JPH0694390B2 - 窒化珪素焼結体 - Google Patents
窒化珪素焼結体Info
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- JPH0694390B2 JPH0694390B2 JP63224764A JP22476488A JPH0694390B2 JP H0694390 B2 JPH0694390 B2 JP H0694390B2 JP 63224764 A JP63224764 A JP 63224764A JP 22476488 A JP22476488 A JP 22476488A JP H0694390 B2 JPH0694390 B2 JP H0694390B2
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- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエンジン部品や切削工具など，高強度・耐摩耗
性・耐熱性材料として適用される窒化珪素焼結体に関す
る。
性・耐熱性材料として適用される窒化珪素焼結体に関す
る。
窒化珪素の焼結性，機械的特性を向上させるために，副
成分を添加する種々の研究，提案がなされている。例え
ば，本出願人はMgO及びZrO2を特定割合で配合せしめる
製法について出願し，公告された（特公昭60-16388,同6
0-20346）。又,Sr,Mg,Ce,Zr化合物，更にはAl化合物を
含む焼結体も提案されている（特公昭61-40621,特開昭6
2-65976）。
成分を添加する種々の研究，提案がなされている。例え
ば，本出願人はMgO及びZrO2を特定割合で配合せしめる
製法について出願し，公告された（特公昭60-16388,同6
0-20346）。又,Sr,Mg,Ce,Zr化合物，更にはAl化合物を
含む焼結体も提案されている（特公昭61-40621,特開昭6
2-65976）。
本発明は焼結性，機械的特性（強度・靱性等）をより一
層向上せしめ，加えて耐酸化性の点でも優れた新規な窒
化珪素焼結体を開発することを目的とする。
層向上せしめ，加えて耐酸化性の点でも優れた新規な窒
化珪素焼結体を開発することを目的とする。
本発明は上述の課題を下記手段によって解決する。
本発明の窒化珪素焼結体は、焼結体における重量％で、
Mg0.5〜7.0％（MgO換算）、Zr0.5〜7.0％（ZrO2換
算）、Ce0.5〜10.0％（CeO2換算）、残部Si3N4からな
る。
Mg0.5〜7.0％（MgO換算）、Zr0.5〜7.0％（ZrO2換
算）、Ce0.5〜10.0％（CeO2換算）、残部Si3N4からな
る。
さらに、上記手段において好ましくは、焼結体における
重量％で、Mg2〜５％（MgO換算）、Zr2〜５％（ZrO2換
算）、Ce2〜８％（CeO2換算）、残部Si3N4からなる窒化
珪素焼結体である。
重量％で、Mg2〜５％（MgO換算）、Zr2〜５％（ZrO2換
算）、Ce2〜８％（CeO2換算）、残部Si3N4からなる窒化
珪素焼結体である。
また、好ましくは、前記焼結体中のMgO、ZrO2、及びCeO
2各成分を各頂点とし、その各成分量を前記三成分の合
量を１とした場合の重量比で表わしているMgO、ZrO2及
びCeO2の三成分系三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）におい
て、各点Ａ（0.6,0.3,0.1）、Ｂ（0.6,0.1,0.3）、Ｃ
（0.1,0.1,0.8）、Ｄ（0.1,0.8,0.1）を結ぶ直線で画さ
れた範囲内にあり、かつ、 MgO、ZrO2及びCeO2の合量が前記焼結体における重量％
で３〜20％である窒化珪素焼結体である。
2各成分を各頂点とし、その各成分量を前記三成分の合
量を１とした場合の重量比で表わしているMgO、ZrO2及
びCeO2の三成分系三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）におい
て、各点Ａ（0.6,0.3,0.1）、Ｂ（0.6,0.1,0.3）、Ｃ
（0.1,0.1,0.8）、Ｄ（0.1,0.8,0.1）を結ぶ直線で画さ
れた範囲内にあり、かつ、 MgO、ZrO2及びCeO2の合量が前記焼結体における重量％
で３〜20％である窒化珪素焼結体である。
また、好ましくは、２段焼結を行なったことを特徴とす
る窒化珪素焼結体である。
る窒化珪素焼結体である。
上記基本組成において,Mg,Zr及びCeはSi,N,およびＯと
相まってSi3N4粒子間に液相を生成し，その後の降温過
程でガラス状に固化してSi3N4粒子同士を結合させて緻
密化させるのであるが，特定割合のMg,Zr及びCeの配合
によってこの緻密化作用を相乗的に発揮し得るものと考
えられる。又，これら三成分の配合によって，Si3N4柱
状結晶の発達を促進し，強度，靱性，耐熱性のより一層
の向上に寄与し得ると考えられる。
相まってSi3N4粒子間に液相を生成し，その後の降温過
程でガラス状に固化してSi3N4粒子同士を結合させて緻
密化させるのであるが，特定割合のMg,Zr及びCeの配合
によってこの緻密化作用を相乗的に発揮し得るものと考
えられる。又，これら三成分の配合によって，Si3N4柱
状結晶の発達を促進し，強度，靱性，耐熱性のより一層
の向上に寄与し得ると考えられる。
各成分の量限定理由は，上述の三成分の相乗的な緻密化
作用及びSi3N4柱状結晶発達作用に基づく，高密度，高
強度，高靱性及び高耐熱性の窒化珪素焼結体を作るため
の最適範囲を採択したものである。より詳述すれば次の
通りである。尚，「％」は特記しない限り重量％であ
る。そして、特記しない限りMg、Zr、及びCe各成分量
は、MgO換算等の酸化物換算で表わす。
作用及びSi3N4柱状結晶発達作用に基づく，高密度，高
強度，高靱性及び高耐熱性の窒化珪素焼結体を作るため
の最適範囲を採択したものである。より詳述すれば次の
通りである。尚，「％」は特記しない限り重量％であ
る。そして、特記しない限りMg、Zr、及びCe各成分量
は、MgO換算等の酸化物換算で表わす。
（ａ）Mg,Zr,Ceの下限値 いずれかの成分が下限（0.5％）未満であると，緻密化
作用及びSi3N4柱状結晶発達作用を効果的に発揮できな
い。
作用及びSi3N4柱状結晶発達作用を効果的に発揮できな
い。
特に,MgOが下限未満であると，焼成時において緻密化に
必要な液相を充分に生成できない。
必要な液相を充分に生成できない。
（ｂ）Mg,Zr,Ceの上限値 いずれかの成分が上限を越えても，上記相乗的な作用を
得ることができない。特に， ・Mg:上限（7.0％）を越えると，焼成時にMgOが揮発し
て，気孔を多く発生し，緻密にならない。
得ることができない。特に， ・Mg:上限（7.0％）を越えると，焼成時にMgOが揮発し
て，気孔を多く発生し，緻密にならない。
・Zr:ZrO2は，焼成中にZrOxNyCz（x,y,zは任意の数）で
表わされる結晶性化合物を生ずる。なお、Ｃはヒータや
炉材、焼成雰囲気中のCOガス、又は成形用有機バインダ
の熱分解物より取り込まれる。この化合物は大気中で約
700℃以上に加熱されると再びZrO2となり，その際にモ
ル体積が増加する。従って，上限（7.0％）を越える
と，耐酸化性が著しく損われ焼結体に亀裂が発生する。
表わされる結晶性化合物を生ずる。なお、Ｃはヒータや
炉材、焼成雰囲気中のCOガス、又は成形用有機バインダ
の熱分解物より取り込まれる。この化合物は大気中で約
700℃以上に加熱されると再びZrO2となり，その際にモ
ル体積が増加する。従って，上限（7.0％）を越える
と，耐酸化性が著しく損われ焼結体に亀裂が発生する。
・Ce:上限（10.0％）を越えると，ガラス相が過剰とな
り，強度・靱性が著しく低下する。
り，強度・靱性が著しく低下する。
この基本組成に基づき，本発明によれば強度80kgf/mm2
以上，破壊靱性6MPam1/2以上，相対密度95％以上のもの
が得られ，耐酸化性0.3mg/cm2（800℃,100時間後の増
量）以下のものが得られる。
以上，破壊靱性6MPam1/2以上，相対密度95％以上のもの
が得られ，耐酸化性0.3mg/cm2（800℃,100時間後の増
量）以下のものが得られる。
Mg,Zr,Ceの各成分量は夫々好ましくは２〜５％,2〜５
％,2〜８％にするとよい。三成分の相乗的な緻密化作用
及びSi3N4柱状結晶発達作用をより効果的に発揮させる
ことができる。各成分量をMgO換算等の酸化物換算で規
定したのは,Mg,Zr,Ceは焼結体中において単体又は種々
の化合物例えば酸化物，窒化物，炭化物として存在し得
るからである。具体的には,MgO,ZrO2（特に立方晶），C
eO2の他，Mg2SiO4（フォルステライト），更には複雑な
固溶体例えばZrOxNyCz（x,y,zは数を示す）として存在
するものもある。尚,Mg,Zr及びCe成分の混合比や焼成方
法の違い等によって異なった形態を採る。例えば，立方
晶ZrO2は常圧焼成又は加圧焼成のいずれによっても存在
し得るが，Mg2SiO4は加圧焼成によってしか存在し得な
い。これらの副成分はSi3N4粒界において結晶質相ある
いは非晶質ガラス相として存在する。
％,2〜８％にするとよい。三成分の相乗的な緻密化作用
及びSi3N4柱状結晶発達作用をより効果的に発揮させる
ことができる。各成分量をMgO換算等の酸化物換算で規
定したのは,Mg,Zr,Ceは焼結体中において単体又は種々
の化合物例えば酸化物，窒化物，炭化物として存在し得
るからである。具体的には,MgO,ZrO2（特に立方晶），C
eO2の他，Mg2SiO4（フォルステライト），更には複雑な
固溶体例えばZrOxNyCz（x,y,zは数を示す）として存在
するものもある。尚,Mg,Zr及びCe成分の混合比や焼成方
法の違い等によって異なった形態を採る。例えば，立方
晶ZrO2は常圧焼成又は加圧焼成のいずれによっても存在
し得るが，Mg2SiO4は加圧焼成によってしか存在し得な
い。これらの副成分はSi3N4粒界において結晶質相ある
いは非晶質ガラス相として存在する。
Mg,Zr,Ce成分の合量は３〜20％が好ましく，さらに，好
ましくは６〜15％にするとよい。３％未満では充分な緻
密化作用を発揮できず，一方20％を越えるとSi3N4本来
の特性である強度，靱性を活かせない傾向がある。
ましくは６〜15％にするとよい。３％未満では充分な緻
密化作用を発揮できず，一方20％を越えるとSi3N4本来
の特性である強度，靱性を活かせない傾向がある。
Mg,Zr,Ce成分は夫々単独では上述の作用を充分発揮し得
ない。従って，三成分の相対量を制御することにより，
Si3N4焼結体の一層の特性向上を図ることができる。即
ち，前記基本特性の条件下でかつMg,Zr,Ce成分の合量３
〜20％の条件下において，さらに各成分が図に示すよう
な三成分系三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）において点A,B,
C,D Ａ（0.6,0.3,0.1） Ｂ（0.6,0.1,0.3） Ｃ（0.1,0.1,0.8） Ｄ（0.1,0.8,0.1） を結ぶ直線で画された範囲内にあるとよい。この範囲内
の場合，強度，靱性，密度，耐酸化性について各90kgf/
mm2以上，6.5MPam1/2以上,96％以上,0.3mg/cm2以下の特
性が得られる。Mg,Zr,Ceの三成分の相乗的な緻密化作用
及びSi3N4柱状結晶発達作用を充分に発揮させ得る。
尚，この三角座標はMg,Zr,Ce成分を各頂点とし，その各
成分量を三成分の合量を１とした場合の相対値（重量
比）で示したものである。
ない。従って，三成分の相対量を制御することにより，
Si3N4焼結体の一層の特性向上を図ることができる。即
ち，前記基本特性の条件下でかつMg,Zr,Ce成分の合量３
〜20％の条件下において，さらに各成分が図に示すよう
な三成分系三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）において点A,B,
C,D Ａ（0.6,0.3,0.1） Ｂ（0.6,0.1,0.3） Ｃ（0.1,0.1,0.8） Ｄ（0.1,0.8,0.1） を結ぶ直線で画された範囲内にあるとよい。この範囲内
の場合，強度，靱性，密度，耐酸化性について各90kgf/
mm2以上，6.5MPam1/2以上,96％以上,0.3mg/cm2以下の特
性が得られる。Mg,Zr,Ceの三成分の相乗的な緻密化作用
及びSi3N4柱状結晶発達作用を充分に発揮させ得る。
尚，この三角座標はMg,Zr,Ce成分を各頂点とし，その各
成分量を三成分の合量を１とした場合の相対値（重量
比）で示したものである。
本発明Si3N4焼結体の製造条件としては，例えば次の通
りである。Si3N4及びMg,Zr,Ce成分の原料粉末はBET比表
面積５m2/g以上のものを用いるとよい。Si3N4粉末はα
率が50％以上であるとよい。Mg,Zr,Ce成分の原料粉末と
しては，酸化物，又焼成過程で酸化物に変化し得るもの
例えば塩（炭酸塩等），水酸化物などを用いるとよい。
これらの配合粉末を成形した後の焼成は，非加圧（常
圧）焼結によって行ない得る。従って，複雑形状品であ
っても，高強度等の優れた特性を有するSi3N4焼結体を
簡便に製造できる。焼成温度は1500〜1800℃にするとよ
い。特に，常圧焼結後，二次焼結として雰囲気加圧焼結
を行なうとよい。前述したMg,Zr,Ce成分による相乗的な
緻密化作用をより効果的に発揮させることができる。こ
の場合,10気圧以上の窒素分圧を有する加圧雰囲気中で
行なうとよい。二次焼結における焼成温度は1700〜1900
℃にするとよい。
りである。Si3N4及びMg,Zr,Ce成分の原料粉末はBET比表
面積５m2/g以上のものを用いるとよい。Si3N4粉末はα
率が50％以上であるとよい。Mg,Zr,Ce成分の原料粉末と
しては，酸化物，又焼成過程で酸化物に変化し得るもの
例えば塩（炭酸塩等），水酸化物などを用いるとよい。
これらの配合粉末を成形した後の焼成は，非加圧（常
圧）焼結によって行ない得る。従って，複雑形状品であ
っても，高強度等の優れた特性を有するSi3N4焼結体を
簡便に製造できる。焼成温度は1500〜1800℃にするとよ
い。特に，常圧焼結後，二次焼結として雰囲気加圧焼結
を行なうとよい。前述したMg,Zr,Ce成分による相乗的な
緻密化作用をより効果的に発揮させることができる。こ
の場合,10気圧以上の窒素分圧を有する加圧雰囲気中で
行なうとよい。二次焼結における焼成温度は1700〜1900
℃にするとよい。
本発明のSi3N4焼結体は後記測定条件下で相対密度が95
％以上，好ましくは97％以上，強度80kgf/mm2以上，好
ましくは90kgf/mm2以上，靱性6MPam1/2以上，好ましく
は6MPam1/2以上，酸化増量0.30mg/cm2以下，好ましくは
0.15mg/cm2以下のものを対象とする。かかるSi3N4焼結
体は，自動車エンジン部材例えばピストン，バルブ；切
削工具；摺動部材例えばベアリングボール，熱機関部材
例えばガスタービンロータなどに好適である。
％以上，好ましくは97％以上，強度80kgf/mm2以上，好
ましくは90kgf/mm2以上，靱性6MPam1/2以上，好ましく
は6MPam1/2以上，酸化増量0.30mg/cm2以下，好ましくは
0.15mg/cm2以下のものを対象とする。かかるSi3N4焼結
体は，自動車エンジン部材例えばピストン，バルブ；切
削工具；摺動部材例えばベアリングボール，熱機関部材
例えばガスタービンロータなどに好適である。
以下，本発明の実施例を説明する。併せて比較例につい
ても述べる。
ても述べる。
実施例１ BET比表面積10m2/gのSi3N4粉末，同20m2/gのMgCO3粉
末，同14m2/gのZrO2粉末，および同13m2/gのCeO2粉末を
第１表に示す割合で秤量し，Si3N4製のポットミルおよ
び球石を用いて16時間湿式混合した。乾燥後,1500kg/cm
2の圧力で金型プレスし,1気圧の窒素雰囲気中1700℃で
２時間焼成することにより，窒化珪素焼結体No.1〜No.1
6を製造した。
末，同14m2/gのZrO2粉末，および同13m2/gのCeO2粉末を
第１表に示す割合で秤量し，Si3N4製のポットミルおよ
び球石を用いて16時間湿式混合した。乾燥後,1500kg/cm
2の圧力で金型プレスし,1気圧の窒素雰囲気中1700℃で
２時間焼成することにより，窒化珪素焼結体No.1〜No.1
6を製造した。
次に，得られた焼結体の各特性を以下の方法によって測
定，算出し，その結果も第１表に示す。
定，算出し，その結果も第１表に示す。
（ａ）相対密度：アルキメデス法 （ｂ）強度:JIS-R1601 （ｃ）破壊靱性:IS（Indentation Strength）法 （ｄ）耐酸化性：大気中800℃で100時間放置したときの
酸化増量 第１表から明らかなように，実施例の焼結体（試料No.1
〜10）はいずれも，常圧焼結であるにも拘らず，密度，
強度及び破壊靱性について優れた値を示す。酸化増量も
実用上問題を生じないレベルである。一方，比較例の焼
結体（試料No.11〜16）については，特性が不充分であ
る。即ち,No.11〜13のように三成分のいずれかが欠如し
ている場合，緻密化が不充分となる。No.14のようにMg
量が過剰な場合，やはり緻密化が不充分となる。No.15
のようにZr量が過剰である場合耐酸化性で劣る。No.16
のようにCe量が過剰な場合，粒界ガラス相が過剰で強度
・靱性が低下する。
酸化増量 第１表から明らかなように，実施例の焼結体（試料No.1
〜10）はいずれも，常圧焼結であるにも拘らず，密度，
強度及び破壊靱性について優れた値を示す。酸化増量も
実用上問題を生じないレベルである。一方，比較例の焼
結体（試料No.11〜16）については，特性が不充分であ
る。即ち,No.11〜13のように三成分のいずれかが欠如し
ている場合，緻密化が不充分となる。No.14のようにMg
量が過剰な場合，やはり緻密化が不充分となる。No.15
のようにZr量が過剰である場合耐酸化性で劣る。No.16
のようにCe量が過剰な場合，粒界ガラス相が過剰で強度
・靱性が低下する。
実施例２ 前記実施例１の焼結体（試料No.1,2,3,8,9）を更に80気
圧の窒素雰囲気中1800℃で２時間焼成することにより，
Si3N4焼結体No.17〜21を製造した。これらの焼結体の特
性を前記同様にして調べた結果を第２表に示す。
圧の窒素雰囲気中1800℃で２時間焼成することにより，
Si3N4焼結体No.17〜21を製造した。これらの焼結体の特
性を前記同様にして調べた結果を第２表に示す。
第２表から明らかなように，この二段焼結によって得ら
れた焼結体は完全に緻密化したものとなり，更に高強
度，高靱性となる。
れた焼結体は完全に緻密化したものとなり，更に高強
度，高靱性となる。
以上の如く本発明によれば,Mg,Zr,Ce成分の相乗効果に
よりSi3N4の焼結性を向上せしめて緻密化（高密度化）
でき，強度・靱性の機械的諸特性，更には耐酸化性に優
れた新規なSi3N4焼結体を開発することに成功したもの
である。又，かかる焼結体を量産性に適した製法をもっ
て提供し得たものである。
よりSi3N4の焼結性を向上せしめて緻密化（高密度化）
でき，強度・靱性の機械的諸特性，更には耐酸化性に優
れた新規なSi3N4焼結体を開発することに成功したもの
である。又，かかる焼結体を量産性に適した製法をもっ
て提供し得たものである。
特に、焼結体における重量％で、Mg2〜５％（MgO換
算）、Zr2〜５％（ZrO2換算）、Ce2〜８％（CeO2換
算）、残部Si3N4からなる窒化珪素焼結体は、焼結体の
緻密化及びSi3N4柱状晶の発達において優れている。
算）、Zr2〜５％（ZrO2換算）、Ce2〜８％（CeO2換
算）、残部Si3N4からなる窒化珪素焼結体は、焼結体の
緻密化及びSi3N4柱状晶の発達において優れている。
また、焼結体中のMgO、ZrO2、及びCeO2各成分を各頂点
とし、その各成分量を前記三成分の合量を１とした場合
の重量比で表わしているMgO、ZrO2及びCeO2の三成分系
三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）において、各点Ａ（0.6,0.
3,0.1）、Ｂ（0.6,0.1,0.3）、Ｃ（0.1,0.1,0.8）、Ｄ
（0.1,0.8,0.1）を結ぶ直線で画された範囲内にあり、
かつ、MgO、ZrO2及びCeO2の合量が前記焼結体における
重量％で３〜20％である窒化珪素焼結体は、焼結体の緻
密度及びSi3N4柱状晶の発達度が向上して、強度90kgf/m
m以上、靱性6.5MPam1/2以上、密度96％以上、耐酸化性
0.3mg/cm2以下の優れた特性が得られる。
とし、その各成分量を前記三成分の合量を１とした場合
の重量比で表わしているMgO、ZrO2及びCeO2の三成分系
三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）において、各点Ａ（0.6,0.
3,0.1）、Ｂ（0.6,0.1,0.3）、Ｃ（0.1,0.1,0.8）、Ｄ
（0.1,0.8,0.1）を結ぶ直線で画された範囲内にあり、
かつ、MgO、ZrO2及びCeO2の合量が前記焼結体における
重量％で３〜20％である窒化珪素焼結体は、焼結体の緻
密度及びSi3N4柱状晶の発達度が向上して、強度90kgf/m
m以上、靱性6.5MPam1/2以上、密度96％以上、耐酸化性
0.3mg/cm2以下の優れた特性が得られる。
また、２段焼結を行なうことにより、焼結体は一層緻密
化され、更に高強度・高靱性となる。
化され、更に高強度・高靱性となる。
尚，本発明の焼結体はSi3N4の副成分として三成分のみ
を必須とすればよく，特公昭61-40621のようにSrを必須
としないので，管理等の手間を大幅に簡略化でき，工業
的量産の見地から極めて優れる。加えて，同公報のもの
に比して，三副成分系であるにも拘らず強度及び破壊靱
性について同レベルを維持できる。しかも硬度及び耐酸
化性については優れると期待される。
を必須とすればよく，特公昭61-40621のようにSrを必須
としないので，管理等の手間を大幅に簡略化でき，工業
的量産の見地から極めて優れる。加えて，同公報のもの
に比して，三副成分系であるにも拘らず強度及び破壊靱
性について同レベルを維持できる。しかも硬度及び耐酸
化性については優れると期待される。
従って，本発明のSi3N4焼結体は，自動車エンジン部
材，耐摩耗部材，切削工具等，各種の高温高強度材料と
して広く利用できる。
材，耐摩耗部材，切削工具等，各種の高温高強度材料と
して広く利用できる。
第１図はMg,Zr及びCe成分の組成範囲（酸化物換算）を
示す三角座標図を表わす。
示す三角座標図を表わす。
Claims (4)
- 【請求項１】焼結体における重量％で、Mg0.5〜7.0％
（MgO換算）、Zr0.5〜7.0％（ZrO2換算）、Ce0.5〜10.0
％（CeO2換算）、残部Si3N4からなることを特徴とする
窒化珪素焼結体。 - 【請求項２】焼結体における重量％で、Mg2〜５％（MgO
換算）、Zr2〜５％（ZrO2換算）、Ce2〜８％（CeO2換
算）、残部Si3N4からなることを特徴とする請求項１に
記載の窒化珪素焼結体。 - 【請求項３】前記焼結体中のMgO、ZrO2、及びCeO2各成
分を各頂点とし、その各成分量を前記三成分の合量を１
とした場合の重量比で表わしているMgO、ZrO2及びCeO2
の三成分系三角座標（MgO,ZrO2，CeO2）において、 各点Ａ（0.6,0.3,0.1）、Ｂ（0.6,0.1,0.3）、Ｃ（0.1,
0.1,0.8）、Ｄ（0.1,0.8,0.1）を結ぶ直線で画された範
囲内にあり、かつ、 MgO、ZrO2及びCeO2の合量が前記焼結体における重量％
で３〜20％であることを特徴とする請求項１又は２に記
載の窒化珪素焼結体。 - 【請求項４】２段焼結を行なったことを特徴とする請求
項１〜３に記載の窒化珪素焼結体。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224764A JPH0694390B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 窒化珪素焼結体 |
| US07/403,289 US5049531A (en) | 1988-09-09 | 1989-09-07 | Silicon nitride sintered body |
| DE8989116661T DE68906838T2 (de) | 1988-09-09 | 1989-09-08 | Siliciumnitrid-sinterkoerper. |
| EP89116661A EP0358228B1 (en) | 1988-09-09 | 1989-09-08 | Silicon nitride sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224764A JPH0694390B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 窒化珪素焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274564A JPH0274564A (ja) | 1990-03-14 |
| JPH0694390B2 true JPH0694390B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=16818863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63224764A Expired - Lifetime JPH0694390B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 窒化珪素焼結体 |
Country Status (4)
| Country | Link |
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| EP (1) | EP0358228B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0694390B2 (ja) |
| DE (1) | DE68906838T2 (ja) |
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| DE3662391D1 (en) * | 1985-04-08 | 1989-04-20 | Sumitomo Electric Industries | Process for preparation of sintered silicon nitride |
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| JPS62246865A (ja) * | 1986-04-16 | 1987-10-28 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体およびその製造法 |
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-
1989
- 1989-09-07 US US07/403,289 patent/US5049531A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-08 DE DE8989116661T patent/DE68906838T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-08 EP EP89116661A patent/EP0358228B1/en not_active Expired - Lifetime
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| EP0358228A2 (en) | 1990-03-14 |
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