TWM510539U - 使用於膜架傳送裝置的修改彈簧墊 - Google Patents

Description

使用於膜架傳送裝置的修改彈簧墊 【相關申請案】

本申請案主張2015年3月13日提出申請之第62/133,131號美國臨時專利申請案之權利，該美國臨時專利申請案之揭露內容以引用方式全文併入本文中。

本創作大體而言係關於晶圓傳送裝置，且更具體而言係關於膜架或膠帶架傳送裝置(film frame or tape frame shipper)。

膜架或膠帶架一般係由一不銹鋼架與一跨該架延伸之膜構成。該膜在其一面上具有一黏合劑。在進行處理之後，通常將一圓形半導體晶圓放置於該膜上。在定位於該膜上之後，該半導體晶圓可被切分成個別片(例如，晶片)、被輸送以供進一步處理、或被儲存。半導體處理行業所使用之晶圓愈來愈大且愈來愈薄，而該等晶圓由於其較大之易碎性而呈現出處理、輸送、及儲運問題。為此，為了搬運具有此等較大且較薄晶圓之膜架，可對習用膜架晶圓載體進行改良。

在半導體製造行業中廣泛使用膜架傳送裝置來傳送膜架。多種膜架傳送裝置皆提供一種用以傳送並儲存多達25個安裝至膜架之晶圓或經單分晶粒的安全且有效方式。一容器頂部蓋墊使得能夠重新使用傳送裝 置。可存在適於用以傳送直徑為300mm、200mm、及150mm之晶圓之膜架的膜架傳送裝置。

已知裝載於習用膜架傳送裝置內之膜架會在一衝擊事件期間「跳動」。亦即，在膜架傳送裝置之外殼上引發之變形可使膜架自所指定對齊狹槽(registration slot)脫離。此種情形可使所駐存晶圓被損壞，且碰撞並損壞相鄰晶圓。

一種在衝擊事件期間亦較可靠地將膜架保持於一所指定對齊位置之膜架傳送裝置將受到歡迎。

本創作之各種實施例提供對膜架在一膜架傳送裝置內跳動之增強的預防性。另外，用於防止跳動之結構亦加強在裝載至傳送裝置中期間對膜架之對準。此外，在某些實施例中，此等結構在膜架之厚度與對齊狹槽之間達成一較緊密容差配合，藉此減小膜架與對齊狹槽之間的遊隙且減少伴隨之顆粒產生。

每一晶圓皆被支撐於一金屬或聚合物晶圓支撐環或架上。晶圓支撐環被接納於定位於膜架傳送裝置之頂部及/或底部處之一彈簧墊(spring cushion)中並由該彈簧墊保持。該彈簧墊對膜架施加一徑向力，以將每一膜架固定於一相應對齊狹槽內，藉此在傳送期間減少膜架在對齊狹槽內之移動且減少顆粒轉移或產生。在某些實施例中，彈簧墊係為可拆除及/或可更換的，且可包含用於促進將彈簧墊耦合至傳送裝置之搭扣特徵(snap feature)。膜架傳送裝置之其他特徵包含：一強制性搭扣閂鎖(positive snap latch)，用於固定對傳送裝置之閉合；一非阻塞性閂鎖及可堆疊設計 (non-obtrusive latch and stackable design)，用於減小儲存空間及降低傳送成本；以及圓角及傾斜側，用於在清潔期間減少水滯留。膜架傳送裝置可使用防靜電放電(Electro-Static discharge；ESD)材料。亦可使用射頻識別(radio frequency identification；RFID)及雷射標記選擇方案。

20‧‧‧膜架傳送裝置

22‧‧‧容器

24‧‧‧蓋

26‧‧‧內部室

28‧‧‧模架

32‧‧‧側部

34‧‧‧導引件

36‧‧‧彈簧架墊/彈簧架

36a‧‧‧彈簧架

36b‧‧‧彈簧架/彈簧架墊

38‧‧‧開槽軌

40‧‧‧膜架

42‧‧‧架

44‧‧‧外邊緣

46‧‧‧黏合隔膜

48‧‧‧晶圓

52‧‧‧對置側/第一對置側

54‧‧‧對置側/第二對置側

56‧‧‧前後方向

58‧‧‧主墊部/主墊

62‧‧‧對齊狹槽

64‧‧‧橫向方向

72‧‧‧第一梳狀結構

74‧‧‧第一梳狀突出部

76‧‧‧垂直方向

78‧‧‧第一梳狀間隙/梳狀間隙

82‧‧‧第二梳狀結構

84‧‧‧第二梳狀突出部

88‧‧‧第二梳狀間隙

92‧‧‧近端

94‧‧‧遠端

96‧‧‧錐形輪廓

98‧‧‧突出部軸線

102‧‧‧貫通狹槽

110‧‧‧基底梳狀結構/基底梳

112‧‧‧基底部

114‧‧‧基底梳狀突出部

116‧‧‧對齊軌

118‧‧‧基底梳狀間隙/間隙

122‧‧‧軌高度

124‧‧‧近側末端

126‧‧‧間隙偏移

128‧‧‧遠側末端

132‧‧‧突出部高度

140‧‧‧側梳狀結構

142‧‧‧側梳狀突出部

148‧‧‧側梳狀間隙

152‧‧‧間隙深度

154‧‧‧近側末端

156‧‧‧突出部高度

158‧‧‧遠側末端

162‧‧‧狹槽深度

164‧‧‧朝上面

166‧‧‧狹槽

172‧‧‧最小間隙尺寸

184‧‧‧隅角

186‧‧‧突出部

第1圖係為本創作一實施例中一種膜架傳送裝置及所駐存膜架之一組裝圖；第2圖係為一膜架被裝載至第1圖所示膜架傳送裝置之一容器中之一示意圖；第3圖係為第1圖所示膜架傳送裝置之一立體圖；第4圖係為第1圖所示膜架傳送裝置之一剖面圖；第5圖係為一膜架之一平面圖；第6圖係為本創作一實施例中一種彈簧架墊(spring frame cushion)之一立體圖；第6A圖係為本創作一實施例中第6圖所示彈簧架墊之一放大立體圖；第7圖係為本創作一實施例中一種彈簧架墊之一立體圖；第8圖係為第6圖或第7圖所示彈簧架其中之任一者之一剖面圖；第9圖係為本創作一實施例中一種膜架傳送裝置之一立體剖面圖；第10圖係為本創作一實施例中第9圖所示一側梳狀結構之一放大立體剖面圖；第11圖係為本創作一實施例中第9圖所示底部梳狀結構之一放大立體剖面圖； 第12圖係為本創作一實施例中一種具有一上部彈簧架墊及一下部彈簧架墊之膜架傳送裝置之一剖面示意圖；以及第13圖係為本創作一實施例中一種具有一上部彈簧架墊及一對下部彈簧架墊之膜架傳送裝置之一剖面示意圖。

參見第1圖至第4圖，其繪示本創作一實施例中之一膜架傳送裝置20。膜架傳送裝置20包含一容器22及一蓋24，蓋24在容器部上形成閉合，以界定一用於儲存複數個膜架28之內部室26。容器22包含側部32，側部32可包含用於將膜架28導引至容器22中之導引件34(第2圖)。一彈簧架墊36耦合至容器22及蓋24至少其中之一。在一實施例中，架墊36以可拆卸方式安裝至容器22或蓋24上之開槽軌38。

參見第5圖，其繪示一膜架40。膜架40包含一架42，架42界定一外邊緣44。一黏合隔膜(adhesive membrane)46跨越架42，一晶圓48黏附至該黏合隔膜46。

參見第6圖至第8圖，其繪示本創作實施例中彈簧架36之若干種形式。彈簧架36具體地被稱作彈簧架36a(第6圖)及彈簧架36b(第7圖)，且一般地或共同地被稱作彈簧架36。彈簧架36包含對置側52及54，對置側52及54沿一前後方向(fore/aft direction)56延伸且在其間支撐一主墊部58，主墊部58界定複數個對齊狹槽62。各該對齊狹槽62沿與前後方向56正交之一橫向方向64延伸，對齊狹槽64適以卡住膜架40之外邊緣44，以限制膜架40沿前後方向56之移動。

在各種實施例中，一第一梳狀結構(comb structure)72包含 複數個第一梳狀突出部74，該等第一梳狀突出部74自彈簧架墊36之第一對置側52沿一垂直方向76延伸。(垂直方向76係與前後方向56正交且與橫向方向64正交。)該等第一梳狀突出部74彼此間隔開，以界定複數個第一梳狀間隙78。該等第一梳狀突出部74其中之相鄰第一梳狀突出部適以嚙合並接納膜架40之外邊緣，且各該第一梳狀間隙78係界定於第一梳狀結構72之第一梳狀突出部74其中之相鄰者之間，該等梳狀間隙78適以卡住膜架40之外邊緣44，以限制外邊緣44沿前後方向56之移動。此外，各該對齊狹槽62沿橫向方向64與該等第一梳狀間隙78其中之一相應者對準。

在某些實施例中，一第二梳狀結構82包含複數個第二梳狀突出部84，該等第二梳狀突出部84自彈簧架墊36之第二對置側54沿垂直方向76延伸。該等第二梳狀突出部84彼此間隔開，以界定複數個第二梳狀間隙88。該等第二梳狀突出部84其中之相鄰者適以嚙合並接納膜架40之外邊緣44，且各該第二梳狀間隙88係界定於第二梳狀結構82之該等第二梳狀突出部84其中之相鄰者之間，各該第二梳狀間隙88適以卡住膜架40之外邊緣44，以限制外邊緣44沿前後方向56之移動。此外，各該對齊狹槽62沿橫向方向64與該等第二梳狀間隙88其中之一相應者對準。

在各種實施例中，該等第一梳狀突出部74及/或該等第二梳狀突出部84之至少一部分各自包含一近端92及一遠端94且界定沿橫向方向64伸出之一錐形輪廓96。錐形輪廓96可關於沿垂直方向76延伸之一突出部軸線98(第6A圖)對稱，錐形輪廓96係自近端92至遠端94朝突出部軸線98傾斜。在一實施例中，錐形輪廓96之至少一部分係為拱形的(未繪示)。

在一實施例中，主墊部58界定複數個貫通狹槽(through-slot) 102，各該貫通狹槽102係設置於該等對齊狹槽62其中之相鄰對齊狹槽之間。

參見第9圖至第11圖，其揭示本創作實施例中之其他梳狀結構。在一實施例中，至少一個基底梳狀結構110設置於容器22之一基底部112上，基底梳狀結構110包含複數個基底梳狀突出部114，該等基底梳狀突出部114自容器22之基底部沿垂直方向76延伸至內部室26中，該等基底梳狀突出部114彼此間隔開，以界定複數個基底梳狀間隙118。該等基底梳狀突出部114其中之相鄰者適以嚙合並接納膜架40之外邊緣44，且各該基底梳狀間隙118係界定於基底梳狀結構110之該等基底梳狀突出部114其中之相鄰者之間。

該等基底梳狀間隙118適以卡住膜架40之外邊緣44，以限制外邊緣44沿前後方向56之移動。此外，彈簧架墊36之各該對齊狹槽62係與該等基底梳狀間隙118其中之一相應者平面對準。亦即，各該基底梳狀間隙118係以一平面為中心，而該平面亦以對齊狹槽62其中之一為中心，該平面係與前後方向56正交。在一實施例中，該等基底梳狀突出部114之至少一部分包含第6A圖所繪示之錐形輪廓。

在一實施例中，一對齊軌116自基底部伸出且沿前後方向56延伸，該對齊軌沿垂直方向76在容器22之基底部112上方界定一軌高度122，其中各該基底梳狀間隙118之一近側末端124(即，間隙118之「底部」)界定一相對於基底部112之間隙偏移126，間隙偏移126小於軌高度122(第11圖)，且其中各該基底梳狀突出部114的相對於基底部112之一遠側末端128界定一大於軌高度122之突出部高度132。

在功能上，由於軌高度122大於相對於基底部112之間隙偏移 126，因此插入至基底梳112中之一膜架40將擱置於對齊軌116上。此可為基底梳110消除某些應力，且達成膜架40在膜架傳送裝置20內之一更準確對齊。

在某些實施例中，至少一個側梳狀結構140設置於容器22之側部32上，側梳狀結構140包含沿垂直方向76延伸至內部室26中之複數個側梳狀突出部142，側梳狀結構140包含複數個彼此間隔開之側梳狀突出部144，以界定複數個側梳狀間隙148。該等側梳狀突出部144其中之相鄰者適以嚙合並接納膜架40之外邊緣44，各該側梳狀間隙係界定於側梳狀結構之相鄰側梳狀突出部之間。

該等側梳狀間隙適以卡住膜架40之外邊緣44，以限制外邊緣44沿前後方向56之移動。此外，彈簧架墊36之各該對齊狹槽62係與該等側梳狀間隙148其中之一相應者平面對準。在一實施例中，該等側梳狀突出部144之至少一部分包含第6A圖所繪示之錐形輪廓。

在各種實施例中，且參見第8圖，各該第一梳狀間隙78及第二梳狀間隙88界定具有一近側末端154之間隙深度152。各該第一梳狀突出部74及第二梳狀突出部84沿垂直方向76自該等第一梳狀間隙78及第二梳狀間隙88其中之一相鄰者之近側末端154至該等第一梳狀突出部74/第二梳狀突出部84其中之一相鄰者之一遠側末端158界定一突出部高度156。各該對齊狹槽62沿垂直方向76相對於主墊58之一朝上面164界定一狹槽深度162。

在各種實施例中，突出部高度152對狹槽深度162之一比率介於1.5至5且包含1.5及5之一範圍內。在某些實施例中，該比率介於2至4且包含2及4之一範圍內。在某些實施例中，該比率介於2.5至3.5且包含2.5及3.5 之一範圍內。(本文中，一稱為「包含性(inclusive)」之範圍係包含所陳述範圍之端點值。)在所有此等實施例中，第一梳狀突出部74及第二梳狀突出部84皆大於狹槽深度162。

在功能上，第一梳狀突出部74及第二梳狀突出部84皆大於狹槽深度162之情形有助於防止或抵抗膜架40在一衝擊事件期間之「跳動」。本文所提供之各圖繪示彈簧架墊36處於一未偏轉狀態；在被裝載一膜架40後，主墊58將偏轉以使狹槽166之一底部與近側末端154處於相同高度。因此，若膜架40使對齊狹槽62「跳動」，則突出部78、88之較大高度將阻止膜架40之外邊緣44並將膜架40重新引導回至對齊狹槽62中。

再次參見第6A圖，在一實施例中，該等第一梳狀間隙78及第二梳狀間隙88之至少一部分各自沿前後方向56界定一最小間隙尺寸172。最小間隙尺寸172可被定為用於與膜架40達成一緊密滑動配合之尺寸。在某些實施例中，最小間隙尺寸172介於0.05英吋至0.085英吋且包含0.05英吋及0.085英吋之範圍內。在某些實施例中，最小間隙尺寸172介於0.055英吋至0.075英吋且包含0.055英吋及0.075英吋之範圍內。在某些實施例中，最小間隙尺寸172介於0.055英吋至0.065英吋且包含0.055英吋及0.065英吋之範圍內。

在功能上，最小間隙尺寸172相對於膜架40之外邊緣44之容差愈緊，對膜架40之固持則愈緊，藉此減少膜架40沿前後方向56之移動，此起到減少顆粒產生之作用。同時，狹槽62可保持為過大的，以便適應在裝載期間進行容易對準及在一衝擊事件期間進行重新對準。

在各種實施例中，彈簧架墊36係藉由以一壓入配合形式安裝 至開槽軌38中而可自膜架傳送裝置20拆卸。

參見第12圖，一第一彈簧架墊36設置於蓋上且一第二彈簧架墊36設置於容器上。

參見第13圖，一第三彈簧架墊36設置於容器上。

在各種實施例中，且再次參見第6圖及第7圖，彈簧架墊32包含一連續架182。連續架182包含四個側，以界定四個隅角184。對於彈簧架墊36b而言，第一梳狀結構72及第二梳狀結構82包含圍繞四個隅角184延伸之突出部186。

22‧‧‧容器

24‧‧‧蓋

28‧‧‧模架

Claims (34)

1. 一種膜架傳送裝置(film frame shipper)，包含：一容器；一蓋，用於在該容器部上形成閉合，以界定一內部室；一彈簧架墊(spring frame cushion)，耦合至該容器及該蓋至少其中之一，該彈簧架包含沿一前後方向(fore/aft direction)延伸且支撐一主墊部之對置側，該主墊部界定複數個對齊狹槽，各該對齊狹槽沿與該前後方向正交之一橫向方向延伸且適以卡住一膜架之一外邊緣，以限制該膜架沿該前後方向之移動；以及一第一梳狀結構(comb structure)，包含複數個第一梳狀突出部，該等第一梳狀突出部自該彈簧架墊之該等對置側其中之一第一者沿一垂直方向延伸，該等第一梳狀突出部彼此間隔開，以界定複數個第一梳狀間隙，該垂直方向係與該前後方向正交且與該橫向方向正交；其中該等第一梳狀突出部其中之相鄰者適以嚙合並接納該膜架之該外邊緣，且各該第一梳狀間隙係界定於該第一梳狀結構之該等第一梳狀突出部其中之相鄰者之間，各該第一梳狀間隙適以卡住該膜架之該外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動；以及其中各該對齊狹槽沿該橫向方向與該等第一梳狀間隙其中之一相應者對準。
2. 如請求項1所述之膜架傳送裝置，包含：一第二梳狀結構，包含複數個第二梳狀突出部，該等第二梳狀突出部自該彈簧架墊之該等對置側其中之一第二者沿該垂直方向延伸，該等第二梳狀突出部彼此間隔開，以界定複數個第二梳狀間隙；其中該等第二梳狀突出部其中之相鄰第二梳狀突出部適以嚙合並 接納該膜架之該外邊緣，且該等第二梳狀間隙其中之一第二梳狀間隙係界定於該第二梳狀結構之該等相鄰第二梳狀突出部之間，該第二梳狀間隙適以卡住該膜架之該外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動，以及其中各該對齊狹槽沿該橫向方向與該等第二梳狀間隙其中之一相應者對準。
3. 如請求項1所述之膜架傳送裝置，其中該主墊部界定複數個貫通狹槽(through-slot)，各該貫通狹槽係設置於該等對齊狹槽其中之相鄰對齊狹槽之間。
4. 如請求項1至3中任一項所述之膜架傳送裝置，包含：至少一個基底梳狀結構，設置於該容器之一基底部上，該基底梳狀結構包含複數個基底梳狀突出部，該等基底梳狀突出部自該容器之該基底部沿該垂直方向延伸至該內部室中，該基底梳狀結構包含複數個彼此間隔開之基底梳狀突出部以界定複數個基底梳狀間隙；其中該等基底梳狀突出部其中之相鄰者適以嚙合並接納該膜架之該外邊緣，各該基底梳狀間隙係界定於該等基底梳狀突出部其中之相鄰者之間，該等基底梳狀間隙適以卡住該膜架之該外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動；以及其中該彈簧架墊之各該等對齊狹槽係與該等基底梳狀間隙其中之一相應者平面對準。
5. 如請求項4所述之膜架傳送裝置，包含自該基底部伸出且沿該前後方向延伸之一對齊軌(registration rail)，該對齊軌沿該垂直方向在該容器之該基底部上方界定一軌高度，其中各該基底梳狀間隙之一近側末端界定相對於該基底部之一間隙偏移，該間隙偏移小於該軌高度，且其中各該 基底梳狀突出部的相對於該基底部之一遠側末端界定大於該軌高度之一突出部高度。
6. 如請求項4所述之膜架傳送裝置，包含：至少一個側梳狀結構，設置於該容器之一側部上，該側梳狀結構包含沿該垂直方向延伸至該內部室中之複數個側梳狀突出部，該側梳狀結構包含複數個彼此間隔開之側梳狀突出部以界定複數個側梳狀間隙；其中該等側梳狀突出部其中之相鄰者適以嚙合並接納該膜架之該外邊緣，各該側梳狀間隙係界定於該等側梳狀突出部其中之相鄰者之間，各該側梳狀間隙適以卡住該膜架之該外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動；以及其中該彈簧架墊之各該對齊狹槽係與該等側梳狀間隙其中之一相應者平面對準。
7. 如請求項6所述之膜架傳送裝置，其中該等第一梳狀突出部、該等第二梳狀突出部、該等基底梳狀突出部、及/或該等側梳狀突出部之至少一部分各自包含一近端及一遠端且界定沿該橫向方向伸出之一錐形輪廓，該錐形輪廓關於沿該垂直方向延伸之一突出部軸線對稱，該錐形輪廓係自該近端至該遠端朝該突出部軸線傾斜。
8. 如請求項7所述之膜架傳送裝置，其中該錐形輪廓之至少一部分係為拱形的。
9. 如請求項7所述之膜架傳送裝置，其中：各該第一梳狀間隙界定具有一近側末端之一間隙深度；各該第一梳狀突出部沿該垂直方向自該等第一梳狀間隙其中之一相鄰者之該近側末端至該等第一梳狀突出部其中之一相鄰者之一遠側末端界定一突出部高度； 各該對齊狹槽沿該垂直方向相對於該主墊之一朝上面界定一狹槽深度；以及該突出部高度對該狹槽深度之一比率介於1.5至5且包含1.5及5之一範圍內。
10. 如請求項9所述之膜架傳送裝置，其中該比率介於2至4且包含2及4之一範圍內。
11. 如請求項10所述之膜架傳送裝置，其中該比率介於2.5至3.5且包含2.5及3.5之一範圍內。
12. 如請求項6所述之膜架傳送裝置，其中該等第一梳狀間隙、該等第二梳狀間隙、該等基底梳狀間隙、及/或該等側梳狀間隙之至少一部分各自沿該前後方向界定一最小間隙尺寸，該最小間隙尺寸被定為用於與該膜架達成一緊密滑動配合之尺寸。
13. 如請求項12所述之膜架傳送裝置，其中該最小間隙尺寸介於0.05英吋至0.085英吋且包含0.05英吋及0.085英吋之範圍內。
14. 如請求項13所述之膜架傳送裝置，其中該最小間隙尺寸介於0.055英吋至0.075英吋且包含0.055英吋及0.075英吋之範圍內。
15. 如請求項14所述之膜架傳送裝置，其中該最小間隙尺寸介於0.055英吋至0.065英吋且包含0.055英吋及0.065英吋之範圍內。
16. 如請求項1所述之膜架傳送裝置，其中該至少一個彈簧架墊可自該膜架傳送裝置拆卸。
17. 如請求項1或請求項16所述之膜架傳送裝置，其中該至少一個彈簧架墊包含設置於該蓋上之一第一彈簧架墊及設置於該容器上之一第二彈簧架墊。
18. 如請求項17所述之膜架傳送裝置，其中該至少一個彈簧架墊包含設置於 該容器上之一第三彈簧架墊。
19. 如請求項1所述之膜架傳送裝置，包含至少一個設置於其中之膜架。
20. 一種用於耦合至一膜架傳送裝置之彈簧架墊，該彈簧架墊包含：對置側，沿一前後方向延伸且支撐一主墊部，該主墊部界定複數個對齊狹槽，各該對齊狹槽沿與該前後方向正交之一橫向方向延伸且適以卡住一膜架之一外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動；以及一第一梳狀結構，包含複數個第一梳狀突出部，該等第一梳狀突出部自該彈簧架墊之該等對置側其中之一第一者沿一垂直方向延伸且彼此間隔開，以界定複數個第一梳狀間隙，該垂直方向係與該前後方向正交且與該橫向方向正交；其中該等第一梳狀突出部其中之相鄰者適以嚙合並接納該膜架之該外邊緣，且各該等第一梳狀間隙係界定於該第一梳狀結構之該等第一梳狀突出部其中之相鄰者之間，各該第一梳狀間隙適以卡住該膜架之該外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動；以及其中各該對齊狹槽沿該橫向方向與該等第一梳狀間隙其中之一相應者對準。
21. 如請求項20所述之彈簧架墊，包含：一第二梳狀結構，包含複數個第二梳狀突出部，該等第二梳狀突出部自該彈簧架墊之該等對置側其中之一第二者沿該垂直方向延伸，該等第二梳狀突出部彼此間隔開，以界定複數個第二梳狀間隙；其中該等第二梳狀突出部其中之相鄰者適以嚙合並接納該膜架之該外邊緣，且各該第二梳狀間隙係界定於該第二梳狀結構之該等第二梳狀突出部其中之相鄰者之間，各該第二梳狀間隙適以卡住該膜架之該外邊緣，以限制該外邊緣沿該前後方向之移動；以及 其中各該對齊狹槽沿該橫向方向與該等第二梳狀間隙其中之一相應者對準。
22. 如請求項20所述之彈簧架墊，其中該主墊部界定複數個貫通狹槽，各該貫通狹槽係設置於該等對齊狹槽其中之相鄰對齊狹槽之間。
23. 如請求項20所述之彈簧架墊，其中該等第一梳狀突出部之至少一部分各自包含一近端及一遠端且界定沿該橫向方向伸出之一錐形輪廓，該錐形輪廓關於沿該垂直方向延伸之一突出部軸線對稱，該錐形輪廓係自該近端至該遠端朝該突出部軸線傾斜。
24. 如請求項23所述之彈簧架墊，其中該錐形輪廓之至少一部分係為拱形的。
25. 如請求項23所述之彈簧架墊，其中：各該第一梳狀間隙界定具有一近側末端之一間隙深度；各該第一梳狀突出部沿該垂直方向自該等第一梳狀間隙其中之一相鄰者之該近側末端至該等第一梳狀突出部其中之一相鄰者之一遠側末端界定一突出部高度；各該對齊狹槽沿該垂直方向相對於該主墊之一朝上面界定一狹槽深度；以及該突出部高度對該狹槽深度之一比率介於1.5至5且包含1.5及5之一範圍內。
26. 如請求項25所述之彈簧架墊，其中該比率介於2至4且包含2及4之一範圍內。
27. 如請求項26所述之彈簧架墊，其中該比率介於2.5至3.5且包含2.5及3.5之一範圍內。
28. 如請求項20所述之彈簧架墊，其中該等第一梳狀間隙之至少一部分各自 沿該前後方向界定一最小間隙尺寸，該最小間隙尺寸被定為用於與該膜架達成一緊密滑動配合之尺寸。
29. 如請求項28所述之彈簧架墊，其中該最小間隙尺寸介於0.05英吋至0.085英吋且包含0.05英吋及0.085英吋之範圍內。
30. 如請求項29所述之彈簧架墊，其中該最小間隙尺寸介於0.055英吋至0.075英吋且包含0.055英吋及0.075英吋之範圍內。
31. 如請求項30所述之彈簧架墊，其中該最小間隙尺寸介於0.055英吋至0.065英吋且包含0.055英吋及0.065英吋之範圍內。
32. 如請求項20所述之彈簧架墊，其中該等對置側係為一連續架之一部分。
33. 如請求項32所述之彈簧架墊，其中該連續架包含四個側，以界定四個隅角。
34. 如請求項33所述之彈簧架墊，其中該第一梳狀結構包含圍繞該四個隅角其中之二者延伸之突出部。