CN110799885A - 光学组件 - Google Patents

Abstract

本发明的光学组件包括反射镜单元和分束器单元。反射镜单元包括具有主面的基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部。分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第1固定反射镜的反射镜面沿着与主面平行的平面，且朝向与主面垂直的第1方向上的一侧。可动反射镜和驱动部、以及分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。

Description

光学组件

技术领域

本发明涉及光学组件。

背景技术

已知有利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统)技术而在SOI(Silicon On Insulator，硅绝缘体)基片上形成有干涉光学系统的光学组件(例如参照专利文献1)。此种光学组件可提供实现高精度的光学配置的FTIR(Fourier TransformInfrared Spectroscopy，傅立叶变换红外光谱仪)，因此受到关注。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特表2012-524295号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，在如上所述的光学组件中，例如在可动反射镜的反射镜面尺寸依存于对SOI基片进行深挖加工的达成度的方面，存在如下问题。即，由于对SOI基片的深挖加工的达成度最大仅为500μm左右，因而可动反射镜的反射镜面的大型化导致FTIR的灵敏度提升受到限制。另一方面，若可动反射镜伴随反射镜面大型化而大型化，则有可动反射镜的可动性能降低、模块整体大型化的担忧。

本发明的目的在于提供一种能够实现可动反射镜的反射镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能降低和模块整体大型化的光学组件。

用于解决课题的技术方案

本发明的一个方式的光学组件包括反射镜单元和分束器单元，其中反射镜单元包括：具有主面的基体；具有沿着与主面平行的平面的反射镜面的可动反射镜，其以可沿与主面垂直的第1方向移动的方式被支承于基体；具有沿着与主面平行的平面的反射镜面的第1固定反射镜，其相对于基体的位置被固定；和使可动反射镜沿第1方向移动的驱动部，分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统，可动反射镜的镜面和第1固定反射镜的镜面朝向第1方向上的一侧，在反射镜单元中，可动反射镜和驱动部、以及分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。

在该光学组件中，可动反射镜具有沿与基体的主面平行的平面的镜面。由此，能够实现可动反射镜的镜面的大型化。并且，在反射镜单元中，可动反射镜和驱动部配置于气密空间。由此，使可动反射镜移动的驱动部不易受到外部环境的影响，因此能够抑制可动反射镜的可动性能降低。进而，可动反射镜的镜面和第1固定反射镜的镜面朝向第1方向上的一侧。由此，与例如可动反射镜的镜面和第1固定反射镜的镜面处于彼此正交的位置关系的情况相比，能够抑制第1方向上的反射镜单元的高度。而且，分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。由此，能够抑制与第1方向垂直的方向上的反射镜单元的宽度。综上所述，根据该光学组件，能够实现可动反射镜的镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括具有透光性的支承体，基体被支承体支承，第1固定反射镜配置于支承体的与基体相反的一侧的表面，且支承体修正分束器单元与可动反射镜间的第1光路、以及分束器单元与第1固定反射镜间的第2光路之间的光程差。由此，能够容易且高精度地获得检测光的干涉光。而且，无须另外设置修正光程差的透光部件。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括收容基体、可动反射镜、第1固定反射镜、驱动部和支承体的封装体，封装体包括具有透光性的壁，分束器单元被壁支承，且气密空间由封装体形成。由此，通过包括具有透光性的壁的简易封装体而同时实现气密空间的形成和分束器单元的支承。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括收容基体、可动反射镜、第1固定反射镜、驱动部和支承体的封装体，封装体包括形成有供第1光路和第2光路通过的至少1个开口的壁，分束器单元以封闭至少1个开口的状态被壁支承，且气密空间由封装体和分束器单元形成。由此，利用包括形成有至少1个开口的壁的简易封装体而同时实现气密空间的形成和分束器单元的支承。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括收容基体、可动反射镜、第1固定反射镜、驱动部和支承体的封装体、以及支承分束器单元的支承结构，封装体包括具有透光性的壁，分束器单元以与壁隔开间隔的状态被支承结构支承，且气密空间由封装体形成。由此，支承分束器单元的支承结构与封装体分开设置，因此可提升分束器单元的布局的自由度。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括具有透光性的壁，分束器单元被壁支承，且气密空间由基体、支承体和壁形成。由此，基体和支承体用作形成气密空间的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体和支承体的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括形成有供第1光路和第2光路通过的至少1个开口的壁，分束器单元以封闭至少1个开口的状态被壁支承，且气密空间由基体、支承体、壁和分束器单元形成。由此，基体和支承体用作形成气密空间的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体和支承体的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括具有透光性的壁和支承分束器单元的支承结构，分束器单元以与壁隔开间隔的状态被支承结构支承，且气密空间由基体、支承体和壁形成。由此，基体和支承体用作形成气密空间的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体和支承体的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。并且，反射镜单元除包括具有透光性的壁，还另外包括支承分束器单元的支承结构，因此能够提升分束器单元的布局的自由度。

在本发明的一个方式的光学组件中，在反射镜单元中，可动反射镜的镜面和第1固定反射镜的镜面也可以沿着与主面平行的同一平面配置，且分束器单元修正分束器单元与可动反射镜间的第1光路、以及分束器单元与第1固定反射镜间的第2光路之间的光程差。由此，与例如另外设置修正光程差的透光部件的情形相比，能够抑制第1方向上的反射镜单元的高度。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括收容基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部的封装体，封装体包括具有透光性的壁，分束器单元被壁支承，且气密空间由封装体形成。由此，能够包括具有透光性的壁的简易封装体而同时实现气密空间的形成和分束器单元的支承。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括收容基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部的封装体，封装体包括形成有供第1光路和第2光路通过的至少1个开口的壁，分束器单元以封闭至少1个开口的状态被壁支承，且气密空间由封装体和分束器单元形成。由此，通过包括形成有至少1个开口的壁的简易封装体而同时实现气密空间的形成和分束器单元的支承。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括收容基体、可动反射镜、第1固定反射镜和驱动部的封装体，封装体包括具有透光性的壁和支承分束器单元的支承结构，分束器单元以与壁分开的状态由支承结构支承，且气密空间由封装体形成。由此，封装体除了包括具有透光性的壁之外，还另外包括支承分束器单元的支承结构，因此能够提升分束器单元的布局的自由度。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括具有透光性的壁，分束器单元被壁支承，且气密空间由基体和壁形成。由此，基体用作形成气密空间的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括形成有供第1光路和第2光路通过的至少1个开口的壁，分束器单元以封闭至少1个开口的状态被壁支承，且气密空间由基体、壁和分束器单元形成。由此，基体用作形成气密空间的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括具有透光性的壁和支承分束器单元的支承结构，分束器单元以与壁分开的状态由支承结构支承，且气密空间由基体和壁形成。由此，基体用作形成气密空间的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。并且，反射镜单元除包括具有透光性的壁外，还另外包括支承分束器单元的支承结构，因此能够提升分束器单元的布局的自由度。

本发明的一个方式的光学组件也可以还包括：配置成使得检测光从外部入射至第1干涉光学统的检测光入射部；和配置成使得检测光从第1干涉光学统出射至外部的检测光出射部。由此，能够获得包括检测光入射部和检测光出射部的FTIR。

在本发明的一个方式的光学组件中，分束器单元也可以与可动反射镜和第1固定反射镜共同针对激光构成第2干涉光学统。由此，通过检测激光的干涉光，能够精度良好地计测可动反射镜的镜面的位置。并且，分束器单元与可动反射镜和第1固定反射镜一起构成对于检测光的第1干涉光学统和对于激光的第2干涉光学统。因此，能够减少反射镜单元中的零件个数。

在本发明的一个方式的光学组件中，反射镜单元也可以还包括第2固定反射镜，该第2固定反射镜具有沿着与主面平行的平面的镜面，且相对于基体的位置被固定，且分束器单元与可动反射镜和第2固定反射镜一起针对激光构成第2干涉光学统，第2固定反射镜的镜面朝向第1方向上的一侧，在反射镜单元中，可动反射镜和驱动部、分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分、以及分束器单元与第2固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。由此，通过检测激光的干涉光而能够精度良好地计测可动反射镜的镜面的位置。并且，第2固定反射镜的镜面与第1固定反射镜的镜面同样地朝向第1方向上的一侧。因此，与例如可动反射镜的镜面和第2固定反射镜的镜面处于彼此正交的位置关的情形相比，能够抑制第1方向上的反射镜单元的高度。而且，分束器单元与第2固定反射镜之间的光路的至少一部分、分束器单元与第1固定反射镜之间的光路的至少一部分同样地配置于气密空间。由此，能够抑制与第1方向垂直的方向上的反射镜单元的宽度。

本发明的一个方式的光学组件也可以还包括：产生要向第2干涉光学统入射的激光的光源；和检测自第2干涉光学统出射的激光的光检测器。由此，通过检测激光而能够精度良好地计测可动反射镜的位置，因此能够获得更高精度的FTIR。

在本发明的一个方式的光学组件中，基体、可动反射镜的可动部、和驱动部也可由SOI基片构成。由此，能够通过SOI基片较佳地实现用以使可动反射镜可靠地移动的构成。

发明效果

根据本发明，能够提供可实现可动反射镜的反射镜面的大型化，同时抑制可动反射镜的可动性能的降低和模块整体的大型化的光学组件。

附图说明

图1是第1实施方式的光学组件的纵剖视图。

图2是图1所示的光学组件所具有的光学装置的纵剖视图。

图3是图2所示的光学装置的俯视图。

图4是图1所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图5是第2实施方式的光学组件的纵剖视图。

图6是图5所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图7是第3实施方式的光学组件的纵剖视图。

图8是图7所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图9是第4实施方式的光学组件的纵剖视图。

图10是图9所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图11是图9所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图12是第5实施方式的光学组件的纵剖视图。

图13是图12所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图14是第6实施方式的光学组件的纵剖视图。

图15是图14所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图16是第7实施方式的光学组件的纵剖视图。

图17是图16所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图18是第8实施方式的光学组件的纵剖视图。

图19是图18所示的光学组件的变形例的纵剖视图。

图20是图7～图11所示的光学器件的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。其中，在各图中对相同或相当的部分标注相同的附图标记，省略重复的部分。

[第1实施方式]

[光学组件的结构]

如图1所示，光学组件1A包括反射镜单元2和分束器单元3。反射镜单元2包括光学器件10和固定反射镜(第1固定反射镜)21。光学器件10包括可动反射镜11。在光学组件1A中，利用分束器单元3、可动反射镜11和固定反射镜21对检测光L0构成干涉光学系统(第1干涉光学系统)I1。此处，干涉光学系统I1是迈克尔逊干涉光学系统。

光学器件10除包括可动反射镜11以外，还包括基体12、驱动部13、第1光学功能部17和第2光学功能部18。基体12具有主面12a。可动反射镜11具有沿与主面12a平行的平面的反射镜面11a。可动反射镜11以可沿与主面12a垂直的Z轴方向(与Z轴平行的方向、第1方向)移动的方式支承于基体12。驱动部13使可动反射镜11沿Z轴方向移动。自Z轴方向观察时，第1光学功能部17配置于与Z轴方向垂直的X轴方向(与X轴平行的方向、第2方向)上的可动反射镜11的一侧。自Z轴方向观察时，第2光学功能部18配置于X轴方向上的可动反射镜11的另一侧。第1光学功能部17和第2光学功能部18各自为设置于基体12的光通过开口部，在Z轴方向上的一侧和另一侧开口。

固定反射镜21具有沿与主面12a平行的平面的反射镜面21a。固定反射镜21相对于基体12的位置被固定。在反射镜单元2中，可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜21的反射镜面21a朝向Z轴方向上的一侧(分束器单元3侧)。

反射镜单元2除了包括光学器件10和固定反射镜21之外，还包括支承体22、子安装基片23和封装体24。封装体24收容光学器件10(可动反射镜11、基体12和驱动部13)、固定反射镜21、支承体22和子安装基片23。封装体24包括底壁241、侧壁242和顶壁(壁)243。封装体24例如形成为长方体箱状。封装体24例如具有30×25×10(厚度)mm左右的尺寸。底壁241和侧壁242一体形成。顶壁243在Z轴方向上与底壁241相对，气密地固定于侧壁242。顶壁243对检测光L0具有透光性。在反射镜单元2中，利用封装体24形成有气密空间S。气密空间S例如为维持高真空度的气密空间、或者填充有氮气等惰性气体的气密空间。

在底壁241的内表面，经由子安装基片23固定有支承体22。支承体22例如形成为矩形板状。支承体22对检测光L0具有透光性。在支承体22的与子安装基片23相反一侧的表面22a，固定有光学器件10的基体12。即，基体12被支承体22支承。在支承体22的表面22a形成有凹部22b，在光学器件10与顶壁243之间形成有间隙(气密空间S的一部分)。由此，防止当可动反射镜11沿Z轴方向移动时，可动反射镜11和驱动部13与支承体22和顶壁243接触。

在子安装基片23形成有开口23a。固定反射镜21以位于开口23a内的方式配置于支承体22中的子安装基片23一侧的表面22c。即，固定反射镜21配置于支承体22的与基体12相反一侧的表面22c。自Z轴方向观察时，固定反射镜21配置于X轴方向上的可动反射镜11的一侧。自Z轴方向观察时，固定反射镜21与光学器件10的第1光学功能部17重叠。

反射镜单元2还包括多个引线接脚25和多根导线26。各引线接脚25以贯通底壁241的状态气密地固定于底壁241。各引线接脚25经由导线26与驱动部13电连接。在反射镜单元2中，用于使可动反射镜11沿Z轴方向移动的电信号经由多个引线接脚25和复数根导线26被赋予至驱动部13。

分束器单元3被封装体24的顶壁243支承。具体而言，分束器单元3被光学树脂4固定于顶壁243的与光学器件10相反一侧的表面243a。光学树脂4对检测光L0具有透光性。

分束器单元3包括半反射镜面31、全反射镜面32和多个光学面33a、33b、33c、33d。分束器单元3是将多个光学区块接合而构成的。半反射镜面31例如由电介质多层膜形成。全反射镜面32例如由金属膜形成。

光学面33a例如为与Z轴方向垂直的面，自Z轴方向观察时，与光学器件10的第1光学功能部17和固定反射镜21的反射镜面21a重叠。光学面33a使沿Z轴方向入射的检测光L0透射。

半反射镜面31例如为相对于光学面33a倾斜45°的面，自Z轴方向观察时，与光学器件10的第1光学功能部17和固定反射镜21的反射镜面21a重叠。半反射镜面31将沿Z轴方向入射至光学面33a的检测光L0的一部分沿X轴方向反射且使该检测光L0的剩余部分沿Z轴方向透过至固定反射镜21一侧。

全反射镜面32为与半反射镜面31平行的面，自Z轴方向观察时，与可动反射镜11的反射镜面11a重叠，且自X轴方向观察时，与半反射镜面31重叠。全反射镜面32将被半反射镜面31反射的检测光L0的一部分沿Z轴方向反射至可动反射镜11一侧。

光学面33b为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时，与可动反射镜11的反射镜面11a重叠。光学面33b使被全反射镜面32反射的检测光L0的一部分沿Z轴方向透射至可动反射镜11一侧。

光学面33c为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时，与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。光学面33c使从半反射镜面31透射的检测光L0的剩余部分沿Z轴方向透射至固定反射镜21一侧。

光学面33d例如为与X轴方向垂直的面，自X轴方向观察时，与半反射镜面31和全反射镜面32重叠。光学面33d使检测光L1沿X轴方向透射。检测光L1为依次被可动反射镜11的反射镜面11a和全反射镜面32反射并从半反射镜面31透射的检测光L0的一部分、与依次被固定反射镜21的反射镜面21a和半反射镜面31反射的检测光L0的剩余部分的干涉光。

在以如上方式构成的光学组件1A中，当检测光L0自光学组件1A的外部经由光学面33a入射至分束器单元3时，检测光L0的一部分依次被半反射镜面31和全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。然后，检测光L0的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(下述光路P1)上向反方向行进，从分束器单元3的半反射镜面31透射。

另一方面，检测光L0的剩余部分在从分束器单元3的半反射镜面31透射后，通过第1光学功能部17，进而从支承体22透射而朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。然后，检测光L0的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(下述光路P2)上向反方向行进，被分束器单元3的半反射镜面31反射。

从分束器单元3的半反射镜面31透射的检测光L0的一部分与被分束器单元3的半反射镜面31反射的检测光L0的剩余部分成为干涉光即检测光L1，检测光L1从分束器单元3经由光学面33d出射至光学组件1A的外部。根据光学组件1A，能够使可动反射镜11沿Z轴方向高速往返移动，因此能够提供小型且高精度的FTIR。

支承体22对分束器单元3与可动反射镜11间的光路(第1光路)P1、分束器单元3与固定反射镜21间的光路(第2光路)P2之间的光程差进行修正。具体而言，光路P1为自半反射镜面31起，依次经由全反射镜面32和光学面33b而到达基准位置的可动反射镜11的反射镜面11a的光路，且为检测光L0的一部分行进的光路。光路P2为自半反射镜面31起，依次经由光学面33c和第1光学功能部17而到达固定反射镜21的反射镜面21a的光路，且为检测光L0的剩余部分行进的光路。支承体22以使光路P1的光程长度(考虑到光路P1所通过的各介质的折射率的光程长度)与光路P2的光程长度(考虑到光路P2所通过的各介质的折射率的光程长度)的差变小的方式对光路P1与光路P2之间的光程差进行修正。支承体22例如能够由与构成分束器单元3的各光学区块相同的透光性材料形成。此时，支承体22的厚度(Z轴方向上的长度)能够设为等于X轴方向上的半反射镜面31与全反射镜面32的距离。其中，在反射镜单元2中，可动反射镜11、驱动部13、光路P1的一部分和光路P2的一部分配置于气密空间S。

[光学装置的结构]

如图2和图3所示，基体12、可动反射镜11的可动部、驱动部13和第1光学功能部17、第2光学功能部18包括SOI基片50。即，光学器件10包括SOI基片50。光学器件10例如形成为矩形板状。光学器件10例如具有15×10×0.3(厚度)mm左右的尺寸。SOI基片50包括支承层51、器件层52和中间层53。具体而言，支承层51为SOI基片50的第1硅层。器件层52为SOI基片50的第2硅层。中间层53为SOI基片50的绝缘层，配置在支承层51与器件层52之间。可动反射镜11和驱动部13通过MEMS技术(图案化和蚀刻)而一体形成于器件层52的一部分。

基体12由支承层51、器件层52和中间层53形成。基体12的主面12a为器件层52的与中间层53相反一侧的表面。在基体12中与主面12a相对的主面12b为支承层51的与中间层53相反一侧的表面。在光学组件1A中，基体12的主面12a与支承体22的表面22a彼此接合(参照图1)。

可动反射镜11包括作为可动部的主体部111和壁部112。主体部111由器件层52形成。在主体部111的主面12b侧的表面111a形成金属膜来设置反射镜面11a。壁部112由支承层51和中间层53形成。壁部112设置于主体部111的表面111a。自Z轴方向观察时，壁部112包围反射镜面11a。作为一例，壁部112以自Z轴方向观察时在主体部111的外缘的内侧沿该外缘的方式，且以自Z轴方向观察时在反射镜面11a的外缘的外侧沿该外缘的方式设置于主体部111的表面111a。

可动反射镜11还包括作为可动部的一对支架113和一对支架114。一对支架113和一对支架114由器件层52形成。一对支架113以在第1光学功能部17侧突出的方式设置于主体部111的侧面中的第1光学功能部17一侧的区域。自Z轴方向观察时，各支架113呈向同一侧屈曲成曲柄状的形状。一对支架114以在第2光学功能部18(与第1光学功能部17相反一侧)侧突出的方式设置于主体部111的侧面中的第2光学功能部18一侧的区域。自Z轴方向观察时，各支架114呈向同一侧(与各支架113相反一侧)屈曲成曲柄状的形状。

驱动部13包括第1弹性支承部14、第2弹性支承部15和致动器部16。第1弹性支承部14、第2弹性支承部15和致动器部16由器件层52形成。

第1弹性支承部14和第2弹性支承部15连接于基体12和可动反射镜11。第1弹性支承部14和第2弹性支承部15以可沿Z轴方向移动的方式支承可动反射镜11。

第1弹性支承部14包括一对第1杆141、一对第2杆142、多个扭杆143、144、145、多个连杆146、147和一对支架148。一对第1杆141自可动反射镜11沿基体12的主面12a延伸至与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向(与Y轴平行的方向、第3方向)上的第1光学功能部17的两侧。在本实施方式中，一对第1杆141自可动反射镜11与第1光学功能部17之间沿基体12的主面12a延伸至Y轴方向上的第1光学功能部17的两侧。自Z轴方向观察时，一对第1杆141沿第1光学功能部17的边缘延伸。一对第2杆142自Y轴方向上的第1光学功能部17的两侧沿基体12的主面12a延伸至可动反射镜11一侧。自Z轴方向观察时，一对第2杆142在一对第1杆141的外侧沿X轴方向延伸。

连杆146架设于各第1杆141的可动反射镜11一侧的端部141a间。连杆147架设于各第2杆142的与可动反射镜11相反一侧的端部142a间。自Z轴方向观察时，各连杆146、147沿第1光学功能部17的边缘延伸。一对支架148以在可动反射镜11侧突出的方式设置于连杆146的可动反射镜11一侧的侧面。自Z轴方向观察时，各支架148呈向同一侧(与各支架113相反一侧)屈曲成曲柄状的形状。一个支架148的前端部在Y轴方向上与一个支架113的前端部相对。另一个支架148的前端部在Y轴方向上与另一个支架113的前端部相对。

在一个支架148的前端部与一个支架113的前端部之间、和另一个支架148的前端部与另一个支架113的前端部之间，分别架设有扭杆143。在向彼此相反一侧屈曲成曲柄状的支架148与支架113之间，架设有扭杆143。即，各第1杆141的端部141a经由一对扭杆143连接于可动反射镜11。一对扭杆143配置于与Y轴方向平行的同一轴线上。

在一个第1杆141的与可动反射镜11相反一侧的端部141b与一个第2杆142的端部142a之间、和另一个第1杆141的与可动反射镜11相反一侧的端部141b与另一个第2杆142的端部142a之间，分别架设有扭杆144。即，各第1杆141的端部141b经由一对扭杆144连接于各第2杆142的端部142a。一对扭杆144配置于与Y轴方向平行的同一轴线上。

在一个第2杆142的可动反射镜11一侧的端部142b与基体12之间、和另一个第2杆142的可动反射镜11一侧的端部142b与基体12之间，分别架设有扭杆145。即，各第2杆142的端部142b经由一对扭杆145连接于基体12。一对扭杆145配置于与Y轴方向平行的同一轴线上。

第2弹性支承部15包括一对第3杆151、一对第4杆152、多个扭杆153、154、155、多个连杆156、157和一对支架158。一对第3杆151自可动反射镜11沿基体12的主面12a延伸至Y轴方向上的第2光学功能部18的两侧。在本实施方式中，一对第3杆151自可动反射镜11与第2光学功能部18之间延伸至Y轴方向上的第2光学功能部18的两侧。自Z轴方向观察时，一对第3杆151沿第2光学功能部18的边缘延伸。一对第4杆152自Y轴方向上的第2光学功能部18的两侧沿基体12的主面12a延伸至可动反射镜11一侧。自Z轴方向观察时，一对第4杆152在一对第3杆151的外侧沿X轴方向延伸。

连杆156架设于各第3杆151的可动反射镜11一侧的端部151a间。连杆157架设于各第4杆152的与可动反射镜11相反一侧的端部152a间。自Z轴方向观察时，各连杆156、157沿第2光学功能部18的边缘延伸。一对支架158以在可动反射镜11一侧突出的方式设置于连杆156的可动反射镜11侧的侧面。自Z轴方向观察时，各支架158呈向同一侧(但与各支架114相反一侧)屈曲成曲柄状的形状。一个支架158的前端部在Y轴方向上与一个支架114的前端部相对。另一个支架158的前端部在Y轴方向上与另一个支架114的前端部相对。

在一个支架158的前端部与一个支架114的前端部之间、和另一个支架158的前端部与另一个支架114的前端部之间，分别架设有扭杆153。在向彼此相反一侧屈曲成曲柄状的支架158与支架114之间，架设有扭杆153。即，各第3杆151的端部151a经由一对扭杆153连接于可动反射镜11。一对扭杆153配置于与Y轴方向平行的同一轴线上。

在一个第3杆151的与可动反射镜11相反一侧的端部151b与一个第4杆152的端部152a之间、和另一个第3杆151的与可动反射镜11相反一侧的端部151b与另一个第4杆152的端部152a之间，分别架设有扭杆154。即，各第3杆151的端部151b经由一对扭杆154连接于各第4杆152的端部152a。一对扭杆154配置于与Y轴方向平行的同一轴线上。

在一个第4杆152的可动反射镜11一侧的端部152b与基体12之间、和另一个第4杆152的可动反射镜11一侧的端部152b与基体12之间，分别架设有扭杆155。即，各第4杆152的端部152b经由一对扭杆155连接于基体12。一对扭杆155配置于与Y轴方向平行的同一轴线上。

第1光学功能部17至少由一对第1杆141和多个连杆146、147划定。在第1弹性支承部14中，X轴方向上的各第1杆141的长度A1大于反射镜面11a的外缘与第1光学功能部17的边缘之间的最短距离D1(自Z轴方向观察时的最短距离)。Y轴方向上的一对第1杆141间的最大距离D2与Y轴方向上的第1光学功能部17的最大宽度W1(自Z轴方向观察时的最大宽度)相等。第1光学功能部17的边缘中最接近反射镜面11a的部分至各第1杆141的端部141b的距离D3(自Z轴方向观察时的距离)大于第1光学功能部17的边缘中最远离反射镜面11a的部分至各第1杆141的端部141b的距离D4(自Z轴方向观察时的距离)。

第2光学功能部18至少由一对第3杆151和多个连杆156、157划定。在第2弹性支承部15中，X轴方向上的各第3杆151的长度A2大于反射镜面11a的外缘与第2光学功能部18的边缘之间的最短距离D5(自Z轴方向观察时的最短距离)。Y轴方向上的一对第3杆151间的最大距离D6与Y轴方向上的第2光学功能部18的最大宽度W2(自Z轴方向观察时的最大宽度)相等。第2光学功能部18的缘中最接近反射镜面11a的部分至各第3杆151的端部151b的距离D7(自Z轴方向观察时的距离)大于第2光学功能部18的边缘中最远离反射镜面11a的部分至各第3杆151的端部151b的距离D8(自Z轴方向观察时的距离)。

第1弹性支承部14与第2弹性支承部15无论相对于通过可动反射镜11的中心且与X轴方向垂直的平面，或是相对于通过可动反射镜11的中心且与Y轴方向垂直的平面，均不具有彼此对称的结构。但是，第1弹性支承部14中除一对支架148以外的部分与第2弹性支承部15中除一对支架158以外的部分无论相对于通过可动反射镜11的中心且与X轴方向垂直的平面，或是相对于通过可动反射镜11的中心且与Y轴方向垂直的平面，均具有彼此对称的结构。

致动器部16使可动反射镜11沿Z轴方向移动。致动器部16包括沿可动反射镜11的外缘配置的一对梳齿电极161和一对梳齿电极162。一个梳齿电极161设置于可动反射镜11的主体部111的侧面中的一个支架113与一个支架114之间的区域111b。另一个梳齿电极161设置于可动反射镜11的主体部111的侧面中的另一个支架113与另一个支架114之间的区域111c。一个梳齿电极162设置于基体12的器件层52的侧面中的在与主体部111的区域111b隔开间隔的状态下以沿该区域111b的方式延伸的区域。另一个梳齿电极162设置于基体12的器件层52的侧面中的在与主体部111的区域111c隔开间隔的状态下以沿该区域111c的方式延伸的区域。在一个梳齿电极161和一个梳齿电极162中，一个梳齿电极161的各梳齿位于一个梳齿电极162的各梳齿间。在另一个梳齿电极161和另一个梳齿电极162中，另一个梳齿电极161的各梳齿位于另一个梳齿电极162的各梳齿间。

在基体12上设置有多个电极垫121、122。各电极垫121、122在以到达器件层52的方式形成于基体12的主面12b的开口12c内，形成于器件层52的表面。各电极垫121经由第1弹性支承部14和可动反射镜11的主体部111，或经由第2弹性支承部15和可动反射镜11的主体部111与梳齿电极161电连接。各电极垫122经由器件层52与梳齿电极162电连接。导线26架设于各电极垫121、122与各引线接脚25之间。

在以如上方式构成的光学器件10中，当经由多个引线接脚25和多根导线26对多个电极垫121与多个电极垫122之间施加电压时，例如以使可动反射镜11向Z轴方向上的一侧移动的方式，在彼此相对的梳齿电极161与梳齿电极162间产生静电力。此时，在第1弹性支承部14和第2弹性支承部15中，各扭杆143、144、145、153、154、155扭转，在第1弹性支承部14和第2弹性支承部15产生弹性力。在光学器件10中，经由多个引线接脚25和多根导线26对驱动部13赋予周期性的电信号，从而能够使可动反射镜11以该共振频率水平沿Z轴方向往返移动。这样，驱动部13用作静电致动器。

[作用和效果]

在光学组件1A中，可动反射镜11具有沿与基体12的主面12a平行的平面的反射镜面11a。由此，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化。并且，在反射镜单元2中，可动反射镜11和驱动部13配置于气密空间S。由此，使可动反射镜11移动的驱动部13不易受到外部环境的影响，因此能够抑制可动反射镜11的可动性能降低。进而，可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜21的反射镜面21a朝向与主面12a垂直的Z轴方向上的一侧。由此，与例如可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜21的反射镜面21a处于彼此正交的位置关系的情形相比，能够抑制Z轴方向上的反射镜单元2的高度。而且，不仅分束器单元3与可动反射镜11间的光路P1的一部分，分束器单元3与固定反射镜21间的光路P2的一部分也配置于气密空间S。由此，能够抑制与Z轴方向垂直的方向(在光学组件1A中为X轴方向)上的反射镜单元2的宽度。由此，根据光学组件1A，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1A中，支承光学器件10的基体12并且在表面22c配置有固定反射镜21的支承体22对分束器单元3与可动反射镜11间的光路P1、分束器单元3与固定反射镜21间的光路P2之间的光程差进行修正。由此，能够容易且高精度地获得检测光L0的干涉光(即检测光L1)。而且，无须另外设置修正光程差的透光部件。

在光学组件1A中，封装体24包括具有透光性的顶壁243，分束器单元3被封装体24的顶壁243支承，气密空间S由封装体24形成。由此，利用包括具有透光性的顶壁243的简易的封装体24，能够同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。

在光学组件1A中，基体12、可动反射镜11的主体部111、壁部112和多个支架113、114、以及驱动部13包括SOI基片50。由此，能够通过SOI基片50较佳地实现用于使可动反射镜11可靠地移动的结构。

在光学器件10中，第1弹性支承部14包括自可动反射镜11沿主面12a延伸至第1光学功能部17的两侧的一对第1杆141，可动反射镜11与第1光学功能部17排列的X轴方向上的各第1杆141的长度大于反射镜面11a的外缘与第1光学功能部17的边缘之间的最短距离。由此，抑制可动反射镜11与第1光学功能部17之间的距离的增大，因此能够抑制装置整体的大型化。进而，在第1弹性支承部14中，确保各第1杆141的长度，因此能够抑制可动反射镜11的可动性能的降低。综上所述，根据光学器件10，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和装置整体的大型化。

在光学器件10中，Y轴方向上的一对第1杆141间的最大距离与Y轴方向上的第1光学功能部17的最大宽度相等。由此，能够更加平衡地实现抑制可动反射镜11与第1光学功能部17之间的距离的增大、与各第1杆141的长度的确保。

在光学器件10中，第1光学功能部17的边缘中最接近反射镜面11a的部分至各第1杆141的与可动反射镜11相反一侧的端部141b的距离大于第1光学功能部17的边缘中最远离反射镜面11a的部分至各第1杆141的与可动反射镜11相反一侧的端部141b的距离。由此，能够更加平衡地实现抑制可动反射镜11与第1光学功能部17之间的距离的增大、与各第1杆141的长度的确保。

在光学器件10中，第1弹性支承部14还包括自Y轴方向上的第1光学功能部17的两侧沿主面12a延伸至可动反射镜11一侧的一对第2杆142，一对第1杆141、一对第2杆142和基体12彼此间的连接经由多个扭杆143、144、145来实现。同样地，第2弹性支承部15除了包括一对第3杆151之外，还包括一对第4杆152，一对第3杆151、一对第4杆152和基体12彼此间的连接经由多个扭杆153、154、155来实现。由此，能够实现可动反射镜11的可动范围的增大、和可动反射镜11的可动效率的提升(可动反射镜11的驱动所需的驱动力的减少)。

在光学器件10中，各第1杆141的可动反射镜11一侧的端部141a经由配置于与Y轴方向平行的同一轴线上的多个扭杆143而连接于可动反射镜11。同样地，各第3杆151的可动反射镜11一侧的端部151a经由配置于与Y轴方向平行的同一轴线上的多个扭杆153而连接于可动反射镜11。由此，能够使配置于同一轴线上的各扭杆143的长度变短。同样地，能够使配置于同一轴线上的各扭杆153的长度变短。其结果为，能够抑制可动反射镜11向X轴方向的移动、以及可动反射镜11绕与Z轴方向平行的轴线的旋转。

在光学器件10中，在第1弹性支承部14中，在各第1杆141的可动反射镜11一侧的端部141a间架设有连杆146，在各第2杆142的与可动反射镜11相反一侧的端部142a间架设有连杆147。同样地，在第2弹性支承部15中，在各第3杆151的可动反射镜11一侧的端部151a间架设有连杆156，在各第4杆152的与可动反射镜11相反一侧的端部152a间架设有连杆157。由此，能够提升可动反射镜11的移动的稳定性。并且，自Z轴方向观察时，各连杆146、147沿第1光学功能部17的边缘延伸。由此，能够抑制装置整体的大型化。

在光学器件10中，致动器部16包括沿可动反射镜11的外缘配置的梳齿电极161、162。由此，能够将由梳齿电极161、162所产生的静电力高效率地用作可动反射镜11的驱动力。

在光学器件10中，自Z轴方向观察时，在可动反射镜11的主体部111设置有包围反射镜面11a的壁部112。由此，使壁部112用作梁，因此能够实现主体部111的薄型化，同时抑制反射镜面11a的变形(翘曲、挠曲等)。

[第1实施方式的变形例]

如图4的(a)所示，气密空间S亦可由封装体24和分束器单元3形成。在图4的(a)所示的光学组件1A中，在封装体24的顶壁243形成有使光路P1通过的开口243b和使光路P2通过的开口243c。各开口243b、243c在Z轴方向上贯通顶壁243。分束器单元3以封闭各开口243b、243c的状态被顶壁243支承。具体而言，分束器单元3由光学树脂4固定于顶壁243的表面243a。根据这样的结构，包括形成有使光路P1通过的开口243b和使光路P2通过的开口243c的顶壁243的简易的封装体24，从而能够同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。其中，在图4的(a)所示的光学组件1A中，顶壁243亦可不对检测光L0具有透光性。并且，只要光学树脂4不进入各开口243b、243c内，亦可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，在封装体24的顶壁243亦可形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口。

此外，如图4的(b)所示，亦可除形成气密空间S的封装体24外，还另外设置支承分束器单元3的支承结构27。在图4的(b)所示的光学组件1A中，分束器单元3以与顶壁243隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定在凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与顶壁243相对，凹部271a在Z轴方向上在与顶壁243相反的一侧开口。在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口271b。根据这样的结构，由于支承分束器单元3的支承结构27与封装体24隔开间隔设置，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。并且，只要光学树脂4不进入开口271b内，亦可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[第2实施方式]

[光学组件的构成]

如图5所示，光学组件1B与图1所示的光学组件1A的主要不同之处在于：由基体12、支承体22和支承壁(壁)29形成气密空间S。在光学组件1B中，子安装基片23固定在基片28上，多个引线接脚25以贯通基片28的状态固定于基片28。

支承壁29固定于基体12的主面12b。支承壁29例如形成为矩形板状。支承壁29对检测光L0具有透光性。在支承壁29的基体12一侧的表面29a形成有凹部29c。由此，防止当可动反射镜11沿Z轴方向移动时，可动反射镜11和驱动部13与支承壁29接触。分束器单元3被支承壁29支承。具体而言，分束器单元3由光学树脂4固定于支承壁29的与光学器件10相反一侧的表面29b。光学树脂4对检测光L0具有透光性。

[作用和效果]

根据光学组件1B，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1B中，气密空间S由基体12、支承体22和支承壁29形成。由此，基体12和支承体22用作形成气密空间S的封装体24的一部分，因此与例如另外设置收容基体12和支承体22的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。

[第2实施方式的变形例]

如图6的(a)所示，气密空间S也可由基体12、支承体22、支承壁29和分束器单元3形成。在图6的(a)所示的光学组件1B中，在支承壁29形成有使光路P1通过的开口29d和使光路P2通过的开口29e。各开口29d、29e在Z轴方向上贯通支承壁29。分束器单元3以封闭各开口29d、29e的状态被支承壁29支承。具体而言，分束器单元3由光学树脂4固定于支承壁29的表面29b。根据这样的结构，基体12和支承体22用作形成气密空间S的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体12和支承体22的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。并且，在图6的(a)所示的光学组件1B中，支承壁29也可不对检测光L0具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口29d、29e内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。而且，也可在支承壁29形成使多条光路P1、P2通过的1个开口。

此外，如图6的(b)所示，也可与支承壁29隔开间隔设置支承分束器单元3的支承结构27。在图6的(b)所示的光学组件1B中，分束器单元3以与支承壁29隔开间隔的状态被支承结构27。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与支承壁29相对，凹部271a在Z轴方向上在与支承壁29相反的一侧开口。在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口271b。根据这样的结构，基体12和支承体22用作形成气密空间S的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体12和支承体22的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。并且，由于反射镜单元2除了包括支承壁29之外还另外包括支承分束器单元3的支承结构27，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。而且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[第3实施方式]

[光学组件的结构]

如图7所示，光学组件1C与图1所示的光学组件1A的主要不同之处在于：可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜21的反射镜面21a沿与基体12的主面12a平行的同一平面配置；以及分束器单元3对光路P1与光路P2之间的光程差进行修正。在光学组件1C中，在封装体24的底壁241的内表面固定有光学器件10的基体12。在光学组件1C中，以基体12的主面12a与顶壁243的内表面相对，且基体12的主面12b与底壁241的内表面相对的方式配置有光学器件10。

构成可动反射镜11的金属膜形成于包括基体12的主面12a的可动反射镜11的平面上。构成固定反射镜21的金属膜形成于基体12的主面12a。在该情况下，固定反射镜21用作第1光学功能部17。

分束器单元3除了包括半反射镜面31、全反射镜面32和多个光学面33a、33b、33c、33d以外，还包括多个全反射镜面34a、34b。分束器单元3通过将多个光学区块接合而构成。各全反射镜面34a、34b例如由金属膜形成。全反射镜面34a例如为相对于光学面33a向与半反射镜面31相反的一侧倾斜45°的面，自Z轴方向观察时，与半反射镜面31重叠。全反射镜面34a将从半反射镜面31透射的检测光L0的剩余部分沿X轴方向反射。全反射镜面34b为与全反射镜面34a平行的面，自Z轴方向观察时，与固定反射镜21的反射镜面21a重叠，且在自X轴方向观察时，与全反射镜面34a重叠。全反射镜面34b将被全反射镜面34a反射的检测光L0的剩余部分沿Z轴方向向固定反射镜21侧反射。

在以如上方式构成的光学组件1C中，当检测光L0自光学组件1C的外部经由光学面33a入射至分束器单元3时，检测光L0的一部分依次被半反射镜面31和全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。并且，检测光L0的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P1)上向反方向行进，从分束器单元3的半反射镜面31透射。

另一方面，检测光L0的剩余部分从分束器单元3的半反射镜面31透射后，依次被多个全反射镜面34a、34b反射，朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。并且，检测光L0的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(光路P2)上向反方向行进，被分束器单元3的半反射镜面31反射。

从分束器单元3的半反射镜面31透射的检测光L0的一部分与被分束器单元3的半反射镜面31反射的检测光L0的剩余部分成为干涉光即检测光L1，检测光L1自分束器单元3经由光学面33d出射至光学组件1C的外部。在光学组件1C中，分束器单元3对分束器单元3与可动反射镜11间的光路P1、分束器单元3与固定反射镜21间的光路P2之间的光程差进行修正。

[作用和效果]

根据光学组件1C，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1C中，可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜21的反射镜面21a沿与基体12的主面12a平行的同一平面配置，分束器单元3对光路P1与光路P2之间的光程差进行修正。由此，与例如另外设置修正光程差的透光部件的情形相比，能够抑制Z轴方向上的反射镜单元2的高度。

在光学组件1C中，分束器单元3被封装体24的顶壁243支承，气密空间S由封装体24形成。由此，通过包括具有透光性的顶壁243的简易的封装体24而同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。

[第3实施方式的变形例]

如图8的(a)所示，气密空间S也可由封装体24和分束器单元3形成。在图8的(a)所示的光学组件1C中，在封装体24的顶壁243形成有使光路P1通过的开口243b和使光路P2通过的开口243c。各开口243b、243c在Z轴方向上贯通顶壁243。分束器单元3以封闭各开口243b、243c的状态被顶壁243支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于顶壁243的表面243a。根据这样的结构，通过包括形成有使光路P1通过的开口243b和使光路P2通过的开口243c的顶壁243的简易的封装体24，同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。并且，在图8的(a)所示的光学组件1C中，顶壁243也可不对检测光L0具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口243b、243c内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，在封装体24的顶壁243也可形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口。

此外，如图8的(b)所示，也可除了形成气密空间S的封装体24之外，还另外设置支承分束器单元3的支承结构27。在图8的(b)所示的光学组件1C中，分束器单元3以与顶壁243隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与顶壁243相对，凹部271a在Z轴方向上在与顶壁243相反一侧开口。在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口271b。根据这样的结构，由于支承分束器单元3的支承结构27与封装体24隔开间隔设置，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。并且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[第4实施方式]

[光学组件的结构]

如图9所示，光学组件1D与图7所示的光学组件1C的主要不同之处在于：由基体12、子安装基片23和支承壁(壁)29形成气密空间S。在光学组件1D中，子安装基片23固定在基片28上，多个引线接脚25以贯通基片28的状态固定于基片28。

支承壁29固定于基体12的主面12a。支承壁29例如形成为矩形板状。支承壁29对检测光L0具有透光性。在支承壁29的基体12一侧的表面29a形成有凹部29c。由此，防止当可动反射镜11沿Z轴方向移动时，可动反射镜11和驱动部13与支承壁29接触。分束器单元3被支承壁29支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于支承壁29的与光学器件10相反一侧的表面29b。光学树脂4对检测光L0具有透光性。

[作用和效果]

根据光学组件1D，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1D中，气密空间S由基体12、子安装基片23和支承壁29形成。由此，基体12用作形成气密空间S的封装体24的一部分，因此与例如另外设置收容基体12的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。

[第4实施方式的变形例]

如图10的(a)所示，气密空间S也可由基体12、子安装基片23、支承壁29和分束器单元3形成。在图10的(a)所示的光学组件1D中，在支承壁29形成有使光路P1通过的开口29d和使光路P2通过的开口29e。各开口29d、29e在Z轴方向上贯通支承壁29。分束器单元3以封闭各开口29d、29e的状态被支承壁29支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于支承壁29的表面29b。根据这样的结构，基体12用作形成气密空间S的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体12的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。并且，在图10的(a)所示的光学组件1D中，支承壁29也可不对检测光L0具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口29d、29e内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，也可在支承壁29形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口。

此外，如图10的(b)所示，也可与支承壁29隔开间隔设置支承分束器单元3的支承结构27。在图10的(b)所示的光学组件1D中，分束器单元3以与支承壁29隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与支承壁29相对，凹部271a在Z轴方向上在与支承壁29相反的一侧开口。在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口271b。根据这样的结构，基体12用作形成气密空间S的封装体的一部分，因此与例如另外设置收容基体12的封装体的情形相比，能够抑制模块整体的大型化。并且，由于反射镜单元2除了包括支承壁29之外还另外包括支承分束器单元3的支承结构27，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。而且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

此外，如图11所示，在光学组件1D中，也可不设置子安装基片23。在该情况下，利用支承层51(参照图2)一体地构成相当于子安装基片23的部分作为基体12，从而能够容易且可靠地形成气密空间S。

[第5实施方式]

[光学组件的结构]

如图12所示，光学组件1E与图1所示的光学组件1A的主要不同之处在于：分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜21共同构成对于检测光L0的干涉光学系统I1、以及对于激光L10的干涉光学系统(第2干涉光学系统)I2。光学组件1E包括光源5、光检测器6、多个电路基片7和半反射镜8。光源5产生入射至干涉光学系统I2的激光L10。光源5例如包括激光二极管等。光检测器6检测从干涉光学系统I2出射的激光L11(激光L10的干涉光)。光检测器6例如包括光二极管等。光源5和光检测器6安装于不同的电路基片7。半反射镜8使自光源5出射的激光L10透射，且反射从干涉光学系统I2出射的激光L11。

分束器单元3具有半反射镜面31、全反射镜面32、分色镜面35和多个光学面36a、36b、36c、36d。分束器单元3通过将多个光学区块接合而构成。分色镜面35例如由电介质多层膜形成。

光学面36a例如为与X轴方向垂直的面。半反射镜面31例如为相对于光学面36a倾斜45°的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠，且自X轴方向观察时与光学面36a重叠。全反射镜面32为与半反射镜面31平行的面，自Z轴方向观察时与可动反射镜11的反射镜面11a重叠，且自X轴方向观察时与半反射镜面31重叠。

光学面36b为与光学面36a垂直的面，自Z轴方向观察时与可动反射镜11的反射镜面11a重叠。光学面36b在Z轴方向上位于全反射镜面32与可动反射镜11的反射镜面11a之间。光学面36c为与光学面36a垂直的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。光学面36在Z轴方向上位于半反射镜面31与固定反射镜21的反射镜面21a之间。光学面36d为与光学面36a垂直的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。光学面36d在Z轴方向上相对于半反射镜面31位于与固定反射镜21的反射镜面21a相反的一侧。

光学面36e例如为与X轴方向垂直的面。分色镜面35例如为相对于光学面36e向与半反射镜面31相反的一侧倾斜45°的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠，且自X轴方向观察时与光学面36e重叠。分色镜面35在Z轴方向上位于光学面36d与半反射镜面31之间。

在以如上方式构成的光学组件1E中，当检测光L0从光学组件1E的外部经由光学面36a入射至分束器单元3时，检测光L0的一部分从半反射镜面31透射，被全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。并且，检测光L0的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P1)上向反方向行进，被半反射镜面31反射。

另一方面，检测光L0的剩余部分被半反射镜面31反射后，通过第1光学功能部17，进而从支承体22透射，朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。并且，检测光L0的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(光路P2)上向反方向行进，从半反射镜面31透射。

被半反射镜面31反射的检测光L0的一部分与从半反射镜面31透射的检测光L0的剩余部分成为干涉光即检测光L1，检测光L1从分色镜面35透射，从分束器单元3经由光学面36d出射至光学组件1E的外部。

并且，在从光源5出射的激光L10从半反射镜8透射，经由光学面36e入射至分束器单元3时，激光L10被分色镜面35反射，朝向半反射镜面31行进。激光L10的一部分依次被半反射镜面31和全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。而且，激光L10的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P3)上向反方向行进，被半反射镜面31反射。

另一方面，激光L10的剩余部分从半反射镜面31透射后，通过第1光学功能部17，进而从支承体22透射，朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。并且，激光L10的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(光路P4)上向反方向行进，从半反射镜面31透射。

被半反射镜面31反射的激光L10的一部分与从半反射镜面31透射的激光L10的剩余部分成为干涉光即激光L11，激光L11被分色镜面35反射，经由光学面36e从分束器单元3出射。从分束器单元3出射的激光L11被半反射镜8反射，入射至光检测器6，被光检测器6检测。

[作用和效果]

根据光学组件1E，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1E中，分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜21共同针对激光L10构成干涉光学系统I2。由此，通过检测作为激光L10的干涉光的激光L11，能够精度良好地计测可动反射镜11的反射镜面11a的位置。并且，分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜21共同构成对于检测光L0的干涉光学系统I1和对于激光L10的干涉光学系统I2。因此，能够减小反射镜单元2中的零件个数。

[第5实施方式的变形例]

如图13的(a)所示，气密空间S也可由封装体24和分束器单元3形成。在图13的(a)所示的光学组件1E中，在封装体24的顶壁243形成有使光路P1、P3通过的开口243b和使光路P2、P4通过的开口243c。各开口243b、243c在Z轴方向上贯通顶壁243。分束器单元3以封闭各开口243b、243c状态被顶壁243支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于顶壁243的表面243a。根据这样的结构，能够通过包括形成有使光路P1、P3通过的开口243b和使光路P2、P4通过的开口243c的顶壁243的简易的封装体24，而同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。而且，在图13的(a)所示的光学组件1E中，顶壁243也可不对检测光L0和激光L10具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口243b、243c内，也可使用对检测光L0和激光L10不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，也可在封装体24的顶壁243形成有使多条光路P1、P2、P3、P4通过的1个开口。

此外，如图13的(b)所示，也可以除了形成气密空间S的封装体24之外，还另外设置支承分束器单元3的支承结构27。在图13的(b)所示的光学组件1E中，分束器单元3以与顶壁243隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与顶壁243相对，凹部271a在Z轴方向上在与顶壁243相反的一侧开口。也可在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2、P3、P4通过的1个开口271b。根据这样的结构，由于支承分束器单元3的支承结构27与封装体24隔开间隔设置，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。并且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0和激光L10不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[第6实施方式]

[光学组件的构成]

如图14所示，光学组件1F与图1所示的光学组件1A的主要不同之处在于：分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜21共同构成对于检测光L0的干涉光学系统I1和对于激光L10的干涉光学系统I2。光学组件1F除了包括光源5、光检测器6和电路基片7以外，还包括光检测器9。光检测器9检测从干涉光学系统I1出射的检测光L1(检测光L1的干涉光)。光检测器9例如包括光二极管等。光源5、多个光检测器6、9和反射镜单元2安装于同一个电路基片7。

分束器单元3具有半反射镜面31、全反射镜面32、分色镜面35、半反射镜面37、全反射镜面38和多个光学面33a、33b、33c、33d、33e、33f、33g、33h。分束器单元3通过将多个光学区块接合而构成。半反射镜面37例如电介质多层膜形成。全反射镜面38例如由金属膜形成。

光学面33a例如为与Z轴方向垂直的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。半反射镜面31例如为相对于光学面33a倾斜45°的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。半反射镜面31在Z轴方向上位于光学面33a与固定反射镜21的反射镜面21a之间。全反射镜面32为与半反射镜面31平行的面，自Z轴方向观察时与可动反射镜11的反射镜面11a重叠，且在自X轴方向观察时与半反射镜面31重叠。

光学面33b为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与可动反射镜11的反射镜面11a重叠。光学面33b在Z轴方向上位于全反射镜面32与可动反射镜11的反射镜面11a之间。光学面33c为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。光学面33c在Z轴方向上位于半反射镜面31与固定反射镜21的反射镜面21a之间。光学面33d为与光学面33a垂直的面，自X轴方向观察时与半反射镜面31重叠。光学面33d在X轴方向上相对于半反射镜面31位于与全反射镜面32相反的一侧。

光学面33e为与光学面33d平行的面，自X轴方向观察时与光学面33d重叠。光学面33e在X轴方向上相对于光学面33d位于与半反射镜面31相反的一侧。分色镜面35例如为相对于光学面33e倾斜45°的面，自Z轴方向观察时与光检测器9重叠，且自X轴方向观察时与光学面33e重叠。分色镜面35在X轴方向上相对于光学面33e位于与半反射镜面31相反的一侧。半反射镜面37为与分色镜面35平行的面，自Z轴方向观察时与光检测器6重叠，且自X轴方向观察时与分色镜面35重叠。半反射镜面37在X轴方向上相对于分色镜面35位于与光学面33e相反的一侧。全反射镜面38为与分色镜面35平行的面，自Z轴方向观察时与光源5重叠，且自X轴方向观察时与半反射镜面37重叠。全反射镜面38在X轴方向上相对于半反射镜面37位于与分色镜面35相反的一侧。

光学面33f为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与光检测器9重叠。光学面33f在Z轴方向上位于分色镜面35与光检测器9之间。光学面33g为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与光检测器6重叠。光学面33g在Z轴方向上位于半反射镜面37与光检测器6之间。光学面33h为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与光源5重叠。光学面33h在Z轴方向上位于全反射镜面38与光源5之间。

在以如上方式构成的光学组件1F中，当检测光L0从光学组件1F的外部经由光学面33a入射至分束器单元3时，检测光L0的一部分依次被半反射镜面31和全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。并且，检测光L0的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P1)上向反方向行进，从半反射镜面31透射。

另一方面，检测光L0的剩余部分从半反射镜面31透射后，通过第1光学功能部17，进而从支承体22透射，朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。并且，检测光L0的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(光路P2)上向反方向行进，被半反射镜面31反射。

从半反射镜面31透射的检测光L0的一部分与被半反射镜面31反射的检测光L0的剩余部分成为干涉光即检测光L1，检测光L1被分色镜面35反射，入射至光检测器9，被光检测器9检测。

此外，在从光源5出射的激光L10经由光学面33h入射至分束器单元3时，激光L10被全反射镜面38反射，依次从半反射镜面37和分色镜面35透射，朝向半反射镜面31行进。激光L10的一部分从半反射镜面31透射后，被全反射镜面32反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。并且，激光L10的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P3)上向反方向行进，从半反射镜面31透射。

另一方面，激光L10的剩余部分被半反射镜面31反射后，通过第1光学功能部17，进而从支承体22透射，朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。并且，激光L10的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(光路P4)上向反方向行进，被半反射镜面31反射。

从半反射镜面31透射的激光L10的一部分与被半反射镜面31反射的激光L10的剩余部分成为干涉光即激光L11，激光L11从分色镜面35透射后，被半反射镜面37反射，入射至光检测器6，被光检测器6检测。

[作用和效果]

根据光学组件1F，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1F中，分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜21共同针对激光L10构成干涉光学系统I2。由此，通过检测作为激光L10的干涉光的激光L11，能够精度良好地计测可动反射镜11的反射镜面11a的位置。并且，分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜21共同构成对于检测光L0的干涉光学系统I1和对于激光L10的干涉光学系统I2。因此，能够减少反射镜单元2中的零件个数。

[第6实施方式的变形例]

如图15的(a)所示，气密空间S也可由封装体24和分束器单元3形成。在图15的(a)所示的光学组件1F中，在封装体24的顶壁243形成有使光路P1、P3通过的开口243b和使光路P2、P4通过的开口243c。各开口243b、243c在Z轴方向上贯通顶壁243。分束器单元3以封闭各开口243b、243c状态被顶壁243支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于顶壁243的表面243a。根据这样的结构，通过包括形成有使光路P1、P3通过的开口243b和使光路P2、P4通过的开口243c的顶壁243的简易的封装体24，能够同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。并且，在图15的(a)所示的光学组件1F中，顶壁243也可不对检测光L0和激光L10具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口243b、243c内，也可使用对检测光L0和激光L10不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，也可在封装体24的顶壁243形成有使多条光路P1、P2、P3、P4通过的1个开口。

此外，如图15的(b)所示，也可除了形成气密空间S的封装体24之外，还另外设置支承分束器单元3的支承结构27。在图15的(b)所示的光学组件1F中，分束器单元3以与顶壁243隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与顶壁243相对，凹部271a在Z轴方向上在与顶壁243相反的一侧开口。也可在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2、P3、P4通过的1个开口271b。根据这样的结构，由于支承分束器单元3的支承结构27与封装体24隔开间隔设置，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。并且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0和激光L10不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[第7实施方式]

[光学组件的构成]

如图16所示，光学组件1G与图12所示的光学组件1E的主要不同之处在于：分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜(第2固定反射镜)200共同针对激光L10构成干涉光学系统I2。固定反射镜200具有沿与基体12的主面12a平行的平面的反射镜面200a。固定反射镜200相对于基体12的位置被固定。固定反射镜200的反射镜面200a与可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜21的反射镜面21a同样地朝向Z轴方向上的一侧(分束器单元3侧)。固定反射镜200以位于形成在子安装基片23的开口23b内的方式配置于支承体22的表面22c。自Z轴方向观察时，固定反射镜200配置于X轴方向上的可动反射镜11的另一侧(与固定反射镜21相反的一侧)。自Z轴方向观察时，固定反射镜200与光学器件10的第2光学功能部18重叠。并且，在反射镜单元2中，不仅可动反射镜11、驱动部13、光路P1的一部分和光路P2的一部分，分束器单元3与固定反射镜200之间的光路P4的一部分也配置于气密空间S。

分束器单元3具有多个半反射镜面31a、31b、分色镜面35、全反射镜面38和多个光学面33a、33b、33c、33d、33e、33f。分束器单元3通过将多个光学区块接合而构成。

光学面33a例如为与Z轴方向垂直的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。半反射镜面31a例如为相对于光学面33a倾斜45°的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。半反射镜面31a在Z轴方向上位于光学面33a与固定反射镜21的反射镜面21a之间。半反射镜面31b为与半反射镜面31a平行的面，自Z轴方向观察时与可动反射镜11的反射镜面11a重叠，且自X轴方向观察时与半反射镜面31a重叠。

光学面33b为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与可动反射镜11的反射镜面11a重叠。光学面33b在Z轴方向上位于半反射镜面31b与可动反射镜11的反射镜面11a之间。光学面33c为与光学面33a平行的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜21的反射镜面21a重叠。光学面33c在Z轴方向上位于半反射镜面31a与固定反射镜21的反射镜面21a之间。

光学面33d例如为与Z轴方向垂直的面，自Z轴方向观察时与光源5和可动反射镜11的反射镜面11a重叠。光学面33d在Z轴方向上相对于半反射镜面31b位于与可动反射镜11的反射镜面11a相反的一侧。全反射镜面38为与半反射镜面31a平行的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜200的反射镜面200a重叠，且自X轴方向观察时与半反射镜面31b重叠。光学面33e为与光学面33d平行的面，自Z轴方向观察时与固定反射镜200的反射镜面200a重叠。光学面33e在Z轴方向上位于全反射镜面38与固定反射镜200的反射镜面200a之间。

分色镜面35为与半反射镜面31a平行的面，自Z轴方向观察时与光检测器6重叠。分色镜面35在X轴方向上相对于半反射镜面31a位于与半反射镜面31b相反的一侧。光学面33f例如为与Z轴方向垂直的面，自Z轴方向观察时与光检测器6重叠。光学面33f在Z轴方向上位于分色镜面35与光检测器6之间。

在以如上方式构成的光学组件1G中，当检测光L0自光学组件1G的外部经由光学面33a入射至分束器单元3时，检测光L0的一部分依次被半反射镜面31a和半反射镜面31b反射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。并且，检测光L0的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P1)上向反方向行进，从半反射镜面31a透射。

另一方面，检测光L0的剩余部分从半反射镜面31a透射后，通过第1光学功能部17，进而从支承体22透射，朝向固定反射镜21的反射镜面21a行进。并且，检测光L0的剩余部分被固定反射镜21的反射镜面21a反射，在同一光路(光路P2)上向反方向行进，被半反射镜面31a反射。

从半反射镜面31a透射的检测光L0的一部分与被半反射镜面31a反射的检测光L0的剩余部分成为干涉光即检测光L1，检测光L1从分色镜面35透射，从分束器单元3出射至光学组件1G的外部。

此外，在自光源5出射的激光L10经由光学面33d入射至分束器单元3时，激光L10的一部分从半反射镜面31b透射，朝向可动反射镜11的反射镜面11a行进。并且，激光L10的一部分被可动反射镜11的反射镜面11a反射，在同一光路(光路P3)上向反方向行进，被半反射镜面31b反射。

另一方面，激光L10的剩余部分依次被半反射镜面31b和全反射镜面38反射，朝向固定反射镜200的反射镜面200a行进。并且，激光L10的剩余部分被固定反射镜200的反射镜面200a反射，在同一光路(光路P4)上向反方向行进，从半反射镜面31b透射。

被半反射镜面31b反射的激光L10的一部分与从半反射镜面31b透射的激光L10的剩余部分成为干涉光即激光L11，激光L11从半反射镜面31a透射后，被分色镜面35反射，入射至光检测器6，被光检测器6检测。

[作用和效果]

根据光学组件1G，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

在光学组件1G中，分束器单元3与可动反射镜11和固定反射镜200共同针对激光L10构成干涉光学系统I2。由此，通过检测作为激光L10的干涉光的激光L11，能够精度良好地计测可动反射镜11的反射镜面11a的位置。并且，固定反射镜200的反射镜面200a与固定反射镜21的反射镜面21a同样地朝向Z轴方向上的一侧。因此，与例如可动反射镜11的反射镜面11a和固定反射镜200的反射镜面200a处于彼此正交的位置关系的情形相比，能够抑制Z轴方向上的反射镜单元2的高度。而且，不仅分束器单元3与可动反射镜11间的光路P1，分束器单元3与固定反射镜200之间的光路P4的一部分也和分束器单元3与固定反射镜21间的光路P2的一部分同样地配置于气密空间S。由此，能够抑制与Z轴方向垂直的方向(在光学组件1G中为X轴方向)上的反射镜单元2的宽度。

[第7实施方式的变形例]

如图17的(a)所示，气密空间S也可由封装体24和分束器单元3形成。在图17的(a)所示的光学组件1G中，在封装体24的顶壁243形成有使光路P1、P3通过的开口243b、使光路P2通过的开口243c和使光路P4通过的开口243d。各开口243b、243c、243d在Z轴方向上贯通顶壁243。分束器单元3以封闭各开口243b、243c、243d的状态被顶壁243支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于顶壁243的表面243a。根据这样的结构，能够通过包括形成有使光路P1、P3通过的开口243b、使光路P2通过的开口243c和使光路P3通过的开口243d的顶壁243的简易的封装体24，而同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。并且，在图17的(a)所示的光学组件1G中，顶壁243也可不对检测光L0和激光L10具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口243b、243c、243d内，则也可使用对检测光L0和激光L10不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，也可在封装体24的顶壁243形成有使多条光路P1、P2、P3、P4通过的1个开口。

此外，如图17的(b)所示，也可除了形成气密空间S的封装体24之外，还另外设置支承分束器单元3的支承结构27。在图17的(b)所示的光学组件1G中，分束器单元3以与顶壁243隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与顶壁243相对，凹部271a在Z轴方向上在与顶壁243相反的一侧开口。也可在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2、P3、P4通过的1个开口271b。根据这样的结构，由于支承分束器单元3的支承结构27与封装体24隔开间隔设置，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。并且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0和激光L10不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[第8实施方式]

[光学组件的构成]

如图18所示，光学组件1H与图1所示的光学组件1A的主要不同之处在于：在支承体22未形成凹部22b。在光学组件1H中，在封装体24的底壁241的内表面固定有光学器件10的基体12。在光学组件1H中，以基体12的主面12a与顶壁243的内表面相对，且基体12的主面12b与底壁241的内表面相对的方式配置有光学器件10。

在光学组件1H中，在基体12的支承层51中的与可动反射镜11和驱动部13对应的区域形成有开口51a。由此，防止当使可动反射镜11沿Z轴方向移动时，可动反射镜11和驱动部13与支承体22接触。构成可动反射镜11的金属膜形成于主体部111的主面12a侧的表面。构成固定反射镜21的金属膜形成于支承体22的表面22c的整个区域。

在以如上方式构成的光学组件1H中，与图1所示的光学组件1A同样地，能够获得作为检测光L0的干涉光的检测光L1。并且，光学组件1H包括检测光入射部300和检测光出射部400。检测光入射部300以使检测光L0从外部入射至干涉光学系统I1的方式配置。检测光入射部300例如包括光纤和准直透镜等。检测光出射部400以使检测光L1(检测光L0的干涉光)从干涉光学系统I1出射至外部的方式配置。检测光出射部400例如包括光纤和准直透镜等。由此，能够获得包括检测光入射部300和检测光出射部400的FTIR。

[作用和效果]

根据光学组件1H，基于与上述光学组件1A相同的理由，能够实现可动反射镜11的反射镜面11a的大型化，同时抑制可动反射镜11的可动性能的降低和模块整体的大型化。

[第8实施方式的变形例]

如图19的(a)所示，气密空间S也可由封装体24和分束器单元3形成。在图19的(a)所示的光学组件1H中，在封装体24的顶壁243形成有使光路P1通过的开口243b和使光路P2通过的开口243c。各开口243b、243c在Z轴方向上贯通顶壁243。分束器单元3以封闭各开口243b、243c状态被顶壁243支承。具体而言，分束器单元3通过光学树脂4固定于顶壁243的表面243a。根据这样的结构，能够通过包括形成有使光路P1通过的开口243b和使光路P2通过的开口243c的顶壁243的简易的封装体24而同时实现形成气密空间S和支承分束器单元3。并且，在图19的(a)所示的光学组件1H中，顶壁243也可不对检测光L0具有透光性。而且，只要光学树脂4不进入各开口243b、243c内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。并且，在封装体24的顶壁243也可形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口。

此外，如图19的(b)所示，也可除了形成气密空间S的封装体24之外，还另外设置支承分束器单元3的支承结构27。在图19的(b)所示的光学组件1H中，分束器单元3以与顶壁243隔开间隔的状态被支承结构27支承。具体而言，分束器单元3以分束器单元3的一部分配置在形成于支承结构27的壁部271的凹部271a内的状态，通过光学树脂4固定于凹部271a的内表面。壁部271在Z轴方向上与顶壁243相对，凹部271a在Z轴方向上在与顶壁243相反的一侧开口。在凹部271a的底面形成有使多条光路P1、P2通过的1个开口271b。根据这样的结构，由于支承分束器单元3的支承结构27与封装体24隔开间隔设置，因而能够提升分束器单元3的布局的自由度。并且，只要光学树脂4不进入开口271b内，也可使用对检测光L0不具有透光性的树脂来代替光学树脂4。

[变形例]

以上，对本发明的第1～第8实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述各实施方式。例如，各构成的材料和形状并不限定于上述材料和形状，可采用各种材料和形状。作为一例，只要支承体22以使光路P1的光程长度(考虑到光路P1通过的各介质的折射率的光程长度)与光路P2的光程长度(考虑到光路P2通过的各介质的折射率的光程长度)的差变小的方式对光路P1与光路P2之间的光程差进行修正，其材料并无限定。支承体22的材料除了可为玻璃以外，还可为硅、硫化物等。

此外，光学组件1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G也可包括检测光入射部300和检测光出射部400。相反地，光学组件1H也可不包括检测光入射部300和检测光出射部400。

并且，只要光学器件10的驱动部13可使可动反射镜11沿与基体12的主面12a垂直的方向移动，则并不限定于上述构成。作为一例，第1弹性支承部14与第2弹性支承部15也可相对于通过可动反射镜11的中心且与X轴方向垂直的平面具有彼此对称的结构。此外，第1弹性支承部14与第2弹性支承部15也可相对于通过可动反射镜11的中心且与Y轴方向垂直的平面具有彼此对称的结构。而且，驱动部13也可包括弹性地支承可动反射镜11的3个以上弹性支承部。进而，致动器部16并不限定于构成为静电致动器，例如也可构成为压电式致动器、电磁式致动器等。

此外，在光学组件1E、1F、1G中，也可在激光L10不行进而检测光L0行进的光路上配置截止包括激光L10的中心波长的波长范围的光的滤光器。作为一例，在图12所示的光学组件1E中，可在光学面33a的前段配置上述滤光器。在该情况下，能够防止在作为激光L10的干涉光的激光L11的检测中检测光L0成为噪声。

图4～图6和图12～图19所示的光学器件10中的驱动部13具有与图1～图3所示的光学器件10中的驱动部13同样的结构，图7～图11所示的光学器件10中的驱动部13与图1～图3所示的光学器件10中的驱动部13不同，具有图20所示的结构。在图20所示的光学器件10中，一对第1杆141各自的与可动反射镜11相反的一侧的端部141b经由扭杆144连接于基体12，一对第3杆151各自的与可动反射镜11相反的一侧的端部151b经由扭杆154连接于基体12。即，在图20所示的光学器件10中，未设置一对第2杆142和一对第4杆152。这样，在图20所示的光学器件10中，实现第1弹性支承部14和第2弹性支承部15的结构的简化。

上述一个实施方式或变形例中的各结构可任意应用于其他实施方式或变形例中的各结构。

附图标记说明

1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G、1H…光学组件；2…反射镜单元；3…分束器单元；5…光源；6…光检测器；11…可动反射镜；11a…反射镜面；12…基体；12a…主面；13…驱动部；21…固定反射镜(第1固定反射镜)；21a…反射镜面；22…支承体；22c…表面；24…封装体；27…支承结构；29…支承壁(壁)；29d、29e…开口；50…SOI基片；111…主体部(可动部)；112…壁部(可动部)；113、114…支架(可动部)；200…固定反射镜(第2固定反射镜)；200a…反射镜面；243…顶壁(壁)；243b、243c…开口；I1…干涉光学系统(第1干涉光学系统)；I2…干涉光学系统(第2干涉光学系统)；L0、L1…检测光；L10、L11…激光；P1…光路(第1光路)；P2…光路(第2光路)；P4…光路；S…气密空间。

Claims (20)

1.一种光学组件，其特征在于：

包括反射镜单元和分束器单元，

所述反射镜单元包括：

具有主面的基体；

具有沿着与所述主面平行的平面的反射镜面的可动反射镜，其以能够沿与所述主面垂直的第1方向移动的方式被支承于所述基体；

具有沿着与所述主面平行的平面的反射镜面的第1固定反射镜，其相对于所述基体的位置被固定；和

使所述可动反射镜沿所述第1方向移动的驱动部，

所述分束器单元与所述可动反射镜和所述第1固定反射镜一起针对检测光构成第1干涉光学系统，

所述可动反射镜的所述反射镜面和所述第1固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第1方向的一侧，

在所述反射镜单元中，所述可动反射镜和所述驱动部、以及所述分束器单元与所述第1固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于气密空间。

2.如权利要求1所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括具有透光性的支承体，

所述基体被所述支承体支承，

所述第1固定反射镜配置在所述支承体的与所述基体相反一侧的表面，

所述支承体修正所述分束器单元与所述可动反射镜间的第1光路和所述分束器单元与所述第1固定反射镜间的第2光路之间的光程差。

3.如权利要求2所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括收容所述基体、所述可动反射镜、所述第1固定反射镜、所述驱动部和所述支承体的封装体，

所述封装体包括具有透光性的壁，

所述分束器单元被所述壁支承，

所述气密空间由所述封装体形成。

4.如权利要求2所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括收容所述基体、所述可动反射镜、所述第1固定反射镜、所述驱动部和所述支承体的封装体，

所述封装体包括形成有供所述第1光路和所述第2光路通过的至少1个开口的壁，

所述分束器单元以封闭所述至少1个开口的状态被所述壁支承，

所述气密空间由所述封装体和所述分束器单元形成。

5.如权利要求2所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括收容所述基体、所述可动反射镜、所述第1固定反射镜、所述驱动部和所述支承体的封装体；以及支承所述分束器单元的支承结构，

所述封装体包括具有透光性的壁，

所述分束器单元以与所述壁隔开间隔的状态被所述支承结构支承，

所述气密空间由所述封装体形成。

6.如权利要求2所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括具有透光性的壁，

所述分束器单元被所述壁支承，

所述气密空间由所述基体、所述支承体和所述壁形成。

7.如权利要求2所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括形成有供所述第1光路和所述第2光路通过的至少1个开口的壁，

所述分束器单元以封闭所述至少1个开口的状态被所述壁支承，

所述气密空间由所述基体、所述支承体、所述壁和所述分束器单元形成。

8.如权利要求2所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括具有透光性的壁和支承所述分束器单元的支承结构，

所述分束器单元以与所述壁隔开间隔的状态被所述支承结构支承，

所述气密空间由所述基体、所述支承体和所述壁形成。

9.如权利要求1所述的光学组件，其特征在于：

在所述反射镜单元中，所述可动反射镜的所述反射镜面和所述第1固定反射镜的所述反射镜面沿着与所述主面平行的同一个平面配置，

所述分束器单元修正所述分束器单元与所述可动反射镜间的第1光路和所述分束器单元与所述第1固定反射镜间的第2光路之间的光程差。

10.如权利要求9所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括收容所述基体、所述可动反射镜、所述第1固定反射镜和所述驱动部的封装体，

所述封装体包括具有透光性的壁，

所述分束器单元被所述壁支承，

所述气密空间由所述封装体形成。

11.如权利要求9所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括收容所述基体、所述可动反射镜、所述第1固定反射镜和所述驱动部的封装体，

所述封装体包括形成有供所述第1光路和所述第2光路通过的至少1个开口的壁，

所述分束器单元以封闭所述至少1个开口的状态被所述壁支承，

所述气密空间由所述封装体和所述分束器单元形成。

12.如权利要求9所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括收容所述基体、所述可动反射镜、所述第1固定反射镜和所述驱动部的封装体，

所述封装体包括具有透光性的壁和支承所述分束器单元的支承结构，

所述分束器单元以与所述壁隔开间隔的状态被所述支承结构支承，

所述气密空间由所述封装体形成。

13.如权利要求9所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括具有透光性的壁，

所述分束器单元被所述壁支承，

所述气密空间由所述基体和所述壁形成。

14.如权利要求9所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括形成有供所述第1光路和所述第2光路通过的至少1个开口的壁，

所述分束器单元以封闭所述至少1个开口的状态被所述壁支承，

所述气密空间由所述基体、所述壁和所述分束器单元形成。

15.如权利要求9所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括具有透光性的壁和支承所述分束器单元的支承结构，

所述分束器单元以与所述壁隔开间隔的状态被所述支承结构支承，

所述气密空间由所述基体和所述壁形成。

16.如权利要求1至15中任一项所述的光学组件，其特征在于，还包括：

检测光入射部，其配置成使得所述检测光从外部入射至所述第1干涉光学系统；和

检测光出射部，其配置成使得所述检测光从所述第1干涉光学系统出射至外部。

17.如权利要求1至16中任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述分束器单元与所述可动反射镜和所述第1固定反射镜一起针对激光构成第2干涉光学系统。

18.如权利要求1至16中任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述反射镜单元还包括具有沿着与所述主面平行的平面的反射镜面的第2固定反射镜，其相对于所述基体的位置被固定，

所述分束器单元与所述可动反射镜和所述第2固定反射镜一起针对激光构成第2干涉光学系统，

所述第2固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第1方向的所述一侧，

在所述反射镜单元中，所述可动反射镜和所述驱动部、所述分束器单元与所述第1固定反射镜之间的光路的至少一部分、以及所述分束器单元与所述第2固定反射镜之间的光路的至少一部分配置于所述气密空间。

19.如权利要求17或18所述的光学组件，其特征在于，还包括：

产生对所述第2干涉光学系统入射的所述激光的光源；和

检测从所述第2干涉光学系统出射的所述激光的光检测器。

20.如权利要求1至19中任一项所述的光学组件，其特征在于：

所述基体、所述可动反射镜的可动部和所述驱动部由SOI基片构成。

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