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KR0164251B1 - 액티브매트릭스형 표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

액티브매트릭스형 표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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KR0164251B1
KR0164251B1 KR1019950016558A KR19950016558A KR0164251B1 KR 0164251 B1 KR0164251 B1 KR 0164251B1 KR 1019950016558 A KR1019950016558 A KR 1019950016558A KR 19950016558 A KR19950016558 A KR 19950016558A KR 0164251 B1 KR0164251 B1 KR 0164251B1
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KR
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KR1019950016558A
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Inventor
히로카즈 모리모토
Original Assignee
사토 후미오
가부시키가이샤 도시바
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Publication date
Application filed by 사토 후미오, 가부시키가이샤 도시바 filed Critical 사토 후미오
Publication of KR960001817A publication Critical patent/KR960001817A/ko
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Abstract

본 발명은 액티브 매트릭스형 표시장치에 관한 것으로서, 어레이기판과 대향전극을 구비한 대향기판으로 구성되고 대향기판(301)은 대향전극(351)의 한쪽 단부 주위로부터 돌출되는 제 1 대향전위 급전단자(353-1∼353-7)와 대향전극의 한쪽 단부 주위와 대향하는 다른 한쪽 단부주위의 제 1 대향전위 급전자단의 선대칭 위치로부터 어긋난 위치에서 돌출된 제 2 대향전위 급전자단(353-1∼355-9)를 구비하고 있으며, 이에 따라 대향전극(351)에 대한 급전이 충분히 이루어지고 양호한 표시화상이 얻어지며, 또한 하나의 절연기판으로부터 복수의 대향기판을 기판의 이용효율 좋게 채취하는 것도 가능하게 되는 것을 특징으로 한다.

Description

액티브매트릭스형 표시장치 및 그 제조방법
제1도는 본 발명의 한 실시예의 액정표시장치의 개략도.
제2도는 제1도의 어레이기판의 일부개략정면도.
제3도는 제2도중 A-A'선을 따라서 절단한 액정표시장치의 개략적인 단면도.
제4(a)도는 제1도의 액정표시에 관련된 것으로, 대향기판의 개략정면도.
제4(b)도는 제1도의 액정표시에 관련된 것으로, 어레이기판의 일부 개략정면도.
제5도는 제1도의 액정표시장치의 대향기판의 제조프로세스를 나타내는 도면.
제6도는 제1도의 액정표시장치의 대향전극에 막을 설명하기 위한 마스크·패턴의 개략정면도.
제7도는 제 2 실시예의 대향기판의 제조프로세스를 나타내는 도면.
제8도는 제7도의 대향전극에 막을 형성하기 위한 마스크·패턴의 개략정면도.
제9도는 제 3 실시예의 대향기판의 제조프로세스를 나타내는 도면.
제10도는 제 3 실시예의 대향전극에 막을 형성하기 위한 마스크·패턴의 개략정면도.
제11도는 제 4 실시예의 액정표시장치의 주요부 확대종 단면도.
제12도는 제 4 실시예의 어레이기판의 평면도이다.
* 도면의 주요분분에 대한 부호의 설명
1 : 액정표시장치 2 : 표시영역
3 : 액정패널 101 : 어레이기판
301 : 대향기판 351 : 대향전극
353-1∼353-7 : 제 1 대향전위 급전단자
355-1∼355-9 : 제 2 대향전위 급전단자
본 발명은 각 화소전극에 스위치소자가 전기적으로 접속되어 이루어지는 액티브매트릭스형 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
근래 액정표시장치로 대표되는 평면표장치는 박형, 경량, 저소비전력의 특징을 살려서 퍼스널 컴퓨터와 워드프로세서 등의 표시장치로서, TV표시장치로서, 또한 투사형의 표시장치로서 각종 분야에서 이용되고 있다.
그 중에서도 각 화소전극에 스위치소자가 전기적으로 접속되어 이루어지는 액티브매트릭스형 표시장치는 인접화소간에 크로스토크가 없는 양호한 표시화상을 실현할 수 있는 것에서 활발하게 연구·개발이 실시되고 있다.
이하 광투과형의 액티브매트릭스형 액정표시장치를 예로 들어서, 그 구성에 대하여 간단하게 설명한다. 액티브매트릭스형 액정표시장치는 어레이기판과 대향기판과의 사이에 배향막을 통하여 액정조성물이 유지되어 구성되어 있다. 어레이기판은 유리기판상에 신호선과 복수개의 주사선이 매트릭스상으로 배치되고, 각 교차점 부근에 스위치소자로서 배치되는 박막트랜지스터(이하, TFT라 약칭한다.)를 통하여 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어지는 화소전극이 설치되어 있다. 또한 이 유리기판상에는 주사선과 대략 평행하는 보조용량선이 배치되고 보조용량선 화소전극과의 사이에서 보조용량(Cs)이 형성되도록 보조용량선과 화소전극과의 사이에는 절연막이 개재되어 있다.
대향기판은 유리기판에 TFT 및 화소전극 주변을 차광하기 위한 매트릭스상의 차광막이 배치되고, 이 위에 절연막을 통하여 ITO로 이루어지는 대향전극이 배치되어 이루어져 있다.
그리고 어레이기판의 각 신호선 및 각 주사선은 각각 폴리이미드 등의 플렉시블기판상에 금속배선이 형성되어 이루어지는 FPC(Flexible Print Circuit) 또는 플렉시블 배선기판상에 구동소자가 배치되어 이루어지는 TAB(Tape Automated Bonding) 등을 통하여 구동회로기판에 전기적으로 접속되어 있다.
또 대향기판의 대향전극은 은입자 등의 도전입자가 수지속에 분산되어 이루어지는 트랜스퍼를 통하여 어레이기판측에 통전되고, 또한 상기한 FPC나 TAB 등을 통하여 구동회로기판에 전기적으로 접속되어 있다.
상기 대향기판의 대향전극은 스테인레스 등으로 이루어지는 금속마스크를 통하여 증착, 스퍼터링 또는 CVD 등의 막형성기술이 이용되고 막형성 및 패터닝이 이루어진다.
그런데 근래에는 상기한 액티브매트릭스형 표시장치의 생산성을 향상시키기 위해 1장의 유리기판 등의 절연기판으로 다수장의 어레이기판과 대향기판을 채취하는, 이른바 다수챔퍼링이 이루어져 있다. 이와 같이 1장의 유리기판 등의 절연기판으로부터 다수장의 대향기판을 채취하기 위해서는 복수의 대향전극에 대응하는 복수의 개구를 갖는 마스크가 필요하게 된다. 그리고 절연기판의 이용효율을 높이기 위해서는 각 개구에 분리하기 위한 분할부를 가능한 한 가는 선모양으로 할 필요가 있다.
그러나 금속마스크의 분할부가 가는 선모양으로 되면 마스크 자체의 강도적인 문제외에 마스크의 분할부 근체에서 ITO의 막형성상태가 매우 불균알하게 되거나, 또 마스크에 대응한 정밀도 좋은 패터닝이 이루어지지 않아서 각 대향전극간이 단락되는 여러 가지 문제점이 발생해 버린다.
본 발명은 상기한 기술과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 하나의 절연기판으로부터 복수의 대향기판을 효율 있게 채취할 수 있고, 또한 급전이 충분하게 달성되는 대향전극을 패턴정밀도 좋게 형성할 수 있으며, 이에 따라 양호한 표시화상이 얻어지는 액티브매트릭스형 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
특허청구범위 제1항에 기재된 액티브매트릭스형 액정표시장치는 복수의 화소전극이 배치되어 이루어지는 어레이기판, 상기 어레이기판에 대향하여 배치되는 대향전극을 구비한 대향기판 및 상기 어레이기판과 상기 대향기판과의 사이에 유지되는 광변조층을 구비한 액티브매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 대향기판은 상기 대향전극의 한쪽 단부 주위에 설치한 제1 대향전위 급전단자, 상기 대향전극의 상기 한쪽 단부주위와 대향하는 다른 한쪽 단부 주위의 상기 제1 대향전위 급전단자의 선대칭위치로부터 어긋난 위치에 설치한 제 2 대향전위 급전단자를 구비한 것이다.
이 액티브매트릭스형 액정 표시장치에 따르면 대향기판의 대향전극에는 대향전극의 한쪽 단부 주위에 설치한 제 1 대향전위 급전단자와, 대향전극의 한쪽 단부 주위와 대향하는 다른 한쪽 단부 주위에 설치한 제 2 대향전위 급전단자를 구비하고 있기 때문에 대향전극의 크기가 크게 되어도 대향전극에는 충분한 급전이 이루어진다.
이에 따라 예를 들면 대향전극의 전위를 기준전위에 대하여 하나의 수평주사기간 또는 복수의 수평주사기간마다 극성을 반전시켜 소신호진폭화를 달성하는, 이른바 코몬반전구동 등을 실시해도 표시화상이 악화하는 일이 없다.
또 대향전극에 설치한 제 1 대향전위 급전단자와 제 2 대향전위 급전자는 선대칭위치로부터 어긋나서 형성되어 있기 때문에 대향전극전위면내의 불균일이 한층 해소되어 양호한 표시화상이 얻어진다.
특허청구범위 제2항에 기재된 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제 1항의 매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 제 1 대향전위 급전단자가 상기 대향전극의 상기 한쪽 단부 주위로부터 돌출하고, 상기 제2 대향전위 급전단자가 상기 대향전극의 상기 다른 한쪽단부 주위로부터 돌출한 것이다.
이에 따라 상기 제 1 대향전위 급전단자 및 상기 제 2 대향전위 급전단자에 대하여 구동회로측으로부터 배선을 실시하기 쉽다.
특허청구범위 제3항에 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제2항의 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 제 1 대향전위 급전단자 및 상기 제 2 대향전위 급전단자는 상기 광변조층을 수납하는 시일제 영역으로부터 돌출하여 형성되는 것이다.
이에 따라 상기 제 1 대향전위 급전단자 및 상기 제 2 대향전위 급전단자에 대하여 트랜스퍼를 용이하게 배치할 수 있고, 또 광변조층이 트랜스퍼로부터의 불순물의 영향을 받기 어렵게 할 수 있다.
특허청구범위 제4항에 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제1항의 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 제 1 대향전위 급전단자가 및 상기 제 2 대향전위 급전단자는 상기 광변조층을 수납하는 시일제 영역의 내부에 형성되는 것이다.
이에 따라 구동회로를 화면의 긴쪽방향의 가장자리 주위를 따라서 설치할 수 있고 대향전극에 급전할 수 있다.
특허청구범위 제6항에 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제1항의 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 제 1 대향전위 급전단자가 및 상기 제 2 대향전위 급전단자는 상기 표시장치의 화면의 짧은쪽방향의 양가장자리 주위에 형성되는 것이다.
이에 따라 구동회로를 화면의 긴쪽방향을 따라서 설치하고 어레이기판에서 화면의 짧은쪽방향에 배선하면 화면의 짧은쪽방향의 테두리 크기를 작게 할 수 있다.
특허청구범위 제7항에 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제1항의 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 제 1 대향전위 급전단자가 및 상기 제 2 대향전위 급전단자는 상기 표시장치의 화면의 4둘레 가장자리 주위에 형성되는 것이다.
이에 따라 대향전극전위의 면내흐트러짐을 보다 작게 할 수 있다.
특허청구범위 제8항의 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제1항의 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 매트릭스상의 차광막은 상기 어레이기판에 형성되는 것이다.
이에 따라 대향기판측에 차광막이 불필요하며, 위치맞춤의 자유도를 개구율에 영향을 받지 않고 크게 할 수 있다. 즉 개구율은 어레이기판 측에서 결정되고 대향기판의 위치맞춤에 좌우되지 않는다.
특허청구범위 제9항에 액티브매트릭스형 표시장치는 특허청구범위 제1항의 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 칼라필터는 상기 어레이기판에 형성되는 것이다.
이에 따라 대향기판측에 칼라필터가 불필요하며 위치맞춤의 자유도를 개구율에 영향을 받지 않고 크게 할 수 있다.
특허청구범위 제10항에 기재된 액티브매트릭스형 표시장치의 제조방법은 제 1 및 제 2 개구가 분할부에 의해 분리되어 이루어지는 마스크를 이용하여 상기 제 1 및 제 2개구에 각각 대응한 제 1 및 제 2 대향전극을 형성하여 대향기판 집합체를 형성한 후에 상기 대향기판 집합체로부터 제 1 및 제 2 대향기판을 꺼내는 액티브매트릭스형 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 마스크의 상기 분할부의 한쪽 단부 주위는 상기 제 1 대향전극에 제 1 대향전위 급전단자를 형성하기 위해 상기 제 1 개구로부터 연장되는 제 1 절개부가, 상기 분할부의 상기 한쪽 단부 주위에 대향하는 다른 한쪽 단부 주위에는 상기 제 2 대향전극에 제 2 대향전위 급전단자를 형성하기 위해 상기 제 2 개구부로부터 연장되는 제 2 절개부가 각각 번갈아 형성되어 있는 것이다.
또 특허청구범위 제10항에 기재되는 발명은 하나의 절연기판상에 복수의 대향전극을 형성할 때에 복수의 개구로 분할하는 마스크의 분할부에 대향전위 급전단자를 얻기 위한 절개부가 양단 근처측으로부터 번갈아 배치되기 때문에 분할부 폭을 넓게 취할 수 있고, 이에 따라 기판의 이용효율을 높여서 패턴불량 등의 발생을 방지할 수 있다. 즉 1 절연기판에 패턴정밀도가 좋은 복수의 대향전극을 효율 있게 형성하는 것이 가능하게 된다.
[실시예 1]
이하 본 발명의 제1실시예의 액티브매트릭스형 표시장치(이하 단순히 「액정표시장치」라 한다)(1)에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
이 액정표시장치(1)는 제1도의 개략사시도에 나타내는 바와 같이 노멀리화이트·모드의 광투과형의 액정표시장치(1)로서, 칼라표시가 가능하게 구성된 대각 10.4인치 크기의 표시영역(2)을 구비하고 있다.
이 액정표시장치(1)는 액정패널(3)과, 액정패널(3)을 구동하기 위한 신호선 구동회로기판(5a), 주사선 구동회로기판(5b), 각 구동회로기판(5a, 5b)과 액정패널(3)을 전기적으로 접속하기 위한 TAP(7a, 7b)를 구비하고 있다.
액정패널(3)은 제2도와 제3도에 나타내는 바와 같이 어레이기판(101)과 대향기판(301)이 각각 배향막(403, 405)을 통하여 광변조층으로 액정조성물(401)을 유지하고 도시되지 않지만 시일제에 의하여 서로 유지되어 있다. 각 기판(101, 301)의 외표면부에는 각각 편광판(707, 409)이 그 편광축이 직교하도록 배치되어 이루어져 있다.
또한 액정조성물(401)로서 트위스트·네마틱형을 이용하는데, 이 대신에 투명수지와 액정재료의 혼합계를 이용한 고분자분산형 액정을 이용하면 배향막(403, 405)과 편광판(707, 409)을 설치할 필요는 없다.
어레이기판(101)은 유리기판(100)상에 640×3개의 신호선(103)과 480개의 주사선(111)이 대략 직교하도록 배치되어 있다. 각 신호선(103)과 각 주사선(111)의 교차점 부근에서는 각각 TFT(121)를 통하여 화소전극(151)이 배치되어 있다.
본 실시예에서는 신호선(103) 및 주사선(111)은 각각 배선의 한쪽측으로 인출되어 제1도에 나타내는 바와 같이 TAB(7a, 7b)를 통하여 각각의 구동회로기판(5a, 5b)으로부터 구동전압이 공급된다.
이 TFT(121)는 제2도와 제3도에 나타내는 바와 같이 주사선(111) 자체를 게이트전극으로 하고 이 위에 산화실리콘과 질화실리콘이 적층되어 이루어지는 절연막(113)이 배치되고 절연막(113) 상에는 a-Si:H막이 반도체막(115)으로서 배치되어 있다. 또 이 반도체막(115) 상에는 주사선(111)에 자기정합되어 이루어지는 채널보호막(117)으로서 질화실리콘이 배치되어 있다. 그리고 반도체막(115)은 저저항반도체막(119)으로서 배치되는 n+형 a-Si:H막 및 소스전극(131)을 통하여 각각의 화소전극(151)에 전기적으로 접속되어 있다. 또 반도체막(115)은 저저항반도체막(119)으로서 배치된는 n+형 a-Si:H막 및 신호선(103)으로부터 연장된 드레인전극(105)을 통하여 신호선(103)에 전기적으로 접속되어 있다.
또 주사선(111)에 대하여 대략 평행하게, 또한 화소전극(151)과 중복하는 영역을 갖고 배치되는 보조용량선(161)을 구비하고 화소전극(151)과 보조용량선(161)에 의하여 보조용량(Cs)이 형성되어 있다.
대향기판(301)은 투명한 유리기판(301) 상에, 어레이기판(101)에 형성되는 TFT(121), 신호선(103)과 화소전극(151)의 간격, 주사선(111)과 화소전극(151)의 간격의 각각을 차광하기 때문에 매트릭스상의 크롬(Cr)의 산화막으로 이루어지는 제 2 차광층(321)을 구비하고 있다. 그리고 제 1, 제 2 차광층(311, 321) 사이에는 칼라표시를 실현하기 위한 적(R), 녹(G), 청(B)의 3차원색으로 구성되는 칼라필터, 즉 색부(331)가 각각 설치되고 유기보호막(341)을 통하여 ITO로 이루어지는 대향전극(351)이 배치되어 구성되어 있다.
이 대향전극(351)에 대하여 제4도를 참조하여 설명한다.
제4(a)도는 대향기판(301)을 편광판(409)측(제3도 참조)에서 본도면이고, 도면중 상층에 제1도에 나타내는 바와 같이 신호선 구동회로기판(5a)이 TAB(7a)를 통하여 어레이기판(101)에 전기적으로 접속되고 도면중 좌측에 주사선 구동회로기판(5b)이 TAB(7b)를 통하여 어레이기판(101)에 전기적으로 접속된다.
대향전극(351)은 신호선 구동회로기판(5a), 즉 화면의 긴쪽방향에 있어서 대향하는 한쪽 단부 주위(351a)로부터 7곳의 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7)가 돌출하여 형성하고, 또 일단 주위(351a)에 상대하는 다른 일단 주위(351b)에 9곳의 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)가 돌출하여 형성되어 있다.
이들 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7) 및 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)는 시일제 배치영역(451)으로부터 바깥쪽으로 돌출하여 형성되어 있다. 또 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7)와 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)는 서로 선대칭위치로부터 어긋나서 배치되어 있다. 이 실시예에 있어서, 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7)와 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)의 각각을 시일제 배치영역(451)으로부터 바깥쪽으로 형성한 것은 배치영역(451) 안쪽 또는 시일제 배치영역(451)속에 형성하는 경우에 비하여 트랜스퍼의 배치가 용이하며, 또한 트랜스퍼에 의한 액정조성물(401)의 악화를 경감할 수 있다.
이와 같이 하여 배치된 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7)의 각각은 제4(b)도에 나타내는 어레이기판(101)에 형성된 제 1 대향전위 접속패드(107)에 트랜스퍼로서 은 페이스트를 통하여 전기적으로 접속되고 신호선(103)을 따라서 각 신호선(103)과 동시에 형성되는 제1 대향전극 접속배선(108)을 통하여 어레이기판(101)의 가장자리 주위까지 연장되어 있다. 그리고 제 1 대향전극 접속배선(108)은 신호선(103)과 제1도에 나타내는 신호선 구동회로기판(5a)에 전기적으로 접속하는 TAB(7a)의 일부를 통하여 신호선 구동회로기판(5a)에 전기적으로 접속되어 있다.
이상과 같이 이 액정표시장치(1)에 따르면 대향전극(351)의 대향하는 양단 주위(351a, 351b)에 복수의 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7) 및 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)가 형성되어 있기 때문에 대향전극(351)에 대한 급전이 충분히 달성된다. 또한 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7)와 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)는 선대칭위치로부터 어긋나서 형성되어 있기 때문에 대향전극(351)의 면내에서의 전위의 흐트러짐이 한층 해소되고, 이에 따라 양호한 표시화상을 얻을 수 있었다.
또 이 액정표시장치(1)에 따르면 대향전극(351)의 전위를 기준전위에 대하여 하나의 수평주사기간 또는 복수의 수평주사기간마다 극성반전시키는, 이른바 코몬반전구동 등을 실시해도 표시화상이 악화되는 일이 없었다.
다음에 이와 같이 하여 구성되는 액정표시장치(1)의 대향기판(301)의 형성방법에 대하여 제5도를 참조하여 설명한다.
360㎜×466㎜의 유리기판을 준비하고, 이 유리기판으로부터 4장의 대향기판(301)을 형성하는 경우에 대하여 설명한다.
우선 제5(a)도에 나타내는 바와 같이 유리기판(500)상에 제2도∼제3도에 나타내는 어레이기판(101)에 형성되는 TFT(121), 신호선(103)과 화소전극(151)의 간격 및 주사선(111)과 화소전극(151)의 간격의 각각을 차광하기 위해 매트릭스상의 크롬(Cr)산화막으로 이루어지는 제 2 차광층(321) 및 제 1 차광층(311)상에 적층되는 크롬(Cr)으로 이루어지는 제 2 차광층(321)을 각각 형상한다. 여기에서 제 1 차광층(311)을 크롬(Cr)의 산화막으로 구성한 것은 시각인지면에서의 외광의 반사에 의한 콘트래스트의 저하를 방지하기 위함이다. 또 차광층으로서는 본 실시예와 같이 금속으로 형성할 뿐만 아니라, 예를 들면 흑색수지 등으로 형성해도 좋다. 또한 상기한 제 1, 제 2 차광층(311, 321)의 형성시에 위치맞춤 마크를 형성해두면 좋다.
다음의 제5(b)도에 나타내는 인접하는 제1, 제2 차광층(311, 321)간의 유리기판(500)상에 적(R), 녹(G), 청(B)의 3원색으로 구성되는 색부(331)를 각각 형성한다. 이 색부(331)는 안료가 분산된 잉크를 인쇄법 또는 포토그래피법으로 구성해도 좋고, 또 염색법으로 구성해도 좋다. 또한 각 색부(331)에 대응하는 전극을 구성해두면 전착법으로 구성할 수도 있다. 이 밖에도 잉크를 분출시켜서 각 색부(331)를 형성해도 좋다.
그리고 제5(c)도에 나타내는 바와 같이 제 1, 제 2 차광층(311, 321)상 및 각 색부(331)상에 아크릴계수지로 이루어지는 유리보호막(341)을 형성한다. 이 유리보호막(341)은 대향전극을 형성항 때에 평활화층으로서 기능하고, 또한 각 색부(331)로부터 불순물이 액정조성물(401)내에 침입하는 것을 저지하도록 기능한다. 또한 각 색부(331)의 충분한 평활성이 얻어지고 있으면 유리보호막(341)은 설치하지 않아도 상관 없다.
이후 제6(a),(b)도에 나타내는 스테인레스로 이루어지는 스퍼터·마스크(601)를 위치맞춤하여 도시하지 않지만 스퍼터장치(도시하지 않은)내에서 ITO막을 1500Å의 막두께로 퇴적하고 제5(d)도에 나타내는 바와 같이 대향전극(351)을 형성한다. 이 대향전극(351)의 막두께로서는 대향전극(351) 자체의 저항, 모얼발생의 방지를 고려하여 1300∼1700Å의 막두께로 제어하는 것이 바람직하다.
이 스퍼터·마스크(601)는 제6(a)도에 나타내는 바와 같이 상기한 유리기판(500)과 대략 동등한 외형크기, 즉 360㎜×465㎜의 외형크기를 갖고 유리기판(500)으로부터 4장의 대향기판(301)이 형성되도록 대향전극(351)과 동 형상의 4개의 개구(603-1, 603-2, 603-3, 603-4)를 구비하고 있다. 이 제 1 개구(603-1)와 제 3 개구(603-3)는 스퍼터·마스크(601)의 가는 선부(611)에 의하여 분할되고, 또 제 2 개구(603-2)와 제 3 개구(603-4)는 가는 선부(613)에 의하여 분할되어 있다.
이 스퍼터·마스크(601)에는 스퍼터·마스크(601)의 제 1 개구(603-1)를 규정하는 한쪽 단부 주위에서 대향전극(351)의 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7)에 대응하여 바깥쪽으로 연장되는 제 1 절개부(643-1, …, 643-7)가 형성되어 있다. 또 스퍼터·마스크(601)에는 제 1 개구(603-1)를 규정하는 상기 한쪽 단부 주위와 대향하는 다른 한쪽단부 주위로부터 대향전극(351)의 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)에 대응하여 바깥쪽으로 연장되는 제 2 절개부(645-1, …, 645-9)가 형성되어 있다. 또한 다른 개구(603-2, 603-3, 603-4)로부터도 똑같이 제 1 절개부(643-1, …, 643-7) 및 제 2 절개부(645-1, …, 645-9)는 대향전극(351)의 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7) 및 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)에 대응하는 것으로서, 서로 비대칭위치에 배치되어 있다. 즉 제 1 개구(603-1)와 제 3 개구(603-3)를 분할하는 가는 선부(611), 제 2 개구(603-2)와 제 3 개구(603-4)를 분할하는 가는 선부(613)에는 그 양단 주위측으로부터 제 1 절개부(643-1, …, 643-7) 및 제 2 절개부(645-1, …, 645-9)가 번갈아 연장되도록 배치되어 있다.
따라서, 스퍼터·마스크(601)의 제 1 개구(603-1)와 제 3 개구(603-3)의 사이의 가는 선부(611), 제 2 개구(603-2)와 제 4 개구(603-4)의 사이의 가는 선부(613)에는 제 1 절개부(643-1, …, 643-7)와 제 2 절개부(645-1, …, 645-9)가 상대하는 위치에 배치되는 일 없이 번갈아 배치되기 때문에 제6(b)도에 나타내는 바와 같이 그 가장 짧은 폭영역에서도 5.5㎜ 이상의 마스크폭을 갖고 있다.
이 때문에 ITO막의 막형성불량 등이 발생하는 일이 없고, 또, 스퍼터·마스크(601)의 강성도 충분히 확보할 수 있기 때문에 스퍼터·마스크(601)의 주름 등도 억제할 수 있고 정밀도 좋게 대향잔극(351)을 형성할 수 있다.
본 실시예에서는 스퍼터·마스크(601)의 가는 선부(511, 613)의 가장짧은 폭영역의 마스크폭을 5.5㎜ 정도로 했지만 스퍼터·마스크(601)의 가장 짧은 폭영역의 마스크폭으로서 1.8㎜ 이상이면 양호한 막형성을 실현할 수 있다.
이상과 같이 하여 대향기판 집합체(501)를 형성한 후 도시되지 않지만 이를 스크라이브하여 4장의 대향기판(301)을 꺼낸다. 이후는 통상의 방법에 따라서 배향막(405)을 형성하고 어레이기판(101)과 대향기판(301)을 제4(a)도에 나타내는 시일제 배치영역(451)에 시일제를 배치하여 서로 붙이고 액정재료(401)를 주입하여 밀봉고정시킨다. 그리고 제1도에 나타내는 TAB(7a, 7b)를 이방성도전막(도시하지 않음)을 통하여 열압착함으로써 접속하고, 또 TAB(7a, 7b)의 입력배선(도시하지 않음)을 구동회로기판(5a, 5b)에 땜납에 의하여 접속한다.
이와 같이 하여 본 실시예의 액정표시장치(1)를 완상시켰다.
이상과 같이 본 실시예의 액정표시장치(1)에 따르면 대향전극(351)의 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-7) 및 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-9)가 서로 선대칭위치에 배치되어 있지 않다. 이 때문에 스퍼터·마스크(601)의 가는 선부(611, 613)는 양단 주위측으로부터 제 1 절개부(643-1, …, 643-7) 및 제 2 절개부(645-1, …, 645-9)가 번갈아 연장되도록 배치되어 있다. 이 때문에 가는 선부(611, 613)의 가장 짧은 폭영역에서도 5.5㎜ 이상의 마스크폭을 형상할 수 있고, 이에 따라 ITO막의 막형성불량 없이 정밀도 좋게 대향전극(351)을 형성할 수 있다.
상기한 실시예에서는 대향전극(351)을 ITO막으로 구성하는 경우에 대하여 설명했지만 투명도전재료이며 ITO막에 한정되는 것은 아니고, 또 증착과 CVD법에 의해 막형성해도 좋다.
또 스퍼터·마스크(601)로서는 스테인레스로 구성하는 경우에 대하여 설명했지만, 이밖에도 강성과 열팽창 등을 고려하면 동을 주체로 한 여러가지의 합금 등도 사용가능하다.
[실시예 2]
제7도는 제 2 실시예의 대향전극(351)을 나타내는 것으로, 제 1 실시예의 대향전극(351)과 다른 점은 제 1 대향전위 급전단자와 제 2 대향전위 급전단자가 형성되는 위치가 다른 점에 있다.
즉 신호선 구동회로기판(5a), 즉 화면의 짧은 쪽 방향의 한쪽 단부주위(351c)와 그에 대향하는 다른 한쪽 단부 주위(351d)에 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-4)와 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-4)가 각각 돌출하여 형성되어 있다. 또 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-4)와 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-4)는 서로 선대칭위치로부터 어긋나서 배치되어 있다.
제8도는 본 실시예의 대향기판(301)을 제조하는 경우에 있어서의 스퍼터·마스크(601)를 나타낸 것이다.
제 1 실시예와 똑같이 스퍼터·마스크(601)의 제 1 개구부(603-1)로부터 제 4 개구부(603-4)에 있어서, 대향전극(351)의 제 1 대향전위 급전단자(353-1, …, 353-4)에 대응하여 바깥쪽으로 연장되는 제 1 절개부(643-1, …, 643-4)가 형성되어 있다. 또 제 2 대향전위 급전단자(355-1, …, 355-4)에 대응하여 바깥쪽으로 연장되는 제 2 절개부(645-1, …, 645-4)가 형성되어 있다.
[실시예 3]
제9도는 대향기판(301)의 제 3 실시예로서, 제 1 실시예와 다른 점은 제 1 대향전위 전극(353)과 제 2 대향전위 급전단자(355)가 대향전극(351)의 4둘레단 주위에 설치된 것에 있다. 또 각각 대향하는 위치에 있어서 제 1 대향전위 급전단자(353)와 제 2 대향전위 급전단자(355)는 각각 선대칭으로부터 어긋난 위치에 설치되어 있다.
제10도는 본 실시예의 대향기판(301)을 제조할 때의 스퍼터·마스크(601)의 평면도이며, 제 1 개구(603-1)로부터 제 4 개구부(603-4)까지에는 각각 제 1 대향전위 급전단자(353)와 제 2 대향전위 급전단자(355)와 대응하는 위치에 제 1 절개부(643)와 제 2 절개부(645)가 설치되어 있다.
[실시예 4]
제11도 및 제12도를 기초로 하여 제 4 실시예의 액정표시장치(1)에 대하여 설명한다. 본 실시예는 어레이기판(101)에 차광막(701)을 설치한 구조(BM-ON-ARRAY)의 액정표시장치(1)이며, 또 대향전위 급전단자가 대향전극(351)의 가장자리 주위로부터 돌출하여 형성되는 것에 특징이 있다.
우선 어레이기판(101)의 표시영역(2)의 구조에 대하여 설명한다.
차광막(701)은 크롬(Cr) 등의 금속으로 이루어지고 보호막(SiNx: 실리콘나이트라이드(707)상에 설치함으로써 신호선(103)과 화소전극(151)의 간격, 주사선(111)과 화소전극(151)의 간격 및 TFT(121)를 차광한다. 그리고 이 차광막(701)상에 배향막(403)을 설치한다.
또한 차광막(701)은 금속 외에 광차폐성의 수지(예를 들면 카본이 수지속에 분산되어 이루어지는 것), 또는 흑연 등의 의해 형성되어도 상관 없다.
이와 같이 하여 어레이기판(101)을 구성하면 대향기판(301)측에 차광막이 불필요하며, 위치맞춤의 자유도를 개구율에 영향을 받지 안고 크게 할 수 있다. 즉 개구율은 어레이기판(101)측에서 결정되고 대향기판(301)의 위치맞춤에 좌우되지 않는다.
또한 어레이기판(101)의 주변부(700)의 구조에 대하여 설명한다.
어레이기판(101)에 주변부(700)에 있어서, 차광막(701)상에 배향막(403)을 설치한다. 또 상기 배향막(403)의 외주부에 있어서, 대향전극 접속배선(705)으로부터 대향전극 접속패드(703)가 노출되는 개구를 포함하도록 보호막(707)을 형성한다.
이어서 대향기판(301)에 대하여 설명한다.
대향기판(301)은 투명한 유리기판(300)상에 적, 녹, 청의 3원색으로 구성된 색부(331)를 각각 형성한다. 이 색부(331)는 인쇄법이나 포토리소그래피법으로 구성해도 좋다. 또 염색법으로 구성해도 좋다. 또한 각 색부(331)에 대응하는 위치에 전극을 구성해두면 전착법으로 구성할 수도 있다.
이 색부(331)상에 유기보호막(341)을 통하여 대향전극(351)을 형상한다. 이 경우에 대향전극(351)에 전위를 급전하기 위한 대향전위 급전단자(353)는 제 1∼제 3 실시예와 달리 대향전극(351)으로부터 돌출시키지 않고 4 주변의 어떤 위치로부터 급전이 가능하도록 테두리형상으로 해둔다. 그리고 대향전극(351)상에 배향막(405)을 형성한다.
상기 액정표시장치(1)의 제조방법에 대하여 설명한다.
① 어레이기판(101)의 주변부(700)에 있어서, 상기 배향막(403) 및 보호막(707)의 경계부분이 시일제 배치영역(451)이 된다. 이 때문에 시일제 배치영역(451)에 시일제(709)를 스크린인쇄에 의해 배치한다. 이경우에 어레이기판(101)(의 대향전극 접속단자(703)에 대응하는 시일제 배치영역(451)에는 시일제(709)가 배치되지 않도록 스크린인쇄를 실시하고 대향전극 접속단자(703)를 노출하는 원통형의 구멍을 설정한다.
② 시일제 배치영역(451)속의 원통형의 구멍은 은 페이스트로 이루어지는 트랜스퍼(711)를 적하한다.
③ 어레이기판(101)상에 시일제(709)를 통하여 대향기판(301)을 대향배치하여 거듭한다. 이에 따라 대향전극 잡속단자(703)와 대향전위 급전단자(351)가 트랜스퍼(711)를 통하여 전기적으로 접속한다.
상기와 같이 하야 구성한 경우에는 시일제(709)와 중복하는 위치에 공통전극인 대향전극(351)을 연장시키고, 그 일부분에 대향전극 접속단자(703)와 트랜스퍼(711)를 통하여 접속하도록 구성하고 있기 때문에 대향기판(301)에 차광막이 없음에도 불구하고 대향기판(301)측의 유리기판(300)이 액정조성물(401)에 대하여 노출하는 일이 없다. 이 때문에 액정조성물(401)내에 유리로부터의 불순물 등이 침입하는 일이 없고, 이에 따라 장시간 사용에 대하여 양호한 표시품위를 유지할 수 있다.
또한 본 실시예에서는 색부(331)를 대향기판(301)측에 설치했지만 이에 대신하여 어레이기판(101)측에 설치해도 좋다. 이 경우에 이 색부(331)는 인쇄법으로도 구성해도 좋고, 또 염색법으로 구성해도 좋다. 화소전극(151)을 잘 이용하여 각 색부(331)를 전착법으로 구성할 수도 있다. 또한 안료를 분산시켜서 전체에 도포하고, 그 후 노광하여 색부(331)를 구성해도 좋다. 이에 따라 대향기판에 칼라팔터가 불필요하며, 위치맞춤의 자유도를 개구율에 영향을 받지 않고 크게 할 수 있다.

Claims (12)

  1. 복수의 화소전극이 배치되어 이루어지는 어레이 기판, 상기 어레이 기판에 대향하여 배치된 대향 전극을 구비한 대향 기판과, 상기 어레이 기판과 상기 대향 기판과의 사이에 유지된 광 변조층을 구비한 액티브 매트릭스형 표시장치에 있어서, 상기 대향 기판은 상기 대향 전극의 한 단변에 설치된 복수의 제 1 대향 전위 급전 단자와, 상기 대향 전극의 상기 한 단변과 대향하는 다른 한 단변의 상기 제 1 대향전위 급전 단자의 선대칭 위치에서 벗어난 위치에 설치된 복수의 제 2 대향 전위 급전 단자를 구비한 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제 1 대향 전위 급전 단자는 상기 대향 전극의 상기 한 단변에서 돌출하고, 적어도 하나의 상기 제 2 대향 전위 급전 단자는 상기 대향전극의 상기 다른 한 단변에서 돌출한 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제 1 대향 전위 급전 단자 및 제 2 대향 전위 급전단자는 상기 광변조층을 수납하는 시일제 영역에서 돌출하여 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제 1 대향 전위 급전 단자 및 제 2 대향 전위 급전단자는 상기 광 변조층을 수납하는 시일제 영역의 내부에 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제 1 대향 전위 급전 단자 및 제 2 대향 전위 급전단자는 상기 표시장치의 화면의 긴 쪽 방향의 양단 주위에 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제 1 대향 전위 급전 단자 및 제 2 대향 전위 급전단자는 상기 표시장치의 화면의 짧은 쪽 방향의 양단 주위에 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제 1 대향 전위 급전 단자 및 제 2 대향 전위 급전단자는 상기 표시장치의 화면의 4둘레 가장자리 주위에 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  8. 제1항에 있어서, 매트릭스 형상의 차광막이 상기 어레이 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  9. 제1항에 있어서, 칼라 필터가 상기 어레이 기판 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치.
  10. 제 1 및 제 2 개구가 분할부에 의해 분리되어 이루어지는 마스크를 이용하여, 상기 제 1 및 제 2 개구에 각각 대응한 제 1 및 제2 대향 잔극을 형성하여 대향 기판 집합체를 형성한 후에, 상기 대향 기판 집합체로부터 제 1 및 제 2 대향 기판을 꺼내는 액티브 매트릭스형 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 마스크의 상기 분할부의 한 쪽 단부의 주위는 상기 제 1 대향 전극에 제 1 대향 전위 급전 단자를 형성하기 위해 상기 제 1 개구부로부터 연장되는 제 1 절개부가 상기 분할부의 상기 한 쪽 단부 주위에 대향하는 다른 한 쪽 단부 주위에는 상기 제 2 대향 잔극에 제 2 대향 전위 급잔 단자를 형성하기 위해 상기 제 2 개구부로부터 연장되는 제 2 절개부가 각각 번갈아 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 절개부는 상기 제 1 및 제 2 개구의 길이가 긴 방향을 따라 각각 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치의 제조방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 절개부는 상기 제 1 및 제 2 개구의 길이가 짧은 방향을 따라 각각 형성된 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 표시장치의 제조방법.
KR1019950016558A 1994-06-23 1995-06-16 액티브매트릭스형 표시장치 및 그 제조방법 KR0164251B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089276A (ko) * 2020-01-07 2021-07-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3737176B2 (ja) 1995-12-21 2006-01-18 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶表示装置
US6288764B1 (en) 1996-06-25 2001-09-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device or electronic device having liquid crystal display panel
JP3215052B2 (ja) * 1996-09-10 2001-10-02 シャープ株式会社 画像読取表示装置
US6547616B1 (en) * 1998-04-15 2003-04-15 Fujitsu Display Technologies Corporation Display, its manufacture, ink coating apparatus, all suitable for narrowing display frame
US6489952B1 (en) * 1998-11-17 2002-12-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Active matrix type semiconductor display device
JPWO2003069399A1 (ja) * 2002-02-14 2005-06-09 ソニー株式会社 液晶表示装置
KR100845149B1 (ko) * 2002-04-29 2008-07-09 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 액정패널
US7274413B1 (en) * 2002-12-06 2007-09-25 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Flexible video display apparatus and method
US7113249B2 (en) * 2003-01-06 2006-09-26 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Monochrome liquid crystal display having higher spaces in pixel area than in peripheral area and production method therefor
JP4868897B2 (ja) * 2006-03-13 2012-02-01 東芝モバイルディスプレイ株式会社 基板装置および液晶表示装置
KR20130101331A (ko) * 2012-03-05 2013-09-13 삼성디스플레이 주식회사 액티브 리타더 및 이를 갖는 표시 장치의 제조 방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2780543B2 (ja) * 1991-11-06 1998-07-30 日本電気株式会社 液晶表示基板及び液晶表示装置
JPH05265025A (ja) * 1992-03-18 1993-10-15 Hitachi Ltd 液晶ディスプレイ
JPH081500B2 (ja) * 1993-03-23 1996-01-10 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 液晶表示装置
JP3184853B2 (ja) * 1993-06-24 2001-07-09 株式会社日立製作所 液晶表示装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089276A (ko) * 2020-01-07 2021-07-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US12019338B2 (en) 2020-01-07 2024-06-25 Samsung Display Co., Ltd. Display device which prevents introduction of static electricity to a display area

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