JPS6245194B2 - - Google Patents
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- JPS6245194B2 JPS6245194B2 JP52087776A JP8777677A JPS6245194B2 JP S6245194 B2 JPS6245194 B2 JP S6245194B2 JP 52087776 A JP52087776 A JP 52087776A JP 8777677 A JP8777677 A JP 8777677A JP S6245194 B2 JPS6245194 B2 JP S6245194B2
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
低温から高温域に渡る広い温度範囲で高い化学
的安定性と高硬度を維持する特長を利してAl2O3
は頻々に摺動部品として、又高速度切削工具材料
として用いられて来た。Al2O3は上記特色を有す
るにもかかわらず、又反面靭性が不足し且つ熱衝
撃に弱い欠点があり、その為応用範囲も自ずと制
約されている。 上記のAl2O3固有の欠点を改善する目的で、
Al2O3に種々の金属炭化物、金属窒化物或いは金
属炭窒化物を数10重量％加えて、所謂、複合セラ
ミツク材料が試作され、又一部のものは実用化さ
れている。こうした複合セラミツク材料は所謂95
重量％以上がAl2O3であるAl2O3主成分の材料に
比べて、その改善の目的から明らかな通り、強度
も大きく、又熱伝導性も大で、従つて又耐熱衝撃
性（耐スポール性）にも優れている。 しかしこの様な複合セラミツク材料は粉末冶金
法を用いて作成する以上種々の問題を未解決の
まゝ残している。即ち、上記複合セラミツク材
料、もしくは上記複合セラミツク組成物を主成分
とするセラミツク材料は、Al2O3主成分の材料に
比較して焼結性に劣り、多くの場合高温且つ高圧
力下でホツトプレス焼成する事を余儀なくされる
ばかりでなく、焼結性の悪さに起因して生ずるピ
ンホールの存在や、Al2O3と他金属炭化物、窒化
物、炭窒化物との界面の整合性の不完全さ等で代
表される材質の微細構造上の欠陥を有している事
が多い。この事実は、上記複合セラミツク組成物
を主成分とするセラミツク焼結体の製造上、安定
した強度特性を有する製品を得る事の困難さを示
唆するものである。 本発明はこうした複合セラミツク材料の短所で
あつた焼結性の改善方法を提供し、微細構造上の
欠陥が少ない、安定した強度特性を有する複合セ
ラミツク材料を得る手段を提供する事を目的とす
る。本発明は、複合セラミツク材料の内で、特に
Al2O3とTi又はTiを主成分としTiの50原子％以下
をａ、ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種
以上で置換した金属の炭窒化物もしくは炭窒酸化
物との複合組成物が全体の90体積％以上を占める
セラミツク材料に対象を限定する。従つて、本発
明法は公知組成物であり工具材料として実用化さ
れているAl2O3−TiC系複合セラミツク材料の焼
結性の改善にも関連する。即ち本発明法によれば
上記材料の焼結性の改善と微細構造上の改善を、
Al2O3と共存する炭化物相を非化学量論的炭窒化
物相、もしくは非化学量論的炭窒酸化物相で置換
し存在せしめる事により達成される。 次に本発明法の基本的考え方を示す。 一般にAl2O3と炭化物、窒化物及び炭窒化物の
共存下で焼成を行うとCO、CO2及びN2等のガス
の発生を伴う。従つて該複合組成物の焼結性は上
記発生ガスの分圧に左右される。即ち上記の発生
ガスの分圧が焼結時に低い程焼結性は改善される
と考えられる。例えばCOガスを例にとれば、CO
ガスの構成要素たる炭素元素は炭化物又は炭窒化
物より供給され、酸素元素は粉末に吸着せる酸素
原子は分子或いは水分又は炭化物、炭窒化物表面
に形成された酸化物やAl2O3から供給される事が
予想される。今COガスの構成要素たる酸素が上
記の如き酸化物から供給されると考えれば、次式
より明らかに焼成時に発生するCOガスの分圧は
炭化物又は炭窒化物に固溶している炭素の炭素ポ
テンシヤル従つて炭素の活量に依存し、炭素活量
が小さい程COガス分圧は低くなる。 １／ｙMexOy＋Ｃ（炭化物又は炭窒化物）＝ｘ／ｙMe＋C
O 上式の平衡定数をKpとすると Kp＝Ｐｃｏ／ａｃ ∴Pco＝Kp・ａｃ∞ａｃ こゝにMexOyは金属Meの酸化物、Ｃは炭化物
又は炭窒化物中に固溶している炭素、Pcoは平衡
Coガス分圧、ａｃは固溶炭素の活量である。次
にN2ガスを例にとれば、次式より明らかに焼成
時に発生するN2ガス分圧は窒化物又は炭窒化物
に固溶している窒素の活量に依存し、窒素活量が
小さい程N2ガス分圧は低くなると考えられる。 ２Ｎ（窒化物又は炭窒化物）＝N2 上式の平衡定数をKp′とすると Kp′＝ＰＮ２／ａＮ２ ∴PN2＝Kp′・ａＮ ２∞ａＮ ２ こゝにＮは窒化物又は炭窒化物に固溶している
窒素、PN2は平衡N2ガス分圧、ａＮは固溶窒素の
活量である。 一般にチタン炭窒化物（以后炭化物、窒化物、
炭窒化物を総称して炭窒化物と呼ぶ）に固溶して
いる炭素及び窒素の活量は下記の通り、炭窒化物
組成への依存性を示す事が知られている。（Ｔ・
Grieveson.Proc。British Ceram・Soc・
（1967）137.） (1) 炭素活量、窒素活量共に該金属炭窒化物を構
成する金属原子の原子比率が増大する程小さく
なる傾向がある。 (2) 固溶炭素量と固溶窒素量の原子比率に於いて
前者が後者より小さい程炭素活量は小さくな
り、その反面窒素活量は大きくなり、又逆に前
者が後者より大きい程窒素活量は小さくなりそ
の反面炭素活量は大となる傾向がある。 上記の傾向は、Tiの50原子％以下をａ、
ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種以上で置換
した、Tiを主成分とする金属炭窒化物に於いて
も保持される事が該金属炭窒化物と平衡する窒素
ガス分圧の測定結果により確認された。即ち本発
明はTi又はTiを主成分としTiの50原子％以下を
ａ、ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種以
上で置換した金属の炭窒化物の特徴を利用し、従
来より焼結の困難であり、又かなり高密度（例え
ば気孔率１％内外）に焼結してもピンホールの存
在や焼結体中の異相間界面の結合不完全性等に起
因する微細構造上の欠陥の除去が困難であつた、
Al2O3と該金属炭窒化物を主構成要素とするセラ
ミツク焼結体の製造上の諸問題を、該金属炭窒化
物を非化学量論的金属炭窒化物としてAl2O3と共
存させる事により解決した点に新規性を有する。 またさらに、Al、Ti、Ni、Mg、Ｙから選ばれ
た２種以上（但しNiとMgの組み合わせは除く）
の元素の複合酸化物が10体積％以下含まれる。こ
れは、これらの金属元素が金属状態あるいは単独
酸化物で存在した場合、機械強度への悪影響が大
きいためである。 更に本発明は、該非化学量論的金属炭窒化物の
炭素、窒素の単独又は両者の原子比率の50％以下
を酸素原子で置換してなる金属炭窒酸化物と
Al2O3の複合組成物が主構成要素たる焼結体をも
包含する。即ち上記置換による複合組成がが主構
成要素たる焼結体の焼結挙動は置換しない場合と
類似である事が判つた。 なお本発明法によれば特許請求の範囲２に記載
の通りの組成物は、ホツトポレス法によらずとも
1600℃以上の温度で焼成するならば通常焼結法
（非加工焼結法）によつても90％以上の密度を有
する焼結体が得られる。この焼結体の内で非通気
質の焼結体を例えば1500℃×1/2hr、ガス圧力500
Kg／cm2以上の条件下で熱間静圧成型装置内で再緻
密化処理を行えば密度100％の焼結体となる事が
判つた。 本発明法のセラミツク焼結体組成物の範囲で、
切削工具材料として適当な組成範囲は、特許請求
の範囲３に記載の通りであるが、更に切削工具材
料として耐欠損性の向上を付与するにはNi又は
Ni化合物をNi元素に換算して0.1〜2.0重量％を添
加する事が有効である。0.1重量％以下では添加
の効果は少なく2.0重量％より多くすれば最終焼
結体の高温硬度を低下させるばかりでなくアルミ
ナ結晶粒界でのスピネル生成物の析出量が増大
し、高速切削時の耐摩耗性並びに靭性を損つてし
まう。 なお特許請求の範囲及び添付第１図に記すＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの組成物は以下に記す通りである。 Ａ……Me（Ｃ0.95 Ｎ0.05）0.60 Ｂ……Me（Ｃ0.05 Ｎ0.95）0.60 Ｃ……Me（Ｃ0.05 Ｎ0.95）0.95 Ｄ……Me（Ｃ0.95 Ｎ0.05）0.95 （但し、MeはTi又はTiの50原子％以下をａ、
ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種以上で置
換した金属固溶体もしくは金属混合物を意味す
る）以下実施例を示し、本発明の限定範囲につい
ての詳細な説明を加える。 実施例 １ 平均粒径0.6ミクロンのα・Ai2O3粉末に
MgO、TiO2、NiOを添加し、この全体にTi、Zr
の１種又は２種を金属元素として含む炭窒化物を
配合し、ボールミル粉砕した後、1580℃×
50min、加圧＝70Kg／cm2の条件下で、10-2Torrの
真空中にてホツトプレス焼成した。その結果第１
表に示す様な結果を得た。本発明法により作成し
た焼結体は、本発明法の適用範囲外の焼結体に比
べ明らかに緻密性が良好で、又抗折強度も大きい
事が判る。 次いで第１表１〜３の焼結体を熱間静圧装置内
で緻密化処理を行なつた。処理条件は1550℃×
1hr、1500気圧（Ar gas）である。その結果総て
100％密度となり、抗折力は最低値で80Kg／mm2最
高値98Kg／mm2を示した。
的安定性と高硬度を維持する特長を利してAl2O3
は頻々に摺動部品として、又高速度切削工具材料
として用いられて来た。Al2O3は上記特色を有す
るにもかかわらず、又反面靭性が不足し且つ熱衝
撃に弱い欠点があり、その為応用範囲も自ずと制
約されている。 上記のAl2O3固有の欠点を改善する目的で、
Al2O3に種々の金属炭化物、金属窒化物或いは金
属炭窒化物を数10重量％加えて、所謂、複合セラ
ミツク材料が試作され、又一部のものは実用化さ
れている。こうした複合セラミツク材料は所謂95
重量％以上がAl2O3であるAl2O3主成分の材料に
比べて、その改善の目的から明らかな通り、強度
も大きく、又熱伝導性も大で、従つて又耐熱衝撃
性（耐スポール性）にも優れている。 しかしこの様な複合セラミツク材料は粉末冶金
法を用いて作成する以上種々の問題を未解決の
まゝ残している。即ち、上記複合セラミツク材
料、もしくは上記複合セラミツク組成物を主成分
とするセラミツク材料は、Al2O3主成分の材料に
比較して焼結性に劣り、多くの場合高温且つ高圧
力下でホツトプレス焼成する事を余儀なくされる
ばかりでなく、焼結性の悪さに起因して生ずるピ
ンホールの存在や、Al2O3と他金属炭化物、窒化
物、炭窒化物との界面の整合性の不完全さ等で代
表される材質の微細構造上の欠陥を有している事
が多い。この事実は、上記複合セラミツク組成物
を主成分とするセラミツク焼結体の製造上、安定
した強度特性を有する製品を得る事の困難さを示
唆するものである。 本発明はこうした複合セラミツク材料の短所で
あつた焼結性の改善方法を提供し、微細構造上の
欠陥が少ない、安定した強度特性を有する複合セ
ラミツク材料を得る手段を提供する事を目的とす
る。本発明は、複合セラミツク材料の内で、特に
Al2O3とTi又はTiを主成分としTiの50原子％以下
をａ、ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種
以上で置換した金属の炭窒化物もしくは炭窒酸化
物との複合組成物が全体の90体積％以上を占める
セラミツク材料に対象を限定する。従つて、本発
明法は公知組成物であり工具材料として実用化さ
れているAl2O3−TiC系複合セラミツク材料の焼
結性の改善にも関連する。即ち本発明法によれば
上記材料の焼結性の改善と微細構造上の改善を、
Al2O3と共存する炭化物相を非化学量論的炭窒化
物相、もしくは非化学量論的炭窒酸化物相で置換
し存在せしめる事により達成される。 次に本発明法の基本的考え方を示す。 一般にAl2O3と炭化物、窒化物及び炭窒化物の
共存下で焼成を行うとCO、CO2及びN2等のガス
の発生を伴う。従つて該複合組成物の焼結性は上
記発生ガスの分圧に左右される。即ち上記の発生
ガスの分圧が焼結時に低い程焼結性は改善される
と考えられる。例えばCOガスを例にとれば、CO
ガスの構成要素たる炭素元素は炭化物又は炭窒化
物より供給され、酸素元素は粉末に吸着せる酸素
原子は分子或いは水分又は炭化物、炭窒化物表面
に形成された酸化物やAl2O3から供給される事が
予想される。今COガスの構成要素たる酸素が上
記の如き酸化物から供給されると考えれば、次式
より明らかに焼成時に発生するCOガスの分圧は
炭化物又は炭窒化物に固溶している炭素の炭素ポ
テンシヤル従つて炭素の活量に依存し、炭素活量
が小さい程COガス分圧は低くなる。 １／ｙMexOy＋Ｃ（炭化物又は炭窒化物）＝ｘ／ｙMe＋C
O 上式の平衡定数をKpとすると Kp＝Ｐｃｏ／ａｃ ∴Pco＝Kp・ａｃ∞ａｃ こゝにMexOyは金属Meの酸化物、Ｃは炭化物
又は炭窒化物中に固溶している炭素、Pcoは平衡
Coガス分圧、ａｃは固溶炭素の活量である。次
にN2ガスを例にとれば、次式より明らかに焼成
時に発生するN2ガス分圧は窒化物又は炭窒化物
に固溶している窒素の活量に依存し、窒素活量が
小さい程N2ガス分圧は低くなると考えられる。 ２Ｎ（窒化物又は炭窒化物）＝N2 上式の平衡定数をKp′とすると Kp′＝ＰＮ２／ａＮ２ ∴PN2＝Kp′・ａＮ ２∞ａＮ ２ こゝにＮは窒化物又は炭窒化物に固溶している
窒素、PN2は平衡N2ガス分圧、ａＮは固溶窒素の
活量である。 一般にチタン炭窒化物（以后炭化物、窒化物、
炭窒化物を総称して炭窒化物と呼ぶ）に固溶して
いる炭素及び窒素の活量は下記の通り、炭窒化物
組成への依存性を示す事が知られている。（Ｔ・
Grieveson.Proc。British Ceram・Soc・
（1967）137.） (1) 炭素活量、窒素活量共に該金属炭窒化物を構
成する金属原子の原子比率が増大する程小さく
なる傾向がある。 (2) 固溶炭素量と固溶窒素量の原子比率に於いて
前者が後者より小さい程炭素活量は小さくな
り、その反面窒素活量は大きくなり、又逆に前
者が後者より大きい程窒素活量は小さくなりそ
の反面炭素活量は大となる傾向がある。 上記の傾向は、Tiの50原子％以下をａ、
ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種以上で置換
した、Tiを主成分とする金属炭窒化物に於いて
も保持される事が該金属炭窒化物と平衡する窒素
ガス分圧の測定結果により確認された。即ち本発
明はTi又はTiを主成分としTiの50原子％以下を
ａ、ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種以
上で置換した金属の炭窒化物の特徴を利用し、従
来より焼結の困難であり、又かなり高密度（例え
ば気孔率１％内外）に焼結してもピンホールの存
在や焼結体中の異相間界面の結合不完全性等に起
因する微細構造上の欠陥の除去が困難であつた、
Al2O3と該金属炭窒化物を主構成要素とするセラ
ミツク焼結体の製造上の諸問題を、該金属炭窒化
物を非化学量論的金属炭窒化物としてAl2O3と共
存させる事により解決した点に新規性を有する。 またさらに、Al、Ti、Ni、Mg、Ｙから選ばれ
た２種以上（但しNiとMgの組み合わせは除く）
の元素の複合酸化物が10体積％以下含まれる。こ
れは、これらの金属元素が金属状態あるいは単独
酸化物で存在した場合、機械強度への悪影響が大
きいためである。 更に本発明は、該非化学量論的金属炭窒化物の
炭素、窒素の単独又は両者の原子比率の50％以下
を酸素原子で置換してなる金属炭窒酸化物と
Al2O3の複合組成物が主構成要素たる焼結体をも
包含する。即ち上記置換による複合組成がが主構
成要素たる焼結体の焼結挙動は置換しない場合と
類似である事が判つた。 なお本発明法によれば特許請求の範囲２に記載
の通りの組成物は、ホツトポレス法によらずとも
1600℃以上の温度で焼成するならば通常焼結法
（非加工焼結法）によつても90％以上の密度を有
する焼結体が得られる。この焼結体の内で非通気
質の焼結体を例えば1500℃×1/2hr、ガス圧力500
Kg／cm2以上の条件下で熱間静圧成型装置内で再緻
密化処理を行えば密度100％の焼結体となる事が
判つた。 本発明法のセラミツク焼結体組成物の範囲で、
切削工具材料として適当な組成範囲は、特許請求
の範囲３に記載の通りであるが、更に切削工具材
料として耐欠損性の向上を付与するにはNi又は
Ni化合物をNi元素に換算して0.1〜2.0重量％を添
加する事が有効である。0.1重量％以下では添加
の効果は少なく2.0重量％より多くすれば最終焼
結体の高温硬度を低下させるばかりでなくアルミ
ナ結晶粒界でのスピネル生成物の析出量が増大
し、高速切削時の耐摩耗性並びに靭性を損つてし
まう。 なお特許請求の範囲及び添付第１図に記すＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄの組成物は以下に記す通りである。 Ａ……Me（Ｃ0.95 Ｎ0.05）0.60 Ｂ……Me（Ｃ0.05 Ｎ0.95）0.60 Ｃ……Me（Ｃ0.05 Ｎ0.95）0.95 Ｄ……Me（Ｃ0.95 Ｎ0.05）0.95 （但し、MeはTi又はTiの50原子％以下をａ、
ａ、ａ族の遷移金属の１種又は２種以上で置
換した金属固溶体もしくは金属混合物を意味す
る）以下実施例を示し、本発明の限定範囲につい
ての詳細な説明を加える。 実施例 １ 平均粒径0.6ミクロンのα・Ai2O3粉末に
MgO、TiO2、NiOを添加し、この全体にTi、Zr
の１種又は２種を金属元素として含む炭窒化物を
配合し、ボールミル粉砕した後、1580℃×
50min、加圧＝70Kg／cm2の条件下で、10-2Torrの
真空中にてホツトプレス焼成した。その結果第１
表に示す様な結果を得た。本発明法により作成し
た焼結体は、本発明法の適用範囲外の焼結体に比
べ明らかに緻密性が良好で、又抗折強度も大きい
事が判る。 次いで第１表１〜３の焼結体を熱間静圧装置内
で緻密化処理を行なつた。処理条件は1550℃×
1hr、1500気圧（Ar gas）である。その結果総て
100％密度となり、抗折力は最低値で80Kg／mm2最
高値98Kg／mm2を示した。
【表】
【表】
実施例 ２
平均粒径0.5ミクロンのα・Al2O3粉末に0.05重
量％のMgOと2.0重量％のY2O3を添加し、この全
体にTi、Zrの１種又は２種を含む金属炭窒化物
を配合し、更にパラフインを配合粉末全重量の２
重量％を加え、24hr湿式ボールミル混合した。溶
媒はヘキサンを使用した。乾燥した后、上記混合
粉末を常温で2t／cm2の加圧で成型し、水素炉内
で、1660℃×2hr焼成した。気孔率測定の結果を
第２表に示す。得られた焼結体には3Y2O3・
5Al2O3相が２重量％含まれていた。 第２表より明らかに添付第１図に示すABCDで
囲まれる帯域内で規定される金属炭窒化物組成物
が最終焼結体中の金属炭窒化物相である場合は焼
結性が良い事が判る。 実施例 ３ 実施例１に示した第１表の２及び実施例２に示
す第２表の２、５の焼結体をSNP432のチツツプ
に成型し、切削テストを行つた。
量％のMgOと2.0重量％のY2O3を添加し、この全
体にTi、Zrの１種又は２種を含む金属炭窒化物
を配合し、更にパラフインを配合粉末全重量の２
重量％を加え、24hr湿式ボールミル混合した。溶
媒はヘキサンを使用した。乾燥した后、上記混合
粉末を常温で2t／cm2の加圧で成型し、水素炉内
で、1660℃×2hr焼成した。気孔率測定の結果を
第２表に示す。得られた焼結体には3Y2O3・
5Al2O3相が２重量％含まれていた。 第２表より明らかに添付第１図に示すABCDで
囲まれる帯域内で規定される金属炭窒化物組成物
が最終焼結体中の金属炭窒化物相である場合は焼
結性が良い事が判る。 実施例 ３ 実施例１に示した第１表の２及び実施例２に示
す第２表の２、５の焼結体をSNP432のチツツプ
に成型し、切削テストを行つた。
【表】
【表】
切削条件は被削材FC25、Ｖ＝450ｍ／min、ｄ
＝２mm、ｆ＝0.2mm／tooth24枚刃乾式フライス切
削である。市販のセラミツク工具（TiC−
Al2O3）との寿命比較を行つた結果、上記の焼結
体で代表される本発明品は、いずれのものも、市
販品より耐欠損性、耐熱亀裂性、耐チツピング性
に優れ、２乃至３倍の寿命を示した。
＝２mm、ｆ＝0.2mm／tooth24枚刃乾式フライス切
削である。市販のセラミツク工具（TiC−
Al2O3）との寿命比較を行つた結果、上記の焼結
体で代表される本発明品は、いずれのものも、市
販品より耐欠損性、耐熱亀裂性、耐チツピング性
に優れ、２乃至３倍の寿命を示した。
第１図は本発明焼結体の組成を説明するための
３元系状態図である。
３元系状態図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Al2O3と金属炭窒化物との複合組成物の全体
に占める比率が90〜100体積％（100体積％を除
く）で、残部がAl、Ti、Ni、Mg、Ｙのグループ
から選ばれた２種以上（但しNiとMgの組み合わ
せは除く）よりなる金属の複合酸化物10体積％未
満からなるセラミツク焼結体で、該複合組成物に
占めるAl2O3の比率が10体積％以上90体積％以下
である様な、セラミツク焼結体に於いて該複合組
成物中の金属炭窒化物の金属元素がTiもしくは
Tiの50原子％以下をａ、ａ、ａ族の遷移
金属の１種又は２種以上で置換した金属からな
り、該金属炭窒化物の固溶炭素量、固溶窒素量、
及び固溶炭素量と固溶窒素量の夫々が該金属窒化
物に占める原子比率の割合が第１図の３元系状態
図のABCDで囲まれる帯域内で規定される金属炭
窒化物とAl2O3の複合組成物が主構成要素である
ことを特徴とするセラミツク焼結体。 ２ 特許請求の範囲第１項で規定した金属炭窒化
物の炭素、窒素の単独又は両者の原子比率の50％
以下を酸素原子で置換してなる金属炭窒酸化物と
Al2O3の複合組成物とが主構成要素であることを
特徴とするセラミツク焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8777677A JPS5422417A (en) | 1977-07-20 | 1977-07-20 | Ceramic sintered body and method of making same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8777677A JPS5422417A (en) | 1977-07-20 | 1977-07-20 | Ceramic sintered body and method of making same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5422417A JPS5422417A (en) | 1979-02-20 |
| JPS6245194B2 true JPS6245194B2 (ja) | 1987-09-25 |
Family
ID=13924372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8777677A Granted JPS5422417A (en) | 1977-07-20 | 1977-07-20 | Ceramic sintered body and method of making same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5422417A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5617979A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-20 | Ngk Spark Plug Co | Ceramic sintered body for cutting tool |
| JPS5662603A (en) * | 1979-10-23 | 1981-05-28 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Multistage rolling mill having shape control function |
| JPS57195519A (en) * | 1981-05-27 | 1982-12-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Rolling mill |
| JPH0723263B2 (ja) * | 1986-10-03 | 1995-03-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 酸化アルミニウム基セラミックス製切削工具 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6044272A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-09 | 丸善株式会社 | ステプラ− |
| JPS6044270A (ja) * | 1983-08-15 | 1985-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置製造用の円形基板の取扱い治具 |
| JPS6044271A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-09 | 株式会社東芝 | ねじ締め治具 |
-
1977
- 1977-07-20 JP JP8777677A patent/JPS5422417A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6044270A (ja) * | 1983-08-15 | 1985-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置製造用の円形基板の取扱い治具 |
| JPS6044272A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-09 | 丸善株式会社 | ステプラ− |
| JPS6044271A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-09 | 株式会社東芝 | ねじ締め治具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5422417A (en) | 1979-02-20 |
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