TWI272690B - Container for receiving precision substrate and press member of the same - Google Patents

Description

1272690 五、發明說明α) [發明所屬技術領域] 本發明係有關用於矽晶圓或光罩用玻璃板等精密基板 之收納、貯藏、保管、輸送、製程内搬運等之精密基板收 納容器及其精密基板壓緊構件。 [技術背景] 矽晶圓或光罩用玻璃板等之精密基板，絕對不能有因 微小的粒子所引起之污染。在輸送、保管此等精密基板 時，必須在非常清淨的環境中作業，而為避免受到作業人 員之身體、衣服之灰塵所污染起見，採用經自動化之機械 設備進行基板材料之處理。 精密基板，係即使經收納在精密基板收納容器（以 下，簡稱收納容器。）内之狀態，仍然有因與收納容器之 内壁接觸所引起之摩擦，或從構成收納容器之樹脂材料之 微量排出氣體而被污染之可能性。 因此，當選擇收納容器之材料時，必須盡量選擇不會 污染精密基板之材質，特別是與精密基板直接接觸之壓緊 構件之材質之選擇係非常重要的項目。 關於構成壓緊構件之材料，有例如，日本特開平 11-163115號公報所記載之為了要減少污染氣體之產生、 排放而施予處理之材料之提案。 如前述，由於精密基板不能有因微小粒子所引起之污 染之故，使用或管理收納容器之外部環境及收納容器内部 之環境亦最好盡量做成潔淨之狀態。 再者，隨著近年來之半導體產業中之精密基板之大直

313724.ptd 第9頁 1272690

徑化及半導體裝置之更高密度化及高積體化，對保持彳欠 容器内外之環境為更高潔淨度之狀態之要求，較前二 格。 苟嚴 另一方面，對應精密基板 而逐漸在使用大容量之收納容 及厚度均增大，由於污染精密 故必須控制其絕對量至最少程 一般而言，與樹脂材料相 性彈性體材料之低分子量成分 當然排放氣體量亦較多。 之大型化、大直徑化之趨勢 器’隨著壓緊構件之表面積 基板之氣體排放量亦會増加 度。 比時，形成壓緊構件之熱塑 或添加劑之含量較多，因而 由於近年來之分析方法之進步，已能將從成型品之排 放氣體之種類及數量，依在預定之溫度經封入對象物在密 封谷器中之狀態，例如6 〇 °C下加熱一定時間，例如加熱1 小時後’捕集密封容器内之氣體，並使用氣體色譜法（§衫 chromatography )、質量分析等以定性以及定量方式進行 分析（所謂淨空容積（head space)法）之方法而可進行言精 度之分析。 ° 由其結果可明瞭，比較形成收納器之通常之材料之 丙烯或聚碳酸醋或聚對苯二曱酸丁二醇醋 脂，從聚烯系或聚酯系之赦施祕,从碰 …^ r王銜 办、 示之熱塑性弹性體所排放之翕艚詈# 多出10倍到50倍程度。再去^ ™+ 係 丹考，如四氫咲喃 (tetrahydrofuran)之愔游 从 因為此算材枓之埶八紐 一旦附者在精密基板時，將 y此等材枓之熱刀解而產生難以完全去除揮發性成分之

313724.Dtd

第10頁 1272690

五、發明說明（3) -____ 因此，對由氣體產生量較多而成A、一 性體材料而成之壓緊構件所排放 ς 源之熱塑性彈 課題。 對策，已成為重要 又，僅由熱塑性彈性體而成之壓緊 (creep deformation)較大而有在^之潛變變形量 會降低之缺冑，至少、使用過Μ後之構管中保持力 基板之壓緊位置或保持力即有所不同冓牛而、新品，在精密 狀態無再現性之原因之故，不能再 成為基板之保持 用新品。 用，以致不得不使 本發明係鑑於上述問題所研發完 種適合將精密基板收納在收納容器 ，目的在提供一 的壓緊構件的氣體排放量降低，㊣以圓滑=不良影響 Γ發明收之m基板之收納容器及其壓緊構件I 按壓 本發明中，為解決上述課題， 器之壓緊構件時，係將用以按壓保“i::基板收納容 和接觸部以外之其他部分以不巧板之接觸部、 形成之方形之挺雜加 在盖體内側面之方式所 分別往内方突出之方式 γ ^組相對向之兩邊 部形成有用、2如 對木设部，而在各架設 設置有用精密基板之接觸•，並在該接觸部 溝。ΐ:字精之密^ 面' 及往第係=槽溝之裏侧之第1傾斜 、斜面罪開口側擴開之第2傾斜面者。

313724.ptd ΪΗ 第11頁

I 1272690 五、發明說明（4) --- 者。别述屢緊構件之接觸部，係由熱塑性彈性體所形成 件，精f之精密基板收納容器，係安裝有屋緊構 將前述接觸部以外之部分為由熱塑性 以’而 納容器中·’能使帶來不良影響的納在收 排放量大幅降低’又，可將經收納你f件所產生的氣體 板按最適當之壓緊狀態確實保持，納容器中之精密基 板，並避開來自收納容器的振動、:有效保護精密基 [發明之最佳實施形態] 衡擊等。 依據所附圖式，詳細說明本發明 發明並不侷限在以下之實施形熊。 實施形態，惟本 首先，依據第5圖所示之斜视圖， 之壓緊構件之收納容器之一例。 說明將裝上本發明 第5圖所示之收納容器，係由收 體30、及蓋體31所構成，而在容器本二擒基板之容器本 面’按能以水平狀態排列收納各精=30内相對向之内壁 間隔設置有承受並保持精密基板 ς:::二：： 之U字塑之支持部32。 繁4之剖面為有稜角 在容器本體3 0之開口部周緣，至+ 蓋體31扣止在容器本體30之蓋體扣止‘“成有二2用以將 3〇之外侧壁面上，⑨需要裝設有自動器本體 化之把手或手動搬運用之把手部34搬運用之對應於自動 第12頁 3l3724.ptd 1272690 五、發明說明（5) 蓋體31之側壁上，袖 且 - 蓋體扣止部33嵌合之扣止具有與前述之容器本體30之 體31扣止在容器本體/〇時部分=二對扣止機構35，而當蓋 成之段差部相對之部八、\再與各器本體3 0之内侧緣所形 36。在該凸部36周圍？开嵌入該段差部之凸部 形（endless)之密封構件$7。、’、、收納容器之密封性之環 在蓋體3 1之内側面， 保持該基板用之壓緊椹上與精密基板相抵接以壓緊 以將精密基板固定伴持读而在此壓緊構件上形成有用 宠寒太齅5 0 ί在確位置之承受槽溝。 合器本體3 0及盍體3 1，係由 異、污染性較少的聚$ _ 、 良好且機械特性優 喊楓、聚丙烯對苯二甲酸丁二醇醋、聚 熱塑性樹脂所形成者，惟特別县y 1处 以目視確認收納容器内邱_，目a二I隅特別疋必須能 輯、降冰片烧系rr 使用透明性良好的聚碳酸 塑性 帶電功能或導ϊ:用樹脂中添加賦予防止 之防止咿電性樹脂組成物。 那劑 如第1圖及第2圖所示，本發明之壓緊構件}中， 邊3方Γ往之内框方體:2二及分別從此框體部2之一組相對向之兩 ， 方向所突出之一對架設部4, 4。該架設部4 4， 係形成為將上部切成傾斜平面之切面三角柱狀，而在此上 面形成有為壓緊保持精密基板之接觸部5,5，並在此接 ，5, 5之傾斜的上面，形成有為承受精密基板之周緣部 予型剖面之槽溝6, 6，在該v字型槽溝6之側壁，可為單一傾 第13頁 3l3724.ptd 1272690 五、發明說明（6) 斜面之組合，惟亦可為如第4圖所示，且有 之第1傾斜面7、及以較此第丨傾斜面7為大槽溝之裏頭側 擴開之第2傾斜面8之方式形成。 ’、、、角度而往開口側 第4圖所示V字型槽溝6之第丨傾 納容器内所支持之精密基板之面之水^ 7 ’係形成為與收 i。至5。之傾斜角度，而在v字型槽溝千成之角度為 基板15之周緣部並挾在槽溝裏頭部之 碩部嵌入精密 持。同樣’第2傾斜面8 ’係與形 =間以便保 K被之水平面所形成之角ί以至：在收納容 引;::發揮將精密基㈣引導到v字型r溝 第2傾斜面8，係如第3圖所示， 非對稱形之傾斜面交錯方式、 方向成為 ;確實地將精密基板15之邊緣部:二二形溝成 _v::::二：剖 壓緊構件之蓋體裝於容器本體上並關閉時，第2傾斜面8將 抵接内部所收納之精密基板15之端緣，接著，精密基板15 之端緣部將照此狀態滑行該第2傾斜面8，並進入第1傾斜 面7之間而圓滑地確實引導到V字型槽溝6之裏頭部，惟由 於槽溝之側壁係形成為傾斜面之故，精密基板之經鏡面研 磨之面將不致於與V字型槽溝之側壁面接觸。 V字型槽溝6，係由於將其寬度做成與精密基板15之厚 第14頁 313724.ptd 1272690 五、發明說明（7) ------ 度略相同之方式，即可將精密基板丨5確 溝6内之故，可防止因收納容器之輪 '，、夺在V字型槽 旋轉之摩擦所引起之粒子之產生。再者，產生之振動或 容器施加跌落等之衝擊，仍不致從”型槽於::吏：，納 實保持在精密基板15之故，可防止精密胃’ ^可確 壓緊構件之各接觸部5，係為能按彈^ <破#。 起見’在相鄰之接觸部之間形成有縫隙…而 做成各接觸部能獨立接觸精密基板之方式。 接觸部5,係為防止因輸送收納容器時振動所引起之 ^直而產生精密基板之磨損或破損起見，而將由連結盘 精选基板接觸之左右兩側之各位置和精密基板之中心之^ =形成之内角，設定成為60。S15(rc，較佳為9〇。至ι2〇 C之範圍之方式。 又’在分別從前述框體部2之一組相對向之兩邊3 3往 内方所突出之方式所設置之一對架設部4, 4之内方侧，’和 框體部2之另一方所對向之兩邊9, 9連結之支柱部1〇，1〇設 置成一體，而在從此等支柱部10, 1〇之各侧邊延伸之突出 邊緣部，形成有與精密基板之周緣部接觸之第2接觸部 1 1 〇

該第2接觸部1 1，1 1 ’係經形成為按梳齒狀分離突出之多 數個彈性片12,而在該彈性片12之前端部設置有承受並扣 止經收納在容器本體中之精密基板之周緣部之V槽溝丨3。 、該V槽溝1 3之侧壁’可為單一傾斜面之組合，亦可做 成為與第4圖所示之接觸部之V字型槽溝6同樣，具有較裏

1272690 五、發明說明（8) 頭側以大角度將開口側擴開之二個傾斜面之方式。

V字气，溝6及V槽溝13’均可做成為與第4圖所示之V 字m同剖面形狀’亦可僅將任一方做成為與第4圖 所示之剖面形狀。 第2接Λ'11中所形成之彈性片12,係具有彈性，以 保護因收^器之掉洛所施加到精密基板之強烈衝擊，並 發揮用以實現更安全的輸送的重要作用。 第2接觸部Η，較佳為如第丨圖所示往上下方向按一定 間距相對向之方式設置，惟亦可相對向之二 置第2接觸部U(對-側而言，為每隔一段），並做成全體 來看時互相交錯之方式設詈之。ψ卩主 . 接觸狀態將成為三點接觸 料’與精密基板15間之 在=:2之周緣部上’設置有由複數個缺口或突起 Γ ΐ Ϊ: 2 I4丄而由於此等將在蓋體内側面所形成之 w緊構件1即能辦蓋體之内側面 自在地裝卸。 本發明之壓緊構件1中，較佳為僅上 2接觸部11係以與壓僅構件丨之前述 觸邛5及弟 分(以下，稱為非接觸部。）所不=;匕，：以外之部 等係經一體化者。 卩的成型材料形成，並此 ，此，由熱塑性彈性體所形成之接觸部中，不僅實際 ，、精德、基板接觸之V字型槽溝6或v槽、、盖η _ 、、 塵緊構件相對向之各精密基板使每m尚包含對於 而分割成板彈簧狀之彈性部分。u性接觸之方式’

1272690 五 發明說明（9) 器承受：5 t部5 ’ 1 1 ’係考慮收納有精密基板之收納容 佳為；ίΐΓ能吸收所施加之衝擊而予以緩和起見， 稀系之熱可塑Γ生；醋系之熱塑性彈性 料形成之。 成i材料之相溶性佳之材 例如，如為壓緊構件之接觸 之熱塑性彈性體時，則非 1，而選擇聚酯系 醇醋、聚對笨二甲部較佳為聚對笨二甲酸乙二 金’如為壓緊構件之接觸部5日，、聚1酸_或此等之樹月旨合 其次，使用第6圖、第7 H 1烯或聚乙烯。 略圖，說明製造本發明 =不樹脂成型用金屬模具之

之方法。 月之由不同成型材料而成之壓緊構J 此等圖中，成型金屬爐 金屬模具21所構成。 、/、’、固疋金屬模具20及可動 形成壓緊構件之框體部及架# 22，係預先使用專用之金屬模且二：部份之非接觸部 二甲酸丁二醇醋、•聚碳酸輯：：聚：酸醋' 聚辦笨 樹脂合金所形成。 、A子本一甲酸丁二醇_之 第6圖，係表示將預先 22，插入到接觸部成型 屬成之壓緊構件之非接觸部 第7圖，係表示如第6 =屬；具之孔腔23内之狀態。 如弟6圖所不將經插入有壓 <

313724.ptd 第17頁 1272690 五、發明說明αο) 接觸部22之金屬模具安裝在射出成型機（未圖示）上，合模 後’從注入口 24將與非接觸部22相異的樹脂（me 11)熔體填 充至形成接觸部之孔腔23内之狀態。 第6圖、第7圖中，金屬模具係表示三板構造者，惟不 偈限於此’可為使用熱流道之二板構造者。又，亦可先成 型接觸部’後成型非接觸部2 2，再予以一體化。 以上所說明者，係預先成型非接觸部2 2及接觸部之任 一部份，然後進行與後成型之一方之部分一體化之方法， 惟亦可另外使用雙色成型機，並使用一個金屬模具以連續 成型不同成型材料。 此時，將一方之部分用之成型材料填充在金屬模具 中，使金屬模具之模蕊滑動或旋轉用以形成他方之部分之 新孔腔此填充另外一種樹脂以使與先前所成型之部分 本發明之壓 體3 1内側面所形 嵌合框體部之扣 免在二個熱可塑 此部分亦與接觸 框體部進行一體 本發明之壓 觸之部分係由不 2 2係以熱塑性樹 或將第2接觸部1 緊構件1 ’係例如，對在例如第5圖所示蓋 成之扣止機構上，使第1圖所示壓緊構件1 止機構14，以安裝在蓋體上。此時，為避 =生樹脂部分間發生摩擦滑動起見，較佳為 部同樣’使用熱塑性彈性體進行成型並與 化。 、 緊構件中’與精密基板接觸之部分和不接 =的成型材料所形成者，而由於非接觸部 月曰开^成僅將與精密基板接觸之接觸部5 及此等之周邊部分使用熱塑性彈性體所

1272690 五、發明說明（11) 形成之故’比較以） 塑性彈性體之^ = ί之壓緊構件，按容積比計，可減少熱 精密基板時所里為1/3至1/6。因此，收納容器中保管 減少，在收納a i之虱體排放量亦可略與此成比例而顯著 染而可在盔隊Γ内長期間保管精密基板時亦不致於被污 降低品質之顧慮下使用之。 部分之非接觸：=之熱塑性樹脂形成佔有壓緊構件之大 往之壓緊構件，故，比較僅由熱塑性彈性體所形成之以 收納容器赤i ’可顯著減少潛變變形量’並能長期間保管 裔或再利用收納容器。 度之在,〗壓緊構件之接觸部所設置之具有不同角 本體上〃 #子！槽溝，而在對經收納精密基板之容器 柘说’扣止蓋體並關閉時’可將收納容器内部之精密基 ^月且確實地誘導到v字型槽溝及第2接觸部中所設置之 密W中，並且在關閉蓋體之後，誘導至前述槽溝内之精 將可被轉實保持在槽溝内部之同時，由於第2接 觸部^彈性片將彈性按壓精密基板之故，可實現對所收納 <精费基板之最適當的按壓保持。 前在前述之實施形態之說明中，係就蓋體内面所裝上之 刖支持器（front retainer)加以敘述者。惟本發明並不侷 限於此，而就與前述前保持器相對向之方式與收納容器之 ’口相對之側壁上所裝上之「後支持器（rear retainer 」亦能同樣，可以熱塑性彈性體形成與精密基板間之接 部’而將其他部分使用與此不同之熱塑性樹脂形成，並 使之一體化。

1272690 圖式簡單說明 [圖式之簡單說明] 第1圖係表示經安裝在蓋體内側面，以壓緊保持精密 基板之壓緊構件之平面圖。 第2圖係沿著第1圖之I -1線之放大剖面圖，係表示將 設置在壓緊構件之精密基板間之接觸部。 第3圖係表第1圖中以圓圈所劃之A部之部分放大平面 圖。 第4圖係沿著第3圖之I I -1 I線之放大剖面圖。 第5圖係將安裝本發明之壓緊構件之收納容器之斜視 圖。 第6圖係表示金屬模具中經插入本發明之壓緊構件之 非接觸部之狀態之概略剖面圖。 第7圖係表示金屬模具中形成本發明之壓緊構件之接 觸部之狀態之概略剖面圖。 [元件符號說明] 1 壓緊構件 2 框體部 3 > 9 相對向之兩邊 4 架設部 5 接觸部 6 V字型剖面槽溝 7 第1傾斜面 8 第2傾斜面 10 支柱部 11 第2接觸部 12 彈性片 13 V槽溝 14 扣止機構 15 精密基板 16 縫隙 20 固定金屬模具 21 可動金屬模具 22 非接觸部

313724.ptd 第20頁 1272690 圖式簡單說明 23 孔腔部 24 注入孔 30 容器本體 31 蓋體 32 支持部 33 蓋體扣止部 34 把手部 35 扣止機構 36 凸部 37 密封構件 38 壓緊構件

313724.ptd 第21頁

Claims (1)

1. 浙 2690

   案號 91111404 年β月7 a 申請專利範圍 1. 一種精密基板收納容器之壓緊構件，該精密ϋΠΐ" 裝在由：一端具有開口 ，用以收納精密基板的精密基 板收納容器本體及以可扣止的方式設於前述收納容器 本體的蓋體所構成之精密基板收納容器中；前述壓緊 構件係形成可安裝在前述蓋體内側面之構造，並具備 有：方形的框體部、及從此框體部之一組相對向之兩 邊分別往内方突出之方式所設置之一對架設部，而在 各架設部形成有用以按壓保持精密基板之接觸部，並 在該接觸部設置有用以承接精密基板周緣部且具有ν字 型剖面之溝槽；前述壓緊構件之接觸部係由熱塑性彈 性體所形成，而接觸部以外之其他部分係由熱塑性樹 脂所形成而成者。 2. 如申請專利範圍第1項之精密基板收納容器之壓緊構 件，其中，前述壓緊構件具有由按梳齒狀方式分離突 出之複數個彈性片而成之第2接觸部。 3. 如申請專利範圍第1項之精密基板收納容器之壓緊構 件，其中，前述接觸部所設置之具有V字型剖面之槽溝 之側壁，係具有槽溝之裏側之第1傾斜面、及在開口側 較該第1傾斜面以大角度擴開之第2傾斜面而成者。 4. 如申請專利範圍第1項之精密基板收納容器之壓緊構 件，其中，前述壓緊構件之接觸部係由聚酯系熱塑性 彈性體所形成，而接觸部以外之其他部分係由聚碳酸 酯樹脂所形成而成者。 5. —種精密基板收納容器，其中，安裝有壓緊構件，該

   3]37'24修正版卬“ 第1頁 2003. 10.03.022 _案號91111404 ^^年/^月^日 修正_ 六、申請專利範圍 壓緊構件係令其與精密基板間之接觸部由熱塑性彈性 體所形成，而前述接觸部以外之其他部分係由熱塑性 樹脂所形成。

   3]3724修正版.丨3^ 第2頁 2003. 10.03.023