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DE69015721D1 - Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Schaltung. - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Schaltung.

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DE69015721D1
DE69015721D1 DE69015721T DE69015721T DE69015721D1 DE 69015721 D1 DE69015721 D1 DE 69015721D1 DE 69015721 T DE69015721 T DE 69015721T DE 69015721 T DE69015721 T DE 69015721T DE 69015721 D1 DE69015721 D1 DE 69015721D1
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DE
Germany
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manufacturing
superconducting circuit
superconducting
circuit
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DE69015721T
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Shoji Shiga
Koki Sato
Nakahiro Harada
Kiyoshi Yamamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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    • H10N60/00—Superconducting devices
    • H10N60/01—Manufacture or treatment
    • H10N60/0268—Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
    • H10N60/0661—Processes performed after copper oxide formation, e.g. patterning

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