TWI415777B

TWI415777B - Adhesive chuck device

Info

Publication number: TWI415777B
Application number: TW097102249A
Authority: TW
Inventors: Yoshikazu Ohtani; Michiya Yokota
Original assignee: Shinetsu Eng Co Ltd
Priority date: 2007-01-31
Filing date: 2008-01-21
Publication date: 2013-11-21
Also published as: JP4125776B1; CN101379606B; TW200844019A; CN101379606A; JPWO2008093408A1; KR101255867B1; WO2008093408A1; KR20090109595A

Description

黏著夾盤裝置

本發明關於一種黏著夾盤裝置，該黏著夾盤裝置在例如液晶顯示器(LCD)或電漿顯示器(PDP)或可撓性顯示器等平面顯示器的製造過程中，使用於包含將由CF玻璃或TFT玻璃等玻璃製基板或PES(Poly-Ether-Sulphone)等的塑膠薄膜等而成之合成樹脂製基板黏著保持並貼合的基板貼合機之基板組裝裝置，或者搬運此類基板等的絕緣體、導電體或半導體晶片等的工件(被處理體)之基板搬運裝置等。

具體而言，關於一種黏著夾盤裝置，其係相對於保持板，工件經由黏著構件黏著保持，藉由剝離機構將工件強制性地從該黏著構件剝離並與保持板隔離。

以往，作為此種黏著夾盤裝置，在上方的保持板(加壓板)開設多個開口，在這些開口內分別具備旋轉用致動器和上下驅動用致動器，在從各旋轉用致動器向下方延伸的旋轉軸的前端安裝有黏著構件，藉由上下驅動用致動器的作動，在開口內使各黏著構件下降，用這些黏著構件和吸引吸附作用保持上方的工件(基板)，邊定位邊進行貼合，在使黏著構件退回到加壓板內時，相對於工件面，藉由旋轉用致動器扭轉黏著構件的同時、或扭轉後藉由上下驅動用致動器使其退回，以此將黏著構件從上面的工件剝離(例如，參照專利文獻1)。

另外，至少在上方的保持板(加壓板)設置黏著構件(黏著片材)的同時，設置多個開口，在這些開口內作為剝離機構，設有由上下驅動用致動器驅動的壓軸，並用這些黏著構件和吸引吸附作用保持上方的工件(基板)，邊定位邊進行貼合，之後，以壓軸的按壓動作將上方的工件從黏著片材按壓剝離(例如，參照專利文獻2)。

[專利文獻1]日本專利公開2003-273508號公報(第3~5頁，圖2、5)

[專利文獻2]日本專利公開2003-283185號公報(第3~5頁，圖3~4)

然而，在此種以往的黏著夾盤裝置中，因黏著構件的黏著力不具備方向性，因此，若為了藉由致動器或押軸等剝離機構使工件從黏著構件容易地剝離，而將黏著力設定為弱時，則工件因剝離機構以外的外力而容易地被剝離，不能確實地黏著保持，從而存在工件掉落、或在貼合時發生位置偏移、導致產品出現不良的問題。

另外，相反的，若將黏著構件的黏著力設定為強時，則存在工件的剝離性能低下，不能將工件很好地貼合、或在液晶的真空貼合中，氣泡殘留在顯示胞部分中，導致產品出現不良的問題。

本發明中的第一發明，其目的在於，在剝離機構的剝離進行方向，容易地剝離工件。

第二發明及第三發明，其目的在於，除第一發明的目的之外，還以簡單的結構使黏著構件的黏著力具有方向性。

第四發明，其目的在於，在第一發明、第二發明或第三發明所述的發明目的之外，還以簡單的結構確實地進行工件的剝離開放。

為了達到上述目的，本發明中第一發明，其特徵在於：其包含：一保持板，其具有保持工件之保持面；一黏著構件，其使上述工件面對上述保持面而黏著保持；及一剝離機構，其設置於形成於上述保持面之開口部內，朝與上述保持面交叉之方向作動，自上述黏著構件強制性地使上述工件剝離；其中將上述剝離機構之作用部沿上述開口部之開口邊緣配置，將上述黏著構件沿上述剝離機構之作用部之周緣分散配置複數個；以隨剝離機構的作動，自上述工件之剝離開始位置朝向剝離結束位置，以讓上述剝離機構使上述黏著構件自上述工件剝離所需要的剝離力變大之方式，形成上述黏著構件之形狀；相對於上述保持板，上述工件經由上述黏著構件而被黏著保持，藉由上述剝離機構從上述黏著構件強制性地剝離上述工件，並與上述保持板隔離。

第二發明，其特徵在於：在第一發明的構成中，增加了上述黏著構件之形狀，係朝著自上述開口部之開口中心朝向開口邊緣之放射方向外側使橫截面逐漸增大之三角形之構成。

第三發明，其特徵在於：在第一發明的構成中，增加了上述黏著構件之形狀，係朝著自上述開口部之開口中心朝向開口邊緣之放射方向外側將上述黏著構件之厚度尺寸加厚之構成。

第四發明，其特徵在於：在第一發明、第二或第三發明的構成中，增加了將上述黏著構件和上述剝離機構組成組，將多個這些組相對於上述保持板分散配置之構成。

第五發明，其特徵在於：在第一發明、第二、第三或第四發明的構成中，增加了相對於上述保持板之上述保持面，複數個上述黏著構件以包圍上述剝離機構之方式向周方向分散配置，藉由使上述剝離機構自上述保持板之上述保持面突出移動而使上述工件可自上述黏著構件強制性地被按壓剝離之構成。

本發明中的第一發明，將黏著構件配置為使得每單位面積的黏著力向隨剝離機構的作動之對於黏著構件的工件之剝離進行方向增加，由此，隨剝離機構的作動，工件因小的剝離力，開始從黏著構件剝離，其剝離順利進行，但若向不同於此剝離進行方向之方向剝離時，則需要比該剝離機構的作動所引起的剝離力大很多的力。

因此，在剝離機構的剝離進行方向，可容易地剝離工件。

其結果，與黏著構件的黏著力不具備方向性的以往的裝置相比，可用較弱力的剝離力不費力地剝離工件的同時，難以發生工件掉落等製作上的問題。

據此，在用於液晶面板顯示器的基板組裝裝置時，相對於因氣泡混入面板內或間隔件的壓碎等而發生不均勻等問題，可獲得很大的限度。

另外，即使在黏著構件和工件之間，因異物的卡入等導致局部性的黏著力低下，由於除剝離開始端部的大部分的黏著力強，因此，不發生剝離的連鎖，可確實地黏著保持工件。

第二發明除第一發明的效果之外，作為設定為使得每單位面積的黏著力向隨剝離機構的作動的剝離進行方向增加之機構，藉由向對於上述黏著構件的工件的剝離進行方向增大對於工件的黏著構件的黏著面積，而使黏著力被設定為從對於黏著構件的工件的剝離開始位置向剝離終了位置變強。

因此，能夠以簡單的結構使黏著構件的黏著力具有方向性。

其結果，因可將整個裝置的結構簡單化，所以，也可謀求製造的低成本化。

第三發明除第一發明的效果之外，作為設定為使得每單位面積的黏著力向隨剝離機構的作動的剝離進行方向增加之機構，藉由向對於上述黏著構件的工件的剝離進行方向增大對於工件的黏著構件的彈性變形量，而使剝離力被設定為從對於黏著構件的工件的剝離開始位置向剝離終了位置變強。

因此，能夠以簡單的結構使黏著構件的黏著力具有方向性。

第四發明除第一發明、第二發明或第三發明的效果之外，將黏著構件和剝離機構組成組，將這些多個組相對於保持板以每適當間隔分散配置，以此，藉由分散配置的黏著構件，工件被部分性地黏著保持的同時，這些黏著藉由各剝離機構的作動，無需對整個工件施加蠻力就能剝離。

因此，以簡單的結構，可確實地進行工件的剝離開放。

本發明的黏著夾盤裝置D，表示作為工件A、B配備有使用於液晶顯示器(LCD)或電漿顯示器(PDP)或可撓性顯示器的面板上的玻璃基板、或裝卸自如地保持並貼合塑膠薄膜基板的基板貼合機的情況。

此基板貼合機，如圖1(a)~(c)或圖7(a)~(c)所示，配置例如由以金屬或陶瓷等剛體形成為不歪曲(彎曲)變形的厚度的平板狀的基準平台而成的上下一對保持板1、1'，在這些上下保持板1、1'的平行相對的平滑保持面1a、1a'上，使兩片基板A、B分別裝卸自如地保持，劃分形成於此等之周圍的封閉空間S內達到規定真空度後，將上下保持板1、1'向XYθ方向(圖面為水平方向)相對地調整移動，進行基板A、B彼此的定位，之後，至少使基板A、B中的任一方從上下保持板1、1'的保持面1a、1a'剝離重合後，進行封閉空間S內的真空破壞，以產生於兩基板A、B的內外的氣壓差，將兩基板A、B之間加壓至規定的間隙。

若詳細地進行說明，如圖1(a)或圖7(a)的實線所示，上下保持板1、1'以升降機構(未圖示)向Z方向(圖中的上下方向)可相對移動地被支撐，在大氣壓環境中，以將這些上下保持板1、1'向上下方向放開的狀態，相對於各保持面1a、1a'，將用搬運機器人(未圖示)運送的基板A、B分成組分別保持。

之後，如圖1(a)或圖7(a)的雙點鏈線所示，藉由上述升降機構的作動使上下保持板1、1'接近移動，在此二者間劃分形成封閉空間S。

接著，在藉由吸氣機構(未圖示)的作動從此封閉空間S抽取空氣並達到規定真空度時，藉由水平移動機構(未圖示)的作動，使上下保持板1、1'中的任一方相對於另一方朝XYθ方向調整移動，以此，作為保持於該等的基板A、B彼此的位置調整(調整)，依次進行粗調整和微調整。

完成該等之位置調整之後，如圖1(b)或圖7(b)所示，將被保持在上下保持板1、1'的基板A、B的任一方朝另一方移動，藉由夾住下基板B上的環狀黏著劑(片材)C並使其瞬間壓接，使二者間密封重合。

之後，如圖1(c)或圖7(c)所示，藉由上述升降機構的作動，使上下保持板1、1'向相互隔離的方向移動，與此大致同一時間，使上述吸氣機構反作動或用其它機構向封閉空間S內供給空氣或氮氣，藉由使該封閉空間S內的環境返回大氣壓，以產生於兩基板A、B內外的氣壓差均等加壓，在液晶被封入的狀態下，完成擠壓貼合至規定間隙的工程。

並且，本發明的黏著夾盤裝置D，由上述剛體而成的上下保持板1、1'，和將基板A、B黏著保持的黏著構件2，和將基板A、B強制性地從此黏著構件2剝離的剝離機構3構成，相對於上下保持板1、1'的保持面1a、1a'，以黏著構件2黏著保持上下基板A、B，藉由剝離機構3的作動，將上下基板A、B強制性地從該黏著構件2剝離，與上下保持板1、1'的保持面1a、1a'隔離。

在圖示例中，表示本發明的黏著夾盤裝置D只相對於上保持板1的保持面1a，向與其交叉的Z方向(上下方向)往返自如地設置剝離機構3，藉由此剝離機構3的上下作動，將上基板A強制性地從黏著構件2剝離，與上保持板1的保持面1a隔離，與保持於下保持板1'的下基板A重合的情況，以下，按照圖示例進行說明。

上述黏著構件2為由例如丁基橡膠、氟橡膠、感光性樹脂、丙烯酸系或矽系等黏著材料而成之黏著片材，將其背面固定在上保持板1的保持面1a或下述的剝離機構3的基板側表面。

此黏著構件2和下述的剝離機構3，優選單元化為使得該二者成組，相對於上保持板1以每適當間隔分散配置，在圖1(a)~(c)或圖7(a)~(c)所示的例中，因空間的關係，只配置了2組，但對應於上基板A的大小，只配置了可將其懸掛的數。

而且，在上保持板1的保持面1a，開設有多個開口部1b，在此等開口部1b的內部分別向上下方向往返自如地配設有剝離機構3。

作為此剝離機構3的具體例，如圖1(a)~(c)或圖7(a)~(c)所示，例如，將由以不銹鋼等金屬製的可彈性變形的膜或橡膠或工程塑膠等的合成樹脂成形為薄板狀的隔膜板而成的彈性膜3a，向上下方向往返自如地支撐在上保持板1的開口部1b內，因夾住此彈性膜3a並劃分形成在其一次側(背後)的空壓室3b與劃分形成在二次側的封閉空間S間的壓力差，彈性變形並向上下方向往返作動，或以致動器等驅動源(未圖示)向上下方向往返作動。

在圖示例中，用配備在上保持板1的開口部1b的夾持構件1c夾住並不能脫落地固定彈性膜3a的外周部分，但也可以用其它支撐機構固定，另外，在該彈性膜3a的中心部分連設了不能變形的剛體部3c，但也可以例如，國際公開第2005/098522號手冊所記載，只用由無剛體部3c的隔膜板而成的彈性膜3a，從黏著構件2強制性地剝離上基板A，與上保持板1的保持面1a隔離。

使此種彈性膜3a或驅動源向上下方向作動時，以黏著構件2黏著保持的上基板A變形，黏著構件2對應於此變形歪曲而彈性變形，在其黏著力達到屈服值時，產生剝離。

因此，將上述黏著構件2配置為，使每單位面積的黏著力，向上基板A隨上述剝離機構3的作動對於該黏著構件2剝離的方向增加，使剝離力的強弱具有平面內的方向性。

即，隨上述剝離機構3的作動，在上基板A的變形歪曲傳播的方向配置上述黏著構件2，使得在各地點，剝離所需力(黏著構件2的黏著屈服力)整體大致增加。

並且，本發明將如上所述的上基板A的變形歪曲傳播的方向稱之為"剝離進行方向"。

作為設定為使得每單位面積的黏著力向隨此剝離機構3的作動的對黏著構件2的上基板A的剝離進行方向增加之方法，使相對於上基板A的該黏著構件2的黏著面積向相對於上述黏著構件2的上基板A的剝離進行方向增大或使相對於上基板A的該黏著構件2的彈性變形量向相對於上述黏著構件2的工件A的剝離進行方向增大等，使剝離力的強弱具有平面內的方向性。

[實施例之詳細說明]

以下，根據附圖說明本發明的各實施例。

實施例1

此實施例1如圖1~圖6所示，相對於上述上保持板1的保持面1a，黏著構件2被固定為包圍上述剝離機構3，藉由將此剝離機構3向上移動，使其向上保持板1的開口部1b內呈凹狀埋入，上基板A的表面A1接觸在該黏著構件2的黏著面2a而被黏著保持，另外，藉由將剝離機構3向下移動，使其向二次側空間(封閉空間)S突出，上基板A的表面A1從該黏著構件2的黏著面2a被強制性地擠壓剝離。

作為上述黏著構件2的設置例，藉由將沿上保持板1的各開口部1b的開口邊緣被固定的黏著構件2的形狀向上保持板1的剝離進行方向改變，使有助於追隨根據各開口部1b內的剝離機構3的上下作動的、剝離時的上基板A的上下方向(垂直)變位變化的黏著構件2的橫截面或每單位面積的黏著力增減。

如圖2(b)所示例中，沿在上保持板1以圓形被開設的各開口部1b的開口邊緣，向周方向以每適當間隔配置固定多個黏著構件2，將該等黏著構件2的黏著面形狀分別設為大致三角形，從各開口部1b的開口中心向面向開口邊緣的放射方向外側，逐漸增大該黏著構件2的橫截面積。

作為其它例子，如圖3所示，配置固定沿上保持板1的各開口部1b的開口邊緣向周方向連續的環狀的黏著構件2，使得從其內側部分的周方向適當部分到面向各開口部1b的開口中心消尖為大致山形狀或梯形狀等，也可從各開口部1b的開口中心向面向開口邊緣的放射方向外側，逐漸增大該黏著構件2的橫截面積。

這些黏著構件2的形狀不局限於圖示的大致三角形或大致山形或梯形，可取而代之變更為梯形等類似的形狀。

並且，如圖4所示，將上述黏著構件2以多數點狀分散配置，藉由變化這些點狀黏著構件2的數或密度或大小等，也可使有助於追隨根據各開口部1b內的剝離機構3的上下作動的、剝離時的上基板A的上下方向(垂直)變位變化的黏著構件2的每單位面積的黏著力逐漸增減。

另外，作為除其以外的黏著構件2的設置例，藉由將沿上保持板1的各開口部1b內的開口邊緣被固定的黏著構件2的厚度向上保持板1的剝離進行方向改變或將相對於上保持板1的保持面1a的黏著構件2的固定部分向上保持板1的剝離進行方向改變，來增減有助於追隨根據各開口部1b內的剝離機構3的上下作動的、剝離時的上基板A的上下方向(垂直)變位變化的黏著構件2的彈性變形量。

圖5所示例中，沿上保持板1的各開口部1b的開口邊緣，向周方向以每適當間隔配置固定多個黏著構件2，或以向周方向連續的環狀配置固定，將這些黏著構件2的厚度尺寸從各開口部1b的開口中心向面向開口邊緣的放射方向外側加厚，使該黏著構件2的彈性變形量逐漸增大，由此，使剝離力向同方向變強。

圖示例中，由於該黏著構件2經由黏著保持板2b被固定在上保持板1的保持面1a等，可正確地定位內外厚度尺寸不同的黏著構件2較佳，但也可不使用黏著保持板2b而直接固定。

其它例如圖6(a)(b)所示，沿上保持板1的各開口部1b的開口邊緣，向周方向以每適當間隔配置固定多個黏著構件2，或以向周方向連續的環狀配置固定，只將這些黏著構件2的放射方向外側部分固定在上保持板1的保持面1a，從各開口部1b的開口中心向面向開口邊緣的放射方向外側，使該黏著構件2的彈性變形量逐漸增大，由此，使剝離力向同方向變強。

圖示例中，沿該黏著構件2的背面設置黏著保持板2b，藉由只將其放射方向外側部分2c相對於上保持板1的保持面1a等部分固定，黏著構件2的拉伸強度變高較佳，但也可不使用黏著保持板2b而直接固定。

另外，也可以適當組合如圖2~圖6所示的設置例，使每單位面積的黏著力向隨剝離機構3的向下移動的、向相對於黏著構件2的上基板A的剝離進行方向(從各開口部1b的開口中心面向開口邊緣的放射方向外側)增加。

一方面，在面對於上述剝離機構3的上基板A的部分連設由不可變形材料而成的剛體部3c，藉由此剝離機構3的上下作動，在保持板1的開口部1b內使該剛體部3c向上下方向平行移動。

圖示例中，在藉由剝離機構3的彈性膜3a的向上移動而使剛體部3c埋入於開口部1b內的狀態下，使上基板A接觸在上保持板1的黏著構件2而黏著保持，另外，藉由彈性膜3a的向下移動使剛體部3c向二次側空間(封閉空間)S，突出變形於下方，向從黏著構件2的黏著面2a離開的方向擠壓上基板A的表面A1。

另外，將上述剛體部3c的形狀對應於保持板1的開口部1b設為圓形，但也可將這些剛體部3c和開口部1b的形狀設為例如矩形或多角形等角形或其它形狀。

接下來，關於此種黏著夾盤裝置D的作動進行說明。

首先，如圖2(a)的實線、圖5的實線及圖6(a)所示，若藉由上述剝離機構3的向下移動，擠壓黏著保持於黏著構件2 的黏著面2a的上基板A的表面A1，則如圖2(a)的雙點鏈線、圖5的雙點鏈線及圖6(b)所示，上基板A的擠壓部分發生部分變形，對應於此變形歪曲，黏著構件2的黏著力達到屈服值並產生剝離。

在此剝離中，由於黏著構件2被配置為，每單位面積的黏著力向上基板A的剝離進行方向，即，本實施例中的從各開口部1b的開口中心向放射方向外側增加，因此，因小的剝離力，上基板A的表面A1首先從內側開始被剝離，且其剝離順利地進行。

然而，即使其它外力向不同於依靠該剝離機構3的剝離進行方向的方向，對此上基板A起作用，但因對於黏著構件2的剝離力變得非常大，所以很難剝離。

據此，因剝離機構3的作動，確實地達成了上基板A由黏著構件2的剝離，對除其以外的方向的干擾力，可使其具有剝離的耐性，可確實地防止上基板A的剝離下落。

實施例2

此實施例2如圖7~圖8(a)所示，藉由將上述黏著構件2的固定位置從上保持板1的保持面1a替代為剝離機構3的前端面的同時，將此剝離機構3向下移動，使固定在其前端面的黏著構件2的黏著面2a與上述上保持板1的保持面1a以大致面狀或若干(100μm左右)凸狀突出，據此，上基板A的表面A1接觸在該黏著構件2的黏著面2a而被黏著保持，另外，藉由剝離機構3向上移動，使固定在其前端面的黏著構件2的黏著面2a向上保持板1的開口部1b內以凹狀埋入，據此，將該黏著構件2的黏著面2a從上基板A的表面A1強制性地剝下的構成不同於上述圖1~圖5所示的實施例1，除其以外的構成與圖1~圖5所示的實施例1相同。

圖示例的情況，係在面對剝離機構3的上基板A的部分連設剛體部3c，在此剛體部3c的前端面固定黏著構件2。

作為此實施例2中的上述黏著構件2的設置例，同於上述實施例1，藉由向上保持板1的剝離進行方向改變該黏著構件2的形狀或黏著構件2的厚度或相對於剝離機構3的前端面的黏著構件2的固定部分，來增減有助於追隨根據各開口部1b內的剝離機構3的上下作動的、剝離時的上基板A的上下方向(垂直)變位變化的黏著構件2的橫截面積或每單位面積的黏著力或彈性變形量。

例如，如圖8(b)所示，沿連設在剝離機構3的剛體部3c的前端面的外周邊緣，向周方向以每適當間隔配置固定多個黏著構件2，將這些黏著構件2的黏著面形狀分別設為大致三角形，使該黏著構件2的橫截面積從各開口部1b的開口邊緣向面向開口中心的放射方向內側逐漸增大。

作為其它例子，雖未圖示，但也可將圖2~圖6所示的設置例中的黏著構件2的固定位置從上保持板1的保持面1a替換為剝離機構3的前端面的同時，設為那些黏著構件2的反方向，從各開口部1b的開口邊緣向面向開口中心的放射方向內側，逐漸增大該黏著構件2的橫截面積。

而且，也可以適當組合這樣的設置例，使每單位面積的黏著力向隨剝離機構3的向上移動的、相對於黏著構件2的上基板A的剝離進行方向(從各開口部1b的開口邊緣面向開口中心的放射方向內側)增加。

若說明此實施例2的作動，藉由剝離機構3的向上移動，固定在其前端面的黏著構件2凹進、從上基板A的表面A1拉開時，由此相對於上基板A的黏著部分發生部分變形，對應於此變形歪曲，黏著構件2的黏著力達到屈服值並產生剝離，從而由上基板A的表面A1不費力地剝離。

在此剝離中，由於將黏著構件2配置為，使每單位面積的黏著力向上基板A的剝離進行方向、即，本實施例中的從各開口部1b的開口邊緣向放射方向內側增加，因此，因小的剝離力，上基板A的表面A1開始剝離，且其剝離順利地進行。

然而，即使其它外力對於此上基板A，向不同於依靠該剝離機構3的剝離進行方向的方向起作用，但由於對於黏著構件2的剝離力變得非常大，因此，很難剝離。

據此，如圖7~圖8所示的實施例2也和上述實施例1同樣，藉由剝離機構3的作動，確實地達成上基板A從黏著構件2的剝離，除其以外的方向的干擾力可使得具有剝離的耐性，可確實地防止上基板A的剝離下落。

另外，本發明的黏著夾盤裝置D，表示作為工件A、B配備有使用於液晶顯示器(LCD)或電漿顯示器(PDP)或可撓性顯示器的面板的玻璃基板、或裝卸自如地保持並貼合塑膠薄膜基板的基板貼合機的情況，但不僅限於此，也可以配備在此基板貼合機以外的基板組裝裝置或搬運基板的基板搬運裝置，也可以黏著保持LCD面板用玻璃基板以外的基板。

並且，說明了在真空中貼合兩片基板A、B的基板貼合機，但不僅限於此，也可以係在大氣中貼合基板A、B的基板貼合機，這種情況，也可以獲得與上述真空貼合機同樣的作用效果。

另外，在圖示例中，只對於上保持板1的保持面1a往返作動自如地設置剝離機構3，藉由此剝離機構3的上下作動，從黏著構件2強制性地剝離上基板A，但不僅限於此，雖未圖示，但對於下保持板1'的保持面1a'也可以同樣地往返作動自如地設置剝離機構，藉由此剝離機構的上下作動，從黏著構件強制性地剝離下基板B，與下保持板1'的保持面1a'隔離。

1‧‧‧保持板(上保持板)

1'‧‧‧保持板(下保持板)

1a‧‧‧保持面

1a'‧‧‧保持面

1b‧‧‧開口部

1c‧‧‧夾持構件

2‧‧‧黏著構件

2a‧‧‧黏著面

2b‧‧‧黏著保持板

2c‧‧‧放射方向外側部分

3‧‧‧剝離機構

3a‧‧‧彈性膜

3b‧‧‧空壓室(一次側空間)

3c‧‧‧剛體部

A‧‧‧工件(上基板)

A1‧‧‧表面

B‧‧‧工件(下基板)

C‧‧‧環狀黏著劑

D‧‧‧黏著夾盤裝置

S‧‧‧封閉空間(二次側空間)

圖1係表示本發明的黏著夾盤裝置的實施例1的縱向剖面前視圖，將配備在基板貼合機時的作動步驟表示於(a)~(c)。

圖2係將實施例1部分擴大表示的圖，(a)為縱向剖面前視圖，(b)為橫向剖面仰視圖。

圖3係表示黏著構件變形例的擴大橫向剖面仰視圖。

圖4係表示黏著構件變形例的擴大橫向剖面仰視圖。

圖5係表示黏著構件變形例的擴大縱向剖面前視圖。

圖6係表示黏著構件變形例的擴大縱向剖面前視圖，(a)表示剝離前的狀態，(b)表示剝離進行時的狀態。

圖7係表示本發明的黏著夾盤裝置的實施例2的縱向剖面前視圖，配備在基板貼合機時的作動步驟表示於(a)~(c)。

圖8係將實施例2部分擴大表示的圖，(a)為縱向剖面前視圖，(b)為橫向剖面仰視圖。