JP2000053957A - 新規な有機金属発光物質およびそれを含む有機電気発光素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 青色、緑色または赤色光の発光特性を有し、
熱安定性が高い新規な有機金属化合物、およびそれを含
む有機電気発光素子を提供する。 【解決手段】 青色、緑色または赤色光の発光特性を有
する、一般式（Ｉ）ないし（Ｖ）の化合物からなる群か
ら選ばれた有機金属発光物質。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、新規な有機金属発
光物質に関し、さらに詳細には、青色、緑色または赤色
光の発光特性を有し、熱安定性が高い新規な有機金属化
合物、およびそれを含む有機電気発光素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常の有機電気発光素子用有機金属化合
物は、主として亜鉛およびアルミニウムのような２価ま
たは３価金属の錯体である。

【０００３】たとえば、有機金属発光物質として米国特
許第５,４５６,９８８号には、亜鉛、アルミニウムおよ
びマグネシウムの８−ヒドロキシキノリンの錯体、米国
特許第５,８３７,３９０号には、２−（ｏ−ヒドロキシ
フェニルベンゾオキサゾール）のマグネシウム、亜鉛お
よびカドミウムなどの金属との錯体、特開平７−１３３
４８３号には、２−（ｏ−ヒドロキシフェニルベンゾオ
キサゾール）のマグネシウムおよび銅のような２価金属
との錯体、米国特許第５,５２９,８５３号ならびに特開
平６−３２２３６２号、特開平８−１４３５４８号、お
よび特開平１０−０７２５８０号には、１０−ヒドロキ
シベンゾ[１０]キノリンの２価または３価金属との錯体
がそれぞれ開示されている。

【０００４】このように２価または３価金属を含む有機
金属発光物質は、比較的に弱いリガンドが金属結合と長
い共役構造を有するので、比較的熱安定性が低く、緑色
および赤色光を発するが、青色発光はしない。

【０００５】したがって、改善された熱安定性および青
色発光をするなどの改善された発光特性を有する有機発
光物質の開発が要求されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、青色、緑色または赤色光の発光特性を有する新
規な有機金属発光物質およびそれを含む有機電気発光素
子を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明では、一般式（Ｉ）ないし（Ｖ）の化合物から
なる群から選ばれた有機金属化合物が提供される。

【０００８】

【化９】

【０００９】

【化１０】

【００１０】

【化１１】

【００１１】

【化１２】

【００１２】

【化１３】

【００１３】前記式で、Ｍ¹およびＭ⁴は、互いに独立的
にＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｃｓ、Ｆ
ｒ、Ｒｂ、Ｈｆ、Ｐｒ、Ｐａ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｔｍおよび
Ｍｄからなる群から選ばれた１価または４価金属であ
り；Ｍ²は、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｂｅ、Ｇａ、Ｚ
ｎ、Ｃｄ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｆｒ、Ｒｂ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｍ
ｎ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｈｆ、Ｐｒ、Ｐａ、Ｇ
ｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、ＴｍおよびＭｄからなる群から選ばれ
た１価、２価、３価または４価金属であり；Ｍ³は、Ｌ
ｉ⁺、Ｎａ⁺、Ｋ⁺、Ｃｓ⁺、Ｆｒ⁺、Ｒｂ⁺、Ｃａ²⁺、Ｂｅ
²⁺、Ｇａ³⁺、Ｚｎ²⁺、Ａｌ³⁺、Ｍｇ²⁺、Ｍｎ²⁺、Ｔｉ²⁺
およびＣｕ²⁺からなる群から選ばれ；Ｒは、水素または
Ｃ_1-10アルキル基であり；ＸおよびＹは、互いに独立的
に水素、Ｃｌ、Ｆ、Ｉ、ＢｒまたはＳＯ₃Ｈであり；Ａ
は、水素、Ｆ、Ｃｌ、ＢｒまたはＩであり；Ｂは、Ｏ、
Ｓ、ＳｅまたはＴｅであり；Ｄは、ＯまたはＳであり；
ｎは、１ないし４の整数である。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明をさらに詳細に説明
する。

【００１５】本発明の有機金属発光物質は、前記一般式
（Ｉ）の８−ヒドロキシキノリン金属錯体、前記一般式
（II）の８−ヒドロキシキノリナト−５−スルホナト金
属錯体、前記一般式（III）のベンゾオキサゾールまた
はベンズチアゾール金属錯体、前記一般式（IV）のベン
ゾトリアゾール金属錯体および前記一般式（Ｖ）のベン
ゾキノリン金属錯体を含む。

【００１６】本発明の有機金属発光物質のうち好ましい
化合物を表１に示す。

【００１７】

【表１】

【００１８】前記本発明の有機金属化合物は、適当な溶
媒中でリガンドとして作用する有機化合物と適当な金属
化合物を反応させることによって製造することができ
る。

【００１９】本発明に使用することができる溶媒として
は、水、エタノール、メタノール、プロパノールなどが
ある。

【００２０】本発明の有機金属発光化合物の製造に使用
することができる化合物の例は、ＬｉＯＨ、ＮａＯＨ、
ＫＯＨ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＬｉＣｌ、ＺｒＣｌ₄、Ｓ
ｎＣｌ₄、ＴｉＣｌ₄、ＳｉＣｌ₄、ＢｅＣｌ₂、ＭｇＣｌ
₂、ＡｌＣｌ₃、ＣａＣｌ₂、ＺｎＣｌ₂などがある。

【００２１】本発明にリガンドとして使用することがで
きる有機化合物の例は、２−（２−ヒドロキシフェニ
ル）ベンゾオキサゾール、８−ヒドロキシキノリン、８
−ヒドロキシキノリン−５−スルホン酸、２−（２−ベ
ンゾトリアゾリル）−ｐ−クレゾール、１０−ヒドロキ
シベンゾキノリンなどを含む。

【００２２】本発明の有機金属化合物を製造するための
有機および金属化合物の反応は、ｎによって決定される
モル当量比で、２５ないし１００℃で、１ないし２４時
間反応させることにより行うことができる。

【００２３】一般式（II）の８−ヒドロキシキノリン−
５−スルホナト金属誘導体の製造時には、８−ヒドロキ
シキノリン−５−スルホン酸とＭ₂化合物を反応させて
一般式（VI）の８−ヒドロキシキノリン−５−スルホナ
ト誘導体を得る。次いで、一般式（VI）の化合物をＭ₃
化合物と反応させて一般式（II）の８−ヒドロキシキノ
リン−５−スルホナト誘導体を得る。

【００２４】代替的に、一般式（II）の８−ヒドロキシ
キノリン−５−スルホナト金属誘導体は乾式工程によっ
て製造することができる。すなわち、一般式（VI）の化
合物と一般式（VII）の化合物をそれぞれ基板上に蒸着
またはコーティングした後、減圧（約１０^-6トール）
下、１５０ないし４５０℃でｉｎ ｓｉｔｕ反応させて
もよい。反応式１のスルホン酸基の金属化反応が起るに
従って発光は青色に推移（ｂｌｕｅ ｓｈｉｆｔ）す
る。たとえば、一般式（VI）の化合物の最大発光波長は
５１０ｎｍである反面、一般式（II）の化合物の最大発
光波長は４６０ｎｍである。

【００２５】

【化１４】

【００２６】前記式で、Ｍ²、Ｍ³およびｎは前記で定義
した通りであり、Ｚはハロゲン原子またはヒドロキシ基
である。

【００２７】本発明の有機金属錯体は、有機発光物質と
してだけでなく、発光ドーピング物質（ｌｕｍｉｎｅｓ
ｃｅｎｔ ｄｏｐｉｎｇ ｍａｔｅｒｉａｌ）として使用
できる。たとえば、発光効率のよい青色有機発光層にこ
の錯体を２％程度の少量ドーピングすれば、発光色が青
色から薄い青色または緑色に変わる。したがって、発光
波長を調節することが可能な効率のよい電気発光素子を
製造することができる。

【００２８】本発明の有機発光素子は、単一層の形態、
または正孔輸送層もしくは電子輸送層とともに二重層ま
たは多重層の形態の有機薄膜を含む構造を有していても
よい。この際、本発明の有機金属発光物質は単独で、ま
たは高分子もしくは無機化合物と共に、または高分子に
ドーピングして得られる蛍光体薄膜として使用すること
ができる。

【００２９】本発明の電気発光素子の一態様は図１
（Ａ）に示すような単一有機層を有する。前記素子は、
ガラス基板１、陽極透明電極層２であるインジウム−ス
ズ−酸化物（以下、ＩＴＯという）層、本発明の有機発
光物質を含有する有機発光層３および金属電極（陰極）
層４が順次的に積層された構造を有する。本発明の素子
の他の態様は図１（Ｂ）に示すように追加的な正孔輸送
層３１を有するか、図１（Ｃ）に示すように追加的な電
子輸送層３２を更に有していてもよい。本発明の電気発
光素子は、直流または交流で動作するが、直流を用いる
ことが好ましい。

【００３０】本発明の有機発光層は、スピンコーティン
グのような湿式方法および蒸着、真空熱蒸着、スパッタ
リングおよび電子ビーム蒸着法のような乾式方法によっ
て形成することができる。

【００３１】本発明の新規な有機金属発光物質は、青
色、緑色または赤色発光が可能であり、１価の金属を含
む錯体の場合は高温でも安定であり、青色発光などの優
れた発光特性を有する。

【００３２】

【実施例】以下、本発明を下記実施例によってさらに詳
細に説明する。ただし、下記実施例は本発明を例示する
のみであり、本発明の範囲を制限しない。

【００３３】実施例１：化合物１３の製造 ２−（２−ヒドロキシフェニル）ベンゾオキサゾールと
水酸化リチウムを１：１のモル比でエタノール２５０ｍ
ｌに加えて７８℃で４時間還流した。反応混合物を濾過
し、溶媒および水分を減圧下で除去して目的とする一般
式（VIII）の２−（２−ヒドロキシフェニル）ベンゾオ
キサゾール−リチウム錯体（化合物１３）を得た。

【００３４】

【化１５】

【００３５】図２に、前記で製造した錯体の発光スペク
トルを示す。

【００３６】実施例２ ＩＴＯを陽極透明電極としてコーティングして得られた
ＩＴＯガラスを一定な形にフォトリソグラフィーし、パ
ターン化されたＩＴＯガラスを非リン系界面活性剤、ア
セトンおよびエタノールを含む溶液で洗浄した。

【００３７】次いで、一般式（IX）のポリエーテルイミ
ドおよび一般式（Ｘ）のトリフェニルジアミンの混合物
を５０：５０の重量比でクロロホルムに０．５ｗｔ％の
濃度に溶解した後、この混合液を前記ＩＴＯガラス上に
スピンコーティングして正孔輸送層を製造した。

【００３８】

【化１６】

【００３９】

【化１７】

【００４０】前記正孔輸送層上に、発光物質として前記
実施例１で製造した２−（２−ヒドロキシフェニル）ベ
ンゾオキサゾールリチウム錯体を約２０ｎｍ厚さに真空
蒸着して有機発光層を形成した後、アルミニウムを約５
００ｎｍ厚さに蒸着して金属電極層を形成した。次い
で、素子をパッケージングして有機電気発光素子を製造
した。

【００４１】前記製造された有機電気発光素子の発光特
性を図３、４および５に示す。図３は、本発明によって
製造された有機電気発光素子の印加電圧による電流密度
（Ａ／ｍ²）（３−１）および電気発光強度（ｃｄ／
ｍ²）（３−２）であって、電流注入は約６Ｖ程度から
始まるが、ターンオン電圧は約７ないし８Ｖであり、約
１１Ｖの電圧で５００ｃｄ／ｍ2の明るさを示した。

【００４２】図４（Ａ）および４（Ｂ）は、各々前記有
機電気発光素子の電流密度（Ａ／ｍ ²）および電気発光
強度（ｃｄ／ｍ²）による発光効率曲線であって、電流
密度が約２００Ａ／ｍ²を超える領域では発光効率が約
１．２ｌｍ／Ｗと一定であった。

【００４３】図５は、本発明によって製造された有機電
気発光素子の種々の印加電圧（８、９、１０、１１、１
２および１３Ｖ）における電気発光スペクトル結果であ
って、主ピークは約４５６ｎｍにおいて認められ、４３
０および４８７ｎｍにおいてショルダー（ｓｈｏｕｌｄ
ｅｒ）ピークが認められた。全体的に見える電気発光色
は青色であった。

【００４４】実施例３：化合物５および６の製造 ８−ヒドロキシキノリン−５−スルホン酸と水酸化リチ
ウムを１：１のモル比でエタノール２５０ｍｌに加えて
７８℃で４時間還流した。反応混合物を濾過して過剰量
の水に溶解した。次いで、水分を減圧下で除去して８−
ヒドロキシキノリナト−（５−スルホン酸）−リチウム
錯体（ＬｉＱＳＡ）を得た。

【００４５】このように得られたＬｉＱＳＡと（または
ＮａＯＨ）を１：１のモル比でエタノール１００ｍｌに
加えて室温で１時間反応させた。反応混合物から沈澱物
を分離し、減圧下で２４時間乾燥して最終生成物である
８−ヒドロキシキノリナト（５−スルホナトリチウム
塩）−リチウム錯体（ＬｉＱＳＬｉ、化合物５）および
８−ヒドロキシキノリン−（５−スルホナトナトリウム
塩）−ナトリウム錯体（ＬｉＱＳＮａ、化合物６）を各
々得た。合成された錯体の最大発光波長および発光色を
表１に示す。

【００４６】実施例４：化合物７および８の製造 ８−ヒドロキシキノリン−５−スルホン酸と水酸化ナト
リウム（ＮａＯＨ）を１：１のモル比でエタノール２５
０ｍｌに加えて７８℃で４時間還流した。反応混合物を
濾過して過剰量の水に溶解した。次いで、水分を減圧下
で除去して８−ヒドロキシキノリナト−（５−スルホナ
ト）−ナトリウム錯体（ＮａＱＳＡ）を得た。

【００４７】このように得られたＮａＱＳＡとＬｉＯＨ
（またはＮａＯＨ）を１：１のモル比でエタノール１０
０ｍｌに加えて室温で１時間反応させた。反応混合物か
ら沈澱物を分離し、減圧下で２４時間乾燥して最終生成
物である８−ヒドロキシキノリナト（５−スルホナトリ
チウム塩）−ナトリウム錯体（ＮａＱＳＬｉ、化合物
７）および８−ヒドロキシキノリナト（５−スルホナト
ナトリウム塩）−ナトリウム錯体（ＮａＱＳＮａ、化合
物８）を得た。合成された錯体の最大発光波長および発
光色を表１に示す。

【００４８】実施例５：化合物９および１０の製造 ８−ヒドロキシキノリン−５−スルホン酸と塩化亜鉛
（ＺｎＣｌ₂）を２：１のモル比でエタノール２５０ｍ
ｌに加えて７８℃で４時間還流した。反応混合物を濾過
して過剰量の水に溶解した。次いで、水分を減圧下で除
去してビス（８−ヒドロキシキノリナト−５−スルホン
酸）−亜鉛錯体（Ｚｎ（ＱＳＡ）₂）を得た。

【００４９】このように得られたＺｎ（ＱＳＡ）₂とＬ
ｉＯＨ（またはＮａＯＨ）を１：２のモル比でエタノー
ル１００ｍｌに加えて室温で１時間反応させた。反応混
合物から沈澱物を分離し、減圧下で２４時間乾燥して最
終生成物であるビス（８−ヒドロキシキノリナト−５−
スルホナトリチウム塩）−亜鉛錯体（Ｚｎ（ＱＳＬｉ）
₂、化合物９）およびビス（８−ヒドロキシキノリナト
−（５−スルホナトナトリウム塩）−亜鉛錯体（Ｚｎ
（ＱＳＮａ）₂、化合物１０）を得た。合成された錯体
の最大発光波長および発光色を表１に示す。

【００５０】実施例６：化合物１１および１２の製造 ８−ヒドロキシキノリン−５−スルホン酸とＡｌＣｌ₂
を３：１のモル比でエタノール２５０ｍｌに加えて７８
℃で４時間還流した。反応混合物を濾過して過剰量の水
に溶解した。次いで、水分を減圧下で除去してトリス
（８−ヒドロキシキノリナト−５−スルホン酸）アルミ
ニウム（Ａｌ（ＱＳＡ）₃）を得た。

【００５１】このように得られたＡｌ（ＱＳＡ）₃とＬ
ｉＯＨ（またはＮａＯＨ）を１：３のモル比でエタノー
ル１００ｍｌに加えて室温で１時間反応させた。反応混
合物から沈澱物を分離し、減圧下で２４時間乾燥して最
終生成物であるトリス（８−ヒドロキシキノリン−５−
スルホナトリチウム塩）アルミニウム錯体（Ａｌ（ＱＳ
Ｌｉ）₃、化合物１１）およびトリス（８−ヒドロキシ
キノリン−（５−スルホナトナトリウム塩）アルミニウ
ム錯体（Ｚｎ（ＱＳＮａ）₃、化合物１２）を得た。合
成された錯体の最大発光波長および発光色を表１に示
す。

【００５２】実施例７：化合物１４の製造 ２−（２−ヒドロキシフェニル）ベンゾオキサゾールと
ＮａＯＨを１：１のモル比でエタノール２５０ｍｌに加
えて７８℃で４時間還流した。反応混合物を濾過し、残
存溶媒および水分を減圧下で除去して目的とする２−
（２−ヒドロキシフェニル）ベンゾオキサゾール−ナト
リウム錯体（化合物１４）を得た。合成された錯体の最
大発光波長および発光色を表１に示す。

【００５３】実施例８：化合物１５および１６の製造 ２−（２−ヒドロキシベンゾトリアゾール）−ｐ−クレ
ゾールとＬｉＯＨ（またはＮａＯＨ）を１：１のモル比
でエタノール２５０ｍｌに加えて７８℃で４時間還流し
た。反応混合物を濾過し、残存溶媒および水分を減圧下
で除去して目的とする２−（２−ヒドロキシベンゾトリ
アゾール）ｐ−クレゾール−リチウム錯体（ＬｉＢＴＺ
Ｃ、化合物１５）および２−（２−ヒドロキシベンゾト
リアゾール）−ｐ−クレゾール−ナトリウム錯体（Ｎａ
ＢＴＺＣ、化合物１６）を製造した。合成された錯体の
最大発光波長および発光色を表１に示す。

【００５４】実施例９：化合物１７および１８の製造 １０−ヒドロキシキノリンとＬｉＯＨ（またはＮａＯ
Ｈ）を１：１のモル比でエタノール２５０ｍｌに加えて
７８℃で４時間還流した。反応混合物を濾過し、残存溶
媒および水分を減圧下で除去して目的とする１０−ヒド
ロキシキノリン−リチウム錯体（ＬｉＢＱ、化合物１
７）および１０−ヒドロキシキノリン−ナトリウム錯体
（ＮａＢＱ、化合物１８）を製造した。合成された錯体
の最大発光波長および発光色を表１に示す。

【００５５】実施例１０：化合物３の製造 ８−ヒドロキシキノリンとＺｒＣｌ4を４：１のモル比
でエタノール２５０ｍｌに加えて７８℃で４時間還流し
た。反応混合物を濾過し、水分を減圧下で除去して最終
化合物であるテトラ（８−ヒドロキシキノリナト）−ジ
ルコニウム錯体（ＺｒＱ４、化合物３）を得た。合成さ
れた錯体の最大発光波長および発光色を表１に示す。

【００５６】

【発明の効果】前記結果から分かるように、本発明の有
機金属発光物質は、高効率な青色、緑色または赤色光の
発光特性を有する。したがって、これを含有する有機電
気発光素子は高効率で可視光線領域のいずれの色相も実
現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】単一層、二重層および多重層構造の有機薄膜を
有する、本発明によって製造された有機電気発光素子の
構造を示す図。

【図２】本発明の実施例１の有機金属発光物質の発光ス
ペクトルを示す図。

【図３】本発明の実施例２の有機電気発光素子の印加電
圧による電流密度曲線および電気発光強度曲線を示す
図。

【図４】本発明の実施例２の有機電気発光素子の電流密
度および電気発光強度による発光効率曲線を示す図。

【図５】本発明の実施例２の有機電気発光素子の種々の
印加電圧における電気発光スペクトルを示す図。

【符号の説明】

１…ガラス基板 ２…陽極透明電極層 ３…有機発光層 ４…金属電極（陰極）層 ３１…正孔輸送層 ３２…電子輸送層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/10 Ｈ０５Ｂ 33/10 33/14 33/14 Ｂ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一般式（Ｉ）ないし（Ｖ）の化合物から
   なる群から選ばれた有機金属発光物質。 【化１】 【化２】 【化３】 【化４】 【化５】 前記式で、Ｍ¹およびＭ⁴は、互いに独立的にＬｉ、Ｎ
   ａ、Ｋ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｃｓ、Ｆｒ、Ｒｂ、
   Ｈｆ、Ｐｒ、Ｐａ、Ｇｅ、Ｐｂ、ＴｍおよびＭｄからな
   る群から選ばれた１価または４価金属であり；Ｍ²は、
   Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｂｅ、Ｇａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ａ
   ｌ、Ｃｓ、Ｆｒ、Ｒｂ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｔｉ、Ｃ
   ｕ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｈｆ、Ｐｒ、Ｐａ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐ
   ｂ、ＴｍおよびＭｄからなる群から選ばれた１価、２
   価、３価または４価金属であり；Ｍ³は、Ｌｉ⁺、Ｎ
   ａ⁺、Ｋ⁺、Ｃｓ⁺、Ｆｒ⁺、Ｒｂ⁺、Ｃａ²⁺、Ｂｅ²⁺、Ｇ
   ａ³⁺、Ｚｎ²⁺、Ａｌ³⁺、Ｍｇ²⁺、Ｍｎ²⁺、Ｔｉ²⁺および
   Ｃｕ²⁺からなる群から選ばれ；Ｒは、水素またはＣ_1-10
   アルキル基であり；ＸおよびＹは、互いに独立的に水
   素、Ｃｌ、Ｆ、Ｉ、ＢｒまたはＳＯ₃Ｈであり；Ａは、
   水素、Ｆ、Ｃｌ、ＢｒまたはＩであり；Ｂは、Ｏ、Ｓ、
   ＳｅまたはＴｅであり；Ｄは、ＯまたはＳであり；ｎ
   は、１ないし４の整数である。
2. 【請求項２】 一般式（VI）の８−ヒドロキシキノリン
   −５−スルホン酸金属錯体および一般式（VII）の金属
   錯体の各々を蒸着またはコーティングして反応させる工
   程によって、一般式（II）の８−ヒドロキシキノリン−
   ５−スルホナト金属錯体を製造する方法。 【化６】 【化７】 【化８】 前記式で、Ｍ₂、Ｍ₃、Ｒおよびｎは請求項１で定義した
   通りであり、Ｚはハロゲン原子またはヒドロキシ基であ
   る。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の有機金属発光物質を有
   機発光層に含む有機電気発光素子。
4. 【請求項４】 前記有機金属発光物質が単独で、または
   高分子もしくは無機化合物との混合物の形態、または高
   分子中のドーパントの形態で存在することを特徴とする
   請求項３に記載の有機電気発光素子。
5. 【請求項５】 前記有機発光層が、スピンコーティン
   グ、蒸着法、真空熱蒸着法、スパッタリングまたは電子
   ビーム蒸着法によって蒸着されたことを特徴とする請求
   項３に記載の有機電気発光素子。