JP7417246B2 - 貼り付け装置及び貼り付け方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 68
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 7
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
11 被着体
11a 立体形状
12 貼り付け部材
12a 外縁部
20 押圧部
21 押圧側立体部
30 保持部
40 被着体支持部
41 支持側立体部
50 緩衝部材
60 装着部材
61 第一保持部材
61a 第一開孔部
62 第二保持部材
62a 第二開孔部
70 真空チャンバ
71 上チャンバ
72 下チャンバ
Claims (12)
- 立体形状を有する被着体と貼り付け部材とを互いに貼り付ける貼り付け装置であって、
前記被着体の立体形状に沿う形状の押圧側立体部を有し、前記押圧側立体部で前記被着体に前記貼り付け部材を押圧する押圧部と、
前記押圧部を取り囲むように配置され、前記貼り付け部材と前記被着体とが対向するように当該貼り付け部材の外縁部全周を保持することにより、前記貼り付け部材が張った状態で設けられる保持部と、
前記被着体の立体形状に沿う形状の支持側立体部を有し、当該支持側立体部に沿って前記被着体を支持すると共に前記貼り付け部材と交差する方向に相対的な移動が可能な被着体支持部と、
前記押圧部と前記貼り付け部材との間に前記押圧側立体部を覆うように設けられた緩衝部材と、を備え、
前記保持部は、前記貼り付け部材を保持すると共に当該保持部に対して位置決め状態で着脱自在の装着部材を有し、
前記装着部材は、
前記貼り付け部材を露出させる第一開孔部が開孔され、当該第一開孔部の外側部分で前記貼り付け部材の外縁部を保持することが可能な第一保持部材と、
前記第一開孔部と対応する形状の第二開孔部が開孔され、前記貼り付け部材の外縁部を前記第一保持部材との間で全域に亘って保持することが可能な第二保持部材と、を有しており、
前記第二保持部材は、前記第二開孔部の周縁が、前記保持部の外周縁と係合可能であり、
前記貼り付け部材は、前記第二開孔部の内側の領域において、前記保持部と前記第一保持部材との間に挟持されるものであり、
前記被着体支持部を前記押圧部に対して相対的に移動させ、前記貼り付け部材に対して前記被着体を押し込むことにより、前記貼り付け部材に張力負荷をかけながら前記被着体と前記貼り付け部材とを貼り付けることを特徴とする貼り付け装置。 - 前記緩衝部材が、予め前記押圧部の表面に沿って傾斜状態となるように、前記保持部によって前記緩衝部材の外縁部が保持されていることを特徴とする請求項1に記載の貼り付け装置。
- 前記緩衝部材が、前記保持部によって張力が付加され、かつ保持された状態で、前記被着体と前記貼り付け部材とが貼り付けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の貼り付け装置。
- 前記貼り付け部材及び前記緩衝部材が、前記保持部に保持されていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の貼り付け装置。
- 前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方が磁力を発するように形成され、前記装着部材の前記保持部への装着が磁力により行われることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の貼り付け装置。
- 前記被着体支持部は、前記被着体を加熱する加熱手段を備えることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の貼り付け装置。
- 前記被着体支持部と、前記押圧部と、前記保持部とを真空チャンバ内に配したことを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の貼り付け装置。
- 立体形状を有する被着体と貼り付け部材とを互いに貼り付ける貼り付け方法であって、
前記被着体の立体形状に沿う形状に形成され、前記被着体に前記貼り付け部材を押圧する押圧部と、前記押圧部を取り囲むように配置され、前記貼り付け部材と前記被着体とが対向するように当該貼り付け部材の外縁部全周を保持することにより、前記貼り付け部材が張った状態で設けられる保持部と、前記被着体の立体形状に沿う形状に形成され当該立体形状に沿って前記被着体を支持すると共に前記貼り付け部材と交差する方向に相対的な移動が可能な被着体支持部と、前記押圧部と前記貼り付け部材との間で前記押圧部を覆うように設けられた緩衝部材と、を設けると共に、前記保持部に、前記貼り付け部材を保持すると共に当該保持部に対して位置決め状態で着脱自在な装着部材を設けておき、
前記被着体支持部に前記被着体を支持させる被着体支持工程と、
第一開孔部が形成された第一保持部材と第二開孔部が形成された第二保持部材との間に前記貼り付け部材を挟持することで前記装着部材を形成する装着部材形成工程と、
前記第二開孔部の周縁を前記保持部の外周縁に係合させると共に、前記第二開孔部の内側の領域において、前記貼り付け部材を、前記保持部と前記第一保持部材との間に挟持することにより前記装着部材を保持する装着工程と、
前記押圧部と前記被着体支持部とを相対的に移動させ、前記貼り付け部材に対して前記被着体を押し込むことにより、当該被着体と前記貼り付け部材とを貼り付ける貼り付け工程と、を実行することを特徴とする貼り付け方法。 - 前記緩衝部材が、予め前記押圧部の表面に沿って傾斜状態となるように、前記保持部によって前記緩衝部材の外縁部が保持された状態で前記貼り付け工程が実行されることを特徴とする請求項8に記載の貼り付け方法。
- 前記装着工程は、前記装着部材が磁力によって前記保持部に保持されることを特徴とする請求項8に記載の貼り付け方法。
- 前記被着体支持部と、前記押圧部と、前記保持部とを真空チャンバ内に配し、前記貼り付け工程が実行される前に前記真空チャンバ内を減圧状態にする減圧工程を実行することを特徴とする請求項8~10のいずれかに記載の貼り付け方法。
- 前記被着体支持部に加熱手段を設け、前記被着体支持工程の後、前記貼り付け工程が実行される前に前記加熱手段により前記被着体を加熱する加熱工程を実行するようにしたことを特徴とする請求項8~11のいずれかに記載の貼り付け方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019199457A JP7417246B2 (ja) | 2019-10-31 | 2019-10-31 | 貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019199457A JP7417246B2 (ja) | 2019-10-31 | 2019-10-31 | 貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021070282A JP2021070282A (ja) | 2021-05-06 |
JP7417246B2 true JP7417246B2 (ja) | 2024-01-18 |
Family
ID=75712252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019199457A Active JP7417246B2 (ja) | 2019-10-31 | 2019-10-31 | 貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7417246B2 (ja) |
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JP3359544B2 (ja) * | 1996-08-22 | 2002-12-24 | 日本電信電話株式会社 | 薄膜形成装置 |
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