JPS6016388B2 - 高靭性セラミック工具の製法 - Google Patents
高靭性セラミック工具の製法Info
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- JPS6016388B2 JPS6016388B2 JP53136048A JP13604878A JPS6016388B2 JP S6016388 B2 JPS6016388 B2 JP S6016388B2 JP 53136048 A JP53136048 A JP 53136048A JP 13604878 A JP13604878 A JP 13604878A JP S6016388 B2 JPS6016388 B2 JP S6016388B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
- B24D3/04—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
- B24D3/14—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic ceramic, i.e. vitrified bondings
-
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T407/00—Cutters, for shaping
- Y10T407/27—Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は窒化珪素を主体とする高鰯性セラミック工具の
製法に関するものである。
製法に関するものである。
従来鋳物の黒皮を１００ｍ／ｍｉｎ以上の／・ィスピー
ドで切削するセラミック工具としては、山２０３および
山２０３−ＴＩＣ等をホットプレス若しくは熱間静水圧
法（ＨＩＰ法）などにより燐結したものが主として使用
されてきた。
ドで切削するセラミック工具としては、山２０３および
山２０３−ＴＩＣ等をホットプレス若しくは熱間静水圧
法（ＨＩＰ法）などにより燐結したものが主として使用
されてきた。
ところがこれらの工具は、使用中欠け、割れ等を起し易
く、自動機で切削加工をする場合には、稼動率低下の最
大原因となっていた。また工具としての寿命は、欠けお
よび割れに左右され、摩耗幅が非常に少ない状態でも交
換しなければならないことが多かった。そこで本発明者
はかかる欠点を解消するため、鋭意検討の結果、ＡＩ２
０３系材料よりも衝撃強さ、熱衝撃強さおよび鰯性の高
い窒化珪素に着目した。窒化珪素を主体とするセラミッ
クは、共有結合性の強い雛暁結材料で、従来よりガスタ
ービン等のエンジニアリングセラミックス用に非常に多
くの研究がなされてきたが、切削工具への応用は少ない
。本発明者は暁結助剤としてＭｇ０および安定化された
Ｚｒ０２を用いて、工具材料とした使用した場合の特性
調査を行ない、遂にＡＩ２０３系セラミック工具の致命
的欠陥である使用中の欠け、割れを解決することに成功
し本発明を完成した。すなわち本発明の要旨は、図面に
示すように正三角形に交わる三軸にそれぞれＳｉ３Ｎ４
、Ｍｇ０および安定化されたＺの２の重量％を表示した
三角座標において、点Ａ（Ｓｉ３Ｎ４班重量％、Ｍｇ０
１重量％、Ｚｒ０２１重量％）、点Ｂ（Ｓｉ３Ｎ４７９
重量％、Ｍｇ０２の重量％、Ｚの２１重量％）、′点Ｃ
（Ｓｉ３Ｎ４７９重量％、Ｍｇ０１重量％、Ｚｒ０２２
の重量％）を結ぶ線で囲まれる範囲においてＳｉ３Ｎ４
、Ｍｇ○および安定化されたＺｒ０２の各粉末を混合し
非酸化性雰囲気で１６００〜１８５ぴ○、１００ｋ９／
地以上の圧力でホットプレスすることを特徴とする高鰍
性セラミック工具の製法にある。以下に本発明を詳細に
説明するに、本発明では原料としてＳｉ３Ｎ４、Ｍｇ○
およびＺの２の三成分を必要とし、Ｚの２はＹ２０３、
Ｃａ０などで安定化されていることを要する。
く、自動機で切削加工をする場合には、稼動率低下の最
大原因となっていた。また工具としての寿命は、欠けお
よび割れに左右され、摩耗幅が非常に少ない状態でも交
換しなければならないことが多かった。そこで本発明者
はかかる欠点を解消するため、鋭意検討の結果、ＡＩ２
０３系材料よりも衝撃強さ、熱衝撃強さおよび鰯性の高
い窒化珪素に着目した。窒化珪素を主体とするセラミッ
クは、共有結合性の強い雛暁結材料で、従来よりガスタ
ービン等のエンジニアリングセラミックス用に非常に多
くの研究がなされてきたが、切削工具への応用は少ない
。本発明者は暁結助剤としてＭｇ０および安定化された
Ｚｒ０２を用いて、工具材料とした使用した場合の特性
調査を行ない、遂にＡＩ２０３系セラミック工具の致命
的欠陥である使用中の欠け、割れを解決することに成功
し本発明を完成した。すなわち本発明の要旨は、図面に
示すように正三角形に交わる三軸にそれぞれＳｉ３Ｎ４
、Ｍｇ０および安定化されたＺの２の重量％を表示した
三角座標において、点Ａ（Ｓｉ３Ｎ４班重量％、Ｍｇ０
１重量％、Ｚｒ０２１重量％）、点Ｂ（Ｓｉ３Ｎ４７９
重量％、Ｍｇ０２の重量％、Ｚの２１重量％）、′点Ｃ
（Ｓｉ３Ｎ４７９重量％、Ｍｇ０１重量％、Ｚｒ０２２
の重量％）を結ぶ線で囲まれる範囲においてＳｉ３Ｎ４
、Ｍｇ○および安定化されたＺｒ０２の各粉末を混合し
非酸化性雰囲気で１６００〜１８５ぴ○、１００ｋ９／
地以上の圧力でホットプレスすることを特徴とする高鰍
性セラミック工具の製法にある。以下に本発明を詳細に
説明するに、本発明では原料としてＳｉ３Ｎ４、Ｍｇ○
およびＺの２の三成分を必要とし、Ｚの２はＹ２０３、
Ｃａ０などで安定化されていることを要する。
安定化されていないＺｒ０２を使用すると、競絹後部分
安定化した形か又は単斜晶系の形で焼結体中に残留し、
切削加工する際工具先端の温度が１０００ｑｏ以上に上
昇した時、高温型の正方晶系に変態を行い、異常な容積
変化を伴うため熱歪により欠け、割れに対する抵抗性が
減少してしまう。上記の三成分は図面に示すような三角
座標において点Ａ、Ｂ、Ｃを結ぶ点線で囲まれる範囲内
、好ましくは点Ｄ、Ｅ、Ｆを結ぶ実線で囲まれる範囲内
であることが要求される。この範囲内であると欠けに対
する抵抗性が大きく、範囲外になると大幅に低下する。
また概してＭｇ０が少なくなると耐摩耗性が低下する額
向がある。８０％以上９８％以下のＳｉ３Ｎ４にＹ２０
３、又はＣａ○で安定化したＺｒ０２を添加剤として１
％以上２０％以下加えた理由はＺの２添加量が１％より
少ない範囲では籾性の向上効果がみられず２０％より多
くなると工具としての硬度の低下と共に切削時の摩耗が
多く使用できない点にある。
安定化した形か又は単斜晶系の形で焼結体中に残留し、
切削加工する際工具先端の温度が１０００ｑｏ以上に上
昇した時、高温型の正方晶系に変態を行い、異常な容積
変化を伴うため熱歪により欠け、割れに対する抵抗性が
減少してしまう。上記の三成分は図面に示すような三角
座標において点Ａ、Ｂ、Ｃを結ぶ点線で囲まれる範囲内
、好ましくは点Ｄ、Ｅ、Ｆを結ぶ実線で囲まれる範囲内
であることが要求される。この範囲内であると欠けに対
する抵抗性が大きく、範囲外になると大幅に低下する。
また概してＭｇ０が少なくなると耐摩耗性が低下する額
向がある。８０％以上９８％以下のＳｉ３Ｎ４にＹ２０
３、又はＣａ○で安定化したＺｒ０２を添加剤として１
％以上２０％以下加えた理由はＺの２添加量が１％より
少ない範囲では籾性の向上効果がみられず２０％より多
くなると工具としての硬度の低下と共に切削時の摩耗が
多く使用できない点にある。
又Ｓｉ３Ｎ４の限定理由はＳｉ３Ｎ４が聡％以上では晩
結性が悪く目的とする特性が得られず８０％以下では切
削時の耐摩耗性が低下するためである。又Ｍｇ０を１％
以上２０％以下加える理由は１％より少ない範囲では焼
結促進剤としての効果が少なく２０％より多くなると切
削時の摩耗が多くなり工具としての特性が得られないた
めである。この範囲内で三成分の粉末を混合したならば
、非酸化性雰囲気で、１６００〜１８５０ｏｏ、１００
ｋ９／仇以上の圧力でホットプレスする。非酸化性雰囲
気により焼成するのは、窒化珪素が極めて酸化し易いか
らである。また１６００ｑｏよりも低い温度であると競
結が不充分となる場合があり、１８５０ｏｏよりも高い
温度であるとＳｉ３Ｎ４の蒸発が著しくなる。実施例
１ Ｑ−Ｓｉ３Ｎ４９の重量％と８一Ｓｉ３Ｎ４１の重量％
よりなる粉末とＣａ０２０モル％により安定化したＺの
２と、Ｍｇ○とを表１に示す比で混合し、ボールミルに
より粉砕して平均粒径１仏とした。
結性が悪く目的とする特性が得られず８０％以下では切
削時の耐摩耗性が低下するためである。又Ｍｇ０を１％
以上２０％以下加える理由は１％より少ない範囲では焼
結促進剤としての効果が少なく２０％より多くなると切
削時の摩耗が多くなり工具としての特性が得られないた
めである。この範囲内で三成分の粉末を混合したならば
、非酸化性雰囲気で、１６００〜１８５０ｏｏ、１００
ｋ９／仇以上の圧力でホットプレスする。非酸化性雰囲
気により焼成するのは、窒化珪素が極めて酸化し易いか
らである。また１６００ｑｏよりも低い温度であると競
結が不充分となる場合があり、１８５０ｏｏよりも高い
温度であるとＳｉ３Ｎ４の蒸発が著しくなる。実施例
１ Ｑ−Ｓｉ３Ｎ４９の重量％と８一Ｓｉ３Ｎ４１の重量％
よりなる粉末とＣａ０２０モル％により安定化したＺの
２と、Ｍｇ○とを表１に示す比で混合し、ボールミルに
より粉砕して平均粒径１仏とした。
これを乾燥してホットプレス素地とし、表に示す温度で
黒鉛型にて３０分間、２００ｋ９／めでホットプレス成
形し、研磨して１２．８×１２．８×４．７６凧のＳＮ
Ｐ−４３２、１２．８×１２．８×７．９４のＳＮＰ−
４５５ ４×８×２５の各テストピースを製作し、諸物
性を測定した。なお、試料Ｍ．１、恥．２、船．８を除
き暁綾体は彫密に焼きしまっていた。また図面に原料粉
末の組成をプロット（図面の数字は表の試料Ｎｏ．に相
当）した。表 １失 本発明の範囲外 ×１ これのみｏａ○の代りＫＹ２０３で安定した。
黒鉛型にて３０分間、２００ｋ９／めでホットプレス成
形し、研磨して１２．８×１２．８×４．７６凧のＳＮ
Ｐ−４３２、１２．８×１２．８×７．９４のＳＮＰ−
４５５ ４×８×２５の各テストピースを製作し、諸物
性を測定した。なお、試料Ｍ．１、恥．２、船．８を除
き暁綾体は彫密に焼きしまっていた。また図面に原料粉
末の組成をプロット（図面の数字は表の試料Ｎｏ．に相
当）した。表 １失 本発明の範囲外 ×１ これのみｏａ○の代りＫＹ２０３で安定した。
Ｘ２ ４×８×２５肌のテストピースを使用しＪＩＳ
Ｂ−４１０４Ｋより測定した。Ｘ３ ス中ハーフィッシ
ャ−硬度計により４５Ｋ９の荷車で測定した。×４ Ｓ
ＮＰ−４３２、チャンフア−Ｕ．１のテストピースを使
用し、被削材として１０００の仇×５００２仇のを選び
、切削条件を切削速度４００ｍノ肌、切込み１．０のの
、送り速度０．２のの／ｒｅｖ、切削長さ、４００の勿
としてフランク摩耗中Ｖ１３を測定した。Ｘ５ ＳＮＰ
−４５５、チャンフア−０．２のテストピ−スを使用し
、被削材として１ー○−２０（黒皮）を選び、切削条件
を切削速度５００ｍイ肌、切込み２．２〜３．０の仇′
、送り速度０．３ のり／ｒｅｖとして外径２００冊、
厚さ３５ののの円板の外側前を軸方向に切削したり表１
によって示せれる通り本発明によって得たセラミック工
具は、鋤性特に鋳物のラフカットに対する工具のチッピ
ング、欠けに対する抵抗性に優れ、自動機における工具
の信頼性を大中に向上させることができる。
Ｂ−４１０４Ｋより測定した。Ｘ３ ス中ハーフィッシ
ャ−硬度計により４５Ｋ９の荷車で測定した。×４ Ｓ
ＮＰ−４３２、チャンフア−Ｕ．１のテストピースを使
用し、被削材として１０００の仇×５００２仇のを選び
、切削条件を切削速度４００ｍノ肌、切込み１．０のの
、送り速度０．２のの／ｒｅｖ、切削長さ、４００の勿
としてフランク摩耗中Ｖ１３を測定した。Ｘ５ ＳＮＰ
−４５５、チャンフア−０．２のテストピ−スを使用し
、被削材として１ー○−２０（黒皮）を選び、切削条件
を切削速度５００ｍイ肌、切込み２．２〜３．０の仇′
、送り速度０．３ のり／ｒｅｖとして外径２００冊、
厚さ３５ののの円板の外側前を軸方向に切削したり表１
によって示せれる通り本発明によって得たセラミック工
具は、鋤性特に鋳物のラフカットに対する工具のチッピ
ング、欠けに対する抵抗性に優れ、自動機における工具
の信頼性を大中に向上させることができる。
その理由は断定できないが第１に表１に示す如き断続切
削に於ては刃先の温度は１０００００以上に上昇するこ
とが繰り返され、この時ＡＩ２０３−ＴＩＣ系工具は熱
膨張係数が約７ｘｌ０６／℃と大きいのに対し本発明の
Ｓｉ３Ｎ４を主体とする工具は約３．５ｘｌ０６／℃と
小さく熱衝撃に強いためと考えられる。又第２にＳｉ３
Ｎ，を主体とする工具は微構造的に観察した時、繊維構
造を示し、破壊に対する靭‘性が高いためと考えられる
。実施例 ２実施例１の試料Ｎｏ．６と同一組成にて安
定化ジルコニャを用いる代りに、安定化されていない単
斜晶系のジルコニャを用い、比較試料Ｎｏ．駅−を製作
した。
削に於ては刃先の温度は１０００００以上に上昇するこ
とが繰り返され、この時ＡＩ２０３−ＴＩＣ系工具は熱
膨張係数が約７ｘｌ０６／℃と大きいのに対し本発明の
Ｓｉ３Ｎ４を主体とする工具は約３．５ｘｌ０６／℃と
小さく熱衝撃に強いためと考えられる。又第２にＳｉ３
Ｎ，を主体とする工具は微構造的に観察した時、繊維構
造を示し、破壊に対する靭‘性が高いためと考えられる
。実施例 ２実施例１の試料Ｎｏ．６と同一組成にて安
定化ジルコニャを用いる代りに、安定化されていない単
斜晶系のジルコニャを用い、比較試料Ｎｏ．駅−を製作
した。
特に欠け、割れを起す迄の製品の切削枚数を調査する試
料は１０ケ製作し、Ｎｏ．６と比較した結果表２の通り
になった。表 ２ 表２より明らかな如く、抗折力、硬度、耐摩耗性では両
者共差がないけれども、欠け、割れを起す迄の製品の切
削枚数は恥．６が１０ケの試料中、１０ケ皆２００ケ以
上切削できたのに対し、舷．服は３ケのみ２００ケ以上
切削でき、その他は４１ケ〜１８９ケの間にばらついて
いた。
料は１０ケ製作し、Ｎｏ．６と比較した結果表２の通り
になった。表 ２ 表２より明らかな如く、抗折力、硬度、耐摩耗性では両
者共差がないけれども、欠け、割れを起す迄の製品の切
削枚数は恥．６が１０ケの試料中、１０ケ皆２００ケ以
上切削できたのに対し、舷．服は３ケのみ２００ケ以上
切削でき、その他は４１ケ〜１８９ケの間にばらついて
いた。
これの理由は断定できないが、舷．服がＸ線回折により
、少量の単斜晶系の低温型Ｚｒ０２を検出されるのに対
し、本発明のＭ．６はすべて安定イけの２のみ検出され
るため、欠け、割れに対する強さが安定しているためと
思われる。最近の切削機械はいずれも自動化が進んでお
り、工具の突発的な欠け、割れは大変やつかし、な問題
を起すため、本発明による安定した工具は欠け、割れに
対する強さのばらつきの大きいＭ．駅に比し大きな長所
を有している。尚別に室温から１２００℃迄の熱膨脹を
調査したところ地．服は９０ぴ０と１００ぴ０の間で熱
膨脹係数の変化点が認められたがＭ．６は変化点が認め
られず直線的膨脹曲線を示した。また本発明によって得
られたセラミック工具は、上記のような優れた諸物性の
ため、鋳物以外の金属、例えばアルミニウム、スチール
などの切削工具、さらには切削のような振動や熱のかか
る機械用耐熱部品に使用することができる。
、少量の単斜晶系の低温型Ｚｒ０２を検出されるのに対
し、本発明のＭ．６はすべて安定イけの２のみ検出され
るため、欠け、割れに対する強さが安定しているためと
思われる。最近の切削機械はいずれも自動化が進んでお
り、工具の突発的な欠け、割れは大変やつかし、な問題
を起すため、本発明による安定した工具は欠け、割れに
対する強さのばらつきの大きいＭ．駅に比し大きな長所
を有している。尚別に室温から１２００℃迄の熱膨脹を
調査したところ地．服は９０ぴ０と１００ぴ０の間で熱
膨脹係数の変化点が認められたがＭ．６は変化点が認め
られず直線的膨脹曲線を示した。また本発明によって得
られたセラミック工具は、上記のような優れた諸物性の
ため、鋳物以外の金属、例えばアルミニウム、スチール
などの切削工具、さらには切削のような振動や熱のかか
る機械用耐熱部品に使用することができる。
図面は凝結されるべき混合粉末を構成する各要素の配合
割合を示す三角座標図である。
割合を示す三角座標図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 図面に示すように正三角形に交わる三軸にそれぞれ
Ｓｉ＿３Ｎ＿４、ＭｇＯおよび安定化されたＺｒＯ＿２
の重量％を表示した三角座標において、点Ａ（Ｓｉ＿３
Ｎ＿４９８重量％、ＭｇＯ１重量％、ＺｒＯ＿２１重量
％）、点Ｂ（Ｓｉ＿３Ｎ＿４７９重量％、ＭｇＯ２０重
量％、ＺｒＯ＿２１重量％）、点Ｃ（Ｓｉ＿３Ｎ＿４７
９重量％、ＭｇＯ１重量％、ＺｒＯ＿２２０重量％）を
結ぶ線で囲まれる範囲においてＳｉ＿３Ｎ＿４、ＭｇＯ
および安定化ジルコニアの各粉末を混合し非酸化性雰囲
気で１６００〜１８５０℃、１００ｋｇ／ｃｍ＾２以上
の圧力でホツトプレスすることを特徴とする高靭性セラ
ミツク工具の製法。 ２ 三角座標において、点Ｄ（Ｓｉ＿３Ｎ＿４９６重量
％、ＭｇＯ２重量％、ＺｒＯ＿２２重量％）、点Ｅ（Ｓ
ｉ＿３Ｎ＿４８０重量％、ＭｇＯ１８重量％、ＺｒＯ＿
２２重量％）、点Ｆ（Ｓｉ＿３Ｎ＿４８０重量％、Ｍｇ
Ｏ２重量％、ＺｒＯ＿２１８重量％）を結ぶ線で囲まれ
る範囲においてＳｉ＿３Ｎ＿４、ＭｇＯおよび安定化さ
れたＺｒＯ＿２を混合した粉末をホツトプレスする特許
請求の範囲第１項に記載の高靭性セラミツク工具の製法
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53136048A JPS6016388B2 (ja) | 1978-11-04 | 1978-11-04 | 高靭性セラミック工具の製法 |
| US06/091,662 US4304576A (en) | 1978-11-04 | 1979-11-05 | Silicon nitride ceramic tools and a process for their production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53136048A JPS6016388B2 (ja) | 1978-11-04 | 1978-11-04 | 高靭性セラミック工具の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5562857A JPS5562857A (en) | 1980-05-12 |
| JPS6016388B2 true JPS6016388B2 (ja) | 1985-04-25 |
Family
ID=15165953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53136048A Expired JPS6016388B2 (ja) | 1978-11-04 | 1978-11-04 | 高靭性セラミック工具の製法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4304576A (ja) |
| JP (1) | JPS6016388B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0306001A2 (en) | 1987-09-02 | 1989-03-08 | NGK Spark Plug Co. Ltd. | Silicon nitride sintered product |
Families Citing this family (53)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4416670A (en) * | 1982-05-20 | 1983-11-22 | Gte Laboratories Incorporated | Carbide coated composite silicon nitride cutting tools |
| JPS5926976A (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-13 | 日本特殊陶業株式会社 | 高靭性セラミツク工具 |
| JPS59146981A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-23 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体およびその製造法 |
| JPS6054976A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-29 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体 |
| JPS61501835A (ja) * | 1984-04-13 | 1986-08-28 | フオ−ド モ−タ− カンパニ− | Ｓｉ↓３Ｎ↓４で金属ケイ素粒状体を機械切削する方法 |
| JPS61101482A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | 住友電気工業株式会社 | 窒化珪素切削工具 |
| US4640902A (en) * | 1985-05-31 | 1987-02-03 | Rockwell International Corporation | Low thermal conductivity Si3 N4 /ZrO2 composite ceramics |
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| JPH0694390B2 (ja) * | 1988-09-09 | 1994-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素焼結体 |
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