대해서도 주변노광영역의 위치 데이터검출을 아주 정밀하게 행할 수 있다.

또한, 상기 구성에 있어서, 상기 광조사수단 및 상기 화상입력수단을 상기 광조사수단의 노광범위와 상기 화상입력수단의 화상입력범위가 중복하도록 배치하여, 상기 분할된 주변노광영역마다 기판의 회전을 정지시켜 상기 (B-1)∼상기 (B-3)의 공정을 행하여, 각각의 분할된 주변노광영역의 노광을 순차적으로 행하도록 해도 되고, 상기 광조사수단 및 상기 화상입력수단을 상기 광조사수단의 노광범위와 상기 화상입력수단의 화상입력범위가 겹치도록 배치하여, 상기 (B-1) 및 (B-2)의 공정과 상기 (B-3)의 공정을 제각기 분할된 주변노광영역에 대하여 동시에 행하면서, 각각의 분할된 주변노광영역의 노광을 순차적으로 행하도록 해도 된다.

전자의 구성에 의하면, 기판을 정지한 상태에서 화상입력과 노광처리를 행할 수 있고, 이것에 의해 기판의 변위에 의한 기판의 실제의 위치와 화상정보입력에 의거하여 얻어진 주변노광영역의 위치데이터 사이에서 오차의 발생이 방지되고, 주변노광영역의 노광을 아주 정밀하게 행할 수 있다.

한편, 후자의 구성에 의하면, 화상입력처리와 노광처리를 동시에 행할 수 있고, 주변노광처리의 수율을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제2주변노광장치에 있어서, 상기 화상입력수단은 상기 기판의 상기 소자영역보다 큰 화상 입력 범위를 가지고, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면에 걸쳐 변위시키도록 구성하고, 상기 (B-1)의 공정에서는 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역 전체의 형상을 1개의 화상정보로서 입력하고, 상기 (B-2)의 공정에서는 상기 (B-1)의 공정에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 소자영역 전체의 외형에 따른 상기 주변노광영역의 위치데이터를 산출하고, 상기 (B-3)의 공정에서는 상기 (B-2)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역의 위치데이터에 의거하여 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면에 대하여 상대적으로 변위시켜서 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하도록 하면, 화상정보의 입력을 1번 행하여 기판을 정지한 상태로 화상입력 및 주변노광처리를 행할 수 있기 때문에, 주변노광장치의 구성 및 제어동작을 간결화 할 수 있고, 주변노광방법의 간단화가 도모된다.

또한, 상기 제2주변노광장치에 있어서, 상기 변위수단은 상기 광조사수단에서의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기관의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고,

상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 위치 데이터 입력수단과,

상기 검출수단의 검출결과에 의거하여 상기 위치 데이터 입력수단에서의 위치데이터의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 더 구비하고,

상기 제어수단은 상기 입력된 위치 데이터에 의거하여 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시키도록 상기 2축방향변위수단을 제어하는 기능을 더 가지고, 상기 제1주변처리방법도 행하도록 하여 2종류의 주변노광처리방법을 선택할 수 있도록 해도 된다. 이와 같이 구성하면, 예컨대, 기판의 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력할 수 없는 경우 등에, 상기 제1주변노광방법으로 주변노광을 할 수 있다.

본 발명에 관한 제3주변노광장치는 기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단포양으로 노광하는 주변노광장치이고,

상기 장치는 기판을 유지하는 기판유지수단과,

상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보를 입력하는 형상입력수단과,

상기 기판유지수단에 유지된 기판의 소자영역내의 스크라이브 라인의 교점근방의 형상을 화상정보로서 입력하는 화상입력수단과,

상기 화상입력수단에서 입력된 화상정보에서 상기 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하고, 상기 교점위치 및 상기 형상입력수단에서 입력된 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형위치를 산출하고, 상기 소자영역의 외형위치에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치를 산출하는 노광영역산출수단과,

상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 변위수단과,

상기 노광영역산출수단에 의해 산출된 상기 주변노광영역의 위치에 의거하여 상기 감광막의 상기 주변노광영역이 노광되도록 상기 변위수단을 제어하는 제어수단을 포함한다.

이 제3주변노광장치에 의한 제3주변노광방법은,

(C-1) 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보를 입력하는 공정과,

(C-2) 기판유지수단에 유지된 기판의 소자영역내의 스크라이브 라인의 교점근방의 형상을 화상정보로서 입력하는 공정과,

(C-3) 상기 (C-2)의 공정에서 입력된 화상정보에서 상기 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하고, 상기 교점위치 및 상기 (C-1)의 공정에서 입력된 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형위치를 산출하고, 상기 소자영역의 외형위치에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치를 산출하는 공정과,

(C-4) 상기 (C-3)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역의 위치에 의거하여 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시켜서, 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하는 공정을 포함하고 있다.

상기 제3주변노광장치 및 그 방법에 의하면, 입력된 스크라이브 라인의 교점근방의 화상과, 입력된 기판 및 소자영역의 형상정보에 의해 기판의 소자영역이 산출되고, 또 주변노광영역의 위치가 산출된다. 이 때문에, 소자영역의 외형에 따른 계단모양의 복잡한 형상을 갖는 주변노광영역에 대하여, 조작자가 위치 데이터를 입력하는 일없이 주변노광이 가능하게 되어, 조작성이 향상하여 조작자의 부담을 경감시킬 수 있다.

또한, 화상입력범위가 작은 화상입력수단이라도, 적어도 1개의 스크라이브 라인의 교점근방의 화상을 입력하여 얻은 정도의 입력범위를 갖는 것이라면 주변노광영역의 산출이 가능하게 된다. 이 때문에, 소형의 화상입력수단을 사용할 수 있다. 게다가, 기판유지수단에 유지된 기판의 화상을 직접 입력함으로써, 주변노광영역의 위치산출을 정밀하게 행할 수 있고, 주변노광영역의 노광을 아주 정밀하게 노광할 수 있다.

상기 제3주변노광장치의 상기 변위수단도, 상기 제2주변노광장치의 상기 변위수단과 마찬가지로, 2축방향 변위수단을 포함하여, 계단모양의 주변노광영역에 따른 노광을 행한다. 또한, 필요에 따라서, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 지지된 기판의 감광막에 대하여 기판의 원호모양의 주변부에 따라서 상대적으로 회전시키는 회전수단을 상기 변위수단에 포함하여 소자영역에 따른 노광과, 기판의 원호모양의 주변부에 따른 노광의 2단계의 노광으로 주변노광영역을 노광하도록 해도 된다.

또한, 변위수단에 2축방향 변위수단을 포함하고, 기판유지수단에 유지된 기판상에 실제로 형성된 소자영역내의 스크라이브 라인의 축선방향과, 상기 2축방향 변위수단의 축선방향이 어긋날 가능성이 있는 경우에는 상기 화상입력수단에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역내의 스크라이브라인의 축선방향을 산출하고, 이 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 구비하고, 기판유지수단에 유지된 기판상에 실제로 형성된 소자영역내의 스크라이브 라인의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키도록 해도 된다.

또, 상기 제3주변노광장치에 있어서, 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 회전시키는 기판회전수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은 상기 기판이 소정의 각도씩 회전된 위치마다 주변노광영역이 분할되어 노광되도록 제어하고, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하여, 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 소정의 각도씩 회전시켜서 상기 분할된 주변노광영역마다 노광을 행하도록 하면, 변위수단의 변위가능범위를 작게 할 수 있고 변위수단을 컴팩트(COMPACT)하게 구성할 수 있어서, 장치의 컴팩트화를 도모할 수 있고, 변위수단의 변위가능범위에 비해서 외형이 큰 기판에 대해서도 주변노광처리를 행하는 것이 가능하게 된다.

또한, 상기 제3주변노광장치에 있어서, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면에 걸쳐서 변위시키도록 구성하고, 상기 (C-3)의 공정에서는 상기 (C-2)의 공정에서 입력된 화상정보에서 상기 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하여, 상기 교점위치 및 상기 (C-1)의 공정에서 입력된 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보에 의거하여 상기 소자영역 전체의 외형위치를 산출하고, 상기 소자영역 전체의 외형위치에 의거하여 상기 소자영역 전체의 외형에 따른 주변노광영역 전체의 위치를 산출하고, 상기 (C-4)의 공정에서는 상기 (C-3)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역 전체의 위치에 의거하여, 광조사수단에서의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면에 대하여 상대적으로 변위시켜서, 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하도록 하면, 기판을 정지한 상태로 주변노광처리를 행하는 것이 가능하게 되어, 이것에 의해, 주변노광장치의 구성 및 제어동작을 간결화 할 수 있고, 주변노광방법의 간단화가 도모된다.

또한, 상기 제3주변노광장치에 있어서도, 상기 제2주변노광장치와 마찬가지로, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고,

상기 검출수단의 검출결과에 의거하여, 상기 위치 데이터 입력수단에서의 위치 데이터의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는축 맞춤수단을 더 구비하고,

상기 제어수단은 상기 입력된 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시키도록 상기 2축방향 변위수단을 제어하는 기능을 더 가지고, 상기 제1주변처리방법도 행하도록 하여, 2종류의 주변노광처리방법을 선택할 수 있도록 해도 된다. 이와 같이 구성하면, 예컨대, 기판의 소자영역내의 스크라이브 라인의 교점근방의 형상을 화상정보로서 입력할 수 없는 경우 등에, 상기 제1주변노광방법으로 주변노광을 할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

[제1실시예]

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 주변노광장치의 구성도이다. 이 제1실시예는 청구항 1 ∼ 청구항 3 및 청구항 16 ∼ 청구항 18에 기재된 발명에 대응한다.

이 제1실시예에 관한 주변노광장치는 기판(1)을 유지하여 회전하는 기판회전부(10), 기판의 둘레단부에 광을 조사하여 노광하는 광조사부(20), 광조사부(20)에서의 광의 조사위치를 변위시키기 위한 변위부(30) 및 기판(1)의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 CCD라인센서(40)를 구비하고 있다.

기판회전부(10)는 기판(1)의 이면을 흡착하여 유지하는 스핀척(SPIN CHUCK)(11)과 스핀척(11)을 회전 축 둘레로 회전시키는 모터(스테핑 모터(STEPPING MOTOR))(12)로 구성되어 있다.

광조사부(20)는 노광광으로 되는 자외선 광을 발생하기 위한 소광광원(28)과, 노광광원(28)으로부터의 자외선광을 전달하는 광 화이버(FIBER)(23)와, 광화이버(23)의 선단에 설치되고, 또 기판(1)의 표면에 자외선광을 조사하는 조사단(照射端)(21)을 구비하고 있다. 노광광원(28)은 수은 크세논 램프(XENON LAMP)(25), 타원경(惰圓鏡)(26), 자외선 투과 필터(24) 및 개폐 가능한 셔터(27)로 구성되어 있다. 또한, 조사단(21)은 소정의 형상으로 한정된 스팟광을 기판(1)에 조사하기 위한 슬리트(SLIT)나, 광학렌즈계(모두 도시생략)등을 구비하고 있다. 조사단(21)에서 기판(1)에 조사되는 스팟광(SL)의 형상은 제2(a)도에 나타난 바와 같이, 직사각형(장방형이라도 정방형이라도 된다), 상기 직사각형의 각(角)부분이 둥근모양으로 처리된 형상(제2(b)도), 원형(제2(c)도) 등의 형상이라도 되지만, 후술하는 직각부를 정밀하게 노광하기 위해서는 제2(a)도에 나타낸 바와 같이 각(角)부분을 갖는 직사각형인 것이 바람직하다.

변위부(30)는 조사단(21)을 지지하는 지지암(22)을 서로 직교하는 X축방향 및 Y축방향으로 각각 변위시키기 위한 반경방향 변위부(Mx) 및 접선방향의 변위부(My)로 구성된다. 반경방향 변위부(Mx)는 X축방향으로 왕복변위가 가능한 X테이블(31)과 X테이블(31)을 변위시키기 위한 스테핑모터(32) 및 볼 나사(도시생략)로 구성되어 있다. 게다가, 접선방향 변위부(My)는 Y축방향으로 변위 가능한 Y테이블(33)과 Y테이블(33)을 변위시키기 위한 스테핑모터(34) 및 볼 나사(도시생략)로 구성되어 있다. 이 변위부(30)에 의해 스핀척(11)에 유지된 기판(1)의 감광막(도면의 기판(1)의 상면)에 대하여, 조사단(21)에서의 스팟광을 서로 직교하는 2축(X축,Y축)방향으로 변위시키도록 하고 있다.

또한, 조사단(21)에서의 스팟광을 서로 직교하는 2축(X축,Y축)방향으로 변위시키기 위해서는 제1도의 구성에 한정되지 않고, 예컨대, 제1도의 반경방향 변위부(Mx)와, 접선방향의 변위부(My)를 상하반대로 해도 되고, 기판회전부(10)의 방향을 반경방향의 변위부(Mx) 또는/및 접선방향의 변위부(My)에 설치하고, 조사단(21)에서의 스팟광에 대하여 기판(1)측을 X축방향 또는/및 Y축방향으로 변위시키도록 구성해도 된다.

CCD라인센서(40)는 기판(1)의 상방에 배치되는 광원(41)과, 기판(1)의 하방에서 광원(41)에 대향하여 배치되는 수광부(受光部)(42)를 구비하고 있다.

상기 구성의 주변노광장치의 각부의 동작은 제어부에 의해 제어된다. 제3도는 제1실시예 장치의 제어블록도이다. 제어부(100)는 회전각도 연산부(110), 위치 데이터 입력부(120), 노광량 설정부(130), 기판회전부(10), 광조사부(20), 반경방향 변위부(Mx) 및 접선방향 변위부(My)의 각부의 동작을 제어한다. 또한, 회전각도 연산부(110)는 기판회전부(10)(모터(12))의 회전량 등에 의거하여 기판회전부(10)의 회전시에 시시각각 변화하는 기판회전부(10)의 각도정보를 구하도록 구성되어 있다. 위치데이터 입력부(120)는 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하기 위한 것이고, 노광량 설정부(130)는 주변노광영역을 노광할 때의 노광량을 설정하기 위한 것이다.

제어부(100), 회전각도 연산부(110)는 예컨대, 퍼스널컴퓨터로 구성되고, 위치 데이터 입력부(120), 노광량 설정부(130)는 예컨대, 디스플레이 및 키보드로 구성된다. 또한, 주변노광영역의 위치데이터는 키보드 등으로 작업자가 설정하도록 구성해도 되고, 통신매체를 통해서 호스트 컴퓨터나 다른 장치(예컨대, 스텝퍼(STEPPER) 등)로부터 주변노광영역의 위치 데이터를 전송하도록 구성해도 된다.

상기 구성에 있어서, 기판회전부(10)가 청구항 1 ∼ 청구항 3에 기재된 발명의 기판유지수단, 축맞춤수단, 회전수단을 구성하고, 광조사부(20)가 청구항 1 ∼ 청구항 3에 기재된 발명의 광조사수단을 구성하고, 변위부(30)가 청구항 1 ∼ 청구항 3에 기재된 발명의 2축방향 변위수단을 구성하고, CCD라인센서(40)와 회전각도 연산부(110)가 청구항 1 ∼ 청구항 3에 기재된 발명의 검출수단을 구성하고, 위치 데이터 입력부(120)가 청구항 1 ∼ 청구항 3에 기재된 발명의 위치 데이터 입력수단을 구성하고, 제어부(100)가 청구항 1 ∼ 청구항 3에 기재된 발명의 제어수단을 구성한다.

다음에, 상기 제1실시예 장치에 의한 제1주변노광방법을 설명한다.

이 제1주변노광방법으로 노광하는 주변노광영역을 제4도에 나타낸다. 이 주변부 노광영역(사선으로 나타낸 영역)은 소자영역(PA)의 외형의 계단모양의 라인에 따른 윤곽의 외측으로 된다. 여기서는, 소자영역(PA)이 오리엔테이션 플랫(OF)이나 노치 등의 기판(1)의 바깥둘레의 기준위치를 기준으로 하여 결정되어 있는 경우에 대하여 설명한다. 제4도에서는 소자영역(PA)의 외형의 계단모양의 라인에 따른 서로 직교하는 2축(U축,V축)의, 축선방향의 한쪽의 축선(도면에서는 V축)이 오리엔테이션 플랫(OF)에 평행하게 형성되어 있다. 이하에서는 오리엔테이션 플랫(OF)이 형성된 기판(1)을 예로 채택하여 설명하며, 필요에 따라서 노치가 형성된 기판(1)에 대해서 언급한다.

기판(1)은 도시하지 않은 반송기구에 의해 스핀척(11)에 반입되어 유지된다. 기판회전부(10)와 변위부(30)의 위치관계는 고정되어 있지만, 반송기구에 의한 기판(1)의 스핀척(11)에 반입하는 방법에 의해서는 스핀척(11)에 유지된 기판(1)의 오리엔테이션 플랫(OF)과 변위부(30)의 위치관계상, 제5도에 나타낸 바와 같이, 소자영역(PA)의 외형의 계단모양의 라인에 따른 U축, V축의 축선방향과, 변위부(30)의 변위방향(U축,Y축)이 일치하지 않는 경우가 있다. 또한, 주변노광영역의 위치 데이터는 오리엔테이션 플랫(OF)(U축,V축)을 기준으로 하여 설정되어 있다. 따라서, UV축과 XY축이 일치하지 않는 경우에는 주변노광영역을 아주 정밀하게 노광할 수 없기 때문에, 상기 UV축과 XY축의 축맞춤이 필요하게 된다. 이하에 설명하는 제1주변노광방법은 이 축맞춤을 행하여, 주변노광영역을 아주 정밀하게 노광할 수 있도록 하고 있다.

제1주변노광방법의 순서를 제6도에 나타낸다. 우선, 조작자에 의해 설정된, 혹은, 호스트컴퓨터나 스텝퍼 등으로 전송되어 온 주변노광영역의 위치 데이터를 입력한다(스텝A1). 다음에, 후술하는 바와 같이 기판(1)의 바깥둘레의 오리엔테이션 플랫(OF)이나 노치 등의 기준위치를 검출하고(스텝A2), 그 검출결과에 의거하여 위치데이터의 축선방향(UV축)과 변위부(30)의 변위방향(XY축)을 일치시킨다(스텝A3). 그리고, 후술하는 바와 같이 입력된 위치 데이터에 의거하여 주변노광영역을 노광한다(스텝A4).

스텝A2, A3의 처리를 설명한다.

우선, 오리엔테이션 플랫(OF) 등을 검출하고, 기판회전부(10)를 회전시켜서 오리엔테이션 플랫(OF) 등을 적당한 위치에 위치시키면, UV축과 XY축을 일치시키는 축맞춤이 행해진다.

예컨대, 제4도에 나타난 경우, 기판회전부(10)와 변위부(30)의 위치관계를 이미 알고 있으므로 기판회전부(10)에 유지된 기판(1)의 중심(Wc)과 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)을 연결하는 선분(Ln1)이 변위부(30)의 변위방향(X축 또는 Y축)에 평행하게(또는 직교하게)되도록 오리엔테이션 플랫(OF)을 위치시키면 된다. 예컨대, 변위부(30)의 변위 원점(O)(변위부(30)에 의한 X축, Y축방향으로의 변위가능범위내의 적당한 위치에 설정된다)과 기판회전부(10)(스핀척(11))의 회전중심(CJ)의 위치관계가 제7(a)도에 나타낸 것과 같은 경우, 변위원점(O)과 회전중심(CJ)을 연결하는 선분(Ln2)과 상기 선분(Ln1)이 일치(또는 직교)하도록 오리엔테이션 플랫(OF)을 위치시키면 된다. 또한, 제7(a)도에서는 기판(1)의 중심(Wc)이 스핀척(11)의 회전중심(CJ)에 일치하도록 기판(1)이 스핀척(11)에 유지되어 있지만, 기판(1)의 중심(Wc)이 스핀척(11)의 회전중심(CJ)과 어긋나 있는 경우에는 상기 선분(Ln2)과 상기 선분(Ln1)이 평행(또는 직교)하도록 오리엔테이션 플랫(OF)을 위치시키면 된다. 또한, 변위원점(O)과 회전중심(CJ)의 위치관계가 제7(b)도에 나타낸 바와 같은 경우에는, 도면중의 각도(θ1)는 이미 알고 있으므로, 상기 선분(Ln2)을 회전축(CJ)을 중심으로 하여 반시계방향으로 θ1(또는, 시계방향으로 「90° - θ1」)회전시켜서 선분(Ln3)과 상기 선분(Ln1)이 일치(기판(1)의 중심(Wc)과 회전중심(CJ)이 일치하는 경우) 혹은 평행(기판(1)의 중심(Wc)과 회전중심(CJ)이 어긋나 있는 경우)하게 (또는 직교하게)되도록 오리엔테이션 플랫(OF)을 위치시키면 된다.

또한, 노치가 형성된 기관(1)에 대해서도 오리엔테이션 플랫(OF)이 형성된 기판(1)과 동일한 방법으로 축맞춤하는 것이 가능하다.

오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)의 검출은 CCD라인센서(40)나 회전각도 연산부(110) 들을 사용하여 이하와 같이 행한다.

모터(12)를 구동하여 스핀척(11)을 회전중심(CJ)둘레로 회전시킨다. 그때 CCD라인센서(40)에서 출력되는 셀의 「온(ON)」 수의 변이를 모니터한다. CCD라인센서(40)는 그 일부가 기판(1)의 내측에 걸려 배치되어 있다. 예컨대, 상기 회전중싱(CJ)과 기판(1)의 중심(Wc)이 일치하고 있으면, 기판(1)의 회전 중, CCD라인센서(40)가 기판(1)의 원호부분의 주변부를 가로지르고 있는 동안은, 상기 셀의 「온」수는 일정하다. 그리고, CCD라인센서(40)가 오리엔테이션 플랫(OF)의 한쪽의 단부(OFe)(제8도 참조)를 통과한 순간으로부터 상기 셀의 「온」수는 일정한 상태에서 증가상태로 바뀐다. 이 「온」수의 일정한 상태에서 증가상태로의 변화에 의해 오리엔테이션 플랫(OF)의 한 쪽의 단부(OFe)를 검출할 수 있다. 게다가 스핀척(11)을 회전시키면, CCD라인센서(40)가 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)을 통과하는 순간까지 「온」수는 증가를 계속하고, 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)을 통과하면, 「온」수는 감소로 바뀌어, CCD라인센서(40)가 오리엔테이션 플랫(OF)의 다른 쪽의 단부(OFe)를 통과하면, 「온」수는 감소상태에서 일정한 상태로 바뀐다. 이 「온」수의 감소상태에서 일정한 상태로의 변화에 의해 오리엔테이션 플랫(OF)의 다른 쪽의 단부(OFe)를 검출할 수 있다.

예컨대, 스핀척(11)의 회전개시 때의 회전각도 연산부(110)에서의 각도정보를 0°로 하면, 오리엔테이션 플랫(OF)의 양쪽의 단부(OFe)를 검출했을 때의 회전각도 연산부(110)의 각도정보에 의해, 오리엔테이션 플랫(OF)의 양쪽의 단부(OFe)가 회전개시 시작에서 어느 정도 회전되었을 때, CCD라인센서(40)에서 검출되었는지를 측정할 수 있다. 제8도에 나타난 바와 같이, 이 검출각도를 θ2, θ3이라 하면, 회전개시 시작으로부터 어느 정도 회전되었을 때, CCD라인센서(40)가 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)을 통과하는가 하는 각도(θ4)가 θ4={(θ3-θ2)/2}+θ2에 의해 구해진다. CCD라인센서(40), 스핀척(11)의 회전중심(CJ), 변위부(30)의 변위원점(O)의 위치관계는 이미 알고 있으므로, CCD라인센서(40)와 회전중심(CJ)을 연결하는 선분(Ln4)과 상기 선분(Ln2)사이의 각도(θ5)를 이미 알고 있고, 이 θ5와 상기 구해진 θ4에 의해, 제7(a)도, 제7(b)도에 나타난 오리엔테이션 플랫(OF)의 위치맞춤이 행해지고, UV축과 XY축의 축맞춤이 행하여진다.

또한, 기판(1)의 중심(Wc)과 회전중심(CJ)이 어긋나 있는 경우에는 스핀척(11)의 회전시의 CCD라인센서(40)의 「온」 셀 수는 원호부분의 주변부가 CCD라인센서(40)를 통과하고 있을 때는, 사인커브(SIGN CURVE)를 그리고, 오리엔테이션 플랫(OF)이 CCD라인센서(40)를 통과하는 동안, 상기 사인커브가 일그러지도록 「온」셀 수가 변위하기 때문에, 그 일그러진 부분의 각도정보로부터 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)의 회전각도(θ4)가 구해진다.

또한, 노치의 경우도, 상기 오리엔테이션 플랫(OF)과 마찬가지로, 스핀척(11)의 회전시의 CCD라인센서(40)의 「온」셀 수는 노치가 CCD라인센서(40)를 통과하는 사이 변화하므로, 그 변화로부터 노치의 중앙이 구해진다.

상술한 바와 같이 하여 축맞춤된 상태로, 스텝A4의 주변노광을 이하와 같이 행한다.

여기서는 제9도에 나타낸 바와 같이, 주변노광영역을 스핀척(11)의 회전중심(CJ)을 중심으로 하여 90° 마다 4개의 분할영역(RA1∼RA4)으로 분할하고, 분할영역마다 노광하는 경우에 대하여 설명한다. 또한, 변위부(30)의 2축방향의 변위가능범위는 제9도의 점선으로 나타낸 바와 같이, 1개의 분할영역 내를 스팟광이 변위하여 얻어지는 범위로 설정되고, 1개의 분할영역의 노광이 종료할 때마다 스핀척(11)을 90° 회전시켜서 다음의 분할영역을 변위부(30)의 2축방향의 변위가능범위 내에 위치시켜서 그 분할영역의 노광을 행하는 동작을 반복하여 모든 주변부 노광영역의 노광을 행한다.

주변노광영역의 위치데이터는 예컨대, 제10도에 나타낸 바와 같은 데이터로서 입력된다. 또한, 변위부(30)의 변위원점(O)은 제10도에 나타낸 위치에 설정되어 있는 것으로 한다. 이하에서는, 제10도에 나타낸 바와 같이, 조사단(21)에서의 스팟광(SL)의 기판(1)측의 에지(EL)의 중앙점이 상기 변위원점(O)에 위치하고 있는 상태에서의 동작으로 설명한다. 또한 이하에서는 편의상, X축의 (+), (-)방향, Y축의 (+), (-)방향을 도면의 방향으로서 설명한다.

우선, 광원(25)을 온하고, 셔터(27)를 닫은 상태에서, 조사단(21)을 변위원점(O)에서 X축(+)방향으로 (XE+X14+X13+X12+X11)만큼 변위시키고, 다음에 Y축(-)방향으로 (Y14+Y13+Y12+T11+T10)만큼 변위시킨다. 그리고, 셔터(27)를 열어 스팟광(SL)을 조사시키고, 그 상태에서 조사단(21)(스팟광(SL))을 Y축(-)방향으로 (Y10+Y11-(SY/2))만큼 변위시키고, 그것에 연속하여 스팟광(SL)을 X축(-)방향으로 (X11)만큼 변위시킨다. 그 때, 스팟광(SL)의 형상이 직사각형과 같이 각부분이 있으면, 직각부분(UVP)을 정밀하게 노광할 수 있다. 또한, 상기 (SY/2)만큼의 조정은 스팟광(SL)의 기판(1)측의 에지(EL)의 중앙점을 변위원점(O)에 위치시킨 상태에서 동작시키기 위해 행하고 있다. 따라서, 위치 데이터에서, 그 (SY/2)만큼 조정되어 Y축방향의 위치 데이터가 결정되어 있으면, 상기 (SY/2)만큼의 조정은 불필요하다. 또한 예컨대, 제11도에 나타낸 바와 같이, 스팟광(SL)의 중심점이 변위원점(O)에 위치하고 있는 상태에서의 동작으로 생각하면, X축방향의 변위에 있어서도(SX/2)만큼의 조정을 행하면 된다. 또한, SX, SY는 스팟광(SL)의 Y축방향, X축방향의 사이즈이며 이미 알고 있다.

이후 마찬가지로, 위치 데이터에 의거하여, 제10도의 화살표에 나타난 바와 같이 스팟광(SL)을 X축방향, Y축방향으로 순차적으로 변위시켜서 직선모양으로 노광한다. 그리고, 셔터(27)를 일단 닫는다. 또한, 상기 노광시의 상기 스팟광(SL)의 변위속도는 노광량 설정부(130)에서 설정된 노광량으로 노광할 수 있도록 조절된다.

다음에, 스핀척(11)을 제9도의 시계방향으로 90° 회전시켜서, 2번째의 분할영역(RA2)을 제9도의 점선으로 나타낸 변위부(30)의 변위가능범위 내에 위치시키고, 그 분할영역(RA2)의 노광을 상기 분할영역(RA1)의 노광과 동일하게 분할영역(RA2)의 위치 데이터에 의거하여 행한다. 이후 마찬가지로 3번째의 분할영역(RA3), 4번째의 분할영역(RA4)을 그 순서로 노광한다. 또한, 스핀척(11)을 제9도의 반시계방향으로 90°씩 회전시켜서, RA1, RA4, RA3, RA2의 순서로 분할노광해도 된다. 셔터(27)는 각 분할영역(RA1∼RA4)의 노광이 종료할 때마다 일단 닫아서, 기판(1)의 회전시에 불필요한 노광을 행하지 않도록 한다. 또한, 1번째의 분할영역(RA1)의 노광은 Y축방향의 (-)측에서 (+)측으로 변위(제10도의 기판(1)의 좌측에서 우측의 변위)하여 행했기 때문에, 1번째의 분할영역(RA1)의 노광이 종료하면, 조사단(21)은 Y축(+)측(기관(1)의 우측)에 위치하고 있다. 따라서, 2번째의 분할영역(RA2)의 노광 때, 조사단(21)을 일단 Y축(-)측으로 복귀시켜서 Y축방향의 (-)측에서 (+)측으로 변위하여 노광하면 수율이 나쁘게 된다. 따라서, 2번째의 분할영역(RA2)의 직선노광은 Y축방향의 (+)측에서 (-)측으로 변위하며 노광하여, 수율의 향상을 도모하고 있다. 또한, 마찬가지로, 3번째의 분할영역(RA3)의 노광은 Y측방향의 (-)측에서 (+)측으로 변위하고, 4번째의 분할영역(RA4)의 직선노광은 Y축방향의 (+)측에서 (-)측으로 변위하여 행한다.

이것에 의해, 계단모양의 소자영역(PA)의 외형에 따른 주변노광을 아주 정밀하게 행할 수 있다.

또한, 제10도 중의 XE는 기판(1)의 사이즈(반경:XE′로 한다)와, XOF(오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)부분의 최대폭)가 나누어져 결정된 값이다. 동일한 형상의 기판(1)의 주변노광을 행하는 것이라면, 그 기판(1)의 형상에 따른 상기 XE, XE′, XOF를 미리 입력해 두면 된다. 또한, 상기 XE, XE′, XOF를 제어부(100)에 별도로 입력하도록 구성하여도 좋다. 게다가, 기판(1)의 주변부(1회전분)의 위치 데이터(에지 데이터)를 스핀척(11)을 360° 회전시켜서 CCD라인센서(40)에서 수집하여 각도정보와 함께 입력해 두고, 그 에지 데이터로부터 상기 XE, XE′, XOF를 특정해도 된다. 변위원점(O)과 CCD라인센서(40)의 위치관계는 이미 알고 있으므로, 제12도에 나타낸 바와 같이, 에지 데이터에서 상기 XE, XE′, XOF를 특정할 수 있다. 상기 축맞춤을 행하는 경우에는 에지 데이터의 수집을 상기 축맞춤의 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)의 검출 시에 병행하여 행하여도 된다.

또한, 제10도 중의 Y10은 노광을 개시할 때의 스팟광(SL)의 위치를 기판(1)의 외측에 설정하기 위한 적당한 거리이고, Y100은 직선노광을 종료할 때의 스팟광(SL)의 위치를 기판(1)의 외측에 설정하기 위한 적당한 거리이다.

한편, 스핀척(11)에 유지된 기판(1)의 중심(Wc)이 스핀척(11)의 회전중심(CJ)에서 어긋나 있으면, 그 어긋난 량에 상응하여, 상기 X축, Y축방향의 변위를 조정해 줄 필요가 있다. 이 어긋난 량은 예컨대, 제13(a)도에 나타난 바와 같이 90° 간격마다 설정된 주변위치(EP1∼EP4)의 에지데이터를 수집하고, 이 에지 데이터로부터 EP1과 EP3를 연결하는 선분(Ln11) 및 EP2과 EP4를 연결하는 선분(Ln12)방향의 어긋난 상태를 조정한다. 그리고, 제13(b)도에 나타난 바와 갈이, 상기 선분(Ln11,Ln12)방향의 어긋남(Q1,Q2)으로부터 삼각함수 등을 사용하여 X축방향, Y축방향의 어긋남을 계산하여 구한다. 이 X축, Y축방향의 어긋남량 ΔX, ΔY를 상기 X축, Y축방향의 스팟광(SL)의 변위 시에 가산 또는 감산하여 조정하면 된다. 또한, 제13(b)도 중의 X′축, Y′축은 X축, Y축과 평행한 축이다.

또한, 제14도에 나타난 바와 같이, 소자영역(PA)의 주위에 소정의 폭의 가선을 형성하도록 직선노광할 경우에는 X축, Y축방향의 가선 폭(FX,FY)을 가미하여 상기 X축, Y축방향의 변위를 행하면 된다. 또한, 위치 데이터에 가선이 가미되어 있으면, 그 위치 데이터에 의거하여 노광을 행하면 된다.

또한, 위치 데이터는 예컨대, 제15도 및 이하와 같은 형태로 입력되고, 그 데이터를 제어부(100)가 해석하여 상기와 같이 조사단(21)을 변위시키도록 해도 된다.

한편, 상기 형태는 분할영역(RA1)에 대하여 나타내고 있지만, 분할영역 RA2∼RA4에 대해서도 동일한 형태로 설정된다. 상기 형태에서는 노광범위, 미노광범위가 Y축방향의 변위정보이며, 노광폭이 X축방향의 변위정보이고, 각 노광폭마다 Y축방향의 노광을 행하는 범위와 행하지 않는 범위를 나타내고 있다. 노광폭은 분할영역(RA1)(제15도)의 경우는 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)에서의 노광폭이고, 분할영역(RA2∼RA4)의 경우는 변위원점(O)에서 X축 (+)방향의 직선과 원호부분의 주변부가 교차하는 점에서의 노광폭이다. 또한, 분할영역 RA1∼RA4에 있어서, Y축방향의 「0」은 변위원점(O)에서 X축 (+)방향으로 연장된 직선(Ln31)상에 놓여 있다.

그 외, 스팟광(SL)의 반환점 위치의 위치좌표 등을 위치 데이터로 하여 입력하도록 해도 된다.

그리고, 상기한 위치 데이터에 의거한 주변노광영역의 소자영역 (PA)측의 경계선에 따른 노광이 종료된 상태에서, 제16도에 나타난 바와 같이, 노광영역의 외측에 미노광영역이 남아있는 것도 있다. 이와 같은 미노광영역이 발생한 경우에는 스팟광(SL)을 기판(1)의 주변부에 소정의 노광폭으로 조사시킨 상태로 스핀척(11)을 회전시켜서 제16도의 빗금선으로 나타낸 바와 같이, 기판(1)의 주변부를 원형으로 노광하여 미노광영역을 노광한다. 노광폭에 따라서 스팟광(SL)을 기판(1)의 주변부에 조사시키는데는, 조사단(21)을 기판(1)의 반경방향으로 변위할 수 있도록 Y축방향의 위치를 조정하고, X축방향으로 변위시키면 된다. 예컨대, 변위원점(O)에서 X축방향으로(XE 또는 XE′ +노광폭)만 Y축 (+)방향으로 변위시키면 된다. 이 때, 각 부분의 미노광영역의 크기나 형상에 의해, 적당한 회전각도마다 노광폭을 변경하도록 해도 된다. 또한, 위치 데이터에 의거한 노광의 결과, 미노광으로 되는 영역은 기판(1)의 사이즈나 오리엔테이션 플랫(OF)의 최대폭(혹은, 에지데이터)과, 위치데이터에 의거한 스팟광(SL)의 변위 경로로부터 계산으로 구할 수 있다. 또한, 기판(1)의 회전노광에 관한 노광폭데이터(회전각도마다의 노광폭데이터라도 된다)를 별도 제어부(100)에 입력하도록 구성해도 된다.

이 기판(1)의 원호모양의 주변부를 따라서 스팟광(SL)을 변위시켜 행하는 노광은 상기 위치 데이터에 의거한 노광 전에 행해도 된다.

또한, 위치 데이터에 의거한 노광의 결과, 미노광으로 되는 영역에 대해서도 제17도에 나타난 바와 같이, 별도의 직선모양으로 노광하도록 해도 된다. 즉, 제17도의 화살표에 나타난 바와 같이 스팟광(SL)을 직선모양으로 변위시켜서 노광한다. 한편, 도면의 사선으로 나타낸 부분이 상기 위치데이터에 의거한 노광으로 노광된 부분이다.

또한, 상기 제10도 등에서는 스팟광(SL)의 사이즈를 비교적 작게 하고 있기 때문에, 위치 데이터에 의거한 노광 후, 미노광영역이 남아있지만, 제18도에 나타난 바와 같이, 스팟광(SL)의 사이즈(사선으로 나타냄)가 충분하게 크다면, 위치데이터에 의거하여 노광한 후, 미노광영역이 남아있기 때문에, 상기 제16도나 제17도와 같은 노광처리는 불필요하다. 한편, 상기 제16도∼제18도에 관해서는 후술하는 각 실시예에서도 동일하게 적용된다.

또한, 상기 실시예에서는 광조사부(20)(조사단(21))와 변위부(30)를 1조(組) 구비하고, 기판(1)을 90° 씩 회전시켜 제1∼제4의 분할영역(RA1∼RA4)의 노광을 순차적으로 행하도록 구성했지만, 광조사부(20)(조사단(21))와 변위부(30)를 분할영역의 수(상기 경우에서는 4조)를 구비하고, 제1∼제4의 분할영역(RA1∼RA4)을 각각에 대응하는 광조사부(20)(조사단(21))와 변위부(30)에서 동시에 노광하도록 하면 수율의 향상이 도모된다.

또한, 상기 실시예에서는 스텝 A2, A3의 처리나, 제16도에 나타난 소정의 노광폭에서 원형의 노광(스텝A4의 처리에 포함된다)에 있어서, CCD라인센서(40)나 조사단(21)에 대하여 기판(1)측을 회전시켰지만, 기판(1)측을 고정하며 CCD라인센서(40)나 조사단(21)을 기판(1)의 주변을 따라서 회전 변위시키도록 구성해도 된다.

게다가, 조사단(21)과 변위부(30)를 복수조 구비한 경우에서, 제16도에 나타낸 소정의 노광폭에서 원형의 노광을 각 조사단(21)에서 행할 때는, 상기와 마찬가지로, 기판(1)측을 고정하고 각각의 조사단(21)측을 회전 변위시키도록 해도 된다. 다만, 이 경우는 각 조사단(21)의 회전변위량은 4개의 조사단(21)의 경우에서 90°이면 된다.

주변부 노광영역의 분할수는 4개로 한정되지 않고. 예컨대 2개이어도 된다.

물론, 스팟광의 2축방향의 변위가 제19(a)도의 점선으로 나타낸 바와 같이 기판(1)의 전면, 혹은 제19(b)도의 점선으로 나타낸 바와 같이 기판(1)의 중앙부분을 제외하고, 기판(1)의 주변부분 전체의 범위 내에서 행하도록 변위부(30)를 구성하면, 상기 실시예와 같이 분할노광을 행하지 않아도 된다. 다만, 이와 같이 변위부(30)를 구성하면, 변위부(30)의 구성이 커지게 되고, 구성이 복잡하여, 장치의 대형화를 초래하지만, 상기 실시예와 같이 분할노광하면, 변위부(30)가 컴팩트하고, 구성을 간략화할 수 있어서 장치의 소형화에 기여할 수 있다.

또한, 상기 실시예나 변형예에서는 X축방향의 변위에 기판(1)의 반경방향의 변위를 포함하고 있지만, 예컨대, 제20도에 나타낸 바와 같이, 변위부(30)에 의한 스팟광의 변위가능범위(점선으로 나타냄)에 반경방향의 변위를 포함하지 않도록 구성해도 된다.

[제2실시예]

제21도는 본 발명의 제2실시예에 관한 주변노광장치의 구성도이고, 제22도는 그 제어블록도이다. 이 제2실시예는 청구항 4 ∼ 청구항 10 및 청구항 19 ∼ 청구항 25에 기재된 발명에 대응한다.

이 제2실시예에 관한 주변노광장치는 상기 제1실시예 장치에 화상입력부(50)와 화상처리부(140)를 부가하여 구성되고, 제어부(100)는 상기 제1주변노광방법을 행하는 기능에, 후술하는 2주변노광방법을 행하는 기능을 더 가지고 .있다 그 외 구성은 상기 제1실시예와 동일하므로, 공통하는 부분은 제1도, 제3도와 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

화상입력부(50)는 기판(1)의 표면에 형성되는 소자영역의 형상을 화상으로서 입력하기 위한 CCD카메라(51), 카메라 렌즈(52) 및 기판(1)의 표면을 조사하는 카메라용 조명 기(53)로 구성되어 있다. 본 실시예에 의한 CCD카메라(51)에 설치된 카메라 렌즈(52)는 기판(1)의 바깥둘레의 1/4정도를 한번에 입력할 수 있는 화각(畵角)을 가지고 있다. 따라서, 이 CCD카메라(51)는 기판(1)의 표면영역을 적당히 분할하여 기판(1)을 회전시키면서 분할영역마다 화상을 입력한다. 또한, 카메라용 조명기(53)는 기판(1)의 표면의 조도가 부족할 경우에 사용한다.

또한, 화상처리부(140)는 예컨대, 화상처리회로로 구성된다.

상기 구성에 있어서, 기판회전부(10)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 기판유지수단, 축맞춤수단, 기판회전수단을 구성하고, 광조사부(20)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 광조사수단을 구성하고, 변위부(30)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 변위수단(2축방향 변위수단)을 구성하고, CCD라인센서(40)와 회전각도 연산부(110)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 검출수단을 구성하고, 위치 데이터 입력부(120)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 위치 데이터 입력수단을 구성하고, 화상입력부(50)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 화상입력수단을 구성하고 화상처리부(140)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 화상처리수단을 구성하고, 제어부(100)가 청구항 4 ∼ 청구항 10에 기재된 발명의 제어수단을 구성한다.

본 실시예 장치는 상기 제1주변노광방법과, 화상입력부(50) 및 화상처리부(140) 등을 사용한 제2주변노광방법의 2종류의 주변노광방법을 선택적으로 행하도록 되어 있다.

이하, 제2주변노광방법에 대하여 설명한다. 제23도는 제2주변노광방법에 의한 노광동작의 설명도이다. 화상입력부(50)의 CCD카메라(51)는 기판(1)의 약 1/4의 영역의 화상을 한번에 입력할 수 있다. 따라서, 제23도 중의 가상선(6)으로 나타낸 바와 같이, 기판(1)을 4개의 분할영역(S1∼S4)으로 분할하여 기판(1)을 회전시켜 분할영역마다 화상입력 및 주변노광처리가 행하여진다.

우선, 제21도 및 제23도에 나타낸 바와 같이, CCD카메라(51)의 화상입력영역에 기판(1)의 분할영역(51)이 위치하도록 기판(1)이 유지된다. 또한, 주변노광장치에 상정된 X, Y좌표의 기준위치에 대한 CCD카메라(51)의 화상입력영역의 좌표위치는 이미 결정되어 있다. 이 상태에서, 카메라용 조명기(53)에서 기판(1) 표면에 조명광을 조사하면서 CCD카메라(51)에 의해 기판(1)상의 소자영역의 화상이 입력된다.

화상처리부(140)는 입력된 화상영역(R)내의 화상데이터에 의거하여, 절단선(스크라이브 라인)(3) 혹은 얼라인먼트 마크(ALIGNMENT MARK)(도시생략)를 인식하여, 그 좌표위치를 산출한다. 그리고, 스크라이브 라인(3) 혹은 얼라인먼트 마크의 위치에 의거하여 소자영역의 외형선(7)에서 소정의 폭만큼 바깥쪽으로 넓혀서 주변노광영역의 경계선상(4)의 각 노광기준점(P1∼P6)의 좌표위치를 산출한다.

기판(1)상의 분할영역(51)에서의 노광기준점(P1∼P6)이 구해지면, 제어부(D)는 노광기준점(P1∼P6)의 좌표데이터(위치데이터)를 순차적으로 반경방향 변위부(Mx) 및 접선방향 변위부(My)로 출력한다. 반경방향 변위부(Mx) 및 접선방향 변위부(My)는 이 좌표 데이터에 의거하여 조사단(21)을 우선 노광기준점(P1)으로 변위시켜서, 노광광원(28)의 셔터(27)를 열어 노광을 개시한다. 그리고, 반경방향 변위부(Mx) 및 접선방향 변위부(My)의 제어에 따라서 조사간(21)이 변위하여 노광기준점(P1)에서 노광기준점(P6)까지 순차적으로 노광을 행한다. 이 때의 조사단(21)의 변위속도는 노광량설정수단(C)에서 설정된 데이터를 근거로 제어된다. 이것에 의해, 분할영역(51)에서 주변노광영역(5a)의 노광이 종료한다.

분할영역(51)의 주변노광이 종료하면, 광조사부(20)의 조사단(21)이 CCD카메라(51)의 화상영역(R)에서 X방향으로 떨어진 위치로 물러난다. 그리고, 기판회전부(10)가 기판(1)을 90° 회전시켜서 기판(1)의 다음 분할영역(52)을 CCD카메라(51)의 바로 아래로 변위시킨다. 그리고, 상기 분할영역(51)의 경우와 마찬가지로, 주변노광영역(5b)의 노광처리가 행하여진다. 이하, 분할영역(S3 및 S4)에 대해서도 동일한 처리가 행해지고, 이것에 의해 기판(1)의 주변부에 계단모양의 주변노광영역(5a~5d)이 노광된다.

또한, 기판(1)이 스핀척(11)에 반입되어 유지된 상태에서, 제24도에 나타낸 바와 같이, 기판(1)상의 소자영역의 외형의 축선방향(스크라이브 라인(3)의 축선방향)과 XY축이 어긋나 있는 경우도 있다. 이와 같은 경우에는 CCD카메라(51)의 화상입력영역에 최초의 분할영역(51)이 위치하는 상태에서, 기판(1)상의 소자영역의 화상을 입력하고, 이 화상내의 기판(1)상의 소자영역의 외형의 축선방향을 산출하고, 이것과 XY축이 어긋나 있는지 아닌지를 조사하여 어긋나 있으면 그 어긋난 각도(θ)에 따라서 기판회전부(10)를 회전시켜 기판(1)상의 소자영역의 외형의 축선방향과 XY축을 일치시키므로, 상기와 같이 각 분할영역(S1∼S4)마다 주변노광영역(5a∼5d)의 노광을 행하면 된다. 또한, 각 분할영역(S1∼S4)의 노광은 기판(1)을 90°씩 회전하면서 행하기 때문에, 상기 축맞춤을 최초로 1회 행하면, 이후는 항상 기판(1)상에 소자영역의 외형의 축선방향과 XY축은 일치하고 있지만, 필요에 따라서, 각 분할영역(S1∼S4)의 주변노광영역(5a∼5d)의 노광마다 상기 축맞춤을 행하도록 해도 된다. 또한, 기판(1)상의 소자영역의 외형의 축선방향(스크라이브 라인(3)의 축선방향)은 예컨대, 제24도의 인접하는 스크라이브 라인(3)의 3개의 교점(CP1,CP2,CP3)의 위치좌표에서 CP1, CP2의 축선방향 및 CP1, CP3의 축선방향을 산출하는 것으로 얻을 수 있다.

상기 제2주변노광방법의 순서를 제25도에 나타낸다.

이 제2주변노광방법에 의하면, 기판(1)의 화상정보에 의거하여 자동적으로 계단모양의 주변노광영역의 위치데이터를 인식할 수 있다. 따라서, 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 방법에 비해, 조작자의 작업이 간소화되고, 처리효율이 향상한다. 또한 주변노광영역의 위치 데이터는 기판(1)상에 실제로 형성된 소자영역의 화상정보에서 직접 산출되기 때문에, 기판(1)이 실제로 형성된 소자영역에 따른 주변노광영역의 위치 데이터에 의거하여 아주 정밀하게 주변을 노광할 수 있고, 또한, 예컨대, 얼라인먼트 마크 등을 기준으로 소자영역이 형성된 경우의 주변노광에도 대응할 수 있다. 게다가, 주변노광영역의 위치 데이터를 산출된 위치에 기판(1)을 정지된 상태로 주변노광처리가 행하여지기 때문에, 더욱 정밀하게 주변노광을 행할 수 있다.

하지만, 상기 제2주변노광방법은 CCD카메라(51)를 사용하여 기판(1)상의 소자영역의 화상정보에서 주변노광영역(5a∼5d)의 위치 데이터를 산출하여 노광처리를 행하고 있지만, 기판(1)상에 소자패턴의 형성이 되어 있지 않은 초기의 제조단계에서는 소자영역의 형상을 화상정보로서 CCD카메라(51)에 의해 입력하는 것이 곤란하다. 또한, 입력된 화상이 선명하지 않아서 화상정보로부터 주변노광영역의 위치데이터가 얻어지지 않는 경우 등도 있다.

그러므로, 이와 같은 경우를 상정하여, 상기 제2실시예에서는 보상적으로 설명된 제1주변노광방법을 선택하여 주변을 노광할 수 있도록 하고 있지만, 그럴 필요가 없다면, 제1주변노광방법에 관한 구성을 생략하고, 제2주변노광처리만 행하도록 구성해도 된다.

제26도는 제2실시예 장치의 변형에의 구성도이고, 제27도는 이 변형예에의 한 주변노광동작의 설명도이다. 이 변형예는 상기 제2실시예 장치에 대하여 기판(1)의 상방에서 화상입력부(50)와 광조사부(20), 특히 조사단(21)이 기판(1)의 회전방향에 따라서 서로 90° 어긋난 위치에 배치되어 있는 점이 다르게 되어 있다. 이것에 의해, 화상입력부(50)의 CCD카메라(51)의 화상영역 내에 광조사부(20)의 조사단(21)이 중복하지 않도록 구성되어 있다.

제27도에 나타낸 바와 같이, 기판(1)의 표면영역을 4개의 분할영역(S1∼S4)으로 분할한 경우를 상정하면, 2개의 다른 분할영역에서 주변노광영역의 위치검출과 주변노광처리를 동시에 행할 수 있다. 예컨대 분할영역(52)에 있어서, 화상입력부(50)에 의해 주변노광영역(5b)의 노광기준점(P1∼P6)의 위치좌표의 검출이 행해진다. 동시에 분할영역(51)에서는 화상입력부(50)에 의해 이미 구해진 노광기준점(P1∼P6)의 위치정보에 따라서 광조사부(20)에의 한 주변노광처리가 행해진다.

2개의 처리가 종료하면, 기판회전부(10)는 기판(1)을 90° 회전시킨다. 그리고, 주변노광영역의 위치검출이 행해지고 있는 분할영역(52)에서는 광조사부(20)에 의해 주변노광처리가 행해지고, 미처리의 분할영역(53)에서는 화상입력부(50)에 의한 주변노광영역의 위치검출이 행해진다.

이하, 동일한 처리가 행해지고 어긋난 분할영역(S1∼S4)에 대하여 주변노광처리가 완료한다.

이 변형예에 의하면, 주변노광영역의 위치검출과 주변노광처리를 동시에 행할 수 있기 때문에 처리효율이 향상한다.

제28도는 제2실시예의 다른 변형예의 구성도이다. 이 변형예에서는 화상입력부의 CCD카메라(51)의 화상입력범위가 기판(1) 전체를 입력할 수 있는 크기를 가지고 있다. 또한 반경방향 변위부(Mx) 및 접선방향 변위부(My)의 각각의 변위량이 기판(1) 전체를 덮는 범위로 설정되어 있다. 따라서, 기판(1)을 회전시키지 않고, 주변노광영역의 위치검출 및 계단모양의 주변노광처리를 행할 수 있다.

[제3실시예]

제29도는 본 발명의 제3실시예에 관한 주변노광장치의 구성도이고, 제30도는 그 제어블록도이다. 이 제3실시예는 청구항 11 ∼ 청구항 15 및 청구항 26 ∼ 청구항 30에 기재된 발명에 대응한다.

이 제3실시예에 관한 주변노광장치는 상기 제1실시예장치에 화상입력부(50)와 스크라이브 라인 위치검출부(160)와 기판 단연(端緣) 위치산출부(150)와 노광범위 설정부(170)와 노광위치 산출부(180)를 더하여 구성되고, 제어부(100)는 상기 제1주변노광방법을 행하는 기능에 더하여 후술하는 제3주변노광방법을 행하는 기능을 가지고 있다. 그 외의 구성은 상기 제1실시예와 마찬가지이므로, 공동하는 부분은 제1도, 제3도와 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

화상입력부(50)는 제2실시예의 것과 동일한 구성(제21도 참조)을 가지고 있지만, 이 제3실시예의 화상입력부(50)에서는 기판(1)상의 각 소자를 분할하기 위한 스크라이브 라인이 2개 직교하는 적어도 1개의 교점 및 교점근방의 스크라이브 라인의 선분을 입력할 수 있는 입력 범위를 가지고 있다.

또한, CCD카메라(51)는 기판(1)의 상방에 배치되어 있다. 특히 기판(1)의 중심상방에 배치된 경우에는 광조사부(20)의 조사단(21)과 간섭을 방지하는데 유효하다.

기판단연위치검출부(150), 노광위치산출부(180)는 예컨대, 퍼스널컴퓨터로 구성되고, 노광범위 설정부(170)는 예컨대, 디스플레이 및 키보드로 구성되고, 스크라이브 라인 위치검출부(160)는 예컨대, 화상처리회로로 구성된다.

상기 구성에 있어서, 기판회전부(10)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 기판유지수단, 축맞춤수단, 기판회전수단을 구성하고, 광조사부(20)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 광조사수단을 구성하고, 변위부(30)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 변위수단(2축방향 변위수단)을 구성하고, CCD라인센서(40)와 회전각도 연산부(110)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 검출수단을 구성하고, 위치 데이터 입력부(120)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 위치 데이터 입력수단을 구성하고, 화상입력부(50)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 화상입력수단을 구성하고, 스크라이브 라인 위치검출부(160)와 노광위치 산출부(180)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 노광영역 산출수단을 구성하고, 노광범위 설정부(170)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 형상입력수단을 구성하고, 제어부(100)가 청구항 11 ∼ 청구항 15에 기재된 발명의 제어수단을 구성한다.

본 실시예 장치는 상기 제1주변노광방법과 후술하는 제3주변노광방법의 2종류의 주변노광방법을 선택적으로 행하도록 되어 있다.

이하, 제3주변노광방법을 제31도의 순서도를 참조하여 설명한다.

또한, 주변노광동작의 설명에 앞서, 기판(1)의 기판중심(Wc), 스핀척(11)의 회전중심(CJ) 및 CCD카메라(51)의 화상입력영역(V)의 시야 중심(Ov)의 위치관계 및 주변노광장치의 좌표계에 대하여 제32도를 참조하여 설명한다.

스핀척(11)의 회전중심(CJ)은 X축의 축선상에 위치하고, 또 CCD라인센서(40)의 검출위치도 X축의 축선상에 설정되어 있다. 또한, 변위부(30)의 변위 원점이 도면의 0점으로 설정되어 있다.

앞에서도 설명한 바와 같이, 기판(1)은 그 중심(Wc)이 스핀척(11)의 회전중심(CJ)에 일치하도록 스핀척(11)에 올려지는 것이 바람직하지만, 실제로는 어긋나서 올려지는 경우가 있다. 또한, CCD카메라(51)도 그 시야중심(Ov)이 스핀척(11)의 회전중심(CJ)에 일치하도록 CCD카메라(51)를 배치하는 것은 어렵고, 어긋나게 배치되는 경우가 있다. 이 경우, 기판(1)의 중심(Wc), 시야중심(Ov), 회전중심(CJ)의 사이에는, 예컨대 도면에 나타낸 변위가 발생한다. 따라서, 이하에 나타낸 제3주변노광방법의 각 스텝에서는 이들의 위치변위량을 고려한 처리가 행하여진다.

우선, 주변노광장치에서의 CCD카메라(51)의 조립 동작시에는 CCD카메라(51)의 시야중심(Ov)과 스핀척(11)의 회전중심(CJ)의 오프셋량을 검출한다. 예컨대, 중심부분에 「+」표가 그려진 더미 기판을 스핀척(11)상에 유지하여 1/n바퀴 만큼씩(n은 2이상의 정수) 회전시키고, 그 때 「+」표를 포함한 화상을 CCD카메라(51)로 입력한다. 그리고, n개의 화상에 대하여 「+」표의 위치를 스크라이브 라인 위치검출부(160)에서 산출하고, 그들의 평균위치를 회전중심(CJ)으로 한다. 그래서, 구해진 회전중심(CJ)과 CCD카메라(51)의 시야중심(Oy)과의 변위량(ΔX₂,ΔY₂)을 오프셋량으로서 검출하고, 기억해둔다.

제31도에 있어서, 제3주변노과방법에 관한 주변노광처리가 개시되면, 우선 주변노광처리의 대상으로 되는 기판(1)이 도시하지 않은 반송장치에 의해 스핀척(11)상에 반입되어 유지된다(스텝C1).

다음에, 조작자는 키보드 혹은 조작패널 등을 갖는 노광범위 설정부(170)를 사용하여 처리대상으로 되는 기판(1)의 기판사이즈(외형), 소자사이즈(X방향의 사이즈 x, Y방향의 사이즈 y), 소자의 배열 수(Y방향의 소자수 h, X방향의 소자 수 v)를 입력한다. 혹은, 스테퍼 등 다른 장치로부터 이들의 정보를 입력해도 된다. 입력된 기판정보는 디스플레이 화면상에 표시된다. 제33도는 화면상에 표시된 기판정보를 나타낸 모식도이다. 기판정보에 의거하여, 소자(2)가 X축방향으로 v개, Y축방향으로 h개 정렬된 직사각형의 소자영역(Ra)이 규정된다. 표시된 소자영역(Ra)은, 일부가 기판(1)의 바깥쪽으로 밀려나온 부적절한 소자(2a)(사선부)도 포함하고 있고, 이와 같은 부적절한 소자(2a)는 화면상에서 반전표시되어 유효한 소자영역(Re)에서 제외된다.

게다가, 조작자는 표시된 유효한 소자영역(Re)의 중에서 노광하지 않아야 될 소자(2)를 임의로 지정하고, 노광해야 할 소자영역(Re)을 결정한다. 이것에 의해, 유효한 소자영역(Re)의 범위를 확정하여 그 정보가 입력된다(스텝 C2).

다음에, 모터(12)를 기동하고, 기판(1)을 회전시키면서 CCD라인센서(40)에 의해 기판(1)의 단연위치를 검출한다. CCD라인센서(40)에서는 기판(1)의 아래쪽에 있는 수광부(受光部)(42)의 화소에서 오프(OFF)신호가 출력되고, 기관(1)의 바깥쪽에 있는 화소에서 온(ON)신호가 출력된다. 그리고, 온신호를 출력한 화소의 위치에 의거하여 스핀척(11)의 회전중심(CJ)에서 기판(1)의 바깥둘레 단연까지의 반경이 기판(1)의 바깥둘레를 따라서 몇 도의 회전각도마다 복수장소에서 구해진다. 또한, 이 때 반경이 구해진 각 바깥둘레위치의 회전각도도 동시에 검출된다.

기판(1)의 중심(Wc)이 스핀척(11)의 회전중심(CJ)과 일치하고 있는 경우에는 온신호를 출력하는 화소의 개수는 변동하지 않지만, 편심하여 있는 경우에는 온신호를 출력하는 화소의 개수가 변화한다. 따라서, 예컨대, 제13(a)도, 제13(b)도에서 설명한 바와 같이, 이 화소의 변화량에 의거하여 기판(1)의 중심(Wc)을 산출하고, 스핀척(11)의 회전중심(CJ)과 오프셋량을 산출한다. 제32도에 나타난 예에서는 양쪽의 오프셋량은 (ΔX₁,ΔY₁)이다(스텝C3).

또한, 제1실시예에서 설명한 바와 같이 오리엔테이션 플랫(OF)의 중앙(OFc)을 검출하고, 이 오리엔테이션 플랫부(OF)의 중심(OFc)이 CCD라인센서(40)의 검출위치에 일치하는 위치, 혹은 그 위치에서 90°, 180°, 270° 회전된 위치의 어느 한 곳에 기판(1)을 정지시킨다. 즉 제32도에 나타난 바와 같이, CCD라인센서(40)는 스핀척(11)의 회전중심(CJ)을 통한 X축선상에 검출위치가 설정되어 있다. 따라서, 상기의 위치에서 기판(1)을 정지시키 면, 기판(1)의 오리엔테이션 플랫부(OF)의 직선부분이 X축 혹은 Y축에 거의 평행하게 된다. 이하의 설명에서는 제32도에 나타낸 바와 같이, 오리엔테이션 플랫부(OF)가 CCD라인센서(40)의 반대측의 위치에서 Y축에 평행하게 되도록 기판(1)을 정지시킨 것으로 한다(스텝C4).

다음에, 화상입력부(50)에서 기판(1)표면의 소자영역의 화상을 입력한다(스텝C5). 제34(a)도, 제34(b)도는 소자영역의 입력화상의 모식도이다. 제34(a)도에 있어서, CCD카메라(51)의 입력범위(V)는 적어도 1개의 소자(2)의 각(角)부분(스크라이브 라인의 교점)을 포함한 크기를 가지고 있다.

스크라이브 라인 위치산출부(160)는 입력된 화상정보에서 각 스크라이브 라인(SLX0,SLY0)을 식별하고, 스크라이브 라인의 교점(AA)의 위치좌표 및 스크라이브 라인(LSY0)중의 임의의 점(BB)의 위치좌표를 구한다. 그리고, 2점(AA,BB)의 좌표값에 의거하여 스크라이브 라인(SLY0)이 Y축과 평행한지 아닌지를 판정한다. 제34(a)도와 같이, θ만큼 경사져 있는 경우에는 기판(1)을 회전하여 제34(b)도에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인(SLY0)이 Y축에 평행하게 되도록(스크라이브 라인의 축선방향과 XY축을 일치시키도록)기판(1)의 회전정지위치를 미세하게 조정한다(스텝C6).

제35도는 스크라이브 라인 위치산출동작을 나타낸 설명도이다. 스크라이브 라인 위치산출부(160)는 또 시야중심(Ov)을 기준으로 노광범위 설정부(170)에 의해 미리 입력된 소자사이즈(x,y)에 의거하여 각 스크라이브 라인(SLX-3∼SLX3,SLY-3∼SLY3)의 좌표값을 산출한다. 이것에 의해, 소자영역(Re)의 바깥둘레의 각 기준점의 좌표값이 구해진다. 또한, 각 좌표값에 먼저 구해진 시야중심(Ov)과 스핀척(11)의 회전중심(CJ)과의 오프셋량을 각각 더함으로써, 스핀척(11)의 회전중심(CJ)을 기준으로 하는 소자영역(Re)의 외형의 기준점좌표가 구해진다(스텝C7).

제36도는 제3주변노광방법의 동작설명도이다. 소자영역(Re)의 외형을 규정하는 기준점좌표가 구해지면, 노광위치산출부(180)는 소자영역(Re)의 외형에서 일정한 폭 떨어져 노광하기 위한 오프셋폭을 더하여 제36도에 나타낸 바와 같은 노광기준점(P₀∼P₅)의 위치 데이터를 산출한다. 소자영역(Re)의 외형과 주변노광영역의 오프셋폭은 예컨대 200μm이하로 설정한다(스텝C8).

제36도에 나타낸 바와 같이, 주변노광처리는 기판(1)을 4분할한 각각의 영역마다 행하여진다. 광조사부(20)의 조사단(21)에서 조사되는 스팟광(SL)은 직사각형으로 한정되어 있다. 그리고, 변위부(30)는 우선 스팟광(SL)의 기준점(S₀)이 노광기준점(P₀)에 일치하는 위치에 조사단(21)을 변위하여 스팟광(SL)의 조사를 개시한다. 또한, 도면의 화살표 방향을 따라서 순차적으로 노광기준점(P₀∼P₅)사이를 변위하여 기판(1)의 약 4분의 1의 주변영역의 노광처리를 행한다(스텝C9). 이 스텝 9에 있어서, 기판(1)의 중심(Wc)과 회전중심(CJ)이 어긋나 있으면, 상기 스텝 C3에서 구해진 기판(1)의 중심(Wc)과 회전중심(CJ)의 어긋난 오프셋량을 각 노광기준점(P₀∼P₅)의 위치데이터에 가산 또는 감산하여 스팟광(SL)의 변위를 조절한다.

그 후, 기판(1)의 모든 주변영역의 노광처리가 종료했는지 아닌지를 판정하고(스텝C10), 종료하지 않았다면, 기판(1)을 90° 회전하고(스텝C11), 스텝C5에서 스텝C9의 처리를 반복하여 행한다.

모든 영역의 주변노광처리가 종료하면, 주변노광처리를 종료한다. 이것에 의해, 소자영역(Re)의 외형에 따라서 소정의 거리만큼 떨어진 계단모양의 주변노광영역을 형성할 수 있다.

이와 같이, 본 실시예에 의한 주변노광장치는 기판의 단연위치를 검출하는 CCD라인센서(40)와, 기판(1)상의 소자의 1개의 각(角)부분의 형상을 화상정보로서 입력하는 CCD카메라(51)를 구비하고, 1개의 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하는 것에 의해 소자영역(Re)의 외형치수를 산출하고, 이 외형치수에 의거하여 주변노광영역의 좌표값을 산출하여 주변노광처리를 행할 수 있다. 따라서, 주변노광영역의 위치 데이터를 차례로 입력할 필요가 없으므로 조작성이 좋고 처리효율이 높은 주변노광장치 및 주변노광처리를 실현할 수 있다.

한편, 기판처리의 초기 단계에 있어서 기판(1) 표면의 화상이 얻어지지 않는 경우나 설명하지 않은 경우 등에는 상기 제1주변노광방법을 선택하여 노광처리를 행한다. 또한, 이 제3실시예에 있어서도, 제1주변노광방법에 관한 구성을 생략하고, 제3주변노광처리만 행하도록 구성해도 된다.

상기 구성에서는 기판(1)의 중심부의 스크라이브 라인의 교점 근방의 화상을 입력하도록 CCD카메라(51)를 배치했지만, 중심부에 한정하지 않고, 소자영역(Re)내의 임의의 스크라이브 라인의 교정의 화상을 입력하도록 CCD카메라(51)를 배치해도 된다. 이 경우, 스크라이브 라인의 교점위치는 스핀척(11)의 회전중심(CJ)과 CCD카메라(51)의 시야중심(Ov)과의 오프셋량에서 산출할 수 있다.

게다가, 상기 구성에서는 CCD라인센서(40)를 사용하여 기판(1)의 단연위치를 검출하도록 구성했지만, 기판(1)의 단연위치는 다른 수단을 사용하여 검출하도록 구성해도 된다.

또한, 상기 구성에서는 기판(1)의 4분의 1영역마다 주변노광을 행하도록 구성했지만, 변위부(30)의 X, Y방향으로 변위량이 크고, 조사단(21)이 기판(1)의 전표면에 걸쳐 변위가능하게 구성되는 경우에는 기판(1)을 회전하지 않고 기판(1)의 주변노광을 행할 수 있다. 이 경우, 노광위치 산출부(180)는 기판(1)의 모든 주변노광영역에서 노광기준점을 동시에 산출하도록 구성된다.

본 발명은 그 사상 또는 본질에서 이탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있고, 따라서, 발명의 범위를 나타냄으로써 이상의 설명보다는 부가된 청구항을 참조해야 한다.

Claims

기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광장치에 있어서, 상기 장치는, 기판을 유지하는 기판유지수단과, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 검출수단과, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 광을 조사하는 광조사수단과, 상기 광조사수단으조부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위 수단과, 상기 기판의 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 위치 데이터 입력수단과, 상기 검출수단의 검출결과에 의거하여, 상기 위치 데이터 입력수단으로부터의 위치 데이터의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단과, 상기 입력된 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시켜 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행하도록 상기 2축방향 변위수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제1항에 있어서, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하고, 상기 주변노광영역에 따른 노광을 분할된 주변노광영역마다 행하도록 구성한 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제1항에 있어서, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 기판의 원호모양의 주변부를 따라서 상대적으로 회전시키는 회전수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따른 노광의 전 또는 후에 기판의 원호모양의 주변부를 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시키도록 상기 회전수단을 제어하도록 구성한 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광장치에 있어서, 상기 장치는, 기판을 유지하는 기판유지수단과, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력하는 화상입력수단과, 상기 화상입력수단에서 입력된 상기 소자영역의 외형에 따른 상기 주변노광영역의 위치 데이터를 산출하는 화상처리수단과, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 광을 조사하는 광조사수단과, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 변위수단과, 상기 화상처리수단에 의해 산출된 상기 주변노광영역의 위치 데이터에 의거하여 상기 감광막의 상기 주변노광영역이 노광되도록 상기 변위수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제4항에 있어서, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고, 상기 화상입력수단에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 외형의 축선방향을 산출하고, 이 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제4항에 있어서, 상기 화상입력수단은 상기 기판의 상기 소자영역보다 작은 화상입력범위를 가지고, 상기 화상입력수단의 상기 화상입력범위에 따라서 소정의 각도씩 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 회전시키는 기판회전수단을 구비한 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제6항에 있어서, 상기 광조사수단 및 상기 화상입력수단은 상기 광조사수단의 노광범위와 상기 화상입력수단의 화상입력범위가 중복하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제6항에 있어서, 상기 광조사수단 및 상기 화상입력수단은 상기 광조사수단의 노광범위와 상기 화상입력수단의 화상입력범위가 중복하지 않도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제4항에 있어서, 상기 화상입력수단은 상기 기판의 상기 소자영역보다 큰 화상입력범위를 가지고, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면에 걸쳐 변위시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제4항에 있어서, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 검출수단과, 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 위치 데이터 입력수단과, 상기 검출수단의 검출결과에 의거하여 상기 위치데이터 입력수단으로부터의 위치데이터의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은 상기 입력된 위치 데이터에 의거하여 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단에서의 광을 변위시키도록 상기 2축방향 변위수단을 제어하는 기능을 더 가지는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광장치에 있어서, 상기 장치는, 기판을 유지하는 기판유지수단과, 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보를 입력하는 형상입력수단과, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 소자영역내의 스크라이브 라인의 교점근방의 형상을 화상정보로서 입력하는 화상입력수단과, 상기 화상입력수단에서 입력된 화상정보에서 상기 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하고, 상기 교점위치 및 상기 형상입력수단에서 입력된 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형위치를 산출하고, 상기 소자영역의 외형위치에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치를 산출하는 노광영역 산출수단과, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 광을 조사하는 광조사수단과, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 변위수단과, 상기 노광영역 산출수단에 의해 산출된 상기 주변노광영역의 위치에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역이 노광되도록 상기 변위수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제11항에 있어서, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고, 상기 화상입력수단에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역내의 스크라이브 라인의 축선방향을 산출하고, 이 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제11항에 있어서, 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 회전시키는 기판회전수단을 구비하고, 상기 제어수단은 상기 기판이 소정의 각도씩 회전된 위치마다 주변노광영역이 분할되어 노광되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제11항에 있어서, 상기 변위수단은, 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면에 걸쳐 변위시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
제11항에 있어서, 상기 변위수단은 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 2축방향 변위수단을 포함하고 있고, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 검출수단과, 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 위치 데이터 입력수단과, 상기 검출수단의 검출결과에 의거하여, 상기 위치 데이터 입력수단으로부터의 위치데이터의 축선방향과 상기 2축방향 변위수단의 축선방향을 일치시키는 축맞춤수단을 더 구비하고, 상기 제어수단은 상기 입력된 위치데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시키도록 상기 2축방향 변위수단을 제어하는 기능을 더 가지는 것을 특징으로 하는 주변노광장치.
기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광방법에 있어서, 상기 방법은, (A-1) 상기 기판의 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치 데이터를 입력하는 공정과, (A-2) 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 공정과, (A-3) 상기 (A-2)의 공정의 검출결과에 의거하여 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치데이터의 축선방향과, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 서로 직교하는 2축방향의 축선방향을 일치시키는 공정과, (A-4) 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치 데이터에 의거하여 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시켜서 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제16항에 있어서, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하고, 상기 주변노광영역에 따른 노광을 분할된 주변노광영역마다 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제16항에 있어서, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따른 노광의 전 또는 후에 기판의 원호모양의 주변부를 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시켜서 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따른 노광에서 미노광으로 되는 영역의 노광을 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광방법에 있어서, 상기 방법은, (B-1) 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 형상을 화상정보로서 입력하는 공정과, (B-2) 상기 (B-1)의 공정에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 상기 주변노광영역의 위치 데이터를 산출하는 공정과, (B-3) 상기 (B-2)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역의 위치 데이터에 의거하여, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시켜서 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제19항에 있어서, 상기 (B-3)의 공정에서는 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 동작을 포함하고 있고, 상기 (B-1)의 공정에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역의 외형의 축선방향을 산출하고, 이 축선방향과, 상기 광조사수단으로부터의 광의 2축방향으로의 변위방향을 일치시키는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제19항에 있어서, 상기 (B-1)의 공정에서 입력하는 화상정보의 화상입력범위를 상기 기판의 상기 소자영역보다 작게 하고, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하고, 상기 화상입력범위에 따라서 소정의 각도씩 상기 기판유지수단에 지지된 기판을 회전시켜서 상기 분할된 주변노광영역마다 노광을 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제21항에 있어서, 상기 광조사수단의 노광범위와 상기 화상입력범위를 중복시켜 두고, 상기 분할된 주변노광영역마다, 기판의 회전을 정지시켜서 상기 (B-1) ∼ 상기 (B-3)의 공정을 행하고, 각각의 분할된 주변노광영역의 노광을 순차적으로 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제21항에 있어서, 상기 광조사수단의 노광범위와 상기 화상입력범위를 중복하지 않도록 해두고, 상기 (B-1) 및 상기 (B-2)의 공정과 상기 (B-3)의 공정을 제각기 분할된 주변노광영역에 대하여 동시에 행하면서, 각각의 분할된 주변노광영역의 노광을 순차적으로 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제19항에 있어서, 상기 (B-1)의 공정에서 입력하는 화상정보의 화상입력범위를 상기 기판의 상기 소자영역보다 크게 하고, 상기 (B-1)의 공정에서는 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역 전체의 형상을 1개의 화상정보로서 입력하고, 상기 (B-2)의 공정에서는 상기 (B-1)의 공정에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 소자영역 전체의 외형에 따른 상기 주변노광영역의 위치데이터를 산출하고, 상기 (B-3)의 공정에서는 상기 (B-2)공정에서 산출된 상기 주변노광영역의 위치데이터에 의거하여, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면(全面)에 대하여 상대적으로 변위시켜서 상기감광막의 상기 주변노광영역을 노광하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제19항에 있어서, (A-1) 상기 기판의 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치데이터를 입력하는 공정과, (A-2) 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 공정과, (A-3) 상기 (A-2)의 공정의 검출결과에 의거하여, 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치데이터의 축선방향과, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 서로 직교하는 2축방향의 축선방향을 일치시키는 공정과, (A-4) 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시키고, 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행하는 공정에 의한 상기 주변노광영역의 노광과, 상기 (B-1) ∼ 상기 (B-3)의 공정에 의한 상기 주변노광영역의 노광을 선택적으로 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
기판상에 도포된 감광막 중, 상기 기판의 소자영역의 외측에 있는 주변노광영역을 상기 소자영역의 외형에 따라서 계단모양으로 노광하는 주변노광방법에 있어서, (C-1) 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보를 입력하는 공정과, (C-2) 기판유지수단에 유지된 기판의 소자영역내의 스크라이브 라인의 교점근방의 형상을 화상정보로서 입력하는 공정과, (C-3) 상기 (C-2)의 공정에서 입력된 화상정보에서 상기 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하고, 상기 교점위치 및 상기 (C-1)의 공정에서 입력된 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보에 의거하여 상기 소자영역의 외형위치를 산출하고, 상기 소자영역의 외형 위치에 의거하여 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치를 산출하는 공정과, (C-4) 상기 (C-3)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역의 위치에 의거하여, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시켜서 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제26항에 있어서, 상기 (C-4)의 공정에서는 상기 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 서로 직교하는 2축방향으로 상대적으로 변위시키는 동작을 포함하고 있고, 상기 (C-2)의 공정에서 입력된 상기 화상정보에 의거하여 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 상기 소자영역내의 스크라이브 라인의 축선방향을 산출하고, 이 축선방향과, 상기 광조사수단으로부터의 광의 2축방향으로의 변위방향을 일치시키는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제26항에 있어서, 상기 주변노광영역을 복수의 영역으로 분할하고, 상기 기판유지수단에 유지된 기판을 소정의 각도씩 회전시켜서 상기 분할된 주변노광영역마다 노광을 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제26항에 있어서, 상기 (C-3)의 공정에서는 상기 (C-2)의 공정에서 입력된 화상정보에서 상기 스크라이브 라인의 교점위치를 검출하고, 상기 교점위치 및 상기 (C-1)의 공정에서 입력된 상기 기판 및 상기 소자영역의 형상정보에 의거하여 상기 소자영역 전체의 외형위치를 산출하고, 상기 소자영역 전체의 외형위치에 의거하여 상기 소자영역 전체의 외형에 따른 주변노광영역 전체의 위치를 산출하고, 상기 (C-4)의 공정에서는 상기 (C-3)의 공정에서 산출된 상기 주변노광영역 전체의 위치에 의거하여 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막 전면(全面)에 대하여 상대적으로 변위시켜서 상기 감광막의 상기 주변노광영역을 노광하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.
제26항에 있어서, (A-1) 상기 기판의 상기 소자영역의 외형에 따른 주변노광영역의 위치데이터를 입력하는 공정과, (A-2) 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 바깥둘레의 기준위치를 검출하는 공정과, (A-3) 상기 (A-2)의 공정의 검출결과에 의거하여, 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치데이터의 축선방향과, 광조사수단으로부터의 광을 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 감광막에 대하여 상대적으로 변위시키는 서로 직교하는 2축방향의 축선방향을 일치시키는 공정과, (A-4) 상기 (A-1)의 공정에서 입력된 위치 데이터에 의거하여, 상기 감광막의 상기 주변노광영역에 따라서 상기 광조사수단으로부터의 광을 변위시켜서 소자영역의 계단모양의 외형에 따른 노광을 행하는 공정에 의한 상기 주변노광영역의 노광과, 상기 (C-1) ∼ 상기 (C-4)의 공정에 의한 상기 주변노광영역의 노광을 선택적으로 행하는 것을 특징으로 하는 주변노광방법.