JPS60263801A - レ−ザ干渉測長器 - Google Patents
レ−ザ干渉測長器Info
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- JPS60263801A JPS60263801A JP59119872A JP11987284A JPS60263801A JP S60263801 A JPS60263801 A JP S60263801A JP 59119872 A JP59119872 A JP 59119872A JP 11987284 A JP11987284 A JP 11987284A JP S60263801 A JPS60263801 A JP S60263801A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- reflection mirror
- laser
- light
- beam splitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 claims description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000015278 beef Nutrition 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はレーザ光の干渉現象を用いるレーザ干渉現象を
用いるレーザ干渉測長器に関し、特に空気の屈折率の変
動による測長誤差を補正する光学配置とすることで測定
精度の安定性の向上を可能にしたし、−ザ干渉測長器に
関する。
用いるレーザ干渉測長器に関し、特に空気の屈折率の変
動による測長誤差を補正する光学配置とすることで測定
精度の安定性の向上を可能にしたし、−ザ干渉測長器に
関する。
この励のレーザ干渉測長器においては、基準用レーザ光
と測定用レーザ光との干渉現象を用いて１測定物の移動
量を測定する。第２図に依シ、その構成を説明する。レ
ーザ光源と光検出器とで構成されるレーザヘッド１から
レーザ光Ｌ１が発光されビームスプリッタ２にｒ凱基準
用し−ザ光Ｌ２と測定用レーザ光Ｌ３とに分割される。
と測定用レーザ光との干渉現象を用いて１測定物の移動
量を測定する。第２図に依シ、その構成を説明する。レ
ーザ光源と光検出器とで構成されるレーザヘッド１から
レーザ光Ｌ１が発光されビームスプリッタ２にｒ凱基準
用し−ザ光Ｌ２と測定用レーザ光Ｌ３とに分割される。
基準用レーザ光Ｌ２はビームスプリッタ２に固定された
基準用反射鏡３に依９反射される。測定用レーザ光Ｌ３
は測定物に固定した測定用反射鏡４に依９反射される。
基準用反射鏡３に依９反射される。測定用レーザ光Ｌ３
は測定物に固定した測定用反射鏡４に依９反射される。
それぞれ反射して戻ってきた基準用レーザ光Ｌ２と測定
用レーザ光Ｌ３とがビームスプリッタ２で再び一諸にな
り、干渉波を含む干渉レーザ光Ｌ４になる。ここで測定
用反射鏡４が移動すればビームスグリツタ２との相対距
離が変化し、その移動距離に対応した干渉信号が干渉レ
ーザ光Ｌ４に含まれる。その干渉レーザ光Ｌ４に含まれ
た干渉信号をレーザヘッド１内の光検出器で検出し、測
長する。
用レーザ光Ｌ３とがビームスプリッタ２で再び一諸にな
り、干渉波を含む干渉レーザ光Ｌ４になる。ここで測定
用反射鏡４が移動すればビームスグリツタ２との相対距
離が変化し、その移動距離に対応した干渉信号が干渉レ
ーザ光Ｌ４に含まれる。その干渉レーザ光Ｌ４に含まれ
た干渉信号をレーザヘッド１内の光検出器で検出し、測
長する。
この際に、ビームスプリッタ２と測定用反射鏡４との間
の空気６にゆらぎが発生すれば、そのゆらぎつまシ温度
変動、気圧変動、湿度変動、炭酸ガス含有率の変動に依
シ空気の屈折率変動が発生する。空気の屈折率の変動は
測定用レーザ光Ｌ３の波長の変１１１］ヲ起す３レーザ
干渉測長器はレーザ光の波長を基準にして夕１１定して
いるため、波長の変動は測長誤差の大きな原因となる。
の空気６にゆらぎが発生すれば、そのゆらぎつまシ温度
変動、気圧変動、湿度変動、炭酸ガス含有率の変動に依
シ空気の屈折率変動が発生する。空気の屈折率の変動は
測定用レーザ光Ｌ３の波長の変１１１］ヲ起す３レーザ
干渉測長器はレーザ光の波長を基準にして夕１１定して
いるため、波長の変動は測長誤差の大きな原因となる。
つ−まり、測定用反射鏡４が移動しなくても、波長の変
動に依りあたかも移動しているような測長結果になって
しまう。
動に依りあたかも移動しているような測長結果になって
しまう。
ゆえに従来の第２図に示すような光学配置のレーザ干渉
測長器に於ては上述のように空気のゆらぎに依９測長精
度が悪化する欠点があったっ〔発明の目的〕 本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的として
は、空気のゆらぎに原因する測長精度の劣化の少ないレ
ーザ干渉測長器を提供することにあるっ 〔発明の概要〕 本発明に於いて汀、基準用１／−ザ光を反射する基準用
反射鏡、そして測定用レーザ光を反射する測定用反射鏡
を同一方向にほぼ同一距離だけビームスプリッタから離
すことに依り、測定用レーザ光と基準用レーザ光に及ぼ
される空気のゆらぎの影響を同程度とし、これら２．つ
のレーザ光を干渉させることに依って光路の空気のゆ゛
らぎに依る測定精度の劣化の少ないレーザ干渉測長器を
得る。
測長器に於ては上述のように空気のゆらぎに依９測長精
度が悪化する欠点があったっ〔発明の目的〕 本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的として
は、空気のゆらぎに原因する測長精度の劣化の少ないレ
ーザ干渉測長器を提供することにあるっ 〔発明の概要〕 本発明に於いて汀、基準用１／−ザ光を反射する基準用
反射鏡、そして測定用レーザ光を反射する測定用反射鏡
を同一方向にほぼ同一距離だけビームスプリッタから離
すことに依り、測定用レーザ光と基準用レーザ光に及ぼ
される空気のゆらぎの影響を同程度とし、これら２．つ
のレーザ光を干渉させることに依って光路の空気のゆ゛
らぎに依る測定精度の劣化の少ないレーザ干渉測長器を
得る。
第１図を用いて本発明の一実施例を説明する。
第２図と同一部位には同一符号を用いる。この構成に於
いては、反射鏡５をビームスプリッタ２に固定し、基準
用レーザ光Ｌ２を測定用反射鏡４側に曲げる。基準用反
射鏡３は測定用反射鏡４とほぼ同一距離だけビームスプ
リッタ２から離して配置する。反射鏡３で曲げられた基
準用レーザ光Ｌ２は、基準用反射鏡３で反射して戻シ、
反射鏡３を経由してビームスプリッタ２へと進む。
いては、反射鏡５をビームスプリッタ２に固定し、基準
用レーザ光Ｌ２を測定用反射鏡４側に曲げる。基準用反
射鏡３は測定用反射鏡４とほぼ同一距離だけビームスプ
リッタ２から離して配置する。反射鏡３で曲げられた基
準用レーザ光Ｌ２は、基準用反射鏡３で反射して戻シ、
反射鏡３を経由してビームスプリッタ２へと進む。
前述のように測定用レーザ光Ｌ３の波長は空気のゆらぎ
に依シ変動し、それが測長誤差となる。
に依シ変動し、それが測長誤差となる。
第１図に示す本発明の光学系配置を持っレーザ干渉測長
器に於いては、基準用レーザ光Ｌ２も測定用レーザ光Ｌ
３と同時に、しかも同程度に空気のゆらぎの影響を受け
る。つまシ、基準用レーザ光■、２の波長も測定用レー
ザ光Ｌ３の波長も同時に同程度伸縮する。ゆえにビーフ
８スプ１．１ ツタ２で合成された際に、基進用１ノー
ザ光Ｌ２の波長と測定用レーザ光Ｌ３との位相差が現わ
れず、空気のゆらぎに依る測定誤差が現われ安い、 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明に依れば、基準用レーザ光を
反射する基準用反射鏡、そして測定用レーザ光を反射す
る測定用反射鏡と同一方向に同一距離だけビームスプリ
ンタから離した光学系配置とすることに依シ、空気のゆ
らぎに原因する測長誤差を補正し、高精度、高安定性な
レーザ干渉測長器を構成出来る。
器に於いては、基準用レーザ光Ｌ２も測定用レーザ光Ｌ
３と同時に、しかも同程度に空気のゆらぎの影響を受け
る。つまシ、基準用レーザ光■、２の波長も測定用レー
ザ光Ｌ３の波長も同時に同程度伸縮する。ゆえにビーフ
８スプ１．１ ツタ２で合成された際に、基進用１ノー
ザ光Ｌ２の波長と測定用レーザ光Ｌ３との位相差が現わ
れず、空気のゆらぎに依る測定誤差が現われ安い、 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明に依れば、基準用レーザ光を
反射する基準用反射鏡、そして測定用レーザ光を反射す
る測定用反射鏡と同一方向に同一距離だけビームスプリ
ンタから離した光学系配置とすることに依シ、空気のゆ
らぎに原因する測長誤差を補正し、高精度、高安定性な
レーザ干渉測長器を構成出来る。
第１図は本発明ｅＣ依るレーザ干渉ｙｌｌｌＩ長器の″
光学系配置図、第２図ｋｔ従来のレーザ干渉測長器の光
学系配置図である。 １・・・・・・・・・・レーザヘッド ２、 ・・・ビームスシリツタ ３− ・・ ・・基準用反射鏡 ４ ・・・・・・・・・測定用反射鏡 ５・・・・・・・・・・・・・反射鏡
光学系配置図、第２図ｋｔ従来のレーザ干渉測長器の光
学系配置図である。 １・・・・・・・・・・レーザヘッド ２、 ・・・ビームスシリツタ ３− ・・ ・・基準用反射鏡 ４ ・・・・・・・・・測定用反射鏡 ５・・・・・・・・・・・・・反射鏡
Claims (1)
- レーザ光の干渉現象を用いる測長器において、基準用レ
ーザ光を反射する基準用反射鏡と測定用レーザ光を反射
する測定用反射鏡とを同じ方向にほぼ同じ距離だけビー
ムスプリンタから離した光学系配置であることを特徴と
するレーザ干渉測長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59119872A JPS60263801A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | レ−ザ干渉測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59119872A JPS60263801A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | レ−ザ干渉測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60263801A true JPS60263801A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14772341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59119872A Pending JPS60263801A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | レ−ザ干渉測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60263801A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4984891A (en) * | 1988-02-08 | 1991-01-15 | Hitachi, Ltd. | Laser gauge interferometer and locating method using the same |
| US5585922A (en) * | 1992-12-24 | 1996-12-17 | Nikon Corporation | Dual interferometer apparatus compensating for environmental turbulence or fluctuation and for quantization error |
| US11879731B2 (en) | 2017-07-06 | 2024-01-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit and optical module |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP59119872A patent/JPS60263801A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4984891A (en) * | 1988-02-08 | 1991-01-15 | Hitachi, Ltd. | Laser gauge interferometer and locating method using the same |
| US5585922A (en) * | 1992-12-24 | 1996-12-17 | Nikon Corporation | Dual interferometer apparatus compensating for environmental turbulence or fluctuation and for quantization error |
| US11879731B2 (en) | 2017-07-06 | 2024-01-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit and optical module |
| US12152878B2 (en) | 2017-07-06 | 2024-11-26 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit and optical module |
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