JPS58102179A - Ｘ線分光法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はｘｓｉ、特に波長約ｉｔｔ％以下の軟Ｘ線の波
長と強度を簡単に測定できるＸ線分光法に関する。

従来のＸ線分光法は、■半導体検出器を用いるもの、（
す（ロ）折結晶（又は回折格子）を用いるものに大別さ
れ、ざらに■は■回折結晶（又は回折格子）をａ−ラン
ド円周上を移動させつつ計るもの、＠１同折結晶（又は
回折格子）の置かれたり一うンド円と同一のローランド
円周上にＸｉＩフィルムを設置するものに分けられる。

ところで、これらのＸ線分光法のうち、■は半導体検出
器の応答速度の点で７ｐ＠ｅＣ以下の短いパルスＸ線の
分光に不適当であるほか、波長ｉｏム以上の軟Ｘ線の検
出・分光ができない欠点がある。また■のΦはパルスＸ
＠の分光にはきわめて長時間な要゛シ、実用的でない。

また更に（慕）の＠はＸ線の波長が長くなるに従って回
折結晶（又は回折格子）の焦点が伸るために装置が大形
化する欠点がある。

本発明は上記の事情に鑑み、パルス放射のＸ＠。

連続放射のＸｓを問わずに測定が可能であり、かつ使用
する装置の小形化を計ることのできるＸ＠分分光法提供
するもので、ベリリウム箔にＸｉＩを照射し、箔の背面
より放出する光電子の運動エネルギーおよび量を測定す
ることにより波長域／／／ム以下の軟Ｘ線についてＸ線
の波長ならびに強度を測定することを特徴とＴるもので
ある・以下、本発明を図面を参照して詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す図であって、この図に
おいてｌは分光すべきＸｌｌ、　ｍはペリリラム箔、８
・はベリリウム箔から放出される光電子、４は光電子の
運動エネルギー弁別器、５は上記の部品をおさめた真空
容器である。

この図において１ＸＩＩｌｉｌ！ｌの照射をうけたベリ
リウム箔２の内部には光電子が発生し、この光電子は表
面に向って移動し、遂には表面から真空中に発生したも
のは箔の背面から放出する。これが図中８で示す光電子
である。

通常ベリリウムのに軌道電子は／　／　／、　ｔ　ｅ　
Ｖの結合エネルギーで原子核と結合して安定状態を保拳 っているが、振動ｆ＃ｖのＸ線の照射をうけとると励起
されて　ｂｙ−／／／、６　（＝Ｍｋ）ｅｌｆ）運動エ
ネルギーを持った光電子となって真空中にとび出して来
る。ＸＩＩが種々の伽勤数を含んでいるとそれに応じて
光電子の運動エネルギーＢｋもさまざまな値をとる。そ
こで光電子８を運動エネルギー弁別器４に導いて運動エ
ネルギーを測定し、同時に光電子の量を測定すれば、Ｘ
線波長に対応した運動エネルギー、光度に対応した光電
子量として第一図に示すようなスペクトルが得られる。

これによりＸＩＩの分光光度が測定できざ；なお、これ
らの測定は空気によるＸ＠の吸収、光電子の散乱を防止
するために真空客器すの中で行われる。

この測定に際し、運動エネルギー弁別器として写真フィ
ルムタイプのものを用いれば、Ｘｌｌ１が知いパルスの
場合にも分光が可能である＠なおＸ線がｈν＞／／／、
４ｅＶの条件を満す場合、つまりｌｌｌｌｌ上の波長域
では光電子は極端に減衰するので、この方法の可測定波
長域はｌｌｌｌｌ下である〇 以上説明したように、本発明は光電子の運動エネルギー
および量を測定することによりＸ＠の分光を行う。この
本発明によれば、パルス放射のＸ線、連続放射のＸｌ１
ｌを問わずに軟ＸＩＩの分光光度の測定を行うことが可
能である。また箔を用いてＸ＠エネルギーを光電子運動
エネルギーに変換するため、エネルギーの変換部を単純
な構造とすることができ、これにより使用する装置の小
形化が計れる利点がある０

【図面の簡単な説明】

第１ＷＪは本発明の一実施例を示す説明図、第２図は同
実施例においてＸ＠を分光した結果を示す図であって、
Ｘ線の波長と強度との関係を示す図であるＯ １・・・・・・Ｘ＠、　！−・・・・・ベリリウム箔、
訃・・・・・光電子、４・・・・・・運動エネルギー弁
別器、ト・・・・・真空容器。 第２図 １　長

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ベリリウム（Ｂｅ）箔にＸＩＩを照射し、箔の背向より
   放出する光電子の運動エネルギーおよび量を測定するこ
   とにより波長域／／／ム以下の軟Ｘ線についてＸ＠の波
   長ならびに強度を測定することを特徴とするＸ１１分光
   法。